DE8809825U1

DE8809825U1 - Device for measuring length

Info

Publication number: DE8809825U1
Application number: DE8809825U
Authority: DE
Original assignee: Hommelwerke GmbH
Current assignee: Jenoptik Industrial Metrology Germany GmbH
Priority date: 1988-08-02
Filing date: 1988-08-02
Publication date: 1989-11-30
Anticipated expiration: 1998-08-03

Description

Vorrichtung zur LängenmessungDevice for measuring length

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung der im Oberbegriff des Anspruchs 1 genannten Art zur Längenmessung.The invention relates to a device of the type mentioned in the preamble of claim 1 for measuring length.

Durch die DE-OS 36 30 887 ist eine Vorrichtung der betreffenden Art bekannt/ bei der die optische Einrichtung als Interferometer ausgebildet ist. Dieses benötigt grundsätzlich zwei verschiedene Hellenleiter, nämlich einen Meßwellenleiter und einen Bezugswellenleiter, die beide gekoppelt sind. Durch die beiden Wellenleiter ist die Vorrichtung verhältnismäßig kompliziert und teuer.A device of the type in question is known from DE-OS 36 30 887/ in which the optical device is designed as an interferometer. This basically requires two different waveguides, namely a measuring waveguide and a reference waveguide, both of which are coupled. The two waveguides make the device relatively complicated and expensive.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der betreffenden Art zu schaffen, bei der die optische Einrichtung vereinfacht und eine kostengünstigere Fertigung der Vorrichtung ermöglicht ist.The invention is based on the object of creating a device of the type in question in which the optical device is simplified and a more cost-effective manufacture of the device is possible.

Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebene Lehre gelöst.The problem underlying the invention is solved by the teaching specified in the characterizing part of claim 1.

Nach dieser Lehre ist nur ein Lichtleiter erforderlich. In diesem wird erfindungsgemäß eine stehende Welle erzeugt, die mit ihren Maxima und Minima eine Teilung in dem Lichtleiter darstellt, die mit den hell-dunkel StrichenAccording to this teaching, only one light guide is required. In this, a standing wave is generated according to the invention, which with its maxima and minima represents a division in the light guide, which is indicated by the light-dark lines

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eines inkrementalen Glasmaßstabes vergleichbar ist.of an incremental glass scale.

In diesen Lichtleiter mit der stehenden Welle wird das von dem Meßreflektor reflektierte Licht eingeleitet, so daß es sich mit den stehenden Wellen überlagert.Ändert sich die Phasenlage des von dem Meßreflektor kommenden Lichts dadurch, daß sich der Abstand des Meßreflektors von der optischen Einrichtung ändert, so ändert sich die Helligkeit an einem bestimmten We? entsprechend periodisch unter Berücksichtigung der Wellenlänge des verwendeten Lichts. Werden durch den fotoelektrischen Wandler, der beispielsweise eine Fotodiode sein kann, die periodischen Lichtschwankungen an dieser Stelle abgetastet, so läßt sich daraus unter Berücksichtigung der Wellenlänge des verwendeten Lichts ein Maß für die Änderung des Abstandes zu dem Meßreflektor gewinnen und anzeigen.The light reflected by the measuring reflector is introduced into this light guide with the standing wave so that it is superimposed on the standing waves. If the phase position of the light coming from the measuring reflector changes because the distance of the measuring reflector from the optical device changes, the brightness at a certain point changes periodically, taking into account the wavelength of the light used. If the periodic light fluctuations at this point are scanned by the photoelectric converter, which can be a photodiode, for example, a measure of the change in the distance to the measuring reflector can be obtained and displayed, taking into account the wavelength of the light used.

Die Einleitung des Lichts des Lasers in den LichtleiterThe introduction of the laser light into the light guide

kann in verschiedener Weise erfolgen. Besonders zweck-can be done in various ways. Particularly useful

mäßig ist es, einen der Spiegel teiltransparent auszubil-It is advisable to make one of the mirrors partially transparent.

t 20 den und das Licht des Lasers durch diesen Spiegel hindurch 'f in den Lichtleiter einzukopp^ln. Der Laser kann dabei un- t 20 and to couple the light from the laser through this mirror into the light guide. The laser can

mittelbar hinter dem Spiegel an diesem angebracht sein.be attached to the mirror indirectly behind it.

Die Einleitung des von dem Meßreflektor zurückgeworfenen Licht kann ebenfalls durch einen teiltransparent ausgebildeten 25 Spiegel erfolgen, wobei es zweckmäßig ist, für die Einleitung e des Lichts des Lasers den Spiegel am einen Ende des Licht-The introduction of the light reflected by the measuring reflector can also be carried out by a partially transparent mirror, whereby it is expedient to place the mirror at one end of the light-

p Leiters und für die Einleitung 3es Lichte des Meßreflektorsp conductor and for the introduction of the light of the measuring reflector

den Spiegel am anderen Ende des Lichtleiters zu verwenden, wobei dann beide Spiegel teiltransparent sind.to use the mirror at the other end of the light guide, whereby both mirrors are then partially transparent.

Der lichtelektrische Wandler kann praktisch an beliebiger ₍;^; Stelle des Lichtleiters angeordnet sein. Besonders zweck-The photoelectric converter can be arranged at practically any ₍ ; ^; position of the light guide. Particularly useful

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mäßig ist es aber, ihn entfernt von dem Ende des Lichtleiters anzuordnen, an dem sich der Laser befindet.However, it is advisable to place it away from the end of the light guide where the laser is located.

Die Einkopplung des Lichts des Lasers kann auch durch einen sehr einfach auszubildenden, zweiten lichtelektrischen Leiter erfolgen, in dessen eines Ende das Licht des Lasers strahlt, während das andere Ende optisch mit dem Lichtleiter gekoppelt ist, insbesondere d»r«=h Parallelführung oder durch eine schräge Einleitung mittels eines Y-Verzweigers.The coupling of the laser light can also be carried out by a very simple, second optical conductor, in one end of which the light from the laser shines, while the other end is optically coupled to the optical fiber, in particular by parallel guidance or by an oblique introduction using a Y-branch.

Ist nur ein lichtelektrischer Wandler vorgesehen, so läßt sich die Richtung der Änderung des Abstandes des Meßreflektors in an sich bekannter Weise dadurch feststellen, daß dasIf only one photoelectric converter is provided, the direction of the change in the distance of the measuring reflector can be determined in a known manner by

vorzugsweise modulierte Wechsel-preferably modulated alternating

spannungsausgangssignal des fotoelektrischen Wandlers in zwei um 90° zueinander verschobene Wechselspannungen aufgeteilt und so ein Drehfeld gebildet wird, aufgrund dessen die Bewegungsrichtung der Änderung feststellbar ist, wobei mit diesen Spannungen ein Vorwärts-Rückwärtszähler steuerbar ist.The voltage output signal of the photoelectric converter is divided into two alternating voltages that are shifted by 90° to each other, thus forming a rotating field that allows the direction of movement of the change to be determined, and these voltages can be used to control an up/down counter.

Dis srfindungsgsniäSe Ausbildung der optischen Einrichtung ermöglicht eine wesentliche Vereinfachung der Bildung der zwei um 90" zueinander verschobenen Spannungen. Hierzu wird gemaß einer Weiterbildung der Erfindung ein zweiter lichtelektrischer Wandler an den Lichtleiter entfernt von dem ersten Lichtleiter angekoppelt. Durch Einstellung der Länge des Lichtweges zwischen den Koppelpunkten zwischen den beiden lichtelektrischen Wandlern IaBt sich in einfacher Weise erreichen, daß deren Ausgangsspanflungen einen Phasenunterschied von 90° haben. Hit Hilfe dieser beiden phasenverschobenen Spannungen läßt sich dann ein Vorwärts-Rückwärtszähler betreiben. Zur Änderung des Lichtweges zwischen den Koppelpunkten ist es zweckmäßig,The design of the optical device according to the invention enables a significant simplification of the formation of the two voltages shifted by 90° to one another. For this purpose, according to a further development of the invention, a second photoelectric converter is coupled to the light guide at a distance from the first light guide. By adjusting the length of the light path between the coupling points between the two photoelectric converters, it is easy to ensure that their output voltages have a phase difference of 90°. With the help of these two phase-shifted voltages, an up-down counter can then be operated. To change the light path between the coupling points, it is expedient to

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Anlegen elektrischer Spannungen zugeordnete Elektroden die lichtmäßige Lange des Weges zwischen den Koppelpunkten zur Einstellung der 90°-Verschiebungen zu ändern, und zwar bei piezoelektrischem Material durch Einstellung des Brechungsindexes oder durch Änderung der mechanischen Länge.Applying electrical voltages to associated electrodes allows the optical length of the path between the coupling points to be changed in order to adjust the 90° displacements, in the case of piezoelectric material by adjusting the refractive index or by changing the mechanical length.

Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung ist das Lichtsignal in det Aiüplit.'üue aüfCn eine nüdüläciünswechseispahnürig moduliert, was mit Hilfe der an dem Lichtleiter vorgesehenen Elektroden bei Verwendung piezoelektrischen Materials keine Schwierigkeiten bereitet. Auf diese Weise erfolgen sämtlicheAccording to a further development of the invention, the light signal in the conductor is modulated to a voltage of 100 V, which presents no difficulties with the help of the electrodes provided on the light guide when using piezoelectric material. In this way, all

Vorgänge träger^frequent. Mechanisch kann die erfindungs-Processes are carrier-frequency. Mechanically, the inventive

gemäße Einrichtung in verschiedener Weise ausgebildet werden. Eine besonders einfache Ausführungsform ergibt sich dann, wenn der bzw. die Lichtleiter als Stab oder als Bahn in einer Platte ausgebildet sind. Im Falle des Stabes befinden sich die Spiegel an den Enden desselben, während im Falle einerThe device can be designed in various ways. A particularly simple embodiment is obtained when the light guide(s) are designed as a rod or as a track in a plate. In the case of a rod, the mirrors are located at the ends of the rod, while in the case of a Platte zwei parallel gegenüberliegende Kanten die Spiegel bilden, wobei sie zusätzlich verspiegelt sein können, zum Beispiel durch Aufdampfen eines entsprechenden Materials. Auf diese Weise lassen sich such die halbtrans'värejiteii Spiegel einfach herstellen.Plate has two parallel opposite edges that form the mirrors, whereby they can also be mirrored, for example by vapor deposition of a suitable material. In this way, the semi-transparent mirrors can also be easily manufactured.

Ist bei einer derartigen Ausführungsform das MaterialIf in such an embodiment the material

piezoelektrisch , so können die zur Einstellung der Längen zwischen den Koppelpunkten der beiden Dioden erforderlichen Elektroden unmittelbar an dem Stab bzw. auf der Platte benachbart zu der Lichtbahn angeordnet werden.piezoelectric, the electrodes required to adjust the lengths between the coupling points of the two diodes can be arranged directly on the rod or on the plate adjacent to the light path.

Die vorzugsweise als Fotodioden ausgebildeten fotoelektrischen Wandler können in einfacher Weise unmittelbar an den Enden des Stabes bzw. an den Kanten der Platte angebracht werden. Es ist aber auch möglich, sie seitlich an dem Stab bzw. auf der Oberfläche der Platte anzuordnen, weil immer ein Teil des LichtsThe photoelectric converters, preferably designed as photodiodes, can be easily attached directly to the ends of the rod or to the edges of the plate. However, it is also possible to arrange them on the side of the rod or on the surface of the plate, because part of the light durch die Begrenzungsfläche des Stabes bzw. der Platte hin-through the boundary surface of the bar or plate

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durchfällt und somit auf die Fotodioden gelangt. Der Stab oder die Platte können in an sich bekannter Heise aus Silizium, Lithiumniobat, Galliumarsenid oder Glas bestehen.falls through and thus reaches the photodiodes . The rod or plate can be made of silicon, lithium niobate, gallium arsenide or glass in a conventional manner.

Anhand der Zeichnung soll die Erfindung an Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail using exemplary embodiments with reference to the drawing.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung mit zwei Fotodetektoren auf Lithiumniobat und Lichteinkopplung über einem teiltransparenten Spiegel,Fig. 1 shows a first embodiment of the invention with two photodetectors on lithium niobate and light coupling via a partially transparent mirror,

Fig. 2 zeigt eine Abwandlung des Ausführungsbeispieles gemäß Fig. 1 mit Lichteinkopplung über einen zweiten Lichtleiter,Fig. 2 shows a modification of the embodiment according to Fig. 1 with light coupling via a second light guide,

Fig. 3 zeigt eine Abwandlung der Ausführungsform gemäß Fig. 2,Fig. 3 shows a modification of the embodiment according to Fig. 2,

Fig. 4 zeigt eine Ausführungsform ähnlich gemäß Fig.1Fig. 4 shows an embodiment similar to Fig.1

In den Figuren sind gleiche oder entsprechende Teile mit gleichen Bezugsziffern versehen.In the figures, identical or corresponding parts are provided with identical reference numerals.

Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem die optische Einrichtung in eine als Substrat dienende Platte 1 mit elektrischen Eigenschaften zum Beispiel aus Lithium niobat, intergriert ist. Ein als Halbleiter ausgebildeter Laser 2 dient als Lichtquelle und ist an die Kante der Platte 1 angekoppelt. Auf der Oberfläche in der Platte 1 sind fotoelektrische Wandler angebracht, die Licht aus einem Lichtleiter 9 abtasten. Fig. 1 shows an embodiment in which the optical device is integrated into a plate 1 serving as a substrate with electrical properties, for example made of lithium niobate. A laser 2 designed as a semiconductor serves as the light source and is coupled to the edge of the plate 1. Photoelectric converters are attached to the surface in the plate 1, which scan light from a light guide 9.

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der &idiagr; wischer» zwei teildurchlässigen Spie geln 6 und 7 im Inneren der Platte 1 optisch gebildet ist. Physikalisch bildet er einen Teil der Platte 1 . Die Fotodetektoren 3 und 4 wandeln das aufgefangene Licht in entsprechende elektrische Spannungen um, die einer Anzeigeeinrichtung zugeführt sind, die nicht dargestellt ist. Benachbart zu der durch den Lichtleiter 9 gebildeten Lichtbahn befinden sichThe "wiper" is optically formed by two partially transparent mirrors 6 and 7 inside the plate 1. Physically, it forms part of the plate 1. The photodetectors 3 and 4 convert the captured light into corresponding electrical voltages, which are fed to a display device, which is not shown. Adjacent to the light path formed by the light guide 9 are

"0 Elektroden 8 zum Anlegen einer Steuergleichspannung, um den optischen Weg zwischen den Koppelpunkten zwischen den Fotodetektoren 3 und 4 zu ändern, dergestalt, daß die Ausgangsspannungen der Fotodetektoren 3 und 4 eine Phasenlage von 90 ° zueinander haben."0 Electrodes 8 for applying a control DC voltage, in order to change the optical path between the coupling points between the photodetectors 3 and 4, in such a way that the output voltages of the photodetectors 3 and 4 have a phase position of 90° to each other.

In Verlängerung des Lichtleiters 9 über den teildurchlässigen Spiegel 7 hinaus befindet sich ein Meßreflektor 10 , der in Richtung eines Doppelpfeiles 10' hin- und herbeweglich ist, sich z. B. an einem Gegenstand befindet, dessen Abstandsänderung von der den ceildurchlässigen Spiegel 7 aufweisenden Kante der Platte i gemessen werden soll.In the extension of the light guide 9 beyond the partially transparent mirror 7 there is a measuring reflector 10 which can be moved back and forth in the direction of a double arrow 10', for example on an object whose change in distance from the edge of the plate i having the partially transparent mirror 7 is to be measured.

Bei Verwendung der Vorrichtung wird der Laser 2 in Betrieb gesetzt, so daß er Licht durch den teildurchlässigen Spiegel 6 hindurch i . den Lichtleiter strahlt, daß dann von dem teildurchlässigen Spiegel 7 reflektiert wird und sich dadurch mit dem ankommenden Licht überlagert, so daß stehende Wellen gebildet sind. Diese stehenden Wellen bilden mit ihren Maxima und Minima eine Teilung wie zum Beispiel die HeIl-L*- - Striche eines inkrementalen Glasmaßstabes. Bei der in-When the device is used, the laser 2 is activated so that it emits light through the partially transparent mirror 6 i. the light guide, which is then reflected by the partially transparent mirror 7 and thereby superimposed on the incoming light, so that standing waves are formed. These standing waves, with their maxima and minima, form a division such as the HeIl-L*- lines of an incremental glass scale. With the in-

krementalen Abtastung der stehenden Welle wird die Bezugsgröße von 360° durch eine Periode des Int.ensitätsprofils der stehenden Welle erzeugt, die &Lgr;/2 beträgt. Da sich die Phasenlage der von den Fotodetektoren 3 und 4 abgegebenen Spannung um 90° unterscheiden soll, muß der Abstand der beiden Fotodetektoren k· 4 betragen, wobei k eine ganze Zahl und A die Wellenlänge des Lichts des Lasers ist. Um diese Verhältnisse sicherzustellen, wird -Incremental scanning of the standing wave, the reference value of 360° is generated by a period of the intensity profile of the standing wave, which is �Lgr;/2. Since the phase position of the voltage emitted by the photodetectors 3 and 4 should differ by 90°, the distance between the two photodetectors must be k· 4, where k is an integer and A is the wavelength of the light from the laser. To ensure these conditions, -

eine an die Elektrode 8 angelegte Gleichspannung 5 entsprechend eingestellt. Ta direct voltage 5 applied to the electrode 8 is set accordingly. T

Bei der in Figur 2 dargestellten Abwandlung der Aus- &. führungsform gemäß Figur 1 ist der Laser nicht an einer Kante der Platte 1 angekoppelt, sondern anIn the modification of the embodiment according to Figure 1 shown in Figure 2, the laser is not coupled to an edge of the plate 1, but to eine Glasfaser 13 , die in einer V-Grube 14 eingelagert ist, so daß ihr Licht in einen zweiten Lichtleiter 12 gelangt, der dicht an den Lichtleiter 9 herangeführt und auf diese Weise mit ihm gekoppelt ist. Bei dieser Ausführungsform ersetzt ein Spiegel 11 den pa glass fiber 13 which is embedded in a V-groove 14 so that its light reaches a second light guide 12 which is brought close to the light guide 9 and is thus coupled to it. In this embodiment, a mirror 11 replaces the p

teildurchlässigen Spiegel 6 der Ausführungsform gemäß f Figur 1, so daß an ihm eine vollständige Reflexion er- \, folgt und kein Licht an der entsprechenden Kante der Platte .1 austritt.partially transparent mirror 6 of the embodiment according to Figure 1, so that a complete reflection takes place thereon and no light emerges at the corresponding edge of the plate .1.

Bei der in Figur 3 gezeigten Ausführungsform besteht die Platte 1 nicht aus einem piezoelektrischen Material, sondern beispielsweise aus Silizium. Der Spiegel 1 gemäß der Aueführungsform nach Figur 2 ist entfallen und durch einen vollständig reflektierenden Spiegel 18 ersetzt, der sich an einer Stirnfläche eines piezoelektrischen Stäbchens oder Röhrchens 16 befindet,In the embodiment shown in Figure 3, the plate 1 is not made of a piezoelectric material, but rather of silicon, for example. The mirror 1 according to the embodiment shown in Figure 2 has been omitted and replaced by a fully reflecting mirror 18, which is located on an end face of a piezoelectric rod or tube 16. dessen andere Stirnseite an der Seitenkante der Platte .1 befestigt ist. Das piezoelektrische Röhrchen weist nicht dargestellte Elektroden auf/ mittels derer durch Anlegenthe other end of which is attached to the side edge of the plate .1. The piezoelectric tube has electrodes (not shown) by means of which

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einer Gleichspannung die Länge des Röhrchens i7 einstellbar und damit: der Spiegel 18 in Richtung von Doppelpfeilen 19. bewegbar ist, um die gewünschte Phasenlage zwischen den Fotodetektoren .3 und 4* her-a direct voltage, the length of the tube i7 can be adjusted and thus: the mirror 18 can be moved in the direction of double arrows 19. in order to produce the desired phase position between the photodetectors .3 and 4*.

zustellen und die Phase des Lichtes mit einer Trägerfrequenz modulieren zu können.and to modulate the phase of the light with a carrier frequency.

Die Ausführungsform gemäß Figur 3 unterscheidet sich gemäß Figur 2 darüberhlnaus dadurch, daß anders als der Lichtleiter 2 ein mit der Glasfaser .13 gekoppelter Lichtleiter 15 schräg in den Lichtleiter 19 mündet, so daß das Licht des Lasers 2' in den Lichtleiter 9" eingeleitet wird.The embodiment according to Figure 3 differs from Figure 2 in that, unlike the light guide 2, a light guide 15 coupled to the glass fiber .13 opens obliquely into the light guide 19, so that the light of the laser 2' is introduced into the light guide 9".

Das Ausführungsbeispiel gemäß Figur 4 entspricht weitgehend vollständig dem in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiel, jedoch ist hier der Fotodetektor .2. weg-The embodiment according to Figure 4 corresponds largely to the embodiment shown in Figure 1, but here the photodetector .2. is omitted. gelassen. Auch in diesem Falle ist eine Vorwärts-Rückwärtszählung und damit eine richtungsabhängige Bestimmung der Bewegung des Meßreflektors 10 und damit seines Abstandes von der zugewandten Kante der Platte 1 möglich. Dazu wird die elektrische Ausgangsspannung des Fotodetekleft. In this case, too, a forward-backward counting and thus a direction-dependent determination of the movement of the measuring reflector 10 and thus its distance from the facing edge of the plate 1 is possible. For this purpose, the electrical output voltage of the photodetector tors 4 mit Hilfe eines elektrischen Phasenschiebers in zwei wechselnde Spannungen umgewandelt, die einen Phasenunter schied von 90° haben. Dies ist besonders einfach, wenn der optische Weg zwischen den teildurchlässicjen Spiegeln 6 und 7 mit einer Trägerfrequenz über das4 with the help of an electrical phase shifter into two alternating voltages that have a phase difference of 90°. This is particularly easy if the optical path between the partially transparent mirrors 6 and 7 is transmitted with a carrier frequency via the

Elektrodenpaar .8 moduliert ist.Electrode pair .8 is modulated.

Claims

LEINE & KÖNIGLEINE & KING

PATENTANWÄLTEPATENT ATTORNEYS

Dipl.-Ing. Sigurd Leine - Dipl.-Phys. Dr. No-bert König

GmbH BurchhaiiHstraee I Telelon (0511) 623005GmbH BurchhaiiHstraee I Telephone (0511) 623005

0-3000 Hannover t0-3000 Hanover t

Unser Zeichen DatumOur sign date

820/109 25. Juli 1988820/109 25 July 1988

&lgr; nsprüche:&lgr; nclaims:

1. Vorrichtung zur Längenmessung, mit einem in Richtung1. Device for measuring length, with a der zu messenden Länge beweglich gehaltenen Meßreflektor, mit einer optischen Einrichtung zur Umwandlung der Bewegungen des Meßreflektors in entsprechende elektrische Signale und miL einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige dieser Signale, dadurch gekennzeichnet,the measuring reflector which is held movable along the length to be measured, with an optical device for converting the movements of the measuring reflector into corresponding electrical signals and with a display device for displaying these signals, characterized in that

daß die optische Einrichtung einen Lichtleiter (9) aufweist, an dessen Enden sich Spiegel (6/ 7) befinden, die jeweils Licht aus dem Lichtleiter (9) in diesen zurückspiegeln und so stehende Wellen erzeugen,that the optical device has a light guide (9), at the ends of which there are mirrors (6/7) which each reflect light from the light guide (9) back into it and thus generate standing waves,

daß mit dem Lichtleiter (9) optisch ein Lassr (2) gekoppelt ist,that a laser (2) is optically coupled to the light guide (9),

daß das Licht des Lasers (2) auf den Meßreflektor (10) gerichtet ist,that the light of the laser (2) is directed onto the measuring reflector (10),

daß das von dem Meßreflektor (10) reflektierte Licht in den Lichtleiter (9) gerichtet ist,that the light reflected by the measuring reflector (10) is directed into the light guide (9),

daß ein lichtelektrischer Wandler (4) mit dem Lichtleiter (9) gekoppelt ist und das Interferenzsignal zwischen den stehenden Wellen, die zwischen den Spiegeln (6, 7) gebildet sind, und dem von dem Meßreflektor (10) reflektierten Licht in einethat a photoelectric converter (4) is coupled to the light guide (9) and converts the interference signal between the standing waves formed between the mirrors (6, 7) and the light reflected by the measuring reflector (10) into a

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entsprechende elektrische Spannung umwandelt undcorresponding electrical voltage and

daß der fotoelektrische Wandler (4) mit einer Anzeigeeinrichtung zur Anzeige seines Ausgangssignals verbunden ist.that the photoelectric converter (4) is connected to a display device for displaying its output signal.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet / daß zur optischen Kopplung des Lasers (2) mit dem Lichtleiter (9) einer der Spiegel (6> teiltransparent ist und Oaß der Laser (2) auf der dem Lichtleiter (9) abgewandten Seite des teiltransparenten Spie -gels (6), vorzugsweise unmittelbar hinter diesem, ange ordnet ist.2. Device according to claim 1, characterized in that for the optical coupling of the laser (2) with the light guide (9) one of the mirrors (6) is partially transparent and that the laser (2) is arranged on the side of the partially transparent mirror (6) facing away from the light guide (9), preferably immediately behind it.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 ,dadurch gekennzeichnet , daß das von dem Meßreflektor (10) reflektierte Licht auf einen der Spiegel (7) von der dem3. Device according to claim 1, characterized in that the light reflected by the measuring reflector (10) is directed onto one of the mirrors (7) of the Lichtleiter (9) abgewandten Seite her gerichtet ist und daß dieser Spiegel teiltransparer*-. ist.light guide (9) and that this mirror is partially transparent*-.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der andere der Spiegel (6), auf den das von dem Meßreflektor (10) reflektierte Licht nicht4. Device according to claim 3, characterized in that the other of the mirrors (6) onto which the light reflected by the measuring reflector (10) is not gerichtet ist, teiltransparent ist. und daß der Laser (2)is partially transparent. and that the laser (2)

auf der dem Lichtleiter abgewandten Seite dieses Spiegels, vorzugsweise unmittelbar hinter diesem, angeordnet ist.is arranged on the side of this mirror facing away from the light guide, preferably immediately behind it.

⁵* Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn-■i| zeichnet, daß ein zweiter Lichtleiter (12) voige- ⁵ * Device according to claim 1, characterized in that a second light guide (12) is provided

²⁵ sehen ist, an dessen einem Ende der Laser (2) angeordnet ²⁵ , at one end of which the laser (2) is arranged

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and the other end of which is optically coupled to the light guide (9), at the ends of which the mirrors are located.

6. Device according to claim 5, characterized in that the other end of the second light guide runs at least partially adjacent to the light guide at the ends of which the mirrors (11, 7) are located.

7. Device according to claim 5, characterized in that the other end of the second light guide (15) opens obliquely into the light guide (9), at the ends of which the mirrors are located.

8. Device according to claim 1, characterized in that a second photoelectric converter is coupled to the light guide (9) remote from the photoelectric converter (4), the length of the optical path between the coupling points k"

where k is an integer and the wavelength of the light from the laser, so that the phase position of the light at the coupling points and thus at the photoelectric converters (3, 4) differs by 90°.

9. Device according to claim 8, characterized in that an up-down counter is connected to the photoelectric converters (3, 4).

10. Device according to claim 8, characterized in that means for changing the length of the optical path of the light guide 9 are provided.

11. Device according to claim 10, characterized in that the means for changing the length of the optical path are formed by electrodes (8) for supplying a constant electrical adjustment voltage for adjusting the optical path in the case of piezoelectric material or for adjusting the refractive index.

12. Device according to claim 10, characterized in that the means for changing the length of the optical path in the case of piezoelectric material are formed by a rod or tube (17) made of piezoelectric material, which is attached with one end face to the non-mirrored edge of the plate (1) and has the mirror (18) on its other end face, and that electrodes for supplying a constant or modulated electrical setting voltage are arranged on the rod or tube (17).

13..Device according to claim 11 or 12, characterized in that a modulation for alternating voltage for phase modulation of the light is connected to the electrodes (8).

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der bzw. die Lichtleiter'(9, 12, 15) als Stab oder als Bahn In einer Platte (1) ausgebildet sind, dessen Enden bzw. deren parallel gegenüberliegende Kanten die Spiegel14. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the light guide(s) (9, 12, 15) are designed as a rod or as a track in a plate (1), the ends or the parallel opposite edges of which are the mirrors (6, 7, 11) bilden, insbesondere zusätzlich verspiegelt sind.(6, 7, 11), in particular are additionally mirrored.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (8) zur Änderung15. Device according to claim 14, characterized in that the electrodes (8) for changing der Länge des optischen Weges des Lichtleiters (9) durch Streifen aus elektrisch leitfähigem Material gebildet sind, die sich an dem Stab bzw. auf der Oberfläche der Plätte benachbart zu der Lichtbahn in der Plätte erstrecken.the length of the optical path of the light guide (9) are formed by strips of electrically conductive material which extend on the rod or on the surface of the plate adjacent to the light path in the plate.

16. Vorrichtung nach Anspruch 14, d a d u rch gekennzeichnet« daß die vorzugsweise als Fotodioden16. Device according to claim 14, characterized in that the preferably photodiodes ausgebildeten fotoelektrischen Wandler (3, 4) unmittelbar an den Enden des Stabes bzw. des Kanten der Platte U) oder seitlich an dem Stab bzw. auf der Oberfläche der Platte (1) .angeordnet sind.formed photoelectric converters (3, 4) are arranged directly at the ends of the rod or the edges of the plate (U) or laterally on the rod or on the surface of the plate (1).

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17. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekenn zeichnet, daß der Stab oder die Platte (1) aus Silizium, Lithiumniobat, Galliumarsenid oder Glas besteht.17. Device according to claim 14, characterized in that the rod or the plate (1) consists of silicon, lithium niobate, gallium arsenide or glass.