DE8313028U1 - Measuring device - Google Patents
Measuring deviceInfo
- Publication number
- DE8313028U1 DE8313028U1 DE19838313028 DE8313028U DE8313028U1 DE 8313028 U1 DE8313028 U1 DE 8313028U1 DE 19838313028 DE19838313028 DE 19838313028 DE 8313028 U DE8313028 U DE 8313028U DE 8313028 U1 DE8313028 U1 DE 8313028U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- scale
- measuring device
- measuring
- swivel
- length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 244000309464 bull Species 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910001208 Crucible steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
- 1 -OR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 11. April 1983- 1 -OR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH 11 April 1983
Die Erfindung betrifft eine Meßeinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1·The invention relates to a measuring device according to the preamble of claim 1·
Insbesondere bei Bearbeitungsmaschinen besteht mitunter die Notwendigkeit, eine MeßeinrichtungEspecially in the case of processing machines, it is sometimes necessary to have a measuring device zum Messen oder Einstellen der Relativlage zwischen einem Werkzeug und einem Werkstück an einem Maschinenteil zu befestigen, das sich beim Betrieb der Maschine im Gegensatz zum Werkstück, das gemessenfor measuring or adjusting the relative position between a tool and a workpiece to be attached to a machine part which, during operation of the machine, is in contrast to the workpiece which is to be measured oder bearbeitet werden soll, stark erwärmt. Inor is to be processed, is heated to a high temperature. In diesem Fall erwärmt sich ebenfalls der Maßstab der Meßeinrichtung und dehnt sich aus, so daß Meßfehler die Folge sind. Eine derartige Meßeinrichtung müßte mit einem Maßstab aus einem Material mit vernachIn this case, the scale of the measuring device also heats up and expands, resulting in measurement errors. Such a measuring device would have to be equipped with a scale made of a material with lässigbar kleinem thermischem Ausdehnungskoeffi zienten ausgerüstet sein; ein solcher Maßstab aus Quarzglas oder Invar ist aber relativ teuer.be equipped with a relatively small thermal expansion coefficient; however, such a scale made of quartz glass or Invar is relatively expensive.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßeinrichtung der oben genannten Gattung anzugeben, bei der die Meßgenauigkeit auch bei einerThe invention is based on the object of specifying a measuring device of the above-mentioned type, in which the measuring accuracy is maintained even with a
Erwärmung des Maßstabs mit endlichem thermischem Ausdehnungskoeffizienten erhalten bleibt*Heating of the scale with finite thermal expansion coefficient is maintained*
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kenrizeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst·This object is achieved according to the invention by the characterizing features of claim 1.
Die mit der Erfindung erzielter. Vorteile bestehen insbesondere darin, daß bei der vorgeschlagenen Meßeinrichtung mit einfachen Mitteln eine Kompensation thermischer Längenänderungen des Maßstabs ermöglicht wird, so daß bei einer solchen Meßeinrichtung keine speziellen Maßstäbe eingesetzt werden müssen, was zu einer erheblichen Verteuerung der Meßeinrichtung führen würde.The advantages achieved with the invention are in particular that the proposed measuring device enables compensation of thermal length changes of the scale using simple means, so that no special scales have to be used with such a measuring device, which would lead to a significant increase in the cost of the measuring device.
Vorteilhafte Ausbildungen der Erfindung entnimmt man den UnteranSprüchen.Advantageous embodiments of the invention can be found in the dependent claims.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand \ der Zeichnung näher erläutert.Embodiments of the invention are explained in more detail with reference to the drawing.
In Figur 1 ist eine Werkzeugmaschine mit einem Maschinenbett 1 dargestellt, auf dem ein Schlitten 2 in X-Richtung horizontal verschiebbar geführtFigure 1 shows a machine tool with a machine bed 1 on which a slide 2 is guided so as to be horizontally displaceable in the X direction. ist. Zur Messung der Relativlage zwischen demTo measure the relative position between the Schlitten 2 und dem Maschinenbett 1, bzw. zwischen einem Werkzeug und einem Werkstück, die nicht dargestellt sind, ist am Schlitten 2 eine Längenmeßeinrichtung L angeordnet.A length measuring device L is arranged on the slide 2 between the slide 2 and the machine bed 1, or between a tool and a workpiece, which are not shown.
Die Längenmeßeinrichtung L besteht aus einem Maßet ab träger in Form eines Gehäuses G, in des sein Inneren ein Maßstab M mit einer Teilung T mittels einer nicht gezeigten elastischen KlebeschichtThe length measuring device L consists of a scale carrier in the form of a housing G, in the interior of which a scale M with a graduation T is fixed by means of an elastic adhesive layer (not shown)
befestigt ist, die eine gewisse Verschiebung des Naßstabe M in X-Richtung (Meßrichtung) relativ zum Gehäuse G zuläßt. Das Gehäuse G ist über zwei Be* festigungselemente B1, B2 am Schlitten 2 befestigt und weist einen von nicht gezeigten Dichtelementen verschlossenen Längsschlitz 8 auf, durch den eine am Maschinenbett 1 befestigte Abtasteinheit A zur Abtastung der Teilung T des Maßstabs M mit bekannten Mitteln hindurchgreift.which allows a certain displacement of the wet rod M in the X direction (measuring direction) relative to the housing G. The housing G is attached to the carriage 2 via two fastening elements B 1 , B 2 and has a longitudinal slot 8 closed by sealing elements (not shown), through which a scanning unit A attached to the machine bed 1 extends for scanning the graduation T of the scale M by known means.
Zur Kompensation von thermischen Längenänderungen des Maßstabs M infolge einer Erwärmung des Schlittens 2 gegenüber der Umgebungstemperatur, die durch den Antrieb, das Getriebe und die Lagerung des Schlittens 2 hervorgerufen wird, ist das Gehäuse G als Dehnelement mit dem einen Ende G1 direkt mit dem ersten Befestigungselement B1 und mit dem anderen Ende G2 über ein im zweiten Befestigungselement B„ gelagertes Schwenkelement S mit dem benachbarten Ende M»l des Maßstabs M verbunden. Dieses Schwenkelement S weist an einer Vorderseite V zwei Vorsprünge S1, S„ auf, die in entsprechende Ausnehmungen in den Enden G2, M2 des Gehäuses G und des Maßstabs M eingreifen, und steht mit einer ebenen Rückseite R mit einem Vorsprung D des Befestigungselements B2 in Kontakt; der Vorsprung D dient als Drehpunkt für das Schwenkelement S. Das Befestigungselement B2 wird so am Schlitten 2 angebracht, daß es spielfrei über das Schwenkelement S mit dem Gehäuse G und dem Maßstab M verbunden ist. Das andere Ende M1 des Maßstabs M steht mit einem Anschlag P des ersten Befestigungselements B1 in Kontakt. In order to compensate for thermal changes in the length of the scale M as a result of the carriage 2 heating up compared to the ambient temperature, which is caused by the drive, the gear and the bearing of the carriage 2, the housing G as an expansion element is connected with one end G 1 directly to the first fastening element B 1 and with the other end G 2 via a pivoting element S mounted in the second fastening element B" to the adjacent end M»l of the scale M. This pivoting element S has two projections S 1 , S" on a front side V, which engage in corresponding recesses in the ends G 2 , M 2 of the housing G and the scale M, and is in contact with a projection D of the fastening element B 2 with a flat rear side R; the projection D serves as a pivot point for the pivoting element S. The fastening element B 2 is attached to the carriage 2 in such a way that it is connected to the housing G and the scale M via the pivoting element S without play. The other end M 1 of the scale M is in contact with a stop P of the first fastening element B 1 .
Bei einer Erwärmung des Schlittens 2 gegenüber der If the carriage 2 heats up compared to the
'temperatur des Verkstlicks beim Betrieb der Werkzeugmaschine erfahren auch das Gehäuse G und der Maßstab M die gleiche Temperaturerhöhung· Da aber &igr; das Gehäuse G, beispielsweise aus Aluminium, einen wesentlich größeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten oC ,« gegenüber dem thermischen Ausdehnungskoeffizienten flts des Schlittens 2, beispielsweise aus Stahl oder Stahlguß, besitzt, verschiebt sich das Ende G2 des Gehäuses G in positiver X-Richtung rela'temperature of the sliding part during operation of the machine tool, the housing G and the scale M also experience the same temperature increase. However, since the housing G, for example made of aluminum, has a significantly larger thermal expansion coefficient oC ,« compared to the thermal expansion coefficient flt s of the slide 2, for example made of steel or cast steel, the end G 2 of the housing G moves in the positive X direction relatively tiv zum Drehpunkt D des Befestigungselements B2, so daß infolge der Schwenkbewegung des Schwenkelements S der Vorsprung S2 den Maßstab M in negativer X-Richtung gegen den Anschlag P dos ersten Befestigungselemente B1 drückt. Bei richtig eingestelltemtive to the pivot point D of the fastening element B 2 , so that due to the pivoting movement of the pivoting element S the projection S 2 presses the scale M in the negative X-direction against the stop P of the first fastening element B 1 . If correctly adjusted Schwenkverhältnis bleibt die ursprüngliche Meßlänge des Maßstabs M durch diese Stauchung bei wechselnden Temperaturen erhalten* Das richtige Schwenkverhältnis ist gegeben durch a/b = ( «6^ - ets)/o(,st wobei et G der thermische Ausdehnungskoeffizient \ The original measuring length of the scale M is maintained by this compression at changing temperatures* The correct swivel ratio is given by a/b = ( «6^ - et s )/o(, s t where et G is the thermal expansion coefficient \ des Gehäuses G als Dehnelement und et_ der therof the housing G as an expansion element and et_ the ther mische Ausdehnungskoeffizient des Schlittens 2 sind· Mit a sind der Abstand zwischen dem Vorsprung S. und dem Drehpunkt D und mit b der Abstand des Vorsprungs S2 vom Drehpunkt D senkrecht zur X-Richtungmechanical expansion coefficient of the slide 2 are · With a is the distance between the projection S. and the pivot point D and with b the distance of the projection S 2 from the pivot point D perpendicular to the X-direction bezeichnet.designated.
Um die Längenmeßeinrichtung L auch bei Maschinenteilen mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten einsetzen zu können, ist das Schwenkverhältnis a/b des Schwenkelements S durch ein Ein- Stellelement ST einstellbar, das den Vorsprung D aufweist und in einer Führung des Befestigungselements B2 senkrecht zur Meßrichtung X mittels einer Spindel SP verschiebbar ist. Zur Kapselung gegenüberIn order to be able to use the length measuring device L also with machine parts with different thermal expansion coefficients, the swivel ratio a/b of the swivel element S can be adjusted by an adjusting element ST, which has the projection D and can be moved in a guide of the fastening element B 2 perpendicular to the measuring direction X by means of a spindle SP. For encapsulation against
Verunreinigungen ist zwischen dem Befestigungselement B2 und dem Ende G, des Gehäuses G ein Balg H angeordnet. >To protect against contamination, a bellows H is arranged between the fastening element B 2 and the end G of the housing G. >
In Figur 2 ist eine Werkzeugmaschine mit einer Längenmeßeinrichtung L' dargestellt, deren gleichartige Elemente die gleichen, aber oben gestrichenen Bezugszeichen aufweisen.Figure 2 shows a machine tool with a length measuring device L', whose similar elements have the same reference numerals but with the upper ones deleted.
Die Längenmeßeinrichtung L1 besteht aus einem Maßstabträger in Form eines Gehäuses G1, in dessem Inneren ein Maßband M1 mit einer Teilung T1 in einer Nut Nf in X'-Richtung (Meßrichtung) relativ zum Gehäuse G* verschiebbar ist* Das Gehäuse G* ist über zwei Befestigungselemente B1 1, B2 1 am Schlitten 21 befestigt und weist einen von nicht gezeigten Dichtlippen verschlossenen Längsschlitz 8' auf, durch den eine am Maschinenbett 1' befestigte Abtasteinheit A' zur Abtastung der Teilung T· des Maßbandes M1 hinV durchgreift.The length measuring device L 1 consists of a scale carrier in the form of a housing G 1 , in the interior of which a measuring tape M 1 with a graduation T 1 in a groove N f can be moved in the X' direction (measuring direction) relative to the housing G*. The housing G* is fastened to the carriage 2 1 via two fastening elements B 1 1 , B 2 1 and has a longitudinal slot 8 ' closed by sealing lips (not shown), through which a scanning unit A' fastened to the machine bed 1 ' reaches in order to scan the graduation T· of the measuring tape M 1 .
Zur Kompensation von thermischen Längenänderungen des Maßbandes M1 infolge einer Erwärmung des Schlittens 2* gegenüber der Umgebungstemperatur ist das Gehäuse G* als Dehnelement mit dem einen Ende G1' direkt mit dem ersten Befestigungselement B1' und mit dem anderen Ende G2* über ein im zweiten Befestigungselement B2* gelagertes Schwenkelement S' mit dem benachbarten Ende M · des Maßbandes M* über Jeweils ein Gelenk U1 1, U ' verbunden. Dieses Schwenkelement S1 steht mit einer dem Maßband M' zugewandten ebenen Rückseite R* mit einem Vorsprung D* eines Einstellelements ST* in Kontakt, das in einer Führung dee Befestigungeelements B2* senkrecht zur Meßrich- To compensate for thermal changes in the length of the measuring tape M 1 as a result of the carriage 2* heating up compared to the ambient temperature, the housing G* is connected as an expansion element with one end G 1 ' directly to the first fastening element B 1 ' and with the other end G 2 * via a swivel element S' mounted in the second fastening element B 2 * to the adjacent end M · of the measuring tape M* via a joint U 1 1 , U '. This swivel element S 1 is in contact with a flat rear side R * facing the measuring tape M' with a projection D * of an adjustment element ST * which is guided in a guide of the fastening element B 2 * perpendicular to the measuring direction.
tung X1 mittels einer Spindel SP1 verschiebbar ist. Der Vorsprung D' dient als Drehpunkt für das Schwenkelement S* und erlaubt bei einer Verschiebung des Einstellelements ST* mittels der Spindel SP* ein Einstellen des Schwenkverhälltnisses a'/b* des Scbvenkelements S*. Das andere Ende M1' des Maßbandes M' ist mittels einer Spannvorrichtung in Form einer Spannschraube C am ersten Befestigungselement B1 gelagert, während das Befestigungselement B2 1 soX 1 is movable by means of a spindle SP 1. The projection D' serves as a pivot point for the swivel element S* and allows the swivel ratio a'/b* of the swivel element S* to be adjusted when the adjustment element ST* is moved by means of the spindle SP*. The other end M 1 ' of the measuring tape M' is mounted on the first fastening element B 1 by means of a clamping device in the form of a clamping screw C, while the fastening element B 2 1 is am Schlitten 2' angebracht ist, daß es spielfrei über das Schwenkelement S' mit dem Gehäuse G' und dem Maßband M* verbunden ist. Zur Kapselung gegen Verunreinigungen ist zwischen dem Befestigungselement B2* und dem Ende G2* des Gehäuses G* ein Balgis attached to the slide 2' in such a way that it is connected to the housing G' and the measuring tape M* via the swivel element S' without play. To protect against contamination, a bellows is installed between the fastening element B 2 * and the end G 2 * of the housing G*.
Das Maßband M' ist bei der Fertigung kürzer hergestellt als es der wahren Meßlänge entspricht; d.h. die Gitterkonstante der Teilung T* ist gegen- \ The measuring tape M' is manufactured shorter than the actual measuring length; ie the grating constant of the division T* is counter- \ über der richtigen Gitterkonstanten verkleinert.reduced above the correct lattice constant.
Dieses verkürzte Maßband M' wird nun in der Längenmeßeinrichtung L1 mittels der Spannschraube R auf die richtige Meßlänge bei der Bezugstemperatur, z.B. der Umgebungstemperatur oder der Temperatur des WerkThis shortened measuring tape M' is now adjusted in the length measuring device L 1 by means of the clamping screw R to the correct measuring length at the reference temperature, e.g. the ambient temperature or the temperature of the work stücks, gedehnt. Bei einer Erwärmung des Schlittens gegenüber der Temperatur des Verkctücks beim Betrieb der Werkzeugmaschine erfahren auch das Gehäuse G* und das Maßband M1 die gleiohe Temperaturerhöhung. Da das Gehäuse G' aber einen wesentlich größerenpiece, is stretched. When the slide is heated up compared to the temperature of the piece when the machine tool is in operation, the housing G* and the measuring tape M 1 also experience the same increase in temperature. However, since the housing G' has a much larger thermischen Ausdehnungskoeffizienten gegenüber demjenigen des Schlittens 2' besitzt, verschiebt eich das Ende G2' des Gehäuses G' in positiver X'-Richtung relativ zum Drehpunkt D' des Einstellelemente ST', so daß infolge der Schwenkbewegung des Schwenk-thermal expansion coefficient compared to that of the slide 2', the end G 2 ' of the housing G' moves in the positive X' direction relative to the pivot point D' of the adjusting element ST', so that due to the pivoting movement of the pivot
4 · t4 · t
elements S* das Maßband M* eine "Stauchung" erfährt, um die thermische Längenzunahme .zu kompensieren. 'elements S* the measuring tape M* is "compressed" in order to compensate for the thermal increase in length. '
wird also die zur Dehnung erforderliche Zugspannung im Maßband M* in dem Maße reduziert, daß die durch die Temperaturerhöhung hervorgerufene Längenänderung wieder rückgängig gemacht wird, so daß beim Maßband M* bei Temperaturänderungen stets die ursprüngliche Meßlänge erhalten bleibt. Das richtige Schwenkverhältnis ist durch a'/b' = («t'G - <£'s) /ctg1 gegeben, wobei et 'q der thermische Ausdehnungskoeffizient des Gehäuses G* als Dehnelement und<t'e der ther-The tensile stress required for expansion in the measuring tape M* is reduced to such an extent that the change in length caused by the increase in temperature is reversed, so that the measuring tape M* always retains its original measuring length when the temperature changes. The correct swivel ratio is given by a'/b' = («t' G - <£' s ) /ctg 1 , where et 'q is the thermal expansion coefficient of the housing G* as the expansion element and<t' e is the thermal
mische Aus-iehnungskoeffizient des Schlittens 2·coefficient of expansion of the slide 2· bedeuten. Mit a' sind der Abstand zwischen dem Gelenk &ugr;.' und dem Drehpunkt D* und mit b1 der Abstand des Gelenks Ug1 vom Drehpunkt D1 senkrecht zur X*-Achse bezeichnet. tmean. a' is the distance between the joint &ugr;.' and the pivot point D* and b 1 is the distance of the joint Ug 1 from the pivot point D 1 perpendicular to the X* axis. t
In Figur 3 ist ein Ausschnitt einer Werkzeugmaschine mit einer Längenmeßeinrichtung L1' dargestellt, deren gleichartigen Elemente die gleichen, aber oben zweifach gestrichenen Bezugszeichen aufweisen.Figure 3 shows a section of a machine tool with a length measuring device L 1 ', the similar elements of which have the same reference numerals but with double primes at the top.
Die Längenmeßeinrichtung L*' besteht aus einem Maßstab M1' mit einer Teilung T·', der an einem Ende M1'1 mittels Schrauben 311 am Schlitten 2·· befestigt ist. Das andere Ende M '' des Maßstabs M'1 ist überThe length measuring device L*' consists of a scale M 1 ' with a graduation T·', which is attached at one end M 1 ' 1 to the slide 2·· by means of screws 3 11. The other end M '' of the scale M' 1 is eine Klebeschicht K1' mit einem Ende G3 1' eines Dehnelements G* ' verbunden, dessen anderes Ende G1" mittels Schrauben 4·« am Schlitten 2·' befestigt ist. Die Teilung T' ' dees Maßstabs M' ' wird von einer am Maschinenbett 1'' befestigten Abtasteinheit A1' aban adhesive layer K 1 ' is connected to one end G 3 1 ' of an expansion element G* ', the other end G 1 " of which is fastened to the slide 2 ' by means of screws 4·«. The division T'' of the scale M'' is measured by a scanning unit A 1 ' fastened to the machine bed 1''. getastet.touched.
• f I ■ « · ti • · · · · · I I• f I ■ « · ti • · · · · · II
» »Iff· «I» »Iff· «I
Zur Kompensation thermischer Längenänderungen des Maßstabs M1' weist das Dehnelement G1' einen wesentlich größeren thermischen Ausdehnungskoeffizienten gegenüber demjenigen des Schlittens 21' auf; die, thermische Dehnung des Dehnelements G*' ist dabei so bemessen, daß die Meßlänge des Maßstabes M*' bei Temperaturänderungen durch entsprechende Stauchung des Maßstabs M1' unverändert erbalten bleibt* In nicht gezeigter Weise können auch. mehrere Dehnelemente vorgesehen sein.To compensate for thermal changes in the length of the scale M 1 ', the expansion element G 1 ' has a significantly larger thermal expansion coefficient than that of the slide 2 1 '; the thermal expansion of the expansion element G*' is dimensioned such that the measuring length of the scale M*' remains unchanged in the event of temperature changes by corresponding compression of the scale M 1 '. In a manner not shown, several expansion elements can also be provided.
11)1 1111)1 11
t t tt t t
Claims (8)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19838313028 DE8313028U1 (en) | 1983-05-03 | 1983-05-03 | Measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19838313028 DE8313028U1 (en) | 1983-05-03 | 1983-05-03 | Measuring device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE8313028U1 true DE8313028U1 (en) | 1988-12-22 |
Family
ID=6752939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19838313028 Expired DE8313028U1 (en) | 1983-05-03 | 1983-05-03 | Measuring device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE8313028U1 (en) |
-
1983
- 1983-05-03 DE DE19838313028 patent/DE8313028U1/en not_active Expired
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0123895B1 (en) | Measuring apparatus | |
DE3316081C2 (en) | ||
DE3719409C2 (en) | ||
EP0110059B1 (en) | Length-measuring device | |
DE2712421C2 (en) | Encapsulated length measuring device | |
DE3625795C2 (en) | ||
DE2853771C2 (en) | Length measuring device | |
EP0372302B1 (en) | Coordinates measuring machine with one or more aluminium guiding elements | |
EP0566828B1 (en) | Length measuring device with temperature compensation | |
EP0262313A1 (en) | Apparatus for error compensation | |
DE3106701C2 (en) | Measuring system for machine tools | |
DE2724858C3 (en) | ||
DE4320728A1 (en) | Position measuring device | |
DE3604550C2 (en) | ||
EP3705850B1 (en) | Assembly with a main beam, an intermediate support arranged on the main beam and a measuring rod on the intermediate support | |
DE3419527C2 (en) | ||
DE8621056U1 (en) | Encapsulated position measuring device | |
EP3009806B1 (en) | Position measuring device with means for compensating errors due to thermal dilatation of a scale | |
DE8313028U1 (en) | Measuring device | |
DE2329712A1 (en) | ARRANGEMENT FOR COMPENSATING LENGTH CHANGES | |
DE3311562C1 (en) | Measuring system with a device for error correction | |
DE2800340A1 (en) | Linear adjuster for e.g. optical measurements - has micrometer gauge supported by operating motion lever via projection on base plate | |
DE9205393U1 (en) | Length measuring device | |
DE9309310U1 (en) | Position measuring device | |
DE7814349U1 (en) |