Anordnung zur Herstellung stereoskopischer Bilder von Objekten, die
mittels eines Elektronenmikroskops vergrößert werden Es ist bekannt; daß man von
Objekten, die mit einem Elektronenmikroskop vergrößert werden, stereoskopische Aufnahmen
dadurch erhält, daß man von. dem Obj ekt nacheinander zwei Bilder unter voneinander
etwas verschiedenen Winkeln aufnimmt. Diese Bilder können dann in einem einfachen
Stereoskop betrachtet werden. Zweck der Erfindung ist es, eine einfache Anordnung
zur Herstellung von stereoskopischen Bildern mit Hilfe eines Elektronenmikroskops
zu schaffen. Erfindungsgemäß ist der die Objektträgerblende aufnehmende Halter,
also z: B: eine Objektpatrone, die in das Elektronenmikroskop eingesetzt werden
kann, so eingerichtet daß die Blende zusammen mit dem Objekt um einen für stereoskopische
Versuche geeigneten Winkel gekippt werden kann. Durch dieses Kippen der Objektträgerblende
im Halter des Objektes kann man nunmehr leicht nacheinander
zwei
stereoskopische Aufnahmen machen. Eine besonders einfache Einrichtung ergibt sich
gemäß der weiteren Erfindung dadurch. daß die Objektpatrone einen unter dem für
stereoskopische Bilder geeigneten Winkel zur Strahlachse geneigten Paßsitz besitzt,
in welchen eine als Objektblendenträger dienende Buchse eingesetzt werden kann.
Bei einer solchen Anordnung wird die Kippung um den für stereoskopische Aufnahmen
geeigneten Winkel nach Herstellung der ersten Aufnahme und nach dem Ausschleusen
Jer Objektpatrone in der Weise vorgenommen. daß der Objektblendenträger in eine
um iSo= um die schräge Achse verdrehte Stellung gebracht wird. Die Objektpatrone
wird danach wieder für die zweite Aufnahme in das Elektronenmikroskop eingeschleust.
Man kann die Anordnung so ausbilden, daß der Objektblendenträger in dem geneigten
Paßsitz drehbar angeordnet ist. U m in diesem Fall sicherzustellen, daß genau eine
Drehung um i8o° durchgeführt wird, kann man der drehbaren Buchse entsprechende Anschläge
zuordnen. Diese Anschläge können mit bekannten Mitteln justiert sein. Man kann aber
auch zu diesem Zweck auf der Buchse und dem sie aufnehmenden Objektträger an geeigneten
Stellen Markierungen vorsehen. Eine Ausführungsmöglichkeit, bei der zwangsläufig
die genaue Drehung um iSo° sichergestellt ist, erhält man auch dadurch, daß man
die Buchse so ausbildet, daß sie nur in zwei genau um i8o° gegeneinander verdrehten
Lagen in den Halter eingesetzt werden kann.Arrangement for producing stereoscopic images of objects that
be enlarged by means of an electron microscope It is known; that one of
Objects that are magnified with an electron microscope, stereoscopic images
obtained by taking from. the object one after the other two images below each other
takes up something at different angles. These images can then be used in a simple
Stereoscope can be viewed. The purpose of the invention is to provide a simple arrangement
for the production of stereoscopic images with the help of an electron microscope
to accomplish. According to the invention, the holder receiving the slide aperture is
So for example: a specimen cartridge that is inserted into the electron microscope
can be set up so that the diaphragm together with the object around a for stereoscopic
Attempts appropriate angle can be tilted. By tilting the slide aperture
in the holder of the object one can now easily follow one another
two
make stereoscopic recordings. A particularly simple device results
according to the further invention thereby. that the object cartridge is one of the for
stereoscopic images have a suitable angle to the beam axis inclined snug fit,
in which a socket serving as an object diaphragm support can be used.
With such an arrangement, the tilt is around that for stereoscopic recordings
suitable angle after the first recording has been made and after the discharge
Jer object cartridge made in the manner. that the object diaphragm carrier in a
is brought to iSo = position rotated about the inclined axis. The object cartridge
is then fed back into the electron microscope for the second exposure.
You can train the arrangement so that the slide support in the inclined
A snug fit is rotatably arranged. To make sure in this case that exactly one
Rotation of 180 ° is carried out, one can stop the rotatable bushing corresponding to it
assign. These stops can be adjusted by known means. But you can
also for this purpose on the socket and the slide holding it on suitable
Provide markings. An implementation option in which inevitably
the exact rotation by iSo ° is ensured, is also obtained by
the socket is designed in such a way that only two of them are twisted by exactly 180 ° against each other
Layers can be used in the holder.
Um sicherzustellen, daß die Blende mit dem Objektfeld bei der zweiten
Aufnahme genau an der gleichen Stelle sitzt wie bei der ersten Aufnahme, soll die
schiefe Achse des Paßsitzes so zur Strahlachse geneigt sein, daß sich diese beiden
Achsen in. der Blendenmitte an der Stelle der Objektfolie schneiden.To ensure that the aperture with the object field at the second
Recording sits exactly in the same place as the first recording, should the
inclined axis of the snug fit so inclined to the beam axis that these two
Cut axes in the center of the aperture at the point of the object film.
In der Figur ist als Ausführungsbeispiel der Erfindung eine in ein
Elektronenmil.:roskop einsetzbare Objektpatrone dargestellt. Mit i ist die Objektträgerblende
bezeichnet, auf die in an sich bekannter Weise der äußerst feine Objektfilm aufgebracht
ist. Diese Blende ist in einen Kopf 2 eingesetzt und mit Hilfe der Befestigungsschraube
3 darin festgespannt. Der Kopf ist in eine Buchse d. eingeschraubt, die ihrerseits
in einen entsprechenden, unter dem Winkel a zur Achse Jer Patrone geneigt angeordneten
Paßsitz eingesetzt ist. Das Herausfallen der Buchse. ins der Hülse 5 kann durch
geeignete Mittel ,-erhindert sein. Die dargestellte Objekt-:)atronenhülse 5 besitzt
noch einen Anschlag 6, furch den verhindert wird, daß der Kopf a }ei der Axialverstellung
der Patrone- an die an dieser Seite befindlichen Teile (z. B. die Polschuhe) des
Objektivs anstößt. Der Winkel x beträgt beim Ausführungsbeispiel 8 D3ä ; tg a ist
= 3° 200 Die in der Figur nicht dargestellte an sich bekannte Schleuse des Elektronenmikroskops,
welche dazu dient, die Patrone von außen her in den Vakuumraum des Elektronenmikroskops
einzuschleusen, kann besondere Mittel erhalten, die einen zu großen Luftzug beim
Schleusen verhindern, damit beim Umschleusen die räumliche Anordnung des Objektes
sich nicht ändert. Die Aufnahme der vergrößerten Bilder erfolgt so, daß man zunächst
in der dargestellten schiefen Lage von dem auf der Blende i befestigten Objekt eine
Aufnahme macht, dann die Patrone mit dem Objekt ausschleust, den Patronenkopf a
um i8o° dreht und die Patrone wieder einschleust. Darauf wird der Elektronenstrahl
wieder eingeschaltet, das betreffende Objekt wird wieder gesucht und bei der gleichen
Vergrößerung kann nun die zweite Aufnahme gemacht werden.In the figure, as an exemplary embodiment of the invention, one is in a
Electron mil .: microscope insertable object cartridge shown. With i is the slide aperture
referred to, on which the extremely fine object film is applied in a manner known per se
is. This diaphragm is inserted into a head 2 and with the aid of the fastening screw
3 clamped in it. The head is in a socket d. screwed in, in turn
into a corresponding, inclined at the angle α to the axis Jer cartridge
Snug fit is used. Falling out of the socket. ins the sleeve 5 can through
suitable means, -hindered. The object shown - :) has atron sleeve 5
another stop 6, which prevents the head a} from axial adjustment
the cartridge to the parts on this side (e.g. the pole pieces) of the
Lens. In the exemplary embodiment, the angle x is 8 D3ä; tg a is
= 3 ° 200 The known lock of the electron microscope, not shown in the figure,
which is used to move the cartridge from the outside into the vacuum space of the electron microscope
infiltrating, can be given special means that too large a draft when
Prevent locks, so that the spatial arrangement of the object when moving around
does not change. The inclusion of the enlarged images is done so that one first
in the shown inclined position of the object attached to the diaphragm i
Takes a picture, then ejects the cartridge with the object, the cartridge head a
rotates i8o ° and reintroduces the cartridge. Thereupon the electron beam
switched on again, the object in question is searched for again and with the same
The second picture can now be enlarged.
Die beschriebenen Anordnungen sind deshalb besonders vorteilhaft,
weil sie es gestatten, mit normalen Elektronenmikroskopen stereoskopische Aufnahmen
herzustellen, wobei lediglich ohne erheblichen Kostenaufwand eine besonders eingerichtete
Objektpatrone als Zusatzteil erforderlich ist.The arrangements described are therefore particularly advantageous
because they allow stereoscopic recordings with normal electron microscopes
produce, with only a specially set up without significant expense
Object cartridge is required as an additional part.