DE8902607U1

DE8902607U1 - Device on an oxidation or diffusion furnace

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Publication number: DE8902607U1
Application number: DE8902607U
Authority: DE
Original assignee: Owis 7813 Staufen De GmbH
Current assignee: Owis 7813 Staufen De GmbH
Priority date: 1989-03-04
Filing date: 1989-03-04
Publication date: 1989-06-22
Also published as: WO1990010305A1; EP0480931A1

Description

OWIS GmbH 5470 DEOWIS GmbH 5470 DE

A/ze
7813 StaufenA/ze
7813 Staufen

Vorrichtung an einer Oxidations- oder Diffusions-OfenänlageDevice on an oxidation or diffusion furnace system

BeschreibungDescription

Die Erfindung bezieht s?ch auf eine Vorrichtung an einer
Oxidations- oder J)Iffusions-Ofenanlage für die Halbleiterherstellung zum Beschicken und Verschließen des Ofenrohrs
der Anlage. Oxidations- und Diffusions-Ofenanlagen dienen
zum Beschichten bzw. Dotieren der Oberflächen von Halbleiterscheiben für integrierte Schaltkreise, auch als Wafer
bezeichnet.The invention relates to a device on a
Oxidation or J)iffusion furnace system for semiconductor production for charging and closing the furnace tube
of the plant. Oxidation and diffusion furnace systems serve
for coating or doping the surfaces of semiconductor wafers for integrated circuits, also as wafers
designated.

Diesen Ofenanlagen sind in der Regel mehrere als Ofenrohre
bezeichnete Behände 1 ungsrohre zugeordnet, die mit ei.^er Anzahl von Halbleiter-Wafern für die Dauer der Behandlung beschickt werden. Durch die FR-OS 2 561 041 und die EP-OS
0 258 570 sowie die FR-OS 2 553 071 und die US-PS 4,557,657 sind Vorrichtungen zum Beschicken und Verschließen des Ofenrohrs der Anlage mit den in Horden gehaltenen Halbleiter-Wafern mittels eines in der horizontalen X-Achse und vertikalen Z-Achse betriebsmäßig verfahrbaren motorisch angetriebenen Paddele, dessen Schieberführung zur X-Achse des Ofenrohrs justierbar ist, bekannt.These furnace systems are usually equipped with several furnace pipes
designated treatment tubes, which are loaded with a certain number of semiconductor wafers for the duration of the treatment. FR-OS 2 561 041 and EP-OS
Devices for loading and closing the furnace tube of the plant with the semiconductor wafers held in trays by means of a motor-driven paddle which can be moved in the horizontal X-axis and vertical Z-axis and whose slide guide can be adjusted to the X-axis of the furnace tube are known from FR-OS 2 553 071 and US-PS 4,557,657.

Diese bekannten Vorrichtungen sind jedoch mit Nachteilen behaftet, durch welche ein rasches und zügiges Arbeiten bei
trotzdem sehr guten Arbeitsergebnissen nicht ermöglichtHowever, these known devices have disadvantages, which prevent quick and efficient work in
nevertheless very good work results are not possible

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wird. Ein rasches und verzögerungsfreies Beschicken eines Ofenrohrs erfordert, daß die einzusetzenden, mit den Wafern bestückten Horden oder Boats rasch und zügig und dennoch sehr behutsam, exakt und präzise positioniert in das Ofenrohr eingefahren und dort abgesetzt werden, Kierzu sind weiche und absolut ruckfreie Bewegungsabläufe des Paddels erforderlich. Dabei soll weder das Paddel noch ein Teil desselben im Ofenrohr verbleiben, sondern lediglich die Horden mit den Halbleiter-Wafern. Hierzu gehört ferner, cViß die Bewegungsbahn des Paddü1s im Ofenrohr in der X-Achse präzise mittenzentriert verlaufen muß, woraus sich die weitere Forderung ergibt, eine äußerst genaue, feineinstellbare und in beliebigen Intervallen nachkontrollierbare Justierung der Bewegungsbahn des Paddels zu schaffen. Ein weiterer Nachteil der bekannten Vorrichtungen ist noch darin zu sehen, daß die TorverschiUsse fUr das Ofenrohr unabhängig von den Beschikkungsvorgängen zumeist von Hand betätigt werden und infolge ihrer unzureichend ausgebildeten Halterungen sich damit ein wirksamer Ofenrohrverschluß nicht erreichen läßt.A quick and delay-free loading of a furnace tube requires that the trays or boats to be used, which are loaded with the wafers, are moved into the furnace tube and set down there quickly and efficiently, but still very carefully, exactly and precisely positioned. For this, smooth and absolutely jerk-free movements of the paddle are required. Neither the paddle nor any part of it should remain in the furnace tube, only the trays with the semiconductor wafers. This also means that the movement path of the paddle in the furnace tube must be precisely centered in the X-axis, which gives rise to the further requirement of creating an extremely precise, finely adjustable adjustment of the movement path of the paddle that can be checked at any interval. A further disadvantage of the known devices is that the gate closures for the furnace pipe are mostly operated by hand, independent of the loading processes, and due to their inadequately designed holders, an effective furnace pipe closure cannot be achieved.

Um den technischen Aufwand so gering als möglich zu halten und vor allem in den Ofenraum nur Hilfsorgane fUr die Wafer mit geringstmöglicher Masse und Oberfläche einzuführen sowie ferner die Bewe^ungsvorgänge auf das unvermeidlich erforderliche Maß zu verringern, sollen abweichend vom Stand der Technik die Horden oder Boats ohne weitrre bzw. zusätzliche oder aufwendige Transport- oder Halterungemittel eingeführt und abgesetzt werden. Diese Arbeite— bzw. Verfahrensweise wird als "softlanding-System" bezeichnet.In order to keep the technical effort as low as possible and, above all, to introduce only auxiliary devices for the wafers with the smallest possible mass and surface into the furnace chamber and furthermore to reduce the movement processes to the unavoidably necessary level, the trays or boats are to be introduced and set down without further or additional or complex transport or holding means, in contrast to the state of the art. This work - or procedure is referred to as a "soft landing system".

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Um dieBe Vorteile zu erreichen wird erfindungsgemMß eine Vorrichtung vorgeschlagen die gekennzeichnet ist durchIn order to achieve these advantages, according to the invention a device is proposed which is characterized by

<i) Horden mit vier beidseitig paarweise angeordneten, nn< Ii unten vorstehenden und im Ofenrohr sich abstützenden Flißen, die vom Paddel unmittelbar mittig untergreifend erfaßbar sind,<i) Hordes with four fins arranged in pairs on both sides, nn< Ii protruding downwards and supported in the stove pipe, which can be grasped by the paddle directly in the middle,

b) eine zur austauschbaren Befestigung des rohrförmigen Padde1-Schaftos ausgebildete, an einer in der X-Achse verlaufenden Schieberführung angeordnete Padde!-Halterung die um fine waagrechte Y-Achse quer &zgr;.&iacgr;&ggr; X-Achse verstellbar, um eine ebenfalls waagrechte C-Achse quer zur X-Achse kippbar und außerdem um eine senkrechte B-Achse quer zur X-Achse schwenkbar und in jeder dieser zum Justieren dienende Versteil-Positionen fixierbar ist,b) a Padde! holder designed for the exchangeable fastening of the tubular Padde1 shaft, arranged on a slide guide running in the X-axis, which is adjustable about a horizontal Y-axis across the X-axis, can be tilted about a C-axis which is also horizontal across the X-axis and can also be pivoted about a vertical B-axis across the X-axis and can be fixed in each of these adjustment positions used for adjustment,

c) an der in der X-Achse verfahrbaren Schieberführung ein in der Z-Achse verfahrbarer FUhrungsschieber der mit der Paddel-Ha1terung in Verbindung steht,c) on the slider guide that can be moved in the X-axis, a guide slide that can be moved in the Z-axis and is connected to the paddle holder,

d) eine am FUhrungsschieber der Z-Achse angebrachte waagrechte Trägerplatte, mit auf diese! gelagerter Paddel-Halterung, zwischen denen ein um eine vertikale B-Achse in einer Spurlagerung schwenkbarer Drehteller eingelassen ist, der in der horizontal und quer zur B-Achse mit einer Wälzlagerung in der C-Achse versehen ist, um welche die Paddel-Haiterung kippbar ist.d) a horizontal support plate attached to the guide slide of the Z-axis, with a paddle holder mounted on it, between which a rotary plate is inserted that can be pivoted about a vertical B-axis in a track bearing, which is provided with a roller bearing in the C-axis horizontally and transversely to the B-axis, about which the paddle holder can be tilted.

e) Verschraubungen zur Fixierung der Paddel-Haiterung nach Justierung zum Ofenrohr mittels des Laserstrahlers gegenüber der Trägerplatte in den Schwenk- und Kipp-Positionen in den B- und C-Achsen, mittels welchen die Paddel-Halterung und Trägerplatte miteinander verspannbar sind. - 5 -e) Screw connections for fixing the paddle holder after adjustment to the stove pipe using the laser beam relative to the carrier plate in the swivel and tilt positions in the B and C axes, by means of which the paddle holder and carrier plate can be clamped together. - 5 -

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Bei der vorgeschlagenen Ausbildung der Horden können diese von einem einfach gestalteten Paddel ohne weiteres untergriffen und in das Ofenrohr eingefahren und dort auf ihre Füße abgesetzt werden, worauf das Paddel wieder zurUckg* zogen und das Ofenrohr verschlossen wird. Ganz wesentlich sind die Vorkehrungen zur präzisen Justierung der Paddel-SchieberfUhrung, dan it die Bewegungsachse des Paddels genau auf die Mittenachse des jeweiligen Ofenrohres ausgerichtet ist. Diese Justierung soll auch von Zeit zu Zeit nachprüfbar und notfalls nachstellbar eingerichtet sein. Zur Justierung dient vorteilhafterweise ein in den rohrförmigen Paddelschaft einsetzbare Halterung eines Laserstrahlers in Verbindung mit zwei in das Ofenrohr beabstandet axial zentriert einsetzbaren Justierscheiben, die mit einem feinen zentrisch angebrachten Loch versehen sind. Mittels des Laserstrahls werden diese Löcher anvisiert und die Einstellung der Paddel-SchieberfUhrung solange verstellt, bis die Zentralbohrungen genau im Laserstrahl liegen. Darauf wird die Justierstellung der Paddel-Halterung mittels Verschraubungen durch Verspannen fixiert.With the proposed design of the trays, they can be easily gripped under a simple paddle and pushed into the stove pipe and then placed on their feet, whereupon the paddle is pulled back and the stove pipe is closed. The provisions for the precise adjustment of the paddle slide guide are very important, so that the axis of movement of the paddle is aligned exactly with the center axis of the respective stove pipe. This adjustment should also be able to be checked from time to time and, if necessary, adjusted. The adjustment is advantageously carried out using a holder for a laser emitter that can be inserted into the tubular paddle shaft in conjunction with two adjustment disks that can be inserted axially centered in the stove pipe at a distance and which have a fine centrally located hole. These holes are targeted using the laser beam and the setting of the paddle slide guide is adjusted until the central holes are exactly in the laser beam. The adjustment position of the paddle holder is then fixed by tightening the screws.

Abgeshen von dem weiter oben beschriebenen "soft landing-System" kann mittels der Vorrichtung auch das sog. "cantilever-System" ausgeübt werden, wenn auf den rohrförmigen Paddel-Schaft eine auf diesem axialgefUhrte und längsverschiebbare Torverschlußscheibe aufgesetzt wird. Die Torverschlußscheibe fUr das cantilever-System, wie auch für das softlanding-System, ist in den beiden in der Vertikalebene liegenden Achsen nachgiebig gelagert. Diese Lagerung besteht aus wenigstens drei umfangsverteilt angeordneten elastisch federnd ausgebildeten Haltearmen, die an dem Torverschlußträger befestigt sind. Für das softlanding-System Apart from the "soft landing system" described above , the device can also be used to implement the so-called "cantilever system" if a gate closure disk that is axially guided and longitudinally displaceable is placed on the tubular paddle shaft. The gate closure disk for the cantilever system, as well as for the soft landing system, is flexibly mounted in the two axes lying in the vertical plane. This mounting consists of at least three elastically spring-formed holding arms that are distributed around the circumference and are attached to the gate closure carrier. For the soft landing system

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ist der Torverschlußträger an einem pneumatisch oder motorisch antreib- und verstellbaren Schwenkarm angebracht, während er flir das cantilever-System als auf den rohrförmigen Paddel-Schaft aufsetzbare Schiebeblichse ausgebildet ist.The gate lock carrier is attached to a pneumatically or motor-driven and adjustable swivel arm, while for the cantilever system it is designed as a sliding lens that can be attached to the tubular paddle shaft.

Weitere Merkmale und Besonderheiten der Erfindung sind nnhand des in tier Zeichnung därjjöäte 1 1 iei'i Aüäf ührungäbei Spie 1 beschrieben, welches im folgenden näher erläutert ist.Further features and special features of the invention are described in the drawing in Figure 1, which is explained in more detail below.

Es zeigenShow it

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der Vorrichtung,Fig. 1 is a perspective view of the device,

Fig. 2 die Darstellung gem. Fig. 1 mit der Laser-Justiervorrichtung, Fig. 2 the representation according to Fig. 1 with the laser adjustment device,

Fig. 3 die Darstellung gem. Fig. 1 mit für den "cantilever"-Betrieb eingerichteter Vorrichtung,Fig. 3 the representation according to Fig. 1 with device set up for "cantilever" operation,

Fig. 4 eine Draufsicht auf die Vorrichtung,Fig. 4 is a plan view of the device,

Fig. 5 eine Einzelheit bei "A" gem. Fig. 2 und 4Fig. 5 a detail at "A" according to Fig. 2 and 4

Fig. 6 eine Stirnansicht in Richtung "R" gem. Fig» 1Fig. 6 a front view in direction "R" according to Fig» 1

In Fig. 1 ist das Montage-Gestell der Vorrichtung mit 1 und der Führungsträger für die horizontale Schieberführung 15/24 des Paddels 13 mit 2 bezeichnet. Die Axialbewegung in der x-Achse des Längsschiebers 24/25 für das Paddel 13 wird vom Schieberführungsmotor 3 angetrieben, mit dessen Abtrieb das Zahnriemenritzel 4 verbunden ist; der Zahnriemen 6 läuft entlang des Führungsträgers 2 zur Umlenkrolle 5. In Fig. 1, the assembly frame of the device is designated with 1 and the guide carrier for the horizontal slide guide 15/24 of the paddle 13 with 2. The axial movement in the x-axis of the longitudinal slide 24/25 for the paddle 13 is driven by the slide guide motor 3, to whose output the toothed belt pinion 4 is connected ; the toothed belt 6 runs along the guide carrier 2 to the deflection roller 5.

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Am horizontalen Längsschieber 24 ist ein vertikaler Längsschieber-Rahmer» 25 und an diesem eine vertikale FUhrungsschieber-Flinrichtung 23 angeordnet, mittels welcher die Ve'tika1schieberplatte 26 und die an dieser befestigte horizontale Trägerplatte 18 in der Vertikalachse Z verschiebbar ist. Zum /■■ Lrieb dieser Vertikalbewegung ist ein I· Uhrungsschieber-Motor 7 vorgesehen, der Über ein GetriebeA vertical longitudinal slide frame 25 is arranged on the horizontal longitudinal slide 24 and a vertical guide slide device 23 is arranged on this, by means of which the vertical slide plate 26 and the horizontal support plate 18 attached to it can be moved in the vertical axis Z. A guide slide motor 7 is provided for driving this vertical movement, which is driven via a gear

»ir^s4 cii ti 7a)inT- &iacgr; I &tgr;&ogr;&iacgr; A auf &agr; &idiagr; r> £* 7 ^\\v\ &agr; \ &Aacgr;&eegr; elc* O AT-«V»£»i 4-0-1- itf &iacgr; &ogr; aim»ir^s4 cii ti 7a)inT- &iacgr; I &tgr;&ogr;&iacgr; A on &agr;&idiagr;r> £* 7 ^\\v\ &agr; \ &Aacgr;&eegr; elc* O AT-«V»£»i 4-0-1- itf &iacgr;&ogr; aim

Fi". 4 ersichtlich ist. Miftels dieser Einrichtung kann die horizontale Trägerplatte 1&THgr; mit dem Paddel 13 betriebsmäßig abgesenkt und angehoben werden_; was zum Absetzen der Horden im Ofenrohr 12 im "softlanding"-Systembetrieb erforderlich ist.Fi". 4 can be seen. By means of this device, the horizontal carrier plate 1Θ can be lowered and raised with the paddle 13 _; this is necessary for setting down the trays in the furnace pipe 12 in "soft landing" system operation.

Auf der horizontalen Trägerplatte 18 ist die Paddelha1terung 16/17 um die B- und C-Achse schwenk- und kippbar und dadurch feinjustierbar gelagert. Die Paddelhaiterung besteht aus einem Unterteil 17, auf welche., das Oberteil 16 unter Vorspannung aufgeschraubt ist. Zwischen Unter- und Oberteil 16/17 ist der rohrförmige Paddel-Schaft 14 eingespannt, derThe paddle holder 16/17 is mounted on the horizontal support plate 18 so that it can be swiveled and tilted around the B and C axes and is therefore finely adjustable. The paddle holder consists of a lower part 17 onto which the upper part 16 is screwed under pre-tension. The tubular paddle shaft 14 is clamped between the lower and upper parts 16/17, which

Wie aus Fig. 5 hervorgeht, ist in die horizontale Trägerplatte 18 wälzgelagert mittels eines Spurlagers 20 ein Drehteller 19 eingelassen, dessen Drehachse vertikal in der mit B bezeichneten Z—Achse verläuft. In desi Drehtr' iti 19 ist eine horizontale V—Nut 22 angeordnet, in welche eine Wälzkörperreihe 21 aufgenommen ist, die in einer Gegen-V-Nut im Unterteil der Paddelha1terung ihr Widerlager findet. Dadurch ist in der horizontalen Kippachse C mittels dieser Wälzlagenmg 20 eine Kippbarkeit und um die B-Achse eine Schwenkbarkeit ermöglicht, welche zur Feinjustierung der Paddelfilhrung in der X-Achse dient.As can be seen from Fig. 5, a rotary plate 19 is mounted in the horizontal support plate 18 by means of a roller bearing 20, the axis of rotation of which runs vertically in the Z axis designated by B. A horizontal V-groove 22 is arranged in the rotary plate 19, in which a row of rolling elements 21 is accommodated, which finds its abutment in a counter-V-groove in the lower part of the paddle holder. This enables tilting in the horizontal tilting axis C by means of this roller bearing 20 and pivoting around the B axis, which serves for fine adjustment of the paddle guide in the X axis.

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Zur Durchführung dieser Justierung, d. h. zur präzisen Ausrichtung der X-Achse der Paddel führung zur Ofenrohrmitte dient ein Laserstrahler 32, der mittels einer Halterung 31 in den rohrförmigen Paddel-Schaft 14 eingesetzt werden kann. Ferner wird zum Justieren in das Ofenrohr 12 an beiden Enden eine Justierscheibe 33 eingesetzt, die mit einer feinen Zentralbohrung 34 versehen ist, auf welche der Laserstrahl ausgerichtet wird. Dies geschieht durch Verstellen der hier beschriebenen Verstellmöglichkeiten. Mittels nicht dargestellter Verschraubungen wird nun das Padde1-Halterungs-Untertei1 17 gegen die horizontale Trägerplatte 18 verspannt, so daß die Paddel führung präzise auf die Ofenrohrmitte ausgerichtet ist.To carry out this adjustment, i.e. to precisely align the X-axis of the paddle guide to the stove pipe center, a laser emitter 32 is used, which can be inserted into the tubular paddle shaft 14 using a holder 31. In addition, an adjusting disk 33 is inserted into the stove pipe 12 at both ends for adjustment, which is provided with a fine central hole 34, onto which the laser beam is aligned. This is done by adjusting the adjustment options described here. The paddle holder lower part 17 is now clamped against the horizontal support plate 18 using screw connections (not shown), so that the paddle guide is precisely aligned to the stove pipe center.

Wie weiterhin aus den Fig. 3, 4 und 6 hervorgeht, ist das Ofenrohr 12 mittels der Rohrhalterung 49 am Montagegestell 1 befestigt. Die zufUhrungsseitige Ofenrohr-Öffnungskante 41 wird durch die Torverschlußscheibe 42 verschlossen. Die Torverschlußscheibe 42 ist mittels des verstellbaren Schwenkarms 46 um den Schwenkbolzen 54 schwenkbar gelagert. Der Schwenkarm 46 ist mit dem Schwenkhebel 51 drehfest verbunden, der an die Kolbenstange 52 des im Gestellaueleger 55 untergebrachten pneumatischen Kolbentriebwerks 53 angelenkt ist. Die Torverschlußscheibe 42 ist mit vier stabförmigun Haltearmen 48 an einem Torverschlußträger 44 befestigt, der mit dem verstellbaren Schwenkarm 46 in Verbindung steht. Die stabförmigen Haltearme 48 sind mit querschnittsvermindernder Einschnitten 45 versehen, welche beidseitig abwechselnd angebracht sind, so daß diese Haltearme 48 elastisch verformbar Bind und ein RUckste1lmoment in ihre entspannte Normal-Inge aufweisen. Infolge dieser nachgiebigen Aufhängung kannAs can also be seen from Fig. 3, 4 and 6, the stove pipe 12 is attached to the assembly frame 1 by means of the pipe holder 49. The feed-side stove pipe opening edge 41 is closed by the gate closure disc 42. The gate closure disc 42 is pivotally mounted about the pivot pin 54 by means of the adjustable pivot arm 46. The pivot arm 46 is connected in a rotationally fixed manner to the pivot lever 51, which is articulated to the piston rod 52 of the pneumatic piston drive 53 housed in the frame extension 55. The gate closure disc 42 is attached to a gate closure carrier 44 by means of four rod-shaped holding arms 48, which is connected to the adjustable pivot arm 46. The rod-shaped holding arms 48 are provided with cross-section-reducing incisions 45, which are arranged alternately on both sides, so that these holding arms 48 are elastically deformable and have a restoring moment in their relaxed normal position. As a result of this flexible suspension,

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sich die Torverschlußscheibe 42 unter leichtem Andruck dichtend an die Ofenrohr-Öffnungskante 41 anlegen, auch wenn letztere nicht genau plan zur Ofenrohrlängsachse X verläuft.the gate closure disk 42 should be placed under light pressure to form a seal against the stove pipe opening edge 41, even if the latter is not exactly flush with the stove pipe longitudinal axis X.

In der Fig. 3 ist die Vorrichtung dargestellt, wie sie für den "cantilever"-Betrieb eingerichtet ist. Bei dieser Arbeitsweise verbleibt das Paddel 13 mit den auf diesem aufgereiht ruhenden Horden 10 während des Prozesses im Ofenrohr 12. Um dlases zu verschließen ist die Einrichtung derart getroffen, daß die Schiebebllchse für den Torverschluß 47 auf den Paddel-Schaft 14 aufgesetzt wird. Dies ist ohne weiteres möglich, weil der Paddel-Schaft 14 aus der Paddel-Halterung 16, 17 herausgenommen werden kann. Mit der Schiebebüchse ist mittels des Torverschlußträgers 50 und der stabförmigen Haltearme 48 die Torverschlußscheibe 42 nachgiebig verbunden, und die Schiebeblichse mit der Torverschlußscheibe kann nun von Hand - oder falls erforderlich auch mittels eines Antriebs - auf die Ofenrohr-Öffnungskante 41 geschoben und diese damit verschlossen werden.Fig. 3 shows the device as it is set up for "cantilever" operation. In this mode of operation, the paddle 13 with the trays 10 resting on it remains in the furnace pipe 12 during the process. In order to close this, the device is designed in such a way that the sliding bush for the gate closure 47 is placed on the paddle shaft 14. This is easily possible because the paddle shaft 14 can be removed from the paddle holder 16, 17. The gate closure disk 42 is flexibly connected to the sliding bush by means of the gate closure carrier 50 and the rod-shaped holding arms 48, and the sliding bush with the gate closure disk can now be pushed by hand - or if necessary by means of a drive - onto the furnace pipe opening edge 41 and thus closed.

KURT ALLGEIER, Patentanwalt, D-7Bfea »lie isn feld «in· I^:, ! X ' KURT ALLGEIER, patent attorney, D-7Bfea »lie isn feld «in· I ^: , ! X ' ** AKTE - CASEFILE - CASE STICHWORT - kev-wordKEYWORD - kev-word « · Il ] I Il« · Il ] I Il _tt ANMELDERAPPLICANT BENENNUNG / DESIGNATIONDESIGNATION BEZUGS-ZEICHEN-LISTS Bl.REFERENCE SIGN LISTS Bl. 5470 DE5470 EN • · · Il I• · · Il I
; ; ■»; ; j ,■; ; ■»; ; j ,■ ·'·' OWIS GmbH, 7613 StaufenOWIS GmbH, 7613 Staufen POS.POS. BENENNUNG / DESIGNATIONDESIGNATION POS.POS. 11 Montagegeste 1 1Assembly gesture 1 1 5959 22 FUhrungs trägerLeaders 6060 33 SchieberfUhrungsmotorSlide guide motor 6161 44 ZahnriemenritzelTiming belt pinion 6262 55 UmlenkrolleDeflection pulley 6363 66 ZahnriemenTiming belt 6464 77 FUhrungsschieber-MotorGuide slide motor 6565 &thgr;&thetas; ZahnritzelPinion 6666 99 ZahnstangenRacks 6767 1010 HordenHordes 6868 1111 HordenfußHorde foot 6969 1212 OfenrohrStovepipe 7070 1313 Paddelpaddle 7171 1414 Paddel-SchaftPaddle shaft 7272 1515 Schieberführung horizont.Slide guide horizont. 7373 1616 Paddel-HaHering OberteilPaddle-HaHering top 7474 1717 Paddel-Halterune Untert.Paddle holder sub. 7575 1818 Tr-iperplatte an 26Tri-iper plate on 26 t vi t vi 1919 DrehtellerTurntable 7777 2020 Spur-WälzlagerTrack roller bearings 7070 2121 Nut-WälzlagerGroove rolling bearings 7979 2222 V-NutenV-grooves 8080 2323 FUhrungsschieber vertikalGuide slide vertical 8181 2424 Längsschieber zu 15Longitudinal slide to 15 8282 2525 Längsschieber-RahmenLongitudinal slide frame 8383 2626 Vertikal schieberplatteVertical slide plate 8484 2727 8585 2828 8686 2929 8787 3030 8888 3131 Halterung/LaserstrahlerBracket/laser emitter 8989 3232 LaserstrahlerLaser emitter 9090 3333 JustierscheibeAdjustment disc 9191 3434 ZentralbohrungCentral bore 9292 3535 9393 3636 9494 3737 9595 3838 9696 3939 9797 4040 9898 4141 Ofenrohr-ÖffnungskanteStove pipe opening edge 9999 4242 TorverschlußscheibeGate locking disc 4343 öffnungsbereichopening area 4 44 4 TorverschlußträgerGate locking carrier 4545 Einschnittincision 4646 verstellbarer Schwenkarmadjustable swivel arm 4747 SchiebebilchseSliding screen 4848 stabförmiger Haltearmrod-shaped holding arm 4949 Rohrha1terungPipe holder 5050 Torverschlußträger zu 47Gate lock carrier for 47 5151 SchwenkhebelSwivel lever 5252 KolbenstangePiston rod 5353 KolbentriebwerkPiston engine 5454 SchwenkbolzenPivot bolt 5555 GestellauslegerFrame boom 5656 OberkanteTop edge 5757 * · · ■* · · ■ 5858 &igr; &igr;&igr;&igr;

Claims

OWIS GmbH 5470 DE

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Device on an oxidation or diffusion furnace

Expectations

1. Device on an oxidation or diffusion furnace system for semiconductor production for loading and closing the furnace tube of the system with the semiconductor wafers held in trays by means of a motor-driven paddle that can be moved in the horizontal X-axis and vertical Z-axis, the slide guide of which can be adjusted to the X-axis of the furnace tube, (•characterized by

a) Hordes (10) with four fins (11) arranged in pairs on both sides, projecting downwards and resting in the stove pipe (12), which can be grasped by the paddle (13) directly centrally underneath,

b) a paddle holder (16, 17) designed for the exchangeable fastening of the tubular paddle shaft (14) and arranged on a slide guide (15) running in the X-axis, which can be adjusted about a horizontal Y-axis transverse to the X-axis, tilted about a likewise horizontal C-axis transverse to the X-axis and also pivoted about a vertical B-axis transverse to the X-axis and can be fixed in one or more of these adjustment positions used for adjustment,

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c) on the slide guide (15) that can be moved in the X-axis, a guide slide (23, 26) that can be moved in the Z-axis and that is connected to the paddle holder (16, 17),

d) a horizontal support plate (18) attached to the guide slide (23, 26) of the Z-axis, with a paddle holder (17) mounted on this, between which a

.~t I_n » &iacgr; _{n n} >.~t I _n » &iacgr; _nn >

&ngr; in &ugr;&igr;&igr;&igr;&ugr;&igr;&ngr; in &ugr;&igr;&igr;&igr;&ugr;&igr;

II. A rotary plate (19) is embedded, which is provided with a roller bearing (21) in the (-axis horizontally and transversely to the B-axis, around which the paddle holder (17) can be tilted.

e) Screw connections for fixing the paddle holder (17) after adjustment to the stove pipe (12) by means of the laser emitter (32) relative to the carrier plate (18) in the swaying and tilting positions in the B and C axes, by means of which the paddle holder (17) and carrier plate (18) can be clamped together.

&Ggr;&idiagr; u C it &eegr;&idiagr;&idiagr;&ogr;^&igr; uCii &lgr;. t g^irv^^nriSOiCuriS'- uui ^u &lgr;. * &igr;&Ggr;&idiagr; u C it &eegr;&idiagr;&idiagr;&ogr;^&igr; uCii &lgr;. t g^irv^^nriSOiCuriS'- uui ^u &lgr;. * &igr;

tubular paddle shaft ^1A) axially centered insertable holders (31) of a laser emitter (32) and two adjusting disks (33) which can be inserted axially centered in the furnace pipe (12) at a distance from one another, each with a fine central bore (34).

3. Device according to claim 2, characterized by a

pneumatically or motor-driven and controllable, can be swung out laterally from the opening area (43) of the furnace pipe (12), can be adjusted in the vertical plane in both axes (Y and Z axes) and can be flexibly positioned.

- A3 -

- A 3 - 5470 EN

A/ze

larorte, the gate locking disc (42) which lies flush with the stove pipe opening edge (41).

4. Device according to claim 3, characterized by a device which can be placed on the tubular paddle shaft (14) and

The gate closure disk (42) is axially guided and longitudinally displaceable and lies flat against the stove pipe opening edge (41), which is flexibly mounted in both axes (Y and Z axes).

5. Device according to claim _{1 1} , characterized in that the door locking disc (42) by means of at least three

circumferentially distributed, elastically spring-loaded holding arms (48) are attached to a gate locking flange (44).

6. Device according to claim 5, characterized in that the rod-shaped holding arms (48) are provided with several successive cross-section-reduced incisions (45) alternating on both sides.

7. Device according to claim 5, characterized in that the gate closure carrier (44) is attached to a pneumatically driven

and adjustable swivel arm (46) and can be adjusted in the X-axis by means of another pneumatic drive.

8. Device according to claim 5, characterized in that the gate closure carrier (49) is designed as a tubular

A sliding sleeve (47) is designed to be attached to the paddle shaft (14).

-A4-

- A 4 - 5470 &Ggr;,&Egr;

A/ze

9. Device according to claim 1, characterized in that

the half-shell-shaped paddle (13) with its both sides upper edges (56) grips the two-sided feet (il) of the horde in the area of their foot supports, and that the foot supports form an angle of between 100° and 130° to each other and to the center of the wafer disks in the X-axis.