DE8626712U1

DE8626712U1 - Device for material processing with laser beams

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Publication number: DE8626712U1
Application number: DE8626712U
Authority: DE
Original assignee: Mls Munich Laser Systems 8000 Muenchen De GmbH
Current assignee: Mls Munich Laser Systems 8000 Muenchen De GmbH
Priority date: 1986-10-08
Filing date: 1986-10-08
Publication date: 1987-04-23

Description

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Systems GmbHSystems GmbH

U.Z.: GM 675/1-86EU.Z.: GM 675/1-86E

VORRICHTUNG ZUR MATERIALBEARBEITUNG MIT LASERSTRAHLENDEVICE FOR MATERIAL PROCESSING WITH LASER BEAMS

Die Neuerung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Materialbearbeitung ^mit Laserstrahlen, mit einem Laser und einem das zu bearbeitende Werkstück tragenden Koordinatentisch.The innovation relates to a device for material processing ^with laser beams, with a laser and a coordinate table carrying the workpiece to be processed.

Derartige Vorrichtungen, die häufig zum Abgleichen von elektronischen Schaltungen und elektronischen Bauteilen benutzt werden, und die häufig als "Lasertrimmsysteme" bezeichnet sind, sind allgemein bekannt*Such devices, which are often used to adjust electronic circuits and electronic components and are often referred to as "laser trimming systems", are well known*

Bei bekannten Lasertrimmsystemen dieser Art hat es sich jedoch gezeigt, daß Ungenauigkeiten bei der Führung des Laserstrahles auf dem Werkstück aufgetreten sind.However, known laser trimming systems of this type have shown that inaccuracies have occurred in the guidance of the laser beam on the workpiece.

Der Neuerung liegt ausgehend von diesem Stand der Technik die AufgabeBased on this state of the art, the innovation is tasked with

zugrunde, eine Vorrichtung zur Materialbearbeitung mit Laserstrahlen der eingangs genannten Art zu schaffen, die sich durch erhöhte Bearbeitungsgenauigkeit und insbesondere durch einen stabilen, d.h. gegen Wärmeändegg rungen und Schwingungen unempfindlichen Betrieb suszeichnet.The aim is to create a device for processing materials using laser beams of the type mentioned above, which is characterized by increased processing precision and in particular by stable operation, i.e. insensitive to thermal changes and vibrations.

Diese Aufgabe ist dadurch gelöst, daß der Laser und der KoordinatentischThis task is solved by the fact that the laser and the coordinate table

Anm.: Munich Laser _ 5 -Note: Munich Laser _ 5 -

5ystems GmbH
u.Z.: GM 675/1-86E5systems GmbH
oZ: GM 675/1-86E

auf einer gemeinsamen Grundplatte aus Pölymefbeton angeordnet sind.are arranged on a common base plate made of polymephale concrete.

Durch diese Maßnahme konnte sichergestellt Werden, daß die bei bekannten Laseftrimmsystiemen auftretenden Genauigkeitsverluste vermieden Werden konnten. Es konnte nämlich gefunden werden, daß die genannten Genauigkeitsverluste bei bekannten Systemen auf Wärmedehnung und auf Schwingungen zurückzuführen sind. Die neuerungsgemäß vorgesehene Grundplatte aus Polymerbeton, d.h. aus einem Kunstharz gebundenen &igr; &ogr; Betnn_; cJRr Qygrzsand und GrenitspÜtt- enthält; hat sioh in erstaunlicher Weise unempfindlich gegen Wärmeeinflüsse und Schwingungen erwiesen, so daß eine außerordentlich gute Maßhaltigkeit und Relativpositionierung zwischen dem Laser und dem auf dem Koordinatentisch angeordneten Werkstück erreicht werden konnte.This measure made it possible to ensure that the loss of accuracy that occurs with known laser trimming systems could be avoided. It was found that the loss of accuracy mentioned in known systems is due to thermal expansion and vibrations. The base plate made of polymer concrete _, ie a resin-bound concrete containing quartz sand and grit, has proven to be surprisingly insensitive to heat influences and vibrations, so that an extraordinarily good dimensional accuracy and relative positioning between the laser and the workpiece arranged on the coordinate table could be achieved.

Eine zufriedenstellende Schwingungsdämpfung bei LasertrimmsystemenSatisfactory vibration damping in laser trimming systems

kann mit einer Grundplatte von 8 bis 25 cm Dicke erreicht werden. Hinsichtlich del' Kosten- und Gewichtsoptimierung der Vorrichtung hat sich jedoch eine Grundplatte mit einer Dicke im Bereich von 12 bis 20 2Q cm, vorzugsweise mit einer Dicke von 15 cm als besonders vorteilhaft erwiesen, die in Kastenform ausgeführt ist und Verstärkungsrippen oder Stege aufweist.can be achieved with a base plate of 8 to 25 cm thickness. However, with regard to cost and weight optimization of the device, a base plate with a thickness in the range of 12 to 20 cm, preferably with a thickness of 15 cm, which is designed in box shape and has reinforcing ribs or webs, has proven to be particularly advantageous.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Neuerung werden besonders g schwingungsstabile Verhältnisse dadurch erzielt, daß die Grundplatte in ihrer Höhe versetzt liegende Bereiche aufweist, und daß der Koordinatentisch auf dem tieferliegenden Bereich und der Laser auf dem höherliegenden Bereich angeordnet ist. Bei dieser Anordnungsweise ist es 7möglich, den Laserstrahl von oben auf den Koordinatentisch und das auf gQ diesem angeordnete Werkstück zu führen.According to a further embodiment of the innovation, particularly vibration-stable conditions are achieved by the base plate having areas that are offset in height and by the coordinate table being arranged on the lower area and the laser on the higher area. With this arrangement, it is possible to guide the laser beam from above onto the coordinate table and the workpiece arranged on it.

Es hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen₅ die ir? unterschiedlichen HöhePr liegenden Bereiche durch eine Schräge und/oder einen rechtwinkligen Absatz miteinander zu verbinden.It has _proven particularly advantageous to connect the areas at different heights by means of a slope and/or a right-angled step.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform wird die Grundplatte auf einem Sockel angeordnet, der eine solche Höhe aufweist, daß der Ko-According to a further advantageous embodiment, the base plate is arranged on a base which has a height such that the

Anm.: Munich Laser ~ 6 ~Note: Munich Laser ~ 6 ~

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ordinatentisch in einer Arbeitshöhe von ca. 80 bis 90 cm liegt. Der Ko-^ ordinatentisch ist damit bequem zugänglich. Neue Werkstücke können leicht eingeführt und die fertig bearbeiteten Werkstücke leicht ehtnommen werden*coordinate table is at a working height of approx. 80 to 90 cm. The coordinate table is thus easily accessible. New workpieces can be easily inserted and the finished workpieces can be easily removed*

Nech einer vorteilhaften Ausführungsfoirn der Neuerung ist vorgesehen, daß die Bauteile des Lasers, d.h. die Resonatorspiegei das laseraktive Medium mit dem zugehörigen Pumpsystem und eventuell eine Q-SwitchAccording to an advantageous embodiment of the innovation, it is intended that the components of the laser, i.e. the resonator mirror, the laser-active medium with the associated pump system and possibly a Q-switch

l(j '. Einrißrituriy direkt auf der Gründplätte änyöuPCänet sind. Hierdurch kann eint zusätzliche optische Bank für den Laser Eingespart werden. Die Polymerbetongrundplatte ist ausreichend stabil, um einen sicheren ungestörten Laserbetrieb zu gewährleisten. Allerdings müssen hierzu Halterungsteile an der Grundplatte angegossen werden.l(j '. Cracking rituals are directly on the base plate. This saves the need for an additional optical bench for the laser. The polymer concrete base plate is sufficiently stable to ensure safe, uninterrupted laser operation. However, for this purpose, mounting parts must be cast onto the base plate.

Sehr gute Ergebnisse wurden jedoch auch mit einer anderen Ausführungsform erzielt, bei der die Bauteile des Lasers auf einer Stahlschiene angeordnet sind, die etwa den gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie die Grundplatte aufweist. Durch die Wahl des gleichen Wärmeausdehnungskoeffizienter, wird sichergestellt, daß kein sogenannter "Bimetalleffekt¹¹ auftritt, d.h. daß sich die aus den beiden plattenförmigen Teilen bestehende Einheit (Stahlschiene und Grundplatte) bei unterschiedlicher Wärmedehnung wölbt und damit die Justierung des Laserresonators stört. Insbesondere eine Schiene aus Invar (ca. 36 % Ni, ca. 64 % Fe) hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen.However, very good results were also achieved with another embodiment in which the components of the laser are arranged on a steel rail that has approximately the same coefficient of thermal expansion as the base plate. By choosing the same coefficient of thermal expansion, it is ensured that no so ^- called "bimetal effect" occurs, ie that the unit consisting of the two plate-shaped parts (steel rail and base plate) bulges when the thermal expansion differs and thus disrupts the adjustment of the laser resonator. In particular, a rail made of Invar (approx. 36% Ni, approx. 64% Fe) has proven to be particularly advantageous.

Um den Laserstrahl in zwei zueinander senkrechten Richtungen präzise über das Werkstück führen zu können, ist im Strahlengang des Lasers nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform eine Ablenkungseinheit mit zwei Drehspiegeln mit zueinander senkrechten Drehachsen angeordnet, die vorzugsweise mithilfe von Magnetspulen verschwenkbar sind.In order to be able to guide the laser beam precisely over the workpiece in two mutually perpendicular directions, a deflection unit with two rotating mirrors with mutually perpendicular axes of rotation is arranged in the beam path of the laser according to a further advantageous embodiment, which can preferably be pivoted using magnetic coils.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist der Laser horizontal angeordnet und in seinem Strahlengang sind zwei parallele zur Horizontalen geneigte Umlenkspiegel derart angeordnet, daß der Laserstrahl in sich parallel horizontal nach unten versetzt wird. Eine solche Ausge-According to a further advantageous embodiment, the laser is arranged horizontally and two parallel deflection mirrors inclined to the horizontal are arranged in its beam path in such a way that the laser beam is displaced horizontally downwards in parallel. Such an arrangement

Anm.: Munich Laser - 7 -Note: Munich Laser - 7 -

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staltung ist insbesondere bei einer Grundplatte mit zwei in unterschiedlichen Ebenen liegenden Bereichen vorteilhaft, da mithilfe der genannten Ausgestaltung der Laserstrahl von der höherliegenden Ebene, in der er erzeugt wird, in die tieferliegende Ebene, in der er zur Bearbeitung des Werkstückes verwendet wird, versetzt werden kann.This design is particularly advantageous in the case of a base plate with two areas located on different levels, since the design mentioned allows the laser beam to be moved from the higher level in which it is generated to the lower level in which it is used to machine the workpiece.

Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist in dem Strahlengang des Lasers vor dem Koordinatentisch eine Fokussierungsoptik angeordnet, durch die eine punktgenaue Bearbeitung des Werkstückes möglich ist.According to a further advantageous embodiment, a focusing optic is arranged in the beam path of the laser in front of the coordinate table, which enables precise machining of the workpiece.

Mithilfe eines teildurchlässigen Ablenkspiegels und einer auf diesen gerichteten Fernsehkamera kann nach einer weiteren vorteilhaften Ausfüh-&Idigr;5 rungsform die Führung des Laserstrahles auf dem Werkstück über einen Monitor beobachtet und präzise gesteuert werden.According to another advantageous embodiment, using a partially transparent deflection mirror and a television camera aimed at it, the guidance of the laser beam on the workpiece can be observed and precisely controlled via a monitor.

Die Neuerung wird im folgenden anhand des in den Figuren schematisch dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert: 20The innovation is explained in more detail below using the exemplary embodiment shown schematically in the figures: 20

Es zeigt:It shows:

Figur 1: Den Aufbau des Lasertrimmsystemes in starkFigure 1: The structure of the laser trimming system in strong

vereinfachter Darstellung im Seitenriß; 25 simplified representation in side view; 25

Figur Z: Eine Ausführungsform einer Grundplatte des Figure Z: An embodiment of a base plate of the

Lasertrimmsystems gemäß Figur 1 in perspektivischer Darstellung.Laser trimming system according to Figure 1 in perspective view.

Das Lasertrimmsystem gemäß Figur 1 ist auf eine Grundplatte 3 aus Polymer-Beton montiert. Der hierzu verwendete Polymer-Beton, der 8 % Kunstharz und 92 % Quarz und/oder Granit, vorzugsweise in drei verschiedenen Körnungen enthält, hat sich wegen winer Schwingungsdämpfung und Stabilität als besonders vorteilhaft ei ,^«sen. Die Grundplatte weist zwei in unterschiedlichen Ebener! Hegende Bereiche, nämiich die Bereiche 3a und 3b auf. Bei dem in Figur 1 auf den Betrachter weisenden Teil der Grundplatte 3 sind die beiden Bereiche 3a und 3b über eine Schräge 3eThe laser trimming system according to Figure 1 is mounted on a base plate 3 made of polymer concrete. The polymer concrete used for this purpose, which contains 8% synthetic resin and 92% quartz and/or granite, preferably in three different grain sizes, has proven to be particularly advantageous due to its vibration damping and stability. The base plate has two areas at different levels, namely areas 3a and 3b. In the part of the base plate 3 facing the viewer in Figure 1, the two areas 3a and 3b are connected by a slope 3e.

Anm.i Munich Läser -8 "Note: Munich Läser -8 "

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miteinander verbunden. In dem restlichen Teil der Grundplatte ist die Verbindung durch einen rechtwinkligen Ansatz mit etwa dreieckförmigen Seitenverstärkungsteilen 3c realisiert. Auf dem erhöht liegenden Bereich 3b der Grundplatte ist ein Laser 1 angeordnet. Die Bestandteile des Lasers sind auf einem Granitprisma 4 befestigt. Zum Laser 1 gehört u. a. ein Resonatorspiegel (100 %-Spiegel) 10, ein akusto-optischer Güteschalter (Q-switch) 11, eine Modenblende 12 und ein Nd-Yag-Glasstab 13, der von einer optischen Pumpeinrichtung 14 umgeben ist. Die optische Pumpeinrichtung besteht aus einer Reflektorelipse, einer Krypton-Bogenlampe sowie aus einem Wasserkühlsystem für die Bogenlampe. Zum Laser 1 gehört des weiteren eine zweite Modenblende 15 die ebenso wie die Modenblende 11 mit Hilfe von Mikrometerschrauben präzise justierbar ist. Schließlich gehört zum Laser 1 ein Auskoppelspiegel (80 %-Spiegel) 16, dem eine Fokussierungsoptik 17 folgt. Die Bauteile des Lasers sind auf dem schwalbenschwanzförmig ausgebildeten Granitprisma 4 in an sich bekannter Weise verschiebbar und somit justierbar angeordnet.connected to each other. In the remaining part of the base plate, the connection is realized by a right-angled attachment with approximately triangular side reinforcement parts 3c. A laser 1 is arranged on the raised area 3b of the base plate. The components of the laser are attached to a granite prism 4. The laser 1 includes, among other things, a resonator mirror (100% mirror) 10, an acousto-optical Q-switch 11, a mode aperture 12 and an Nd-Yag glass rod 13, which is surrounded by an optical pumping device 14. The optical pumping device consists of a reflector ellipse, a krypton arc lamp and a water cooling system for the arc lamp. The laser 1 also includes a second mode aperture 15, which, like the mode aperture 11, can be precisely adjusted using micrometer screws. Finally, the laser 1 includes an output mirror (80% mirror) 16, which is followed by a focusing optics 17. The components of the laser are arranged on the dovetail-shaped granite prism 4 in a manner known per se so that they can be moved and thus adjusted.

Der aus der Fokussierungsoptik 17 austretende Laserstrahl 18 trifft auf einen unter 45° zur Horizontalen geneigten Spiegel 6 und wird von diesem senkrecht nach unten reflektiert. Er durchquert im wesentlichen ungestört einen Auskoppelspiegel 9, dessen Bedeutung später erläutert wird. Danach trifft er wiederum auf einen unter 45° zur Horizontalen geneigten Umlenkspiegel 7, der so angeordnet ist, daß der Laserstrahl 18 in horizontaler Richtung parallel zu seiner Ursprungsrichtung, mit der er aus dem Laser ausgetreten ist, weitergeführt wird. Die Umlenkspiegel 6 und 7 sowie der Auskoppelspiegel 9 sind auf einer Aluminiumschiene angeordnet, die wiederum über Halterungen mit ehr Stirnseite des rechtwinkliqen Absatzes 3c der Grundplatte verschraubt sind. Aus Gründen der Übersichtlichkeit der Darstellung ist jedoch diese Halterung für die Spiegel in der Zeichnung weggelassen. Der von dem Umlenkspiegel 7 in horizontaler Richtung reflektierte Laserstrahl tritt danach in eine Ablenkeinrichtung 5 (Galvo-System) ein, das er in vertikaler Richtung nach unten verläßt. Das Galvo-System enthält einen ersten Spiegel, der um seine vertikale Achse verschwenkbar ist. Von diesem ersten Spiegel wird der Laserstrahl auf einen zweiten Spiegel reflektiert, der um seine hofi-The laser beam 18 emerging from the focusing optics 17 hits a mirror 6 inclined at 45° to the horizontal and is reflected vertically downwards by this. It passes essentially undisturbed through an output mirror 9, the significance of which will be explained later. It then hits a deflection mirror 7 inclined at 45° to the horizontal, which is arranged in such a way that the laser beam 18 is guided further in a horizontal direction parallel to its original direction in which it emerged from the laser. The deflection mirrors 6 and 7 as well as the output mirror 9 are arranged on an aluminum rail, which in turn are screwed to the front side of the rectangular shoulder 3c of the base plate via brackets. For reasons of clarity of the illustration, however, this bracket for the mirrors has been omitted from the drawing. The laser beam reflected by the deflection mirror 7 in the horizontal direction then enters a deflection device 5 (galvo system), which it leaves in a vertical direction downwards. The galvo system contains a first mirror that can be pivoted about its vertical axis. From this first mirror, the laser beam is reflected onto a second mirror that can be pivoted about its horizontal axis.

Anm.i Munich Laser - 9 *Note: Munich Laser - 9 *

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zontale Achse verschwenkbar ist. Die beiden Spiegel können präzise mit Hilfe eines Magnetantriebes angesteuert werden. Zur Erfassung Ihrer Winkelstellung dient ein Positionsfühler, so daß der Laserstrahl durch Einstellung der beiden Spiegel präzise in zwei zu einander senkrechten Richtungen abgelenkt werden kann. Da solche Systeme an sich bekannt und käuflich erwerblich sind, ist das System nicht im Detail sondern lediglich als Ablenkeinheit 5 in der Zeichnung dargestellt. Nach Durchqueren einer Fokussierungsoptik 8 trifft der Laserstrahl von oben auf ein Werkstück (nicht dargestellt), das auf einem Koordinatentisch 2 angeordnet ist. Der Koordinatentisch 2 ist in der Grundplatte 3 versenkt angeordnet. Durch entsprechende Ansteuerung des Galvo-Systems 5 kann der Laserstrahl präzise über das Werkstück, beispielsweise zum Abgleich von Widerständen und Kondensatoren oder zu zahlreichen anderen Bearbeitungsvorgangen geführt werden. Mittels des Auskoppelspiegels 9 und der Fernsehkamera 20 kann das durch den Laserstrahl 18 bearbeitete Feld des Werkstückes \iber einen Monitor beobachtet werden. Der Auskoppelspiegel 9 weist eine solche Dufchlaßcharakteristik auf, daß der Laserstrahl, der eine Wellenlänge von J 064 nm aufweist, ungestört durch den Auskoppelspiegel 9 hindurchtreten kann, während das von dem Werkstück kommende sichtbare Licht in die Fernsehkamera 20 umgelenkt wird.can be swiveled along a zontal axis. The two mirrors can be precisely controlled using a magnetic drive. A position sensor is used to detect their angular position, so that the laser beam can be precisely deflected in two mutually perpendicular directions by adjusting the two mirrors. Since such systems are known and commercially available, the system is not shown in detail in the drawing but only as a deflection unit 5. After passing through a focusing optics 8, the laser beam hits a workpiece (not shown) from above, which is arranged on a coordinate table 2. The coordinate table 2 is recessed in the base plate 3. By controlling the galvo system 5 accordingly, the laser beam can be precisely guided over the workpiece, for example to adjust resistors and capacitors or for numerous other processing operations. By means of the output mirror 9 and the television camera 20, the field of the workpiece processed by the laser beam 18 can be observed via a monitor. The output mirror 9 has such a transmission characteristic that the laser beam, which has a wavelength of 1064 nm, can pass through the output mirror 9 without interference, while the visible light coming from the workpiece is deflected into the television camera 20.

Die Grundplatte 3 ist in Figur 2 in perspektivischer Darstellung gezeigt. Die Grundplatte ist in Kastenform in einem Stück gegossen und weist eine Wandstärke von ca. 30 mm auf. In dem nach unten offenen kastenförmigen Hohlraum sind Verstärkungsstege und Verstärkungsrippen angeordnet, die der gesamten Grundplatte bei geringstmöglichem Gewicht eine größtmögliche Verwindungssteifigkeit verleihen.The base plate 3 is shown in perspective in Figure 2. The base plate is cast in one piece in a box shape and has a wall thickness of approx. 30 mm. Reinforcing webs and reinforcing ribs are arranged in the box-shaped cavity, which is open at the bottom, which give the entire base plate the greatest possible torsional rigidity with the lowest possible weight.

Wie in Figur 2 deutlich zu erkennen ist, weist die Grundplatte 3 zwei Bereiche in unterschiedlichen Ebenen, nämlich die Bereiche 3a und 3b auf. Die Grundplatte wird über Schwingungsdämpfungsteile auf einem Sockel (nicht dargestellt) so angeordnet, daß der tieferliegende Bereich 3a sich etwa in der Höhe einer normalen Werkbank, d. h. etwa in einer Höhe von 80 bis 90 cm befindet. Zur Aufnahme des Köofdinatentisches 2 (Figur 1) ist in der Grundplatte eine durchgehende Ausnehmung 3f vorgesehen. In der in der Figur rechts liegenden Längshälfte der Grundplatte 3 ist derAs can be clearly seen in Figure 2, the base plate 3 has two areas at different levels, namely areas 3a and 3b. The base plate is arranged on a base (not shown) using vibration damping parts so that the lower area 3a is approximately at the height of a normal workbench, i.e. at a height of approximately 80 to 90 cm. To accommodate the cabinet table 2 (Figure 1), a continuous recess 3f is provided in the base plate. In the longitudinal half of the base plate 3 on the right in the figure, the

Anm.: Munich Läser -10-Note: Munich Läser -10-

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untere Beireich 3a über eine Schräge 3e mit dem oberen Bereich 3b verbunden. In der anderen Längshälfte erfolgt die Verbindung der beiden Bereiche über einen rechtwinkligen Absatz, der zur Seite des tiefer liegenden Bereiches 3a offen ist, so daß sich zusammen mit einem dreieckförmigen Seitenteil 3c ein Tunnel ergibt, in dem die Videokamera 20 (Fi-lower area 3a is connected to the upper area 3b via a slope 3e. In the other longitudinal half, the two areas are connected via a right-angled step that is open to the side of the lower area 3a, so that together with a triangular side part 3c, a tunnel is formed in which the video camera 20 (Fig.

gur 1) untergebracht ist. An den Stirnkanten des tunnelförmigen Absatzes ist eine Halterung (nicht dargestellt) für die Umlenkspiegel 6 und 7 und den Auskoppelspiegel 9 (Figur 1) befestigt.
10gur 1). A holder (not shown) for the deflection mirrors 6 and 7 and the output mirror 9 (Figure 1) is attached to the front edges of the tunnel-shaped shoulder.
10

Claims

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1. Device for material processing with laser beams, with a laser and a coordinate table carrying the workpiece to be processed, characterized in that the laser (1) and the coordinate table (2) are mounted on a common base plate (3) made of polymer concrete

° are arranged.

2. Device according to claim 1, characterized in that the base plate (3) is up to 25 cm thick and is designed in box shape with reinforcing ribs.

3. Device according to claim 2, characterized in that the base plate is 12 to 20 cm thick.

4. Device according to claim 1 and 2, characterized ⁱⁿ that the wall thickness of the box shape is 25 mm to 35 mm.

5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the base plate has two areas (3a, 3b) lying in different planes, and that the coordinate table (2) is arranged on the lower area (3a) and the laser (1) on the higher area (36).

6. Device according to claim 5, characterized in that the two areas (3a, 3b) are at least partially connected to one another by a slope (3e) ₄

Note: Munich Laser - 2 -

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UZ«: GM 675/1-86E

7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the two areas (3a, 3b) are at least partially connected to one another via a right-angled shoulder.

8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the base plate (3) is arranged on a base which has a height such that the coordinate table (2) is at a working height of approximately 80 - 90 cm.

1010

9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the components of the laser (1) are arranged directly on the base plate (3).

10. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the components of the laser (1) are arranged on a granite prism (4).

11. Device according to one of claims 1 to 9, characterized in that the components of the laser (1) are arranged on a steel rail which has approximately the same coefficient of thermal expansion as the

\ Base plate (3).

12. Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that a beam deflection system (5) with two rotating mirrors with mutually perpendicular axes of rotation is arranged in the beam path of the laser (galvo system).

13. Device according to claim 12, characterized in that the rotating mirrors of the deflection system (?) can be pivoted by means of magnetic coils.

14. Device according to one of claims 1 to 13, characterized in that the laser (1) is arranged horizontally and that two deflection mirrors (6, 7) inclined parallel to the horizontal are arranged in the beam path of the laser (1) in such a way that the laser beam is displaced horizontally downwards in parallel.

Note Munich Laser - 3 -

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15. Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that a focusing optics (8) is arranged in the beam path of the laser (1) in front of the coordinate table (2).

16. Device according to one of claims 1 to 15, characterized in that in the beam path of the laser (l) there is a partially transparent output mirror (9), and that opposite this there is arranged a television camera (lu;) directed at the output mirror (9).

Note: Munich Laser Systems GmbH u.Z.: GM 675/1-86E