DE8614741U1 - Control device with micro valves - Google Patents

Control device with micro valves

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Description

ObIf

Gebrauchsmüsteranmeldung G 86 14 7^1«2 R* 2Ö668 Lo/Wl Utility model registration G 86 14 7^1«2 R* 2Ö668 Lo/Wl

Robert Bosch GmbH, Stuttgart 14. Juli 1986Robert Bosch GmbH, Stuttgart 14 July 1986

^■^Steuervorrichtung mit MikroVentilen y^■ ^Control device with micro valves y

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Steuervorrichtung mit Mikroventilen nach der Gattung des Hauptanspruchs. Ein Mikroventil ist bekannt aus der Fachzeitschrift "Spektrum der Wissenschaft", Juni 1983, S. 38-50. Das beschriebene Mikroventil ist vorgesehen für die Verwendung in einem Miniatur-Gaschromatografen. Die Ventilstruktur ist hergestellt durch Oberflächenbearbeitung auf einem Siliziumkörper. Zwei Ventilkammern, in die Ein- und Auslässe münden, sind durch Dichtringe voneinander getrennt. Die Abdichtung der Ventilkammern gegeneinander erfolgt durch eine flexible Teflon-Membran, die von einem Elektromagneten bewegt wird. Die gesamte VentilkonstruktionThe invention is based on a control device with microvalves according to the type of the main claim. A microvalve is known from the specialist magazine "Spektrum der Wissenschaft", June 1983, pp. 38-50. The microvalve described is intended for use in a miniature gas chromatograph. The valve structure is manufactured by surface treatment on a silicon body. Two valve chambers, into which inlets and outlets open, are separated from each other by sealing rings. The valve chambers are sealed against each other by a flexible Teflon membrane that is moved by an electromagnet. The entire valve construction

beansprucht eine Fläche von weniger als 1 mm auf dem Siliziumkörper. Nachteilig bei diesem Mikroventil ist es, daß bei geöffnetem Ventil nur ein geringer Mengendurchsatz pro Zeiteinheit erreichbar ist. Der Mengendurchsatz wird begrenzt durch den geringen. Querschnitt für das strömende Medium.takes up an area of less than 1 mm on the silicon body. The disadvantage of this micro valve is that only a small flow rate per unit of time can be achieved when the valve is open. The flow rate is limited by the small cross section for the flowing medium.

Für spezielle Anwendungen, beispielsweise Kraftstoffeinspritzung bei Brennkraftmaschinen, ist eine örtlich variable Mengensteuerung wünschenswert, die jedoch mit einem einzigen Mikroventil nicht realisierbar ist.For special applications, such as fuel injection in internal combustion engines, locally variable quantity control is desirable, but this cannot be achieved with a single micro valve.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Die erfindungsgemäße Steuervorrichtung mit Mikroventilen hat den Vorteil, daß ein höherer Mengendurehsatz und eine örtlich variable Mengensteuerung vorgenommen werden können. Dies wird erreicht durchThe control device according to the invention with micro valves has the advantage that a higher flow rate and a locally variable quantity control can be carried out. This is achieved by

■■ ·:&iacgr; -rr:-■■ ·:&iacgr; -rr:-

- 2 - R* 20668- 2 - R* 20668

eine Anordnung von mehreren Ventilen auf einer Fläche. Die VentilstrUktüren aller Ventile sind durch Oberflächenbearbeitung eines Trägermaterials hergestellt. Die Verwendung von mehreren Ventilen erhöht die Ausfallsicherheit der Ventilvorrichtung, da der Ausfall von einzelnen Ventilen nicht gleich den Gesamtausfall der Vorrichtung zur Folge hat.an arrangement of several valves on one surface. The valve structures of all valves are manufactured by surface treatment of a carrier material. The use of several valves increases the reliability of the valve device, since the failure of individual valves does not immediately result in the entire failure of the device.

Die Ventilviirrichtung ist besonders geeignet für eine Massenfertigung, bei der eine gleichbleibend hohe Genauigkeit der mechanischen Abmessungen durch die Integrationstechnik gewährleistet ist.The valve direction is particularly suitable for mass production, where a consistently high accuracy of the mechanical dimensions is guaranteed by the integration technology.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen der im Hauptanspruch angegebenen Ventilvorrichfcung möglich.The measures listed in the subclaims enable advantageous further developments of the valve device specified in the main claim to be made possible.

Bei der Verwendung von Silizium als Trägermaterial ist die Integration der elektrischen Ansteuerung für Elektromagnete, die zur Ventilansteuerung vorgesehen sind, in besonders einfacher Weise möglich.When using silicon as a carrier material, the integration of the electrical control for electromagnets intended for valve control is possible in a particularly simple manner.

Ferner ist es ein Vorteil, daß nur geringe Massen bewegt werden. Die erfindungsgemäße Steuervorrichtung mit Mikroventilen eignet sich deshalb besonders für den Einsatz bei schnellen Stellern, wie sie beispielsweise bei einem Antiblockiersystem für Kraftfahrzeugbremsen benötigt werden.Another advantage is that only small masses are moved. The control device with micro valves according to the invention is therefore particularly suitable for use with fast actuators, such as those required in an anti-lock braking system for motor vehicle brakes.

Eine weitere Anwendungsmögliohkeit ist die Verwendung der VentilvorricJitung bei Kraftstoffeinspritzanlagen für Brennkraftmaschinen. Hier ist es von Vorteil, daß die Krümmung der Oberfläche, in der die Mikroventile angeordnet sind, der Brennraumgeometrie angepaßt werden kann. Eine örtlich variable Einspritz-Mengensteuerung, die eine optimale Verbrennung des Gemisches ermöglicht, ist durch Einzelansteuerung der Mikroventile möglich.Another possible application is the use of the valve device in fuel injection systems for internal combustion engines. Here it is advantageous that the curvature of the surface in which the micro valves are arranged can be adapted to the combustion chamber geometry. A locally variable injection quantity control, which enables optimal combustion of the mixture, is possible by individually controlling the micro valves.

·« 3 - R. 20668·« 3 - R. 20668

Weitere Einzelheiten und vorteilhafte Weiterbildungen der Steuervorrichtung mit Mikroventilen ergeben sich aus den Ünteransprüchen in Verbindung mit der folgenden Beschreibung.Further details and advantageous developments of the control device with microvalves emerge from the subclaims in conjunction with the following description.

^ Zeichnung^ Drawing

§ Figur 1 zeigt eine in Sektoren eingeteilte erfindungsgeraäße Steuer- § Figure 1 shows a control system according to the invention divided into sectors.

vorrichtung mit Mikroventilen, Figur 2 zeigt ein erstes Ausführungs-device with microvalves, Figure 2 shows a first embodiment

fij Beispiel eines einzelnes Mikroventils der Steuervorrichtung nach Figur 1 und Figur 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel eines Mikrojf ventils der Steuervorrichtung nach Figur 1.fij example of a single micro valve of the control device according to Figure 1 and Figure 3 shows a second embodiment of a micro valve of the control device according to Figure 1.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Figur 1 zeigt eine Steuervorrichtung mit Mikroventilen 10* bei der Mikroventile 12 schachbrettartig in einer Ebene 14 auf einem Trägermaterial 16 angeordnet sind. Die Vorrichtung 10 weist zwei Stromversorgungsleitungen 18 und mehrere Steuerleitungen 20 auf, wobei die Anzahl der Steuerleitungen 20 wenigstens gleich der Anzahl der Mikroventile 12 ist. Mehrere Mikroventile 12 sind zu Sektoren 22 zusammengefaßt. In der Figur 1 sind beispielsweise vier Sektoren 22 durch unterbrochene Linien eingezeichnet.Figure 1 shows a control device with microvalves 10* in which microvalves 12 are arranged in a checkerboard pattern in a plane 14 on a carrier material 16. The device 10 has two power supply lines 18 and several control lines 20, the number of control lines 20 being at least equal to the number of microvalves 12. Several microvalves 12 are combined to form sectors 22. In Figure 1, for example, four sectors 22 are shown by broken lines.

Die Mikroventile 12 können auch in einem anderen Muster als dem in Figur 1 gezeigten schachbrettartigen Muster angeordnet sein. Das schachbrettartige Muster bietet jedoch den Vorteil einer besseren Flächenausnutzung.The microvalves 12 can also be arranged in a pattern other than the checkerboard pattern shown in Figure 1. However, the checkerboard pattern offers the advantage of better utilization of the area.

Die Fläche 14 ist dem Anwendungfall anpaßbar. Neben der Anordnung in einer Ebene kann auch eine Krümmung der Fläche 14 vorteilhaft sein. Dies ist insbesondere bei der Ausgestaltung der Steuervorrichtung 10 als Kraftstoffeinspritzventil einer Brennkraftmaschine vorteilhaft. In diesem Falle kann die Krümmung der Oberfläche der Brennraumgeometrie angepaßt werden. Zusätzlich zur zeitlichen Steuerung der Ein-The surface 14 can be adapted to the application. In addition to the arrangement in one plane, a curvature of the surface 14 can also be advantageous. This is particularly advantageous when the control device 10 is designed as a fuel injection valve of an internal combustion engine. In this case, the curvature of the surface can be adapted to the combustion chamber geometry. In addition to the time control of the injection

- 21 - R. 20668- 21 - R.20668

spritz-Kraftstoffmenge ist somit auch eine örtlich variable Mengen- % The fuel quantity injected is therefore also a locally variable quantity %

I steuerung möglich, da die einzelnen Mikroventile 12 über Steuerlei- | I control is possible because the individual micro valves 12 are connected via control lines |

tungen 20 unabhängig voneinander ansteuerbar sind. Der erforderliche ;20 can be controlled independently of each other. The required ;

Mengendurchsatz des strömenden Mediums wird dann erreicht, wenn we- '· Mass flow rate of the flowing medium is achieved when we- '·

nigstens zehn Mikroventile 12 pro Quadratmillimeter angeordnet sind.At least ten microvalves 12 are arranged per square millimeter.

Eine Zusammenfassung mehrerer, gemeinsam betätigter Mikroventile 12 ;A combination of several jointly operated microvalves 12;

in Sektoren 22 ist besonders zweckmäßig, da die Ausfallsicherheitin sectors 22 is particularly useful because the reliability

sowie die in eine bestimmte Richtung abgespritzte Kraftstoffmenge Pand the amount of fuel P sprayed in a certain direction

steigen.climb.

Figur 2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines einzelnen Mikro- &iacgr;Figure 2 shows a first embodiment of a single micro- &iacgr;

ventiles 12. In das Trägermaterial Io sind durch Oberfläehenbehand- ] valve 12. The carrier material Io is provided with surface treatment ]

lung eine Vertiefung 24, ein Einlaß 26 tind ein Auslas 28 sowie eine |a recess 24, an inlet 26 and an outlet 28 and a |

Leitungsstruktur 30 und eine Ansteuerschaltung 32 eingearbeitet. *Line structure 30 and a control circuit 32 are incorporated. *

Zwischen Einlaß 26 und Auslaß 28 ist ein Ventilsitz 34 angeordnet. Das Gegenstück zum Ventilsitz 34 ist ein Schließglied 36. Das Schließglied 36 weist eine membranartige Dichtung 38 und einen metallenen Körper 40 auf. Als Dichtungsmaterial kommt vorzugsweise Teflon zur Anwendung. Ist eine hohe Bearbeitungsgenauigkeit der Oberflächen gegeben, so kann auf die Dichtung 38 verzichtet werden. Die Leitungsstruktur 30 und der metallene Körper 40 mit der zugeordneten Dichtung 38 bilden einen Elektromagneten 42. Ein Stromfluß in der um den metallenen Körper 40 herum geschlossenen Leitungsstruktur 30 erzeugt ein Magnetfeld, das auf das Schließglied 36 eine Kraft ausübt, die eine Schließ- bzw. Öffnungsbewegung zur Folge hat. Der zum Betrieb des Elektromagneten 42 erforderliche Strom wird der Steuervorrichtung mit Mikroventilen 10 über die Stromversorgungsleitungen 18 zugeführt. Die Ansteuerung des Elektromagneten 42 erfolgt über eine Ansteuerschaltung 32. Die Ansteuerschaltung 32 kann in dem Trägermaterial 16 integriert werden, wenn als Trägermaterial 16 ein Halbleiter-Werkstoff, vorzugsweise Siliz:../.n, vorgesehen ist. Die AnsteuerschältUng 32 erhält über eine Steuerleitung 20 ihr Eingangssignal* Wird als Trägermaterial 16 dagegen ein metallener WerkstoffA valve seat 34 is arranged between the inlet 26 and the outlet 28. The counterpart to the valve seat 34 is a closing member 36. The closing member 36 has a membrane-like seal 38 and a metal body 40. Teflon is preferably used as the sealing material. If the surfaces are machined with high precision, the seal 38 can be omitted. The line structure 30 and the metal body 40 with the associated seal 38 form an electromagnet 42. A current flow in the line structure 30 closed around the metal body 40 generates a magnetic field that exerts a force on the closing member 36, which results in a closing or opening movement. The current required to operate the electromagnet 42 is supplied to the control device with microvalves 10 via the power supply lines 18. The electromagnet 42 is controlled via a control circuit 32. The control circuit 32 can be integrated into the carrier material 16 if a semiconductor material, preferably silicon, is provided as the carrier material 16. The control circuit 32 receives its input signal via a control line 20*. If, on the other hand, a metallic material is used as the carrier material 16,

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verwendet, dann müssen die Leitungsstruktur 30 und die Ansteuerschaltung 32 gegen das metallene Trägermaterial 16 isoliert werden.used, then the line structure 30 and the control circuit 32 must be insulated from the metal carrier material 16.

In Figur 2 ist der geschlossene Betriebszustand des Mikroventils 12 gezeigt. Einlaß 26 und Auslaß 28 sind räumlich getrennt durch die Zusammenwirkung der ebenen Dichtung 38 mit dem ebenen Ventilsitz 34. Alternativ ist es auch möglich, den Ventilsitz 34 und die gegenüberliegende Seite des Schließgliedes 36 zu einer kegelartigen Form auszubilden. Figure 2 shows the closed operating state of the micro valve 12. Inlet 26 and outlet 28 are spatially separated by the interaction of the flat seal 38 with the flat valve seat 34. Alternatively, it is also possible to form the valve seat 34 and the opposite side of the closing member 36 into a conical shape.

Figur 3 zeigt ein zweite« Ausführungsbeispiel, bei dem das Mikroventil 12 mehrere Ein- und Auslässe aufweist. Die Ventilstruktur entsteht auch bei diesem Ausführungsbeispiel durch Oberflächenbearbeitung des Trägermaterials 16.Figure 3 shows a second embodiment in which the microvalve 12 has several inlets and outlets. The valve structure is also created in this embodiment by surface treatment of the carrier material 16.

E?ei Einlasse 46 und drei Auslässe 48 sind durch Ventilsitze 50 voneinander getrennt. Gegen die Ventilsitze 50 ist eine Dichtung 52 preßbar. Die Dichtung 52 steht in Verbindung mit einem metallenen Kern 54 eines Elektromagneten 44.One inlet 46 and three outlets 48 are separated from one another by valve seats 50. A seal 52 can be pressed against the valve seats 50. The seal 52 is connected to a metal core 54 of an electromagnet 44.

Bei diesem Ausführungsbeispiel tritt eine höhere Druckbelastung auf als bei einem einfacheren Mikroventil 12 gemäß Figur 2, das weniger Strömungskanäle aufweist. Der größere magnetische Fluß wird zweckmäßig von einer stromdurchflossenen Drahtwicklung 56 bereitgestellt, die um den metallenen Kern 54 herum angeordnet ist. Eine Ansteuerschaltung für den Elektromagneten 44 kann in das Trägermaterial 16 integriert werden, wenn es aus einem Halbleiter-Werkstoff besteht. Wird metallener Werkstoff verwendet, so muß die Ansteuerschaltung gegen das Trägermaterial 16 isoliert werden.In this embodiment, a higher pressure load occurs than in a simpler microvalve 12 according to Figure 2, which has fewer flow channels. The larger magnetic flux is expediently provided by a current-carrying wire winding 56 which is arranged around the metal core 54. A control circuit for the electromagnet 44 can be integrated into the carrier material 16 if it consists of a semiconductor material. If metal material is used, the control circuit must be insulated from the carrier material 16.

Das Ausführungsbeispiel gemäß Figur 3 eignet sich besonders für das Betreiben der Steuervorrichtung mit Mikroventilen 10 naeh Sektoren 22, da die Mikroventi'le 12 eines Sektors 22 gemeinsam betätigt Wer-The embodiment according to Figure 3 is particularly suitable for operating the control device with microvalves 10 in sectors 22, since the microvalves 12 of a sector 22 are operated together.

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- 6 - R· 20668- 6 - R· 20668

den. Anstelle einer gleichzeitigen Ansteuerung der einzelnen Ventile eines Sektors 22, ist lediglich ein Elektromagnet mit einer größeren, der Sektorfläche angepaßten Dichtungsfläche vorgesehen. Die in Figur 3 gezeigten Ein- und Auslässe U6, H8 entsprechen dann den Ein- und Auslässen mehrerer Mikroventilc 12.Instead of simultaneously controlling the individual valves of a sector 22, only one electromagnet with a larger sealing surface adapted to the sector area is provided. The inlets and outlets U6, H8 shown in Figure 3 then correspond to the inlets and outlets of several microvalves 12.

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Claims (19)

• · ■ · · I Gebrauühsmusteranmeldung G 86 14 741.2 R. 20668 Lo/Wl Robert Bosch GmbH, Stuttgart 14. Juli 1986 Ansprüche• · ■ · · I Utility model application G 86 14 741.2 R. 20668 Lo/Wl Robert Bosch GmbH, Stuttgart 14 July 1986 Claims 1. Steuervorrichtung mit Mikroventilen, die aus Mikroventilen mit wenigstens einem Einlaß- und einem Auslaß sowie einem dazwischengeschalteten Ventilsitz gebildet ist, wobei Einlaß, Auslaß und Ventilsitz durch Oberflächenbearbeitung eines Trägermaterials hergestellt sind., mit einem Schließglied, das gegen den Ventilsitz preßbar und mit Hilfe eines Elektromagneten bewegbar ist, "öadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zehn Mikroventile (12) pro Quadratmillimeter auf einer Oberfläche (14) angeordnet und Einlaß (26, 46), Auslaß (28, 48) und Ventilsitz (34, 50) der Mikroventile (12) aus einem Trägermaterial (16) hergestellt sind.1. Control device with microvalves, which is formed from microvalves with at least one inlet and one outlet and an intermediate valve seat, the inlet, outlet and valve seat being produced by surface treatment of a carrier material, with a closing member which can be pressed against the valve seat and is movable with the aid of an electromagnet, "öacharacterized in that at least ten microvalves (12) per square millimeter are arranged on a surface (14) and the inlet (26, 46), outlet (28, 48) and valve seat (34, 50) of the microvalves (12) are produced from a carrier material (16). 2. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroventile (12) a f einer ebenen Fläche (14) angeordnet sind.2. Control device according to claim 1, characterized in that the microvalves (12) are arranged on a flat surface (14). 3. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroventile (12) auf einer gekrümnmten Fläche (14) angeordnet sind.3. Control device according to claim 1, characterized in that the microvalves (12) are arranged on a curved surface (14). 4. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Schließglied (36) gegen einen ebenen Ventilsitz (34, 50) arbeitet.4. Control device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the closing member (36) works against a flat valve seat (34, 50). 5. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Schließglied (36) gegen einen kegelartigen Ventilsitz (34, 50) arbeitet.5. Control device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the closing member (36) works against a conical valve seat (34, 50). 6. Steuervorrichtung nach Anspruch 4 oder 5> dadurch gekennzeichnet, daß das Schließglied (36) der Kern (40, 54) eines Elektromagneten t(i|2, 4U;) ist..6. Control device according to claim 4 or 5> characterized in that the closing member (36) is the core (40, 54) of an electromagnet t(i|2, 4U;). 4 1**·4 1**· • ·
I * I ·
I * I - 2 - R. 20668- 2 - R.20668 7· Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Ventilsitz (31Ji 50) und dem metallenen Kern (40, 54) des Elektromagneten (40, 44) eine Dichtung (38, 52) vorgesehen ist.7· Control device according to one of claims 1 to 6, characterized in that a seal (38, 52) is provided between the valve seat (3 1 Ji 50) and the metal core (40, 54) of the electromagnet (40, 44). 8. Steuervorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Dichtung (38, 52) aus dem Werkstoff Teflon hergestellt ist.8. Control device according to claim 7, characterized in that the seal (38, 52) is made of the material Teflon. 9. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägermaterial (16) ein Halbleiter-Werkstoff ist.9. Control device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the carrier material (16) is a semiconductor material. 10. Steuervorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß als Halbleiter-Werkstoff Silizium verwendet wird.10. Control device according to claim 9, characterized in that silicon is used as the semiconductor material. 11. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Trägermaterial (16) ein metallner Werkstoff verwendet ist.11. Control device according to one of claims 1 to 8, characterized in that a metallic material is used as the carrier material (16). 12. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroventile (12) schachbrettartig angeordnet sind.12. Control device according to one of claims 1 to 11, characterized in that the microvalves (12) are arranged in a checkerboard pattern. 13. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Wicklung des Elektromagneten (42) durch Oberflächenbearbeitung des Trägermaterials (16) hergestellt ist.13. Control device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the winding of the electromagnet (42) is produced by surface treatment of the carrier material (16). 14. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ansteuerschaltung (32) des Elektromagneten (42, 44) zum Elektromagneten (42, 44) benachbart angeordnet ist.14. Control device according to one of claims 1 to 13, characterized in that a control circuit (32) of the electromagnet (42, 44) is arranged adjacent to the electromagnet (42, 44). 15· Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 14, dadurch !gekennzeichnet, daß die Ansteuerschaltung (32) des Elektromagneten15· Control device according to one of claims 9 to 14, characterized in that the control circuit (32) of the electromagnet # i I* * i # i I* * i IiM tIiM t &iacgr; · · 41· I·· · 41· I· •it«· · 4 · til•it«· · 4 · til * 3 - K* 20668* 3 - K* 20668 ('J2( 44) in dem Trägermaterial (16) integriert dem Elektromagneten
(i)2j M) benachbart angeordnet('J2 ( 44) in the carrier material (16) integrated the electromagnet
(i)2j M) arranged adjacent 16« Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß sie Teil einer Bremsvorrichtung eines Kraftfahrzeugs ist.16« Control device according to one of claims 1 to 15, characterized in that it is part of a braking device of a motor vehicle. 174 Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß sie Teil einer Kraftstoff-Einspritzvorrichtung für Brennkraftmaschinen ist.17 4 Control device according to one of claims 1 to 15, characterized in that it is part of a fuel injection device for internal combustion engines. 18. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 151 dadurch gekennzeichnet, daß jedes einzelne Mikroventil C-2) über Steuerleitungen (20) ansteuerbar ist.18. Control device according to one of claims 1 to 151, characterized in that each individual microvalve C-2) can be controlled via control lines (20). 19. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15t dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte Mikroventilanordnung (10) in Sektoren
(22) unterteilt ist und daß die einzelnen Sektoren (22) über Steuerleitungen (20) ansteuerbar sind.19. Control device according to one of claims 1 to 15t, characterized in that the entire microvalve arrangement (10) is divided into sectors
(22) and that the individual sectors (22) can be controlled via control lines (20).
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