DE8815370U1 - Sensors, especially for determining components in flowing gases - Google Patents
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Description
• ··
S. 22250
30.11.1988 St/Pip. 22250
30.11.1988 St/Pi
Keßfühler, insbesondere zur Bestimmung von Bestandteilen in strömenden Gasen Keß sensor, especially for determining components in flowing gases
Die F*findung geht aus von einem Meßfühler, insbesondere zur Bestinmung vcn Bestandteilen in strömenden Gasen nach der Gattung des Hauptanspruchs. Derartige Meßfühler, die ein Trägerplättchen für mindestens ein Sensorelement und mindestens ein schichtförmiges Heizelement aufweisen, sind bereits durch die EP-A-O 167 297 bekannt geworden. Das Sensorelement und das Heizelement üind «& gegenüberliegenden Seiten des Tragerplattchens angeordnet. Das Heizelement besteht aus schleifen- oder mäanderförmigen Leiterbahnen mit zur Plättchenmitte hin vergrößertem Leiterbahnquerschnitt, der durch unterschiedliche Leiterbahnbreite bei gleicher Dicke oder durch unterschiedliche Dicke der Leiterbahnen bei gleicher Breite und gleichem Zsolationsabstand derselben erzielt ist. Durch diese Ausgestaltung sorgt das Heizelement im Bereich des Sensorelements für ausgeglichene thermische Verhältnisse. Es schützt den zentralen Teil der beheizten Region gegen überhitzung und wirkt dadurch dem Entstehen von thermisch bedingten Brüchen und Spannungsrissen im Trägerplättchen entgegen. Gewisse Schwierigkeiten bestehen darin, die Form des mit zwei Außenanschlüssen versehenen Heizelements an dieThe invention is based on a measuring sensor, in particular for determining components in flowing gases according to the preamble of the main claim. Such measuring sensors, which have a carrier plate for at least one sensor element and at least one layered heating element, are already known from EP-A-0 167 297. The sensor element and the heating element are arranged on opposite sides of the carrier plate. The heating element consists of loop- or meander-shaped conductor tracks with a conductor track cross-section that increases towards the center of the plate, which is achieved by different conductor track widths with the same thickness or by different thicknesses of the conductor tracks with the same width and the same insulation distance between them. Due to this design, the heating element ensures balanced thermal conditions in the area of the sensor element. It protects the central part of the heated region against overheating and thus counteracts the formation of thermally induced fractures and stress cracks in the carrier plate. Certain difficulties exist in adapting the shape of the heating element, which has two external connections, to the
_ 2 - K. 22250_ 2 - K. 22250
• jeweilige Elektrodenform des Sensorelements so anzupassen, daß eine• to adapt the respective electrode shape of the sensor element so that
gleichmäßige Beheizung der Elektroden mit geringem Härmeverlust ge-uniform heating of the electrodes with low heat loss
i' währleistet ist.i' is guaranteed.
' Vorteile der Erfindung' Advantages of the invention
Der erfindungsgemäße Meßfühler mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorheil, daß die Form des Heiz-&iacgr; f\ elements in optimaler Heise an die jeweilige Form des SensorelementsThe sensor according to the invention with the characterizing features of the main claim has the advantage that the shape of the heating element can be optimally adapted to the respective shape of the sensor element .
angepaßt werden kann, ohne daß eine Überhitzung des zentralen Teilscan be adjusted without overheating the central part
der beheizten Region zu befürchten ist. So können, abhängig von derthe heated region. Depending on the type of heat,
f Formgebung der Elektroden des Sensorelements runde, ovale oderf Shape of the electrodes of the sensor element round, oval or
rechteckige Heizspulen mit archimedischem oder logarythmischem Ver-rectangular heating coils with Archimedean or logarithmic
\ lauf verwendet werden, wobei die Spule jeweils mit einem dur inneren \ run, whereby the coil is provided with a durably inner
'. Leiterbahn bzw. der äußeren Leiterbahn zugeordneten Anschluß versehen
ist. Damit ist eine thermisch ausgewogene Beheizung der gesamten, vom Heizelement überdeckten Fläche des Tsägerplättchens mit geringen
Härmeverlusten gewährleistet.
i '. conductor track or the outer conductor track. This ensures thermally balanced heating of the entire surface of the saw plate covered by the heating element with minimal heat loss.
i
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor- <> teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im HauptanspruchThe measures listed in the subclaims provide for <> Partial further developments and improvements of the main claim
angegebenen Meßfühlers möglich. Besonders vorteilhaft ist es, zwisehen den Leiterbahnen des Heizelements und den Elektrodea des Sensorelements eine mit den Leiterbahnen elektrisch verbundene Masseelektrode anzuordnen. Diese Masseelektrode bewirkt eine Abschirmung gegenüber den Elektroden des Sensorelements, so daß keine Beeinflussung des Potentials der Sensorelektroden durch das Potential des Heizelements, auch bei einer Unterbrechung der Leiterbahnen erfolgen kaaa. Vorzugsweise sind hierzu die Masseelektrode des Heizelements und die Elektroden des Sensorelements als Vollflächenelektroden von zumindest annähernd gleicher Form und Größe ausgebildet.It is particularly advantageous to arrange a ground electrode that is electrically connected to the conductor tracks between the conductor tracks of the heating element and the electrodes of the sensor element. This ground electrode provides a shield against the electrodes of the sensor element, so that the potential of the sensor electrodes is not influenced by the potential of the heating element, even if the conductor tracks are interrupted. For this purpose, the ground electrode of the heating element and the electrodes of the sensor element are preferably designed as full-surface electrodes of at least approximately the same shape and size.
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- 3 - K. 22250- 3 - K. 22250
Zeichnungdrawing
lin Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert· Es | seigen Figur 1 einen erfindungsgemäß ausgebildeten Meßfühler in einem Längsschnitt/ Figur 2 das Heiselement des Meßfühlers in einer Draufsicht. jAn embodiment of the invention is shown in the drawing and explained in more detail in the following description. Figure 1 shows a sensor designed according to the invention in a longitudinal section / Figure 2 shows the heating element of the sensor in a top view. j
sauerstoffionenleitenden Festelektrolytan, wie z.B. Zirkondioxyd, besteht und als aktives Bauteil von Sauerstoffsensoren dient. Die |oxygen ion-conducting solid electrolyte, such as zirconium dioxide, and serves as an active component of oxygen sensors. The |
eine Großseite des Plättchens 1 ist mit 2 und die andere mit 3 be- 'one large side of the plate 1 is marked with 2 and the other with 3.
zeichnet. Auf die Größseite 2 ist eine Meßelektrode 4 und auf die ;On the large side 2 there is a measuring electrode 4 and on the ;
besteht dabei aus einer Platinmetallschicht und die Besugselektrode aus einer Goldschicht. Die Dicke jeder Schicht liegt in der Größenordnung von etwa 7 um. Die Meßelektrode 4 ist dem nicht dargestellten Meßgas ausgesetzt. Die Elektroden 4 und 5 sind im Ausführungsbeispiel als kreisscheibenförmige Vollfllcheneiektroäen gleicher Größe ausgebildet, die in ihrer Projektion senkrecht zum Trägerplättchen 1 übereinanderliegen. Jede Elektrode hat eine Anschluß-Leiterbahn 6 bzw. 7, die aus dem gleichen Material besteht wie die Elektrode,consists of a platinum metal layer and the diffraction electrode of a gold layer. The thickness of each layer is in the order of magnitude of about 7 µm. The measuring electrode 4 is exposed to the measuring gas (not shown). In the exemplary embodiment, the electrodes 4 and 5 are designed as circular disk-shaped full-surface electrodes of the same size, which lie one above the other in their projection perpendicular to the carrier plate 1. Each electrode has a connecting conductor track 6 or 7, which is made of the same material as the electrode,
? chemische Zelle und erzeugt eine vom Sauerstoff-Partialdruck des I ? chemical cell and produces a gas that depends on the oxygen partial pressure of the I
Um eine genaue und zuverlässige Arbeitsweise der Zelle auch dann sicherzustellen, wenn die Temperatur des Meßgases relativ niedrig |To ensure accurate and reliable operation of the cell even when the temperature of the measuring gas is relatively low |
ist, hat der Meßfühler ein schichtförmiges Heizelement 8, mittels '-the sensor has a layered heating element 8, by means of '-
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- 4 - R. 22250- 4 - R.22250
welchem die Temperatur des Tragerplattchens und der Elektroden 4, 5 angehoben werden kann. Das Heizelement &bgr; hat zwei Anschluß-Leiterbahnen 9, 10/ die mit je einem Pol einer nicht dargestellten Spannungsquelle verbunden sind. Heizelement und Leiterbahnen sind beispielsweise im Druckverfahren auf eine Isölierstoffolie 11 aufgebracht. Diese besteht im Ausführungsbeispiel aus einer Keramikschicht 12, beispielsweise aus Aluminiumoxyd oder Zirkondioxyd, die beiderseits mit einer Schicht 13 bsw. 14 aus einem isolierendenwhich the temperature of the carrier plate and the electrodes 4, 5 can be raised. The heating element β has two connecting conductor tracks 9, 10/, each of which is connected to a pole of a voltage source (not shown). The heating element and conductor tracks are, for example, applied to an insulating film 11 using a printing process. In the exemplary embodiment, this consists of a ceramic layer 12, for example made of aluminum oxide or zirconium dioxide, which is covered on both sides with a layer 13 or 14 made of an insulating
(■ Material belegt ist. Auf die Schicht 13 ist die mit Masse verbundene (■ material. The layer 13 is covered with the grounded
Leiterbahn 9 des Heizelements 8 aufgedruckt, während auf der gegenüberliegenden Isolierschicht 14 die Leiterbahn 10 und das Heiselement 8 angebracht sind. Die an Masse liegende Leiterbahn 9 ist im Bereich der Elektroden 4, 5 des Sensorelements als vollflächige Kreisscheibe 15 ausgebildet, deren Form und Größe zumindest annähernd derjenigen der Sensorelektroden 4, 5 entspricht. Diese Masseelektrode 15 schirmt die Sensorelektroden 4, 5 gegenüber dem Heizelement 8 ab und verhindert eine Beeinflussung des Potentials der Sensorelektroden durch das Potential des Heizelements.Conductor track 9 of the heating element 8 is printed on, while the conductor track 10 and the heating element 8 are attached to the opposite insulating layer 14. The conductor track 9, which is connected to ground, is designed in the area of the electrodes 4, 5 of the sensor element as a full-surface circular disk 15, the shape and size of which at least approximately corresponds to that of the sensor electrodes 4, 5. This ground electrode 15 shields the sensor electrodes 4, 5 from the heating element 8 and prevents the potential of the sensor electrodes from being influenced by the potential of the heating element.
Die Isolierstoffolie 11 ist über eine isolierende Zwischenschicht mit der öroöseite 3 des xrägerpiättchens 1 verouaueB.The insulating film 11 is connected to the outer side 3 of the carrier plate 1 via an insulating intermediate layer.
Das Heizelement 8 und die Anschlüsse 9, 10 bestehen aus elektrisch leitenden Bahnen mit vorgegebenem Querschnitt. Die Leiterbahnen können aus einer Mischung von Elementen der Platingruppe und einem keramischen Material bestehen. Die Anschluß-Leiterbahnen 9, 10 und die Leiterbahnen des Heizelements &bgr; haben unterschiedliehe elektrische Widerstandswerte. Im einzelnen haben die Leiterbahnen 9, 10 einen erheblich größeren Querschnitt als die Leiterbahnen des Heizelements 8. Dadurch werden die Leiterbahnen des Heizelements 8 beim Stromdurchfluß stärker erwärmt als die Anschluß-Leiterbahnen 9, 10.The heating element 8 and the connections 9, 10 consist of electrically conductive tracks with a predetermined cross-section. The conductor tracks can consist of a mixture of elements from the platinum group and a ceramic material. The connection conductor tracks 9, 10 and the conductor tracks of the heating element β have different electrical resistance values. In particular, the conductor tracks 9, 10 have a considerably larger cross-section than the conductor tracks of the heating element 8. As a result, the conductor tracks of the heating element 8 are heated more strongly when current flows through them than the connection conductor tracks 9, 10.
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- 5 - S. 22250- 5 - p. 22250
Wie aus Figur 2 ersichtlich, ist das Heizelement 8 als flächenhafte Spule mit spiralförmiger Konfiguration der Leiterbahnen ausgebildet« wobei der Querschnitt dor Leiterbahnen von innen nach außen abnimmt. Damit wird einerseits eine optimale Anpassung des Heiselements an die Form und Größe der Elektroden 5» 6 des Sensorelements ermöglicht und andererseits eine gleichmäßige Beheisung der Sensorelektroden sichergestellt.As can be seen from Figure 2, the heating element 8 is designed as a flat coil with a spiral configuration of the conductor tracks, with the cross section of the conductor tracks decreasing from the inside to the outside. This enables, on the one hand, an optimal adaptation of the heating element to the shape and size of the electrodes 5» 6 of the sensor element, and, on the other hand, ensures uniform heating of the sensor electrodes.
„ Im Ausführungsbeispiel besteht das Heizelement &bgr; aus drei konsen-„ In the embodiment, the heating element &bgr; consists of three consensual
trisch zueinander angeordneten, ringförmigen Leiterbahnen 17, IB und 19, die unterschiedliche Radien haben. Die den größten Radius aufweisende Leiterbahn 17 hat ihren Anfang in der Anschlußleiterbahn 10 und geht in die mittlere Leiterbahn 18 über. Das Ende der mittleren Leiterbahn wiederum ist mit dem Anfang der inneren Leiterbahn 19 verbunden. Die Übergangszonen swischen den Leiterbahnen sind mit 20 bsw. 21 bezeichnet. Die gezeigte Ausbildung des Heiselements kann als Stufenspirale bezeichnet werden, bei welcher swischen konzentrisch zueinander angeordneten Leiterbahnen jeweils ein stufenförmiger Übergang vorhanden ist. Der Außendurchmesser der äußeren Leiterbahn 17 entspricht dabei zumindest annähernd dem Außendurchmes-SeE &iacgr;&bgr;&Ggr; MäääBölöktrode IS üüä der Sssscrslsfctrcdss 4, E.trically arranged, ring-shaped conductor tracks 17, 1B and 19, which have different radii. The conductor track 17, which has the largest radius, starts in the connecting conductor track 10 and continues into the middle conductor track 18. The end of the middle conductor track is in turn connected to the start of the inner conductor track 19. The transition zones between the conductor tracks are designated 20 and 21. The design of the heating element shown can be described as a step spiral, in which there is a step-shaped transition between conductor tracks arranged concentrically to one another. The outer diameter of the outer conductor track 17 corresponds at least approximately to the outer diameter of the electrode IS of the conductor 4, E.
Das Ende der inneren Leiterbahn 19 ist mittels eines kreissegmentförmigen Querschnitt aufweisenden Zwischenstücks 22 mit der Masseelektrode 15 elektrisch leitend verbunden. Für das Zwischenstück 15 ist in der Isolierstoffolie 11 im Zentrum des Heizelements 8 «in kreisförmiger Durchbruch 23 (Figur 1) ausgebildet.The end of the inner conductor track 19 is electrically connected to the ground electrode 15 by means of an intermediate piece 22 with a circular segment-shaped cross section. A circular opening 23 (Figure 1) is formed for the intermediate piece 15 in the insulating film 11 in the center of the heating element 8.
Erfindungsgemäß nimmt der Querschnitt der Leiterbahnen 17, IS, 19 des Heizelements 8 von innen nach außen ab. Zm Ausführungsbeispiel haben alle Leiterbahnen die gleiche Dicke und den gleichen spezifischen Widerstand. Die Querschnittsabnahme ist dadurch erreicht, daß die Leiterbahnen bei gleichem Isolationsabstand unterschiedlicheAccording to the invention, the cross-section of the conductor tracks 17, IS, 19 of the heating element 8 decreases from the inside to the outside. In the embodiment, all conductor tracks have the same thickness and the same specific resistance. The reduction in cross-section is achieved by the conductor tracks having different insulation distances at the same
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- 6 - R. 222B0- 6 - R.222B0
Breite haben. Die innere Leiterbahn 19 hat die größte Breite/ während die Breite der äußeren Leiterbahn 17 etwa halb so groß ist wie diejenige der Leiterbahn 19 und die Breite der mittleren Leiterbahn 18 größer ist ala die Breite der äußeren Leiterbahn jedoch Meiner ala diejenige der inneren Leiterbahn. Jede Leiterbahn iat durchgehend gleich breit. Der tibergang auf eine Leiterbahn andererwidth. The inner conductor track 19 has the greatest width, while the width of the outer conductor track 17 is about half as large as that of the conductor track 19 and the width of the middle conductor track 18 is larger than the width of the outer conductor track, but smaller than that of the inner conductor track. Each conductor track is the same width throughout. The transition to a conductor track of another
, Breite erfolgt sprunghaft im Bereich der Zonen 20, 21. Alternativ, width occurs in jumps in the area of zones 20, 21. Alternatively
't biersu könnte die Breite der Leiterbahnspiraie auch Kontinuierlich 't biersu could also make the width of the conductor spiral continuous
i-v von innen nach außen abnehmen. Außerdem könnte das Heiselement/ abhängig von der Form der Sensorelektroden, auch ovale oder rechteckige Spiralen haben, deren Querschnitt durch Veränderung der Leiterbahnbreite bei gleicher Dicke oder der Leiterbahndicke beii-v decrease from the inside to the outside. In addition, the heating element could also have oval or rectangular spirals, depending on the shape of the sensor electrodes, whose cross-section can be changed by changing the conductor width at the same thickness or the conductor thickness at
j gleicher Breit« von innen nach außen abnimmt. In jedem Falle sindj same width« decreases from the inside to the outside. In any case,
t die Parameter der Heizspirale 8 (spezifischer Widerstand, Quer-t the parameters of the heating coil 8 (specific resistance, cross-
schnitt und Isolationsabstand der Leiterbahnen) so gewählt, daß eine gleichmäßige, flächenhafte Erwärmung der Sensorregion, insbesondere auch des zentralen Bereichs derselben, gewährleistet ist.cross-section and insulation distance of the conductor tracks) are selected so that a uniform, surface heating of the sensor region, in particular also of the central area thereof, is guaranteed.
Claims (7)
strömenden Gasen, mit einem keramischen oder teilweise aus Keramik
bestehenden Trägerplättchen für mindestens ein su beheizendes Sensorelement und mindestens ein davon elektrisch isoliertes, schichtförmiges Heizelement, die in ihrer Projektion senkrecht zum Trägerplättchen zumindest teilweise übereinanderliegen, wobei die Leiterbahnen des Heizelements einheitliche oder unterschiedliche Bahnbreite aufweisen, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement (8)
als flächenhafte Spule mit beliebiger, spiralförmiger Konfiguration der Leiterbahnen (17, 18, 19) ausgebildet ist, und daß der Querschnitt der Leiterbahnen von innen nach außen abnimmt.1. Measuring sensors, in particular for determining components in
flowing gases, with a ceramic or partially ceramic
consisting of carrier plates for at least one heated sensor element and at least one layered heating element electrically insulated therefrom, which lie at least partially on top of one another in their projection perpendicular to the carrier plate, the conductor tracks of the heating element having a uniform or different track width, characterized in that the heating element (8)
is designed as a planar coil with any desired spiral configuration of the conductor tracks (17, 18, 19), and that the cross-section of the conductor tracks decreases from the inside to the outside.
außen abnimmt·2. Sensor according to claim 1, characterized in that the cross section of the conductor tracks (17, 18, 19) changes abruptly from the inside to
decreases outside·
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| DE8815370U DE8815370U1 (en) | 1988-12-10 | 1988-12-10 | Sensors, especially for determining components in flowing gases |
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Family Applications (1)
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| DE8815370U Expired - Lifetime DE8815370U1 (en) | 1988-12-10 | 1988-12-10 | Sensors, especially for determining components in flowing gases |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| DE (1) | DE8815370U1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0480076A1 (en) * | 1990-09-13 | 1992-04-15 | Honeywell B.V. | Method and sensor for measuring oxygen partial pressure |
| EP1438572A2 (en) * | 2001-10-17 | 2004-07-21 | Robert Bosch Gmbh | Gas sensor |
| DE102009055261A1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-06-30 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Gas sensor i.e. lambda sensor, element for determining oxygen concentration in exhaust gas of internal combustion engine, has conductor producing heating zone with increased temperature, where outer contour of end section is adapted to zone |
-
1988
- 1988-12-10 DE DE8815370U patent/DE8815370U1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0480076A1 (en) * | 1990-09-13 | 1992-04-15 | Honeywell B.V. | Method and sensor for measuring oxygen partial pressure |
| EP1438572A2 (en) * | 2001-10-17 | 2004-07-21 | Robert Bosch Gmbh | Gas sensor |
| DE102009055261A1 (en) * | 2009-12-23 | 2011-06-30 | Robert Bosch GmbH, 70469 | Gas sensor i.e. lambda sensor, element for determining oxygen concentration in exhaust gas of internal combustion engine, has conductor producing heating zone with increased temperature, where outer contour of end section is adapted to zone |
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