DE7442456U

DE7442456U - Measuring arrangement

Info

Publication number: DE7442456U
Application number: DE7442456U
Authority: DE
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 1974-12-20
Publication date: 1977-12-29

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung mit einem längs einer Meßstrecke beweglichen, mit dem zu messenden Objekt verbundenen Bauteil, bei der der die Meßstrecke unmittelbar umgehende Raum durch einen Hohlkörper gegen Umwelteinflüsse abgeschirmt ist, der zwecks Durchführung eines Mitnehmers für das bewegliche Bauteil einen Schlitz aufweist, der mittels Dichtelementen, vorzugsweise Dichtlippen, abgedichtet ist. Meßanordnungen mit einem längs einer Meßstrecke beweglichen Bauteil sind z. B. in Form von Lager-Interferometer bekannt geworden, bei denen das bewegliche Bauteil der Reflektor ist. Ferner kann die obige Meßanordnung auch eine Einrichtung zur Feststellung der Abweichung der Bahn eines beweglichen Bauteiles von einer durch ein Laserlichtbündel definierten Geraden sein. Die Meßanordnung kann hier auch ein digitales elektrisches Längenmeßsystem sein, bei dem die Teilung und der dieser vorgelagerte Abtastkopf gegen Umwelteinflüsse abgeschirmt sind.The invention relates to a measuring arrangement with a component that is movable along a measuring section and is connected to the object to be measured, in which the space immediately surrounding the measuring section is shielded from environmental influences by a hollow body which has a slot for the purpose of carrying out a driver for the movable component is sealed by means of sealing elements, preferably sealing lips. Measuring arrangements with a movable component along a measuring section are z. B. has become known in the form of bearing interferometers, in which the moving component is the reflector. Furthermore, the above measuring arrangement can also be a device for determining the deviation of the path of a movable component from a straight line defined by a laser light beam. The measuring arrangement can here also be a digital electrical length measuring system in which the graduation and the scanning head upstream of it are shielded from environmental influences.

Es ist bereits ein Laser-Interferometer
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geworden (deutsche Offenlegungsschrift
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It's already a laser interferometer
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become (German Offenlegungsschrift
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Bei dem der die Meßstrecke umschließende
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In the case of the one enclosing the measuring section
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Rohres abgeschirmt und evakuiert ist. Das Rohr zeigt einen Schlitz auf, der mittels biegsamer Dichtlinien,Pipe is shielded and evacuated. The pipe shows a slot, which by means of flexible sealing lines,

Interferometeranordnung ist, daß das Vakuum im Meßkanal nur durch ununterbrochene Nachevakuierung mit Vakuumpumpen hoher Leistung aufrechterhalten werden kann.The interferometer arrangement is that the vacuum in the measuring channel can only be maintained by uninterrupted post-evacuation with high-performance vacuum pumps.

In der noch unveröffentlichten eigenen Patentanmeldung P 24 21 371.6-52 ist bei einer interferometrischen Längenmeßvorrichtung der die Meßstrecke umschließende geschlitzte Hohlkörper mittels biegsamer, dachförmig angeordneter Dichtlippen verschlossen. Zur Aufrechterhaltung des Vakuums im Hohlkörper ist dabei der Raum um die Dichtlippen herum mit Vakuumöl ausgefüllt, so daß durch die feinen Lackstellen der biegsamen Dichtlippen nur relativ zähes Öl fließen kann. Gegenüber dem aus der deutschen Offenlegungsschrift 2 113 477 bekannt gewordenen Laser-Interferometer bietet die vorgenannte Flüssigkeitsdichtung den Vorteil, daß nur mehr gelegentlich nachevakuiert werden muß. Dies erlaubt auch den Einsatz einer Vakuumpumpe geringer Leistung. Es wird jedoch eine Ölpumpe benötigt, die das Lecköl im Hohlkörper wieder an die Dichtlinien zurückbefördert. Außerdem müssen die optischen Elemente im Hohlkörper mit Abdeckhauben vor Vereinbarung durch herabtropfendes Lacköl geschützt werden.In the as yet unpublished patent application P 24 21 371.6-52 of an interferometric length measuring device, the slotted hollow body enclosing the measuring section is closed by means of flexible, roof-shaped sealing lips. To maintain the vacuum in the hollow body, the space around the sealing lips is filled with vacuum oil, so that only relatively viscous oil can flow through the fine lacquer areas of the flexible sealing lips. Compared to the laser interferometer known from German laid-open specification 2 113 477, the aforementioned liquid seal offers the advantage that it only has to be re-evacuated occasionally. This also allows the use of a low-power vacuum pump. However, an oil pump is required that conveys the leakage oil in the hollow body back to the sealing lines. In addition, the optical elements in the hollow body with cover hoods must be protected from dripping paint oil before agreement.

Aufgabe der Erfindung ist es, bei einer Meßanordnung der eingangs genannten Art mit besonders einfachen Mitteln eine hermetische Abdichtung am
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an den er Hohlkörper vorgeschoben
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erreichen und insbesondere bei evakuierten Meßkanälen das Vakuum im Hohlkörper auch während der
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der die Dichtelemente durchdringenden Mitnehmern über einen langen Zeitraum ohne Nachevakuierung aufrechtzuerhalten. Aufgabe der Erfindung ist es ferner, eine Dichtung am Schlitz des Hohlkörpers zu schaffen, die völlig lecksicher ist und zudem günstige Gleitverhältnisse zwischen Mitnehmer und Dichtelementen bietet. Darüber hinaus soll durch die Erfindung eine zuverlässige Dichtung am Meßkanal der Anordnung geschaffen werden, die eine vielseitige Anwendung der Meßanordnung auch unter extremen Umweltbedingungen gestattet und die auch nicht auf eine bestimmte Einbaulage der Meßanordnung beschränkt ist.The object of the invention is to provide a hermetic seal on the measuring arrangement of the type mentioned above with particularly simple means
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to which he advanced hollow body
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reach and especially with evacuated measuring channels the vacuum in the hollow body also during the
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of the catches penetrating the sealing elements over a long period of time without post-evacuation. Another object of the invention is to create a seal on the slot of the hollow body which is completely leak-proof and also offers favorable sliding conditions between the driver and the sealing elements. In addition, the invention is intended to create a reliable seal on the measuring channel of the arrangement which allows the measuring arrangement to be used in a variety of ways, even under extreme environmental conditions, and which is also not restricted to a specific installation position of the measuring arrangement.

Die Erfindung löst die gestellte Aufgabe dadurch, daß der Spalt an den Dichtelementen durch eine magnetische Flüssigkeit hermetisch verschlossen ist und daß die magnetische Flüssigkeit in den Spalten zwischen den Dichtelementen durch ein magnetisches Feld festgehalten wird. Die magnetische Flüssigkeit in den Spalten der Dichtelemente dient demnach als Sperre gegen störende Umwelteinflüsse oder zur Aufrechterhaltung eines Vakuums im Meßkanal gegenüber Atmosphärendruck. Das Vakuum kann dabei über einen langen Zeitraum aufrechterhalten werden, ohne daß nachevakuiert werden muß. Ein wesentlicher Vorteil ist auch die völlige Leckfreiheit dieser Dichtung, so daß Verschmutzungen von Bauteilen ausgeschlossen sind.The invention solves the problem set in that the gap on the sealing elements is hermetically sealed by a magnetic liquid and that the magnetic liquid is held in the gaps between the sealing elements by a magnetic field. The magnetic liquid in the gaps of the sealing elements therefore serves as a barrier against disruptive environmental influences or to maintain a vacuum in the measuring channel against atmospheric pressure. The vacuum can be maintained over a long period of time without having to re-evacuate. Another major advantage is that this seal is completely leak-free, so that components cannot get dirty.

Magnetische Flüssigkeiten, in der Literatur auch als magnetisierbare Flüssigkeit oder Ferrofluid bezeichnet, stellen eine Dispersion von fein verteilten magnetischen Partikelchen (vorzugsweise Ferritmaterialien) in einer Trägerflüssigkeit (z. B. Kerosin oder Siliconöle) dar, wobei das Wort "magnetisch" sich auf die Fähigkeit, sich magnetisieren zu lassen, bezieht. Nähere Einzelheiten über magnetische Flüssigkeiten finden sich beispielsweise in den Literaturstellen "International science and technology", No. 55, July 1966, Seite 48 bis 56 und "Der Elektroniker", Nr. 6, 1971, Seite 286 bis 288. Aus dieser Literatur geht hervor, daß magnetische Flüssigkeiten bereits auf den verschiedensten technologischen Anwendungsgebieten eingesetzt werden, u. a. auch zur Abdichtung an Wellendurchführungen.Magnetic liquids, also referred to in the literature as magnetizable liquid or ferrofluid, represent a dispersion of finely divided magnetic particles (preferably ferrite materials) in a carrier liquid (e.g. kerosene or silicone oils), the word "magnetic" referring to the ability to be magnetized refers. More details About magnetic fluids can be found, for example, in the references "International science and technology", No. 55, July 1966, pages 48 to 56 and "Der Elektroniker", No. 6, 1971, pages 286 to 288. From this literature it can be seen that magnetic fluids are already being used in a wide variety of technological fields of application, inter alia. also for sealing shaft bushings.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist der die Meßstrecke umschließende Hohlkörper mittels biegsamer dachförmig angeordneter Dichtlippen abgedichtet. Erfindungsgemäß ist in die feinen Spalte an den dachförmigen Dichtlippen die magnetische Flüssigkeit eingebracht. Die Magnetflüssigkeit im Spalt wird durch Permanentmagnete festgehalten, die in unmittelbarer Nähe des Spaltes durchgehend entlang der Dichtlippen vorgesehen sind. Die Dichtanordnung mit dachförmigen Lippen eignet sich besonders für evakuierte Meßkanäle vorzugsweise an Laser-Interferometern da sie erstens auf einfache Weise die Ausbildung und sichere Aufrechterhaltung des hierzu notwendigen Vakuums ermöglicht und zweitens einen ausgezeichneten Schutz der im evakuierten Meßkanal vorgesehenen optischen Bauteile gewährleistet.In a preferred embodiment, the hollow body surrounding the measuring section is sealed by means of flexible sealing lips arranged in the shape of a roof. According to the invention, the magnetic liquid is introduced into the fine gaps on the roof-shaped sealing lips. The magnetic fluid in the gap is held in place by permanent magnets, which are provided in the immediate vicinity of the gap continuously along the sealing lips. The sealing arrangement with roof-shaped lips is particularly suitable for evacuated measuring channels, preferably on laser interferometers, because firstly it enables the necessary vacuum to be formed and reliably maintained in a simple manner and secondly, it ensures excellent protection of the optical components provided in the evacuated measuring channel.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt.Exemplary embodiments of the invention are shown in the drawing.

Es zeigtIt shows

Figur 1 schematisch ein Laser-Interferometer, bei dem die Dichtung nach der Erfindung angewandt werden kann,Figure 1 schematically shows a laser interferometer in which the seal according to the invention can be applied,

Figur 2 einen Schnitt nach der Linie II-II,Figure 2 is a section along the line II-II,

Figur 3 ein weiteres Ausführungsbeispiel mit nach innen weisenden Dichtlippen,Figure 3 shows another embodiment with inwardly facing sealing lips,

Figur 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel mit einer Nut in den Dichtlippen,Figure 4 shows another embodiment with a groove in the sealing lips,

Figur 5 ein Ausführungsbeispiel, bei dem die Enden der Dichtlippen abgeschrägt sind,Figure 5 shows an embodiment in which the ends of the sealing lips are beveled,

Figur 6 eine weitere Ausführungsmöglichkeit, mit einer an der Außenseite der Dichtlippen vorgesehenen Tasche für die Dichtflüssigkeit,FIG. 6 a further possible embodiment, with a pocket for the sealing liquid provided on the outside of the sealing lips,

Figur 7 eine weitere Ausführungsmöglichkeit, mit einer an der Innenseite der Dichtlippen vorgesehenen Tasche für die Dichtflüssigkeit,FIG. 7 a further possible embodiment, with a pocket for the sealing liquid provided on the inside of the sealing lips,

Figur 8 ein weiteres Ausführungsbeispiel mit weichen Dichtleisten,Figure 8 shows another embodiment with soft sealing strips,

Figur 9 ein Ausführungsbeispiel, bei dem der Mitnehmer ein Dauermagnet ist.Figure 9 shows an embodiment in which the driver is a permanent magnet.

Die Figur 1 zeigt ein Laser-Interferometer bekannter Bauart, bei dem die Erfindung beispielsweise angewandt werden soll. Das Interferometer 10, das am feststehenden Objekt angebracht ist, gestattet im Zusammenwirken mit dem beweglichen Reflektor 11 die Messung von Längen. Die Lichtquelle 12 ist ein Laser. Die Baueinheit 13 enthält die Interferometeroptik, die den Laserstrahl in einen Meßstrahl und Bezugsstrahl aufspaltet. Die Baueinheit 14 enthält Fotodetektoren, die die optischen Signale in elektrische Signale umformen. In der Baueinheit 15 sind Verstärker und Trigger vorgesehen. Ein elektronischer Vor-/Rückwärtszähler 16 zählt die bei einer Verschiebung des Reflektors 11 durchlaufenden Signalperioden. Im Rechner 17 erfolgt die Umwandlung der gemessenen Verschiebung in Dezimalwerte, die am Anzeigegerät 18 ablesbar sind. Die Meßstrecke bei diesem Interferometer ist ins Vakuum gelegt. Das Laserlichtbündel gelangt über ein Fenster 21 in den evakuierten Hohlkörper 20.FIG. 1 shows a known type of laser interferometer in which the invention is to be used, for example. The interferometer 10, which is attached to the stationary object, allows, in cooperation with the movable reflector 11, the measurement of lengths. The light source 12 is a laser. The unit 13 contains the interferometer optics which split the laser beam into a measuring beam and a reference beam. The assembly 14 contains photodetectors which convert the optical signals into electrical signals. In the unit 15 amplifiers and triggers are provided. An electronic up / down counter 16 counts the signal periods which pass through when the reflector 11 is displaced. In the computer 17, the measured shift is converted into decimal values, which can be read off on the display device 18. The measuring section in this interferometer is placed in a vacuum. The laser light bundle reaches the evacuated hollow body 20 via a window 21.

Die Figur 2 zeigt eine Abschirmung der Meßstrecke nach der Erfindung. Der Reflektor 11 ist über einen schlanken schwertförmigen Mitnehmer 19 im evakuierten Hohlkörper 20 eingebracht. Der Schlitz im Hohlkörper 20 ist mittels biegsamer, dachförmig angeordneter Dichtlippen 23/24 abgedichtet. Die Dichtlippen 23/24 bestehen vorzugsweise aus Kunststoff. Die Enden der Dichtlippen 23/24 sind nach außen geformt. In den durch diese Formgebung gebildeten V-förmigen Kanal ist eine magnetische Flüssigkeit F eingebracht, die durch das Magnetfeld von Permanentmagneten 25/26 festgehalten wird und eine hermetische Abdichtung des evakuierten Hohlkörpers 20 auch bei Bewegung des Mitnehmers 19 bzw. des zu messenden Objektes 22 gewährleistet. Die Permanentmagnete 25/26 erstrecken sich über die gesamte Länge der Dichtlippen 23/24. Durch die Maßnahmen nach der Erfindung, den Schlitz am Hohlkörper 20 mittels dachförmiger Dichtlippen 23/24 abzudecken und zusätzlich die nur sehr feinen Dichtungsspalte mit magnetischer Flüssigkeit F auszufüllen, ergeben sich mehrere Vorteile. Einmal wird durch die feinen Spalte an den Dichtlippen 23/24 die magnetische Flüssigkeit F auch bei hohem Vakuum oder extremen Umweltbedingungen sicher festgehalten und zum anderen ergeben sich durch das Einbringen der magnetischen Flüssigkeit F auch günstige Gleitverhältnisse zwischen dem Mitnehmer 19 und den Dichtlippen 23/24. Auch kann durch diese Dichtung das Vakuum im Hohlkörper 20 ohne Nachevakuierung über einen sehr langen Zeitraum aufrechterhalten werden. Ein weiterer Vorteil ist noch die günstige Bauform der Meßstreckenabschirmung, die den Einbau der Meßanordnung in jeder Lage gestattet.FIG. 2 shows a shield of the measuring section according to the invention. The reflector 11 is introduced into the evacuated hollow body 20 via a slender, sword-shaped driver 19. The slot in the hollow body 20 is sealed by means of flexible, roof-shaped sealing lips 23/24. The sealing lips 23/24 are preferably made of plastic. The ends of the sealing lips 23/24 are shaped outwards. A magnetic liquid F is introduced into the V-shaped channel formed by this shape, which is held in place by the magnetic field of permanent magnets 25/26 and ensures a hermetic seal of the evacuated hollow body 20 even when the driver 19 or the object 22 to be measured moves . The permanent magnets 25/26 extend over the entire length of the sealing lips 23/24. The measures according to the invention of covering the slot on the hollow body 20 by means of roof-shaped sealing lips 23/24 and additionally filling the only very fine sealing gaps with magnetic fluid F result in several advantages. On the one hand, the fine gaps on the sealing lips 23/24 hold the magnetic liquid F securely in place even under high vacuum or extreme environmental conditions and, on the other hand, the introduction of the magnetic liquid F also results in favorable sliding conditions between the driver 19 and the sealing lips 23/24 . This seal can also be used to maintain the vacuum in the hollow body 20 over a very long period of time without post-evacuation. Another advantage is the favorable design of the measuring section shield, which allows the measuring arrangement to be installed in any position.

Die Figur 3 zeigt eine Anordnung mit in den Hohlraum des Körpers 20 tief1 ragenden dachförmigen Lichtlippen 23 tief1 / 24 tief1, die den Mitnehmer in der in Figur 1 ersichtlichen Weise in sich aufnehmen. Die magnetische Flüssigkeit F ist in die durch die Dichtlippen 23 tief1 / 24 tief1 gebildete V-förmige Nut eingebracht. Die magnetische Flüssigkeit F in den Spalten der Dichtung wird durch Permanentmagnete 25 tief1 / 26 tief1 festgehalten, die im Inneren des Hohlkörpers 20 tief1 angebracht sind. Schutzbleche 28 tief1 / 29 tief1 schützen die Dichtlippen 23 tief1 / 24 tief1 vor mechanischen Beschädigungen. Vorteilhaft bei dieser Anordnung ist die einfache und kleine Bauweise, die eine vielseitige Anwendbarkeit der Meßanordnung auch unter extremen Umweltbedingungen gestattet.FIG. 3 shows an arrangement with roof-shaped light lips 23 deep 1/24 deep 1 projecting deep into the cavity of the body 20, which receive the driver in the manner shown in FIG. The magnetic liquid F is introduced into the V-shaped groove formed by the sealing lips 23 deep 1/24 deep. The magnetic fluid F in the gaps of the seal is held in place by permanent magnets 25 deep1 / 26 deep1, which are attached inside the hollow body 20 deep1. Mudguards 28 deep1 / 29 deep1 protect the sealing lips 23 deep1 / 24 deep1 from mechanical damage. The advantage of this arrangement is the simple and small design, which allows the measuring arrangement to be used in a variety of ways, even under extreme environmental conditions.

Bei der Anordnung nach der Figur 4 ist an der Innenfläche der dachförmigen Dichtlippen 23 tief2 / 24 tief2 eine Nut 27 eingeformt, in die die magnetische Flüssigkeit F eingebracht ist. Die magnetische Flüssigkeit F in der Nut 27 wird durch Permanentmagnete 25 tief2 / 26 tief2 festgehalten. Die Nut 27 steht mit einem Ausgleichsbehälter (nicht dargestellt) in Verbindung, der an der Stirnseite des Hohlkörpers 20 tief2 angebracht ist. Vorteilhaft bei dieser Anordnung ist, daß Staub- oder Schmutzpartikelchen nicht in die magnetischen Flüssigkeit F gelangen können.In the arrangement according to FIG. 4, a groove 27 is formed on the inner surface of the roof-shaped sealing lips 23 deep2 / 24 deep2, into which the magnetic fluid F is introduced. The magnetic fluid F in the groove 27 is held by permanent magnets 25 deep2 / 26 deep2. The groove 27 is connected to an expansion tank (not shown) which is attached to the end face of the hollow body 20 deep2. The advantage of this arrangement is that dust or dirt particles cannot get into the magnetic liquid F.

Die Figur 5 zeigt eine Anordnung, bei der die Enden der dachförmigen Dichtlippen 23 tief3 / 24 tief3 abgeschrägt sind. Die magnetische Flüssigkeit F ist in die durch die Lippen 23 tief3 / 24 tief3 gebildete V-förmige Nut eingebracht..FIG. 5 shows an arrangement in which the ends of the roof-shaped sealing lips 23 deep 3/24 deep 3 are beveled. The magnetic liquid F is introduced into the V-shaped groove formed by the lips 23 deep 3/24 deep 3.

Permanentmagnete 25 tief3 / 26 tief3 halten die in den Spalten sich befindliche magnetische Flüssigkeit F fest.Permanent magnets 25 deep 3/26 deep 3 hold the magnetic fluid F in the gaps.

Die Figur 6 zeigt eine Anordnung mit an der Außenseite der Dichtlippen 23 tief4 / 24 tief4 angeformten dünnen Stegen 23' tief4 / 24' tief4, zwischen denen die magnetische Flüssigkeit F eingebracht ist. Die magnetische Flüssigkeit F wird durch Permanentmagnete 25 tief4 / 26 tief4 festgehalten.FIG. 6 shows an arrangement with thin webs 23 'deep 4/24' deep 4 formed on the outside of the sealing lips 23 deep 4/24 deep 4, between which the magnetic fluid F is introduced. The magnetic liquid F is held in place by permanent magnets 25 deep 4/26 deep 4.

In Figur 7 sind an der Innenseite der Dichtlippen 23 tief5 / 24 tief5 noch dünne dachförmige Lippen 23' tief5 / 24' tief5 angeformt. Die magnetische Flüssigkeit F befindet sich in der zwischen den Dichtlippenpaaren 23 tief5 u. 23' tief5 / 24 tief5 u. 24' tief5 gebildeten Tasche. Die magnetische Flüssigkeit F wird durch die Permanentmagnete 25 tief5 / 26 tief5 festgehalten. Vorteilhaft bei dieser Anordnung ist, daß Staub- oder Schmutzpartikelchen nicht an die magnetische Flüssigkeit F gelangen können.In Figure 7, thin roof-shaped lips 23 'deep 5/24' deep 5 are formed on the inside of the sealing lips 23 deep 5/24 deep 5. The magnetic liquid F is located in the pocket formed between the pairs of sealing lips 23 deep5 and 23 'deep5 / 24 deep5 and 24' deep5. The magnetic fluid F is held in place by the permanent magnets 25 deep 5/26 deep 5. The advantage of this arrangement is that dust or dirt particles cannot get to the magnetic fluid F.

Die Figur 8 zeigt eine Anordnung, bei der der Schlitz für den Mitnehmer 19 tief6 mittels weicher Dichtleisten 23 tief6 / 24 tief6 aus Kunststoff oder Gummi abgedichtet ist. Die Dichtleisten 23 tief6 / 24 tief6 sind zweckmäßig an Permanentmagneten 25 tief6 / 26 tief6 befestigt, die am Hohlkörper 20 tief6 angebracht sind. Die magnetische Flüssigkeit F ist zweckmäßig in einer Nut an den Dichtleisten 23 tief6 /24 tief6 eingebracht. Sie wird durch die Permanentmagnete 25 tief6 / 26 tief6 in den Spalten festgehalten. Die Dichtleisten, die den Mitnehmer 19 tief6 in sich aufnehmen, können auch aus magnetisierten Kunststoff gefertigt sein.FIG. 8 shows an arrangement in which the slot for the driver 19 deep 6 is sealed by means of soft sealing strips 23 deep 6/24 deep 6 made of plastic or rubber. The sealing strips 23 deep 6/24 deep 6 are expediently attached to permanent magnets 25 deep 6/26 deep 6, which are attached to the hollow body 20 deep 6. The magnetic liquid F is expediently introduced into a groove on the sealing strips 23 deep 6/24 deep 6. It is held by the permanent magnets 25 deep 6/26 deep 6 in the gaps. The sealing strips, which accommodate the driver 19 deep 6, can also be made of magnetized plastic.

Bei der Anordnung nach Figur 9 ist der schwertförmige Mitnehmer 19 tief7 zumindest teilweise als Permanentmagnet ausgebildet, der die nur an den feinen Spalten am Schwertende zwischen die dachförmigen Dichtlippen 23 tief7 / 24 tief7 eingebrachte magnetische Flüssigkeit F festhält und bei Bewegung mitnimmt. Diese Anordnung eignet sich besonders zur Abdeckung von Hohlkörpern, in denen die Teilung und der Abtastkopf eines digitalen elektrischen Längenmeßsystems eingebracht sind.In the arrangement according to FIG. 9, the sword-shaped driver 19 is deep 7 at least partially as a permanent magnet formed, which holds the magnetic liquid F introduced only at the fine gaps at the end of the sword between the roof-shaped sealing lips 23 deep 7/24 deep 7 and takes it with it when it moves. This arrangement is particularly suitable for covering hollow bodies in which the graduation and the scanning head of a digital electrical length measuring system are incorporated.

Claims

1.) Measuring arrangement with a component that is movable along a measuring section and is connected to the object to be measured, in which the space immediately surrounding the measuring section is shielded from environmental influences by a hollow body, which has a slot for the purpose of carrying out a driver for the movable component, which by means of Sealing elements, preferably sealing lips, is sealed, characterized in that the gap on the sealing elements (23/24 or 23 deep 1/24 deep 1 to 23 deep 7/24 deep 7) is hermetically sealed by a magnetic liquid (F) and that the magnetic liquid (F) is held in place by a magnetic field in the gaps between the sealing elements (23/24 or 23 deep1 / 24 deep1 to 23 deep7 / 24 deep7).

2.) Measuring arrangement, in particular interferometric length measuring device, in which the space immediately surrounding the measuring section is shielded by a slotted hollow body which is closed by means of flexible, preferably roof-shaped sealing lips, the interior of the hollow body being evacuated, according to claim 1, characterized in that A magnetic liquid (F) is introduced into the gaps on the roof-shaped sealing lips (23/24 or 23 deep1 / 24 deep1 to 23 deep5 / 24 deep5) that accommodate the driver (19), which under the action of magnetic elements (25/26 or 25 deep1 / 26 deep1 to 25 deep5 / 26 deep5) in the gap between the sealing surfaces of the lips (23/24 or 23 deep1 / 24 deep1 to 23 deep5 / 24 deep5).

3.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the magnetic sealing liquid (F) holding magnetic elements permanent magnets (25/26 or 25 deep1 / 26 deep1 to 25 deep6 / 25 deep6) are in the immediate vicinity of the with the magnetic liquid (F) filled gap are preferably provided continuously along the sealing lips (23/24 or 23 deep1 / 24 deep1 to 23 deep6 / 24 deep6).

4.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the ends of the roof-shaped sealing lips (23/24) are curved outward and that in the narrow V-shaped groove thus formed, the magnetic liquid (F) is introduced through Permanent magnets (25/26) is held.

5.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the roof-shaped sealing lips (23 deep 1/24 deep 1) on the hollow body (20 deep 1) are attached so that the tip in the hollow body to be shielded (20 deep 1) and that outside of the Hollow body (20 deep1) in the V-shaped groove formed by the roof-shaped sealing lips (23 deep1 / 24 deep1) the magnetic fluid (F) is introduced, which is held by permanent magnets (25 deep1 / 26 deep1).

6.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that on the inner surface of the roof-shaped sealing lips (23 deep2 / 24 deep2) a groove (27) extending in the measuring direction is introduced and that the through the groove (27) in the sealing lips ( 23 deep2 / 24 deep2) is filled with the magnetic fluid (F), which is held in place by permanent magnets (25 deep2 / 26 deep2).

7.) Measuring arrangement according to claim
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characterized in that the continuous channel (27) in the
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communicates with an expansion tank for the magnetic fluid (F).

8.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the ends of the roof-shaped sealing lips (23 deep 3/24 deep 3) are continuously beveled and that in the V-shaped groove thus formed on the sealing lips (23 deep 3/24 deep 3) magnetic fluid (F) is introduced, which is held in place by permanent magnets (25 deep 3/26 deep 3).

9.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that in the end region of the roof-shaped sealing lips (23 deep 4/24 deep 4) on the outside a thin wall (23 'deep 4/24' deep 4) is formed and that in the narrow one thus formed Pocket on the sealing lips (23 deep4 / 24 deep4) the magnetic fluid (F) is introduced, which is held in place by permanent magnets (25 deep4 / 26 deep4).

10.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that on the inside of the roof-shaped sealing lips (23 deep 5/24 deep 5) still thin roof-shaped lips (23 'deep 5/24' deep 5) are formed and that in the between the pair of sealing lips ( 23 deep 5 and 23 'deep 5/24 deep 5 and 24' deep
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The pocket formed by the magnetic fluid (F) is introduced, which is held in place by permanent magnets (25 deep 5/26 deep 5).

11.) Measuring arrangement according to claim 1, characterized in that the sealing elements (23 deep 6/24 deep 6) on the slot of the hollow body (20 deep 6) which strips, preferably made of rubber or plastic and that in the gaps on the sealing strips (23 deep 6/24 deep 6) the magnetic fluid (F) is introduced, which is held by permanent magnets (25 deep 6/26 deep 6).

12.) Measuring arrangement according to claim 11, characterized in that the soft sealing strips (23 deep 6/24 deep 6), which receive the driver (19 deep 6) in themselves, are attached directly to the permanent magnets (25 deep 6/26 deep 6).

13.) Measuring arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that the roof-shaped sealing lips (23 deep 7/24 deep 7) penetrating sword-shaped driver (19 deep 7) is designed as a permanent magnet and that the magnetic liquid (F) is introduced into the column at the sword end which is held by the magnetic field of the sword (19 deep7).