Herstellung von Metallschichten durch Metallbedampfung Die Erfindung
betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Metallschichten, vorwiegend sog. glänzender
Metallschichten auf Unterlagen durch Metallbedampfung im Vakuum.Production of metal layers by metal vapor deposition The invention
relates to a process for the production of metal layers, predominantly so-called shinier ones
Metal layers on substrates by metal vapor deposition in a vacuum.
Bei der Aufbringung von Metallschichten auf Unterlagen, wie z. B.
Papier, durch Metällbedarnpfung hat es sich gezeigt, daß bei gutem - Vakuum und
hoher Temperatur sog, metallisch glänzende Schichten entstehen. Bei gutem Vakuum
und hoher Temperatur wird aber andererseits manchen Unterlägen, insbesondere Papier,
zu viel Wasser entzogen, die Unterlagen können brüchig werden und eine Metallbedampfu.ng
von rasch laufenden Bändern wird: ummöglich. Bei schlechtem Vakuum und niedrigeren
Bedampfungstemperaturen kann die Unterlage von Feuchtigkeit und sonstigen Gasrasten
nicht vollständig befreit werden, es entstehen keine glänzenden Schichten -und diese
nur in dünneren Lagen. Diese- nichtglänzenden Schichten haben gegenüber den metallisch
glänzenden und dein reinen Metall einen höheren elektrischen spezifischen Wideristand
und haften nur schleicht auf ihrer Unterlage. Bei der Verwendung von Metallpapier,
z. B. für Isondensatoren, hat es sich. als vorteilhaft erwiesen, wenn das Ifetallpapier
mit metallisch
glänzenden 'Metallschichten bedeckt ist, da , alle Teile des
Raumes gelangen, oder daß vom
diese wesentlich weniger elektrische Energie r glühenden Körper
eine elektrische oder
verbrauchen, -,renn sie an einer Stelle eIek- sonstige Fernwirkung
ausgeht.
trisch durchschlagen werden und ausbrennen. j Die Wirkung der
arbehatidlung ist so
Bcim Durchschlag ein:: hon deiis<itors aus i durchgreifend,
daß man eine vorbehandelte
Metallpapier, d:sseii Metallschicht genügend i Unterlage, beispielsweise
ein Papierband, aus
dünn ist. tritt an der Durchschlagstelle ein dem Vakuum herausnehmen,
ja sogar wochen-
Strom auf, der die umliegenden Metall- lang aufbewahren kann
und nicht einmal vor
schichten derart erhitzt, daß diese rasch tim Feuclitigkeitseinflüssen
u. ähnl. schützen muß,
die Dtirclisclilagstelle herum wegbrennen. und daß trotz des
großen Zeitraumes zwischen
wodurch der Kurzschluß wieder unterbunden Torbehandlung und
-1letallbedampfung auch
wird. bei schlechtem Vakuum und geringer Tem-
Um auf Unterlagen gleichmäßig verteilte peratur gute, metallisch
glänzende Schichten
metallisch glänzende Schichten in beliebiger entstehen. Will
man Vorbehandlung und
Stärke in möglichst kurzer Zeit zu erhalten, lletallbedampfungungefährgleichzeitigdurch-
sind derart hohe Bedainpfungstemperaturen führen, so ist es
vorteilhaft. beide Arbeits-
notz@-endig, daß di== üblichen v,rwetideten gänge in einem
evakuierten Gefäß aufeinan-
elektrischen Heizkörper überbeansprucht wer- tierfolgend abzuwickeln.
Außer der ver-
den müssen und cialier eine sehr kurze Lebens- ändernden Wirkung
der Vorlx:handhing auf
dauer haben. Es liafttii den bisherigen Ver- die Struktur der
aufzudampfenden Metall-
fahren also noch ein,- Reibe von Mängeln ait. scliiclit hat
die Vorliehandlung bei gewissen
die zu laehebeii sind. Druck- und Temperaturverhältnissen noch'
"' Schichten, eine starke, intensitätss euernde Wirkung.
ErfitidungsgeinaP wrdeti #-cit# t
insaondere die s(-g. metallisch glänzenden Durch geeignete
Kombinationen von zeit-
Schichten selbst bei schlechtem Vakuum und weiser und/oder
teilweiser genügender Ab-
geritigerer Temperatur dadurch hergestellt, ' deckurig des
heißen Körpers gegen die Unter-
die t iitcrla`>e. die inan inc tallbedanipfen i lage kann man
verschiedene Musterungen bei
will, also z. B. das zii 1),-dampfende nde Papier. i der nachfolgenden
Metallbedampfung erzeu-
eitt@er Vorbehandlung unterzogen wird, die gen. Bei der Verwendung
von Papierbändern
darin besteht. dalt sich die Unterlage während ' als Unterlage
ist es am zweckmäßigsten, das
einer beliebigen Zcitdauer mit einem die nach- Papierband beim
gleichen Vorbeilaufen zuerst
foagende 1letallisierung fördernden glühend- ' der Vorlehandlung
und anschließend daran
Beilen Körper in einem gemeinsamen, evaku- folgend der -Metallaufdampfung
zu unter-
ie.rten Rauin 1>ehiirlet. Der lieiPe Körper kann zielten. Der
Zeitraum zwischen den beiden
aus beliebigem Material, vorzugsweise aus Arbeitsgängen kann
jedoch beliebig lang sein.
elektrisch leitendem, bestehen. Ausgezeichnet ' Derart bedampfte
Papierliärider eignen sich
wirkt ein glühender Stab aus Siliciumkarbid. vorzüglich zur
Herstellung von l'Conden-
Eheuso gut erweist sich attcli Iiolile, Chrom- satoren.
nickeleisen, llolvbdän, Wolfram, Tontal. . , Will man Ix stimmte
-Muster auf einer
Eisen, Nickel. die Edelmetalle. und Legierung Unterlage erzeugen,
so ist es aveckmäßig.
Bett aus den genannten Stoffen. Die giinstigste den heißen,
die nachfolgende Metallisierung
Wirkung tritt ein. wenn der Glflilzürp@er eine fördernden Körper
iiii Iiiiiern einer umlaufen-
Temperatur in der Größenordnung von rooo den, sieh auf
der -Unterlage abwälzenden
bis =ooo'- C, z. B. r4oo " C hat. Der heiße Hohlwalze anzubringen,
und die Mantelfläche
Körper muß sich bei der Vorb-ehandlung nicht der Holi.lwalze
mit dem gewiinschten Muster
in unmittelbarer "Nähe der zti behandelnden entsprechenden
Öffnungen zu versehen, wo-
Unterlage befinden, sondern es genügt, wenn durch die Wirkung
der @'orlteliaiidlung inten-
er sich mit ihr in einem gemeinsamen. eva- sitätsmäßig gesteuert
wird. Von manchen
kreierten Raum befindet und nicht zu sehr Metallen, wie z.
B. Kupfer oder Silber, kann
weit entfernt -Lind iiiclit allzusehr abgedeckt man gleichzeitig
zur Vorbehandlung und zur
ist. Da keine direkte Bestrahlung der Unter- Bedampfung ein
und dasselbe erhitzte Stück
lage durch den Glühkörper für seine vor- verwenden.
behandelndeWirkitng notwendig ist,erschehit Die Anwendungsmöglichkeiten
des Ver-
die Annahme berechtigt zu sein, daß die fahre is nach der vorliegenden
Erfindung sind
WirkungvielleichtaufVerbindungen zwischen sehr zahlreich. In
der Zeichnung ist als An-
den Restgasen und von dem glühenden Kör- wendungslwispiel die
Vorbehandlung und
per herrührenden Teilchen zurückzuführen lletallbedanipfung
eines über Rollen laufen-
ist, die sich auf der Unterlage niederschlagen, deii Papierbandes
dargestellt.
oder daß voni heißen Körper bei der betref- Abb. i zeigt -eine
Vorbehandlungseinrieh-
fenden Temperatur und dem geringen Druck tun- in Ansicht (eine
Seite offen):
Teilchen finit sehr großer Geschwindigkeit in , All). 2 zeigt
schzntatisch eine: Vorbehand-
lungs:- und Metallbedampfungseinrichtung im Schnitt.When applying metal layers on substrates, such as. B. paper, it has been shown by Metällbedarnnung that with good - vacuum and high temperature so-called, metallically shiny layers are formed. With a good vacuum and high temperature, on the other hand, too much water is withdrawn from some documents, especially paper, the documents can become brittle and metal vapor deposition on fast moving belts becomes impossible. In the event of a poor vacuum and lower vapor deposition temperatures, the base cannot be completely freed from moisture and other gas deposits, there are no shiny layers - and these only in thinner layers. Compared to the shiny metallic and pure metal, these non-shiny layers have a higher electrical specific resistance and only slowly adhere to their base. When using metal paper, e.g. B. for isolating capacitors, it has. Proven to be advantageous when the Ifetallpapier with metallic shiny 'metal layers is covered, because, all parts of the room get, or that from
this much less electrical energy r an electrical or glowing body
consume, - if they run out of other remote effects at one point.
Tric and burn out. The effect of the treatment is like this
In the carbon copy a :: hon deiis <itors from i thorough that one pretreated
Metal paper, that is, a metal layer with sufficient support, for example a paper tape
is thin. occurs at the point of breakdown remove the vacuum, even weekly
Electricity on, which can keep the surrounding metal for a long time and not even before
layers are heated in such a way that they are quickly exposed to the effects of fire and similar. must protect
burn away the Dtirclisclilagstelle. and that despite the long period between
whereby the short circuit again prevented gate treatment and -1letallbedampfung also
will. with poor vacuum and low tem-
In order to achieve high-temperature, metallically shiny layers evenly distributed on the substrate
metallic shining layers can be created in any way. Do you want pretreatment and
To obtain strength in as short a time as possible,
if such high vaporization temperatures are involved, it is advantageous. both working
notz @ -endig that the usual v, rwetideten passages in an evacuated vessel
electrical radiators that are overstressed will be handled in a sequential manner. Except for the
den must and cialier a very brief life-changing effect of the Vorlx: handhing on
have duration. It liafttii the previous ver the structure of the metal to be evaporated
so still drive in, - grater from defects ait. scliiclit has the prelude to certain
which are too laehebeii. Pressure and temperature conditions still '
"'Layers, a strong, intensity-regulating effect.
Qualification package would be # -cit # t
in particular the s (-g. metallic shining through suitable combinations of time-
Layers even with poor vacuum and wise and / or partially sufficient
more stable temperature is produced by covering the hot body against the lower
die t iitcrla`> e. the inan inc tallbedanipfen i position can be given different patterns
want, so z. B. the zii 1), - steaming nde paper. i the subsequent metal vapor deposition
eitt @ er is subjected to the pretreatment required. When using paper tapes
consists in it. If the pad is to be used as a pad, it is most expedient to use the
any time with one of the following paper strips while walking past first
following 1letallisierung promoting glowing- 'the pretreatment and then it
Beilen body in a common, evacuated following the metal vapor deposition
ie.rten Rauin 1> ehiirlet. The lieip body can aim. The time between the two
made of any material, preferably from operations, but can be of any length.
electrically conductive. Excellent 'Such vaporized paper liars are suitable
acts a glowing rod made of silicon carbide. excellent for the production of l'Conden
Eheuso well proves to be attcli Iiolile, Chromators.
nickel iron, llolvbdän, tungsten, Tontal. . , If you want Ix voted pattern on one
Iron, nickel. the precious metals. and create alloy underlay, so it is avec.
Bed made from the fabrics mentioned. The most favorable the hot, the subsequent metallization
Effect occurs. when the Glflilzürp @ er a promoting body iiii IIIiiiiern a circulating-
Temperature in the order of magnitude of rooo den, see rolling on the pad
to = ooo'- C, e.g. B. r4oo "C. To attach the hot hollow roller, and the outer surface
During the preparation, the body does not have to conform to the roller with the desired pattern
to be provided in the immediate "vicinity of the corresponding openings to be treated, where-
Document, but it is sufficient if the effect of the @ 'orlteliaiidlung is intensive
he is in a common with her. is evasively controlled. From some
created space and not too much metal, such as B. copper or silver, can
far away -Lind iiiclit too much covered one at the same time for pretreatment and for
is. Since there is no direct irradiation of the sub-steaming one and the same heated piece
position through the incandescent body for its pre-use.
treatment effect is necessary, appears The possible applications of the treatment
it is fair to assume that the drives are in accordance with the present invention
Effect maybe on connections between very numerous. In the drawing, as an
the residual gases and, from the glowing grains example, the pretreatment and
due to the originating particles
is shown, which are reflected on the pad, the paper tape.
or that voni hot bodies in the case in question - Fig. i shows -a pretreatment unit-
low temperature and low pressure - in view (one side open):
Particle finite very high speed in, space). 2 shows a schzntatic: pretreatment
lungs: - and metal vapor deposition equipment in section.
Das als Unterlage verwendete Papierband u läuft über Rollen r und
über eine Hohlwalze w, in deren Innern sich ein von einer ruhenden, Blende b teilweise
abgedeckter Glühkörper g befindet. Die von dem laufenden Papierband u mitgenommene
Hohlwalze w besitzt mäanderartige C)ffnungen, durch die die Wirkung des Glühkörperis
auf das Papierband dringt. Die aus dlean Metallverdampfer m auf das Papierband einwirkenden
Metalldämpfe schlagen sich dann an den vorbehandelten (strichlliert gezeichneten)
Stellen nieder.The paper tape u used as a base runs over rollers r and
Via a hollow roller w, in the interior of which there is a part of a stationary, diaphragm b
covered incandescent body g is located. The one carried along by the running paper tape u
Hollow roll w has meander-like C) openings through which the action of the incandescent body
penetrates the paper tape. The dlean metal evaporator m acting on the paper tape
Metal vapors then strike the pretreated (dashed lines)
Stand down.