DE8614269U1

DE8614269U1 - Handling device

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Publication number: DE8614269U1
Application number: DE19868614269
Authority: DE
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1986-05-27
Filing date: 1986-05-27
Publication date: 1994-03-31
Anticipated expiration: 1996-05-28

Description

Besdhrei.bunq·

Haix3habungsvorrichtungen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 werden vorzugsweise zur Handhabung von Testköpfen verwendet. Diese Testköpfe sind in vollautomatischen Prüf anlagen zur Prüfung und Klassifizierung von elektronischen Bauelementen, wie z.B. integrierten Schaltungen in PLLC-, CLOC-, SO- oder SMD- Bauweise eingesetzt.Handling devices according to the preamble of claim 1 are preferably used for handling test heads. These test heads are used in fully automatic test systems for testing and classifying electronic components, such as integrated circuits in PLLC, CLOC, SO or SMD design.

Diese Testköpfe' werden nun mit den besagten Handhabungsvorrichtungen in den Prüfanlagen placiert oder es können die Testköpfe damit in eine ergonctnisch günstige Lage für Reparaturen gebracht werden. Eine weitere Verwendung finden die Handhabungsvorrichtungen auch zur Placierung von Testköpfen an sog. Wafer- Probern.These test heads are now placed in the test systems using the handling devices mentioned, or the test heads can be brought into an ergonomically favorable position for repairs. The handling devices are also used to place test heads on so-called wafer probers.

Für die jeweilige Positionierung des Testkopfes ist es notwendig, daß die Handhabungsvorrichtung sowohl eine schnelle als auch eine sehr genaue Höheneinstellung zuläßt, wobei auch in einer horizontalen Ebene Bewegungen in zwei Kbordinatenrichtungen und eine Kippbewegung um eine horizontale Achse notwendig sind. Eine Drehbewegung um die Mittelachse des Standgehäuses zum schnellen Wegschwenken des Testkopfes von der Prüfeinrichtung ist erwünscht.For the respective positioning of the test head, it is necessary that the handling device allows both a quick and a very precise height adjustment, whereby movements in two coordinate directions and a tilting movement around a horizontal axis are also necessary in a horizontal plane. A rotational movement around the center axis of the stand housing for quickly swiveling the test head away from the test device is desirable.

Eine bekannte Ausführung einer derartigen Handhabungsvorrichtung ist so gestaltet, daß in einem auf Spreizstützen aufgestellten Standgehäuse in Rechteck- Hohlkastenbauweise eine Parallelführung mit zwei Rundsäulen und eine Gewindespindel zur Höheneinstellung eines angeschlossenen Testkopfes vorgesehen sind. Die Gewindespindel ist dabei starr mit einem Querhaupt der Handhabungsvorrichtung verbunden, wobei eine Gewichtsentlastung des Testkopfes, der in einer Aufnahmevorrichtung des Querhauptes aufgenonmmen ist, nicht erfolgt. Infolge der starren Koppelung ist bei einer Bedenerschütterung die übertragung von vertikal wirkenden Beschleunigungskräften auf die Köntaktierungsstelle zwischen Testkopf und Prüfeinrichtung möglich. A known version of such a handling device is designed in such a way that a parallel guide with two round columns and a threaded spindle for adjusting the height of a connected test head are provided in a standing housing in a rectangular hollow box construction set up on spreader supports. The threaded spindle is rigidly connected to a crosshead of the handling device, whereby the weight of the test head, which is held in a holder of the crosshead, is not relieved. As a result of the rigid coupling, the transmission of vertically acting acceleration forces to the contact point between the test head and the test device is possible in the event of a vibration.

Eine andere bekannte Ausführung eines solchen Handhabungsgerätes (US 45 27 942) ist zur Höheneinstellung in einem einseitig offenenAnother known design of such a handling device (US 45 27 942) is for height adjustment in a one-sided open

Standgehäuse in C- Form mit einer Rundsäule mit klemmbar daran höhenverschiebbarem Testkopfträger ausgestattet. Zur Gewichtsentlastung wird die Gewichtskraft des Testkopfes über eine Umlenkrolle und Gegengewichte aufgefangen. Eine feinfühlige Höhenjustierung ist nicht möglich.C-shaped stand housing with a round column with a height-adjustable test head support that can be clamped to it. To reduce the weight, the weight of the test head is absorbed by a pulley and counterweights. Sensitive height adjustment is not possible.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Handhabungsvorrichtung der eingangs beschriebenen Bauart so weiterzuentwickeln, daß sowohl eine genaue als auch schnelle Höheneinstellung bei gewichtsentlastetem Testkopf möglich ist.The object of the invention is to further develop a handling device of the type described above in such a way that both precise and rapid height adjustment is possible with the test head unloaded.

Diese Aufgabe wird mit einer Handhabungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved with a handling device having the features of claim 1.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.Advantageous embodiments of the invention are specified in the subclaims.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird der Gewichtsausgleich über eine Flaschenzuganordnung mit Gewichtsstücken, die in dem Gehäuse des Standgehäuses angeordnet sind, durchgeführt. Durch die Anordnung des Flaschenzugs (Umlenkung um eine feste und um eine lose Rolle) ist es möglich, bei gleichem Gewicht von Testkopf und Ausgleichsgewichten die Höhe der Standsäule um die Hälfte des erwünschten Höhenverfahrwegs forden Testkopf zu verkürzen. In dem nachfolgend beschriebenen Beispiel ist dieser Flaschenzug als Kettenzug mit Rollenketten ausgeführt. Es ist selbstverständlich auch die Verwendung von z.B. Drahtseilen oder Stahlbändern mit entsprechenden Seil- bzw. Bandrollen möglich.
Die fest angeordnete Flaschenzugrolle ist über eine Klemmvorrichtung sperrbar.In the device according to the invention, the weight compensation is carried out using a pulley arrangement with weights that are arranged in the housing of the stand housing. The arrangement of the pulley (deflection around a fixed and a loose roller) makes it possible to shorten the height of the stand column by half the desired height travel for the test head when the weight of the test head and the compensation weights are the same. In the example described below, this pulley is designed as a chain hoist with roller chains. It is of course also possible to use wire ropes or steel bands with corresponding rope or band rollers.
The fixed pulley can be locked using a clamping device.

Die beweglich angeordnete Flaschenzugrolle ist mit einer Gewindespindel mit dem Querhaupt der Aufnahmeeinrichtung an der Oberseite des Standsäule verbunden. Hiermit ist eine Feinverstellung des Testkopfes in der Höhe möglich.The movable pulley is connected to the crosshead of the support device on the top of the column using a threaded spindle. This allows fine adjustment of the height of the test head.

Durch die erfindungsgemäße Kombination von Gewichtsausgleich mittels Flaschenzugpririzip und Gewindespindel zur Feineinstellung in Höhe sind zwei vorteilhafte Betriebsweisen möglich:The inventive combination of weight compensation using the pulley principle and threaded spindle for fine adjustment in height enables two advantageous operating modes:

a) Die Testkopfhalterung kann bei nicht geklemmtem Flaschenzug infolgea) The test head holder can be moved when the pulley is not clamped

des ausgeglichenen Gewichts durch einfaches Herausziehen oder Hineinschieben in das Standgehäuse grob in der Höhe verfahren werden. Danach wird der Flaschenzug an der festen Rolle geklemmt und der Testkopf mittels der Gewindespindel, die an der beweglichen Rolle über eine Führungsplatte befestigt ist, fein in der Höhe eingestellt werden, ohne daß weitere Führungsmittel in der Handhabungsvorrichtung angeordnet werden müssen.The balanced weight can be roughly adjusted in height by simply pulling it out or pushing it into the stand housing. The pulley is then clamped to the fixed roller and the test head can be finely adjusted in height using the threaded spindle, which is attached to the movable roller via a guide plate, without the need for additional guide means in the handling device.

b) Für bestimmte Anwendungszwecke ist es notwendig, den Testkopf schnell in die Höhe heben zu können, wobei aber trotzdem eine genau eingestellte Ausgangslage wieder erreicht werden soll. Hierbei wird die Voreinstellung wie unter a) durchgeführt. Danach kann durch Öffnen der Flaschenzugklemme der Testkopf schnell gehoben und gesenkt werden, wobei das Gewicht des Testkopfes durch entsprechende Gegengewichtsstücke ausgeglichen ist.b) For certain applications it is necessary to be able to raise the test head quickly, but still be able to return to a precisely set starting position. The presetting is carried out as under a). The test head can then be raised and lowered quickly by opening the pulley clamp, with the weight of the test head being balanced by appropriate counterweights.

Als weiterer wesentlicher Vorteil der hier angewendeten kompakten Bauweise ist es möglich, die Aufnahmeeinrichtung über der Standsäule in der horizontalen Ebene um 360° schwenkbar zu gestalten. Der Testkopf läßt sich dadurch zJ3. für Reparaturzwecke sehr leicht von der Anschlußstelle in einer Prüfeinrichtung nach hinten weg schwenken und ist dadurch sehr gut zugänglich.Another significant advantage of the compact design used here is that it is possible to make the mounting device above the column pivotable by 360° in the horizontal plane. This means that the test head can be pivoted very easily away from the connection point in a test device for repair purposes, for example, and is therefore very easily accessible.

Zugleich ist bei der erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung eine tiefe Schwerpunktlage erreicht, was die Standsicherheit der Anordnung erhöht und bei der Handhabung der bis zu 1 500 N schweren Testköpfe sehr erwünscht ist.At the same time, the handling device according to the invention achieves a low center of gravity, which increases the stability of the arrangement and is very desirable when handling test heads weighing up to 1 500 N.

Die Anwendung eines zusätzlichen Federausgleichs zwischen dem Querhaupt der Aufnahmeeinrichtung und der Gewindespindel für Feineinstellung ist je nach Handhabungsaufgabe möglich.The use of an additional spring compensation between the crosshead of the holding device and the threaded spindle for fine adjustment is possible depending on the handling task.

Weitere Einzelheiten einer erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung werden im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen an einem Ausführungsbeispiel erläutert.Further details of a handling device according to the invention are explained below using an exemplary embodiment with reference to the accompanying drawings.

Fig. J_ zeigt eine räumliche Darstellung einer Handhabungsvorrichtung, Fig. J_ shows a spatial representation of a handling device,

Fig. 2 und Fig. 3 zeigen den Aufriß bzw. den Seitenriß des Oberteils der Hanähabungsvorrichtung nach Fig. 1. Fig. 2 and Fig. 3 show the elevation and the side elevation of the upper part of the sewing device according to Fig. 1.

In der räumlichen Darstellung nach Fig. 1 ist der Aufbau der Handhabungsvorrichtung erkennbar:The structure of the handling device can be seen in the spatial representation in Fig. 1:

Ein vertikales Standgehäuse 1 ist auf dem Boden mit Spreizfüßen 2, die zur vertikalen Justierung mit Stütztellern 3 ausgestattet sind, aufstellbar. In dem Standgehäuse ist ein Rundsäulenpaar 4 zur Parallelführung längsverschieblich aufgenommen. An das Rundsäulenpaar ist am oberen Ende eine Aufnahmeeinrichtung mit Querhaupt 5, Gelenkarmen 6, 7 und eine Aufnahme 8 mit Kippvorrichtung 9 für einen Testkopf angebaut. Eine Gewindespindel 10 ist mit einem Handrad 11 in dem Querhaupt 5 drehbeweglich gelagert. Mit einer Klemme 12 ist die Gewindespindel im Querhaupt klemmbar.A vertical stand housing 1 can be set up on the floor with spreading feet 2, which are equipped with support plates 3 for vertical adjustment. A pair of round columns 4 are accommodated in the stand housing for parallel guidance and can be moved longitudinally. A support device with a crosshead 5, articulated arms 6, 7 and a support 8 with a tilting device 9 for a test head is attached to the upper end of the pair of round columns. A threaded spindle 10 is rotatably mounted in the crosshead 5 with a handwheel 11. The threaded spindle can be clamped in the crosshead with a clamp 12.

Der weitere Aufbau ist aus den Fig. 2 und 3 ersichtlich:The further structure can be seen in Fig. 2 and 3:

Das Rundsäulenpaar zur Parallelführung ist in dem Standgehäuse über die Lagerböcke 13 höhenverschieblich gelagert. Zur Lagerung sind Kugelumlaufbuchsen oder Kunststoff gleitlager 14 geeignet. Die Flaschen.· !,jrollen 15, 16 sind zweirollig symmetrisch ausgebildet. Die bewegliche Rolle 15 ist über eine Führungsplatte 1 7 auf den Rundsäulen höhenverschieblich gelagert. Die Gewindespindel ist zwischen Führungsplatte 17 und Querhaupt 5 befestigt, wobei die Gewindespindel in einer in der Führungsplatte befestigten Mutter schraubbar ist.The pair of round columns for parallel guidance is mounted in the housing so that its height can be adjusted via the bearing blocks 13. Recirculating ball bushings or plastic plain bearings 14 are suitable for mounting. The bottle rollers 15, 16 are designed symmetrically with two rollers. The movable roller 15 is mounted on the round columns so that its height can be adjusted via a guide plate 17. The threaded spindle is attached between the guide plate 17 and the crosshead 5, whereby the threaded spindle can be screwed into a nut attached to the guide plate.

Die feste Führungsrolle 16 ist ebenfalls zweirollig ausgeführt und mittels Achse 18 in dem Standgehäuse aufgenommen. Diese Achse ist mit den Kleirrnschrauben 19 in dem Standgehäuse klemmbar.The fixed guide roller 16 is also designed with two rollers and is housed in the stand housing by means of an axle 18. This axle can be clamped in the stand housing using the locking screws 19.

In dem Standgehäuse sind Gegengewichte 20 vertikal beweglich angeordnet. Zum Auflegen oder Abnehmen der Gewichte ist in dem Standgehäuse eine Türe vorgesehen.Counterweights 20 are arranged in the stand housing so that they can move vertically. A door is provided in the stand housing for placing or removing the weights.

Die Gewichte sind über die feste Flaschenzugrolle und die lose Flaschenzugrolle mit einer doppelt angeordneten Rollenkette mit einem Justier-The weights are connected via the fixed pulley and the loose pulley with a double arranged roller chain with an adjustment

schloß 21 an der Standsäule angelenkt. Das Justierschloß enthält eine Anordnung zur genauen Abstimmung der Kettenlänge. Die Aufhängung der Gewichte an der Rollenkette ist ebenfalls mittels Justierschlössern 21 in der Höhe korrigierbar.lock 21 is hinged to the column. The adjustment lock contains an arrangement for precisely adjusting the chain length. The suspension of the weights on the roller chain can also be corrected in height using adjustment locks 21.

Claims

1. Handling device, in particular for handling test heads, with a stand housing on spreading feet in which two guide columns are movably mounted, with a receiving device with crosshead and gel arms and a tilting device that can be pivoted about a horizontal axis, with a threaded spindle that can be operated by handwheel for height adjustment, characterized in that for the weight compensation of the test head and the receiving device, weights (20) in the stand housing (1) are connected in a height-adjustable manner via a pulley arrangement to a guide plate (17), wherein the receiving device can be adjusted in height relative to the guide plate with the threaded spindle (10) for fine adjustment.

2. Handling device according to claim 1, characterized in that a roller chain guided via gear wheels is used for the pulley.

3. Handling device according to claim 1, characterized in that a wire rope running over rope pulleys is used for the pulley.

4. Handling device according to claim 1, characterized in that a steel band running over disc rollers is used for the pulley.

5. Handling device according to claims 1 to 4, characterized in that the pulley block is designed with parallel rollers.

6. Handling device according to claims 1 to 5, characterized in that a corresponding adjustment lock 21 is provided for adjusting the connecting means of the pulley block (chain, rope, band).

7. Handling device according to claims 1 to 6, characterized in that the pulley is lockable.

8. Handling device according to claim 7, characterized in that the block and tackle is secured by clamping it to the axis of the fixed block and tackle roller (16).

9. Handling device according to claims 1 to 8, characterized in that the receiving device with crosshead, articulated arms and clamping device can be pivoted by 360° in the horizontal plane above the support column.