DE8307145U1 - Measuring device - Google Patents

Measuring device

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DE8307145U1 DE19838307145 DE8307145U DE8307145U1 DE 8307145 U1 DE8307145 U1 DE 8307145U1 DE 19838307145 DE19838307145 DE 19838307145 DE 8307145 U DE8307145 U DE 8307145U DE 8307145 U1 DE8307145 U1 DE 8307145U1
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    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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    • G01D5/2454Encoders incorporating incremental and absolute signals
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    • G01D5/2457Incremental encoders having reference marks
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness

Description

- 1 -
WL, JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 21. Februar I983
- 1 -
WL, JOHANNES HEIDENHAIN GMBH February 21, 1983

MeßeinrichtungMeasuring device

Die Erfindung betrifft eine Meßeinrichtung gemäß $em Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a measuring device according $ em preamble of claim 1.

Bei einer derartigen Meßeinrichtung können die an den Beferenzmarken erzeugten elektrischen Steuer- ' impulse auf verschiedene Weise verwertet werden, '. z.B. zum Reproduzieren der Nullposition im Zähler, zum Anfahren einer bestimmten Position zu Beginn der Messung und zur Kontrolle von Störimpulsen sowie zur Beaufschlagung einer nachgeschalteten Steuereinrichtung.With such a measuring device, the electrical control ' impulses can be used in different ways'. e.g. to reproduce the zero position in the counter, for moving to a certain position at the beginning of the measurement and for checking interference pulses as well as to act on a downstream control device.

Aus der DE-PS Zh \6 212 ist eine inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung bekannt, bei der neben der inkrementalen Teilung Referenzmarken auf einer gesonderten Spur vorgesehen sind. Die Absolutwerte dieser Referenzmarken bestimmen sich aus den unterschiedlichen Abständen zwischen den einzelnen Referenzmarken; diese Abstände zwischen den Referenzmarken werden durch Abtastung der inkrementalen Teilung ermittelt. Zur Erkennung der An incremental length or angle measuring device is known from DE-PS Zh \ 6 212, in which, in addition to the incremental graduation, reference marks are provided on a separate track. The absolute values of these reference marks are determined from the different distances between the individual reference marks; these distances between the reference marks are determined by scanning the incremental graduation. To recognize the

absoluten Position einer Referenzmarke müssen daher immer zwei Referenzmarken abgetastet werden» Dieses Verfahren ist umständlich und zeitraubendv wenn beispielsweise zwei derartige Referenzmarken weit auseinander liegen. Zudem können bei einer fehlerhaften Zählung der Inkremente zwischen zwei Referenzmarken falsche Abstände und damit falsche Absolutwerte für die Referenzmarken ermittelt werden. absolute position of a reference mark therefore always two reference marks are scanned »This procedure is cumbersome and time-consuming if, for example, two such reference marks are far apart. In addition, with a incorrect counting of the increments between two reference marks incorrect distances and thus incorrect Absolute values for the reference marks can be determined.

In der DE-PS 29 52 106 ist eine inkrementale Längenoder Winkelmeßeinrichtung beschrieben» bei der auf einem Maßstab neben der Teilung Referenzmarken mit unterschiedlichen Strichgruppenverteilungen vorgesehen sind. Die einzelnen Referenzmarken werden von Abtastfeldern in einer Abtasteinheit abgetastet, wobei jedes Abtastfeld einer Referenzmarke eindeutig zugeordnet ist, indem es die gleiche Strichgiisppsiivsrteilung aufweist. Disss Anordnung ist '.In DE-PS 29 52 106 is an incremental length or Angle measuring device described »with reference marks on a scale in addition to the graduation different line group distributions are provided. The individual reference marks are scanned by scanning fields in a scanning unit, each scanning field being unique to a reference mark is assigned by using the same dash fonts having. This arrangement is'.

relativ aufwendig, da die Strichgruppenverteilungen der einzelnen Referenzmarken sich möglichst stark voneinander unterscheiden müssen, um eine eindeutige Identifizierung der einzelnen Referenzmarken zu ermöglichen. Die Abtasteinheit muß dabei für jede Referenzmarke ein identisches Abtastfeld aufweisen. relatively complex, since the line group distributions of the individual reference marks are as strong as possible must differ from each other in order to clearly identify the individual reference marks to enable. The scanning unit must have an identical scanning field for each reference mark.

Der DE-OS 30 39 ^83 entnimmt man eine inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung, bei der neben einer Teilungsspur parallel zueinander eine Referenzmarkenspur und eine Codemarkenspur angeordnet sind. Zur Abtastung der Referenzmarken und der jeweils zugehörigen Codemarken sind aber gesonderte Abtastfeider in einer Abtasteinheit erforderlich^DE-OS 30 39 ^ 83 shows an incremental one Length or angle measuring device, in addition to A reference mark track and a code mark track are arranged parallel to one another in a division track are. For scanning the reference marks and the respective Associated code marks, however, require separate scanning fields in a scanning unit ^

wobei jeder Codemarke ein eigenes Abtastfeld zugeordnet ist.Each code mark is assigned its own scanning field.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer derartigen Meßeinrichtung die Abtastung der Referenzmarken, und der zugehörigen Codemarken wesentlich zu vereinfachen.The invention is based on the object, in such a measuring device, the scanning of the Reference marks and the associated code marks to simplify significantly.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved according to the invention by the characterizing Features of claim 1 solved.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß die Anzahl der Abtastfelder durch die vorgeschlagene Anordnung der Codemarken erheblich reduziert werden kann, da das Abtastfeld für die Codemarken im Abtastfeld für die Referenzmarken integriert ist; diesem gemeinsamen Abtastfeld ist lediglich ein Abtastelement zugeordnet. Diese Anordnung der Codemarken ergibt bei der Abtastung der Referenzmarken lediglich einen Gleichspannungsanteil im erzeugten Abtastsignal, so daß eine sichere Erkennung der Referenzmarken und eine eindeutige Auslesung der Codeinfo:nnation der Codemarken gewährleistet ist·The advantages achieved by the invention are in particular that the number of scanning fields can be significantly reduced by the proposed arrangement of the code marks, since the Scanning field for the code marks is integrated in the scanning field for the reference marks; this common Only one scanning element is assigned to the scanning field. This arrangement of the code marks results when scanning the reference marks only a DC voltage component in the generated scanning signal, so that a reliable detection of the reference marks and a clear reading of the code information: nnation the code marks is guaranteed

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung entnimmt man den Unteransprüchen.Advantageous further developments of the invention can be found in the subclaims.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnung näher erläutert.Embodiments of the invention are explained in more detail with reference to the drawing.

Es zeigenShow it

Figur 1 schematisch eine inkrementaleFigure 1 schematically an incremental

Längenmeßeinrichtung, Figur 2 einen Maßstab und eine AbtastLength measuring device, Figure 2 shows a scale and a scanning

platte der Längenmeßeinrichtung,plate of the length measuring device,

Aft. ti"Aft. ti "

ι Figur 3 ein Signaldiagramm von Referenz-ι Figure 3 is a signal diagram of reference

und Codesignalen undand code signals and

ι λ Figur k einen Ausschnitt des Maßstabsι λ figure k a section of the scale

und der Abtastplatte nachand the scanning plate

Figur 2.Figure 2.

Xn Figur 1 ist schematisch eine lichtelektrischeXn Figure 1 is schematically a photoelectric

,; inkrementale Längenmeßeinrichtung gezeigt, die,; incremental length measuring device shown, the

\ 10 aus einem Maßstab M und aus einer Abtasteinheit A \ 10 from a scale M and from a scanning unit A.

'. besteht, die jeweils in nicht dargestellter Weise'. exists, each in a manner not shown

mit zu messenden Objekten einer Bearbeitungsmaschine verbunden sind. Auf dem Maßstab M ist eine inkrementale Teilung T in Form eines Strichgitters (Figur 2) aufgebracht, die im Auflicht photoelektrisch berührungsfrei von der Abtasteinheit A abgetastet wird. Entlang der Teilung T ist auf demare connected to objects to be measured on a processing machine. On the M scale there is an incremental one Graduation T in the form of a line grating (Figure 2) applied, which is photoelectrically in incident light is scanned by the scanning unit A without contact. Along the division T is on the

Maßstab M eine Reihe von Referenzmarken RScale M a series of reference marks R

(η = 1, 2, 3» ···) vorgesehen, die jeweils iden-,(η = 1, 2, 3 »···), each of which is identical,

tische Strichgruppen mit einer bestimmten Strich-table groups of lines with a specific line

vert«ilung aufweisen. Die durch die Abtastung der Teilung T erzeugten periodischen Abtastsignale S1,exhibit distribution. The periodic scanning signals S 1 generated by scanning the graduation T,

Sp, die in der Abtasteinheit A verstärkt und in Rechtecksignale S1 1, S2 1 umgeformt werden, steuern einen elektronischen Zähler Z, der die Meßwerte in digitaler Form anzeigt. Die um ein Viertel der Gitterkonstanten (Teilungsperiode) der Teilung T zueinander phasenverschobenen Rechtecksignale S1', S2 1 dienen der Diskriminierung der Äbtastrichtung. Das an den Referenzmarken K erzeugte Referenzsig·^ nal RS wird in der Abtasteinheit A verstärkt, in ein Rechtecksignal RS ' umgeformt und ebenfalls dem Zähler Z zugeleitet.Sp, which are amplified in the scanning unit A and converted into square-wave signals S 1 1 , S 2 1 , control an electronic counter Z, which displays the measured values in digital form. The square-wave signals S 1 ', S 2 1 which are phase-shifted from one another by a quarter of the grating constant (graduation period) of the graduation T serve to discriminate the scanning direction. The reference signal RS generated at the reference marks K is amplified in the scanning unit A, converted into a square-wave signal RS 'and also fed to the counter Z.

Mit den gewonnenen Referenzsignalen RS können verschiedene Funktionen ausgelöst -werden. Durch Auswertung der Referenzsignale RS wird aus einer inkrementaleii Meßeinrichtung eine quasi absolute Meßeinrichtung, wenn jeder Referenzmarke R eine Zahl zugeordnet wird, die deren absolute Position, bezogen auf einen unveränderlichen Nullpunkt, darstellt. Ferner kann eine bestimmte Referenzmarke RWith the reference signals RS obtained, various Functions are triggered. By evaluating the reference signals RS, an incremental unit becomes Measuring device a quasi-absolute measuring device if each reference mark R is a number which represents their absolute position in relation to an unchangeable zero point. Furthermore, a certain reference mark R

dazu dienen, den Zähler Z beim Auftreten des aus der bestimmten Referenzmarke R gewonnenen Referenz-serve to counter Z when the reference value obtained from the specific reference mark R occurs

signals RS auf den "Wert "Null" zu setzen«. Diese Funktionen sind aber nur ausführbar, wenn die ausgewählte Refi
werden kann.
signals RS to the "value" zero ". However, these functions can only be carried out if the selected Refi
can be.

gewählte Referenzmarke R eindeutig identifiziertselected reference mark R clearly identified

Zur Identifizierung ist jeder der identischen Referenzmarken R wenigstens eine Codemarke C (n, m = 1, 2, 3 *··) seriell zugeordnet; die Codemarken C folgen in Meßrichtung X lückenlos aufeinander und, sind gemäß Figur 2 zwischen den einzelnen Referenzmarken R auf dem Maßstab M in Form von in Meßrichtung X verlaufenden Strichen angeordnet, die qiser zur Meßrichtung X je nach ihrer Codeinformation parallel zueinander versetzt sind. Aus der Reihe von Referenzmarken R ist nur eine Referenzmarke R dar- -^ η η For identification, at least one code mark C (n, m = 1, 2, 3 * ··) is serially assigned to each of the identical reference marks R; the code marks C follow one another without gaps in the measuring direction X and are arranged according to FIG. From the series of reference marks R, only one reference mark R is represented - ^ η η

gestellt, der die Codemarken C - C „ zugeordnet sind. Die Referenzmarke R besteht aus einer Strich-which is assigned the code marks C - C " are. The reference mark R consists of a line

gruppe mit drei quer zur Meßrichtung X verlaufenden Strichen mit einer bestimmten Strichverteilung, die für alle Referenzmarken R identisch ist.group with three lines running transversely to the measuring direction X with a certain line distribution, the is identical for all reference marks R.

Zur Abtastung desi Maßstabs M ist in der Abtasteinheit A eine Abtastplatte AP gemäß Figur 2 vorgesehen, die zur Abtastung der Teilung T zwei um ein Viertel der Gitterkonstanten der Teilung T zuein-For scanning the scale M is in the scanning unit A a scanning plate AP according to Figure 2 is provided for scanning the division T two by one Quarter of the lattice constant of the pitch T

»I · « · k I· Uli * I ····»I ·« · k I · Uli * I ····

»■ » · B l«(l *»■» · B l «(l *

«I k · · » «till I«I k · ·» «till I

ander versetzte Abtastfelder AT1, ATp aufweist, die mit der Teilung T identisch sind; den Abtastfeldern AT1J AT« sind nicht gezeigte Photoelemente zur Erzeugung der Abtastsignale S-, S« zugeordnet. Zur Abtastung der Referenzmarke R ist auf der Abtastplatte AP ein Abtastfeld AR vorgesehen, dem ein nicht dargestelltes Photoelement zur Erzeugung des Referenzsignals RS zugeordnet ist. Zur Abtastung der unteren Reihe von Codemarken C .. , C2, Cr ist auf der Abtastplatte AP ein Abtastfeld AC vorgesehen, das im Abtastfeld AR integriert ist} das genannte Photoelement dient gleichfalls der Erzeugung der Codesignale CS - CS _. Der oberen Reihe von Codemarken C „, C ist kein Abtastfeld zugeordnet* Das Abtastfeld AR stimmt mit der Referenzmarke R und das Abtastfeld AC mit den Coden the other has offset scanning fields AT 1 , ATp which are identical to the pitch T; Photo elements (not shown) for generating the scanning signals S-, S "are assigned to the scanning fields AT 1 J AT". For scanning the reference mark R, a scanning field AR is provided on the scanning plate AP, to which a photo element (not shown) for generating the reference signal RS is assigned. To scan the lower row of code marks C .., C 2 , Cr, a scanning field AC is provided on the scanning plate AP, which is integrated in the scanning field AR} the said photo element also serves to generate the code signals CS-CS_. No scanning field is assigned to the upper row of code marks C ″, C * The scanning field AR corresponds to the reference mark R and the scanning field AC corresponds to the codes

marken C überein,
nra
brands C match,
no

Die bei der Abtastung des Maßstabs M in positiver Meßrichtung X von links nach rechts vom Abtastfeld AC erzeugten Codesignale CS 1 - CS ergeben die Binärkotnbination "11010" zur eindeutigen Iden- | The code signals CS 1 - CS generated by the scanning field AC when the scale M is scanned in the positive measuring direction X from left to right result in the binary combination "11010" for unambiguous identification

tifizierung der zugehörigen Referenzmarke R "verification of the associated reference mark R "

(Figur 3)· Die Codemarken C ,- C _ werden auch von λ ni n5(Figure 3) · The code marks C, - C _ are also derived from λ ni n5

dem Abtastfeld AR für die Referenzmarke R abgetastet.the scanning field AR for the reference mark R is scanned.

Da die Codemarken C Λ — C _ entsprechend ihrer Code-Since the code marks C Λ - C _ according to their code

ni n5ni n5

information parallel zueinander versetzt sind, ohne daß in Meßrichtung X eine Lücke entsteht, und da die Gesamtbreite a der parallel versetzten Codemarken C „ - C _ nur einen Teil der Breite b der Referenzni n5information are offset parallel to one another without creating a gap in the measuring direction X, and since the Total width a of the parallel offset code marks C "- C _ only part of the width b of the reference ni n5

marke R senkrecht zur Meßrichtung X beträgt, wird bei der Abtastung der Codemarken C1-Cj, vom Abtastfeld AR im zugeordneten Photoelement lediglichmark R is perpendicular to the measuring direction X, when the code marks C 1 -Cj are scanned, the scanning field AR in the associated photo element only

ein Gleichspannungssignal erzeugt, das die exaktea DC voltage signal is generated which is the exact

Ermittlung des Referenzsignals RS nicht beein-Determination of the reference signal RS not affected

trächtigt. Die Codesignale CS Λ - CS _ werden derpregnant. The code signals CS Λ - CS _ are the

ni n5ni n5

Auswerteeinrichtung im Zähler Z zugeleitet.Evaluation device in the counter Z supplied.

Venn die Abtasteinheit A den Maßstab M in positiver Meßrichtung X von links nach rechts abtastet, soIf the scanning unit A scans the scale M in the positive measuring direction X from left to right, then so

folgen auf die Referenzmarke R die nächsten Codethe next code follows the reference mark R.

marken C-. und darauf die zugehörige Referenzmarke Rn+1 etc. (in der Figur2 nicht dargestellt). Um bei dieser Abtastrichtung die erste Codemarke C- 1 erkennen zu können, sollte diese Codemarke Cn+1 1 beispielsweise den Binärwert "1" besitzen.brands C-. and then the associated reference mark R n + 1 etc. (not shown in FIG. 2). In order to be able to recognize the first code mark C- 1 in this scanning direction, this code mark C n + 1 1 should have the binary value "1", for example.

Ganz allgemein können die Codemarken C Anfangs-In general, the code marks C can start

» mn»Mn

15 und Endinformationen aufweisen. Mit der Anfangsinformation kann die Auswerteeinrichtung im Zähler Z darauf vorbereitet werden, daß im Anschluß an die Anfangsinformation eine Codeinformation ausgelesen wird. Die Endinformation dient zur Sicherstellung, daß die gesamte Codeinformation ausgelesen wurde;15 and end information. With the initial information, the evaluation device in the meter Z be prepared for reading out code information following the initial information will. The end information serves to ensure that the entire code information has been read out;

dadurch kann eine eventuelle Umkehrung der Meßrichtung X mitten in der Abtastung der Codeinformation erkannt werden.as a result, a possible reversal of the measuring direction X in the middle of the scanning of the code information be recognized.

Bei der Bewegung der Abtasteinheit A in positiverWhen moving the scanning unit A in positive

Meßrichtung X von links nach rechts erfolgt die Abtastung der Codeinformation der Codemarken C vorMeasuring direction X from left to right, the code information of the code marks C is scanned before

nmnm

der Abtastung der zugehörigen Referenzmarke R . Bei der Abtastbewegung in negativer Meßrichtung -X von rechts nach links wird durch die richtungsabhängige Auswertung der Codeinformationen erkannt,the scanning of the associated reference mark R. When scanning in the negative measuring direction -X from right to left, the direction-dependent Evaluation of the code information recognized,

daß nach den Codemarken C1 die Referenzmarke Rthat after the code marks C 1, the reference mark R

η+ι,m ηη + ι, m η

folgen muß.must follow.

- 8 -- 8th -

f Zweckmäßig· werden die Codemarken C und die Referenz- f The code marks C and the reference

if nniif nni

J: marken R in Meßrichtung; X als ganzzahliger Teil oderJ: marks R in the direction of measurement; X as an integer part or

als ganzzahliges Vielfaches der Inkrementalteilung T auf dem Maßstab M ausgebildet, so daß die Abtastung der Codemarken C^^ und der Referenzmarken R im Takt der Abtastung der Inkrementalteilung T erfolgt«designed as an integer multiple of the incremental graduation T on the scale M, so that the scanning of the code marks C ^^ and the reference marks R takes place in time with the scanning of the incremental graduation T «

Nach Figur h sind auf einem Ausschnitt des MaßstabsAccording to Figure h are on a section of the scale

. M gemäß Figur 2 eine Referenzmarke R ' sowie zuge-. M according to Figure 2 a reference mark R 'and assigned

^ η^ η

£ 10 hörige Codemarken C1 , - C _ seriell angeordnet.£ 10 code stamps C 1 , - C _ arranged in series.

j. nl η 5 j. nl η 5

Diese Codemarken C ' schließen je nach ihrer Code-These code marks C 'close depending on their code

■ nm■ nm

information mit der positiven Meßrichtung X einen Winkel 0^ + 0C1 < 90° oder einen Winkel 0o<-et2<-90°information with the positive measuring direction X an angle 0 ^ + 0C 1 <90 ° or an angle 0 o <-et 2 <-90 °

f ein; dem Winkel <£.. ist beispielsweise die Codein-fine; the angle <£ .. is, for example, the code

!< 15 formation "1" und dem Winkel cC 2 die Codeinformation! <15 formation "1" and the angle cC 2 the code information

M0" zugeordnet. Auf dar Abtastplatte AP ist ein Ab- M 0 "assigned. On the scanning reticle AP is a copy

tastfeld AC1 für die Codemarken C „ - Cf _ vorge-touch field AC 1 for the code marks C "- C f _

m n5 sehen, daß mit der positiven Meßrichtung X denm n5 see that with the positive measuring direction X the

j Winkel Ct1 gemäß der Codeinformation "1!· einschließt·j angle Ct 1 according to the code information "1! · includes ·

Die Abtastung der Codemarken C1 Λ - C1 _ ergibtThe scanning of the code marks C 1 Λ - C 1 _ results

m n5m n5

demgemäß die Binärkombination "1101011 zur eindeutigen Identifizierung der zugehörigen Referenzmarke Rn 1.Die Codemarken C'n1 - C« werden auch vom Abtastfeld AR für die Referenzmarke R · abgetastet. Da die Codemarken C'n1 - C'n entsprechend ihrer Codeinformation unter den Winkeln tf 1, el lückenlos in Meßrichtung X angeordnet sind und da die Breite a«accordingly the binary combination "11010 11 for unambiguous identification of the associated reference mark R n 1. The code marks C ' n1 - C" are also scanned by the scanning field AR for the reference mark R. Since the code marks C' n1 - C ' n according to their code information under the angles tf 1 , el are arranged without gaps in the measuring direction X and since the width a «

der Codemarken C , - C _ nur einen Teil der Breite b1 of the code marks C, - C _ only part of the width b 1

nl n5nl n5

der Referenzmarke R ' senkrecht zur Meßrichtung X beträgt, wird bei der Abtastung der Codemarkenthe reference mark R 'perpendicular to the measuring direction X. is when the code marks are scanned

C'n1 - C1 vom Abtastfeld AR* im zugeordneten Photoelement lediglich ein Gleichspannungssignal erzeugt,' das die exakte Ermittlung des Referenzsignals RS ·C ' n1 - C 1 only generates a DC voltage signal from the scanning field AR * in the assigned photo element, which enables the exact determination of the reference signal RS

nicht beeinträchtigt. Die Codesignale CS» H - CS1not affected. The code signals CS » H - CS 1 "

nl η 5nl η 5

1 ' t • < · f 1 't • <· f

werden der Auswerteeinrichtung im Zähler Z zugeleitet. Das Abtastfeld AR1 stimmt mit der Referenzmarke R ' und das im Abtastfeld AR1 integrierteare fed to the evaluation device in the Z counter. The scanning field AR 1 matches the reference mark R 'and that which is integrated in the scanning field AR 1

Abtastfeld AC mit den Codemarken C 'Scanning field AC with code marks C '

Codeinformation "1" überein.Code information "1" matches.

entsprechendcorresponding

Die Auswertung der erzeugten Codssignale CS ,The evaluation of the generated code signals CS,

CS1 erfolgt in der Auswerteeinrichtung des Zählers nmCS 1 takes place in the evaluation device of the counter nm

Ze Diese Auswerteeinrichtung kann eine Auswahleinrichtung enthalten, mit deren Hilfe bestimmte Refe-Ze This evaluation device can be a selection device contain, with the help of which certain references

aus der Reihe der Reforenzmarkenfrom the series of reference marks

renzmarken R ,reference marks R,

R- R ' ausgewählt und zur Wirkung gebracht werdenR- R 'can be selected and brought into effect

können.can.

Claims (1)

- 10 Ansprüche - 10 claims 1· Meßeinrichtung, insbesondere inkrementale Kvßeinrichtung, mit entlang der Teilung eines Maßstabs in Meßrichiung vorgesehenen Referenzmarken, die der Teilung absolut zugeordnet sind und an denen im Zusammenwirken mit einer Abtasteinheit reproduzierbare elektrische Impulse erzeugt werden, die einen Zähler der Meßeinrichtung und/ oder eine Steuereinrichtung beaufschlagen, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der identischen Referenzmarken (R ) seriell wenigstens eine Codemarke (C ) (n, m = 1, 2, 3 ♦··) zugeordnet ist und daß die Codemarken (C ) in Meßrichtung1 · Measuring device, in particular incremental measuring device, with reference marks provided along the graduation of a scale in the measuring direction, which are absolutely assigned to the graduation and on which, in cooperation with a scanning unit, reproducible electrical pulses are generated which act on a counter of the measuring device and / or a control device , characterized in that each of the identical reference marks (R) is serially assigned at least one code mark (C) (n, m = 1, 2, 3 ♦ ··) and that the code marks (C) in the measuring direction nm _nm _ X lückenlos aufeinander folgen.X follow one another without any gaps. 2. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codemarken (C ) entsprechend ihrer Codeinformation quer zur Meßrichtung X parallel zueinander versetzt angeordnet sind. \ 2. Measuring device according to claim 1, characterized in that the code marks (C) are arranged according to their code information transversely to the measuring direction X parallel to each other offset. \ 3· Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codemarken (C ') entsprechend ihrer Codeinformation unter Winkeln +it-, '(Ji2 zur Meßrichtung X angeordnet sind.3. Measuring device according to claim 1, characterized in that the code marks (C ') are arranged at angles + it-, ' (Ji 2 to the measuring direction X) in accordance with their code information. Meßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Codemarken (C ) außer den Identifizierungsmerkmalen für die zugehörigen Referenzmarken (R ) noch wenigstens Informationen zur Vollständigkeitserkennung aufweisen. b » Measuring device according to claim 1, characterized in that the code marks (C) have, in addition to the identification features for the associated reference marks (R), at least information for completeness recognition. - 11 -- 11 - 5· Meße±nv±ch.tiang nach. Anspruch. 1 , dadurch, gekennzeichnet 9 daß die Codemarken (C ) und die Referenzmarken (R ) als ganzzahligez» Teil oder als ganzzaliliges Vielfaches der Teiluiigsperiode der Teilung (T) des Maßstabs (m) ausgebildet sind.5 Measures ± nv ± ch.tiang according to. Claim. 1, characterized, in that 9 are formed, the code marks (C) and the reference marks (R) as ganzzahligez "part or as a multiple of the ganzzaliliges Teiluiigsperiode the pitch (T) of the scale (m). 6. Meßeinrichtung nach Anspruch 3» dadurch, gekennseichnet, daß die "Winkel +<£., - «6 2 in Bereichen6. Measuring device according to claim 3 »characterized in that the" angle + <£., - "6 2 in areas 90° und 0° < -90 ° and 0 ° <- -90 liegen.-90 lie.
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