DE69810177T2 - Process for the production of a phosphor screen for color picture tubes - Google Patents
Process for the production of a phosphor screen for color picture tubesInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre mit einem Leuchtstoffschirm mit einem optischen Filter.The invention relates to a method for producing a phosphor screen of a color picture tube with a phosphor screen with an optical filter.
Viele der heute verwendeten Farbbildröhren besitzen eine optische Filterschicht zwischen einer Glasplatte und einer Leuchtstoffschicht, um die Leuchtdichte und den Kontrast des Leuchtstoffschirms zu verbessern. Der Leuchtstoffschirm mit dem optischen Filter umfasst eine punktförmige oder streifenförmige optische Filterschicht, die nur durchlässig ist für Wellenlängen für rot, grün und blau, die auf der inneren Oberfläche einer Glasplatte mit schwarzen Matrizes oder Streifen ausgebildet ist, und eine Leuchtstoffschicht, die auf der optischen Filterschicht ausgebildet ist, zur Emission von rotem, grünem und blauem Licht.Many of the color picture tubes in use today have an optical filter layer between a glass plate and a phosphor layer to improve the luminance and contrast of the phosphor screen. The phosphor screen with the optical filter comprises a dot-shaped or strip-shaped optical filter layer that is only transparent to red, green and blue wavelengths, formed on the inner surface of a glass plate with black matrices or stripes, and a phosphor layer formed on the optical filter layer for emitting red, green and blue light.
Diese optische Filterschicht wird durch das aufeinanderfolgende Ausbilden von roten, blauen und grünen Filterschichten auf der inneren Oberfläche einer Glasplatte mit einem Muster einer schwarzen Matrix durch Photolithographie erhalten.This optical filter layer is obtained by sequentially forming red, blue and green filter layers on the inner surface of a glass plate with a black matrix pattern by photolithography.
Es kommt vor, dass ein lichtgehärteter Resist nicht sorgfältig abgetrennt wird, sondern auf einem Lochbereich des auf der inneren Oberfläche der Platte ausgebildeten Musters einer schwarzen Matrix, also auf der Oberfläche einer Position, an der eine Filterschicht gebildet wird, verbleibt. Dieses Phänomen ist auffällig, wenn ein lichtempfindliches Mittel auf Azidbasis oder eine ein Silankopplungsmittel enthaltende wasserlösliche Sensibilisierungslösung verwendet wird. Daher wird, wenn eine erste Farbfilterschicht ausgebildet wird, eine ein Pigment dispergiert enthaltende Lösung auf der Oberfläche der auf der Plattenoberfläche verbliebenen lichtgehärteten Resistschicht aufgetragen. Nach dem Ausbilden eines Musters der ersten Farbfilterschicht wurde eine Position, an der eine andere Farbpigmentschicht gebildet werden soll, überprüft, wobei ermittelt wurde, dass das erste Farbpigment nicht sorgfältig abgetrennt war, sondern auf der Oberfläche des verbliebenen Resists teilweise verblieben war. Der Rückstand des ersten Farbpigments verschlechtert die Leuchtdichte der Lumineszenzfarben der zwei anderen Farbleuchtstoffe und manchmal bis zu einem Grad, dass die Leuchtdichte von weißer Farbe zur praktischen Verwendung nicht genügt.There are cases where a photocured resist is not carefully separated but remains on a hole portion of the black matrix pattern formed on the inner surface of the plate, that is, on the surface of a position where a filter layer is formed. This phenomenon is conspicuous when an azide-based photosensitive agent or a water-soluble sensitizing solution containing a silane coupling agent is used. Therefore, when a first color filter layer is formed, a solution containing a pigment dispersed is applied to the surface of the black matrix pattern formed on the plate surface. remaining photocured resist layer. After forming a pattern of the first color filter layer, a position where another color pigment layer is to be formed was checked, and it was found that the first color pigment was not carefully separated but partially remained on the surface of the remaining resist. The residue of the first color pigment deteriorates the luminance of the luminescent colors of the other two color phosphors, and sometimes to the extent that the luminance of white color is not sufficient for practical use.
Aufgabe der Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre mit der Fähigkeit, eine Verminderung der Leuchtdichte aufgrund des Haftens eines Pigments einer ersten optischen Farbfilterschicht an einer gehärteten Resistschicht, die auf der Oberfläche von Lochbereichen eines Musters einer schwarzen Matrix verblieben ist, zu unterdrücken.The object of the invention is to provide a method for producing a phosphor screen of a color picture tube having the ability to suppress a reduction in luminance due to adhesion of a pigment of a first optical color filter layer to a cured resist layer remaining on the surface of hole regions of a black matrix pattern.
Um die genannte Aufgabe zu lösen, erfolgt die Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre, das die folgenden Stufen umfasst:In order to achieve the above-mentioned object, a method for producing a phosphor screen of a color picture tube is provided, which comprises the following steps:
(a) anfängliches Ausbilden des Musters einer schwarzen Matrix, in dem an einer Position ein Resist verbleibt, an der eine optische Filterschicht ausgebildet werden soll, durch Auftragen des Resists im Inneren einer Frontplatte, Belichten und Entwickeln desselben;(a) initially forming a black matrix pattern in which a resist remains at a position where an optical filter layer is to be formed by applying the resist inside a panel, exposing it and developing it;
(b) nachfolgendes Ausbilden eines Musters einer grünen optischen Filterschicht durch Auftragen eines grünen Pigments im Inneren der Frontplatte und(b) subsequently forming a pattern of a green optical filter layer by applying a green pigment inside the front panel and
(c) nachfolgendes Ausbilden eines Musters einer blauen oder roten Filterschicht hierauf.(c) subsequently forming a pattern of a blue or red filter layer thereon.
Fig. 1A, Fig. 1B und Fig. 1C sind Diagramme, die die spektrale Durchlässigkeit von Pigmenten für blaue, grüne und rote optische Filter zeigen;Fig. 1A, Fig. 1B and Fig. 1C are graphs showing the spectral transmittance of pigments for blue, green and red optical filters;
Fig. 2A, Fig. 2B, Fig. 2C, Fig. 2D, Fig. 2E und Fig. 2F sind Querschnittsdarstellungen, die einzelnen Prozessen des Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre einer ersten Ausführungsform der Erfindung entsprechen;Fig. 2A, Fig. 2B, Fig. 2C, Fig. 2D, Fig. 2E and Fig. 2F are cross-sectional views corresponding to individual processes of the method of manufacturing a phosphor screen of a color picture tube of a first embodiment of the invention;
Fig. 3A, Fig. 3B, Fig. 3C und Fig. 3D sind Querschnittsdarstellungen, die einzelnen Hauptprozessen des Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre der ersten Ausführungsform der Erfindung entsprechen;Fig. 3A, Fig. 3B, Fig. 3C and Fig. 3D are cross-sectional views corresponding to individual main processes of the method for manufacturing a phosphor screen of a color picture tube of the first embodiment of the invention;
Fig. 4 ist ein Flussdiagramm, das die Reihenfolge beim Ausbilden einer optischen Filterschicht der ersten Ausführungsform zeigt;Fig. 4 is a flow chart showing the order of forming an optical filter layer of the first embodiment;
Fig. 5A, Fig. 5B, Fig. 5C, Fig. 5D, Fig. 5E und Fig. 5F sind Querschnittsdarstellungen, die den einzelnen Prozessen des Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre einer zweiten Ausführungsform der Erfindung entsprechen;Fig. 5A, Fig. 5B, Fig. 5C, Fig. 5D, Fig. 5E and Fig. 5F are cross-sectional views corresponding to the individual processes of the method for manufacturing a phosphor screen of a color picture tube of a second embodiment of the invention;
Fig. 6A, Fig. 6B, Fig. 6C und Fig. 6D sind Querschnittsdarstellungen, die den einzelnen Hauptprozessen des Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre der zweiten Ausführungsform der Erfindung entsprechen; undFig. 6A, Fig. 6B, Fig. 6C and Fig. 6D are cross-sectional views corresponding to each main process of the method for manufacturing a phosphor screen of a color picture tube of the second embodiment of the invention; and
Fig. 7 ist ein Flussdiagramm, das die Reihenfolge beim Ausbilden eines optischen Filters der zweiten Ausführungsform zeigt.Fig. 7 is a flowchart showing the order of forming an optical filter of the second embodiment.
Ausführungsformen der Erfindung werden unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.Embodiments of the invention are described with reference to the accompanying drawings.
Fig. 1A, 1B und 1C zeigt den spektralen Durchlässigkeitsgrad von Pigmenten für blaue, grüne und rote optische Filterschichten. Die Kurve A gibt die Beziehung zwischen Wellenlänge der jeweiligen Farbpigmente und Durchlässigkeitsgrad an, die Kurve B zeigt die Kennlinie des Leuchtstoffs für die jeweiligen Farben. Aus diesen Figuren ist ersichtlich, dass der Unterschied zwischen dem Peakdurchlässigkeitsgrad des grünen Pigments und dem Durchlässigkeitsgrad des blauen und des roten Leuchtstoffs bei den Lumineszenzpeakwellenlängen (etwa 450 nm bzw. 630 nm) ziemlich klein ist im Vergleich zum Unterschied zwischen dem Peakdurchlässigkeitsgrad des blauen Pigments und dem Durchlässigkeitsgrad des grünen und des roten Leuchtstoffs bei den Lumineszenzpeakwellenlängen (etwa 550 nm bzw. 630 nm) und zum Unterschied zwischen dem Peakdurchlässigkeitsgrad des roten Pigments und dem Durchlässigkeitsgrad des blauen und des grünen Leuchtstoffs bei den Lumineszenzpeakwellenlängen (etwa 450 nm bzw. 550 nm).Fig. 1A, 1B and 1C show the spectral transmittance of pigments for blue, green and red optical filter layers. Curve A shows the relationship between the wavelength of the respective color pigments and the transmittance, and curve B shows the characteristic curve of the phosphor for the respective colors. From these figures, it can be seen that the difference between the peak transmittance of the green pigment and the transmittance of the blue and red phosphors at the luminescence peak wavelengths (about 450 nm and 630 nm, respectively) is quite small compared to the difference between the peak transmittance of the blue pigment and the transmittance of the green and red phosphors at the luminescence peak wavelengths (about 550 nm and 630 nm, respectively) and the difference between the peak transmittance of the red pigment and the transmittance of the blue and green phosphors at the luminescence peak wavelengths (about 450 nm and 550 nm, respectively).
Daher ist klar, dass, wenn von den drei optischen Farbfilterschichten die grüne optische Filterschicht, die den geringsten Unterschied zwischen dem Peakdurchlässigkeitsgrad und dem Durchlässigkeitsgrad im sonstigen Wellenlängenbereich aufweist, zuerst gebildet wird, der Rückstand des grünen Pigments keinen großen Einfluss auf die Lumineszenz des blauen und des roten Leuchtstoffs zeigt und uns eine Verminderung der Weißleuchtdichte bis zu einem Grad unterdrückt werden kann, der in der Praxis keine Probleme ergibt, selbst wenn das grüne Pigment an der Position, an der die blaue Pigmentschicht gebildet wird, oder an der Position, an der die rote Pigmentschicht gebildet wird, verbleibt.Therefore, it is clear that, among the three color optical filter layers, if the green optical filter layer having the smallest difference between the peak transmittance and the transmittance in the other wavelength region is formed first, the residue of the green pigment does not show much influence on the luminescence of the blue and red phosphors and suppresses a reduction in the white luminance to a degree. which does not cause any problems in practice even if the green pigment remains at the position where the blue pigment layer is formed or at the position where the red pigment layer is formed.
Das grüne Pigment hat eine geringere Konzentration als das blaue und rote Pigment. In diesem Zusammenhang ist die nachteilige Wirkung des Rückstands des grünen Pigments auf die Lumineszenz der anderen Leuchtstoffe nicht signifikant. Außerdem ist die Oberfläche der Restresistschicht mit dem grünen Pigment bedeckt, so dass das zweite Farbpigment nicht an der Position, an der das dritte Farbpigment gebildet wird, verbleibt.The green pigment has a lower concentration than the blue and red pigments. In this context, the adverse effect of the residue of the green pigment on the luminescence of the other phosphors is not significant. In addition, the surface of the residual resist layer is covered with the green pigment, so that the second color pigment does not remain at the position where the third color pigment is formed.
Im folgenden werden die Gründe beschrieben, weshalb das grüne Pigment eine relativ geringe Konzentration aufweist. Die spektrale Durchlässigkeit des grünen Pigments entspricht in etwa einer sogenannten Sichtweitenkurve, und wenn die Pigmentkonzentration im Übermaß erhöht ist, ist die Weißleuchtdichte stark vermindert. Daher wird das Grünpigment so ausgewählt, dass es eine Konzentration eines relativ niedrigen Werts bis zu einer möglichst stark derart verminderten Höhe, dass die Körperfarbe durch Weißleuchtdichte kompensiert werden kann, aufweist. Dagegen wird das Blaupigment derart bestimmt, dass es einen möglichst hohen Wert aufweist, um eine maximale Kontrasthöhewirkung zu erhalten, da die Wirkung der Konzentration des blauen Pigments auf die Weißleuchtdichte minimal ist. Das rote Pigment wird derart bestimmt, dass es einen hohen Konzentrationswert bis zu einer Höhe, dass die Körperfarbe nicht rötlich wird, aufweist.The following describes the reasons why the green pigment has a relatively low concentration. The spectral transmittance of the green pigment is roughly equivalent to a so-called visibility curve, and when the pigment concentration is increased excessively, the white luminance is greatly reduced. Therefore, the green pigment is selected to have a concentration of a relatively low value to a level as reduced as possible so that the body color can be compensated by white luminance. On the other hand, the blue pigment is determined to have a value as high as possible in order to obtain a maximum contrast height effect, since the effect of the concentration of the blue pigment on the white luminance is minimal. The red pigment is determined to have a high concentration value to a level that the body color does not become reddish.
Wenn eine Körperfarbe der Leuchtstoffschicht der Farbbildröhre durch ein Spektralreflektometer CM-2002 von MINORUTA ermittelt wird, sind jeweils günstige Werte für a* und b* (auf dem CIE 1976 L* a* b* -Farbsystem-Chromatizitätsdiagramm) die folgenden.When a body colour of the phosphor layer of the colour picture tube is measured by a spectral reflectometer CM-2002 from MINORUTA is determined, favorable values for a* and b* (on the CIE 1976 L* a* b* color system chromaticity diagram) are the following.
a* beträgt mehr als -2,5 und weniger als -1,5.a* is more than -2.5 and less than -1.5.
b* beträgt mehr als -1, 2 und weniger als -0,2.b* is more than -1.2 and less than -0.2.
Dieses Messergebnis beruht auf der visuellen Betrachtung durch zwanzig Beobachter.This measurement result is based on visual observation by twenty observers.
Tabelle 1 zeigt die jeweilige Konzentration der grünen Pigmentschicht und der blauen Pigmentschicht, die die obige Bedingung für a* und b* erfüllen, für die Leuchtstoffschicht, bei der die grüne Pigmentschicht zuerst gebildet wird, und die Leuchtstoffschicht, bei der die blaue Pigmentschicht zuerst gebildet wird. Tabelle 1 Table 1 shows the respective concentrations of the green pigment layer and the blue pigment layer satisfying the above condition for a* and b* for the phosphor layer in which the green pigment layer is formed first and the phosphor layer in which the blue pigment layer is formed first. Table 1
Wie in Tabelle 1 angegeben, kann die Konzentration der Flüssigkeit des grünen Pigments des Leuchtstoffschirms, bei dem die grüne Pigmentschicht zuerst ausgebildet wird, niedriger als die Konzentration der Flüssigkeit des blauen Pigments des Leuchtstoffschirms, bei dem die blaue Pigmentschicht zuerst ausgebildet wird, sein.As shown in Table 1, the concentration of the green pigment liquid of the phosphor screen in which the green pigment layer is first formed can be lower than the concentration of the blue pigment liquid of the phosphor screen at which the blue pigment layer is first formed.
Obwohl die Flüssigkeitskonzentration des blauen Pigments des Leuchtstoffschirms, bei dem die grüne Pigmentschicht zuerst ausgebildet wird, höher als die Flüssigkeitskonzentration des blauen Pigments des Leuchtstoffschirms, bei dem die blaue Pigmentschicht zuerst ausgebildet wird, ist, hat dieser Grad der Flüssigkeitskonzentration des blauen Pigments fast keinen Einfluss auf die Weißleuchtdichte der Leuchtstoffschicht und er ergibt in der Praxis kein Problem.Although the liquid concentration of the blue pigment of the phosphor screen in which the green pigment layer is first formed is higher than the liquid concentration of the blue pigment of the phosphor screen in which the blue pigment layer is first formed, this degree of liquid concentration of the blue pigment has almost no influence on the white luminance of the phosphor layer and does not cause a problem in practice.
Daher kann in dem Verfahren der vorliegenden Erfindung, wobei zunächst die grüne Pigmentschicht ausgebildet wird und an der Position, an der die andere Farbe gebildet werden soll, Pigment verblieben ist, die Flüssigkeitskonzentration des grünen Pigments niedrig eingestellt werden, wodurch die Weißleuchtdichte verbessert werden kann.Therefore, in the method of the present invention, wherein the green pigment layer is first formed and pigment is left at the position where the other color is to be formed, the liquid concentration of the green pigment can be set low, whereby the white luminance can be improved.
Die Konzentration grüner Pigmentteilchen in der grünen optischen Filterschicht beträgt 4,0 bis 11,0 Gew.-%, vorzugsweise 5,1 bis 11,0 Gew.-%. Der Grund hierfür liegt darin, dass wenn die Konzentration der grünen Pigmentteilchen in der grünen Filterschicht weniger als 4,0% (vorzugsweise weniger als 5,1 Gew.-%) beträgt, die grüne Zusammensetzung eliminiert ist und die Körperfarbe magentafarben wird, und wenn die Konzentration der grünen Pigmentteilchen in der grünen Filterschicht mehr als 11,0 Gew.-% beträgt, die Grünleuchtdichte beträchtlich vermindert und die Weißleuchtdichte vermindert ist.The concentration of green pigment particles in the green optical filter layer is 4.0 to 11.0 wt%, preferably 5.1 to 11.0 wt%. The reason is that when the concentration of green pigment particles in the green filter layer is less than 4.0% (preferably less than 5.1 wt%), the green composition is eliminated and the body color becomes magenta, and when the concentration of green pigment particles in the green filter layer is more than 11.0 wt%, the green luminance is considerably reduced and the white luminance is reduced.
Die folgende Tabelle 2 zeigt die Vergleichsergebnisse für Grüneinzelfarbenleuchtdichte, Roteinzelfarbenleuchtdichte und Weißleuchtdichte zwischen einem Fall, dass die blaue Pigmentschicht als erstes aufgetragen wird und einem Fall, dass die grüne Pigmentschicht als erstes aufgetragen wird. Tabelle 2 The following Table 2 shows the comparison results for green single color luminance, red single color luminance and white luminance between a case where the blue pigment layer is applied first and a case where the green pigment layer is applied first. Table 2
Aus Tabelle 2 ist ersichtlich, dass die Grüneinzelfarbenleuchtdichte, die Roteinzelfarbenleuchtdichte und die Weißleuchtdichte bei zuerst ausgebildeter Grünpigmentschicht im Vergleich zu dem Fall, dass die blaue Pigmentschicht zuerst ausgebildet wird, hoch sind, und eine Verminderung der Leuchtdichte aufgrund des Pigmentrückstands auf der ersten optischen Farbfilterschicht im wesentlichen unterdrückt werden kann.It is apparent from Table 2 that the green single color luminance, the red single color luminance and the white luminance are high when the green pigment layer is formed first, as compared with the case where the blue pigment layer is formed first, and a reduction in the luminance due to the pigment residue on the first optical color filter layer can be substantially suppressed.
Das in der Erfindung zu verwendende Pigment kann anorganisch oder organisch sein. Besonders bevorzugte Pigmente umfassen Pigmente, die in der Filterschicht einer Leuchtstoffschicht mit einem Filter gleichförmig dispergierbar sind und der optischen Filterschicht, ohne eine Lichtdiffusion zu bewirken, eine ausreichende Transparenz verleihen können. Ferner weist das Verfahren zur Herstellung einer Farbbildröhre eine Hochtemperaturbehandlung auf, so dass anorganische Pigmente bevorzugt sind. Speziell können die folgenden Pigmente verwendet werden.The pigment to be used in the invention may be inorganic or organic. Particularly preferred pigments include pigments which are uniformly dispersible in the filter layer of a phosphor layer having a filter and can impart sufficient transparency to the optical filter layer without causing light diffusion. Furthermore, the process for producing a color picture tube involves high-temperature treatment, so inorganic pigments are preferred. Specifically, the following pigments can be used.
Sicotrans Red 1-2817 (Handelsbezeichnung, hergestellt von BASF), auf der Basis von Eisen(III)oxid, Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 umSicotrans Red 1-2817 (trade name, manufactured by BASF), based on iron(III) oxide, particle diameter 0.01 um to 0.02 um
Chlmofartal Red A2B (Handelsbezeichnung, hergestellt von Ciba-Geigy), auf Anthrachinon-Basis, Teilchendurchmesser 0,01 umChlmofartal Red A2B (trade name, manufactured by Ciba-Geigy), anthraquinone-based, particle diameter 0.01 um
Cobalt Blue X (Handelsbezeichnung, hergestellt von Toyo Ganryo), auf der Basis von Cobaltaluminat (Al&sub2;O&sub3;-CoO), Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 umCobalt Blue X (trade name, manufactured by Toyo Ganryo), based on cobalt aluminate (Al₂O₃-CoO), particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm
Ultramarine Blue Nr. 8000 (Handelsbezeichnung, hergestellt von Dalichi Kasei Co., Ltd.), auf der Basis von Ultramarinblau, Teilchendurchmesser 0,03 umUltramarine Blue No. 8000 (trade name, manufactured by Dalichi Kasei Co., Ltd.), based on ultramarine blue, particle diameter 0.03 µm
Lionol (Handelsbezeichnung, hergestellt von Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.), auf der Basis von Phthalocyaninblau, Teilchendurchmesser 0,01 umLionol (trade name, manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.), based on phthalocyanine blue, particle diameter 0.01 µm
DAIPYROXIDE TM-GREEN 3320 (Handelsbezeichnung, hergestellt von Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co. Ltd.), auf der Basis von TiO&sub2;-NiO-ZnO, Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 umDAIPYROXIDE TM-GREEN 3320 (trade name, manufactured by Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co. Ltd.), based on TiO₂-NiO-ZnO, particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm
DAIPYROXIDE TM-GREEN 3420 (Handelsbezeichnung, hergestellt von Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd.), auf der Basis von CoO-Al&sub2;O&sub3;-Cr&sub2;O&sub3;, Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 umDAIPYROXIDE TM-GREEN 3420 (trade name, manufactured by Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd.), based on CoO-Al₂O₃-Cr₂O₃, particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm
D-801 (Handelsbezeichnung, hergestellt von Nippon Denko Co., Ltd.), auf der Basis von Cr&sub2;O&sub3;, Teilchendurchmesser 0,36 umD-801 (trade name, manufactured by Nippon Denko Co., Ltd.), based on Cr₂O₃, particle diameter 0.36 µm
Fastgen Green S (Handelsbezeichnung, hergestellt von Dainippon Inc. and Chemicals, Inc.), auf der Basis von chloriertem Phthalocyaningrün, Teilchendurchmesser 0,01 um Fastgen Green 2YK (Handelsbezeichnung, hergestellt von Dainippon Inc. and Chemicals, Inc.), auf der Basis von bromiertem Phthalocyaningrün, Teilchendurchmesser 0,01 umFastgen Green S (trade name, manufactured by Dainippon Inc. and Chemicals, Inc.), based on chlorinated phthalocyanine green, particle diameter 0.01 µm Fastgen Green 2YK (trade name, manufactured by Dainippon Inc. and Chemicals, Inc.), based on brominated Phthalocyanine green, particle diameter 0.01 um
Die optische Filterschicht kann durch das folgende Verfahren gebildet werden.The optical filter layer can be formed by the following process.
Ein Pigmentdispergiermittel, das hauptsächlich aus Pigmentteilchen und einem Polymerelektrolytpigmentdispergiermittel besteht, wird auf der inneren Oberfläche einer Frontplatte, auf der eine schwarze Matrix ausgebildet ist, aufgetragen. Die Beschichtungsverfahren umfassen ein Schleuderbeschichtungsverfahren, ein Walzenverfahren und ein Tauchverfahren. Von diesen Verfahren ist das Schleuderbeschichtungsverfahren das zur Bildung einer vorgegebenen gleichförmigen Dicke vielversprechendste Verfahren. Danach wird die pigmentbeschichtete Schicht getrocknet. Das Trocknen kann durch ein beliebiges Trocknungsverfahren, wie Trocknen mit einer Heizvorrichtung, Trocknen mit heißer Luft und Langzeittrocknung bei Raumtemperatur erfolgen, wenn ein Teil des Salzes im Polymerelektrolytsalz gleichzeitig mit dem Verdampfen des Wassergehalts dissoziieren kann. Eine Photoresistschicht wird dann auf der getrockneten Pigmentschicht ausgebildet. Die Photoresistschicht wird durch eine Hochdruckquecksilberlampe oder dergl. so belichtet, dass sie ein vorgegebenes Muster erhält, und so entwickelt, dass ein vorgegebenes Filtermuster erhalten wird. Das genannte Verfahren zur Ausbildung der optischen Filterschicht wird in der Reihenfolge grün, blau und rot wiederholt.A pigment dispersant consisting mainly of pigment particles and a polymer electrolyte pigment dispersant is coated on the inner surface of a front panel on which a black matrix is formed. The coating methods include a spin coating method, a roll method and a dipping method. Among these methods, the spin coating method is the most promising method for forming a predetermined uniform thickness. After that, the pigment-coated layer is dried. Drying can be carried out by any drying method such as drying with a heater, drying with hot air and long-term drying at room temperature when a part of the salt in the polymer electrolyte salt can dissociate simultaneously with the evaporation of the water content. A photoresist layer is then formed on the dried pigment layer. The photoresist layer is exposed to light by a high-pressure mercury lamp or the like to obtain a predetermined pattern and developed to obtain a predetermined filter pattern. The above-mentioned process for forming the optical filter layer is repeated in the order of green, blue and red.
Das Verfahren des Ausbildens der Photoresistschicht kann auch weggelassen werden, indem das den Photoresist enthaltende Pigmentdispergiermittel auf die innere Oberfläche der die schwarze Matrix aufweisenden Frontplatte aufgetragen wird.The process of forming the photoresist layer can also be omitted by applying the pigment dispersant containing the photoresist to the inner surface of the face plate having the black matrix.
Eine spezielle Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre gemäß der Erfindung wird beschrieben.A special embodiment of the method for Manufacture of a phosphor screen of a color picture tube according to the invention is described.
Wie in Fig. 2A angegeben, wird eine optische Absorptionsschicht 12 als schwarze Matrix auf der inneren Oberfläche einer Platte 10 der Farbbildröhre ausgebildet. Diese optische Absorptionsschicht 12 wird durch das folgende Verfahren ausgebildet. Ein Photoresist, der aus mindestens einem lichtempfindlichen Rest auf Azidbasis und Polyvinylpyrolidon besteht, wird auf die Platte 10 aufgetragen. Die Prozesse Belichten unter Verwendung einer Schattenmaske, Entwickeln und Trocknen werden nacheinander durchgeführt. Auf diese Weise wird eine streifenförmige oder punktförmige lichtgehärtete Schicht auf der Platte 10 ausgebildet. Ein Lichtabsorptionsmaterial, beispielsweise Graphit, wird auf die lichtgehärtete Schicht aufgetragen und mit dieser verbunden. Danach wird die lichtgehärtete Schicht durch 15%ige Sulfaminsäure spröde gemacht, und die Lichtabsorptionsschicht auf der spröden lichtgehärteten Schicht wird zusammen mit dem Lichtabsorptionsmaterial entfernt. Auf diese Weise wird der Lochbereich, auf dem die Pigmentschicht und die Leuchtstoffschicht ausgebildet werden sollen, freigelegt, wobei eine musterförmige Lichtabsorptionsschicht 12 gebildet wird. Gleichzeitig verbleibt eine gehärtete Resistschicht 13 mit einer Dicke von etwa 200 Angström auf der Oberfläche des Lochbereichs, wie in Fig. 3A angegeben.As shown in Fig. 2A, an optical absorption layer 12 is formed as a black matrix on the inner surface of a panel 10 of the color picture tube. This optical absorption layer 12 is formed by the following method. A photoresist consisting of at least an azide-based photosensitive residue and polyvinylpyrolidone is coated on the panel 10. The processes of exposure using a shadow mask, development and drying are carried out sequentially. In this way, a stripe-shaped or dot-shaped photocured layer is formed on the panel 10. A light absorption material such as graphite is coated on the photocured layer and bonded thereto. Thereafter, the photocured layer is made brittle by 15% sulfamic acid, and the light absorption layer on the brittle photocured layer is removed together with the light absorption material. In this way, the hole region on which the pigment layer and the phosphor layer are to be formed is exposed, forming a patterned light absorption layer 12. At the same time, a cured resist layer 13 having a thickness of about 200 angstroms remains on the surface of the hole region, as shown in Fig. 3A.
Die verwendeten grünen, blauen und roten Pigmentdispergiermittel sind die folgenden.The green, blue and red pigment dispersants used are as follows.
Es wird durch Dispergieren von grünen Pigmentteilchen TiO&sub2;- NiO-CoO-ZnO (hergestellt von Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd., Handelsbezeichnung: DAIPYROXIDE TM- GREEN 3320 (Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 um), eines Photoresists ADC+PVA und eines Polymerelektrolytnatriumsalzes von Acrylsäure (Handelsbezeichnung: Dispec N-40) in einem Verhältnis von 6,4 Gew.-%, 2 Gew.-% und 0,15 Gew.-% in reinem Wasser hergestellt. In diesem grünen Pigmentdispergiermittel beträgt das Verhältnis von Polymerelektrolytkonzentration zu Pigmentkonzentration 0,023, das Verhältnis Resistkonzentration zu Polymerelektrolytkonzentration 13,33 und das Verhältnis Resistkonzentration zu Pigmentkonzentration 0,313.It is produced by dispersing green pigment particles TiO₂- NiO-CoO-ZnO (manufactured by Dainichiseika Color &Chemicals Mfg. Co., Ltd., trade name: DAIPYROXIDE TM- GREEN 3320 (particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm), a photoresist ADC+PVA and a polymer electrolyte sodium salt of acrylic acid (trade name: Dispec N-40) in a ratio of 6.4 wt%, 2 wt% and 0.15 wt% in pure water. In this green pigment dispersant, the ratio of polymer electrolyte concentration to pigment concentration is 0.023, the ratio of resist concentration to polymer electrolyte concentration is 13.33 and the ratio of resist concentration to pigment concentration is 0.313.
Es wird durch Dispergieren von blauen Pigmentteilchen von Cobaltaluminat (hergestellt von Ganryo, Handelsbezeichnung: Cobalt Blue X (Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 um), einem Photoresist Ammoniumdichromat (ADC) + Polyvinylalkohol (PVA), und einem Polymerelektrolyt eines Ammoniumsalzes eines Polyacrylsäurecopolymers (hergestellt von Allied Colloid, Handelsbezeichnung: Dispec GA-40)) in einem Verhältnis von 18,0 Gew.-%, 0,5 Gew.-% und 0,414 Gew.-% in reinem Wasser hergestellt. Dieses blaue Pigmentdispergiermittel weist jedoch ein Verhältnis von Polymerelektrolytkonzentration zu Pigmentkonzentration von 0,023, ein Verhältnis von Resistkonzentration zu Polymerelektrolytkonzentration von 1,208 und ein Verhältnis von Resistkonzentration zu Pigmentkonzentration von 0,028 auf.It is prepared by dispersing blue pigment particles of cobalt aluminate (manufactured by Ganryo, trade name: Cobalt Blue X (particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm), a photoresist ammonium dichromate (ADC) + polyvinyl alcohol (PVA), and a polymer electrolyte of an ammonium salt of a polyacrylic acid copolymer (manufactured by Allied Colloid, trade name: Dispec GA-40)) in a ratio of 18.0 wt%, 0.5 wt%, and 0.414 wt% in pure water. However, this blue pigment dispersant has a ratio of polymer electrolyte concentration to pigment concentration of 0.023, a ratio of resist concentration to polymer electrolyte concentration of 1.208, and a ratio of resist concentration to pigment concentration of 0.028.
Es wird durch Dispergieren von roten Pigmentteilchen von feinen Fe&sub2;O&sub3;-Teilchen (Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 um), einem Photoresist ADC+PVA und einem Polymerelektrolyt eines Ammoniumsalzes von Polyoxyethylenalkylethersulfat (hergestellt von Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., Handelsbezeichnung: Hytenol 08) in einem Verhältnis von 3,0 Gew.-%, 2 Gew.-% und 0,069 Gew.-% in reinem Wasser hergestellt. Dieses rote Pigmentdispergiermittel weist jedoch ein Verhältnis von Polymerelektrolytkonzentration zu Pigmentkonzentration von 0,023, ein Verhältnis von Resistkonzentration zu Polymerelektrolytkonzentration von 29,0 und ein Verhältnis von Resistkonzentration zu Pigmentkonzentration von 0,67 auf.It is prepared by dispersing red pigment particles of fine Fe₂O₃ particles (particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm), a photoresist ADC+PVA and a polymer electrolyte of an ammonium salt of polyoxyethylene alkyl ether sulfate (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name: Hytenol 08) in a ratio of 3.0 wt%, 2 wt%, and 0.069 wt% in pure water. However, this red pigment dispersant has a polymer electrolyte concentration to pigment concentration ratio of 0.023, a resist concentration to polymer electrolyte concentration ratio of 29.0, and a resist concentration to pigment concentration ratio of 0.67.
Die jeweiligen optischen Filterschichten werden durch das in Fig. 4 angegebene Verfahren unter Verwendung der im vorhergehenden beschriebenen grünen, blauen und roten Pigmentdispergiermittel als Muster aufgetragen.The respective optical filter layers are patterned by the method indicated in Fig. 4 using the green, blue and red pigment dispersants described above.
Zunächst wird ein grünes Pigmentdispergiermittel zur Bildung einer ersten optischen Farbfilterschicht auf der inneren Oberfläche der Platte 10 der Farbbildröhre, die bei 30 ºC gehalten wurde, aufgetragen (Stufe A). Danach wird die Platte 10 mit 100 bis 150 Umin&supmin;¹ rotieren gelassen, um einen überschüssigen Teil des Pigmentdispergiermittels abzuschleudern und auch um dem grünen Pigmentdispergiermittel eine gleichförmige Dicke zu verleihen. Danach wird sie durch eine Heizvorrichtung bei 120ºC während 3 bis 4 Min. getrocknet (Stufe B). Auf diese Weise wird eine Grünpigmentbeschichtungsschicht 20 G, wie in Fig. 2B und Fig. 3B gezeigt, erhalten.First, a green pigment dispersant is coated to form a first optical color filter layer on the inner surface of the color picture tube panel 10 maintained at 30°C (Step A). Thereafter, the panel 10 is rotated at 100 to 150 rpm to spin off an excess portion of the pigment dispersant and also to give the green pigment dispersant a uniform thickness. Thereafter, it is dried by a heater at 120°C for 3 to 4 minutes (Step B). Thus, a green pigment coating layer 20G as shown in Fig. 2B and Fig. 3B is obtained.
Wie in Fig. 2C gezeigt, wird die Grünpigmentbeschichtungsschicht 20G durch eine nicht angegebene Schattenmaske mittels einer Hochdruckquecksilberlampe derart belichtet, dass sie ein vorgegebenes Muster aufweist (Stufe C). Eine Entwicklungslösung, die beispielsweise aus einer NaOH enthaltenden alkalischen Lösung (pH-Wert 9) besteht, wird dann unter einem Flüssigkeitsdruck von 2 bis 10 kg/cm² aufgesprüht (Stufe D) und getrocknet (Stufe E). Auf diese Weise wird eine grüne Pigmentschicht 30G mit einem vorgegebenen Muster, wie in Fig. 2D gezeigt, ausgebildet. Das grüne Pigment ist an den Stellen, an denen die blaue Pigmentschicht und die rote Pigmentschicht gebildet werden, nicht vollständig von der Oberfläche der verbliebenen gehärteten Resistschicht 13 abgetrennt, und eine grüne Pigmentschicht 22G mit einer geringen Dicke verbleibt auf der verbliebenen gehärteten Resistschicht 13, wie in Fig. 3C angegeben.As shown in Fig. 2C, the green pigment coating layer 20G is exposed through an unspecified shadow mask by means of a high pressure mercury lamp so as to have a predetermined pattern (step C). A developing solution consisting of, for example, an alkaline solution (pH 9) containing NaOH is then sprayed under a liquid pressure of 2 to 10 kg/cm². (Step D) and dried (Step E). In this way, a green pigment layer 30G having a predetermined pattern as shown in Fig. 2D is formed. The green pigment is not completely separated from the surface of the remaining cured resist layer 13 at the positions where the blue pigment layer and the red pigment layer are formed, and a green pigment layer 22G having a small thickness remains on the remaining cured resist layer 13 as shown in Fig. 3C.
Ferner werden eine blaue Pigmentschicht 30B und eine rote Pigmentschicht 30R mit dem gleichen Verfahren wie das im vorhergehenden beschriebene Verfahren der Ausbildung der grünen Pigmentschicht gebildet. Bei den Verfahren zur Ausbildung dieser Pigmentschichten wird eine LiCl enthaltende alkalische Lösung als Entwicklungslösung verwendet. Auf diese Weise wird ein gewünschtes Filtermuster, das aus der grünen Pigmentschicht 30G, der blauen Pigmentschicht 308 und der roten Pigmentschicht 30R besteht, wie in Fig. 2E gezeigt, erhalten. Aus Fig. 3D ist ersichtlich, dass die blaue Pigmentschicht 30B (und die rote Pigmentschicht 30R) auf der grünen Pigmentschicht 22G, die auf der Oberfläche der verbliebenen gehärteten Resistschicht 13 verblieben ist, laminiert wird.Further, a blue pigment layer 30B and a red pigment layer 30R are formed by the same method as the method of forming the green pigment layer described above. In the methods of forming these pigment layers, an alkaline solution containing LiCl is used as a developing solution. In this way, a desired filter pattern consisting of the green pigment layer 30G, the blue pigment layer 30B, and the red pigment layer 30R is obtained as shown in Fig. 2E. It can be seen from Fig. 3D that the blue pigment layer 30B (and the red pigment layer 30R) are laminated on the green pigment layer 22G remaining on the surface of the remaining cured resist layer 13.
Wie in Fig. 2F gezeigt, werden eine grüne Leuchtstoffschicht 40G, eine blaue Leuchtstoffschicht 40B und eine rote Leuchtstoffschicht 40R auf der grünen Pigmentschicht 30G, der blauen Pigmentschicht 30B und der roten Pigmentschicht 30R durch ein normales Verfahren ausgebildet.As shown in Fig. 2F, a green phosphor layer 40G, a blue phosphor layer 40B and a red phosphor layer 40R are formed on the green pigment layer 30G, the blue pigment layer 30B and the red pigment layer 30R by a normal method.
Die grünen, blauen und roten Leuchtstoffsuspensionen bestehen aus den folgenden Zusammensetzungen.The green, blue and red phosphor suspensions consist of the following compositions.
Diese wird durch Vermischen von 100 g grünem Leuchtstoff (Zns : Cu, Al), 8 g Polyvinylalkohol, 0,40 g Ammoniumdichromat, 0,01 g eines Netzmittels und 160 g reinem Wasser hergestellt.This is prepared by mixing 100 g of green phosphor (Zns : Cu, Al), 8 g of polyvinyl alcohol, 0.40 g ammonium dichromate, 0.01 g of a wetting agent and 160 g of pure water.
Diese wird durch Vermischen von 100 g eines blauen Leuchtstoffs (ZnS : Ag, Cl), 5 g Polyvinylalkohol, 0,30 g Ammoniumdichromat, 0,01 g eines Netzmittels und 140 g reinem Wasser hergestellt.This is prepared by mixing 100 g of a blue phosphor (ZnS : Ag, Cl), 5 g of polyvinyl alcohol, 0.30 g of ammonium dichromate, 0.01 g of a wetting agent and 140 g of pure water.
Diese wird durch Vermischen von 100 g eines roten Leuchtstoffs (Y&sub2;O&sub2;S : Eu), 10 g Polyvinylalkohol, 0,50 g Ammoniumdichromat, 0,01 g eines Netzmittels und 190 g reinem Wasser hergestellt.This is prepared by mixing 100 g of a red phosphor (Y2O2S:Eu), 10 g of polyvinyl alcohol, 0.50 g of ammonium dichromate, 0.01 g of a wetting agent and 190 g of pure water.
Die verbliebene gehärtete Resistschicht 13 wird durch Brennen im anschließenden Verfahren entfernt.The remaining hardened resist layer 13 is removed by firing in the subsequent process.
Eine weitere Ausführungsform des Verfahrens zur Herstellung eines Leuchtstoffschirms einer Farbbildröhre gemäß der Erfindung wird im folgenden beschrieben.A further embodiment of the method for producing a phosphor screen of a color picture tube according to the invention is described below.
Zunächst wird eine Lichtabsorptionsschicht 12 als schwarze Matrix auf der inneren Oberfläche der Platte 10 der Farbbildröhre, wie in Fig. 5A gezeigt, ausgebildet. Eine gehärtete Resistschicht 13 mit einer Dicke von etwa 200 Angström verbleibt auf der Oberfläche eines Lochbereichs dieser Platte 10, wie in Fig. 6A gezeigt.First, a light absorption layer 12 is formed as a black matrix on the inner surface of the panel 10 of the color picture tube as shown in Fig. 5A. A cured resist layer 13 having a thickness of about 200 angstroms is left on the surface of a hole portion of this panel 10 as shown in Fig. 6A.
Die verwendeten grünen, blauen und roten Pigmentdispergiermittel besitzen die folgende Zusammensetzung, die keinen Photoresist enthält.The green, blue and red pigment dispersants used have the following composition, which does not contain photoresist.
Dieses wird durch Dispergieren von grünen Pigmentteilchen TiO&sub2;-NiO-CoO-ZnO (hergestellt von Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd., Handelsbezeichnung: DAIPYROXIDE TM-GREEN 3320 (Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 um)) und einem Polymerelektrolyt eines Natriumsalzes von Acrylsäure (Handelsbezeichnung: Dispec N-40) in einem Verhältnis von 6,4 Gew.-% und 0,147 Gew.-% in reinem Wasser hergestellt. Das Verhältnis von Polymerelektrolytkonzentration zu Pigmentkonzentration beträgt 0,023.This is prepared by dispersing green pigment particles TiO₂-NiO-CoO-ZnO (manufactured by Dainichiseika Color & Chemicals Mfg. Co., Ltd., trade name: DAIPYROXIDE TM-GREEN 3320 (particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm)) and a polymer electrolyte of a sodium salt of acrylic acid (trade name: Dispec N-40) in a ratio of 6.4 wt% and 0.147 wt% in pure water. The ratio of polymer electrolyte concentration to pigment concentration is 0.023.
Dieses wird durch Dispergieren von blauen Pigmentteilchen von Cobaltaluminat (hergestellt von Toyo Ganryo, Handelsbezeichnung: Cobalt Blue X (Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 um) und einem Polymerelektrolyt eines Ammoniumsalzes- von Polyacrylsäurecopolymer (hergestellt von Allied Colloid, Handelsbezeichnung: Dispec GA-40)) in einem Verhältnis von 18,0 Gew.-% und 0,414 Gew.-% in reinem Wasser hergestellt. Das Verhältnis von Polymerelektrolytkonzentration zu Pigmentkonzentration beträgt jedoch 0,023.This is prepared by dispersing blue pigment particles of cobalt aluminate (manufactured by Toyo Ganryo, trade name: Cobalt Blue X (particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm) and a polymer electrolyte of an ammonium salt of polyacrylic acid copolymer (manufactured by Allied Colloid, trade name: Dispec GA-40)) in a ratio of 18.0 wt% and 0.414 wt% in pure water. However, the ratio of polymer electrolyte concentration to pigment concentration is 0.023.
Dieses wird durch Dispergieren von roten Pigmentteilchen aus feinen Fe&sub2;O&sub3;-Teilchen (Teilchendurchmesser 0,01 um bis 0,02 gin) und einem Polymerelektrolyt eines Ammoniumsalzes von Polyoxyethylenalkylethersulfat (Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., Handelsbezeichnung: Hytenol 08) in einem Verhältnis von 3,0 Gew.-% und 0,105 Gew.-% in reinem Wasser hergestellt. Das Verhältnis von Polymerelektrolytkonzentration zu Pigmentkonzentration beträgt jedoch 0,35.This is prepared by dispersing red pigment particles of fine Fe₂O₃ particles (particle diameter 0.01 µm to 0.02 µm) and a polymer electrolyte of an ammonium salt of polyoxyethylene alkyl ether sulfate (Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name: Hytenol 08) in a ratio of 3.0 wt% and 0.105 wt% in pure water. However, the ratio of polymer electrolyte concentration to pigment concentration is 0.35.
Die jeweiligen Filterschichten werden unter Verwendung der im vorhergehenden beschriebenen grünen, blauen und roten Pigmentdispergiermittel durch das in Fig. 7 gezeigte Verfahren als Muster aufgetragen.The respective filter layers are patterned using the green, blue and red pigment dispersants described above by the method shown in Fig. 7.
Als erstes wird ein grünes Pigmentdispergiermittel zur Bildung einer ersten optischen Farbfilterschicht auf der inneren Oberfläche der Platte 10 der Farbbildröhre, die bei 30 ºC gehalten wurde, aufgetragen (Stufe F). Danach wird die Platte 10 mit 100 bis 150 Umin&supmin;¹ rotieren gelassen, um einen überschüssigen Teil des Pigmentdispergiermittels abzuschleudern und auch dem grünen Pigmentdispergiermittel eine gleichförmige Dicke zu verleihen. Sie wird danach durch eine Heizvorrichtung bei 120ºC während 3 bis 4 Min. getrocknet (Stufe B). Auf diese Weise wird eine grüne Pigmentbeschichtungsschicht 20G erhalten.First, a green pigment dispersant is coated to form a first optical color filter layer on the inner surface of the color picture tube panel 10 maintained at 30°C (Step F). Thereafter, the panel 10 is rotated at 100 to 150 rpm to spin off an excess portion of the pigment dispersant and also to give the green pigment dispersant a uniform thickness. It is then dried by a heater at 120°C for 3 to 4 minutes (Step B). Thus, a green pigment coating layer 20G is obtained.
Danach wird eine Photoresistlösung, die aus Polyvinylalkohol (3 Gew.-%), Ammoniumdichromat (0,02 Gew.-%), einem Netzmittel (0,01 Gew.-%) und reinem Wasser besteht, gemäß dem gleichen Verfahren wie das Pigmentschichtbildungsverfahren (Stufe G1) aufgetragen und getrocknet (Stufe H). Auf diese Weise wird eine Photoresistschicht 25 auf eine Grünpigmentbeschichtungsschicht 21G, wie in Fig. 5B gezeigt, auflaminiert.Thereafter, a photoresist solution consisting of polyvinyl alcohol (3 wt%), ammonium dichromate (0.02 wt%), a surfactant (0.01 wt%) and pure water is applied according to the same method as the pigment layer forming process (step G1) and dried (step H). In this way, a photoresist layer 25 is laminated on a green pigment coating layer 21G as shown in Fig. 5B.
Danach wird, wie in Fig. 5C gezeigt, die grüne Pigmentbeschichtungsschicht 20G durch eine nicht angegebene Schattenmaske mittels einer Hochdruckquecksilberlampe so belichtet, dass sie ein vorgegebenes Muster aufweist (Stufe C). Gemäß dem Herstellungsverfahren dieser Ausführungsform beträgt die Belichtungszeit etwa 1/5 im Vergleich zu der Zeit im vorhergehenden Herstellungsverfahren.Thereafter, as shown in Fig. 5C, the green pigment coating layer 20G is exposed through an unspecified shadow mask by means of a high pressure mercury lamp so as to have a predetermined pattern (step C). According to the manufacturing method of this embodiment the exposure time is about 1/5 compared to the time in the previous manufacturing process.
Anschließend wird eine Entwicklungslösung, die aus beispielsweise einer NaOH enthaltenden alkalischen Lösung (pH- Wert 9) besteht, unter einem Flüssigkeitsdruck von 2 bis 10 kg/cm² (Stufe D) aufgesprüht und getrocknet (Stufe E). Wie in Fig. 5D gezeigt, wird ein Muster, das die Grünpigmentbeschichtungsschicht 21G und die auflaminierte Photoresistschicht 25 aufweist, erhalten. Das grüne Pigment ist an der Position, an der die blaue Pigmentschicht und die rote Pigmentschicht gebildet werden, nicht vollständig von der Oberfläche der verbliebenen gehärteten Resistschicht 13 abgetrennt, und eine grüne Pigmentschicht 22G mit einer geringen Dicke verbleibt auf der verbliebenen gehärteten Resistschicht 13, wie in Fig. 6C gezeigt.Subsequently, a developing solution consisting of, for example, an alkaline solution (pH 9) containing NaOH is sprayed under a liquid pressure of 2 to 10 kg/cm² (step D) and dried (step E). As shown in Fig. 5D, a pattern having the green pigment coating layer 21G and the laminated photoresist layer 25 is obtained. The green pigment is not completely separated from the surface of the remaining cured resist layer 13 at the position where the blue pigment layer and the red pigment layer are formed, and a green pigment layer 22G having a small thickness remains on the remaining cured resist layer 13 as shown in Fig. 6C.
Danach werden eine blaue Pigmentschicht 30B und eine rote Pigmentschicht 30R mit dem gleichen Verfahren wie das im vorhergehenden beschriebene Verfahren zur Ausbildung der grünen Pigmentschicht gebildet. Bei dem Verfahren zur Ausbildung dieser Pigmentschichten wird eine Na&sub2;CO&sub3; enthaltende alkalische Lösung als Entwicklungslösung verwendet. Auf diese Weise wird ein gewünschtes Filtermuster, das die grüne Pigmentschicht 31G, die blaue Pigmentschicht 31B und die rote Pigmentschicht 31R enthält, auf der inneren Oberfläche der Platte 10, wie in Fig. 5E gezeigt, erhalten. Aus Fig. 6D ist ersichtlich, dass die blaue Pigmentschicht 30B (und die rote Pigmentschicht 30R) auf die grüne Pigmentschicht 22G, die auf der Oberfläche der verbliebenen gehärteten Resistschicht 13 verblieben ist, auflaminiert ist.Thereafter, a blue pigment layer 30B and a red pigment layer 30R are formed by the same method as the previously described method for forming the green pigment layer. In the method for forming these pigment layers, an alkaline solution containing Na₂CO₃ is used as a developing solution. In this way, a desired filter pattern containing the green pigment layer 31G, the blue pigment layer 31B and the red pigment layer 31R is obtained on the inner surface of the plate 10 as shown in Fig. 5E. From Fig. 6D, it can be seen that the blue pigment layer 30B (and the red pigment layer 30R) are laminated on the green pigment layer 22G remaining on the surface of the remaining cured resist layer 13.
Nach dem Entfernen der Resistschicht 25 von der jeweiligen blauen, grünen und roten Pigmentschicht werden die Leuchtstoffschichten 41G, 41B, 41R gemäß einem normalen Verfahren, wie in Fig. 5F gezeigt, ausgebildet. Ferner sind die erhaltenen grünen, blauen und roten Leuchtstoffsuspensionen gleich denen in der im vorhergehenden beschriebenen Ausführungsform. Ferner wird die auf der Oberfläche eines Lochbereichs der inneren Oberfläche der Platte 10 verbliebene gehärtete Resistschicht 13 durch Brennen im anschließenden Verfahren entfernt.After removing the resist layer 25 from the respective blue, green and red pigment layers, the phosphor layers 41G, 41B, 41R are formed according to a normal process, as shown in Fig. 5F. Further, the obtained green, blue and red phosphor suspensions are the same as those in the embodiment described above. Further, the hardened resist layer 13 remaining on the surface of a hole portion of the inner surface of the plate 10 is removed by firing in the subsequent process.
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