Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Einschleusen von Objekten
in Korpuskularstrahlgefäße, insbesondere Elektronenmikroskope, unter Verwendung
einer Schleusenkammer. Gegenstand des Hauptpatents716o58 ist eine Vorrichtung, bei
der zur Beförderung des Objektes in die bzw. aus der durch Abschlußklappen zu verschließenden
Schleusenkammer der Objektträger an einem von außen beweglichen, innerhalb der Vorrichtung
angeordneten Hebel befestigt ist. Die Vorrichtung nach dem Hauptpatent ist in der
Weise weitergebildet, daß erfindungsgemäß der von außen bewegliche Hebel aus einem
vakuumdichten Schliff besteht, der im Innern des Vakuumgefäßes als Rolle zum Aufwickeln
des an dem Objektträger befestigten Fä.dens dient, und daß die mit einem nach außen
führenden, zur Einführung des Objektes dienenden Vakuumverschluß versehene und gegen
den Strahlerzeugungs-und den Objektraum vakuumdicht verschließbare Schleusenkammer
im Strahlengang der Elektronenstrahlen liegt.The invention relates to a device for introducing objects
in corpuscular beam vessels, in particular electron microscopes, using
a lock chamber. The subject of the main patent 716o58 is a device in
the one for the transport of the object in or out of the to be locked by closing flaps
Lock chamber of the slide on an externally movable inside the device
arranged lever is attached. The device according to the main patent is in
Way further developed that according to the invention the externally movable lever from a
There is a vacuum-tight joint, which is inside the vacuum vessel as a roll for winding
of the attached to the slide Fä.dens is used, and that with one to the outside
leading, for the introduction of the object provided vacuum seal and against
the beam generating chamber and the object chamber which can be closed in a vacuum-tight manner
lies in the beam path of the electron beams.
Der Gegenstand der Erfindung ist im folgenden an Hand der in den Figuren
dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert.-Bei der Anordnung nach Fig.
i ist die Schleusenkammer A durch einen Schliff S4 gegen die Außenluft verschlossen.
Der Schliff S4 ist vorzugsweise mit einem Fenster F versehen. Die Schleusenkammer
steht ferner über einen Schliff S, mit dem Objektraum B und über einen Schliff S,
mit dem Strahlerzeugungsraum C in Verbindung. Im übrigen ist noch ein Schliff vorgesehen,
welcher zur Verbindung mit dem Vorvakuum V dient. Der Objektträger H hängt an einem
Faden oder Draht E, welcher über eine Rolle R geführt ist, die den Fortsatz eines
Schliffes S3 bildet. Der Objektträger ruht im Objektraum auf einem justierbaren
Sitz J. An dem unteren Ende des Objektträgers H befindet sich eine Kappe K, die
vorzugsweise federnd an dem Objektträger befestigt ist. Diese Kappe K dient als
Lager für das Objekt. In der Fig. a ist ein im wesentlichen dem in Fig. i dargestellten
Ausführungsbeispiel entsprechendes Ausführungsbeispiel dargestellt. Bei dieser Anordnung
ist lediglich der Objektträger H an seinem oberen Ende mit einem Leuchtschirm L
versehen.The subject of the invention is in the following on the basis of the figures
illustrated embodiments explained in more detail. In the arrangement according to Fig.
i the lock chamber A is closed against the outside air by a joint S4.
The cut S4 is preferably provided with a window F. The lock chamber
is also above a section S, with the object space B and above a section S,
with the beam generating space C in connection. In addition, a cut is planned,
which is used to connect to the fore-vacuum V. The slide H hangs on one
Thread or wire E, which is guided over a roller R, the extension of a
Forms S3 joint. The slide rests in the specimen space on an adjustable one
Seat J. At the lower end of the slide H there is a cap K which
is preferably resiliently attached to the slide. This cap K serves as a
Warehouse for the object. In Fig. A is essentially that shown in Fig. I
Embodiment shown corresponding embodiment. With this arrangement
is only the slide H with a fluorescent screen L at its upper end
Mistake.
Zur Einführung des Objektes wird der Objektträger H durch Drehen des
Schliffes S3 aus seinem Sitz J gehoben und in die Schleusenkammer <4 eingeführt.
Nachdem die Schliffe S, und S, in entsprechender Weise gedreht sind, so daß die
Schleusenkammer gegen den Strahlerzeugungs- und den Objektraum verschlossen ist,
kann der mit dem Fenster F versehene Schliff S4 entfernt werden und die Kappe K
von dem Objektträger abgezogen werden, was vorzugsweise mit Hilfe einer eingeführten
Pinzette erfolgt. In die Kappe K wird das Objekt eingelegt. Sodann wird die Kappe
K mit Hilfe der Pinzette über die Spitze des Objektträgers H gepreßt. Nachdem der
Schliff S4 verschlossen und durch Verbindung mit dem Vorvakuum V die Schleusenkammer
evakuiert wird, können die Schliffe S1, S2 geöffnet werden und der 'Objektträger
durch Drehen der Rolle R in den Objektsitz J eingeführt werden. Gegebenenfalls ist
der Objektträger H an seinem oberen Ende mit einem Leuchtschirm L versehen, so daß
durch das Fenster F das Justieren des Objektträgers durch Bewegen des Sitzes J beobachtet
werden kann. Das Ausschleusen des Objektes erfolgt entsprechend in umgekehrter Reihenfolge.To introduce the object, slide H by turning the
Joint S3 lifted out of its seat J and introduced into the lock chamber <4.
After the cuts S, and S, are rotated in a corresponding manner, so that the
The lock chamber is closed to the beam generation and the object space,
the joint S4 provided with the window F can be removed and the cap K
can be peeled off the slide, preferably with the help of an inserted
Tweezers is done. The object is placed in the cap K. Then the cap
Press K over the tip of the slide H with the help of the tweezers. After the
Joint S4 is closed and the lock chamber is connected to the fore-vacuum V.
is evacuated, the sections S1, S2 can be opened and the 'slide
can be inserted into the object seat J by turning the roller R. Possibly is
the slide H is provided at its upper end with a fluorescent screen L so that
through the window F the adjustment of the slide by moving the seat J is observed
can be. The object is ejected accordingly in the reverse order.