DE8124271U1

DE8124271U1 - MECHANICAL-ELECTRIC CONVERTER FOR MEASURING PRESSURES

Info

Publication number: DE8124271U1
Application number: DE19818124271
Authority: DE
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1981-08-20
Filing date: 1981-08-20
Publication date: 1982-04-29

Description

21 ·Τ· 1981 Bt/Le21 · Τ · 1981 Bt / Le

· ■ ι· ■ ι

ROBERT BOSCH GMBH, TOOO STUTTGART 1ROBERT BOSCH GMBH, TOOO STUTTGART 1

Mechanisch-elektrischer Wandler zur Messung von Drücken Stand der TechnikState-of-the-art mechanical-electrical transducer for measuring pressures

Die Erfindung geht aus von einem mechanisch-elektrischen Wandler zur Messung von Drücker, insbesondere des Ansaugluftdruckes einer Brennkraftmaschine, nach der Gattung des Hauptanspruchs.The invention is based on a mechanical-electrical converter for measuring pushers, in particular the intake air pressure an internal combustion engine, according to the preamble of the main claim.

Aus der DE-OS 28 Xi 1^0 ist ein Druckwandler bekannt, der eine Wellmembran aus magnetisch nicht leitendem Material aufweist. Auf dieser Membran ist ein Dauermagnet befestigt, dem ein zweiter Dauermagnet gegenübersteht, wobei die einander gegenüberstehenden Stirnflächen gleiche Polarität aufweisen. Zwischen den beiden Magneten ist ein Hallelement vorgesehen, das in Abhängigkeit von der am Ort des Hallelements herrschenden magnetischen Induktion eine elektrische Größe liefert. Dieser Druckwandler hat den Nachteil, daß durch die Anbringung des Magneten auf der Membran der Abgleich des Wandlers aufwendig ist. Die Membran wird zusätzlich durch den Magneten mechanisch'belastet. Durch die Bewegung der Membran kann der Magnet abreißen.From DE-OS 28 Xi 1 ^ 0 a pressure transducer is known which has a corrugated membrane made of magnetically non-conductive material. A permanent magnet is fastened to this membrane, facing a second permanent magnet, the opposite end faces having the same polarity. A Hall element is provided between the two magnets, which supplies an electrical variable as a function of the magnetic induction prevailing at the location of the Hall element. This pressure transducer has the disadvantage that because the magnet is attached to the membrane, the transducer is complex to adjust. The membrane is also subjected to mechanical stress by the magnet. The movement of the membrane can tear off the magnet.

W Vorteile der Erfindung W advantages of the invention

Der erfindungsgemäße Druckwandler mit den kennzeichnendenThe pressure transducer according to the invention with the characterizing

Merkmalen des Hauptanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, daß durch die Anordnung der Magnete ein einfacher Abgleich möglich ist. Die Membranen werden mechanisch nicht durch den Magneten belastet, so daß die Masse der Membran kleinerFeatures of the main claim has the advantage over this that a simple adjustment is possible through the arrangement of the magnets. The membranes are not mechanically broken loaded the magnet, so that the mass of the membrane is smaller

,'; ist. Die Magnete können gleichzeitig zur Halterung und, '; is. The magnets can be used to hold and at the same time

Einspannung der Membrane dienen.Clamping the membrane are used.

In den Unteransprüchen sind weitere vorteilhafte Aus-In the subclaims are further advantageous features

s bildungen und Verbesserungen angegeben. Besonders vor-s educations and improvements indicated. Especially

' teilhaft ist, daß durch die Anbringung von Zusatzebenen It is part of the fact that the addition of additional levels

zwischen den Membranen eine höhere Empfindlichkeit erreicht wird. Durch besondere Ausbildung der Membranen .A higher sensitivity is achieved between the membranes will. Due to the special design of the membranes.

■■< und der Zusatzebene kann eine beliebige Feldverzerrung ■■ < and the additional level can have any field distortion

|i hervorgerufen werden, so daß ein beliebiger Zusammenhang| i can be generated, so that an arbitrary connection

ψ, zwischen Druck und elektrischer Meßgröße einstellbar ist . ψ, can be set between pressure and electrical measured variable.

Zeichnungdrawing

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und..in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen: Figur 1 und 2 einen Schnitt durch , Λ den erfindungsgemäßen Wandler, wobei unterschiedlicheEmbodiments of the invention are shown in the drawing and explained in more detail in the following description. They show: FIGS. 1 and 2 a section through the transducer according to the invention, with different

Anordnungen des magnetfeldabhängigen Sensors vorgesehen sind, Figur 3 den Schnitt durch ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Druckwandlers mit Zusatzebene und Figur h den Schnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels in einer Ebene senkrecht zu den Schnittebenen aus Figur 1 und 3.Arrangements of the magnetic field-dependent sensor are provided, FIG. 3 shows the section through a further exemplary embodiment of the pressure transducer according to the invention with an additional plane, and FIG. H shows the section of a further exemplary embodiment in a plane perpendicular to the sectional planes from FIGS. 1 and 3.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the exemplary embodiments

Die in Figur 1 bis k schematisch dargestellten Druckwandler sind zum Einbau in die Ansaugleitung eines nicht dargestellten Fahrzeugmotors bestimmt.The pressure transducers shown schematically in FIGS. 1 to k are intended for installation in the intake line of a vehicle engine, not shown.

Der in Figur 1 dargestellte Druckwandler weist einen ··:'The pressure transducer shown in Figure 1 has a ··: '

hohlzylinderförmigen Dauermagneten 1 auf. Die Stirn- f(hollow cylindrical permanent magnet 1. The forehead f (

i'i flächen des von dem Dauermagneten 1 gebildeten Hohl- ρ i'i areas of the hollow ρ formed by the permanent magnet 1

\i zylinder wird durch jeweils eine Membran 2, 3 abge- ;■< \ i cylinder is separated by a membrane 2, 3; ■ <

schlossen. Die Membranen 2 und 3 bestehen aus amorphem '■closed. The membranes 2 and 3 are made of amorphous' ■

Metall, das heißt, einem Metall, daß nach Erhitzung einer fe extrem schnellen Abkühlung unterzogen wurde und des- ;;■Metal, that is, a metal that after heating a Fe has undergone extremely rapid cooling and des- ;; ■

halb seinen amorphen Zustand beibehalten hat. Dieseshas half retained its amorphous state. This

amorphe Metall ist magnetisch leitend. Der Dauermagnet fjamorphous metal is magnetically conductive. The permanent magnet fj

weist über seine gesamte Höhe einen segmentartigen Aus- ■;.'has a segment-like shape over its entire height.

schnitt auf. Innerhalb dieses Ausschnittes sind die ^; cut up. Within this section are the ^;

Membranen 2, 3 zu Laschen h, 5 in der Weise umgebogen, J..Diaphragms 2, 3 bent to form tabs h, 5 in the manner J ..

' daß sie zueinander parallel liegen und außerdem parallel t 'that they are parallel to each other and also parallel t

zu den Stirnflächen des Hohlzylinders sind. Zwischen den beiden Laschen k, 5 liegt ein magnetfeldabhängiger Sensor 6, der als Magnetfeldsonde, z. B. als Hallsensor oder Feldplatte oder als Induktionsspule ausgebildet ist. Zwischen den Membranen 2, 3 und entsprechend zwischen den Laschen h, 5 befindet sich ein Magnetfeld, das durch | den Dauermagneten 1 gebildet wird. Zwischen den Laschen f.to the end faces of the hollow cylinder. Between the two tabs k, 5 is a magnetic field-dependent sensor 6, which acts as a magnetic field probe, for. B. is designed as a Hall sensor or field plate or as an induction coil. Between the membranes 2, 3 and correspondingly between the tabs h, 5 there is a magnetic field which is generated by | the permanent magnet 1 is formed. Between the tabs f.

k, 5 ist das Magnetfeld homogen. Die Membran 2 wird mit £ k, 5 the magnetic field is homogeneous. The membrane 2 is with £

ί dem im Ansaugrohr der Brennkraftmaschine herrschenden S?ί the S prevailing in the intake manifold of the internal combustion engine?

Ansaugluftdruck beaufschlagt, während auf die Membran 2 wird mit dem im Ansaugrohr der Brennkraftmaschine herrschenden ί Ansaugluftdruck beaufschlagt, während auf die Membrane 3 Intake air pressure is applied, while the ί intake air pressure prevailing in the intake pipe of the internal combustion engine is applied to the membrane 2, while the membrane 3

der Außenluftdruck wirkt. Durch Änderung des Druckes verändert sich das zwischen den Membranen 2, 3 liegende Magnetfeld und damit ändert sich das Magnetfeld zwischen den Laschen k, 5. Der magnetfeld.abhängige Sensor 6 'the outside air pressure acts. By changing the pressure, the magnetic field between the membranes 2, 3 changes and thus the magnetic field between the tabs k, 5 changes. The magnetic field dependent sensor 6 '

liefert ein der Änderung des Magnetfeldes entsprechendes ; elektrisches Signal.supplies a change in the magnetic field corresponding to; electrical signal.

Die Verwendung von amorphen Metallen ist für den Druckwandler besonders geeignet. Amorphe Metalle weisen eine sehr hohe Permeabilität auf (^200 000). Außerdem weist amorphes Metall eine hohe Zugfestigkeit auf, so daß es |The use of amorphous metals is particularly suitable for the pressure transducer. Amorphous metals have one very high permeability to (^ 200,000). Also has amorphous metal has high tensile strength, so it |

als Federstahl verwendet werden kann. Durch die spezielle ·;' Materialzusammensetzung ist der Temperaturkoeffizient von amorphem Metall sehr gering.can be used as spring steel. The special ·; ' Material composition is the temperature coefficient of amorphous metal is very low.

In der Figur 1 sind gestrichelt weitere Membranen angedeutet, so daß sich Doppeldruckdosen ergeben, Mit der Anordnung nach Figur 1 wird eine Druckdifferenz zwischen ρ und p. gemessen; der Druckwandler ist aber auch für Absolutdruckmessungen geeignet.In FIG. 1, further diaphragms are indicated by dashed lines, so that double pressure cells result. With the arrangement according to FIG. 1, a pressure difference between ρ and p. measured; however, the pressure transducer is also suitable for absolute pressure measurements.

In dem Ausführungsbeispiel nach Figur 2 sind zwei hohlzylinderförmige Dauermagneten 7, 8 vorgesehen, die sich gegenüberliegen und zwischen denen sich ein Luftspalt 9 befindet. Die Dauermagneten 7, 8 stehen sich mit gleichnamigen Polen gegenüber. Die sich nicht gegenüberliegenden Stirnflächen der Dauermagnete 7, 8 werden jeweils durch die Membran 2 und durch die Membran 3 abgeschlossen. Der magnetfeldabhängige Sensor 6 ist zwischen den Membranen 2, 3 angeordnet, vorzugsweise in der Mitte. Sind die Abstände zwischen magnetfeldabhängigem Sensor 6 und den Membranen 2, 3 ohne Druckbeaufschlagung gleich, so ist der Fluß durch den magnetfeldabhängigem Sensor 6 und den Membranen 2, und der Magnetfluß durch den magnetfeldabhängigen Sensor 6 wird in ein elektrisches Signal umgewandelt.In the embodiment of Figure 2, two hollow cylindrical permanent magnets 7, 8 are provided, which are opposite one another and between which there is an air gap 9. The permanent magnets 7, 8 are opposite each other with poles of the same name. The non-opposing end faces of the permanent magnets 7, 8 are closed off by membrane 2 and by membrane 3, respectively. The magnetic field dependent Sensor 6 is arranged between the membranes 2, 3, preferably in the middle. Are the distances between Magnetic field-dependent sensor 6 and the membranes 2, 3 the same without pressurization, the flow through the magnetic field-dependent sensor 6 and the membranes 2, and the magnetic flux through the magnetic field-dependent sensor 6 is converted into an electrical signal.

Figur 3 zeigt eine Weiterbildung des Ausführungsbeispiels aus Figur 1. Zusätzlich zu diesem Ausführungsbeispiel.ist eine Zusatzebene 10 aus magnetisch leitendem Material vorgesehen, die zwischen den Membranen 2 und liegt und die im oder am Dauermagneten 1 befestigt ist. Die Zusatzebene 10 ist in zwei Teilebenen 11 und 12 unterteilt, die sich in einem Teilbereich überlappen, das | heißt, die Teilebenen 11, 12 stehen sich in diesem Überlappungsbereich parallel gegenüber und weisen einen Luftspalt auf. In diesem Luftspalt ist der magnetfeldabhängige Sensor 6 an der Teilebene 11 befestigt. Die Teilebenen 11, 12 bilden magnetische Potentialebenen, deren Werte von dem Abstand zwischen Membran und entsprechender Zusatzebene abhängen. Ist der Abstand zwischen den jeweiligen Teilebenen und der Membran 2 gleichFIG. 3 shows a further development of the exemplary embodiment from FIG. 1. In addition to this exemplary embodiment an additional level 10 made of magnetically conductive material is provided between the membranes 2 and and which is attached in or on the permanent magnet 1. The additional level 10 is divided into two sub-levels 11 and 12, which overlap in a partial area that | that is, the sub-planes 11, 12 are in this overlap area parallel opposite and have an air gap. In this air gap is the magnetic field dependent Sensor 6 attached to partial plane 11. The sub-levels 11, 12 form magnetic potential levels, the values of which depend on the distance between the membrane and the corresponding additional level. Is the distance the same between the respective sub-planes and the membrane 2

9 ·9 ·

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dem Abstand zwischen den jeweiligen Teilebenen und der Membran 2 gleich dem Abstand zwischen den jeweiligen Teilebenen 11, 12 und der Membran 3, so ist der Fluß durch den magnetfeldabhängigen Sensor 6 ohne Druckaufschlagung gleich Null. Wird auf die Membran 2 der Druck P₁ aufgebracht, so ändert sich der Luftspalt zwischen Membran 2 und Zusatzebene 12 und somit ändert sich der Fluß durch den magnetfeldabhängigen Sensor 6. Durch die in Figur 3 gezeigte Anordnung gibt es schon bei kleinen Änderungen des Abstandes zwischen Membranen 2 und 3 und Zusatzebene 10 eine große Flußänderung durch den magnetfeidabhängigen Sensor 6.If the distance between the respective sub-planes and the membrane 2 is equal to the distance between the respective sub-planes 11, 12 and the membrane 3, the flux through the magnetic field-dependent sensor 6 is equal to zero without the application of pressure. If the pressure P _{1 is} applied to the membrane 2, the air gap between the membrane 2 and the additional plane 12 changes and thus the flux through the magnetic field-dependent sensor 6 changes. With the arrangement shown in FIG Diaphragms 2 and 3 and additional level 10 cause a large change in flux due to the sensor 6, which is dependent on the magnetic field.

Der in Figur 3 angegebene Druckwandler kann in der Weise abgewandelt werden, daß die Zusatzebene 10 durchgehend ist und der magnetfeldabhängige Sensor 6 im Bereich der Zusatzebene 10 direkt am Magneten 1 befestigt ist. Auch in diesem Fall gibt es am Ort des Sensors 6 eine Verlagerung des Flusses durch Magnet 1, Membran 2 über den Luftspalt zur Zwischenebene 10 und von dem Fluß durch Magnet 1 Membran 3 Luftspalt und Zusatzebene 10. Bei gleichem Abstand zwischen Zusatzebene und Membran 2, 3 hebt sich der Fluß durch den Sensor 6 auf, während bei ungleichen Abständen ein Fluß durch den Sensor 6 gemessen werden kann.The pressure transducer indicated in FIG. 3 can be modified in such a way that the additional plane 10 is continuous and the magnetic field-dependent sensor 6 in the area of the additional plane 10 is attached directly to the magnet 1. In this case, too, there is a shift at the location of the sensor 6 of the flow through magnet 1, membrane 2 over the air gap to the intermediate plane 10 and of the flow through magnet 1 Membrane 3 air gap and additional level 10. With the same distance between additional level and membrane 2, 3 rises the flow through the sensor 6, while at unequal distances a flow through the sensor 6 can be measured.

Durch besondere Ausbildungen der Membrane 2, 3 und der Zusatzebene 10 kann die Empfindlichkeit des Druckwandlers erhöht werden. Außerdem lassen sich durch die Ausbildungen für die Membrane 2, 3 und dieser Zusatzebene 10 beliebige gewünschte Feldverzerrungen vornehmen, so daß sich spezielle Kurvenverläufe zwischen dem Druck und dem gemessenen Fluß, das heißt dem elektrischen Signal realisieren.Due to special designs of the membrane 2, 3 and the additional level 10, the sensitivity of the pressure transducer increase. In addition, the designs for the membrane 2, 3 and this additional level 10 can be any make desired field distortions, so that special Realize curves between the pressure and the measured flow, i.e. the electrical signal.

In Figur h ist ein weiteres Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Druckwandlers dargestellt, bei dem ein Hohlzylinder 13 aus nichtmagnetischem Material, z.B. aus Glas oder Quarzglas vorgesehen ist. Dieser HohlzylinderFIG. H shows a further exemplary embodiment of the pressure transducer according to the invention, in which a hollow cylinder 13 made of non-magnetic material, for example made of glass or quartz glass, is provided. This hollow cylinder

•••••j·..·.. / C O V••••• j · .. · .. / C OV

·■ r Γ Ο· ■ r Γ Ο

«rf«Rf

ist ebenso wie in den vorhergehenden Ausführungsbeispielen dur'ch die Membraner)2 und 3 abgeschlossen, wobei die Membraner}2, 3 zick-zack-f örmig ausgebildet sind, was in der Figur k durch die Kreisringe Ik angedeutet ist.As in the previous exemplary embodiments, it is closed off by the diaphragms 2 and 3, the diaphragms 2, 3 being designed in a zigzag shape, which is indicated in FIG. k by the circular rings Ik .

Der Hohlzylinder 13 weist ebenso wie der Dauermagnet in Figur 1 einen segmentförmigen Ausschnitt auf, in dem ein Dauermagnet 15 angeordnet ist, der magnetisch leitend mit den Membranen 2, 3 verbunden ist. Als magnetfeldabhängiger Sensor dient im vorliegenden Fall eine Spule 16, die um den Dauermagneten 15 herum angeordnet ist. Bei Änderung des Druckes und damit des Abstandes zwischen den zwei Membranen 2, 3 ändert sich die ■Spuleninduktivität und damit das von der Spule 16 abgegebene Signal.Like the permanent magnet in FIG. 1, the hollow cylinder 13 has a segment-shaped cutout in which a permanent magnet 15 is arranged, which is connected to the membranes 2, 3 in a magnetically conductive manner. As a magnetic field dependent In the present case, the sensor is a coil 16 which is arranged around the permanent magnet 15 is. When the pressure and thus the distance between the two membranes 2, 3 change, the coil inductance changes and thus the signal emitted by the coil 16.

Der Hohlzylinder aus magnetisch nicht leitendem Material 13 kann für die Ausführungsbeispiele nach Figur 1 bis 3 zusätzlich vorgesehen sein, um die mechanische Stabilität des Druckwandlers zu erhöhen. Außerdem kann sie als Halterung für die Zusatzebene dienen.The hollow cylinder made of magnetically non-conductive material 13 can also be provided for the exemplary embodiments according to FIGS. 1 to 3 in order to provide mechanical stability of the pressure transducer to increase. It can also serve as a holder for the additional level.

Als weitere Ausgestaltung kann in dem Hohlzylinder aus magnetisch nicht leitendem Material eine Zusatzbohrung vorgesehen sein, die in den Raum zwischen den beiden Membranen 2, 3 führt. Über diese Bohrung kann der Raum zwischen den Membranen 2, 3 führt. Über diese Bohrung kann der Raum zwischen den Membranen 2, 3 z. B. den Druck p_? annehmen, und der Druck p. kann dann symmetrisch auf die Membranen und 3 wirken. Das hat den Vorteil, daß die Membranen 2 und immer gleich ausgelenkt werden.As a further embodiment, an additional bore can be provided in the hollow cylinder made of magnetically non-conductive material, which leads into the space between the two membranes 2, 3. The space between the membranes 2, 3 can lead via this hole. About this hole the space between the membranes 2, 3 z. B. the pressure p _? assume, and the pressure p. can then act symmetrically on the membranes and 3. This has the advantage that the membranes 2 and are always deflected in the same way.

Bei allen Ausführungsbeispielen nach Figur 1 bis h ist es selbstverständlich, daß der Innenraum zwischen den Membranen 2, 3 druckdicht gegen den Außenraum verschlossen ist. DieIn all the exemplary embodiments according to FIG. 1 to h , it goes without saying that the interior space between the membranes 2, 3 is closed in a pressure-tight manner against the exterior space. the

hohlzylinderförmigen Dauermagnete 1, 7, 8 und der Hohlzylinder aus'magnetisch nicht leitendem Material 13 sind als Kreiszylinder ausgebildet. Dies ist nur beispielhaft angegeben, die Hohlzylinder können jede beliebige andere Form aufweisen.hollow cylindrical permanent magnets 1, 7, 8 and the hollow cylinder made of magnetically non-conductive material 13 are designed as circular cylinders. This is only given as an example; the hollow cylinders can be any have a different shape.

• t ft * «• t ft * «

^R-7236 ^R -7236

21.7-1981 Bt/LeJuly 21, 1981 Bt / Le

ROBERT BOSCH GMBH, 7OOO STUTTGART 1ROBERT BOSCH GMBH, 7OOO STUTTGART 1

Mechanisch-elektrischer Wandler zur Messung von Drücken Zusammenfassung Mechanical-electrical transducer for measuring pressures Summary

Es wird ein mechanisch-elektrischer Wandler zur Messung von Drücken, insbesondere des Ansaugluftdruckes einer Brennkraftmaschine, vorgeschlagen, der mindestens eine von dem zu messenden Druck beaufschlagbare Membran, einen magnetfeldabhängigen Sensor und ein Magnetsystem aufweist. Mit Änderung des Druckes ändert sich das Magnetfeld. Der magnetfeldabhängige Sensor liefert in Abhängigkeit des Magnetfeldes und damit in Abhängigkeit des Drucks eine elektrische Größe. Für die Membran wird amorphes Metall verwendet.A mechanical-electrical converter is used to measure pressures, in particular the intake air pressure Internal combustion engine, proposed, the at least one acted upon by the pressure to be measured membrane, a Has a magnetic field-dependent sensor and a magnet system. When the pressure changes, the magnetic field changes. The sensor, which is dependent on the magnetic field, delivers as a function of of the magnetic field and thus an electrical quantity depending on the pressure. For the membrane will amorphous metal is used.

Claims

21.7.1981 Bt / Le ROBERT BOSCH GMBH, 7OOO STUTTGART 1 Mechanical-electrical converter for measuring pressures claims

1. Mechanical-electrical converter for measuring pressures, in particular the intake air pressure of an internal combustion engine, with at least one of the pressure to be measured "can be acted upon Membrane, with a magnetic field-dependent sensor and with a magnetic system whose magnetic field is at the output of the magnetic field-dependent sensor supplies an electrical variable that changes as a function of the pressure, thereby identifying

f \

draws that the membrane ^ 2, 3} consists of amorphous metal.

2. Converter according to claim 1, characterized in that a permanent magnet designed as a hollow cylinder [i] is provided is, the end faces of each of which are closed by at least one membrane (2, 3 j.

te ■ * ■■ «ι f · _β

, [Μ I r ι

V: !: !ΓV:!:! Γ

* I I t I I I»··* I I t I I I »··

O.!. 72 3 6O.!. 72 3 6

3. Converter according to claim 2, characterized in that in the permanent magnet (1) a recess is provided in the area of which the membranes [2, 3] bent lashing, 5) have, which are parallel to each other and parallel to the end faces of the hollow cylindrical permanent magnet Π j lie and that between the tabsR, 5 / d. of the magnetic field-dependent Sensor / 6I is arranged.

- ^ k. Transducer according to Claim 1, characterized in that two permanent magnets \ J , 8] designed as hollow cylinders are provided, which face each other with poles of the same name, between which there is an air gap [9 | and whose non-opposing end faces are each closed by at least one membrane are.

5. Converter according to claim h, characterized in that the magnetic field-dependent sensor (6 | is arranged in the air gap J9 \.

6. Converter according to claim 2 or claim k, characterized in that the magnetic field-dependent sensor is located within the permanent magnet (1, T, 8 | between the membranes (2, 31) designed as a hollow cylinder.

7. Converter according to one of claims 1 to 6, characterized in that that between the membranes 12, 3 | at least one Additional level ("I O arranged from magnetically conductive material is.

::; -j 72 3::; -j 72 3

_v lt ..

8. Converter according to claim 7 »characterized in that

the magnetic field-dependent sensor ^ 6J on the at least one additional level M Oj is arranged.

9. Converter according to claim 7 »characterized in that the magnetic field-dependent sensor is arranged in the region of the at least one additional plane fiOj on the permanent magnet M |.

10. The transducer of claim 7 ₃ characterized in Q that the additional level [i Ojin at least two partial planes (11, is divided 12j, which overlap partially and between which an air gap is provided in which the magnetic field-dependent sensor 16 Jangeordnet.

11. Converter according to claim 1, characterized in that a hollow cylinder (i3 / made of non-magnetic material, preferably made of glass or ceramic, is provided, the end faces of which each have at least one membrane (2, 3J are completed that in the hollow cylinder (i3) a recess is provided in which a permanent magnet {15J is arranged and is connected in a magnetically conductive manner to the membranes (2, 3 / and that as a magnetic field-dependent sensor a coil / 16 / is provided.

12. Converter according to one of claims 1 to 10, characterized in that to increase the mechanical stability additionally a hollow cylinder (13 snacks not magnetic conductive material inside or outside of the hollow cylindrical permanent magnet (s) [1, 7> 8) is provided.

72 3 ff72 3 ff

13. Converter according to claim 12, characterized in that the hollow cylinder (1 3 | made of magnetically non-conductive material is used to hold the additional level.

1 k . Converter according to Claim 12 or Claim 13, characterized in that a bore is provided in the wall of the hollow cylinder Μ 3] made of magnetically non-conductive material.

15 · converter according to one of claims 1 "to 1U, characterized characterized in that the membranes J2, 31 are corrugated.

16. Converter according to one of the claims 1 and _3, characterized in that the membranes 12, 3) are designed in a zigzag shape.

17 · Converter according to one of Claims T to 10, characterized characterized in that the additional level is zigzag-shaped ν is formed.