DE828930C

DE828930C - Resistance thermometer

Info

Publication number: DE828930C
Application number: DEH368A
Authority: DE
Inventors: Rudolf Ackermann; Dr Leopold Hiesinger; Dr Konrad Ruthardt
Original assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Current assignee: WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date: 1949-11-01
Filing date: 1949-11-01
Publication date: 1952-01-21

Description

Widerstandsthermometer lAei den üllichen Widerstandsthermometenl sind l) rähte oder Bänder aus Metallen, wie Platin oder auch Sickel. die einen hohen. gleichmäßigen Temperaturkoeffizienten aufweisen, auf einem nichtleitenden Körper, beispielsweise Glas oder Keramik. aufgelracht oder darin eingel>ettet.Resistance thermometer are the usual resistance thermometers l) wires or strips made of metals, such as platinum or also sickle. the one high. have uniform temperature coefficients, on a non-conductive body, for example glass or ceramics. blown up or embedded in it.

Die Erfindung betrifft eine neue Art von Widerstandsthermometern. die sich durch vereinfachte herstellung und insbesondere wesentliche Vorteile im Gebrauch auszeichnen. The invention relates to a new type of resistance thermometer. which is characterized by simplified production and, in particular, significant advantages in the Mark use.

Erfindungsgemäß wird auf einer Grundlage aus einem nichtleitenden \\'erkstoff, beispielsweise Glas oder Keramik, eine dünne Schichrt aus einem Metall mit einem g2nstigen Temperaturkoeffizienten des elektrischen Viderstandes. beispielsweise Platin oder Wickel, durch Hochvakuumverdampfung oder Kathodenzerstäubung aufgebracht. Die Metalloberfläche wird dann im allgemeinen durch einen Überzug aus einem nichtleitenden Stoff geschützt. According to the invention is made on a basis of a non-conductive A thin layer of metal, for example glass or ceramic with a favorable temperature coefficient of the electrical resistance. for example Platinum or winding, applied by high vacuum evaporation or cathode sputtering. The metal surface is then generally covered with a non-conductive coating Fabric protected.

Der Grundkörper hat bei diesen neuen Thermometern beispielsweise die Form eines Stabes, eines Rohres oder insbesondere eines Täfelchens oder einer kleinen Platte. Der Metallüberzug erfüllt entweder die gesamte Oberfläche dieses Körpers, oder durch Schablonen sind beim Aufdampfen oder Kathodenzerstäuben bestimmte Streifen oder Kurven, wie Spiralen, ausgespart, um die geforderten hohen Widerstandswerte zu erreichen. Eine genaue Einstellung auf den Widerstandswert ist durch Abheizen vor dem Aufbringen der Schutzschicht leicht möglich. Die nichtleitende Schutzschicht wird vorteilhaft auf den Metallüberzug ebenfalls durch Verdampfung im Hochvakuum oder durch Kathodenzerstäubung aufgebracht. Sie hesteht beispielsweise aus Oxyden, wie Siliciumdioxyd oder niederen-Oxyden des Siliciums. The main body of these new thermometers, for example the shape of a rod, a tube or, in particular, a tablet or a small plate. The metal coating either covers the entire surface of this Body, or by stencils are certain in the case of vapor deposition or cathode sputtering Strips or curves, such as spirals, are cut out to achieve the required high resistance values to reach. An exact adjustment to the resistance value is through heating down Easily possible before applying the protective layer. The non-conductive protective layer is also advantageous on the metal coating by evaporation in a high vacuum or applied by sputtering. It is made of oxides, for example, such as silicon dioxide or lower oxides of silicon.

Ein wesentlicher Fortschritt der neuen Widerstandsthermometer gegenüber den bekannten be- steht darin, daß das benutzte Metall, z. B. Platin, ohne weitere Giiihbehandlung für das Thermometer verwendet wird, während es bei den seitherigen Anwendungen zur Fixierung mit dem Unterlagenwerkstoff, wenn auch nur kurze Zeit, auf hohe Temperaturen erhitzt werden mußte; dies war für die Konstanz des Temperaturkoeffizienten von Nachteil und schloß ferner eine Verwendung der Widerstandsthermometer über 6000 aus. Dadurch, <laß die Fixierung des Metalls auf die Unterlage durch Anschmelzen an das Glas entfällt, ist man außerdem in der Wahl der Werkstoffe für die Unterlage nicht mehr beschränkt und kann beispielsweise auch hochtemperaturbeständige Oxyde. wie Aluminiumoxyd oder Zirkonoxyd, verwenden. A significant advance compared to the new resistance thermometer the well-known it says that the metal used, e.g. B. platinum, is used for the thermometer without further heating while it is at the previous applications for fixing with the substrate material, albeit only had to be heated to high temperatures for a short time; this was for Constance of the temperature coefficient and also included using the resistance thermometer over 6000 out. In this way, <let the fixation of the metal on the substrate through There is no melting to the glass, you are also in the choice of materials for the base is no longer restricted and can, for example, also be high-temperature-resistant Oxides. such as aluminum oxide or zirconium oxide.

Ein weiterer Fortschritt besteht darin, daß man jetzt die Dimensionen im Verhältnis Volumen zu Oberfläche weitgehend verändern und so gegen Wärmeübertragung praktisch trägheitslose Thermo-. meter herstellen kann, ohne daß dabei infolge der eigenen Erwärmung durch den Meßstrom zusätzlich ein größerer Fehler entsteht. Another advance is that you can now change the dimensions largely change in relation to volume to surface and thus against heat transfer practically inertial thermal. meter can produce without thereby as a result of the own warming by the measuring current additionally a bigger error arises.

Schließlich bietet die Erfindung die Möglichkeit. solche Metalle der Verwendung in Widerstandsthermometern zugänglich zu machen. deren Verarbeitung zu dünnen Bändern oder Drähten erhebliche mechanische Schwierigkeiten mit sich bringt. Finally, the invention offers the possibility. such metals for use in resistance thermometers. their processing too thin ribbons or wires brings with it considerable mechanical difficulties.

So läßt sich beispielsweise Rhodium, das seither auf Grund seiner ungünstigen mechanischen Eigenschaften nicht für Widerstandsthermometer benutzt werden konnte, hei den Thermometern der Erfindung genau so leicht verwenden wie etwa Platin oder Nickel.For example, rhodium, which has been used since then due to its unfavorable mechanical properties not used for resistance thermometers could be used with the thermometers of the invention as easily as such as platinum or nickel.

Claims

PATENT CLAIMS: I. Resistance thermometer, thereby marked, that there is a base made of a non-conductive material. for example glass or Contains ceramics, especially in the form of a tablet or a small plate, on which a thin layer of a metal with a favorable temperature coefficient the electrical resistance through high vacuum evaporation or cathode sputtering is applied, for example on the entire surface of the base body or by using stencils in the form of stripes or curves, such as spirals.

2. Resistance thermometer according to claim i. characterized, that on the thin metal layer a coating of a non-conductive material, for example an oxide, is applied, in particular by high vacuum evaporation or cathode sputtering.