DE69125016T2 - Laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation and manufacturing process - Google Patents

Laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation and manufacturing process

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Hintergrund der ErfindungBackground of the invention 1. Gebiet der Erfindung:1. Field of the invention:

Die vorliegende Erfindung betrifft einen laminierten Halbleiterkeramikkondensator mit einer Zwischenkornisolationsstruktur und ein Verfahren zu dessen Herstellung, und insbesondere einen Keramikkondensator, welcher sowohl Niederspannungsstörungen als auch Hochspannungsstörungen unter normalen Betriebsbedingungen absorbiert und als Varistor gegen das Eindringen von Hochspannungsimpulsen und statischer Hochspannungselektrizität dient, wodurch er eingebaute Halbleiter und elektronische Ausstattung davor schützt, durch abnormale Spannungen beschädigt zu werden, die durch in elektronischer Ausstattung erzeugte Störungen, Impulse und statische Elektrizität hervorgerufen werden.The present invention relates to a laminated semiconductor ceramic capacitor having an intergrain insulation structure and a method for producing the same, and more particularly to a ceramic capacitor which absorbs both low-voltage noise and high-voltage noise under normal operating conditions and serves as a varistor against the intrusion of high-voltage pulses and high-voltage static electricity, thereby protecting built-in semiconductors and electronic equipment from being damaged by abnormal voltages caused by noise, pulses and static electricity generated in electronic equipment.

2. Beschreibung des Standes der Technik:2. Description of the state of the art:

In den letzten Jahren sind Halbleitereinrichtungen wie ICs und LSIs weitverbreitet zu dem Zweck in elektronischen Ausstattungen verwendet worden, multifunktionelle Anwendungen der Ausstattung zu realisieren und die Ausstattung leicht, klein und gut handhabbar zu machen. Jedoch hat die Verwendung vieler Halbleitervorrichtungen eine Verringerung bei der Störungs-Widerstandsfähigkeit der Ausstattung hervorgerufen. Um die Störungs-Widerstandsfähigkeit der elektronischen Ausstattung aufrechtzuerhalten, sind Bypass-Kondensatoren wie zum Beispiel ein Schichtkondensator, ein laminierter Keramikkondensator und ein Halbleiterkeramikkondensator in Energieversorgungsleitungen verschiedener Arten von ICs und LSIs integriert worden. Diese Kondensatoren zeigen eine hervorragende Leistungsfähigkeit beim Absorbieren von Niederspannungsstörungen und Hochspannungsstörungen. Jedoch haben diese Kondensatoren selbst keine Wirkung, was das Absorbieren von Hochspannungsimpulsen und statischer Hochspannungselektrizität betrifft, sodaß das Eindringen von Hochspannungsimpulsen und statischer Hochspannungselektrizität die Fehlfunktion der Ausstattung bewirkt, sowie den Ausfall von Halbleitern und/oder Kondensatoren.In recent years, semiconductor devices such as ICs and LSIs have been widely used in electronic equipment for the purpose of realizing multifunctional applications of the equipment and making the equipment light, small and easy to handle. However, the use of many semiconductor devices has caused a reduction in the noise resistance of the equipment. In order to maintain the noise resistance of the electronic equipment, bypass capacitors such as a film capacitor, a laminated ceramic capacitor and a semiconductor ceramic capacitor are used in power supply lines of various types of ICs and LSIs. These capacitors show excellent performance in absorbing low voltage noise and high voltage noise. However, these capacitors themselves have no effect in absorbing high voltage pulses and high voltage static electricity, so the intrusion of high voltage pulses and high voltage static electricity causes the malfunction of the equipment and the failure of semiconductors and/or capacitors.

Als neuer Kondensatortyp, der ausreichende Impulswiderstandsfähigkeit und hervorragende Impulsabsorptionsfähigkeit sowie eine gute Störungsabsorptionsfähigkeit und Stabilität bezüglich der Temperatur- und Frequenzänderungen aufweist, ist ein Halbleiterkeramikkondensator mit einer Zwischenkornisolationsstruktur, bei welchem einem SrTiO&sub3;-Typ-Halbleiterkeramikkondensator eine Varistorfunktion verliehen wurde, entwickelt worden (im Weiteren wird dieser Kondensatortyp als Keramikkondensator mit Varistorfunktion bezeichnet). Diese Art Keramikkondensator ist in den japanischen offengelegten Patentveröffentlichungen Nr. 57- 27001 und 57-35303 offenbart. Gewöhnlich absorbiert dieser Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion Niederspannungsstörungen und Hochspannungsstörungen, und wenn Hochspannungsimpulse und statische Hochspannungselektrizität in ihn eindringen, arbeitet der Kondensator als Varistor, wodurch er die elektronische Ausstattung und eingebaute Halbleiter vor abnormalen Spannungen schützt, die durch Störungen, Impulse und statische Elektrizität hervorgerufen werden, welche in der elektronischen Ausstattung erzeugt werden. Somit hat sich seine Anwendung in gesteigertem Maß auf verschiedene Gebiete erstreckt.As a new type of capacitor having sufficient pulse withstand capability and excellent pulse absorption capability as well as good noise absorption capability and stability with respect to temperature and frequency changes, a semiconductor ceramic capacitor having an intergrain insulation structure in which a SrTiO3 type semiconductor ceramic capacitor is given a varistor function has been developed (hereinafter, this type of capacitor is referred to as a ceramic capacitor with a varistor function). This type of ceramic capacitor is disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication Nos. 57-27001 and 57-35303. Usually, this ceramic capacitor with a varistor function absorbs low voltage noise and high voltage noise, and when high voltage pulses and high voltage static electricity enter it, the capacitor works as a varistor, thereby protecting the electronic equipment and built-in semiconductors from abnormal voltages caused by noise, pulses and static electricity generated in the electronic equipment. Thus, its application has expanded to various fields.

Da elektronische Teile leichter, kleiner, besser handhabbar und leistungsfähiger gemacht worden sind, bestand ein starker Bedarf an der Miniaturisierung und am Erzielen einer hohen Leistung von Keramikkondensatoren mit einer Varistorfunktion. Da jedoch ein herkömmlicher Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion vom Einzelplattentyp ist, so daß die effektive Elektrodenoberfläche gering wird, wenn der Kondensator miniaturisiert wird, führt dies zu einer Verringerung der Kapazität und geringer Zuverlässigkeit. Als Lösung für die oben genannten Probleme wird in Erwägung gezogen, daß die Elektrodenfläche durch das Laminieren von Elektroden, die als Flächengebilde ausgebildet sind, vergrößert wird.As electronic parts have been made lighter, smaller, more manageable and more powerful, there has been a strong demand for miniaturization and achieving high performance of ceramic capacitors with a varistor function. However, since a conventional ceramic capacitor with a varistor function is of a single plate type, so that the effective electrode surface becomes small when the capacitor is miniaturized, this results in a reduction in capacitance and low reliability. As a solution to the above problems, it is considered that the electrode area is increased by laminating electrodes which are formed as sheet structures.

Im allgemeinen wird ein Kondensator, welcher keine Laminierungsstruktur hat, durch ein Verfahren hergestellt, das die folgenden Schritte aufweist: Sintern eines Keramikflächengebildes unter einer reduzierenden Atmosphäre, um die Keramika auf dem Rohflächengebilde halbleitend zu machen; Isolieren eines Korngrenzenabschnittes der halbleitenden Keramika durch Oxidieren des Rohflächengebildes in Luft; und Aufbringen einer Außenelektrode auf das resultierende Rohflächengebilde. Wenn jedoch dieses Verfahren auf den oben genannten laminierten Kondensator angewendet wird, treten die folgenden Probleme auf. Wenn das Rohflächengebilde mit einer Innenelektrode auf seiner Oberfläche laminiert und gesintert wird, werden Sprünge erzeugt oder die Innenelektrode wird während des Oxidationsschrittes oxidiert, so daß sie isoliert wird, und zwar wegen der Differenz im Kontraktionskoeffizienten zwischen der Innenelektrode und den Keramika, die das Rohflächengebilde ausbilden. Demgemäß ist es für sehr schwierig gehalten worden, einen Kondensator vom Laminationstyp mit einer Varistorfunktion (im weiteren wird dieser Kondensator als laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion bezeichnet) durch das gleichzeitige Sintern eines Materials des Keramikkondensators mit Varistorfunktion und eines Materials der Innenelektrode herzustellen, wobei das Material des Keramikkondensators die Rohflächengebilde und ein Material der Außenelektroden etc. enthält, jedoch das Material der Innenelektrode nicht enthält.In general, a capacitor having no lamination structure is manufactured by a method comprising the steps of: sintering a ceramic sheet under a reducing atmosphere to make the ceramics on the green sheet semiconductive; isolating a grain boundary portion of the semiconductive ceramics by oxidizing the green sheet in air; and applying an external electrode to the resulting green sheet. However, when this method is applied to the above-mentioned laminated capacitor, the following problems arise. When the green sheet is laminated with an internal electrode on its surface and sintered, cracks are generated or the internal electrode is oxidized during the oxidation step to be isolated due to the difference in the contraction coefficient between the internal electrode and the ceramics constituting the green sheet. Accordingly, it has been considered very difficult to manufacture a lamination type capacitor having a varistor function (hereinafter, this capacitor is referred to as a laminated ceramic capacitor having a varistor function) by simultaneously sintering a material of the ceramic capacitor having a varistor function and a material of the inner electrode, the material of the ceramic capacitor containing the green sheets and a material of the outer electrodes, etc., but not containing the material of the inner electrode.

Als ein Verfahren zum gleichzeitigen Sintern eines Materials des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion und eines Materials der Innenelektrode ist das folgende Verfahren zur Herstellung eines laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion entwickelt und vorgeschlagen worden, welches in den japanischen offengelegten Patentveröffentlichungen Nr. 54-53248 und 54-54250 offenbarte Verfahren verwendet, die die folgende Schritte aufweisen: Drucken eines der Innenelektrode entsprechenden Musters unter Verwendung von mit organischem Bindemittel angereichter Keramikpaste auf die Oberfläche des Keramiksubstrats; Sintern des Keramiksubstrats, um das Muster der Innenelektrode porös zu machen; und Imprägnieren des porösen Musters mit elektrisch leitenden Metallen unter dem geeigneten Druck, oder alternativ ein Schritt des Ausbildens eines Musters der Innenelektrode durch ein Vergoldungs- oder Fusionsverfahren. Jedoch weisen diese Verfahren viele Herstellungschwierigkeiten auf und haben noch keinen praktikablen Standard erreicht.As a method for simultaneously sintering a material of the laminated ceramic capacitor with varistor function and a material of the inner electrode, the following method for producing a laminated ceramic capacitor with varistor function has been developed and proposed, which uses methods disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publications Nos. 54-53248 and 54-54250, comprising the steps of: printing a pattern corresponding to the inner electrode using organic binder-enriched ceramic paste on the surface of the ceramic substrate; sintering the ceramic substrate to make the pattern of the inner electrode porous; and impregnating the porous pattern with electrically conductive metals under the appropriate pressure, or alternatively a step of forming a pattern of the inner electrode by a gold plating or fusion process. However, these processes have many manufacturing difficulties and have not yet reached a practical standard.

Die japanische offengelegte Patentveröffentlichung Nr. 59-215701 offenbart ein Verfahren, das die folgenden Schritte aufweist: Ausbilden eines Rohflächengebildes, das aus in einer nicht-oxidierenden Atmosphäre kalziniertem Keramikpulver hergestellt ist; Drucken eines Innenelektrodenmusters unter Verwendung einer elektrisch leitenden Paste, die mit einem Diffusionsmaterial vermischt ist, auf die Oberfläche des Rohflächengebildes, wobei das Thermo-Diffusionsmaterial die Fähigkeit hat, eine elektrisch isolierte Schicht in einer Korngrenze auszubilden; und Sintern des Rohflächengebildes in der oxidierenden Atmosphäre. Ein weiteres Verfahren, das in der japanischen offengelegten Patentveröffentlichung Nr. 63- 219115 offenbart ist, umfaßt die folgenden Schritte: Ausbilden eines Rohflächengebildes, das aus halbleitendem Keramikpulver als Hauptkomponente gefertigt ist, wobei die Hauptkomponente mit einem Oxidationsmittel und/oder einem Dispersionsmittel mit einer Glaskomponente zum Zweck der Ausbildung einer isolierenden Schicht vermischt ist; abwechselndes Laminieren der Rohflächengebilde mit mehreren Innenelektroden; und Sintern der laminierten Flächengebilde in Luft oder unter der oxidierenden Atmosphäre. Jedoch ist gemäß den oben genannten beiden Verfahren die Sintertemperatur relativ niedrig im Bereich von 1.000 bis 1.200 ºC, so daß die Keramika nicht ohne weiteres gesintert werden und Kristallkörner nicht miteinander in Kontakt kommen. Der resultierende Keramikkondensator, welcher ein nicht vollständig gesinterter Körper ist, bringt unter anderem folgende Nachteile mit sich: Eine relativ niedrige elektrische Kapazität; ein geringer Wert für den nicht- linearen Spannungsindex (der nicht-lineare Index ist ein repräsentativer Faktor zur Kennzeichnung eines Varistors); und Instabilität der Varistorspannung; und geringe Zuverlässigkeit als Kondensator. Darüberhinaus bringt die japanische offengelegte Patentveröffentlichung Nr. 63-219115, die den Schritt der Zugabe eines Glasmaterials zum Keramikpulver als Additiv umfaßt, ein Problem dahingehend mit sich, daß eine Glasphase sich in den Kristallkorngrenzen ablagert, wodurch die elektrischen Charakteristika dazu neigen, schlechter zu werden und die Zuverlässigkeit des Kondensators schlechter wird. Somit hat dieses Verfahren noch keinen praktikablen Standard erreicht.Japanese Laid-Open Patent Publication No. 59-215701 discloses a method comprising the steps of: forming a green sheet made of ceramic powder calcined in a non-oxidizing atmosphere; printing an internal electrode pattern using an electrically conductive paste mixed with a diffusion material on the surface of the green sheet, the thermal diffusion material having the ability to form an electrically insulated layer in a grain boundary; and sintering the green sheet in the oxidizing atmosphere. Another method disclosed in Japanese Laid-Open Patent Publication No. 63-219115 comprises the steps of: forming a green sheet made of semiconductive ceramic powder as a main component, the main component being mixed with an oxidizing agent and/or a dispersing agent with a glass component for the purpose of forming an insulating layer; alternately laminating the green sheets with a plurality of internal electrodes; and sintering the laminated sheets in air or under the oxidizing atmosphere. However, according to the above two methods, the sintering temperature is relatively low in the range of 1,000 to 1,200 ºC, so that the ceramics are not easily sintered and crystal grains do not come into contact with each other. The resulting ceramic capacitor, which is an incompletely sintered body, has the following disadvantages, among others: a relatively low electric capacitance; a low value of the non-linear voltage index (the non-linear index is a representative factor for characterizing a varistor); and instability of the varistor voltage; and low Reliability as a capacitor. Moreover, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 63-219115, which includes the step of adding a glass material to the ceramic powder as an additive, involves a problem that a glass phase is deposited in the crystal grain boundaries, whereby the electrical characteristics tend to deteriorate and the reliability of the capacitor deteriorates. Thus, this method has not yet reached a practical standard.

Danach haben, wie in der japanischen Patentanmeldung Nr. 1-36757 beschrieben, die vorliegenden Erfinder ein Verfahren zur Herstellung eines Kondensators unter Verwendung einer Zusammensetzung aus SrTiO&sub3;, die eine Überschußmenge an Ti als Halbleiterkomponente und MnO&sub2;-SiO&sub2;-Verbindungstypen als Basismaterial enthält, verbessert; und sie haben es möglich gemacht, einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion zu entwickeln, welcher Innenelektroden aufweist, die im wesentlichen aus Au, Pt, Rh, Pd oder Ni hergestellt sind. Da Ni-Innenelektroden die Oxidation von Ni bei relativ niedrigen Temperaturen bewirken können, wodurch sie leicht isoliert werden, ist ein Gemisch aus Ni und Pd oder ein SiTiO&sub3; mit einer leichten Überschußmenge an Ti zur Verwendung als Innenelektrodenmaterial vorgeschlagen worden. Jedoch ist es sogar in diesem Fall schwierig, eine grundlegende Lösung für die oben angesprochenen Nachteile zu erzielen, weil Ni bei Re-Oxidationstemperaturen von 1.200 ºC oder höher oxidiert werden kann.Thereafter, as described in Japanese Patent Application No. 1-36757, the present inventors have improved a method for producing a capacitor using a composition of SrTiO₃ containing an excess amount of Ti as a semiconductor component and MnO₂-SiO₂ compound types as a base material, and have made it possible to develop a laminated ceramic capacitor with a varistor function having internal electrodes made essentially of Au, Pt, Rh, Pd or Ni. Since Ni internal electrodes can cause oxidation of Ni at relatively low temperatures, thereby being easily insulated, a mixture of Ni and Pd or a SiTiO₃ containing a slight excess amount of Ti has been proposed for use as an internal electrode material. However, even in this case, it is difficult to achieve a fundamental solution to the above-mentioned disadvantages because Ni can be oxidized at re-oxidation temperatures of 1,200 ºC or higher.

Als Patent, das die laminierten Kondensatoren mit Varistorfunktion betrifft, sind laminierte nicht lineare Spannungselemente aus Keramikmaterial wie zum Beispiel ZnO, Fe&sub2;O&sub3; oder TiO&sub2; in der japanischen Patentveröffentlichung Nr. 58-23921 zur Verfügung gestellt worden. Dieser Typ von Element hat eine sehr geringe Kapazität. Deshalb zeigt er, obwohl er eine exzellente Leistung bezüglich der Impulse mit relativ hoher Spannung und der Absorption statischer Elektrizität zeigt, wenig Wirkung, was die Störungen mit einer Spannung betrifft, die unter der Varistorspannung liegt, oder bei Hochfrequenzstörungen.As a patent concerning the laminated capacitors with varistor function, laminated nonlinear voltage elements made of ceramic material such as ZnO, Fe2O3 or TiO2 have been provided in Japanese Patent Publication No. 58-23921. This type of element has a very small capacitance. Therefore, although it has excellent performance with respect to pulses with relatively high voltage and absorption of static electricity, it has little effect with respect to noise with voltage lower than the varistor voltage or high frequency noise.

Aus der EP 0 437 613 A1, der EP 0 429 653 A1 und der EP 0 412 167 A1 sind laminierte Halbleiterkeramikkondensatoren bekannt mit einer zwischenkornisolierten Struktur, die mehrere Ni-Innenelektroden und Außenelektroden aufweist, wobei die Ni-Innenelektroden in einer im wesentlichen parallelen Weise im Keramikblock angeordnet sind, um so die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten des Keramikblocks abwechselnd eine nach der anderen erreichen, und wobei die Außenelektroden jeweils mit den entsprechenden Kanten der Innenelektroden elektrisch verbunden sind. Ein Halbleiterkeramikkondensator ist auch aus der DE 26 55 567 A1 bekannt. Die Innenelektroden dieses Kondensators sind auch aus einem Übergangsmetall, insbesondere Ni, und/oder einer Legierung eines Übergangsmetalls hergestellt.From EP 0 437 613 A1, EP 0 429 653 A1 and EP 0 412 167 A1, laminated semiconductor ceramic capacitors are known with an intergrain insulated structure comprising a plurality of Ni inner electrodes and outer electrodes, wherein the Ni inner electrodes are arranged in a substantially parallel manner in the ceramic block so as to reach the corresponding opposite edges of the ceramic block alternately one after the other, and wherein the outer electrodes are each electrically connected to the corresponding edges of the inner electrodes. A semiconductor ceramic capacitor is also known from DE 26 55 567 A1. The inner electrodes of this capacitor are also made of a transition metal, in particular Ni, and/or an alloy of a transition metal.

Wie oben beschrieben, wird bei den laminierten Keramikkondensatoren mit Varistorfunktion unter Verwendung von Ni für die Innenelektroden Ni bei relativ niedrigen Temperaturen oxidiert. Deshalb wird, abhängig vom Herstellungsverfahren, Ni oxidiert und die Innenelektroden werden isoliert, wodurch keine guten elektrischen Eigenschaften erhalten werden können. Demgemäß ist zu erwarten, daß neue Innenelektrodenzusammensetzungen, welche verhindern, daß Ni oxidiert wird und ein Verfahren zur Herstellung laminierter Keramikkondensatoren mit einer Varistorfunktion unter Verwendung solcher Ni-Innenelektroden entwickelt werden.As described above, in the laminated ceramic capacitors with a varistor function using Ni for the internal electrodes, Ni is oxidized at relatively low temperatures. Therefore, depending on the manufacturing process, Ni is oxidized and the internal electrodes are insulated, whereby good electrical characteristics cannot be obtained. Accordingly, it is expected that new internal electrode compositions which prevent Ni from being oxidized and a method for manufacturing laminated ceramic capacitors with a varistor function using such Ni internal electrodes will be developed.

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Der laminierte Halbleiterkeramikkondensator mit einer zwischenkornisolierten Struktur gemäß dieser Erfindung, welcher die oben angesprochenen und viele andere Nachteile und Mängel des Standes der Technik überwindet, umfaßt einen Halbleiterkeramikblock mit einer zwischenkornisolierten Struktur, mehrere Ni-Innenelektroden und -Außenelektroden, wobei die Ni-Innenelektroden aus einer Paste erhalten werden, die ein Pulver enthält, das durch das Lösen von 0,05 Mol-% bis 2,0 Mol-% mindestens einer Verbindung, welche ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung hergestellt wird; die Ni-Innenelektroden werden in einer im wesentlichen parallelen Weise in dem Keramikblock angeordnet, um so abwechselnd eine nach der anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten des Keramikblocks zu erreichen; und die Außenelektroden sind elektrisch jeweils mit den entsprechenden Kanten der Innenelektroden verbunden.The laminated semiconductor ceramic capacitor having an intergrain insulated structure according to this invention, which overcomes the above-mentioned and many other disadvantages and deficiencies of the prior art, comprises a semiconductor ceramic block having an intergrain insulated structure, a plurality of Ni internal electrodes and external electrodes, the Ni internal electrodes being obtained from a paste containing a powder prepared by dissolving 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group containing Li, Na and K in Ni or a Ni-containing compound; the Ni internal electrodes are in a substantially arranged in parallel in the ceramic block so as to alternately reach the corresponding opposite edges of the ceramic block one after the other; and the outer electrodes are electrically connected to the corresponding edges of the inner electrodes, respectively.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind die Außenelektroden des Kondensators aus mindestens einem Metall hergestellt, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Pd, Ag, Cu, Zn und Ni, einer Legierung dieser Materialien oder eines Gemisches dieser Materialien besteht.In a preferred embodiment, the outer electrodes of the capacitor are made of at least one metal selected from the group consisting of Pd, Ag, Cu, Zn and Ni, an alloy of these materials or a mixture of these materials.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform werden die Außenelektroden durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, oder einer Kombination von mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht und mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenen Verbindung erhalten.In a preferred embodiment, the external electrodes are obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K, or a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a compound containing Ni.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt die Außenelektrode (1) untere Außenelektroden, welcher durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, oder einer Kombination von mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt, die aus Li, Na und K besteht, und mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung erhalten werden, und (2) obere Außenelektroden vom Ag- oder Ag-Pd- Typ.In a preferred embodiment, the outer electrode comprises (1) lower outer electrodes obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K, or a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound, and (2) upper outer electrodes of Ag or Ag-Pd type.

Bei der bevorzugten Ausführungsform werden die Außenelektroden durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung erhalten.In the preferred embodiment, the outer electrodes are obtained by dissolving at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfassen die Außenelektroden (1) untere Außenelektroden, welche durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Pd- Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung erhalten werden, sowie (2) untere Außenelektroden vom Ag oder Ag-Pd-Typ.In a preferred embodiment, the external electrodes comprise (1) lower external electrodes obtained by dissolving at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound, and (2) lower external electrodes of Ag or Ag-Pd type.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil SrTiO&sub3;, das eine Überschußmenge an Ti enthält, um so ein Molverhältnis von Sr zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr/Ti < 1,00 zu schaffen; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und eine Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Mn-Atom und mindestens einer Verbindung, die ein Si-Atom enthält, wobei die Gesamtmenge der Kombination im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, jeweils hinsichtlich MnO&sub2; und SiO&sub2; liegt.In a preferred embodiment, the intergrain-isolated semiconductor ceramic comprises as a main component SrTiO₃ containing an excess amount of Ti so as to provide a molar ratio of Sr to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and a combination of at least one compound containing a Mn atom and at least one compound containing a Si atom, the total amount of the combination being in the range of 0.2 to 5.0 mol%, each in terms of MnO₂ and SiO₂.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform umfaßt die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik ferner mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%, und Al&sub2;O&sub3; im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; oder mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAlO&sub2; und LiAlO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 4,0 Mol-%.In a preferred embodiment, the intergrain-isolated semiconductor ceramic further comprises at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%, and Al₂O₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; or at least one compound selected from the group consisting of NaAlO₂ and LiAlO₂ in the range of 0.05 to 4.0 mol%.

Anstelle des oben genannten SrTiO&sub3; kann Sr(1-x)BaxTiO&sub3; oder Sr(1-x)CaxTiO&sub3; verwendet werden.Instead of the above mentioned SrTiO₃, Sr(1-x)BaxTiO₃ or Sr(1-x)CaxTiO₃ can be used.

Verschiedene Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterkeramikkondensators mit einer zwischenkornisolierten Struktur sind durch die unabhängigen Verfahrensansprüche 19 bis 28 definiert.Various methods for producing a semiconductor ceramic capacitor with an intergrain insulated structure are defined by the independent method claims 19 to 28.

Die dort beanspruchten Verfahren machen die Lösung folgender Aufgaben möglich: (1) Bereitstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators mit einer zwischenkornisolierten Struktur mit einer Varistorfunktion, welcher Niederspannungsstörungen und Hochspannungsstörungen unter normalen Betriebsbedingungen absorbiert und welcher als Varistor arbeitet, wenn Hochspannungsimpulse und statische Hochspannungselektrizität in den Stromkreis eindringen; (2) Bereitstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators mit einer zwischenkornisolierten Struktur mit einer Varistorfunktion, welcher als Hauptkomponente SrTiO&sub3; enthält, bei welchem das Keramikkondensatormaterial und das Innenelektrodenmaterial gleichzeitig gesintert werden; (3) Bereitstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators mit einer zwischenkornisolierten Struktur mit einer Varistorfunktion, welcher Ni als Innenelektroden umfaßt; und (4) Bereitstellung eines Verfahrens zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators mit einer zwischenkornisolierten Struktur mit einer Varistorfunktion, der die oben genannten Eigenschaften hat.The methods claimed therein make it possible to achieve the following objects: (1) providing a laminated semiconductor ceramic capacitor with an intergrain-insulated structure having a varistor function, which absorbs low-voltage noise and high-voltage noise under normal operating conditions and which functions as a varistor when high-voltage pulses and high-voltage static electricity enter the circuit; (2) providing a laminated semiconductor ceramic capacitor with an intergrain-insulated structure having a varistor function, which contains SrTiO₃ as a main component, in which the ceramic capacitor material and the inner electrode material are sintered simultaneously; (3) providing a laminated semiconductor ceramic capacitor with an intergrain-insulated structure having a varistor function, which comprises Ni as inner electrodes; and (4) providing a method for manufacturing a laminated semiconductor ceramic capacitor having an intergrain insulated structure with a varistor function, which has the above-mentioned characteristics.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenShort description of the drawings

Unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen wird die vorliegende Erfindung für Fachleute besser verständlich und ihre vielfältigen Aufgaben und Vorteile werden ersichtlich werden. Es zeigen:The present invention will be better understood by those skilled in the art and its numerous objects and advantages will become apparent by referring to the accompanying drawings in which:

Figur 1 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung eines laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion gemäß Beispiel 1 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 1 is a flow chart showing a process for producing a laminated ceramic capacitor with a varistor function according to Example 1 of the present invention;

Figur 2 eine perspektivische Explosionsansicht, die ein Beispiel des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion gemäß der vorliegenden Erfindung sowie laminierte Rohflächengebilde und ein Muster aus einer Innenelektrodenpaste zeigt, das auf die Rohflächengebilde aufgedruckt ist;Figure 2 is an exploded perspective view showing an example of the laminated ceramic capacitor with varistor function according to the present invention, as well as laminated green sheets and a pattern of an internal electrode paste printed on the green sheets;

Figur 3 eine teilweise weggeschnittene Ansicht des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion, der bei den Beispielen 1 bis 7 der vorliegenden Erfindung erhalten wird;Figure 3 is a partially cutaway view of the laminated ceramic capacitor with varistor function obtained in Examples 1 to 7 of the present invention;

Figur 4 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung eines laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 2 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 4 is a flow chart showing a process for producing a laminated ceramic capacitor with a varistor function according to Example 2 of the present invention;

Figur 5 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach den Beispielen 3 und 4 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 5 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Examples 3 and 4 of the present invention;

Figur 6 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 5 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 6 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 5 of the present invention;

Figur 7 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 6 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 7 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 6 of the present invention;

Figur 8 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 7 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 8 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 7 of the present invention;

Figur 9 eine teilweise weggeschnittene Ansicht, die einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion zeigt, der nach den Beispielen 8 bis 21 der vorliegenden Erfindung erhalten wurde;Figure 9 is a partially cutaway view showing a laminated ceramic capacitor having a varistor function obtained according to Examples 8 to 21 of the present invention;

Figur 10 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 8 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 10 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 8 of the present invention;

Figur 11 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 9 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 11 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 9 of the present invention;

Figur 12 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion nach Beispiel 10 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 12 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor having a varistor function according to Example 10 of the present invention;

Figur 13 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 11 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 13 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 11 of the present invention;

Figur 14 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 12 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 14 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 12 of the present invention;

Figur 15 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 13 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 15 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 13 of the present invention;

Figur 16 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 14 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 16 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 14 of the present invention;

Figur 17 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 15 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 17 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 15 of the present invention;

Figur 18 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 16 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 18 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 16 of the present invention;

Figur 19 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 17 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 19 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 17 of the present invention;

Figur 20 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung eines laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 18 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 20 is a flow chart showing a process for producing a laminated ceramic capacitor having a varistor function according to Example 18 of the present invention;

Figur 21 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 19 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 21 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 19 of the present invention;

Figur 22 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 20 der vorliegenden Erfindung zeigt;Figure 22 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 20 of the present invention;

Figur 23 ein Flußdiagramm, das ein Verfahren zur Herstellung des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion nach Beispiel 21 der vorliegenden Erfindung zeigt.Figure 23 is a flow chart showing a process for producing the laminated ceramic capacitor with varistor function according to Example 21 of the present invention.

Beschreibung der bevorzugten AusführungsformenDescription of the preferred embodiments

Wenn ein Keramikkondensator mit Varistorfunktion hergestellt wird, sollte ein Keramikelement, welches unter einer reduzierenden oder einer Stickstoffatmosphäre halbleitend gemacht wird, einer Wärmebehandlung in Luft (im weiteren wird diese Wärmebehandlung als Re-Oxidation bezeichnet) unterzogen werden, um seine Kristallkorngrenzen mit einem hohen Widerstand zu versehen. Deshalb sind die beiden folgenden Tatsachen die wichtigsten, wenn ein laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion hergestellt wird: Erstens sind die Innenelektroden bezüglich ihrer Widerstandsfähigkeit gegenüber der Oxidation hervorragend; und zweitens sind die Kristallkorngrenzen des Keramikelements hervorragend bezüglich ihrer Oxidationseigenschaften. Dies bedeutet, daß die Innenelektroden und das keramische Element entgegengesetzte Eigenschaften beim Re-Oxidationsprozeß benötigen.When manufacturing a ceramic capacitor with a varistor function, a ceramic element which is made semiconductive under a reducing or nitrogen atmosphere should be subjected to heat treatment in air (hereinafter, this heat treatment is referred to as re-oxidation) to provide its crystal grain boundaries with high resistance. Therefore, the following two facts are the most important when manufacturing a laminated ceramic capacitor with a varistor function: First, the internal electrodes are excellent in their resistance to oxidation; and second, the crystal grain boundaries of the ceramic element are excellent in their oxidation properties. This means that the internal electrodes and the ceramic element require opposite properties in the re-oxidation process.

Deshalb müssen, wenn ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion mit Ni-Innenelektroden gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt wird, die folgenden Tatsachen beachtet werden. Die Oxidationswiderstandsfähigkeit der Ni- Innenelektroden sollte verbessert werden und gleichzeitig sollten die Oxidationseigenschaften der Kristallgrenzen eines keramischen Elements ebenfalls verbessert werden. Die Erfinder haben herausgefunden, daß (1) die Oxidationswiderstandsfähigkeit der Ni-Innenelektroden verbessert wird durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung, was ein Oxid vom P-Typ produziert, um die Oxidationsrate zu vermindern; und (2) mindestens ein Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, welches zu den Ni- Innenelektroden zugesetzt wird, wird ohne weiteres in den Kristallgrenzen eines Keramikelements und des Re-Oxidationsschrittes dispergiert und wirkt als Sauerstoffträger, wodurch es die Oxidation der Kristaligrenzen beschleunigt.Therefore, when a laminated ceramic capacitor having a varistor function with Ni internal electrodes is manufactured according to the present invention, the following facts must be considered. The oxidation resistance of the Ni internal electrodes should be improved and at the same time, the oxidation properties of the crystal boundaries of a ceramic element should also be improved. The inventors have found that (1) the oxidation resistance of the Ni internal electrodes is improved by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a Ni-containing compound, producing a P-type oxide to reduce the oxidation rate; and (2) at least one atom selected from the group consisting of Li, Na and K added to the Ni internal electrodes is easily dissolved in the crystal boundaries of a Ceramic element and the re-oxidation step and acts as an oxygen carrier, thereby accelerating the oxidation of the crystal boundaries.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, sowohl die Oxidationswiderstandsfähigkeit der Ni-Innenelektroden als auch die Oxidationseigenschaften der Kristallgrenzen eines Keramikelements zu verbessern, und zwar durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung, was es möglich macht, ohne weiteres einen laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion mit Ni-Innenelektroden herzustellen.According to the present invention, it is possible to improve both the oxidation resistance of the Ni internal electrodes and the oxidation properties of the crystal boundaries of a ceramic member by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a compound containing Ni, making it possible to easily manufacture a laminated ceramic capacitor with a varistor function having Ni internal electrodes.

BeispieleExamples

Die vorliegende Erfindung wird durch die Darstellung der folgenden Beispiele beschrieben.The present invention is described by illustrating the following examples.

Beispiel 1example 1

Zuerst wurde ein Li&sub2;CO&sub3;-Pulver im Bereich von 0,05 bis 2,5 Mol-% einem NiO- Pulver mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,5 µm oder weniger und einer Reinheit von 90 % zugesetzt, und das Gemisch wurde in Luft bei einer Temperatur im Bereich von 500 bis 1.300 ºC kalziniert. Das kalzinierte Pulver wurde wieder feinzerkleinert, um so eine durchschnittliche Teilchengröße von 1,5 µm oder weniger herzustellen, und als Ausgangsmaterial für die Innenelektroden bereitgestellt. Das pulvrige Ausgangsmaterial wurde in einer Lösung zusammen mit einem organischen Bindemittel wie beispielsweise Butyralharz dispergiert, um eine Innenelektrodenpaste auszubilden. Dann wurden, wie in Figur 2 gezeigt, 97 Mol-% SrTiO&sub3; (Sr/Ti =0,97)-Pulver, 1 Mol-% Nb&sub2;O&sub5;-Pulver, 1 Mol-% MnO&sub2;-Pulver und 1 Mol-% SiO&sub2;-Pulver vermischt und zu Roh-Flächengebilden 1b mit einer Dicke von ungefähr 50 µm durch das Rakelverfahren ausgeformt, worauf das Schneiden zu einer vorbestimmten Größe folgte. Wie aus Figur 2 hervorgeht, wurde die Innenelektrodenpaste 2 nicht auf die obersten und untersten Rohflächengebilde 1a und 1c aufgedruckt. Gewöhnlich werden mehrere Rohflächengebilde 1b laminiert. Die Muster der Innenelektrodenpaste 2 wurden auf die Zwischenschichten der laminierten Flächengebilde 1 so aufgedruckt, daß sie eine Kante des Flächengebildes erreichen, und die Rohflächengebilde 1b werden auf eine solche Weise gestapelt, daß die Kanten, welche die Innenelektroden erreichen, abwechselnd übereinandergelegt werden und die Kanten, welche die Innenelektroden nicht erreichen, abwechselnd übereinandergelegt werden. Dann wurden die obersten und untersten Rohflächengebilde 1a und 1c jeweils auf die obersten und untersten Teile gesetzt und die Rohflächengebilde 1b, auf die die obige Innenelektrodenpaste aufgedruckt war, wurden dazwischenlaminiert. Die resultierenden laminierten Rohflächengebilde 1b wurde wärmegepreßt und mit den obersten und untersten Rohflächengebilden 1a und 1c in Kontakt gebracht, um einen laminierten Körper 1 zu erhalten. Der laminierte Körper 1 wurde bei einer Temperatur im Bereich von 600 bis 1.250 ºC in Luft erwärmt, um so das obige Bindemittel davon zu entfernen, wodurch der laminierte Körper kalziniert wurde. Der kalzinierte Körper wurde als nächstes durch das Erwärmen auf eine Temperatur im Bereich von 1.200 bis 1.350 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert, gefolgt von der Re-Oxidation durch das Erwärmen bei einer Temperatur von 900 bis 1.100 ºC in Luft. Wie in Figur 3 gezeigt, wurde die Außenelektrodenpaste, die Ag enthielt, auf beide Kanten der Halbleiterkeramik mit einer zwischenkornisolierten Struktur aufgeschichtet (im Weiteren wird diese Halbleiterkeramik als Keramikelement bezeichnet), in welcher Anschlüsse der Innenelektroden 2a abwechselnd zu gegenüberliegenden Richtungen hin freilagen, und die Ag-Paste wurde durch das Erwärmen bei 800 ºC für 15 min in Luft gebacken, wodurch ein laminierter Keramikkondensator 4 mit einer Varistorfunktion erhalten wurde, der mehrere Innenelektroden 2a im Keramikelement umfaßte, wobei die Anschlüsse der Innenelektroden 2a jede gegenüberliegende Kante des Keramikelements alternativ eine nach der anderen erreichen, sowie Außenelektroden 3, die an gegenüberliegenden Kanten des Keramikelements angeordnet sind, so daß die Außenelektroden 3 elektrisch mit den Anschlüssen der Innenelektroden 2a verbunden werden können.First, a Li₂CO₃ powder in the range of 0.05 to 2.5 mol% was added to a NiO powder having an average particle size of 0.5 μm or less and a purity of 90%, and the mixture was calcined in air at a temperature in the range of 500 to 1,300 °C. The calcined powder was again finely ground so as to have an average particle size of 1.5 μm or less and provided as a raw material for the internal electrodes. The powdery raw material was dispersed in a solution together with an organic binder such as butyral resin to form an internal electrode paste. Then, as shown in Figure 2, 97 mol% of SrTiO₃ was added. (Sr/Ti =0.97) powder, 1 mol% Nb₂O₅ powder, 1 mol% MnO₂ powder and 1 mol% SiO₂ powder were mixed and formed into green sheets 1b having a thickness of about 50 µm by the doctor blade method, followed by cutting to a predetermined size. As shown in Figure 2, the internal electrode paste 2 were not printed on the uppermost and lowermost green sheets 1a and 1c. Usually, a plurality of green sheets 1b are laminated. The patterns of the internal electrode paste 2 were printed on the intermediate layers of the laminated sheets 1 so as to reach an edge of the sheet, and the green sheets 1b were stacked in such a manner that the edges reaching the internal electrodes were alternately superimposed and the edges not reaching the internal electrodes were alternately superimposed. Then, the uppermost and lowermost green sheets 1a and 1c were respectively set on the uppermost and lowermost parts, and the green sheets 1b on which the above internal electrode paste was printed were laminated therebetween. The resulting green laminated sheets 1b were heat-pressed and brought into contact with the uppermost and lowermost green sheets 1a and 1c to obtain a laminated body 1. The laminated body 1 was heated at a temperature in the range of 600 to 1,250 °C in air so as to remove the above binder therefrom, thereby calcining the laminated body. The calcined body was next sintered by heating at a temperature in the range of 1,200 to 1,350 °C in a reducing atmosphere, followed by re-oxidation by heating at a temperature of 900 to 1,100 °C in air. As shown in Fig. 3, the external electrode paste containing Ag was coated on both edges of the semiconductor ceramic having an intergrain insulated structure (hereinafter, this semiconductor ceramic is referred to as a ceramic element) in which terminals of the internal electrodes 2a were alternately exposed to opposite directions, and the Ag paste was baked by heating at 800 °C for 15 minutes in air, thereby obtaining a laminated ceramic capacitor 4 having a varistor function, which comprised a plurality of internal electrodes 2a in the ceramic element, the terminals of the internal electrodes 2a reaching each opposite edge of the ceramic element alternatively one after another, and external electrodes 3 arranged at opposite edges of the ceramic element so that the external electrodes 3 can be electrically connected to the terminals of the internal electrodes 2a.

Die Größe des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion, abgekürzt als Typ 5.5, ist 5,70 mm in der Breite, 5,00 mm in der Länge und 2,00 mm in der Dicke. Der Kondensator ist aus 10 Schichten aufgebaut, auf welchen Muster der Innenelektroden aufgedruckt sind. Die Figur 1 ist ein Flußdiagramm, das ein Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.The size of the laminated ceramic capacitor with varistor function, abbreviated as Type 5.5, is 5.70 mm in width, 5.00 mm in length and 2.00 mm in thickness. The capacitor is constructed of 10 layers on which patterns of the internal electrodes are printed. Figure 1 is a flow chart showing a manufacturing process according to the present invention.

Für den laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion, der so hergestellt wurde, werden verschiedene Arten elektrischer Eigenschaften, wie zum Beispiel eine Kapazität, Tangens &delta;, eine Varistorspannung, ein nicht-linearer Spannungsindex &alpha;, ein äquivalenter Reihenwiderstand (ESR), eine Kapazitäts-Temperaturänderungsrate und ein Temperaturkoeffizient der Varistorspannung in den Tabellen 1 bis 5 gezeigt, die mit den Re-Oxidationstemperaturen variieren.For the laminated ceramic capacitor with varistor function thus prepared, various kinds of electrical properties such as a capacitance, tangent δ, a varistor voltage, a non-linear voltage index α, an equivalent series resistance (ESR), a capacitance temperature change rate, and a temperature coefficient of varistor voltage are shown in Tables 1 to 5, which vary with the re-oxidation temperatures.

Die experimentellen Bedingungen zur Herstellung laminierter Proben waren 1.200 ºC, 2 h für die Entfernung des Bindemittels und die Kalzinierung in Luft; und 1.300 ºC, 2 h zum Sintern in einer reduzierenden Atmosphäre von N&sub2;:H&sub2; = 99:1. Die Innenelektrodenpaste enthält ein Pulver, das durch das Kalzinieren eines Mischpulvers aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; (die Menge von Li&sub2;CO&sub3; ist 0 bis 2,5 Mol-%, basierend auf der Gesamtmolzahl von NiO und Li&sub2;CO&sub3;) bei 1.100 ºC für 2 h in Luft hergestellt wurde.The experimental conditions for preparing laminated samples were 1,200 ºC, 2 h for binder removal and calcination in air; and 1,300 ºC, 2 h for sintering in a reducing atmosphere of N2:H2 = 99:1. The internal electrode paste contains a powder prepared by calcining a mixed powder of NiO and Li2CO3 (the amount of Li2CO3 is 0 to 2.5 mol%, based on the total number of moles of NiO and Li2CO3) at 1,100 ºC for 2 h in air.

Die jeweiligen elektrischen Charakteristika wurden unter den folgenden Experimentbedingungen erhalten.The respective electrical characteristics were obtained under the following experimental conditions.

* Die Kapazität (C) wurde bei 1,0 V und 1,0 kHz gemessen.* The capacitance (C) was measured at 1.0 V and 1.0 kHz.

* Die Varistorspannung V0,1mA wurde bei 0,1 mA gemessen.* The varistor voltage V0.1mA was measured at 0.1 mA.

* Der nicht-lineare Spannungsindex &alpha; wurde aus den Werten der Varistorspannung gemessen bei 0,1 mA und 1,0 mA, jeweils unter Verwendung der folgenden Gleichung errechnet:* The non-linear voltage index α was calculated from the values of the varistor voltage measured at 0.1 mA and 1.0 mA, using the following equation:

&alpha; = 1 / log (V1mA/V0,1mA)α; = 1 / log (V1mA/V0.1mA)

* Der äquivalente Reihenwiderstand (ESR) ist als Widerstand bei der Resonanzfrequenz, gemessen bei 1.0 V, definiert.* The equivalent series resistance (ESR) is defined as the resistance at the resonance frequency, measured at 1.0 V.

* Die Kapazitäts-Temperaturänderungsrate wurde aus der folgenden Gleichung erhalten:* The capacitance temperature change rate was obtained from the following equation:

Kapazitäts-Temperaturänderungsrate (%) =Capacity temperature change rate (%) =

Kapazität bei 85 ºC - (Kapazität bei -25 ºC)/Kapazität bei -25 ºC x 100Capacity at 85 ºC - (Capacity at -25 ºC)/Capacity at -25 ºC x 100

* Der Temperaturkoeffizient der Varistorspannung wurde durch die folgende Gleichung erhalten:* The temperature coefficient of varistor voltage was obtained by the following equation:

Temperaturkoeffizient der Varistorspannung =Temperature coefficient of varistor voltage =

Varistorspannung bei 50 ºC - Varistorspannung bei 25 ºC/ (50 - 25) x Varistorspannung bei 25 ºC x 100 Tabelle 1 Tabelle 2 Tabelle 3 Tabelle 4 Tabelle 5 Varistor voltage at 50 ºC - Varistor voltage at 25 ºC/ (50 - 25) x Varistor voltage at 25 ºC x 100 Table 1 Table 2 Table 3 Table 4 Table 5

Die durch das Symbol * in den Tabellen 1 bis 5 markierten Proben sind Vergleichsbeispiele. Die Ni-Innenelektroden dieser gesinterten Elemente, die mit dem Symbol * markiert sind, sind merklich oxidiert. Der Kondensator mit diesen Innenelektroden kann nicht die Leistung sowohl eines normalen Kondensators, der Niederspannungsstörungen und Hochspannungsstörungen absorbiert als auch eines Varistors, der Hochspannungsimpulse und statische Hochspannungselektrizität absorbiert gleichzeitig zeigen. Darüberhinaus hat diese Kondensatorart eine hohe Kapazitäts-Temperatur-Änderungsrate und einen hohen Temperaturkoeffizienten der Varistorspannung aufgrund des Vorhandenseins von unreagierten Li-Ionen, wodurch die Zuverlässigkeit und die elektrischen Eigenschaften des Kondensators dazu neigen, von Temperaturänderungen beeinflußt zu werden. Deshalb sind diese Proben nicht als Keramikkondensator mit Varistorfunktion geeignet, der Halbleiter und elektronische Ausstattung vor abnormalen Spannungen, wie Störungen, Impulsen und statischer Elektrizität schützt, welche in der elektronischen Ausrüstung erzeugt werden. Andererseits besitzen die nicht mit dem Symbol * markierten Proben eine hohe Kapazität, einen hohen Wert für den nicht-linearen Spannungsindex &alpha; und einen geringen äquivalenten Reihenwiderstand (ESR). Ein Kondensator mit diesen Eigenschaften zeigt die Leistungen sowohl eines normalen Kondensators, welcher Hochspannungsstörungen und Niederspannungsstörungen absorbiert, als auch eines Varistors, welcher Hochspannungsimpulse und statische Hochspannungselektrizität absorbiert. Darüberhinaus hat diese Kondensatorart eine geringe Kapazitäts-Temperatur-Änderungsrate und einen geringen Koeffizienten der Varistorspannung, wodurch Zuverlässigkeit und elektrische Eigenschaften nicht dazu neigen, von Temperaturänderungen beeinflußt zu werden. Deshalb sind diese Proben zur Verwendung als Keramikkondensator mit Varistorfunktion gut geeignet, welcher Halbleiter und elektronische Ausstattung vor abnormalen Spannungen, wie beispielsweise Störungen, Impulsen und statischer Elektrizität schützt, die in der elektronischen Ausstattung erzeugt werden.The samples marked by the symbol * in Tables 1 to 5 are comparative examples. The Ni inner electrodes of these sintered elements marked by the symbol * are noticeably oxidized. The capacitor with these inner electrodes cannot exhibit the performance of both a normal capacitor that absorbs low-voltage noise and high-voltage noise and a varistor that absorbs high-voltage pulse and high-voltage static electricity simultaneously. In addition, this type of capacitor has a high capacitance-temperature change rate and a high temperature coefficient of varistor voltage due to the presence of unreacted Li ions, whereby the reliability and electrical characteristics of the capacitor tend to be affected by temperature changes. Therefore, these samples are not suitable as a ceramic capacitor with varistor function that protects semiconductors and electronic equipment from abnormal voltages such as noise, pulses and static electricity generated in the electronic equipment. On the other hand, the samples not marked with the symbol * have a high capacitance, a high value of the non-linear voltage index α and a low equivalent series resistance (ESR). A capacitor with these characteristics exhibits the performances of both a normal capacitor that absorbs high-voltage noise and low-voltage noise and a varistor that absorbs high-voltage pulses and high-voltage static electricity. In addition, this type of capacitor has a low capacitance-temperature change rate and a low coefficient of varistor voltage, which means that reliability and electrical characteristics are not prone to being affected by temperature changes. Therefore, these samples are well suited for use as a ceramic capacitor with varistor function, which protects semiconductors and electronic equipment from abnormal voltages such as noise, pulses and static electricity generated in the electronic equipment.

Die Menge an Li&sub2;CO&sub3;, die in der Innenelektrodenpaste dieses Beispiels enthalten war, wurde in den Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%, basierend auf der Gesamtmolzahl von NiO und Li&sub2;CO&sub3; aus den folgenden Gründen so eingestellt. Wenn die Menge an Li&sub2;CO&sub3; geringer ist als 0,05 Mol-%, kann der Effekt des zugesetzten Materials kaum erreicht werden und die Ni-Innenelektroden werden merklich oxidiert, wenn die Re-Oxidationstemperatur ansteigt. Andererseits, wenn die Menge an Li&sub2;CO&sub3; größer ist als 2,0 Mol-%, kann das Vorhandensein einer großen Menge unreagierter Li-Ionen die elektrischen Charakteristika und die Zuverlässigkeit des resultierenden laminierten Keramikkondensators beeinflussen. Deshalb wird ersichtlich daß, wenn die zugesetzte Menge von Li&sub2;CO&sub3; im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-% liegt, (1) die Oxidations-Widerstandsfähigkeit der Ni-Innenelektroden verbessert wird, (2) Li-Atome ohne weiteres in den Kristallgrenzen des Keramikelements dispergiert werden und als Sauerstoffträger wirken, wodurch die Oxidation der Kristallgrenzen beschleunigt wird, was in der Verbesserung der Varistorfunktion des laminierten Keramikkondensates resultiert, und (3) die Kapazitäts-Temperatur-Änderungsrate und der Temperaturkoeffizient der Varistorspannung des resultierenden laminierten Halbleiterkondensators ebenfalls verbessert werden. Aus diesen Gründen wird erwartet, daß das Variieren der Menge von Li&sub2;CO&sub3;, die der Innenelektrodenpaste zugesetzt wird, einen laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion bereitstellt, welcher unterschiedliche elektrische Eigenschaften und hervorragende Temperatureigenschaften hat.The amount of Li₂CO₃ contained in the internal electrode paste of this example was set in the range of 0.05 to 2.0 mol% based on the total number of moles of NiO and Li₂CO₃ for the following reasons. If the amount of Li₂CO₃ is less than 0.05 mol%, the effect of the added material can hardly be achieved and the Ni internal electrodes are noticeably oxidized as the re-oxidation temperature increases. On the other hand, if the amount of Li₂CO₃ is greater than 2.0 mol%, the presence of a large amount of unreacted Li ions may affect the electrical characteristics and reliability of the resulting laminated ceramic capacitor. Therefore, it is seen that if the amount of Li₂CO₃ is less than 0.05 mol%, the effect of the added material can hardly be achieved and the Ni internal electrodes are noticeably oxidized as the re-oxidation temperature increases. is in the range of 0.05 to 2.0 mol%, (1) the oxidation resistance of the Ni internal electrodes is improved, (2) Li atoms are easily dispersed in the crystal boundaries of the ceramic element and act as oxygen carriers, thereby accelerating the oxidation of the crystal boundaries, resulting in the improvement of the varistor function of the laminated ceramic capacitor, and (3) the capacitance-temperature change rate and the temperature coefficient of varistor voltage of the resulting laminated semiconductor capacitor are also improved. For these reasons, it is expected that varying the amount of Li₂CO₃ added to the internal electrode paste provides a laminated ceramic capacitor with varistor function which has different electrical properties and excellent temperature characteristics.

Obwohl ein Gemisch aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; als pulvriges Ausgangsmaterial als Innenelektrodenpaste in diesem Beispiel verwendet wurde, kann NiO durch Ni oder Ni enthaltende Carbonate, Hydroxide, Nitrate oder ähnliches ersetzt werden. Li&sub2;CO&sub3; kann durch Li enthaltende Oxide, Hydroxide, Fluoride, Silicate, Aluminate oder ähnliches ersetzt werden; und Li kann durch Na enthaltende oder K enthaltende Oxide, Hydroxide, Fluoride, Silicate, Aluminate oder ähnliches ersetzt werden, was denselben Effekt hervorruft, wie er hier erreicht wird.Although a mixture of NiO and Li₂CO₃ was used as a powdery raw material as the internal electrode paste in this example, NiO may be replaced by Ni or Ni-containing carbonates, hydroxides, nitrates or the like. Li₂CO₃ may be replaced by Li-containing oxides, hydroxides, fluorides, silicates, aluminates or the like; and Li may be replaced by Na-containing or K-containing oxides, hydroxides, fluorides, silicates, aluminates or the like, which produces the same effect as achieved here.

Ebenfalls kann ein Gemisch von zwei oder mehr Arten von Li, Na oder K in diesem Material verwendet werden.Also, a mixture of two or more types of Li, Na or K can be used in this material.

Obwohl Ag als Außenelektrodenmaterial in diesem Beispiel verwendet wurde, wurde bestätigt, daß andere Materialien wie beispielsweise Pd, Cu, Zn und Ni denselben Effekt zur Verfügung stellen können. Dies bedeutet, daß mindestens ein Metall, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Pd, Ag, Cu, Zn und Ni besteht, eine Legierung davon oder ein Gemisch davon als Außenelektrodenmaterial verwendet werden kann. Darüberhinaus wurde bestätigt, daß Ni-Außenelektroden, welche aus einer Außenelektrodenpaste hergestellt sind, die durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni-haltigen Verbindung denselben Effekt zur Verfügung stellen kann.Although Ag was used as the external electrode material in this example, it was confirmed that other materials such as Pd, Cu, Zn and Ni can provide the same effect. This means that at least one metal selected from the group consisting of Pd, Ag, Cu, Zn and Ni, an alloy thereof or a mixture thereof can be used as the external electrode material. Furthermore, it was confirmed that Ni external electrodes made of an external electrode paste prepared by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a Ni-containing compound can provide the same effect.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß Ni-Außenelektroden, die aus einer Außenelektrodenpaste hergestellt wurden, die durch das Lösen einer Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthielt, das aus der Gruppe ausgewählt wurde, die aus Li, Na und K besteht, und mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni-haltigen Verbindung denselben Effekt erzielen kann.It was also confirmed that Ni external electrodes made from an external electrode paste prepared by dissolving a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound can achieve the same effect.

Wenn jedoch ein Atom wie zum Beispiel Cu, Zn und Ni in den Außenelektroden vorhanden ist, ist es nötig, die Backtemperatur zu erniedrigen, die Backzeit zu verkürzen und die Atmosphäre, in welcher das Backen ausgeführt wird ein zuregeln, weil diese Atome dazu neigen, oxidiert zu werden.However, when an atom such as Cu, Zn and Ni is present in the external electrodes, it is necessary to lower the baking temperature, shorten the baking time and control the atmosphere in which the baking is carried out, because these atoms tend to be oxidized.

Der Effekt der Stromstoß-Widerstandsfähigkeit (maximaler Stromwellenwert, der unter der Bedingung beobachtet wird, daß die Variation der Varistorspannung V0,1mA innerhalb von ± 10 % ist, wenn 8 x 20 µs Impulsstrom zweimal in einem 5 min- Intervall in derselben Richtung aufgebracht wird) der Proben, die bei diesem Beispiel erhalten wurden, wurde im Bereich von 300 bis 400 A gemessen, was dieselben oder bessere Eigenschaften wie herkömmliche ZnO-Typ-Varistoren anzeigte.The effect of surge current withstand capability (maximum current wave value observed under the condition that the variation of varistor voltage V0.1mA is within ±10% when 8 x 20 µs pulse current is applied twice in a 5 min interval in the same direction) of the samples obtained in this example was measured in the range of 300 to 400 A, indicating the same or better characteristics as conventional ZnO type varistors.

Es stellte sich ebenfalls heraus, daß der laminierte Keramikkondensator mit den Innenelektroden der vorliegenden Erfindung eine hervorragende Wirkung bezüglich der Widerstandskraft gegenüber Stoßstrom, verglichen mit denjenigen hatte, welche Innenelektroden derselben Struktur aufweisen, die aus Au, Pt, Rh, Pd und ähnlichem aufgebaut sind, und zwar aus den folgenden Gründen. Mindestens ein Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, welches den Innenelektroden zugeführt wird, bildet (1) eine feste isolierte Schicht in den Korngrenzen eines Keramikelements und wirkt als Sinterhilfe, um (2) eine feste Haftung zwischen den Innenelektroden und dem Keramikelement zur Verfügung zu stellen. Somit ist es, wegen der obigen festen isolierten Schicht nicht wahrscheinlich, daß der laminierte Keramikkondensator zerstört wird, und es wird wegen der starken Haftung zwischen den Innenelektroden und dem Keramikelement kaum Überschlag erzeugt.It was also found that the laminated ceramic capacitor having the internal electrodes of the present invention had an excellent effect in withstanding power against surge current compared with those having internal electrodes of the same structure composed of Au, Pt, Rh, Pd and the like for the following reasons. At least one atom selected from the group consisting of Li, Na and K supplied to the internal electrodes forms (1) a solid insulated layer in the grain boundaries of a ceramic element and acts as a sintering aid to provide (2) a strong adhesion between the internal electrodes and the ceramic element. Thus, because of the above solid insulated layer, the laminated ceramic capacitor is not likely to be destroyed, and flashover is hardly generated because of the strong adhesion between the internal electrodes and the ceramic element.

Der laminierte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion, der so hergestellt wird, hat eine größere Kapazität und zeigt viel bessere Temperatur- und Frequenzeigenschaften als der laminierte Varistor, der in der oben genannten japanischen Patentveröffentlichung Nr. 58-23921 offenbart ist. Der laminierte Keramikkondensator der vorliegenden Erfindung wird durch das Laminieren von Keramikkondensatormaterialien mit einer Varistorfunktion hergestellt, welche einen Kondensator ausbilden können, der sowohl Funktionen eines normalen störungsabsorbierenden Kondensators als auch eines Varistors besitzt, der Impulse und statische Elektrizität absorbiert, während der oben genannte Varistor gemäß dem Stand der Technik einfach aus gestapelten Varistormaterialien hergestellt ist, welche hervorragende Absorptionsfähigkeit für Stoßstrom zeigen. Der laminierte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion gemäß der vorliegenden Erfindung unterscheidet sich vollständig von dem Varistor gemäß dem Stand der Technik, sowohl bezüglich den Funktionen als auch der Verwendung.The laminated ceramic capacitor with a varistor function thus manufactured has a larger capacitance and exhibits much better temperature and frequency characteristics than the laminated varistor disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Publication No. 58-23921. The laminated ceramic capacitor of the present invention is manufactured by laminating ceramic capacitor materials with a varistor function which can form a capacitor having functions of both a normal noise absorbing capacitor and a varistor which absorbs impulses and static electricity, while the above-mentioned prior art varistor is simply made of stacked varistor materials which exhibit excellent surge current absorption capability. The laminated ceramic capacitor with a varistor function according to the present invention is completely different from the prior art varistor in both functions and use.

Beispiel 2Example 2

Ein laminierter Körper, der durch Verwendung von Rohflächengebilden und einer Innenelektrodenpaste mit derselben Zusammensetzung wie im Beispiel 1 hergestellt wurde, wurde bei einer Temperatur im Bereich von 600 bis 1.250 ºC in Luft erwärmt, um das Bindemittel zu entfernen, wodurch der laminierte Körper kalziniert wurde. Der kalzinierte Körper wurde durch das Erwärmen auf eine Temperatur im Bereich von 1.000 bis 1.200 ºC in einer Stickstoffatmosphäre und dann bei einer Temperatur im Bereich von 1.200 bis 1.350 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert, gefolgt von der Re-Oxidation durch das Erwärmen bei einer Temperatur von 900 bis 1.100 ºC in Luft. Dann wurde die Außenelektrodenpaste, die Ag enthielt, auf beide Kanten des Keramikelements aufgeschichtet, in welchem Anschlüsse der Innenelektroden abwechselnd zu entgegengesetzten Richtungen hin freilagen, und die Ag-Paste wurde durch das Erwärmen auf 800 ºC für 15 min in Luft gebacken, wodurch ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion erhalten wurde. Die verschiedenen elektrischen Eigenschaften des resultierenden laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion sind in den Tabellen 6 bis 10 gezeigt.A laminated body prepared by using green sheets and an internal electrode paste having the same composition as in Example 1 was heated at a temperature in the range of 600 to 1,250 °C in air to remove the binder, thereby calcining the laminated body. The calcined body was sintered by heating at a temperature in the range of 1,000 to 1,200 °C in a nitrogen atmosphere and then at a temperature in the range of 1,200 to 1,350 °C in a reducing atmosphere, followed by re-oxidation by heating at a temperature of 900 to 1,100 °C in air. Then, the external electrode paste containing Ag was coated on both edges of the ceramic element in which terminals of the internal electrodes were alternately exposed to opposite directions, and the Ag paste was baked by heating at 800 ºC for 15 min in air, thereby obtaining a laminated ceramic capacitor with a varistor function. The various electrical characteristics of the resulting laminated ceramic capacitor with a varistor function are shown in Tables 6 to 10.

Die Experimentbedingungen zur Herstellung laminierter Proben waren 1.200 ºC, 2 h für die Kalzinierung in Luft; insgesamt 2 h zum Erwärmen bei 1.200 ºC in einer Stickstoffatmosphäre und bei 1.300 ºC in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2;: H&sub2; = 99 : 1; und 900 - 1.100 ºC, 2 h für die Re-Oxidation in Luft. Auch die Innenelektrodenpaste und die Außenelektrodenpaste wurden durch das Kalzinieren eines Mischpulvers aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; bei 1.100 ºC für 2 h in Luft hergestellt. Die Figur 4 ist ein Ablaufdiagramm, das das Herstellungsverfahren zeigt.The experimental conditions for preparing laminated samples were 1,200 ºC, 2 h for calcination in air; a total of 2 h for heating at 1,200 ºC in a nitrogen atmosphere and at 1,300 ºC in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1; and 900 - 1,100 ºC, 2 h for re-oxidation in air. Also, the internal electrode paste and the external electrode paste were prepared by calcining a mixed powder of NiO and Li₂CO₃ at 1,100 ºC for 2 h in air. Figure 4 is a flow chart showing the preparation process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde, waren mit denjenigen im Beispiel 1 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, so wie dort beschrieben, gemessen. Tabelle 6 Tabelle 7 Tabelle 8 Tabelle 9 Tabelle 10 The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those in Example 1, and various electrical properties were measured as described therein. Table 6 Table 7 Table 8 Table 9 Table 10

Es bestätigte sich, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes des Beispiels 2 (1) wie beabsichtigt die Zeit verzögerte, zu der das Sintern und die Reduktion des Ni, das in dem Innenelektrodenmaterial enthalten war, vervollständigt waren und es brachte sie nahe an die Zeit heran, zu der das Sintern des Keramikelements vollständig durchgeführt war, was die Delamination des laminierten Körpers verhinderte; und (2) die Expansion und Schrumpfung des Innenelektrodenmaterials regelte, die durch den Einschluß von H&sub2;-Gas in Ni hervorgerufen wird, was das Trennen der elektrischen Verbindung der Innenelektroden und den nicht perfekten Kontakt zwischen Außenelektroden und Innenelektroden verhinderte. Deshalb ist zu erwarten, daß der laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion nach Beispiel 2 eine verbesserte Kapazität und Wirkungsweise bezüglich der Stromstoßwiderstandsfähigkeit (350 bis 500 A) hat.It was confirmed that preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step of Example 2 (1) delayed, as intended, the time at which sintering and reduction of Ni contained in the inner electrode material were completed and brought it close to the time at which sintering of the ceramic element was completed, preventing delamination of the laminated body; and (2) controlled expansion and shrinkage of the inner electrode material caused by inclusion of H2 gas in Ni, preventing disconnection of the electrical connection of the inner electrodes and imperfect contact between outer electrodes and inner electrodes. Therefore, the laminated ceramic capacitor with varistor function of Example 2 is expected to have improved capacitance and performance in terms of surge withstand capability (350 to 500 A).

Dieselbe Elektrodenpaste wie im Beispiel 1, die durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in Ni oder Ni enthaltenden Verbindung hergestellt wurde, und eine Außenelektrode mit derselben Struktur wie im Beispiel 1 können ebenfalls im Beispiel 2 verwendet werden.The same electrode paste as in Example 1, prepared by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group containing Li, Na and K in Ni or Ni-containing compound, and a Outer electrode with the same structure as in Example 1 can also be used in Example 2.

Beispiel 3Example 3

Muster einer Innenelektrodenpaste, die durch das Hinzufügen von 0,5 Mol-% Li&sub2;CO&sub3; zu NiO erhalten und einem Bindemittel dispergiert wurden, wurden auf Rohflächengebilde mit derselben Keramikzusammensetzung wie in den Beispielen 1 und 2 aufgedruckt, um einen laminierten Körper auszubilden. Eine Außenelektrodenpaste, die durch das Hinzufügen von Li&sub2;CO&sub3; zu NiO erhalten und in einem Bindemittel dispergiert wurde, wurde auf beide Kanten des Keramikelements des laminierten Körpers aufgeschichtet, bei welchem Anschlüsse der Innenelektroden abwechselnd in entgegengesetzte Richtungen freilagen, bei einer Temperatur im Bereich von 600 bis 1.250 ºC in Luft erwärmt, um das Bindemittel zu entfernen, wodurch der laminierte Körper kalziniert wurde. Dann wurde der laminierte Körper bei einer Temperatur im Bereich von 1.200 bis 1.350 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert, bei einer Temperatur von 900 bis 1.100 ºC in Luft nach dem Sintern reoxidiert und bei einer Temperatur von 350 bis 800 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre re-reduziert, um einen laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion zu erhalten.Patterns of an internal electrode paste obtained by adding 0.5 mol% Li₂CO₃ to NiO and dispersed in a binder were printed on green sheets having the same ceramic composition as in Examples 1 and 2 to form a laminated body. An external electrode paste obtained by adding Li₂CO₃ to NiO and dispersed in a binder was coated on both edges of the ceramic member of the laminated body in which terminals of the internal electrodes were alternately exposed in opposite directions, heated at a temperature in the range of 600 to 1,250 °C in air to remove the binder, thereby calcining the laminated body. Then, the laminated body was sintered at a temperature in the range of 1,200 to 1,350 ºC in a reducing atmosphere, re-oxidized at a temperature of 900 to 1,100 ºC in air after sintering, and re-reduced at a temperature of 350 to 800 ºC in a reducing atmosphere to obtain a laminated ceramic capacitor with a varistor function.

Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, der so erhalten wurde, sind in Tabelle 11 gezeigt. Die Experimentbedingungen zur Herstellung der laminierten Proben waren 1.200 ºC, 2 h zur Entfernung des Bindemittels und zum Kalzinieren in Luft; 1.300 ºC, 2 h zum Sintern in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99 :1; 900 ºC, 2 h zur Re-Oxidation in Luft; und 400 ºC, 30 min zur Re-Reduktion in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2;: H&sub2; = 99 : 1. Auch wurden die Innenelektrodenpaste und die Außenelektrodenpaste durch das Kalzinieren eines Mischpulvers aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; bei 1.100 ºC für 2 h in Luft hergestellt. Die Figur 5 ist ein Ablaufdiagramm, das dieses Herstellungsverfahren zeigt.The electrical properties of the laminated ceramic capacitor thus obtained are shown in Table 11. The experimental conditions for preparing the laminated samples were 1,200 ºC, 2 h for removing the binder and calcining in air; 1,300 ºC, 2 h for sintering in the reducing atmosphere of N2:H2 = 99:1; 900 ºC, 2 h for re-oxidation in air; and 400 ºC, 30 min for re-reduction in the reducing atmosphere of N2:H2 = 99:1. Also, the inner electrode paste and the outer electrode paste were prepared by calcining a mixed powder of NiO and Li2CO3 at 1,100 ºC for 2 h in air. Figure 5 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde, waren mit denjenigen der Beispiele 1 und 2 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, wie dort beschrieben, gemessen. Tabelle 11 The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 1 and 2, and various electrical properties were measured as described therein. Table 11

In Beispiel 3 stellte sich heraus, daß ein laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion unter Verwendung des Herstellungsverfahrens, wie es in Figur 5 gezeigt ist, ohne weiteres hergestellt werden kann. Da das Ni der Außenelektroden nach der Re-Oxidation des Keramikelements in Beispiel 3 zu NiO oxidiert wird, gingen die Außenelektrodenfunktionen wegen des gesteigerten Widerstandswertes verloren. Deshalb ist ein Schritt zur Reduktion von NiO zu Ni bei den Außenelektoden (im weiteren als Re-Reduktionsschritt bezeichnet) der wichtigste Schritt beim Beispiel 3. Die Außenelektroden wurden 30 min lang bei 400 ºC in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99: 1 bei diesem Beispiel re-reduziert. Es erwies sich, daß, wenn bei niedriger Temperatur oder in einer reduzierenden Atmosphäre, die eine geringere H&sub2;-Konzentration enthielt, re-reduziert wurde, oxidierte Anteile auf der Oberfläche der Außenelektroden verblieben. Übersteigt die Re-Reduktionstemperatur 700 ºC, werden nicht nur die Außenelektroden, sondern das Keramikelement unerwünschterweise reduziert. Aus diesem Grund sollte die Re- Reduktionszeit abgekürzt werden. Die optimale Re-Reduktionstemperatur war gemäß den Experimentergebnissen im Bereich von 400 bis 600 ºC.In Example 3, it was found that a laminated ceramic capacitor having a varistor function can be readily manufactured using the manufacturing method as shown in Figure 5. Since the Ni of the outer electrodes is oxidized to NiO after the re-oxidation of the ceramic element in Example 3, the outer electrode functions were lost due to the increased resistance value. Therefore, a step for reducing NiO to Ni in the outer electrodes (hereinafter referred to as re-reduction step) is the most important step in Example 3. The outer electrodes were re-reduced at 400 °C for 30 minutes in the reducing atmosphere of N₂:H₂=99:1 in this example. It was found that when re-reducing was carried out at a low temperature or in a reducing atmosphere containing a lower H₂ concentration, oxidized portions remained on the surface of the outer electrodes. When the Re-reduction temperature 700 ºC, not only the outer electrodes but also the ceramic element are undesirably reduced. For this reason, the re-reduction time should be shortened. The optimal re-reduction temperature was in the range of 400 to 600 ºC according to the experiment results.

Der Effekt der Widerstandsfähigkeit des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion gegen Stoßstrom wurde merklich auf 200 A vermindert, wenn die Menge des Li&sub2;CO&sub3;, die den Außenelektroden beigegeben wurde, 1,0 Mol- % überschritt (300 bis 400 A für 1,0 Mol- % oder weniger Li&sub2;CO&sub3;). Der Grund hierfür ist, daß, wenn sowohl das Außenelektrodenmaterial als auch das Keramikmaterial, gleichzeitig wie im Beispiel 3 gezeigt, gesintert werden, der Anstieg der Li&sub2;CO&sub3;- Menge, die den Außenelektroden zugesetzt wird, die Sintereigenschaften des Ni beschleunigen und Zugbelastungen in der Umgebung der Außenelektroden im Keramikelement hervorrufen kann, was die Erzeugung von Mikrorissen und die Reduktion des Effektes bei der Widerstandsfähigkeit des laminierten Keramikkondensators gegen Stoßstrom hervorrufen kann. Dieses Phänomen steht in Verbindung mit der Dicke der aufgeschichteten Außenelektrodenpaste. Der bevorzugte Effekt bei der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßstrom wird erreicht, wenn die Dicke der aufgeschichteten Außenelektrodenpaste dünner wird. Deshalb sollte die Dicke der aufgeschichteten Außenelektrodenpaste dann auf ein bestimmtes Niveau eingeregelt werden, wenn die zugesetzte Menge an Li&sub2;CO&sub3; größer ist als 1,0 Mol-%.The effect of the surge current resistance of the laminated ceramic capacitor with varistor function was remarkably reduced to 200 A when the amount of Li₂CO₃ added to the outer electrodes exceeded 1.0 mol% (300 to 400 A for 1.0 mol% or less of Li₂CO₃). The reason for this is that when both the outer electrode material and the ceramic material are sintered simultaneously as shown in Example 3, the increase in the amount of Li₂CO₃ added to the outer electrodes may accelerate the sintering properties of Ni and cause tensile stress in the vicinity of the outer electrodes in the ceramic element, which may cause the generation of microcracks and the reduction of the effect of the surge current resistance of the laminated ceramic capacitor. This phenomenon is related to the thickness of the coated external electrode paste. The preferable effect in surge current resistance is achieved as the thickness of the coated external electrode paste becomes thinner. Therefore, the thickness of the coated external electrode paste should be controlled to a certain level when the amount of Li₂CO₃ added is greater than 1.0 mol%.

Obwohl ein Gemisch aus NiO mit Li&sub2;CO&sub3; als pulvriges Ausgangsmaterial für eine Innenelektrodenpaste und eine Außenelektrodenpaste im Beispiel 3 verwendet wurde, kann, wie im Beispiel 1 angegeben, ein pulvriges Ausgangsmaterial für die Innen- und Außenelektrodenpaste verwendet werden, das erhalten wird durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung.Although a mixture of NiO with Li₂CO₃ was used as a powdery raw material for an internal electrode paste and an external electrode paste in Example 3, as stated in Example 1, a powdery raw material for the internal and external electrode paste obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a compound containing Ni can be used.

Auch kann, wie im Beispiel 1 angegeben, ein pulvriges Ausgangsmaterial für eine Außenelektrodenpaste verwendet werden, das erhalten wird durch das Lösen einer Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht und mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenen Verbindung.Also, as indicated in Example 1, a powdery starting material for an external electrode paste can be used, which is obtained by dissolving a Combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound.

Beispiel 4Example 4

Ein laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion wurde durch Verwendung einer Elektrodenpaste hergestellt, die erhalten wurde durch das weitere Zusetzen von Pd zur Außenelektrodenpaste des Beispiels 3, d.h. durch das weitere Zugeben von Pd zur Außenelektrodenpaste, in welcher 0,5 Mol-% Li&sub2;CO&sub3; zu NiO hinzugefügt werden, und zwar gemäß einem Herstellungsverfahren, wie es in Figur 5 gezeigt ist. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, der so erhalten wurde, sind in Tabelle 12 gezeigt.A laminated ceramic capacitor having a varistor function was manufactured by using an electrode paste obtained by further adding Pd to the external electrode paste of Example 3, i.e., by further adding Pd to the external electrode paste in which 0.5 mol% of Li₂CO₃ is added to NiO, according to a manufacturing method as shown in Figure 5. The electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor thus obtained are shown in Table 12.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Schichten waren mit denjenigen der Beispiele 1 bis 3 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, wie dort beschrieben, gemessen. Tabelle 12 The other manufacturing conditions such as the number of laminated layers were identical to those of Examples 1 to 3, and various electrical properties were measured as described therein. Table 12

Es bestätigte sich, daß der laminierte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion gemäß Beispiel 4, welcher hergestellt wurde durch die Verwendung eines Außenelektrodenmaterials, das durch das Hinzufügen von Pd sowie Li&sub2;CO&sub3; zu NiO erhalten wurde, einen geringeren Tan &delta; und einen niedrigeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) im Vergleich zum Kondensator des Beispiels 3 hatte. Dies lag daran, daß das zugeführte Pd als Reduktionsmittel wirkt, das die Oxidation auf der Oberfläche der Außenelektroden steuern und somit deren Widerstandswert verringern kann. Es bestätigte sich ebenfalls, daß der gleiche Effekt dieses Additivs erhalten werden konnte, wenn Pt oder ein Gemisch von Pd und Pt zum Außenelektrodenmaterial zugefügt wurde.It was confirmed that the laminated ceramic capacitor with a varistor function according to Example 4, which was prepared by using an outer electrode material obtained by adding Pd and Li₂CO₃ to NiO, had a smaller Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) compared with the capacitor of Example 3. This was because the supplied Pd acts as a reducing agent which can control oxidation on the surface of the outer electrodes and thus reduce their resistance value. It was also confirmed that the same effect of this additive could be obtained when Pt or a mixture of Pd and Pt was added to the outer electrode material.

Obwohl ein Gemisch aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; als pulvriges Ausgangsmaterial für eine Innenelektrodenpaste im Beispiel 4 verwendet wurden, kann ein pulvriges Ausgangsmaterial, das erhalten wurde durch das Lösen von mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni-haltigen Verbindung als Innenelektrodenpaste verwendet werden, wie im Beispiel 1 angegeben ist.Although a mixture of NiO and Li2CO3 was used as a powdery raw material for an internal electrode paste in Example 4, a powdery raw material obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a Ni-containing compound can be used as an internal electrode paste as shown in Example 1.

Darüberhinaus kann, wie im Beispiel 1 angegeben ist, obwohl ein Gemisch von NiO, Li&sub2;CO&sub3; und Pd als pulvriges Ausgangsmaterial für die Außenelektrodenpaste im Beispiel 4 verwendet wurde, als Außenelektrodenpaste ein pulvriges Ausgangsmaterial verwendet werden, das erhalten wurde durch das Lösen einer Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, und mindestens einer Verbindung, die ein Pd- Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni-haltigen Verbindung.Moreover, as stated in Example 1, although a mixture of NiO, Li₂CO₃ and Pd was used as the powdery raw material for the external electrode paste in Example 4, a powdery raw material obtained by dissolving a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound can be used as the external electrode paste.

Beispiel 5Example 5

Der Sinterschritt des Beispiels 3 wurde ersetzt durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei 1.200 bis 1.350 ºC. Dieselben Re- Oxidations- und Re-Reduktionsschritte wie im Beispiel 3 wurden verwendet, um einen laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion herzustellen. Die Figur 6 ist ein Ablaufdiagramm, das diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 3 was replaced by a first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at 1,200 to 1,350 ºC. The same re- Oxidation and re-reduction steps as in Example 3 were used to fabricate a laminated ceramic capacitor with varistor function. Figure 6 is a flow chart showing this fabrication process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 1 bis 4 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, wie dort beschrieben, gemessen.The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Examples 1 to 4, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast die gleichen elektrischen Eigenschaften wie im Beispiel 4 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 5 verbesserte Kapazität und einen besseren Effekt bei der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßstrom (350 bis 500 A) im Vergleich mit demjenigen des Beispiels 3 hatte. Dies lag daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstofffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, die Lösung elektrischer Verbindungen der Innenelektroden und den unvollständigen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angegeben ist.Almost the same electrical properties as in Example 4 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 5 had improved capacitance and a better effect in withstanding surge current (350 to 500 A) compared with that of Example 3. This was because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevented delamination of the capacitor, dissolution of electrical connections of the internal electrodes and incomplete contact between the internal electrodes and the external electrodes, as stated in Example 2.

Es bestätigte sich, daß bei Verwendung der Außenelektroden des Beispiels 4, welche Pd enthielten, im Beispiel 5 der resultierende laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion einen geringeren Tan &delta; und äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität sowie Widerstandswirkung gegen Stoßstrom hatte. Es bestätigte sich ebenfalls, daß dieser Effekt des Additivs auch erhalten werden konnte, wenn nicht nur Pd, sondern Pt oder ein Gemisch aus Pd und Pt verwendet wurde.It was confirmed that when the outer electrodes of Example 4 containing Pd were used in Example 5, the resulting laminated ceramic capacitor with varistor function had a lower tan δ and equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and surge current resistance. It was also confirmed that this effect of the additive could also be obtained when not only Pd but Pt or a mixture of Pd and Pt was used.

Beispiel 6Example 6

Ein laminierter Körper, der hergestellt wurde durch das Aufdrucken von Mustern mit einer Innenelektrodenpaste, bei welcher 0,5 Mol-% Li&sub2;CO&sub3; zu NiO zugegeben und in einem Bindemittel dispergiert wurde, auf Rohflächengebilde mit derselben Zusammensetzung wie in den Beispielen 1 bis 5, wurde auf eine Temperatur im Bereich von 600 bis 1.250 ºC in Luft erwärmt, um so das Bindemittel zu entfernen, wodurch der laminierte Körper kalziniert wurde. Dann wurde eine Außenelektrodenpaste mit derselben Zusammensetzung wie diejenige der Innenelektrodenpaste auf beide Kanten der Innenelektroden des kalzinierten Körpers aufgeschichtet, bei welchem Anschlüsse der Innenelektroden abwechselnd in verschiedene Richtungen freilagen. Der kalzinierte Körper wurde als nächstes bei einer Temperatur im Bereich von 1.200 bis 1.350 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert. Der kalzinierte Körper wurde durch das Erwärmen bei einer Temperatur von 900 bis 1.100 ºC in Luft reoxidiert und dann bei einer Temperatur von 360 bis 800 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre re-reduziert, um einen laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion herzustellen. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, der so erhalten wurde, sind in Tabelle 13 gezeigt. Die Experimentbedingungen zur Herstellung der laminierten Probe waren 1.200 ºC, 2 h für die Entfernung des Bindemittels und die Kalzinierung in Luft; 1.300 ºC, 2 h zum Sintern in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2;: H&sub2; = 99: 1; 900 ºC, 2 h zur Re- Oxidation in Luft; und 400 ºC, 30 min zur Re-Reduktion in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99 : 1. Ebenfalls wurden die Innenelektrodenpaste und die Außenelektrodenpaste durch die Verwendung eines Pulvers hergestellt, welches erhalten wurde durch das Kalzinieren eines Mischpulvers aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; bei 1.100 ºC für 2 h in Luft. Figur 7 ist ein Ablaufdiagramm, das diesen Herstellungsprozeß zeigt.A laminated body prepared by printing patterns with an internal electrode paste in which 0.5 mol% of Li₂CO₃ was added to NiO and dispersed in a binder on green sheets having the same composition as in Examples 1 to 5 was heated to a temperature in the range from 600 to 1,250 ºC in air so as to remove the binder, whereby the laminated body was calcined. Then, an outer electrode paste having the same composition as that of the inner electrode paste was coated on both edges of the inner electrodes of the calcined body in which terminals of the inner electrodes were alternately exposed in different directions. The calcined body was next sintered at a temperature in the range of 1,200 to 1,350 ºC in a reducing atmosphere. The calcined body was re-oxidized by heating at a temperature of 900 to 1,100 ºC in air and then re-reduced at a temperature of 360 to 800 ºC in a reducing atmosphere to prepare a laminated ceramic capacitor having a varistor function. The electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor thus obtained are shown in Table 13. The experimental conditions for preparing the laminated sample were 1,200 °C, 2 h for binder removal and calcination in air; 1,300 °C, 2 h for sintering in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1; 900 °C, 2 h for re-oxidation in air; and 400 °C, 30 min for re-reduction in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1. Also, the inner electrode paste and the outer electrode paste were prepared by using a powder obtained by calcining a mixed powder of NiO and Li₂CO₃ at 1,100 °C for 2 h in air. Figure 7 is a flow chart showing this preparation process.

Die weiteren Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 1 bis 5 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, wie dort beschrieben, gemessen. Tabelle 13 The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 1 to 5, and various electrical properties were measured as described therein. Table 13

Der Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßstrom für diesen laminierten Keramikkondensator war 300 bis 400 A.The surge current withstand performance for this laminated ceramic capacitor was 300 to 400 A.

Beispiel 7Example 7

Der Sinterschritt des Beispiels 6 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Dieselben Re-Oxidations und Re-Reduktionsschritte wie im Beispiel 6 wurden verwendet, um einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion herzustellen. Die Figur 8 ist ein Ablaufdiagramm, das diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 6 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 °C and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 °C. The same re-oxidation and re-reduction steps as in Example 6 were used to produce a laminated ceramic capacitor with a varistor function. Figure 8 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie beispielsweise die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 1 bis 6 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, wie dort beschrieben, gemessen.The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 1 to 6, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie im Beispiel 6 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 7 eine verbesserte Kapazität sowie einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stromstöße (350 bis 500 A) im Vergleich zu demjenigen des Beispiels 6 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die De-Lamination des Kondensators, das Lösen der elektrischen Lösen der elektrischen Verbindungen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angegeben wurde.Almost the same electrical properties as in Example 6 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 7 had an improved capacitance as well as an improved effect on withstanding current surge (350 to 500 A) compared with that of Example 6. This is because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevented de-lamination of the capacitor, release of the electrical Prevents loosening of the electrical connections of the inner electrodes and imperfect contact between the inner electrodes and the outer electrodes, as indicated in Example 2.

Es bestätigte sich, daß, wenn die Außenelektroden, welche aus der Außenelektrodenpaste hergestellt waren, die ferner Pd enthielt, im Beispiel 7 verwendet wurden, der resultierende laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion einen niedrigeren Tan &delta; und äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandstahigkeit gegen Stromstöße hatte. Es bestätigte sich ebenfalls, daß dieser Effekt des Additivs auch in dem Fall erreicht werden konnte, wo nicht nur Pd verwendet wurde, sondern Pt oder ein Gemisch aus Pd und Pt.It was confirmed that when the external electrodes made of the external electrode paste further containing Pd were used in Example 7, the resulting laminated ceramic capacitor with varistor function had lower Tan δ and equivalent series resistance (ESR) as well as improved capacitance and surge resistance effect. It was also confirmed that this effect of the additive could be achieved even in the case where not only Pd was used, but Pt or a mixture of Pd and Pt.

Ein pulvriges Ausgangsmaterial, das durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni-haltigen Verbindung erhalten wurde, kann für Innen- und Außenelektrodenpaste in den Beispielen 5 bis 7 verwendet werden, wie es beim Beispiel 1 bemerkt wurde.A powdery raw material obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a Ni-containing compound can be used for internal and external electrode pastes in Examples 5 to 7, as noted in Example 1.

Wie im Beispiel 1 angeführt, kann auch ein pulvriges Ausgangsmaterial für eine Außenelektrodenpaste verwendet werden, das hergestellt wird, durch das Lösen einer Kombination von mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht und mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni-haltigen Verbindung.As mentioned in Example 1, a powdery raw material for an external electrode paste prepared by dissolving a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound can also be used.

Wie in den Beispielen 1 bis 7 beschrieben, ist ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion mit Ni-Innenelektroden entwickelt worden. Wenn Ni, das ein Basismetall ist, in den Innenelektroden verwendet wird, ist, da Ni bei relativ niedrigen Temperaturen oxidiert wird und die Außenelektroden ohne weiteres isoliert werden, vorgeschlagen worden, daß ein Atom, wie Li, Na oder K in Ni oder einer Ni enthaltenen Verbindung gelöst wird, um durch Valenzsteuerung die Oxidation zu vermindern. Gemäß dieses Verfahrens wird die Oxidation der Ni-Innenelektroden merklich vermindert und deshalb kann ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion mit hervorragenden elektrischen Eigenschaften für die praktische Verwendung, einschließlich Zuverlässigkeit und Lebensdauer, erhalten werden.As described in Examples 1 to 7, a laminated ceramic capacitor having a varistor function with Ni internal electrodes has been developed. When Ni, which is a base metal, is used in the internal electrodes, since Ni is oxidized at relatively low temperatures and the external electrodes are easily insulated, it has been proposed that an atom such as Li, Na or K be incorporated in Ni or a Ni-containing compound is dissolved to reduce oxidation by valence control. According to this method, oxidation of the Ni inner electrodes is remarkably reduced and therefore a laminated ceramic capacitor with a varistor function having excellent electrical properties for practical use including reliability and durability can be obtained.

Wenn die Außenelektroden, die Nickel als Hauptbestandteil enthalten, und ebenso die Innenelektroden verwendet werden, enthalten sowohl die Außenelektroden als auch die Innenelektroden Nickel als Hauptbestandteil, was es möglich macht, einen laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion bei niedrigen Herstellungskosten zu produzieren.When the outer electrodes containing nickel as the main component and the inner electrodes are used, both the outer electrodes and the inner electrodes contain nickel as the main component, which makes it possible to produce a laminated ceramic capacitor with a varistor function at a low manufacturing cost.

Wenn ferner mindestens eine Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, den Außenelektroden zugesetzt wird, werden die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators verbessert.Further, when at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom is added to the external electrodes, the electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor are improved.

Die Ni-Außenelektroden (d.h. Außenelektroden, die als Hauptbestandteil Ni enthalten) haben eine Anzahl von Vorteilen bezüglich der Montage des Kondensators und bezüglich elektrischer Eigenschaften des Kondensators, wie zum Beispiel hervorragende elektrische Verbindung zu den Ni-Innenelektroden (d.h. Innenelektroden, die Ni als Hauptbestandteil enthalten), Wärmewiderstandsfähigkeit gegenüber Weichlot, geringe Impedanzeigenschaften, eine geringere Wahrscheinlichkeit der Migration, und ähnliches, verglichen mit herkömmlichem Ag oder Ag-Pd-Außenelektroden. Wie jedoch im Beispiel 3 angeführt ist, können, wenn die Menge an Li&sub2;CO&sub3;, die den Außenelektroden zugeführt wird, erhöht wird, Mikrorisse in der Umgebung der Außenelektroden des Keramikelements aufgrund des Unterschiedes beim Schrumpfungsverhältnis zwischen den Ni-Außenelektroden und dem keramischen Element auftreten, was einige Nachteile, wie zum Beispiel schlechtere elektrische Eigenschaften, geringe Zuverlässigkeit und eine kürzere Lebensdauer mit sich bringt. Um diese Probleme zu lösen, sind die folgenden Verfahren vorgeschlagen worden, um den Unterschied im Schrumpfungsverhältnis zu verringern:The Ni outer electrodes (i.e., outer electrodes containing Ni as a main component) have a number of advantages in terms of assembling the capacitor and in terms of electrical properties of the capacitor, such as excellent electrical connection to the Ni inner electrodes (i.e., inner electrodes containing Ni as a main component), heat resistance to soft solder, low impedance characteristics, a lower probability of migration, and the like, compared with conventional Ag or Ag-Pd outer electrodes. However, as mentioned in Example 3, when the amount of Li₂CO₃ supplied to the outer electrodes is increased, microcracks may occur in the vicinity of the outer electrodes of the ceramic element due to the difference in shrinkage ratio between the Ni outer electrodes and the ceramic element, which brings about some disadvantages such as inferior electrical properties, low reliability, and a shorter service life. To solve these problems, the following methods have been proposed to reduce the difference in shrinkage ratio:

(1) Zugabe desselben Materials wie dasjenige, das für das keramische Element verwendet wurde, zur Außenelektrodenpaste;(1) Adding the same material as that used for the ceramic element to the external electrode paste;

(2) Steuerung der Teilchengröße und Viskosität der Außenelektrodenpaste;(2) Controlling the particle size and viscosity of the outer electrode paste;

(3) Überprüfen der Sinterbedingungen; und(3) Checking the sintering conditions; and

(4) Überprüfen der Dicke der Außenelektrodenpaste nach dem Beschichten.(4) Checking the thickness of the outer electrode paste after coating.

Die Verfahren (1) - (3) sind kaum effektiv und keine grundlegenden Lösungen. Was das Verfahren (4) betrifft, treten, wenn die Dicke der Außenelektrodenpaste größer als 40 µm wird, in merklichem Maße Mikrorisse auf. Die Erzeugung der Mikrorisse verschwindet, wenn die aufgeschichtete Dicke so dünn wie möglich gemacht wird, was in der Verbesserung der elektrischen Eigenschaften, der Zuverlässigkeit und der Lebensdauer des laminierten Keramikkondensators resultiert.The methods (1) - (3) are hardly effective and are not fundamental solutions. As for the method (4), when the thickness of the external electrode paste becomes larger than 40 μm, microcracks occur to a noticeable extent. The generation of the microcracks disappears when the coated thickness is made as thin as possible, resulting in the improvement of the electrical characteristics, reliability and life of the laminated ceramic capacitor.

Wenn jedoch das obige Verfahren (4) durchgeführt wird, können die Außenelektroden mit einer geringeren Dicke manchmal schlechtere elektrische Verbindungen mit den Innenelektroden hervorrufen und die Zugbelastungsfähigkeit der Außenelektroden kann manchmal verringert werden, was es schwierig macht, ein Testen des laminierten Halbleiterkeramikkondensators durchzuführen, der auf einem Substrat montiert ist.However, when the above method (4) is performed, the external electrodes having a smaller thickness may sometimes cause poorer electrical connections with the internal electrodes, and the tensile load capacity of the external electrodes may sometimes be reduced, making it difficult to perform testing of the laminated semiconductor ceramic capacitor mounted on a substrate.

Deshalb können, wenn die dünnen Ni-Außenelektroden mit weiteren Ag oder Ag-Pd- Außenelektroden abgedeckt werden, hervorragende elektrische Verbindungen mit den Innenelektroden und eine verbesserte Zugbelastungsfähigkeit der Außenelektroden erreicht werden, was diese Probleme eliminiert.Therefore, when the thin Ni outer electrodes are covered with additional Ag or Ag-Pd outer electrodes, excellent electrical connections with the inner electrodes and improved tensile load capacity of the outer electrodes can be achieved, eliminating these problems.

Die folgenden Beispiele stellen ein Herstellungsverfahren unter Verwendung dieses Verfahrens dar.The following examples illustrate a manufacturing process using this method.

Beispiel 8Example 8

Zuerst wurden 0,1 Mol-% Li&sub2;CO&sub3;-Pulver zu einem NiO-Pulver mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,5 µm oder weniger und einer Reinheit von 90 % oder höher hinzugegeben, und das Gemisch wurde in Luft bei einer Temperatur von 1.100 ºC 2 h lang kalziniert. Das kalzinierte Pulver wurde als Ausgangsmaterial für Innenelektroden verwendet und ein weiteres kalziniertes Pulver, das hergestellt wurde durch die Zugabe von 1,0 Mol- % Li&sub2;CO&sub3; zu NiO wurde als Ausgangsmaterial für die Außenelektroden verwendet. Die pulvrigen Ausgangsmaterialien wurden in einem Lösungsmittel zusammen mit einem organischen Bindemittel, wie zum Beispiel einer Butyralharzverbindung, dispergiert, um eine Innen- und Außenelektrodenpaste auszubilden. Dann wurde, wie in Figur 2 gezeigt, eine Zusammensetzung von 97 Mol-% SrTiO&sub3; (Sr/Ti=0,97), 0,5 Mol-% Nb&sub2;O&sub5;, 0,5 Mol-% Ta&sub2;O&sub5;, 1,0 Mol-% MnO&sub2; und 1,0 Mol-% SiO&sub2; zu Rohflächengebilden 1a, 1b und 1c mit einer Dicke von ungefähr 30 µm durch das Rakelverfahren ausgebildet, und die Rohflächengebilde 1b wurden zu einer vorbestimmten Größe zugeschnitten. Muster der Innenelektrodenpaste 2 wurden auf die Roh-Flächengebilde 1b durch ein Siebdruckverfahren gemäß der vorbestimmten Größe aufgedruckt, wie in Figur 2 gezeigt ist. Wie aus Figur 2 hervorgeht, wurde die Ni-Innenelektrodenpaste 2 nicht auf die obersten und untersten Rohflächengebilde 1a und 1c aufgedruckt. Die Muster der Innenelektrodenpaste 2, die auf die mittleren Schichten der laminierten Rohflächengebilde 1b aufgedruckt waren, erreichten eine Kante der Flächengebilde, und die Rohflächengebilde werden auf eine solche Weise gestapelt, daß die Kanten, welche die Innenelektroden erreichen, abwechselnd übereinandergelegt wurden und die Kanten, welche die Innenelektroden nicht erreichen, abwechselnd übereinandergelegt wurden. Die obersten und untersten Rohflächengebilde 1a und 1c wurden auf die obersten und untersten Teile (gewöhnlich werden mehrere Rohflächengebilde 1b laminiert) aufgesetzt, und die Rohflächengebilde 1b mit der obigen Innenelektrodenpaste darauf wurden dazwischen laminiert. Dann wurden die laminierten Rohflächengebilde 1b wärmeverpreßt und miteinander mit den obersten und untersten Rohflächengebilden 1a und 1c in Kontakt gebracht, um einen laminierten Körper zu erhalten. Dann wurde die Außenelektrodenpaste (d.h. die untere Schicht der Außenelektrodenpaste), die Ni als Hauptkomponente enthält, bis zu einer Dicke von ungefähr 20 µm auf beide Kanten laminierten Körpers aufgeschichtet, bei welchem Anschlüsse der Innenelektrodenpaste 2 abwechselnd zu den gegenüberliegenden Enden freilagen. Der laminierte Körper wurde dann bei einer Temperatur im Bereich von 600 bis 1.250 ºC in Luft erwärmt, um das Bindemittel zu entfernen, wodurch der laminierte Körper kalziniert wurde. Der kalzinierte Körper wurde durch das Erwärmen bei 1.200 bis 1.350 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert. Nach dem Sintern wurde eine weitere Ag oder Ag-Pd (enthielt 10 Gew.-% Pd)- Außenelektrodenpaste (d.h. obere Schicht der Außenelektrodenpaste) auf die Außenelektroden 3a aufgeschichtet und die Ag-Paste wurde durch das Erwärmen auf 600 bis 950 ºC in Luft gebacken, wodurch ein laminierter Keramikkondensator 4a mit Varistorfunktion erhalten wurde, wie in Figur 9 gezeigt ist, der mehrere Innenelektroden 2a im Keramikelement aufwies, wobei die Anschlüsse der Innenelektroden 2a abwechselnd einer nach dem anderen ihre gegenüberliegende Kante des Keramikelements erreichten, und wobei die Außenelektroden 3a an gegenüberliegenden Kanten des Keramikelements so angeordnet waren, daß die Außenelektroden 3a elektrisch mit den Anschlüssen der Innenelektroden 2a verbunden werden können, die zu den Kanten des Elements abwechselnd freiliegen, und wobei Weitere Ag oder Ag-Pd-Außenelektroden 3b auf den Außenelektroden 3a angeordnet sind.First, 0.1 mol% of Li₂CO₃ powder was added to a NiO powder having an average particle size of 0.5 μm or less and a purity of 90% or higher, and the mixture was calcined in air at a temperature of 1,100 °C for 2 hours. The calcined powder was used as a raw material for internal electrodes, and another calcined powder prepared by adding 1.0 mol% of Li₂CO₃ to NiO was used as a raw material for the external electrodes. The powdery raw materials were dispersed in a solvent together with an organic binder such as a butyral resin compound to form an internal and external electrode paste. Then, as shown in Figure 2, a composition of 97 mol% of SrTiO₃ was prepared. (Sr/Ti=0.97), 0.5 mol% of Nb₂O₅, 0.5 mol% of Ta₂O₅, 1.0 mol% of MnO₂ and 1.0 mol% of SiO₂ were formed into green sheets 1a, 1b and 1c having a thickness of about 30 µm by the doctor blade method, and the green sheets 1b were cut into a predetermined size. Patterns of the internal electrode paste 2 were printed on the green sheets 1b by a screen printing method according to the predetermined size, as shown in Fig. 2. As is clear from Fig. 2, the Ni internal electrode paste 2 was not printed on the uppermost and lowermost green sheets 1a and 1c. The patterns of the internal electrode paste 2 printed on the middle layers of the laminated green sheets 1b reached an edge of the sheets, and the green sheets are stacked in such a manner that the edges reaching the internal electrodes were alternately superimposed and the edges not reaching the internal electrodes were alternately superimposed. The uppermost and lowermost green sheets 1a and 1c were put on the uppermost and lowermost parts (usually, a plurality of green sheets 1b are laminated), and the green sheets 1b having the above internal electrode paste thereon were laminated therebetween. Then, the laminated green sheets 1b were heat-pressed and brought into contact with each other with the uppermost and lowermost green sheets 1a and 1c to form a laminated body. Then, the external electrode paste (i.e., the lower layer of the external electrode paste) containing Ni as a main component was coated to a thickness of about 20 µm on both edges of the laminated body in which terminals of the internal electrode paste 2 were alternately exposed to the opposite ends. The laminated body was then heated at a temperature in the range of 600 to 1,250 ºC in air to remove the binder, thereby calcining the laminated body. The calcined body was sintered by heating at 1,200 to 1,350 ºC in a reducing atmosphere. After sintering, another Ag or Ag-Pd (containing 10 wt% Pd) external electrode paste (i.e., upper layer of external electrode paste) was coated on the external electrodes 3a, and the Ag paste was baked by heating at 600 to 950 °C in air, thereby obtaining a laminated ceramic capacitor 4a with varistor function as shown in Figure 9, which had a plurality of internal electrodes 2a in the ceramic element, the terminals of the internal electrodes 2a alternately reaching their opposite edge of the ceramic element one by one, and the external electrodes 3a were arranged on opposite edges of the ceramic element so that the external electrodes 3a can be electrically connected to the terminals of the internal electrodes 2a alternately exposed to the edges of the element, and further Ag or Ag-Pd external electrodes 3b were arranged on the external electrodes 3a.

Die Größe des laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion, abgekürzt als Typ 1.3, ist 1,60 mm in der Breite, 3,20 mm in der Länge und 1,20 mm in der Dicke. Der Kondensator umfaßt 30 wirksame Flächengebilde, auf welchen Muster der Innenelektroden aufgedruckt sind. Die Figur 10 ist ein Ablaufdiagramm, das ein Herstellungsverfahren nach der vorliegenden Erfindung zeigt.The size of the laminated ceramic capacitor with a varistor function, abbreviated as Type 1.3, is 1.60 mm in width, 3.20 mm in length and 1.20 mm in thickness. The capacitor comprises 30 effective sheets on which patterns of the internal electrodes are printed. Figure 10 is a flow chart showing a manufacturing process according to the present invention.

Für den so hergestellten laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion sind die elektrischen Eigenschaften wie zum Beispiel Kapazität, Tan &delta;, eine Varistorspannung, ein nicht-linearer Spannungsindex &alpha;, ein äquivalenter Reihenwiderstand (ESR) und der Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme in den Tabellen 14 und 15 gezeigt.For the laminated ceramic capacitor with varistor function thus produced, the electrical properties such as capacitance, Tan δ, a varistor voltage, a non-linear voltage index α, an equivalent series resistance (ESR) and the effect on surge current withstand capability are shown in Tables 14 and 15.

Jede elektrische Eigenschaft wurde unter den folgenden Experimentbedingungen erhalten. Die Experimentbedingungen zur Herstellung der laminierten Proben waren 1.050 ºC, 2 h zum Entfernen des Bindemittels und zur Kalzinierung in Luft und 1.250 ºC, 2 h zum Sintern in der reduzierten Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99 : 1.Each electrical property was obtained under the following experimental conditions. The experimental conditions for preparing the laminated samples were 1,050 ºC, 2 h for binder removal and calcination in air and 1,250 ºC, 2 h for sintering in the reduced atmosphere of N₂:H₂ = 99:1.

* Die Kapazität C wurde bei 1,0 V und 1,0 kHz gemessen.* The capacitance C was measured at 1.0 V and 1.0 kHz.

* Die Varistorspannung V0,1 mA wurde bei 0,1 mA gemessen.* The varistor voltage V0.1 mA was measured at 0.1 mA.

* Der Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; wurde aus den Werten der Varistorspannung, jeweils gemessen bei 0,1 mA und 1,0 mA, unter Verwendung der folgenden Gleichung errechnet:* The voltage nonlinearity index α was calculated from the values of the varistor voltage measured at 0.1 mA and 1.0 mA, respectively, using the following equation:

&alpha; = 1 / log (V1mA/V0,1mA)α; = 1 / log (V1mA/V0.1mA)

* Der äquivalente Reihenwiderstand (ESR) ist als Widerstand bei der Resonanzfrequenz, gemessen bei 1,0 V definiert.* The equivalent series resistance (ESR) is defined as the resistance at the resonance frequency, measured at 1.0 V.

* Der Effekt der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme wurde durch das Messen des Maximalstroms, beobachtet unter den Bedingungen, daß die Stromwelle 8 x 20 µS war, und der Varistorspannungsänderung V0,1mA, geändert um 10 %, errechnet. Tabelle 14 Tabelle 15 * The effect of surge current resistance was calculated by measuring the maximum current observed under the conditions that the current wave was 8 x 20 µS and the varistor voltage change V0.1mA changed by 10%. Table 14 Table 15

Die Proben, die durch das Symbol * in den Tabellen 14 und 15 markiert sind, sind Vergleichsbeispiele. Diese Proben der Halbleiterkeramikelemente, die durch das Symbol * markiert sind, sind nicht ausreichend re-oxidiert und kurzgeschlossen, weil die Backtemperatur der Ag oder Ag-Pd-Außenelektroden geringer war als 800 ºC. Deshalb werden die elektrischen Eigenschaften dieser Elemente nicht gemessen. Wenn die Backtemperatur auf eine Temperatur im Bereich von 800 bis 950 ºC erhöht wird, wird das Keramikelement ausreichend oxidiert und die elektrischen Eigenschaften eines laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion können erreicht werden. Ebenso haben die laminierten Keramikkondensatoren mit Ag-Außenelektroden einen etwas geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) als diejenigen, die Ag-Pd-Außenelektroden haben, und zwar weil Pd einen etwas höheren spezifischen Widerstand hat als Ag.The samples marked by the symbol * in Tables 14 and 15 are comparative examples. These samples of the semiconductor ceramic elements marked by the symbol * are not sufficiently re-oxidized and short-circuited because the baking temperature of the Ag or Ag-Pd outer electrodes was lower than 800 ºC. Therefore, the electrical characteristics of these elements are not measured. When the baking temperature is increased to a temperature in the range of 800 to 950 ºC, the ceramic element is sufficiently oxidized and the electrical characteristics of a laminated ceramic capacitor with a varistor function can be achieved. Likewise, the laminated ceramic capacitors with Ag outer electrodes have a slightly lower equivalent series resistance (ESR) than those having Ag-Pd outer electrodes because Pd has a slightly higher resistivity than Ag.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß der Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme für den laminierten Keramikkondensator 250 A war. Wenn Mikrorisse im Keramikelement auftreten, wird der Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stromstöße gewöhnlich auf 50 A oder niedriger verringert. Aus diesem Grund wird angenommen, daß eine Erzeugung von Mikrorissen in der Umgebung der Außenelektroden des keramischen Elements nicht auftrat.It was also confirmed that the surge current withstand effect for the laminated ceramic capacitor was 250 A. When microcracks occur in the ceramic element, the surge current withstand effect is usually reduced to 50 A or lower. For this reason, it is considered that generation of microcracks in the vicinity of the outer electrodes of the ceramic element did not occur.

Bei der Betrachtung der Innenseite des gesinterten Körpers mit einem Metallmikroskop wurden keine Mikrorisse festgestellt.When examining the inside of the sintered body with a metal microscope, no microcracks were found.

Darüberhinaus bestätigte es sich, daß die elektrische Verbindung des laminierten Keramikkondensators, der im Beispiel 8 erhalten wurde und die Zugfestigkeit seiner Außenelektroden ausreichend waren, um den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu montieren.Furthermore, it was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in Example 8 and the tensile strength of its external electrodes were sufficient to mount the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Die 1,0 Mol-% Li&sub2;CO&sub3; enthaltenden Außenelektroden wurden im Beispiel 8 verwendet. Es bestätigte sich jedoch, daß Außenelektroden mit weniger als 1,0 % Li&sub2;CO&sub3; denselben Effekt bereitstellten.The external electrodes containing 1.0 mol% Li₂CO₃ were used in Example 8. However, it was confirmed that external electrodes containing less than 1.0% Li₂CO₃ provided the same effect.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd zusätzlich zu der NiO-Li&sub2;CO&sub3;-Unterschicht-Außenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) aufwies. Es wurde beobachtet, daß eine Schicht mit relativ hohem Widerstand an der Grenze zwischen der Ni-Unterschicht-Außenelektroden und der Ag oder Ag- Pd-Oberschicht-Außenelektroden ausgebildet wurde, wenn Pd nicht zu der Unterschicht-Außenelektrodenpaste hinzugefügt wurde. Andererseits bestätigte es sich, daß eine solche Widerstandsschicht nicht ausgebildet wurde, wenn Pd der Unterschicht- Außenelektrodenpaste zugefügt wurde, weil eine Legierung aus Ni und Ag oder Ag- Pd durch das zugefügte Pd ausgebildet wird. Jedoch zeigte dieses Phänomon nur dann Wirkung, wenn Pd zu der Unterschicht-Außenelektrodenpaste zugefügt wurde, es war aber nicht wirksam, obwohl Pd zu der Oberschicht-Außenelektrodenpaste hinzugefügt wurde. Auch stellten Pd oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt zur Verfügung.It was also confirmed that when Pd was added in addition to the NiO-Li₂CO₃ underlayer outer electrode paste, the resulting ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR). It was observed that a relatively high resistance layer was formed at the boundary between the Ni underlayer outer electrode and the Ag or Ag-Pd overlayer outer electrode when Pd was not added to the underlayer outer electrode paste. On the other hand, it was confirmed that such a resistance layer was not formed when Pd was added to the underlayer outer electrode paste. outer electrode paste because an alloy of Ni and Ag or Ag-Pd is formed by the added Pd. However, this phenomenon was effective only when Pd was added to the lower layer outer electrode paste, but it was not effective even though Pd was added to the upper layer outer electrode paste. Also, Pd or a combination of Pd and Pt provided the same effect.

Beispiel 9Example 9

Der Sinterschritt aus Beispiel 8 wurde durch ein erstes Erhitzen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierten Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde durch dasselbe Verfahren wie im Beispiel 8 hergestellt, mit der Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 11 ist ein Ablaufdiagramm, das dieses Herstellungsverfahren zeigt.The sintering step of Example 8 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reduced atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. A laminated ceramic capacitor having a varistor function was manufactured by the same method as in Example 8 except for this sintering step. Figure 11 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren identisch mit denjenigen des Beispiels 8, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen.The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Example 8, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie im Beispiel 8 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 9 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A), verglichen mit demjenigen des Beispiels 8 hatte. Dies lag daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, die Lösung der elektrischen Verbindungen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt ist.Almost the same electrical properties as in Example 8 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 9 had an improved capacitance and an improved effect on withstanding surge current (300 A) compared with that of Example 8. This was because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevented the delamination of the capacitor, the dissolution of the electrical connections of the internal electrodes and the imperfect contact between the internal electrodes and the external electrodes, as stated in Example 2.

Es bestätigte sich, daß, wenn Pd zusätzlich zu der Außenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigten Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was confirmed that when Pd was added in addition to the outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and equivalent series resistance (ESR) as well as improved capacitance and surge current resistance. Pt or a combination of Pd and Pt also showed the same effect.

Beispiel 10Example 10

Der gesinterte Körper, der durch dasselbe Verfahren wie in den Beispielen 8 und 9 erhalten wurde, wurde bei 900 ºC 1 h lang in Luft re-oxidiert, bei 400 ºC 1 h lang in einer reduzierenden Atmosphäre von N&sub2;: H&sub2; = 99:1 re-reduziert, gefolgt durch das Beschichten der Ni-Außenelektroden (d.h. Unterschicht-Außenelektroden) mit einer Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste (d.h. Oberschicht-Außenelektrodenpaste), und dann bei 600 bis 950 ºC in Luft gebacken, um einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion herzustellen. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, der so erhalten wurde, sind in den Tabellen 16 und 17 gezeigt. Auch zeigt die Figur 12 ein Ablaufdiagramm, das das Herstellungsverfahren dieses Beispiels darstellt.The sintered body obtained by the same method as in Examples 8 and 9 was re-oxidized at 900 °C for 1 hour in air, re-reduced at 400 °C for 1 hour in a reducing atmosphere of N2:H2 = 99:1, followed by coating the Ni external electrodes (i.e., lower layer external electrodes) with an Ag or Ag-Pd external electrode paste (i.e., upper layer external electrode paste), and then baked at 600 to 950 °C in air to prepare a laminated ceramic capacitor having a varistor function. The electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor thus obtained are shown in Tables 16 and 17. Also, Figure 12 shows a flow chart showing the manufacturing process of this example.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 und 9 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen. Tabelle 16 Tabelle 17 The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Examples 8 and 9, and various electrical properties were measured as described therein. Table 16 Table 17

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften, wie in den Beispielen 8 bis 9 wurden, wie in den Tabellen 16 und 17 gezeigt, erhalten.Almost the same electrical properties as in Examples 8 to 9 were obtained, as shown in Tables 16 and 17.

Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion des Beispiels 10 werden erhalten, wenn die Backtemperatur der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden im Bereich von 600 bis 800 ºC liegt, oder im Bereich von 800 bis 950 ºC, weil der Re-Oxidationsschritt im Beispiel 10, nicht so wie in den Beispielen 8 und 9, dazwischengesetzt wird.The electrical properties of the laminated ceramic capacitor with a varistor function of Example 10 are obtained when the baking temperature of the Ag or Ag-Pd outer electrodes is in the range of 600 to 800 ºC, or in the range of 800 to 950 ºC because the re-oxidation step is interposed in Example 10, not as in Examples 8 and 9.

Wenn jedoch die Re-Reduktionstemperatur 700 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre nach der Reoxidation überschreitet, können nicht nur die Außenelektroden, sondern auch das Keramikelement reduziert werden. Aus diesem Grund sollte die Re-Reduktionszeit oder die H&sub2;-Konzentration gesteuert werden. Die optimale Re- Reduktionstemperatur war gemäß den Experimentalresultaten im Bereich von 400 bis 600 ºC.However, if the re-reduction temperature exceeds 700 ºC in a reducing atmosphere after reoxidation, not only the external electrodes but also the ceramic element may be reduced. For this reason, the re-reduction time or the H₂ concentration should be controlled. The optimal re-reduction temperature was in the range of 400 to 600 ºC according to the experimental results.

Darüberhinaus bestätigte es sich, daß die elektrische Verbindung des im Beispiel 10 erhaltenen laminierten Keramikkondensators und die Zugfestigkeit seiner Außenelektroden geeignet waren, um den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu befestigen.Furthermore, it was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in Example 10 and the tensile strength of its external electrodes were suitable for fixing the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd zusätzlich zur NiO-Li&sub2;CO&sub3;-Außenelektrodenpaste hinzugegeben wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen niedrigeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) hatte. Auch zeigte Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added in addition to the NiO-Li2CO3 outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR). Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Beispiel 11Example 11

Der Sinterschritt des Beispiels 10 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Der gesinterte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde dasselbe Verfahren wie im Beispiel 10 hergestellt, mit Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 13 ist ein Ablaufdiagramm, die diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 10 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. The sintered ceramic capacitor with a varistor function was manufactured by the same method as in Example 10 except for this sintering step. Figure 13 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Fl:chengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 bis 10 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden, wie dort beschrieben, gemessen.The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 8 to 10, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 8 bis 10 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 11 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A) verglichen demjenigen des Beispiels 10 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, das Lösen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt wurde.Almost the same electrical properties as in Examples 8 to 10 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 11 had an improved capacitance and an improved effect on withstanding surge current (300 A) compared with that of Example 10. This is because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevents delamination of the capacitor, loosening of the internal electrodes, and imperfect contact between the internal electrodes and the external electrodes, as mentioned in Example 2.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd noch zu der Unterschichtaußenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigten Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the underlayer outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and an improved surge current withstand effect. Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Beispiel 12Example 12

Der gesinterte Körper, der durch dasselbe Verfahren wie in den Beispielen 8 bis 11 erhalten wurde, wurde bei 900 ºC 1 h lang in Luft re-oxidiert, gefolgt vom beschichten der Außenelektroden mit einer Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste, bei 400 ºC 1 h lang in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2;: H&sub2; = 99 : 1 reduziert und dann bei einer Temperatur im Bereich von 600 bis 950 ºC 30 min lang in Luft wärmebehandelt, um einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion herzustellen. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion sind in den Tabellen 18 und 19 gezeigt. Die Figur 14 ist ein Ablaufdiagramm, das den Herstellungsvorgang dieses Beispiels zeigt.The sintered body obtained by the same method as in Examples 8 to 11 was re-oxidized at 900 °C for 1 hour in air, followed by coating the external electrodes with an Ag or Ag-Pd external electrode paste, reduced at 400 °C for 1 hour in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1, and then heat-treated at a temperature in the range of 600 to 950 °C for 30 minutes in air to prepare a laminated ceramic capacitor having a varistor function. The electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor having a varistor function are shown in Tables 18 and 19. Figure 14 is a flow chart showing the manufacturing process of this example.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 bis 11 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen. Tabelle 18 Tabelle 19 The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Examples 8 to 11, and various electrical properties were measured as described therein. Table 18 Table 19

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 8 bis 11 wurden, wie in den Tabellen 18 und 19 gezeigt ist, erhalten.Almost the same electrical properties as in Examples 8 to 11 were obtained, as shown in Tables 18 and 19.

Das Verfahren des Beispiels 12 umfaßt die folgenden Schritte: Beschichten des gesinterten Körpers mit der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste unmittelbar nach der Re-Oxidation; Re-Reduzieren in einer reduzierenden Atmosphäre; und Wärmebehandlung des Körpers in Luft. Der resultierende laminierte Keramikkondensator hat höhere Kapazität, Varistor-Spannungs-Produkt und Spannungs- Nichtlinearitätsindex als derjenige der Beispiele 10 und 11. Wie in den Beispielen 10 und 11 beschrieben, können, wenn die Re-Reduktionstemperatur 700 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre nach der Re-Oxidation übersteigt, nicht nur die Außenelektroden, sondern auch das Keramikelement reduziert werden. Aus diesem Grund sollte die Reduktionszeit oder die H&sub2;-Konzentration gesteuert werden. Gemäß den experimentellen Resultaten war die optimale Re-Reduktionstemperatur im Bereich von 400 bis 600 ºC.The process of Example 12 comprises the following steps: coating the sintered body with the Ag or Ag-Pd outer electrode paste immediately after re-oxidation; re-reducing in a reducing atmosphere; and heat treating the body in air. The resulting laminated ceramic capacitor has higher capacitance, varistor voltage product and voltage nonlinearity index than those of Examples 10 and 11. As in Examples 10 and 11, when the re-reduction temperature exceeds 700 ºC in a reducing atmosphere after re-oxidation, not only the outer electrodes but also the ceramic element may be reduced. For this reason, the reduction time or the H₂ concentration should be controlled. According to the experimental results, the optimum re-reduction temperature was in the range of 400 to 600 ºC.

Es bestätigte sich jedoch, daß die elektrische Verbindung des laminierten Keramikkondensators, der in diesem Beispiel erhalten wurde, und die Zugfestigkeit seiner Außenelektroden geeignet waren, um den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu befestigen.However, it was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in this example and the tensile strength of its external electrodes were suitable for fixing the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Es bestätigte sich ebenso, daß, wenn noch Pd zu der NiO-Li&sub2;CO&sub3;-Außenelektrodenpaste hinzugegeben wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) hatte. Auch zeigten Pt, oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the NiO-Li2CO3 outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and equivalent series resistance (ESR). Also, Pt, or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Beispiel 13Example 13

Der Sinterschritt des Beispiels 12 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Der gesinterte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde dasselbe Verfahren wie im Beispiel 12 hergestellt, mit Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 15 ist ein Ablaufdiagramm, die diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 12 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. The sintered ceramic capacitor with a varistor function was manufactured by the same method as in Example 12 except for this sintering step. Figure 15 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 bis 12 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen.The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 8 to 12, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 8 bis 12 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 13 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A) verglichen demjenigen des Beispiels 12 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, das Lösen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt wurde.Almost the same electrical properties as in Examples 8 to 12 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 13 had an improved capacitance and an improved effect on withstanding surge current (300 A) compared with that of Example 12. This is because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevents delamination of the capacitor, loosening of the internal electrodes, and imperfect contact between the internal electrodes and the external electrodes, as mentioned in Example 2.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd noch zu der Unterschichtaußenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigten Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the underlayer outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and an improved surge current withstand effect. Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Gemäß den sechs verschiedenen Verfahren der Beispiele 8 bis 13 kann ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion mit befriedigenden elektrischen Eigenschaften und mechanischer Festigkeit durch das Beschichten eines laminierten Körpers mit einer Ni-Außenelektrodenpaste erhalten werden. Bei den Verfahren der Beispiele 8 und 9 kann der Backschritt der Ag- oder Ag-Pd- Außenelektroden auch der Re-Oxidationsschritt des Keramikelements sein. Deshalb ist die Backtemperatur auf 800 ºC oder höher begrenzt, was es schwierig macht, die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, wie zum Beispiel Kapazität oder Varistorspannung zu steuern. Jedoch hat der resultierende laminierte Keramikkondensator konstante elektrische Eigenschaften, die sich sehr gut ergeben, und eine gute Reproduzierbarkeit für praktische Verwendungen. Andererseits macht es, da die Verfahren der Beispiele 10 bis 13 einen Re-Oxidationsschritt involvieren, der zusätzlich zum Backschritt bereitgestellt wird, die Regulierung der Re- Oxidationstemperatur und der Temperaturen in den darauffolgenden Schritten leichter, die elektrischen Eigenschaften zu steuern. Es gibt jedoch noch einen weiteren Aspekt dieser Verfahren, der darin liegt, daß es schwierig ist, den Re- Reduktionsschritt in einer reduzierenden Atmosphäre nach der Re-Oxidation zu steuern. Auch treten die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators in den Beispielen 8 und 9 auf, wenn die Backtemperatur der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden 800 ºC erreichen, und zwar nicht nur weil die Korngrenzen des Keramikelements oxidiert werden, sondern weil Glasflaxen in der Außenelektrodenpaste enthalten sind.According to the six different methods of Examples 8 to 13, a laminated ceramic capacitor having a varistor function with satisfactory electrical properties and mechanical strength can be obtained by coating a laminated body with a Ni external electrode paste. In the methods of Examples 8 and 9, the baking step of the Ag or Ag-Pd external electrodes may also be the re-oxidation step of the ceramic element. Therefore, the baking temperature is limited to 800 °C or higher, making it difficult to control the electrical properties of the laminated ceramic capacitor such as capacitance or varistor voltage. However, the resulting laminated ceramic capacitor has constant electrical properties that are very good and good reproducibility for practical uses. On the other hand, since the methods of Examples 10 to 13 involve a re-oxidation step provided in addition to the baking step, the regulation of the re-oxidation temperature and the temperatures in the subsequent steps makes it easier to control the electrical properties. However, there is still a Another aspect of these processes is that it is difficult to control the re-reduction step in a reducing atmosphere after re-oxidation. Also, the electrical properties of the laminated ceramic capacitor in Examples 8 and 9 appear when the baking temperature of the Ag or Ag-Pd outer electrodes reaches 800 ºC, not only because the grain boundaries of the ceramic element are oxidized but because glass flax is contained in the outer electrode paste.

Bei den Verfahren der Beispiele 8 bis 13 wurde ein Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion durch das Beschichten eines laminierten Körpers mit einer Ni- Außenelektrodenpaste (d.h. Außenelektrodenpaste, die Ni als Hauptkomponente enthält) hergestellt. Die folgenden Beispiele 14 bis 19 stellen ein Verfahren zur Herstellung eines laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion durch das Beschichten eines kalzinierten Körpers dar, bei welchem das Bindemittel mit einer Ni-Außenelektrodenpaste (d.h. Außenelektrodenpaste, die Ni als Hauptbestandteil enthält) entfernt wird.In the processes of Examples 8 to 13, a ceramic capacitor having a varistor function was manufactured by coating a laminated body with a Ni external electrode paste (i.e., external electrode paste containing Ni as a main component). The following Examples 14 to 19 illustrate a process for manufacturing a laminated ceramic capacitor having a varistor function by coating a calcined body in which the binder is removed with a Ni external electrode paste (i.e., external electrode paste containing Ni as a main component).

Beispiel 14Example 14

Der laminierte Körper, der unter Verwendung der Innenelektrodenpaste mit derselben Zusammensetzung und denselben Innenelektroden wie in den Beispielen 8 bis 13 erhalten wurde, wurde auf eine Temperatur von 1.050 ºC in Luft erwärmt, wodurch das Bindemittel entfernt und der laminierte Körper kalziniert wurde. Dann wurde die Außenelektrodenpaste (d.h. Unterschichtaußenelektrodenpaste) bis auf eine Dicke von 20 µm auf beide Kanten des kalzinierten Körpers aufgeschichtet, bei welchem Anschlüsse der Innenelektroden abwechselnd in entgegengesetzte Richtungen freilagen. Der kalzinierte Körper wurde bei 1.250 ºC in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99 : 1 gesintert, gefolgt durch das Beschichten der Außenelektroden mit einer Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste (d.h. Oberschicht- Außenelektrodenpaste) und bei einer Temperatur im Bereich von 600 bis 950 ºC in Luft gebacken. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, der so erhalten wurde, sind in den Tabellen 20 und 21 gezeigt. Die Figur 16 ist ein Ablaufdiagramm, das das Herstellungsverfahren gemäß dieses Beispiels zeigt.The laminated body obtained by using the internal electrode paste having the same composition and the same internal electrodes as in Examples 8 to 13 was heated to a temperature of 1,050 °C in air, thereby removing the binder and calcining the laminated body. Then, the external electrode paste (i.e., lower layer external electrode paste) was coated to a thickness of 20 µm on both edges of the calcined body in which terminals of the internal electrodes were alternately exposed in opposite directions. The calcined body was sintered at 1,250 °C in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1, followed by coating the external electrodes with an Ag or Ag-Pd external electrode paste (i.e., upper layer external electrode paste) and baked at a temperature in the range of 600 to 950 °C in air. The electrical properties of the laminated ceramic capacitor, thus obtained are shown in Tables 20 and 21. Figure 16 is a flow chart showing the manufacturing process according to this example.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 bis 13 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen. Tabelle 20 Tabelle 21 The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Examples 8 to 13, and various electrical properties were measured as described therein. Table 20 Table 21

Die mit dem Symbol * in den Tabellen 20 und 21 markierten Proben sind Vergleichsbeispiele. Diese gesinterten Halbleiterkeramikelemente, die durch das Symbol * markiert sind, sind nicht ausreichend re-oxidiert, weil die Backtemperatur der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden geringer als 800 ºC war, und kurzgeschlossen. Wenn die Backtemperatur auf einer Temperatur im Bereich von 800 bis 950 ºC erhöht wird, wird das Keramikelement ausreichend re-oxidiert und die elektrischen Eigenschaften eines laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion können erhalten werden. Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie im Beispiel 8 wurden erhalten. Gemäß den Experimentresultaten war das Keramikelement, welches in Luft bei einer geringen Temperatur von 800 ºC zur Entfernung des Bindemittels und Kalzinierung erwärmt wurde, zerbrechlich mit einer geringeren mechanischen Festigkeit und erforderte eine vorsichtige Behandlung. Andererseits neigten die Unterschichtaußenelektroden, die auf das Keramikelement aufgeschichtet wurden, das bis auf eine Temperatur von über 1.200 ºC zur Entfernung des Bindemittels und zur Kalzinierung erwärmt wurde dazu, sich nach dem Sintern abzuschälen. Deshalb lag die optimale Erwärmungstemperatur für die Entfernung des Bindemittels und die Kalzinierung im Bereich von 800 bis 1.200 ºC.The samples marked with the symbol * in Tables 20 and 21 are comparative examples. These sintered semiconductor ceramic elements marked with the symbol * are not sufficiently re-oxidized because the baking temperature of the Ag or Ag-Pd outer electrodes was lower than 800 ºC and short-circuited. When the baking temperature is increased to a temperature in the range of 800 to 950 ºC, the ceramic element is sufficiently re-oxidized and the electrical characteristics of a laminated ceramic capacitor having a varistor function can be obtained. Almost the same electrical characteristics as in Example 8 were obtained. According to the experimental results, the ceramic element heated in air at a low temperature of 800 ºC for binder removal and calcination was fragile with lower mechanical strength and required careful handling. On the other hand, the underlayer outer electrodes laminated on the ceramic element heated to a temperature of over 1,200 ºC for binder removal and calcination tended to peel off after sintering. Therefore, the optimal heating temperature for binder removal and calcination was in the range of 800 to 1,200 ºC.

Es bestätigte sich, daß die elektrische Verbindung des laminierten Keramikkondensators, der im Beispiel 14 erhalten wurde, und die Zugfestigkeit seiner Außenelektroden dazu geeignet waren, den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu befestigen.It was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in Example 14 and the tensile strength of its external electrodes were suitable for fixing the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Beispiel 15Example 15

Der Sinterschritt des Beispiels 14 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Der gesinterte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde dasselbe Verfahren wie im Beispiel 14 hergestellt, mit Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 17 ist ein Ablaufdiagramm, die diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 14 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. The sintered ceramic capacitor with a varistor function was manufactured by the same method as in Example 14 except for this sintering step. Figure 17 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen des Beispiels 14 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen.The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Example 14, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in dem Beispiel 14 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 15 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A) verglichen demjenigen des Beispiels 14 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, das Lösen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt wurde.Almost the same electrical properties as in Example 14 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 15 had an improved capacitance and an improved effect on the withstanding of surge current (300 A) compared with that of Example 14. This is because the preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevents the delamination of the capacitor, the loosening of the internal electrodes and the imperfect contact between the internal electrodes and the external electrodes, as stated in Example 2.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd noch zu der Unterschichtaußenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigte Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the underlayer outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and an improved effect on surge current withstand capability. Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Beispiel 16Example 16

Der gesinterte Körper, der durch dasselbe Verfahren wie in den Beispielen 14 und 15 erhalten wurde, wurde bei 900 ºC 1 h lang in Luft re-oxidiert, bei 400 ºC 30 min lang in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2;: H&sub2; = 99: 1 re-reduziert, gefolgt durch das Beschichten der Ni-Außenelektroden mit einer Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste, und dann bei einer Temperatur von 600 bis 950 ºC in Luft gebacken, um einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion herzustellen. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators sind in den Tabellen 22 und 23 gezeigt. Auch ist die Figur 18 ein Ablaufdiagramm, das das Herstellungsverfahren dieses Beispiels zeigt.The sintered body obtained by the same method as in Examples 14 and 15 was re-oxidized at 900 °C for 1 hour in air, re-reduced at 400 °C for 30 minutes in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1, followed by coating the Ni external electrodes with an Ag or Ag-Pd external electrode paste, and then baked at a temperature of 600 to 950 °C in air to prepare a laminated ceramic capacitor having a varistor function. The electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor are shown in Tables 22 and 23. Also, Figure 18 is a flow chart showing the manufacturing process of this example.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde, waren mit denjenigen der Beispiele 14 und 15 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen. Tabelle 22 Tabelle 23 The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 14 and 15, and various electrical properties were measured as described therein. Table 22 Table 23

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 14 und 15 wurden, wie in den Tabellen 22 und 23 gezeigt, erhalten.Almost the same electrical properties as in Examples 14 and 15 were obtained, as shown in Tables 22 and 23.

Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion gemäß Beispiel 16 werden erhalten, wenn die Backtemperatur der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden im Bereich von 600 bis 800 ºC oder im Bereich von 800 bis 900 ºC liegt, weil der Re-Oxidationsschritt, im Gegensatz zu den Beispielen 14 und 15, eingebracht wird. Wenn jedoch die Re-Reduktionstemperatur 700 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre nach der Reoxidation übersteigt, können nicht nur die Außenelektroden, sondern auch das Keramikelement reduziert werden. Aus diesem Grund sollte die Re-Reduktionsszeit oder die H&sub2;-Konzentration gesteuert werden. Gemäß den Resultaten der Experimente liegt die optimale Re-Reduktionstemperatur im Bereich von 400 bis 600 ºC. Es wurden ebenfalls dieselben elektrischen Eigenschaften wie im Beispiel 10 erhalten.The electrical properties of the laminated ceramic capacitor having a varistor function according to Example 16 are obtained when the baking temperature of the Ag or Ag-Pd outer electrodes is in the range of 600 to 800 ºC or in the range is from 800 to 900 ºC because the re-oxidation step is introduced, unlike Examples 14 and 15. However, if the re-reduction temperature exceeds 700 ºC in a reducing atmosphere after reoxidation, not only the external electrodes but also the ceramic element may be reduced. For this reason, the re-reduction time or the H₂ concentration should be controlled. According to the results of the experiments, the optimum re-reduction temperature is in the range of 400 to 600 ºC. The same electrical properties as in Example 10 were also obtained.

Es bestätigte sich, daß die elektrische Verbindung des laminierten Keramikkondensators, der in diesem Beispiel erhalten wurde, und die Zugfestigkeit seiner Außenelektroden dazu geeignet waren, den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu befestigen.It was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in this example and the tensile strength of its external electrodes were suitable for fixing the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Beispiel 17Example 17

Der Sinterschritt des Beispiels 16 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Der gesinterte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde dasselbe Verfahren wie im Beispiel 16 hergestellt, mit Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 19 ist ein Ablaufdiagramm, die diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 16 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. The sintered ceramic capacitor with a varistor function was manufactured by the same method as in Example 16 except for this sintering step. Figure 19 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 14 bis 16 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen.The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 14 to 16, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 14 bis 16 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 17 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A) verglichen demjenigen des Beispiels 16 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, das Lösen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt wurde.Almost the same electrical properties as in Examples 14 to 16 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 17 had an improved capacitance and an improved effect on the withstand surge currents (300 A) compared to that of Example 16. This is because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevents delamination of the capacitor, loosening of the internal electrodes, and imperfect contact between the internal electrodes and the external electrodes, as stated in Example 2.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd noch zu der Unterschichtaußenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigte Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the underlayer outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and an improved effect on surge current withstand capability. Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Beispiel 18Example 18

Ein gesinterter Körper, der durch dasselbe Verfahren wie in den Beispielen 14 bis 17 erhalten wurde, wurde bei 900 ºC 1 h lang in Luft re-oxidiert, gefolgt durch das Beschichten der Ni-Außenelektroden mit einer Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste, bei 400 ºC 30 min lang in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99 : 1 re-reduziert, und dann bei 800 ºC 30 lang in Luft wärmebehandelt, um einen laminierten Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion herzustellen. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators sind in den Tabellen 24 und 25 gezeigt. Die Figur 20 ist ein Ablaufdiagramm, das das Herstellungsverfahren dieses Beispiels zeigt.A sintered body obtained by the same method as in Examples 14 to 17 was re-oxidized at 900 °C for 1 hour in air, followed by coating the Ni external electrodes with an Ag or Ag-Pd external electrode paste, re-reduced at 400 °C for 30 minutes in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1, and then heat-treated at 800 °C for 30 minutes in air to prepare a laminated ceramic capacitor having a varistor function. The electrical characteristics of the laminated ceramic capacitor are shown in Tables 24 and 25. Figure 20 is a flow chart showing the preparation process of this example.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 14 bis 17 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen. Tabelle 24 Tabelle 25 The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Examples 14 to 17, and various electrical properties were measured as described therein. Table 24 Table 25

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 14 bis 17 wurden, wie in den Tabellen 24 und 25 gezeigt ist, erhalten.Almost the same electrical properties as in Examples 14 to 17 were obtained, as shown in Tables 24 and 25.

Das Verfahren nach Beispiel 18 umfaßt die folgenden Schritte: Beschichten des gesinterten Körpers mit der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste unmittelbar nach der Re-Oxidation; Re-Reduzieren in einer reduzierenden Atmosphäre; und Wärmebehandlung des Körpers in Luft. Der resultierende laminierte Keramikkondensator hat höhere Kapazität, Varistor-Spannungsprodukt und Spannungs- Nichtlinearitätsindex als derjenige der Beispiele 16 und 17. Wie in den Beispielen 16 und 17 beschrieben, kann jedoch, wenn die Re-Reduktionstemperatur 700 ºC in einer reduzierten Atmosphäre nach der Re-Oxidation übersteigt, nicht nur die Außenelektrode, sondern das keramische Element reduziert werden. Aus diesem Grund sollte die Re-Reduktionszeit oder die H&sub2;-Konzentration gesteuert werden. Gemäß den Resultaten der Experimente lag die optimale Re-Reduktionstemperatur im Bereich von 400 bis 600 ºC. Falls dieselben elektrischen Eigenschaften wie im Beispiel 12 wurden erhalten.The method of Example 18 comprises the steps of coating the sintered body with the Ag or Ag-Pd outer electrode paste immediately after re-oxidation; re-reducing in a reducing atmosphere; and heat treating the body in air. The resulting laminated ceramic capacitor has higher capacitance, varistor voltage product and voltage nonlinearity index than those of Examples 16 and 17. As in Examples 16 and 17, however, if the re-reduction temperature exceeds 700 ºC in a reduced atmosphere after re-oxidation, not only the outer electrode but the ceramic element may be reduced. For this reason, the re-reduction time or the H₂ concentration should be controlled. According to the results of the experiments, the optimum re-reduction temperature was in the range of 400 to 600 ºC. If the same electrical characteristics as in Example 12 were obtained.

Es bestätigte sich, daß die elektrische Verbindung des laminierten Keramikkondensators, der im Beispiel 18 erhalten wurde, und die Zugfestigkeit seiner Außenelektroden dazu geeignet waren, den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu befestigen.It was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in Example 18 and the tensile strength of its external electrodes were suitable for fixing the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Beispiel 19Example 19

Der Sinterschritt des Beispiels 18 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Der gesinterte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde dasselbe Verfahren wie im Beispiel 18 hergestellt, mit Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 21 ist ein Ablaufdiagramm, die diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 18 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. The sintered ceramic capacitor with a varistor function was manufactured by the same method as in Example 18 except for this sintering step. Figure 21 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 14 bis 18 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen.The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 14 to 18, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 14 bis 18 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 19 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A) verglichen demjenigen des Beispiels 18 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, das Lösen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt wurde.Almost the same electrical properties as in Examples 14 to 18 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 19 had an improved capacitance and an improved effect on withstanding surge current (300 A) compared with that of Example 18. This is because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevents delamination of the capacitor, detachment of the inner electrodes, and imperfect contact between the inner electrodes and the outer electrodes, as mentioned in Example 2.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd noch zu der Unterschichtaußenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigte Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the underlayer outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and an improved effect on surge current withstand capability. Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Gemäß den sechs verschiedenen Verfahren, die in den Beispielen 14 bis 19 verwendet wurden, kann ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion mit befriedigenden elektrischen Eigenschaften und mechanischer Festigkeit hergestellt werden durch das Beschichten eines kalzinierten Körpers, in welchem das Bindemittel mit einer Ni-Außenelektrodenpaste entfernt wird. Bei den Verfahren, die in den Beispielen 14 und 15 verwendet wurden, kann der Backschritt der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden ebenfalls der Re-Oxidationsprozeß des Keramikelements sein. Deshalb ist die Backtemperatur auf 800 ºC oder höher beschränkt, was es schwierig macht, die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators, wie zum Beispiel Kapazität und Varistorspannung zu steuern. Jedoch ergeben sich beim resultierenden laminierten Keramikkondensator konstante elektrische Eigenschaften sowie eine gute Reproduzierbarkeit für praktische Verwendungen. Andererseits macht es die Regulierung der Re-Oxidationstemperatur und der Temperaturen in den nachfolgenden Schritten leicht, die elektrischen Eigenschaften zu steuern, weil die Verfahren, die in den Beispielen 16 bis 19 verwendet werden, einen Re-Oxidationsschritt umfassen, der zusätzlich zum Backschritt vorgesehen ist. Jedoch gibt es einen weiteren Aspekt dieser Verfahren, der darin liegt, daß es schwierig ist, den Re-Reduktionsschritt in einer reduzierenden Atmosphäre nach der Reoxidation zu steuern. Auch treten die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators in den Beispielen 14 und 15 dann auf, wenn die Backtemperatur der Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden 800 ºC oder mehr erreicht, und zwar nicht nur, weil die Korngrenzen des Keramikelements oxidiert werden, sondern weil Glasflaxen in der Außenelektrodenpaste enthalten sind. Auch werden fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 8 bis 13 in den Beispielen 14 bis 19 erhalten. Gemäß den Resultaten der Experimente war das Keramikelement, welches bei einer niedrigen Temperatur von weniger als 800 ºC zur Entfernung des Bindemittels und zur Kalzinierung erwärmt wurde, zerbrechlich mit einer geringen mechanischen Festigkeit und erforderte eine vorsichtige Behandlung. Andererseits neigten die Außenelektroden, die auf das Keramikelement aufgeschichtet wurden, welches bei einer Temperatur von über 1.200 ºC zur Entfernung des Bindemittels und zur Kalzinierung erwärmt wurde, dazu, sich nach dem Sintern abzuschälen. Deshalb lag die optimale Temperatur für die Entfernung des Bindemittels und die Kalzinierung im Bereich von 800 bis 1.200 ºC.According to the six different methods used in Examples 14 to 19, a laminated ceramic capacitor having a varistor function with satisfactory electrical properties and mechanical strength can be manufactured by coating a calcined body in which the binder is removed with a Ni external electrode paste. In the methods used in Examples 14 and 15, the baking step of the Ag or Ag-Pd external electrodes may also be the re-oxidation process of the ceramic element. Therefore, the baking temperature is limited to 800 °C or higher, which makes it difficult to control the electrical properties of the laminated ceramic capacitor such as capacitance and varistor voltage. However, the resulting laminated ceramic capacitor has constant electrical properties and good reproducibility for practical uses. On the other hand, because the processes used in Examples 16 to 19 include a re-oxidation step provided in addition to the baking step, the regulation of the re-oxidation temperature and the temperatures in the subsequent steps makes it easy to control the electrical properties. However, there is another aspect of these processes, which is that it is difficult to control the re-reduction step in a reducing atmosphere after the reoxidation. Also, the electrical properties of the laminated Ceramic capacitor in Examples 14 and 15 occurs when the baking temperature of the Ag or Ag-Pd outer electrodes reaches 800 ºC or more, not only because the grain boundaries of the ceramic element are oxidized but because glass flax is contained in the outer electrode paste. Also, almost the same electrical characteristics as in Examples 8 to 13 are obtained in Examples 14 to 19. According to the results of the experiments, the ceramic element heated at a low temperature of less than 800 ºC for binder removal and calcination was fragile with low mechanical strength and required careful handling. On the other hand, the outer electrodes stacked on the ceramic element heated at a temperature of over 1,200 ºC for binder removal and calcination tended to peel off after sintering. Therefore, the optimal temperature for binder removal and calcination was in the range of 800 to 1,200 ºC.

Wenn weiterhin eine Abrundung eingebracht wird, um ein Keramikelement mit einer R-Form an seiner Kante bei der Herstellung des laminierten Keramikkondensators bereitzustellen, ist es schwierig, den laminierten Körper bei dem Verfahren der Beispiele 8 bis 13 abzurunden. Wenn der Abrundungsschritt durchgeführt wird, ist es leicht, das Keramikelement nach dem Erhitzen auf eine Temperatur im Bereich von 100 bis 200 ºC in Luft zur Entfernung des darin enthaltenen Lösungsmittels abzurunden. Bei den Verfahren der Beispiele 14 bis 19 ist es demgegenüber leichter, den Abrundungsschritt einzubringen, weil im Vergleich zu dem vorherigen Verfahren der kalzinierte Körper, in welchem das Bindemittel entfernt ist, abgerundet wird. Jedoch ist es schwierig, einen Körper, der auf eine Temperatur von weniger als 800 ºC zur Entfernung des Bindemittels und zur Kalzinierung erwärmt wurde, abzurunden, und zwar wegen der geringen mechanischen Festigkeit und der schwierigen Behandlung.Furthermore, when rounding is introduced to provide a ceramic member having an R-shape at its edge in the manufacture of the laminated ceramic capacitor, it is difficult to round the laminated body in the process of Examples 8 to 13. When the rounding step is carried out, it is easy to round the ceramic member after heating to a temperature in the range of 100 to 200 °C in air to remove the solvent contained therein. In contrast, in the processes of Examples 14 to 19, it is easier to introduce the rounding step because, compared with the previous process, the calcined body in which the binder is removed is rounded. However, it is difficult to round a body heated to a temperature of less than 800 °C to remove the binder and calcine because of low mechanical strength and difficult treatment.

Bei den Verfahren der Beispiele 8 bis 19 wurde ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion durch das Beschichten eines laminierten Körpers oder eines kalzinierten Körpers, in welchem das Bindemittel entfernt ist, mit einer Ni- Außenelektrodenpaste hergestellt, gefolgt von verschiedenen Herstellungsschritten.In the processes of Examples 8 to 19, a laminated ceramic capacitor having a varistor function was prepared by coating a laminated body or a calcined body in which the binder is removed, with a Ni outer electrode paste, followed by various manufacturing steps.

Die folgenden Beispiele illustrieren ein Verfahren zur Herstellung eines laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion, der durch das Beschichten des gesinterten Körpers mit einer Ni-Außenelektrodenpaste (Außenelektrodenpaste, die Ni als Hauptbestandteil enthält) nach der Re-Oxidation erhalten wirdThe following examples illustrate a method for producing a laminated ceramic capacitor having a varistor function obtained by coating the sintered body with a Ni external electrode paste (external electrode paste containing Ni as a main component) after re-oxidation

Beispiel 20Example 20

Der laminierte Körper, der unter Verwendung einer Innenelektrodenpaste mit derselben Zusammensetzung und mit denselben Innenelektroden wie in den Beispielen 8 bis 19 erhalten wurde, wurde bei 1.050 ºC in Luft kalziniert. Dann wurde der kalzinierte Körper bei 1.250 ºC in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; H&sub2; = 99 : 1 gesintert. Nach dem Sintern wurde der gesinterte Körper bei 900 ºC 1 h lang in Luft re-oxidiert und eine Ni-Außenelektrodenpaste wurde bis zu einer Dicke von 20 µm auf beide Kanten des gesinterten Körpers aufgeschichtet, bei welchem Anschlüsse der Innenelektroden abwechselnd zu gegenüberliegenden Seiten hin freilagen. Der gesinterte Körper wurde bei 650 ºC in der reduzierenden Atmosphäre aus N&sub2; : H&sub2; = 99 : 1 gebacken, gefolgt durch das Beschichten der Ni- Außenelektroden mit einer Ag- oder Ag-Pd-Außenelektrodenpaste und bei 600 bis 950 ºC in Luft gebacken. Die elektrischen Eigenschaften des laminierten Keramikkondensators sind in den Tabellen 26 und 27 gezeigt. Die Figur 22 ist ein Ablaufdiagramm, das den Herstellungsprozeß dieses Beispiels zeigt.The laminated body obtained by using an internal electrode paste having the same composition and internal electrodes as in Examples 8 to 19 was calcined at 1,050 °C in air. Then, the calcined body was sintered at 1,250 °C in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1. After sintering, the sintered body was re-oxidized at 900 °C for 1 hour in air, and a Ni external electrode paste was coated to a thickness of 20 µm on both edges of the sintered body with terminals of the internal electrodes alternately exposed to opposite sides. The sintered body was calcined at 650 °C in the reducing atmosphere of N₂:H₂ = 99:1. = 99:1, followed by coating the Ni outer electrodes with an Ag or Ag-Pd outer electrode paste and baking at 600 to 950 ºC in air. The electrical properties of the laminated ceramic capacitor are shown in Tables 26 and 27. Figure 22 is a flow chart showing the manufacturing process of this example.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 bis 19 identisch, und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen. Tabelle 26 Tabelle 27 The other manufacturing conditions such as the number of laminated sheets were identical to those of Examples 8 to 19, and various electrical properties were measured as described therein. Table 26 Table 27

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften, wie bei den Beispielen 8 bis 19 wurden, wie in den Tabellen 26 und 27 gezeigt, erhalten.Almost the same electrical properties as Examples 8 to 19 were obtained, as shown in Tables 26 and 27.

Der laminierte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion nach Beispiel 20 hat geringe Varistorspannung und geringen Spannungs-Nichtlinearitatsindex im Vergleich mit denjenigen der Beispiele 8 bis 19. Dies hat seinen Grund darin, daß das Keramikelement leicht reduziert wird, wenn die Ni-Außenelektrodenpaste bei einer erhöhten Temperatur von 650 ºC in einer reduzierenden Atmosphäre gebacken wird. Wenn die Backtemperatur geringer ist als 650 ºC, wird die Ni-Außenelektrodenpaste nicht ohne weiteres gesintert. Wenn andererseits die Backtemperatur 700 ºC übersteigt, kann nicht nur die Außenelektrode, sondern auch das Keramikelement reduziert werden.The laminated ceramic capacitor with a varistor function according to Example 20 has a low varistor voltage and a low voltage nonlinearity index as compared with those of Examples 8 to 19. This is because the ceramic element is easily reduced when the Ni external electrode paste is baked at an elevated temperature of 650 ºC in a reducing atmosphere. If the baking temperature is lower than 650 ºC, the Ni external electrode paste is not easily sintered. On the other hand, if the baking temperature is 700 ºC , not only the outer electrode but also the ceramic element can be reduced.

Es bestätigte sich, daß die elektrische Verbindung des laminierten Keramikkondensators, der nach Beispiel 20 erhalten wurde, und die Zugfestigkeit der Außenelektroden dazu geeignet waren, den laminierten Keramikkondensator auf dem Substrat zu befestigen.It was confirmed that the electrical connection of the laminated ceramic capacitor obtained in Example 20 and the tensile strength of the external electrodes were suitable for fixing the laminated ceramic capacitor on the substrate.

Beispiel 21Example 21

Der Sinterschritt des Beispiels 20 wurde durch ein erstes Erwärmen in einer Stickstoffatmosphäre bei einer erhöhten Temperatur von 1.000 bis 1.200 ºC und dann in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer Temperatur von 1.200 bis 1.350 ºC ersetzt. Der gesinterte Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion wurde dasselbe Verfahren wie im Beispiel 20 hergestellt, mit Ausnahme dieses Sinterschrittes. Die Figur 23 ist ein Ablaufdiagramm, die diesen Herstellungsprozeß zeigt.The sintering step of Example 20 was replaced by first heating in a nitrogen atmosphere at an elevated temperature of 1,000 to 1,200 ºC and then in a reducing atmosphere at a temperature of 1,200 to 1,350 ºC. The sintered ceramic capacitor with a varistor function was manufactured by the same method as in Example 20 except for this sintering step. Figure 23 is a flow chart showing this manufacturing process.

Die anderen Herstellungsbedingungen, wie zum Beispiel die Anzahl der laminierten Flächengebilde waren mit denjenigen der Beispiele 8 bis 20 identisch und verschiedene elektrische Eigenschaften wurden wie dort beschrieben gemessen.The other manufacturing conditions, such as the number of laminated sheets, were identical to those of Examples 8 to 20, and various electrical properties were measured as described therein.

Fast dieselben elektrischen Eigenschaften wie in den Beispielen 14 bis 20 wurden erhalten, mit der Ausnahme, daß der laminierte Keramikkondensator des Beispiels 21 eine verbesserte Kapazität und einen verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme (300 A) verglichen demjenigen des Beispiels 20 hatte. Dies liegt daran, daß das Vorerwärmen in einer Stickstoffatmosphäre während des Sinterschrittes die Delamination des Kondensators, das Lösen der Innenelektroden und den unvollkommenen Kontakt zwischen den Innenelektroden und den Außenelektroden verhindert, wie im Beispiel 2 angeführt wurde.Almost the same electrical properties as in Examples 14 to 20 were obtained, except that the laminated ceramic capacitor of Example 21 had an improved capacitance and an improved effect on withstanding surge current (300 A) compared with that of Example 20. This is because preheating in a nitrogen atmosphere during the sintering step prevents delamination of the capacitor, loosening of the internal electrodes, and imperfect contact between the internal electrodes and the external electrodes, as mentioned in Example 2.

Es bestätigte sich ebenfalls, daß, wenn Pd noch zu der Unterschichtaußenelektrodenpaste hinzugefügt wurde, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen geringeren Tan &delta; und einen geringeren äquivalenten Reihenwiderstand (ESR) sowie eine verbesserte Kapazität und ein verbesserten Effekt bezüglich der Widerstandsfähigkeit gegen Stoßströme hatte. Auch zeigte Pt oder eine Kombination von Pd und Pt denselben Effekt.It was also confirmed that when Pd was added to the underlayer outer electrode paste, the resulting laminated ceramic capacitor had a lower Tan δ and a lower equivalent series resistance (ESR) as well as an improved capacitance and an improved effect on surge current withstand capability. Also, Pt or a combination of Pd and Pt showed the same effect.

Ein pulvriges Ausgangsmaterial, das erhalten wird durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung kann für die Innen- und Außenelektrodenpaste in den Beispielen 8 bis 21 verwendet werden, wie im Beispiel 1 angeführt ist.A powdery raw material obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or a compound containing Ni can be used for the internal and external electrode paste in Examples 8 to 21 as shown in Example 1.

Ebenso kann ein pulvriges Ausgangsmaterial, das hergestellt wird durch das Lösen einer Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht und mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom und ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenden Verbindung für die Unterschichtaußenelektrodenpaste verwendet werden, wie es im Beispiel 1 angeführt ist.Also, a powdery raw material prepared by dissolving a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom and a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound can be used for the underlayer outer electrode paste as shown in Example 1.

Die Außenelektroden, die 1,0 Mol-% Li&sub2;CO&sub3; enthielten, wurden in den Beispielen 9 bis 21 verwendet. Es stellte sich jedoch heraus, daß die Außenelektroden, die weniger als 1,0 Mol-% Li&sub2;CO&sub3; enthielten, denselben Effekt zeigten.The external electrodes containing 1.0 mol% Li₂CO₃ were used in Examples 9 to 21. However, it was found that the external electrodes containing less than 1.0 mol% Li₂CO₃ showed the same effect.

Ein laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion kann ohne weiteres durch verschiedene Herstellungsverfahren, wie sie in den Beispielen 1 bis 21 beschrieben sind, hergestellt werden.A laminated ceramic capacitor having a varistor function can be easily manufactured by various manufacturing methods as described in Examples 1 to 21.

Ein Material (Zusammensetzung) eines Keramikkondensators mit einer zwischenkornisolierten Struktur wird im weiteren beschrieben werden.A material (composition) of a ceramic capacitor having an intergrain insulated structure will be described below.

Ein Keramikmaterial, das SrTiO&sub3; als Hauptbestandteil enthält, wird im allgemeinen durch Reduzieren oder Sintern in einer reduzierenden Atmosphäre unter Zusetzung eines Halbleitungsbeschleunigungsmittels halbleitend gemacht. Jedoch macht dieses Verfahren das Keramikmaterial nicht notwendigerweise halbleitend, abhängig von den Arten der Halbleitungsbeschleunigungsmittel. Die Verwendung von SiTiO&sub3;, das eine stöchiometrische Überschußmenge an Sr oder Ti enthält, beschleunigt das Halbleitendmachen des Keramikmaterials mit dem Anstieg der Gitterdefekte im Kristall. Darüberhinaus beschleunigt die Zugabe von mindestens einem Element der Gruppe, die aus Nd&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht (im Weiteren werden diese Verbindungen als erste Komponente bezeichnet), das Halbleitendmachen der Keramikmaterialien wegen der Valenzsteuerung.A ceramic material containing SrTiO3 as a main component is generally made semiconductive by reducing or sintering in a reducing atmosphere with the addition of a semiconductivity accelerator. However, this method does not necessarily make the ceramic material semiconductive depending on the types of the semiconductivity accelerators. The use of SiTiO3 containing a stoichiometric excess amount of Sr or Ti accelerates the semiconductivity of the ceramic material with the increase of lattice defects in the crystal. Moreover, the addition of at least one element of the group consisting of Nd2O5, Ta2O5, V2O5, W2O5, Dy2O3, Nd2O3, Y2O3, La2O3 accelerates the semiconductivity of the ceramic material. and CeO₂ (hereinafter these compounds are referred to as the first component), making the ceramic materials semiconductive due to valence control.

Sowohl Mn als auch Si (im Weiteren als zweite Komponente bezeichnet) sind wichtige Materialien zur Ausbildung einer laminierten Struktur und ein Fehlen einer dieser beiden Bestandteile resultiert darin, daß die Funktion nicht gezeigt wird.Both Mn and Si (hereinafter referred to as the second component) are important materials for forming a laminated structure and lack of either of these two components results in the function not being exhibited.

Es ist angenommen worden, daß es schwierig sein würde, einen laminierten Keramikkondensator vom SrTiO&sub3;-Typ mit einer Varistorfunktion herzustehen, und dies aus den folgenden Gründen.It has been thought that it would be difficult to manufacture a SrTiO3 type laminated ceramic capacitor with a varistor function, for the following reasons.

Zunächst einmal hat ein Keramikkondensatormaterial mit einer Varistorfunktion wie zum Beispiel SrTiO&sub3; gegenüber einem Innenelektrodenmaterial verschiedene Funktionen und Eigenschaften bei einem Sinterschritt und einem Re-Oxidationsschritt. Wenn das Keramikkondensatormaterial in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert wird, schließt das Innenelektrodenmaterial ein H&sub2;-Gas ein, das in der reduzierenden Atmosphäre enthalten ist, und es wird in diesem Sinterschritt expandiert, weil es aus Metall besteht. Auch kann das Innenelektrodenmaterial in einem Re-Oxidationsschritt zu einem Metalloxid oxidiert werden oder verhindern, daß das Keramikkondensatormaterial re-oxidiert wird.First of all, a ceramic capacitor material having a varistor function such as SrTiO3 has different functions and properties from an inner electrode material in a sintering step and a re-oxidation step. When the ceramic capacitor material is sintered in a reducing atmosphere, the inner electrode material encloses H2 gas contained in the reducing atmosphere and is expanded in this sintering step because it is made of metal. Also, the inner electrode material can be oxidized to a metal oxide in a re-oxidation step or prevent the ceramic capacitor material from being re-oxidized.

Zweitens wird ein Oberflächendispersionsverfahren notwendig zur Ausbildung eines laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion, welches die folgenden Schritte aufweist: Sintern des Keramikkondensatormaterials in einer reduzierenden Atmosphäre, damit es halbleitend wird; Beschichten der Oberfläche des Keramikkondensatormaterials mit einem Metalloxid mit hohem Widerstand, wie zum Beispiel MnO&sub2;, CuO&sub2;, Bi&sub2;O&sub3; und Co&sub2;O&sub3;; und Re-Oxidieren des resultierenden Materials in Luft, um so das Metalloxid in den Korngrenzen des Materials zu dispergieren, was in einem isolierten Keramikkörper resultiert. Es ist jedoch technisch schwierig, das Metalloxid in ein Keramikelement mit einer laminierten Struktur und abwechselnden Innenelektroden hinein zu dispergieren.Second, a surface dispersion method becomes necessary for forming a laminated ceramic capacitor having a varistor function, which comprises the steps of sintering the ceramic capacitor material in a reducing atmosphere to make it semiconductive; coating the surface of the ceramic capacitor material with a high-resistivity metal oxide such as MnO2, CuO2, Bi2O3 and Co2O3; and re-oxidizing the resulting material in air so as to disperse the metal oxide in the grain boundaries of the material, resulting in an insulated ceramic body. However, it is technically difficult to disperse the metal oxide into a ceramic element having a laminated structure and alternating internal electrodes.

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben die folgenden Tatsachen aufgedeckt, wie es in der japanischen Patentanmeldung Nr. 1-36757 beschrieben ist.The inventors of the present invention have discovered the following facts, as described in Japanese Patent Application No. 1-36757.

Zunächst wurde ein Keramikkondensator mit Varistorfunktion ohne weiteres durch das Hinzufügen der zweiten Komponenten sowie der ersten Komponenten zu einem Keramikmaterial aus SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti und durch das Sintern des Materials in einer reduzierenden Atmosphäre gefolgt von einem Re-Oxidationsschritt hergestellt. Das Ausbreiten der Metallpaste mit hohem elektrischen Widerstand über die Oberfläche der Keramikplatten wurde als nicht notwendig zur Ausbildung isolierender Korngrenzen befunden. Die experimentellen Tatsachen werden wie folgt interpretiert: Die zugesetzten zweiten Komponenten, zusammen mit einer Überschußmenge an Ti bilden eine flüssige Phase mit einem Mn-, Si- und Ti- Ternäroxidsystem bei relativ geringen Temperaturen während des Sinterschritts. Die flüssige Phase verbessert das Sintern der Körner, während die Oxide schmelzen und in den Korngrenzen abgeschieden werden. Wenn das Kondensatorelement, bei welchem eine flüssige Phase mit Mn-, Si- und Ti-Ternäroxidsystem sich in diesen Korngrenzen abscheidet, wird es in Luft re-oxidiert, das Kondensatorelement wird wegen des Mn-, Si- und Ti-Ternäroxidsystems isoliert, welches sich in den Korngrenzen abscheidet, wodurch ein Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion mit einer zwischenkornisolierten Struktur ohne weiteres hergestellt werden kann.First, a ceramic capacitor with varistor function was readily prepared by adding the second components as well as the first components to a ceramic material of SrTiO₃ with an excess amount of Ti and sintering the material in a reducing atmosphere followed by a re-oxidation step. Spreading the metal paste with high electrical resistance over the surface of the ceramic plates was found to be unnecessary for forming insulating grain boundaries. The experimental facts are interpreted as follows: The added second components, together with an excess amount of Ti, form a liquid phase with a Mn, Si and Ti ternary oxide system at relatively low temperatures during the sintering step. The liquid phase enhances the sintering of the grains, while the oxides melt and are deposited in the grain boundaries. When the capacitor element in which a liquid phase having Mn, Si and Ti ternary oxide system precipitates in these grain boundaries is re-oxidized in air, the capacitor element is insulated due to the Mn, Si and Ti ternary oxide system precipitating in the grain boundaries, whereby a ceramic capacitor having a varistor function having an intergrain insulated structure can be easily manufactured.

Darüberhinaus stellte sich heraus, daß eine Überschußmenge an Ti die Oxidation der Innenelektroden sowie die Diffusion von Metalloxiden in die Innenelektroden verhindert. Aus diesem Grund wurde das Keramikmaterial aus SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti bei der vorliegenden Erfindung verwendet.Furthermore, it was found that an excess amount of Ti prevents the oxidation of the internal electrodes as well as the diffusion of metal oxides into the internal electrodes. For this reason, the ceramic material of SrTiO₃ with an excess amount of Ti was used in the present invention.

Zum zweiten wurde das SrTiO&sub3;-Material mit einer Überschußmenge an Ti, dem die zweite Komponente hinzugefügt war, durch das Sintern in der Stickstoffatmosphäre sowie in der reduzierenden Atmosphäre halbleitend gemacht. Diese Tatsache kann teilweise durch dieselbe Begründung wie bei den obigen Erörterungen so interpretiert werden, daß die festen Metalloxide bei relativ niedriger Temperatur zu einer flüssigen Phase umgewandelt werden. Das zugefügte Mn bildet nicht nur eine flüssige Phase, sondern wirkt ebenfalls als Atomvalenz-Steuerungsmittel. Wenn Mn als Atomvalenzsteuerungsmittel wirkt, ist die Ionenvalenz des Mn-Ions +2 oder +4, und sein Elektronenzustand ist unstabil und neigt dazu, aktiviert zu werden, wodurch die Sinterfähigkeit gesteigert wird. Dies ist der Grund, warum das Keramikmaterial ohne weiteres durch den Sinterschritt in der Stickstoffatmosphäre durch das Hinzufügen von Mn-Ionen als zweite Komponente halbleitend gemacht wird.Second, the SrTiO3 material with an excess amount of Ti to which the second component was added was made semiconductive by sintering in the nitrogen atmosphere as well as in the reducing atmosphere. This fact can be interpreted in part by the same reasoning as in the above discussions that the solid metal oxides are converted to a liquid phase at a relatively low temperature. The added Mn not only forms a liquid phase but also acts as an atomic valence control agent. When Mn acts as an atomic valence control agent, the ionic valence of the Mn ion is +2 or +4, and its electron state is unstable and tends to be activated, thereby enhancing the sinterability. This is the reason why the ceramic material is readily made semiconductive by the sintering step in the nitrogen atmosphere by adding Mn ions as the second component.

Zum dritten wurden die Rohmaterialien, die zu laminierten Kondensatorflächengebilden ausgebilden wurden, in Luft kalziniert, bevor sie dem Sinterschritt unterzogen wurden. Diese Behandlung beugte den Problemen vor, die bei dem laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion hervorgerufen werden, wie zum Beispiel der Lösung elektrischer Verbindungen in den Innenelektroden, der Delamination der Keramikflächengebilde, der Abnahme der Sinterdichte und der Uneinheitlichkeit des gesinterten Körpers. Ferner wurden elektrische Eigenschaften wie zum Beispiel Kapazität, der Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; und die Varistorspannung sowie die Zuverlässigkeit bei der Leistung des Kondensators stark verbessert.Third, the raw materials formed into laminated capacitor sheets were calcined in air before being subjected to the sintering step. This treatment prevented the problems caused in the laminated ceramic capacitor with varistor function, such as the dissolution of electrical connections in the internal electrodes, the delamination of the ceramic sheets, the decrease in sintered density and the non-uniformity of the sintered body. Furthermore, electrical properties such as capacitance, voltage nonlinearity index α and varistor voltage as well as the reliability in the performance of the capacitor were greatly improved.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann in Hinsicht auf das vorhergehende ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion ohne weiteres durch das Sintern des Materials des Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion gleichzeitig zusammen mit dem Material der Innenelektrode hergestellt werden.According to the present invention, in view of the foregoing, a laminated ceramic capacitor having a varistor function can be easily manufactured by Sintering the material of the ceramic capacitor with a varistor function can be produced simultaneously together with the material of the inner electrode.

Bei der vorliegenden Erfindung wird das Sr/Ti-Verhältnis von SrTiO&sub3; gesteuert, weil, wenn das Sr/Ti-Verhältnis größer ist als 1,00, die Menge an Sr gegenüber der Menge an Ti im Überschuß sein wird. Somit ist die flüssige Phase, bestehend aus einem ternären Oxidsystem aus Mn, Si und Ti schwer auszubilden, die zwischenkornisolierte Struktur der Keramika ist mit der oben genannten Zusammensetzung schwer auszubilden, und darüberhinaus tritt Oxidation und Diffusion der Materialien der Innenelektroden auf, was in schlechten elektrischen Eigenschaften und einer schlechten Zuverlässigkeit resultiert. Wenn andererseits das Sr/Ti-Verhältnis geringer ist als 0,95, wird der erhaltene gesinterte Körper porös und die Sinterdichte sinkt. Pulvermaterialien mit einer mittleren Teilchengröße von 0,5 µm oder weniger wurden als Ausgangsmaterial des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion aus folgenden Gründen verwendet. Wenn ein Pulver mit einer mittleren Teilchengröße von mehr als 0,5 µm verwendet wird, neigen die Teilchen dazu, in der Aufschlämmung zu koagulieren, wodurch die Oberfläche der Roh-Flächengebilde, die unter Verwendung einer ungleichförmigen Aufschlämmung ausgebildet werden, rauh wird und die Glätte nicht erhalten werden kann. Die Sinterdichte und die Packungsdichte des erhaltenen gesinterten Körpers sind gering und der gesinterte Körper kann nur schwer halbleitend gemacht werden, wodurch die elektrischen Eigenschaften des Keramikkondensators dazu neigen, unstabil zu werden.In the present invention, the Sr/Ti ratio of SrTiO3 is controlled because, if the Sr/Ti ratio is larger than 1.00, the amount of Sr will be in excess of the amount of Ti. Thus, the liquid phase consisting of a ternary oxide system of Mn, Si and Ti is difficult to form, the intergrain insulated structure of the ceramics is difficult to form with the above composition, and furthermore, oxidation and diffusion of the materials of the internal electrodes occur, resulting in poor electrical properties and poor reliability. On the other hand, if the Sr/Ti ratio is smaller than 0.95, the obtained sintered body becomes porous and the sintered density decreases. Powder materials having an average particle size of 0.5 µm or less have been used as the starting material of the laminated ceramic capacitor with varistor function for the following reasons. When a powder having an average particle size of more than 0.5 μm is used, the particles tend to coagulate in the slurry, whereby the surface of the raw sheets formed using a non-uniform slurry becomes rough and smoothness cannot be maintained. The sintering density and the packing density of the obtained sintered body are low, and the sintered body is difficult to make semiconductive, whereby the electrical characteristics of the ceramic capacitor tend to become unstable.

Der Grund, aus dem Gesamtmenge der zugeführten zweiten Komponenten, MnO&sub2; und SiO&sub2;, ebenfalls gesteuert wird, ist zunächst der folgende. Wenn die Gesamtmenge dieser Komponenten geringer ist als 0,2 Mol-%, kann die Wirkung des zugesetzten Materials nicht erhalten werden. Deshalb wird die Ausbildung einer flüssigen Phase, die aus einem ternären Oxidsystem von Mn, Si und Ti besteht, schwierig, die Ausbildung einer an Korngrenzen isolierten Struktur der Keramik ist schwierig und die elektrischen Eigenschaften und die Sinterdichte werden verschlechtert. Wenn andererseits die Gesamtmenge dieser Komponenten 5,0 Mol-% überschreitet, steigt die Menge der Metalloxide mit hohem elektrischen Widerstand, die sich in den Korngrenzen abscheidet, an, und die elektrischen Eigenschaften des Keramikkondensators verschlechtern sich ebenfalls.The reason why the total amount of the second components, MnO₂ and SiO₂, added is also controlled is first of all as follows. If the total amount of these components is less than 0.2 mol%, the effect of the added material cannot be obtained. Therefore, the formation of a liquid phase consisting of a ternary oxide system of Mn, Si and Ti becomes difficult, the formation of a grain boundary isolated structure of the ceramic is difficult, and the electrical properties and the sintered density are deteriorated. On the other hand, if the total amount of these components is 5.0 mol%, , the amount of metal oxides with high electrical resistance deposited in the grain boundaries increases and the electrical properties of the ceramic capacitor also deteriorate.

Der Schritt zum Erhitzen des laminierten Körpers zur Entfernung des Bindemittels und zu seiner Kalzinierung bei einer Temperatur von 800 bis 1.250 ºC ist der wichtigste Schritt bei dem Verfahren zur Ausbildung eines laminierten Keramikkondensators mit einer Varistorfunktion gemäß der vorliegenden Erfindung. Die meisten der elektrischen Eigenschaften und die Zuverlässigkeit des hergestellten Keramikkondensators mit Varistorfunktion werden während dieses Schrittes bestimmt. Der Zweck dieses Schrittes ist es, die Haftung zwischen dem Material des Keramikanteils des Keramikkondensators mit Varistorfunktion und dem Material der Innenelektroden zu verbessern und die Sinterdichte, die Gleichförmigkeit in dem Gefüge des gesinterten Körpers und die mittlere Korngröße der Kristallteilchen in dem zwischenkornisolierten Halbleiterkeramikmaterial des laminierten Keramikkondensators mit Varistorfunktion zu regulieren. Die Rate des Temperaturanstiegs wurde auf 200 ºC/h oder weniger für den Erwärmungsschritt zur Entfernung des Bindemittels und zur Kalzinierung eingestellt, weil bei jeweils langsameren Temperaturanstieg die wünschenswerteren Resultate nach dem Erwärmungsschritt zur Entfernung des Bindemittels und zur Kalzinierung erhalten wurden.The step of heating the laminated body to remove the binder and calcining it at a temperature of 800 to 1,250 °C is the most important step in the method of forming a laminated ceramic capacitor with a varistor function according to the present invention. Most of the electrical properties and reliability of the produced ceramic capacitor with a varistor function are determined during this step. The purpose of this step is to improve the adhesion between the material of the ceramic portion of the ceramic capacitor with a varistor function and the material of the internal electrodes and to regulate the sintering density, the uniformity in the structure of the sintered body and the average grain size of the crystal particles in the intergrain-insulated semiconductor ceramic material of the laminated ceramic capacitor with a varistor function. The rate of temperature rise was set at 200 ºC/h or less for the debindering and calcining heating steps because slower temperature rises provided more desirable results after the debindering and calcining heating steps.

Die Erwärmungstemperatur für die Entfernung des Bindemittels und die Kalzinierung in Luft wurde auf den Bereich von 800 bis 1.250 ºC eingegrenzt. Wenn die Temperatur geringer ist als 800 ºC, ist dieser Schritt nicht wirksam genug, und wenn die Temperatur 1.250 ºC überschreitet, verschlechtern sich die Eigenschaften und die Zuverlässigkeit des Kondensators stark aus den folgenden Gründen:The heating temperature for binder removal and calcination in air has been limited to the range of 800 to 1,250 ºC. If the temperature is lower than 800 ºC, this step is not effective enough, and if the temperature exceeds 1,250 ºC, the characteristics and reliability of the capacitor deteriorate sharply for the following reasons:

(1) Der Keramikkondensator mit Varistorfunktion wird gesintert, anstatt durch das Erwärmen bei diesem hohen Temperaturbereich kalziniert zu werden. Wenn der zuvor in Luft gesinterte Kondensator dem Sintern in einer reduzierenden Atmosphäre oder in einer Stickstoffatmosphäre unterzogen wird, schrumpft der gesinterte Körper schnell und leidet an konzentrierten Belastungen, wodurch die Delamination und Risse im laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion hervorgerufen werden.(1) The ceramic capacitor with varistor function is sintered instead of being calcined by heating at this high temperature range. When the capacitor previously sintered in air is subjected to sintering in a reducing atmosphere or in a nitrogen atmosphere, the sintered body shrinks quickly and suffers from concentrated stresses, which causes delamination and cracks in the laminated ceramic capacitor with varistor function.

(2) Die Oxidation von Ni sowie das Sintern des Keramikanteus des Keramikkondensators mit Varistorfunktion wird zur selben Zeit fortschreiten, wenn Ni als Material für die Innenelektorden verwendet wird. Der gesinterte Körper reagiert mit Ni, gefolgt durch die Diffusion von Ni, was im Brechen der Innenelektroden, der Delamination und der Ausbildung von Rissen in dem laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion resultiert.(2) The oxidation of Ni and the sintering of the ceramic part of the ceramic capacitor with varistor function will proceed at the same time when Ni is used as the material for the inner electrodes. The sintered body reacts with Ni, followed by the diffusion of Ni, resulting in the breakage of the inner electrodes, delamination and the formation of cracks in the laminated ceramic capacitor with varistor function.

(3) Wenn der laminierte Keramikkörper auf einer hohen Temperatur über 1.250 ºC kalziniert wird, bilden Oxide, die Mn, Si oder Ti enthalten und im Keramikkörper enthalten sind, eine flüssige Phase des ternären Oxids aus. Diese flüssige Phase wird schnell zusammen mit dem Keramikkörper gesintert, so daß das Wachstum der Körner des Oxids beschleunigt wird. Demgemäß wird die Sinterdichte gering und die Packungsdichte des Oxids in die Keramikkorngrenzen wird vermindert.(3) When the laminated ceramic body is calcined at a high temperature above 1,250 ºC, oxides containing Mn, Si or Ti contained in the ceramic body form a liquid phase of the ternary oxide. This liquid phase is rapidly sintered together with the ceramic body, so that the growth of the grains of the oxide is accelerated. Accordingly, the sintering density becomes low and the packing density of the oxide into the ceramic grain boundaries is reduced.

(4) Der auf die obige Weise behandelte gesinterte Körper ist später schwer während des Sinterschrittes in der reduzierenden oder Stickstoffatmosphäre halbleitend zu machen.(4) The sintered body treated in the above manner is difficult to make semiconductive later during the sintering step in the reducing or nitrogen atmosphere.

Der laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion, der so hergestellt wurde, hat eine größere Kapazität und zeigt viel bessere Temperatur- und Frequenzeigenschaften als der laminierte Varistor, der in der oben genannten japanischen Patentveröffentlichung Nr. 58-23921 offenbart wurde. Der Keramikkondensator nach der vorliegenden Erfindung wird durch das Laminieren von Keramikkondensatormaterialien mit einer Varistorfunktion hergestellt, welche sowohl die Funktionen eines normalen Kondensators besitzen, welcher Störungen absorbiert, als auch diejenigen eines Varistors, welcher Impulse und statische Elektrizität absorbiert, während der oben beschriebene Varistor nach dem Stand der Technik einfach aus gestapelten Varistormaterialien besteht, welche eine hervorstechende Fähigkeit zur Absorbierung von Stoßströmen zeigen. Der laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion nach der vorliegenden Erfindung unterscheidet sich von demjenigen nach dem Stand der Technik in Hinsicht auf seine Funktionen und Verwendungen.The laminated ceramic capacitor with varistor function thus manufactured has a larger capacitance and exhibits much better temperature and frequency characteristics than the laminated varistor disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Publication No. 58-23921. The ceramic capacitor according to the present invention is manufactured by laminating ceramic capacitor materials with a varistor function which have both the functions of a normal capacitor which absorbs noise and those of a varistor which absorbs impulses and static electricity, while the above-described prior art varistor is simply made of stacked Varistor materials which exhibit an excellent ability to absorb surge currents. The laminated ceramic capacitor with varistor function according to the present invention is different from that of the prior art in terms of its functions and uses.

Obwohl TiO&sub2; zu SrTiO&sub3; beim Herstellen eines SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti bei den Beispielen der vorliegenden Erfindung hinzugegeben wurde, können auch andere Ti enthaltenen Verbindungen, wie zum Carbonate, Hydroxide, organische Verbindungen und ähnliches verwendet werden, um denselben Effekt bereitzustellen.Although TiO₂ was added to SrTiO₃ in preparing SrTiO₃ having an excess amount of Ti in the examples of the present invention, other Ti-containing compounds such as carbonates, hydroxides, organic compounds and the like may also be used to provide the same effect.

Bei den Beispielen wurde SrTiO&sub3; als Ausgangsmaterial verwendet, jedoch kann derselbe Effekt durch die Verwendung einer Kombination von SrO oder SrCO&sub3; und TiO&sub2; erzielt werden.In the examples, SrTiO₃ was used as the starting material, but the same effect can be achieved by using a combination of SrO or SrCO₃ and TiO₂.

Es bestätigte sich, daß bei Verwendung von Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (wobei x im Bereich von 0 < x &le; 0,3 liegt) als Hauptbestandteil des Roh-Flächengebildes anstelle von SrTiO&sub3;, ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion hergestellt werden kann, und zwar durch Verwendung derselben Innenelektrodenzusammensetzung, Außenelektrodenzusammensetzung und Herstellungsmethode, wie sie oben beschrieben wurden. Wie in der japanischen Patentanmeldung Nr. 1-62402 beschrieben, hat, wenn Sr(1-x)BaxTiO&sub3; mit gelöstem Ba verwendet wird, der resultierende laminierte Keramikkondensator eine verbesserte Kapazität. Der Grund, warum der Bereich von x bei Sr(1-x)BaxTiO&sub3; definiert wurde, ist, daß der Curie-Punkt von BaTiO&sub3; auftritt, wenn x 0,3 überschreitet, die Kapazitäts-Temperatur-Änderungsrate und der Temperaturkoeffizient der Varistorspannung größer werden und die Kondensatoreigenschaften und Varistoreigenschaften unstabil bezüglich der Temperatur werden. Deshalb werden die Zuverlässigkeit und Leistung verschlechtert.It was confirmed that when Sr(1-x)BaxTiO₃ (where x is in the range of 0 < x ≤ 0.3) is used as the main component of the green sheet instead of SrTiO₃, a laminated ceramic capacitor having a varistor function can be manufactured by using the same inner electrode composition, outer electrode composition and manufacturing method as described above. As described in Japanese Patent Application No. 1-62402, when Sr(1-x)BaxTiO₃ is used with Ba dissolved, the resulting laminated ceramic capacitor has an improved capacitance. The reason why the range of x was defined in Sr(1-x)BaxTiO₃ is that the Curie point of BaTiO₃ occurs when x exceeds 0.3, the capacitance-temperature change rate and the temperature coefficient of varistor voltage become larger, and the capacitor characteristics and varistor characteristics become unstable with respect to temperature. Therefore, the reliability and performance are deteriorated.

Es bestätigte sich auch, daß bei Verwendung von Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (wobei x im Bereich von 0,001 &le; x < 0 2 liegt) als Hauptbestandteil des Rohflächengebildes anstelle von SrTiO&sub3;, ein laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion hergestellt werden kann, und zwar unter Verwendung derselben Innenelektrodenzusammensetzung, Außenelektrodenzusammensetzung und desselben Herstellungsverfahrens, wie oben beschrieben. Wie in der japanischen Patentanmeldung Nr. 1-69651 beschrieben, hat, wenn Sr(1-x)BaxTiO&sub3; mit gelöstem Ca verwendet wird, der resultierende laminierte Keramikkondensator einen verbesserten Tan &delta; und verbesserte Temperatureigenschaften wegen des gesteuerten Wachstums der Kristallkörner. Der Grund, warum der Bereich von x bei Sr(1-x)BaxTiO&sub3; definiert wurde, ist, daß das Wachstum der Kristallkörner nicht unter Kontrolle ist, weil x geringer ist als 0,001 und die Teilchengröße des Kristalls breit verteilt ist, wodurch Tan &delta; und die Temperatureigenschaften schlecht werden. Wenn x 0,2 übersteigt, wird der resultierende laminierte Keramikkondensator eine niedrigere Kapazität und verringerte Varistoreigenschaften aufgrund der beschleunigten Oxidation aufweisen.It was also confirmed that by using Sr(1-x)BaxTiO₃ (where x is in the range of 0.001 ≤ x < 0 2) as the main component of the green sheet instead of SrTiO₃, a laminated ceramic capacitor with varistor function could be manufactured. can be produced using the same inner electrode composition, outer electrode composition and manufacturing process as described above. As described in Japanese Patent Application No. 1-69651, when Sr(1-x)BaxTiO₃ is used with Ca dissolved, the resulting laminated ceramic capacitor has improved Tan δ and temperature characteristics due to the controlled growth of the crystal grains. The reason why the range of x was defined in Sr(1-x)BaxTiO₃ is that the growth of the crystal grains is not controlled because x is less than 0.001 and the particle size of the crystal is widely distributed, whereby Tan δ and temperature characteristics become poor. If x exceeds 0.2, the resulting laminated ceramic capacitor will have lower capacitance and reduced varistor characteristics due to accelerated oxidation.

Was MnO&sub2; und SiO&sub2; als zweite Komponenten betrifft, sind Carbonate und Hydroxide dieser ebenfalls bei der Herstellung des Ausgangsmaterials wirksam. Jedoch wurde bezüglich Mn festgestellt, daß MnCO&sub3; geeigneter zur Herstellung eines Kondensatorelements mit stabilen Eigenschaften und guter Massenherstellungsfähigkeit ist, da die Teilchengrößenverteilung der Verbindung fein und einheitlich ist und die Verbindung ohne weiteres pyrolysiert wird.As for MnO₂ and SiO₂ as second components, carbonates and hydroxides of these are also effective in preparing the starting material. However, with respect to Mn, it has been found that MnCO₃ is more suitable for preparing a capacitor element having stable properties and good mass-producibility because the particle size distribution of the compound is fine and uniform and the compound is easily pyrolyzed.

Bei den vorhergehenden Beispielen wurde der Sinterschritt in einer reduzierenden Atmosphäre mit der Zusammensetzung N&sub2;: H&sub2; = 99:1 durchgeführt. Wenn die H&sub2;- Konzentration der Atmosphäre vergrößert wird, werden die folgenden Phänomene bezüglich sowohl des Materials der Innenelektrode als auch des Materials des keramischen Kondensators mit Varistorfunktion beobachtet.In the previous examples, the sintering step was carried out in a reducing atmosphere with the composition N2:H2 = 99:1. When the H2 concentration of the atmosphere is increased, the following phenomena are observed with respect to both the material of the inner electrode and the material of the ceramic capacitor with varistor function.

(1) Das Elektrodenmaterial wird durch das Einschließen von H&sub2;-Gas expandiert.(1) The electrode material is expanded by enclosing H₂ gas.

(2) Das Material des Keramikkondensators mit Varistorfunktion wird schneller halbleitend.(2) The material of the ceramic capacitor with varistor function becomes semiconductive faster.

Diese Phänomene bringen Probleme beim laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion bezüglich der elektrischen und mechanischen Eigenschaften mit sich, wie zum Beispiel das Brechen der elektrischen Verbindungen in den Innenelektroden, die Delamination der Keramikflächengebilde, die Ausbildung von Rissen in den Keramikflächengebilden und unvollständige Re-Oxidation des Keramikmaterials. Wenn folglich das Sintern in einer Atmosphäre durchgeführt wird, bei welcher die H&sub2;-Konzentration gesteigert ist, ist es für die Herstellung eines Keramikkondensators mit wünschenswerten Eigenschaften vorzuziehen, daß die Sintertemperatur etwas niedriger gemacht wird (1.200 bis 1.300 ºC). Demgegenüber kann ein Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion eher schwierig halbleitend gemacht werden, wenn er in einer reduzierenden Atmosphäre mit einer geringen Menge an H&sub2;-Gas gesintert wird. Deshalb wird das Material vorzugsweise in einem etwas höheren Temperaturbereich gesintert (1.300 ºC bis 1.450 ºC). Das Konzentrationsverhältnis von H&sub2; zu N&sub2; ist vorzugsweise im Bereich von 99,5 : 0,5 bis 95,0 : 5,0.These phenomena cause problems in the laminated ceramic capacitor with a varistor function in terms of electrical and mechanical properties, such as breakage of electrical connections in the internal electrodes, delamination of the ceramic sheets, formation of cracks in the ceramic sheets, and incomplete re-oxidation of the ceramic material. Therefore, when sintering is carried out in an atmosphere in which the H₂ concentration is increased, it is preferable for producing a ceramic capacitor with desirable properties that the sintering temperature is made somewhat lower (1,200 to 1,300 ºC). On the other hand, a ceramic capacitor with a varistor function is rather difficult to make semiconductive when it is sintered in a reducing atmosphere containing a small amount of H₂ gas. Therefore, the material is preferably sintered in a slightly higher temperature range (1,300 ºC to 1,450 ºC). The concentration ratio of H₂ to N₂ is preferably in the range of 99.5:0.5 to 95.0:5.0.

Bei den oben beschriebenen Beispielen wurde ein Mischpulver in Luft kalziniert. Jedoch bestätigte es sich, daß der Kalzinierungsschritt, wenn er in einer Stickstoffatmosphäre durchgeführt wurde, ebenfalls vorteilhaft war.In the examples described above, a mixed powder was calcined in air. However, it was confirmed that the calcination step when carried out in a nitrogen atmosphere was also advantageous.

Auch die Kapazität-Temperaturänderungsrate und der Temperaturkoeffizient der Varistorspannung werden durch das Zufügen mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, verbessert. Mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, wirkt als Träger zur einheitlichen Diffusion der flüssigen Phase eines ternären Oxidsystems aus Mn, Si und Ti in den Korngrenzen, wobei abgegrenzte Schnittstellen zwischen der Halbleiterkristallregion und einer Korngrenzenregion mit hohem Widerstand ausgebildet werden. Wenn die Menge mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, hinzugefügt als dritte Komponente, geringer ist als 0,05 Mol-%, können die Wirkungen des Additivs nicht erzielt werden und geringe Verbesserungen bei der Kapazitäts-Temperaturänderungsrate und beim Temperaturkoeffizient der Varistorspannung werden beobachtet. Wenn die zugesetzte Menge der dritten Komponente 2,0 Mol-% überschreitet, wird mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht und als Träger dient, in den Korngrenzen im Überschuß sein, wodurch die Kapazität und der Spannungs- Nichtlinearitätsindex &alpha; sinken, der äquivalente Reihenwiderstand (ESR) ansteigt, die Sinterdichte abnimmt und die mechanische Festigkeit verschlechtert wird.Also, the capacitance-temperature change rate and the temperature coefficient of varistor voltage are improved by adding at least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃. At least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ acts as a carrier for uniformly diffusing the liquid phase of a ternary oxide system of Mn, Si and Ti in the grain boundaries, forming distinct interfaces between the semiconductor crystal region and a grain boundary region of high resistance. When the amount of at least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ added as a third component is less than 0.05 mol%, the effects of the additive cannot be achieved and little improvement in the capacitance temperature change rate and the temperature coefficient of the varistor voltage are observed. When the amount of the third component added exceeds 2.0 mol%, at least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ serving as a carrier will be in excess in the grain boundaries, thereby decreasing the capacitance and the voltage nonlinearity index α, increasing the equivalent series resistance (ESR), decreasing the sintering density and deteriorating the mechanical strength.

Ein Gemisch aus SiO&sub2; und mindestens einem Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;O und Li&sub2;O besteht, kann ebenfalls als dritte Komponente verwendet werden, anstelle mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht. Wenn jedoch ein Gemisch aus Si&sub2; und mindestens einem Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;O und Li&sub2;O besteht, verwendet wird, zerfällt es leicht während des Sinterschrittes, da mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;O und Li&sub2;O besteht, eine sehr unstabile Verbindung ist, und es neigt zur Zerlegung oder Diffusion in die Atmosphäre, wodurch nur wenig von mindestens einem Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na-Atomen und Li- Atomen besteht, in dem hergestellten gesinterten Körper verbleibt. Darüberhinaus bestätigte es sich, daß mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&spplus; und Li&spplus; besteht, gebildet durch die teilweise lonisierung von Na&sub2;O und Li&sub2;O, unter der hohen Temperaturlast und der hohen Spannung migriert, was eine Verschlechterung der Kondensatoreigenschaften mit sich bringt. Die Wirkungen mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus zugesetzten Na-Ionen und Li-Ionen besteht, kann vorteilhaft durch das Zusetzen des Ions in Form einer Verbindung mit SiO&sub2; bereitgestellt werden.A mixture of SiO₂ and at least one element selected from the group consisting of Na₂O and Li₂O can also be used as the third component instead of at least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃. However, when a mixture of Si₂ and at least one element selected from the group consisting of Na₂O and Li₂O is used, it easily decomposes during the sintering step, since at least one element selected from the group consisting of Na₂O and Li₂O is a very unstable compound, and it is prone to decompose or diffuse into the atmosphere, whereby little of at least one element selected from the group consisting of Na atoms and Li atoms remains in the produced sintered body. Moreover, it was confirmed that at least one element selected from the group consisting of Na⁺ and Li⁺ formed by the partial ionization of Na₂O and Li₂O migrates under the high temperature load and the high voltage, bringing about deterioration of the capacitor characteristics. The effects of at least one element selected from the group consisting of added Na ions and Li ions can be advantageously provided by adding the ion in the form of a compound with SiO₂.

Es bestätigte sich, daß Na-Ionen und Li-Ionen dem Material in Form einer Verbindung von mindestens einem Element zugegeben werden sollten, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht.It was confirmed that Na ions and Li ions should be added to the material in the form of a compound of at least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃.

Darüberhinaus steigert die Zugabe der vierten Komponente, Al&sub2;O&sub3; den Spannungs- Nichtlinearitätsindex &alpha; und senkt den äquivalenten Reihenwiderstand (ESR), da zugesetztes Al&sub2;O&sub3; in das Kristallgitter hinein gelöst wird und den elektrischen Widerstand der Kristallkörner vermindert. Wenn die zugesetzte Menge an Al&sub2;O&sub3; als vierte Komponente geringer ist als 0,05 Mol-%, werden die Eigenschaften des Kondensators nicht in wünschenswerterweise durch das Additiv beeinflußt, woraus sich keine Verbesserungen beim Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; und kein sinkender äquivalenter Reihenwiderstand (ESR) ergibt. Wenn andererseits die zugesetzte Menge 2,0 Mol-% überschreitet, überschreitet diese Menge die Sättigungslöslichkeit im Kristallgitter. Deshalb scheidet sich eine überschüssige Menge von Al&sub2;O&sub3; in den Korngrenzen ab, wodurch der elektrische Widerstand der Korngrenzen vemngert und dadurch die Kapazität und der Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; stark vermindert werden.Furthermore, the addition of the fourth component, Al₂O₃, increases the voltage nonlinearity index α and decreases the equivalent series resistance (ESR) because added Al₂O₃ is dissolved into the crystal lattice and decreases the electrical resistance of the crystal grains. When the amount of Al₂O₃ added as the fourth component is less than 0.05 mol%, the properties of the capacitor are not desirably affected by the additive, resulting in no improvement in the voltage nonlinearity index α and no decrease in the equivalent series resistance (ESR). On the other hand, when the amount added exceeds 2.0 mol%, this amount exceeds the saturation solubility in the crystal lattice. Therefore, an excess amount of Al₂O₃ precipitates. in the grain boundaries, which reduces the electrical resistance of the grain boundaries and thereby greatly reduces the capacitance and the voltage nonlinearity index α.

Auch wird die Kapazitäts-Temperaturänderungsrate und der Temperaturkoeffizient der Varistorspannung durch die Zugabe mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAl&sub2;O&sub3; und LiAl&sub2;O&sub3; besteht, als Variation der dritten und vierten Komponenten auf dieselbe Weise verbessert, wie wenn mindestens ein Element der Gruppe zugesetzt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht. Na-Atome oder Li-Atome, die in mindestens einem Element vorhanden sind, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAlO&sub2; und LiAlO&sub2; besteht, wirken als Träger zur einheitlichen Verbreitung der flüssigen Phase eines ternären Oxidsystems aus Mn, Si und Ti in den Korngrenzen, wodurch abgegrenzte Schnittstellen in der Halbleiterkristallregion und eine Korngrenzenregion mit hohem Widerstand ausgebildet werden.Also, the capacitance-temperature change rate and the temperature coefficient of varistor voltage are improved by adding at least one element selected from the group consisting of NaAl₂O₃ and LiAl₂O₃ as a variation of the third and fourth components in the same manner as when adding at least one element selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃. Na atoms or Li atoms present in at least one element selected from the group consisting of NaAlO₂ and LiAlO₂ act as a carrier for uniformly spreading the liquid phase of a ternary oxide system of Mn, Si and Ti in the grain boundaries, thereby forming distinct interfaces in the semiconductor crystal region and a high-resistivity grain boundary region.

Zweitens wird der Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; erhöht und der äquivalente Reihenwiderstand (ESR) wird durch die Zugabe von mindestens einem Element verringert, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAl&sub2;O&sub3; und LiAl&sub2;O&sub3; besteht, da mindestens ein Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Al und Li besteht, welche in den zugesetzten Verbindungen NaAl&sub2;O&sub3; und LiAl&sub2;O&sub3; senthalten sind, in das Kristallgitter hinein gelöst wird, wodurch der elektrische Widerstand der Kristallkörner verringert wird. Wenn die zugesetzte Menge mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAl&sub2;O&sub3; und LiAl&sub2;O&sub3; besteht, weniger ist als 0,05 Mol-%, können die Wirkungen des Additivs nicht erzielt werden und nur geringe Verbesserungen bei der Kapazitäts Temperaturänderungsrate und beim Temperaturkoeffizient der Varistorspannung werden beobachtet. Auch wird der Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; nicht verbessert und der äquivalente Reihenwiderstand (ESR) wird nicht verringert. Wenn die zugesetzte Menge der dritten Komponente 4,0 Mol-% überschreitet, überschreitet dieses Menge die Sättigungslöslichkeit im Kristallgitter. Deshalb wird mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAl&sub2;O&sub3; und LiAl&sub2;O&sub3; besteht, in den Kristallgrenzen abgeschieden und dies vermindert den elektrischen Widerstand der Korngrenzen, wodurch die Kapazität und der Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha; gesenkt werden, der äquivalente Reihenwiderstand (ESR) gesteigert wird, die Sinterdichte vermindert und die mechanische Festigkeit verschlechtert wird.Secondly, the voltage nonlinearity index α is increased and the equivalent series resistance (ESR) is decreased by the addition of at least one element selected from the group consisting of NaAl₂O₃ and LiAl₂O₃, since at least one atom selected from the group consisting of Al and Li present in the added compounds NaAl₂O₃ and LiAl₂O₃. is dissolved into the crystal lattice, thereby reducing the electrical resistance of the crystal grains. When the added amount of at least one element selected from the group consisting of NaAl₂O₃ and LiAl₂O₃ is less than 0.05 mol%, the effects of the additive cannot be achieved and only slight improvements in the capacitance temperature change rate and the temperature coefficient of varistor voltage are observed. Also, the voltage nonlinearity index α is not improved and the equivalent series resistance (ESR) is not reduced. When the added amount of the third component exceeds 4.0 mol%, this amount exceeds the saturation solubility in the crystal lattice. Therefore, at least one element selected from the group consisting of NaAl₂O₃ and LiAl₂O₃ is is deposited in the crystal boundaries and this reduces the electrical resistance of the grain boundaries, thereby lowering the capacitance and the voltage nonlinearity index α, increasing the equivalent series resistance (ESR), reducing the sintered density and deteriorating the mechanical strength.

Ein Gemisch aus Al&sub2;O&sub3; und mindestens einem Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;O und Li&sub2;O besteht, kann ebenfalls als fünfte Komponente verwendet werden, anstelle mindestens eines Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAl&sub2;O&sub3; und LiAl&sub2;O&sub3; besteht. Wenn jedoch ein Gemisch von Al&sub2;O&sub3; und mindestens einem Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;O und Li&sub2;O besteht, verwendet wird, neigt dieses zur Zerlegung oder Diffusion in die Atmosphäre, da mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;O und Li&sub2;O besteht, eine sehr unstabile Verbindung ist und leicht während des Sinterschrittes zerlegt wird, wodurch wenig des mindestens einen Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na-Atomen und Li- Atomen besteht, in dem hergestellten gesinterten Körper verbleibt. Darüberhinaus bestätigte es sich, daß mindestens ein Element, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&spplus; und Li&spplus; besteht, gebildet durch die teilweise Ionisierung von Na&sub2;O und Li&sub2;O, unter der Last der hohen Temperatur und der hohen Spannung migriert, was eine Verschlechterung der Kondensatoreigenschaften mit sich bringt. Die Wirkungen des mindestens einen Elements, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus zugesetzten Na-Ionen und Li-Ionen besteht, werden vorteilhafterweise durch die Zugabe des Ions in Form von NaAlO&sub2; oder LiAlO&sub2; bereitgestellt. Diese Verbindungen sind in den Korngrenzen stabil.A mixture of Al₂O₃ and at least one element selected from the group consisting of Na₂O and Li₂O can also be used as the fifth component, instead of at least one element selected from the group consisting of NaAl₂O₃ and LiAl₂O₃. However, when a mixture of Al₂O₃ and at least one element selected from the group consisting of Na₂O and Li₂O is used, it tends to decompose or diffuse into the atmosphere because at least one element selected from the group consisting of Na₂O and Li₂O is a very unstable compound and is easily decomposed during the sintering step, whereby little of the at least one element selected from the group consisting of Na atoms and Li atoms remains in the produced sintered body. Moreover, it was confirmed that at least one element selected from the group consisting of Na+ and Li+ formed by the partial ionization of Na₂O and Li₂O migrates under the load of high temperature and high voltage, which brings about deterioration of the capacitor characteristics. The effects of the at least one element selected from the group consisting of added Na ions and Li ions are advantageously provided by the addition of the ion in the form of NaAlO₂ or LiAlO₂. These compounds are stable in the grain boundaries.

Es bestätigte sich, daß Na-Ionen und Li-Ionen dem Material in Form einer Verbindung zugefügt werden sollen, die aus mindestens einem Element besteht, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAlO&sub2; und LiAlO&sub2; besteht.It was confirmed that Na ions and Li ions should be added to the material in the form of a compound consisting of at least one element selected from the group consisting of NaAlO₂ and LiAlO₂.

Obwohl der gesinterte Körper bei 900 ºC in Luft während des Re-Oxidationsschrittes der Beispiele 3 bis 21 re-oxidiert wurde, bestätigte es sich, daß die elektrischen Eigenschaften auftreten, wenn die Re-Oxidationstemperatur auf eine Temperatur im Bereich von 900 bis 1.250 ºC geändert wurde. Da Ni dazu neigt, bei der Re- Oxidation in Luft oxidiert zu werden, wird der gesinterte Körper vorzugsweise in einem etwas geringeren Temperaturbereich (900 bis 1050 ºC) re-oxidiert.Although the sintered body was re-oxidized at 900 ºC in air during the re-oxidation step of Examples 3 to 21, it was confirmed that the electrical characteristics appeared when the re-oxidation temperature was changed to a temperature in the range of 900 to 1,250 ºC. Since Ni tends to be oxidized in the re-oxidation in air, the sintered body is preferably re-oxidized in a slightly lower temperature range (900 to 1,050 ºC).

Auch können die Ag- oder Ag-Pd-Außenelektroden unter einer Stickstoffatmosphäre anstelle von Luft gebacken werden, die in den Beispielen 8 bis 21 verwendet wurde. Jedoch wird das Material vorzugsweise in einem etwas höheren Temperaturbereich (800 bis 950 ºC) in einer Stickstoffatmosphäre gebacken, um bessere elektrische Eigenschaften bereitzustellen.Also, the Ag or Ag-Pd outer electrodes can be baked under a nitrogen atmosphere instead of air, which was used in Examples 8 to 21. However, the material is preferably baked at a slightly higher temperature range (800 to 950 ºC) in a nitrogen atmosphere to provide better electrical properties.

Darüberhinaus kann das Mischpulver aus NiO und Li&sub2;CO&sub3; ebenfalls im anderen Temperaturbereich unter einer Stickstoffatmosphäre kalziniert werden, anstelle von 1.100 ºC in Luft, und ergibt so denselben Effekt. Es bestätigte sich jedoch, daß, wenn das Mischpulver nicht kalziniert wird, der laminierte Keramikkondensator einen etwas weniger tiefen Effekt bezüglich der elektrischen Eigenschaften, der Zuverlässigkeit, der Lebensdauer und der Massenherstellungsfähigkeit aufwies.In addition, the mixed powder of NiO and Li₂CO₃ can also be calcined in the other temperature range under a nitrogen atmosphere instead of 1,100 ºC in air to give the same effect. However, it was confirmed that when the mixed powder is not calcined, the laminated ceramic capacitor had a slightly less profound effect on the electrical properties, reliability, durability and mass production capability.

Obwohl gemäß den obigen Beispielen mindestens eine Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht und mindestens eine Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni haltigen Verbindung gelöst werden, bestätigte es sich, daß derselbe Effekt erzielt werden kann, wenn nur mindestens eine Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder einer Ni haltigen Verbindung gelöst wird, ohne daß mindestens eine Verbindung hinzugegeben wird, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht.Although according to the above examples at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K and at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom is dissolved in Ni or a Ni-containing compound, it was confirmed that the same effect can be achieved if only at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom is dissolved in Ni or a Ni-containing compound without adding at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K.

Das so erhaltene Kondensatorelement zeigt die folgenden Vorteile: Hohe Kapazität und hoher Spannungs-Nichtlinearitätsindex &alpha;; geringe Varistorspannung und geringer äquivalenter Reihenwiderstand (ESR); und hervorragende Temperatur-, Frequenz- und Störungseigenschaften; wodurch das Kondensatorelement Niederspannungsstörungen und Hochfrequenzstörungen mit der Funktion eines herkömmlichen Kondensators absorbiert, Hochspannungsimpulse und statische Elektrizität mit der Funktion eines Varistors absorbiert und schnell auf Eindringen der abnormalen Spannung, wie zum Beispiel Störungen, Impulse und statische Elektrizität reagiert. Es wird erwartet, daß der Kondensator verschiedene Anwendungen herkömmlicher Kondensatoren, wie zum Beispiel Schichtkondensatoren, laminierte Keramikkondensatoren und Halbleiterkondensatoren ersetzen wird. Darüberhinaus sind laminierte Keramikkondensatoren mit Varistorfunktion gemäß der vorliegenden Erfindung geringer in der Größe, höher in der Kapazität und höher bezüglich der Leistung im Vergleich zu herkömmlichen Keramikkondensatoren mit Varistorfunktion vom Einzelplattentyp, wodurch auch ein breiter Anwendungsbereich als Befestigungsteile zu erwarten ist. Ferner verwendet der laminierte Keramikkondensator nach der vorliegenden Erfindung billiges Ni für die Innenelektroden, so daß die Rohmaterialkosten bei diesem Kondensator im Vergleich zu dem laminierten Keramikkondensator mit Varistorfunktion, welcher Edelmetalle wie Pd und Ag als Innenelektroden verwendet, niedriger sein dürften.The capacitor element thus obtained exhibits the following advantages: high capacitance and high voltage nonlinearity index α; low varistor voltage and low equivalent series resistance (ESR); and excellent temperature, frequency and noise characteristics; whereby the capacitor element absorbs low voltage noise and high frequency noise with the function of a conventional capacitor, absorbs high voltage pulses and static electricity with the function of a varistor, and quickly responds to intrusion of abnormal voltage such as noise, pulses and static electricity. The capacitor is expected to replace various applications of conventional capacitors such as film capacitors, laminated ceramic capacitors and semiconductor capacitors. Furthermore, laminated ceramic capacitors with varistor function according to the present invention are smaller in size, higher in capacitance and higher in performance compared with conventional single plate type ceramic capacitors with varistor function, thus also being expected to have a wide range of applications as mounting parts. Furthermore, the laminated ceramic capacitor according to the present invention uses inexpensive Ni for the internal electrodes, so that the raw material cost of this capacitor is expected to be lower compared with the laminated ceramic capacitor with varistor function which uses noble metals such as Pd and Ag as the internal electrodes.

Wie oben beschrieben, kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein laminierter Keramikkondensator mit Varistorfunktion erhalten werden, der sowohl die Funktionen eines Kondensators als auch die eines Varistors aufweist. Der Kondensator arbeitet als herkömmlicher Kondensator, der Niederspannungsstörungen und Hochfrequenzstörungen absorbiert, während er als Varistor arbeitet, wenn Hochspannungsimpulse und statische Elektrizität durch umgebende elektronische Ausstattung erzeugt werden. Deshalb kann dieser Kondensator Halbleiter und elektronische Ausstattung vor abnormalen Spannungen, wie Störungen, Impulse und statischer Elektrizität schützen, die in der elektronischen Ausstattung erzeugt werden. Praktische Anwendungen des Kondensators sind die folgenden:As described above, according to the present invention, a laminated ceramic capacitor with varistor function can be obtained which has both the functions of a capacitor and a varistor. The capacitor works as a conventional capacitor that absorbs low voltage noise and high frequency noise, while it works as a varistor when high voltage pulses and static electricity are generated by surrounding electronic equipment. Therefore, this capacitor can protect semiconductors and electronic equipment from abnormal voltages such as noise, pulses and static electricity generated in the electronic equipment. Practical applications of the capacitor are as follows:

(1) Der Kondensator kann herkömmliche Schicht-, laminierte Keramik- und Halbleiterkeramikkondensatoren ersetzen, welche als Bypass-Kondensatoren zum Schutz von ICs und LSIs verwendet werden, die in elektronischer Ausstattung Verwendung finden.(1) The capacitor can replace conventional film, laminated ceramic and semiconductor ceramic capacitors, which are used as bypass capacitors to protect ICs and LSIs used in electronic equipment.

(2) Der Kondensator kann Kondensatoren von ZnO-Typ ersetzen, welche zur Verhinderung der Zerstörung und von Fehlfunktionen elektronischer Ausstattung verwendet werden, die durch statische Elektrizität entsteht, und zum Absorbieren von AN-AUS-Stromstößen, die durch induktive Lasten entstehen.(2) The capacitor can replace ZnO type capacitors, which are used to prevent destruction and malfunction of electronic equipment caused by static electricity and to absorb ON-OFF surges caused by inductive loads.

Der Kondensator besitzt beide Funktionen, die in den obigen Punkten (1) und (2) beschrieben wurden, und ein weiter Anwendungsbereich ist zu erwarten.The capacitor has both functions described in points (1) and (2) above and a wide range of applications is expected.

Ein laminierter Keramikkondensator mit einer Varistorfunktion gemäß der vorliegenden Erfindung, welcher Ni-Innenelektroden hat, kann gemäß der Erfindung ohne weiteres hergestellt werden, da die Verbesserung sowohl der Oxidations- Widerstandsfähigkeit der Ni-Innenelektroden als auch der Oxidation der Kristallgrenzen des Keramikelements aus den folgenden Gründen möglich würde. Zuerst einmal wird die Oxidationsrate des Ni, welches ein Oxid vom p-Typ produziert, durch das Lösen einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in Ni oder in einer Ni haltigen Verbindung verringert, wodurch die Oxidations-Widerstandsfähigkeit des Ni verbessert wird. Zweitens wird ein Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, ohne weiteres bei einem Re-Oxidationsschritt in die Kristallkorngrenzen eines Keramikelements dispergiert, wirkt als Sauerstoffträger und beschleunigt die Oxidation der Kristallkorngrenzen. Die vorliegende Erfindung stellt diese Hauptvorteile beim Herstellungsverfahren der Kondensatoren zur Verfügung.A laminated ceramic capacitor with a varistor function according to the present invention, which has Ni internal electrodes, can be easily manufactured according to the invention, since the improvement of both the oxidation resistance of the Ni internal electrodes and the oxidation of the crystal boundaries of the ceramic element would be possible for the following reasons. First, the oxidation rate of Ni, which produces a p-type oxide, is reduced by dissolving a compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in Ni or in a Ni-containing compound, thereby improving the oxidation resistance of Ni. Second, an atom selected from the group consisting of of Li, Na and K, is readily dispersed into the crystal grain boundaries of a ceramic element in a re-oxidation step, acts as an oxygen carrier and accelerates the oxidation of the crystal grain boundaries. The present invention provides these main advantages in the manufacturing process of the capacitors.

Da der laminierte Keramikkondensator mit Varistorfunktion gemäß der vorliegenden Erfindung kleiner, bezüglich der Kapazität höher und bezüglich der Leistung besser im Vergleich mit herkömmlichen Keramikkondensatoren vom Einzelplattentyp mit Varistorfunktion ist, wird erwartet, daß der Kondensator der vorliegenden Erfindung einen breiten Anwendungsbereich als hochintegriertes Befestigungselement für elektronische Ausstattung, wie zum Beispiel Videokameras und Kommunikationseinrichtungen haben wird.Since the laminated ceramic capacitor with varistor function according to the present invention is smaller in size, higher in capacitance and better in performance as compared with conventional single plate type ceramic capacitors with varistor function, the capacitor of the present invention is expected to have a wide range of applications as a highly integrated mounting member for electronic equipment such as video cameras and communication devices.

Demgemäß können gemäß der vorliegenden Erfindung Kondensatorelemente mit den Funktionen des Schutzes von Halbleitern und elektronischer Ausstattung vor dem Eindringen von abnormalen Spannungen, wie zum Beispiel Störungen, Impulsen und statischer Elektrizität erhalten werden. Die Eigenschaften des Kondensators sind so stabil gegenüber Temperaturänderungen, daß die Effekte der vorliegenden Erfindung in Hinsicht auf praktische Anwendungen stark verbessert sind.Accordingly, according to the present invention, capacitor elements having the functions of protecting semiconductors and electronic equipment from the intrusion of abnormal voltages such as noise, impulses and static electricity can be obtained. The characteristics of the capacitor are so stable against temperature changes that the effects of the present invention are greatly improved in terms of practical applications.

Claims (29)

1. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation mit einem Halbleiterkeramikblock mit einer Zwischenkornisolations-Struktur, mehreren Ni- Innenelektroden (2a) und Außenelektroden (3), wobei die Ni-Innenelektroden (2a) in einer im wesentlichen parallelen Art und Weise so in dem Keramikblock angeordnet sind, daß sie abwechselnd eine nach der anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten des Keramikblocks erreichen, und wobei die Außenelektroden (3) jeweils elektrisch mit den entsprechenden Kanten der Innenelektroden (2a) verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Ni-Innenelektroden (2a) aus einer Paste erhalten werden, die ein Pulver enthält, welches durch das Lösen von 0,05 Mol.-% bis 2,0 Mol.-% mindestens einer Verbindung, welche ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in Ni oder einer Ni enthaltenen Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder höher hergestellt wird.1. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation comprising a semiconductor ceramic block having an intergrain insulation structure, a plurality of Ni internal electrodes (2a) and external electrodes (3), the Ni internal electrodes (2a) being arranged in a substantially parallel manner in the ceramic block so as to reach the respective opposite edges of the ceramic block alternately one after another, and the external electrodes (3) being respectively electrically connected to the respective edges of the internal electrodes (2a), characterized in that the Ni internal electrodes (2a) are obtained from a paste containing a powder prepared by dissolving 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group containing Li, Na and K in Ni or a Ni-containing compound having a purity of 90% or higher. 2. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die Außenelektroden aus mindestens einem Metall hergestellt sind, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Pd, Ag, Cu, Zn und Ni besteht; aus deren Legierungen oder aus ihren Gemischen.2. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the external electrodes are made of at least one metal selected from the group consisting of Pd, Ag, Cu, Zn and Ni; their alloys or their mixtures. 3. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die Außenelektroden durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, welches aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Li, Na und K besteht; oder einer Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Li, Na und K besteht, mit mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung erhalten werden.3. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the external electrodes are obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K; or a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K with at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom into Ni or a compound containing Ni. 4. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die Außenelektroden aufweisen: (1) Untere Außenelektroden, welche durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, oder einer Kombination mindestens einer Verbindung, die ein Atom enthält, welches aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, mit mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder eine Ni enthaltenden Verbindung erhalten werden, und (2) obere Außenelektroden vom Ag- oder Ag-Pd- Typ.4. The intergrain insulation type laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the external electrodes comprise: (1) lower external electrodes obtained by dissolving at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K, or a combination of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K with at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a compound containing Ni, and (2) upper external electrodes of Ag or Ag-Pd type. 5. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die Außenelektroden durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt-Atom enthält, in Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung erhalten werden.5. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the external electrodes are obtained by dissolving at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom in Ni or a Ni-containing compound. 6. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die Außenelektroden aufweisen: (1) Untere Außenelektroden, welche durch das Lösen mindestens einer Verbindung, die ein Pd-Atom oder ein Pt- Atom enthält, in Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung erhalten werden, und (2) obere Außenelektroden vom Ag- oder Ag-Pd-Typ.6. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the external electrodes comprise: (1) lower external electrodes formed by dissolving at least one compound containing a Pd atom or a Pt atom, in Ni or a Ni-containing compound, and (2) upper external electrodes of Ag or Ag-Pd type. 7. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und eine Kombination von mindestens einer Verbindung, die ein Mn-Atom enthält, mit mindestens einer Verbindung, die ein Si-Atom enthält, wobei die Gesamtmenge der Kombination im Bereich von jeweils 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; bzw. SiO&sub2; betrifft, liegt.7. The intergrain-insulated laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the intergrain-insulated semiconductor ceramic has as a main component SrTiO₃ with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and a combination of at least one compound containing a Mn atom with at least one compound containing a Si atom, the total amount of the combination being in the range of 0.2 to 5.0 mol%, respectively, in terms of MnO₂ and SiO₂. 8. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr/Ti < 1,00 erzeugt wird, mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol- %; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; und mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%.8. The intergrain-insulated laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the intergrain-insulated semiconductor ceramic has as a main component SrTiO₃ with an excess amount of Ti to produce a molar ratio of Sr to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr/Ti < 1.00, at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; and at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%. 9. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und Al&sub2;O&sub3; im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%.9. The intergrain insulated laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic comprises, as a main component, SrTiO₃ with an excess amount of Ti to produce a molar ratio of Sr to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr/Ti <1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and Al₂O₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%. 10. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil SrTiO&sub3; mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr zu Ti im Bereich von 0 95 &le; Sr/Ti < 1 ,00 erzeugt wird, mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%, mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; und mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAlO&sub2; und LiAlO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 4,0 Mol-%.10. The intergrain-insulated laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the intergrain-insulated semiconductor ceramic has as a main component SrTiO₃ with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr to Ti in the range of 0 95 ≤ Sr/Ti < 1.00, at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂. in the range of 0.05 to 2.0 mol%, at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; and at least one compound selected from the group consisting of NaAlO₂ and LiAlO₂ in the range of 0.05 to 4.0 mol%. 11. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0 < x &le; 0,3) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft.11. The intergrain-insulated laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the intergrain-insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0 < x ≤ 0.3) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Bax/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂. 12. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0 < x &le; 0,3) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax/Ti < 1 ,00 erzeut wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; und mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%.12. Laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to Claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic comprises as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0 < x ≤ 0.3) with an excess amount of Ti to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Bax/Ti <1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; and at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%. 13. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0 < x &le; 0,3) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Ba/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und Al&sub2;O&sub3; im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%.13. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0 < x ≤ 0.3) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Ba/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and Al₂O₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%. 14. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0 < x ( 0,3) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax/Ti < 1 ,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; und mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAlO&sub2; und LiAlO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 4,0 Mol-%.14. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃. (where 0 < x (0.3) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ? Sr(1-x)Bax/Ti <1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂ in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom in the range of 0.2 to 5.0 mol% which is MnO₂ or SiO2; and at least one compound selected from the group consisting of NaAlO₂ and LiAlO₂ in the range of 0.05 to 4.0 mol%. 15. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0,001 &le; x &le; 0,2) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft.15. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0.001 ≤ x ≤ 0.2) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Bax/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and and CeO₂, in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and at least one compound containing a Mn atom or a Si atom, in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂. 16. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0,001 &le; x &le; 0,2) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol- %, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; und mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%.16. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0.001 ≤ x ≤ 0.2) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Bax/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and and CeO₂, in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom, in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; and at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃, in the range of 0.05 to 2.0 mol%. 17. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0,001 &le; x &le; 0,2) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol- %, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Na&sub2;SiO&sub3; und Li&sub2;SiO&sub3; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; und Al&sub2;O&sub3; im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%.17. The intergrain insulated laminated semiconductor ceramic capacitor according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0.001 ≤ x ≤ 0.2) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Bax <1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and CeO₂. in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound which is a Mn atom or Si atom, in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; at least one compound selected from the group consisting of Na₂SiO₃ and Li₂SiO₃, in the range of 0.05 to 2.0 mol%; and Al₂O₃ in the range of 0.05 to 2.0 mol%. 18. Laminierter Halbleiterkeramikkondensator mit Zwischenkornisolation gemäß Anspruch 1, bei dem die zwischenkornisolierte Halbleiterkeramik als Hauptbestandteil Sr(1-x)BaxTiO&sub3; (mit 0,001 &le; x &le; 0 2) mit einer Überschußmenge an Ti aufweist, so daß ein Molverhältnis von Sr(1-x)Bax zu Ti im Bereich von 0,95 &le; Sr(1-x)Bax/Ti < 1,00 erzeugt wird; mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Nb&sub2;O&sub5;, Ta&sub2;O&sub5;, V&sub2;O&sub5;, W&sub2;O&sub5;, Dy&sub2;O&sub3;, Nd&sub2;O&sub3;, Y&sub2;O&sub3;, La&sub2;O&sub3; und CeO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 2,0 Mol-%; mindestens eine Verbindung, die ein Mn-Atom oder ein Si-Atom enthält, im Bereich von 0,2 bis 5,0 Mol-%, was MnO&sub2; oder SiO&sub2; betrifft; und mindestens eine Verbindung, die aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus NaAlO&sub2; und LiAlO&sub2; besteht, im Bereich von 0,05 bis 4,0 Mol-%.18. A laminated semiconductor ceramic capacitor with intergrain insulation according to claim 1, wherein the intergrain insulated semiconductor ceramic has as a main component Sr(1-x)BaxTiO₃ (where 0.001 ≤ x ≤ 0 2) with an excess amount of Ti so as to produce a molar ratio of Sr(1-x)Bax to Ti in the range of 0.95 ≤ Sr(1-x)Bax/Ti < 1.00; at least one compound selected from the group consisting of Nb₂O₅, Ta₂O₅, V₂O₅, W₂O₅, Dy₂O₃, Nd₂O₃, Y₂O₃, La₂O₃ and and CeO₂, in the range of 0.05 to 2.0 mol%; at least one compound containing a Mn atom or a Si atom, in the range of 0.2 to 5.0 mol% as regards MnO₂ or SiO₂; and at least one compound selected from the group consisting of NaAlO₂ and LiAlO₂, in the range of 0.05 to 4.0 mol%. 19. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:19. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer zwischenkornisolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) calcining a mixed powder of a ceramic composition to form an intergrain-isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined powder in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, wherein the calcined powder is finely ground before dispersing and after calcining, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c),d) laminating and compressing the raw sheet structures (1b) with the internal electrode pattern with the uppermost and lowermost raw sheet structures (1a, 1c), e) Kalzinieren der resultierenden Roh-Flächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur von höchstens 1250 ºC,e) calcining the resulting raw sheet (1b) in air at a temperature of not more than 1250 ºC, f) Sintern der kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre, wodurch ein gesinterter Keramikkörper mit Innenelektroden (2a) entsteht,f) sintering the calcined sheet structures (1b) in a reducing atmosphere, whereby a sintered ceramic body with internal electrodes (2a) is formed, g) Reoxidieren des gesinterten Keramikkörpers in Luft,g) reoxidizing the sintered ceramic body in air, h) Abdecken der Kanten der gesinterten Keramikflächengebilde (1b) mit einer Außenelektrodenpaste, wobei die Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu diesen Kanten hin freiliegen, undh) covering the edges of the sintered ceramic sheet structures (1b) with an external electrode paste, whereby the connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards these edges, and i) Brennen der Paste, um Außenelektroden (3) auszubilden, so daß die Innenelektroden (2a) elektrisch mit den Außenelektroden (3) verbunden werden,i) firing the paste to form external electrodes (3) so that the internal electrodes (2a) are electrically connected to the external electrodes (3), dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that j) für die Innenelektrodenpaste (2) ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder höher und 0,05 Mol-% bis 2,5 Mol-% mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält,j) for the internal electrode paste (2), a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90% or higher and 0.05 mol% to 2.5 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group containing Li, Na and K, k) das Mischpulver in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre kalziniert wird, um die Verbindung, welche ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in dem Ni oder der Ni enthaltenden Verbindung zu lösen,k) the mixed powder is calcined in air or in a nitrogen atmosphere to dissolve the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K in the Ni or the Ni-containing compound, l) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht,l) the calcined mixed powder is finely ground and mixed in a solvent with an organic binder, thereby forming an internal electrode paste (2), m) die Temperatur des Kalzinierungsschrittes (e) mindestens 800 ºC ist, undm) the temperature of the calcination step (e) is at least 800 ºC, and n) beim Reoxidierungsschritt (g) das Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in die Kriställkorngrenzen des Keramikelements des Keramikkörpers hinein dispergiert.n) in the reoxidation step (g), the atom selected from the group consisting of Li, Na and K is dispersed into the crystal grain boundaries of the ceramic element of the ceramic body. 20. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:20. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer zwischenkornisolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) calcining a mixed powder of a ceramic composition to form an intergrain isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined powder in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, wherein the calcined powder is finely ground before dispersing and after calcining, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c),d) laminating and compressing the raw sheet structures (1b) with the internal electrode pattern with the uppermost and lowermost raw sheet structures (1a, 1c), e) Abdecken der Kanten der Rohflächengebilde (1b) mit Außenelektrodenpaste, wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu den Kanten hin freiliegen,e) covering the edges of the raw surface structures (1b) with external electrode paste, whereby connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards the edges, dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that f) die resultierenden Rohflächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur im Bereich von 800 bis 1250 ºC kalziniert werden,f) the resulting green sheet structures (1b) are calcined in air at a temperature in the range of 800 to 1250 ºC, g) die kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert werden, wodurch ein gesinterter Keramikkörper mit Innen- und Außenelektroden (2a, 3) entsteht,g) the calcined sheet structures (1b) are sintered in a reducing atmosphere, whereby a sintered ceramic body with inner and outer electrodes (2a, 3) is formed, h) der gesinterte Keramikkörper in Luft reoxidiert wird, wodurch das Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, welche aus Li, Na und K besteht, in die Kristallkorngrenzen eines Keramikelements des Keramikkörpers dispergieren kann, undh) the sintered ceramic body is reoxidized in air, whereby the atom selected from the group consisting of Li, Na and K can disperse into the crystal grain boundaries of a ceramic element of the ceramic body, and i) die Außenelektroden (3) re-reduziert werden, und wobeii) the outer electrodes (3) are re-reduced, and j) für die Innenelektrodenpaste (2) ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder mehr und 0,05 Mol- % bis 2 Mol-% mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht,j) for the internal electrode paste (2), a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90% or more and 0.05 mol% to 2 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K , k) das Mischpulver in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre kalziniert wird, um die Verbindung, welche ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in das Ni oder die Ni enthaltende Verbindung hinein gelöst wird, undk) the mixed powder is calcined in air or in a nitrogen atmosphere to dissolve the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K into the Ni or Ni-containing compound, and l) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht.l) the calcined mixed powder is finely ground and mixed in a solvent with an organic binder, thereby forming an internal electrode paste (2). 21. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:21. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer zwischenkornisolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) calcining a mixed powder of a ceramic composition to form an intergrain isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined powder in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, wherein the calcined powder is finely ground before dispersing and after calcining, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c),d) laminating and compressing the raw sheet structures (1b) with the internal electrode pattern with the uppermost and lowermost raw sheet structures (1a, 1c), e) Kalzinieren der resultierenden Rohflächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur von höchstens 1250 ºC, unde) calcining the resulting green sheet (1b) in air at a temperature of not more than 1250 ºC, and f) Abdecken der Kanten der kalzinierten Keramikflächengebilde (1b) mit einer Außenelektrodenpaste, wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu diesen Kanten hin freiliegen,f) covering the edges of the calcined ceramic sheet structures (1b) with an external electrode paste, whereby connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards these edges, dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that g) die Temperatur des Kalzinierungsschrittes (e) mindestens 800 ºC ist,g) the temperature of the calcination step (e) is at least 800 ºC, h) die kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert werden, wodurch ein gesinterter Keramikkörper mit Innen- und Außenelektroden (2a, 3) entsteht,h) the calcined sheet structures (1b) are sintered in a reducing atmosphere, whereby a sintered ceramic body with inner and outer electrodes (2a, 3) is formed, i) der gesinterte Keramikkörper in Luft reoxidiert wird, wodurch das aus der Gruppe ausgewählte Atom, die aus Li, Na und K besteht, in die Kristallkorngrenzen eines Keramikelements des Keramikkörpers eindispergieren kann, undi) the sintered ceramic body is reoxidized in air, whereby the atom selected from the group consisting of Li, Na and K can disperse into the crystal grain boundaries of a ceramic element of the ceramic body, and j) die Außenelektroden (3) re-reduziert werden, und wobeij) the outer electrodes (3) are re-reduced, and k) für die Innenelektrodenpaste (2) ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder höher und 0,05 Mol-% bis 2,0 Mol-% mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht,k) for the internal electrode paste (2), a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90% or higher and 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K , l) das Mischpulver in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre kalziniert wird, so daß die Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in das Ni oder die Ni enthaltende Verbindung hinein gelöst wird, undl) the mixed powder is calcined in air or in a nitrogen atmosphere, so that the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K is dissolved into the Ni or Ni-containing compound, and m) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht.m) the calcined mixed powder is finely ground and mixed with an organic binder in a solvent, thereby forming an internal electrode paste (2). 22. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:22. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer zwischenkornisolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) Calcining a mixed powder of a ceramic composition to Formation of an intergrain isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined powder in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, wherein the calcined powder is finely ground before dispersing and after calcining, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c),d) laminating and compressing the raw sheet structures (1b) with the internal electrode pattern with the uppermost and lowermost raw sheet structures (1a, 1c), dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that e) die Kanten der Rohflächengebilde (1b) mit einer Unterschicht-Außenelektrodenpaste abgedeckt werden, wobei die Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu den Kanten hin freiliegen,e) the edges of the raw sheet structures (1b) are covered with an underlayer external electrode paste, whereby the connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards the edges, f) die resultierenden Rohflächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur im Bereich von 800 bis 1250 ºC kalziniert werden,f) the resulting green sheet structures (1b) are calcined in air at a temperature in the range of 800 to 1250 ºC, g) die kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert werden, wodurch ein gesinterter Keramikkörper mit Innenelektroden (2) und Unterschicht-Außenelektroden entsteht,g) the calcined sheet structures (1b) are sintered in a reducing atmosphere, whereby a sintered ceramic body with internal electrodes (2) and underlayer external electrodes is formed, h) eine Oberschicht-Außenelektrodenpaste, die Ag oder ein Gemisch aus Ag und Pd enthält, auf die Unterschicht-Außenelektroden aufgebracht wird, undh) a top layer external electrode paste containing Ag or a mixture of Ag and Pd is applied to the bottom layer external electrodes, and i) die Oberschicht-Elektrodenpaste in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre gebrannt wird, um Oberschicht-Außenelektroden auf den Unterschicht- Außenelektroden auszubilden, und wobeii) the upper layer electrode paste is fired in air or in a nitrogen atmosphere to form upper layer external electrodes on the lower layer external electrodes, and wherein j) für die Innenelektrodenpaste (2) ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder höher und 0,05 Mol- % bis 2,0 Mol- % mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht,j) for the internal electrode paste (2) a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90 % or higher and 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K, k) das Mischpulver in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre kalziniert wird, um die Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in das Ni oder eine Ni-haltige Verbindung hinein zu lösen, undk) the mixed powder is calcined in air or in a nitrogen atmosphere to dissolve the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K into the Ni or a Ni-containing compound, and l) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht.l) the calcined mixed powder is finely ground and mixed in a solvent with an organic binder, thereby forming an internal electrode paste (2). 23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterschicht- Außenelektrodenpaste Ni enthält; durch das Reoxidieren des Keramikkörpers in Luft; und das Re-reduzieren der Außenelektroden (3).23. A method according to claim 22, characterized in that the underlayer external electrode paste contains Ni; by reoxidizing the ceramic body in air; and re-reducing the external electrodes (3). 24. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:24. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer zwischenkornisolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) calcining a mixed powder of a ceramic composition to form an intergrain isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined powder in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, wherein the calcined powder is finely ground before dispersing and after calcining, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c),d) Laminating and compressing the raw sheet (1b) with the Internal electrode pattern with the top and bottom raw surface structures (1a, 1c), dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that e) die Kanten der Rohflächengebilde (1b) mit einer Unterschicht-Außenelektrodenpaste abgedeckt werden, wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu den Kanten hin freiliegen,e) the edges of the raw sheet structures (1b) are covered with a underlayer external electrode paste, whereby connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards the edges, f) die erhaltenen Rohflächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur im Bereich von 800 bis 1250 ºC kalziniert werden,f) the resulting raw sheet structures (1b) are calcined in air at a temperature in the range of 800 to 1250 ºC, g) die kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert werden,g) the calcined sheet structures (1b) are sintered in a reducing atmosphere, h) die gesinterten Flächengebilde in Luft reoxidiert werden, wodurch das Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in die Kristallkorngrenzen eines Keramikelements des keramischen Körpers hinein dispergieren kann,h) the sintered sheets are reoxidized in air, whereby the atom selected from the group consisting of Li, Na and K can disperse into the crystal grain boundaries of a ceramic element of the ceramic body, i) eine Oberschicht-Außenelektrodenpaste, die Ag oder ein Gemisch aus Ag und Pd enthält, auf die Unterschicht-Außenelektroden aufgebracht wird,i) a top layer external electrode paste containing Ag or a mixture of Ag and Pd is applied to the bottom layer external electrodes, j) die erhaltenen Flächengebilde re-reduziert werden, undj) the resulting fabrics are re-reduced, and k) die re-reduzierten Flächengebilde in Luft wärmebehandelt werden, um Oberschicht-Außenelektroden auf den Unterschicht-Außenelektroden auszubilden, und wobeik) the re-reduced sheets are heat treated in air to form top layer external electrodes on the bottom layer external electrodes, and wherein l) für die Innenelektrodenpaste (2) ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder höher und 0,05 Mol-% bis 2,0 Mol-% mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgebildet wird, die aus Li, Na und K besteht,l) for the internal electrode paste (2), a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90% or higher and 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom formed from the group consisting of Li, Na and K , m) das Mischpulver in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre kalziniert wird, um die Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in das Ni oder die Ni enthaltende Verbindung hinein gelöst wird, und(m) the mixed powder is calcined in air or in a nitrogen atmosphere to dissolve the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K into the Ni or the Ni-containing compound, and n) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht.n) the calcined mixed powder is finely ground and mixed in a solvent with an organic binder, thereby forming an internal electrode paste (2) is created. 25. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:25. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer Zwischenkorn-isolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) calcining a mixed powder of a ceramic composition to form an intergrain-isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined powder in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, wherein the calcined powder is finely ground before dispersing and after calcining, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c), undd) laminating and compressing the raw sheet (1b) with the internal electrode pattern with the uppermost and lowermost raw sheet (1a, 1c), and e) Kalzinieren der erhaltenen Rohflächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur von höchstens 1250 ºC,e) calcining the resulting raw sheet (1b) in air at a temperature of not more than 1250 ºC, dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that f) die Temperatur des Kalzinierungsschritts (e) mindestens 800 ºC ist,f) the temperature of the calcination step (e) is at least 800 ºC, g) die Kanten der kalzinierten Keramikflächengebilde (1b) mit einer Unterschicht-Außenelektrodenpaste bedeckt werden, wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu den Kanten hin freiliegen,g) the edges of the calcined ceramic sheet structures (1b) are covered with an underlayer external electrode paste, whereby connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards the edges, h) die kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert werden,h) the calcined sheet structures (1b) are sintered in a reducing atmosphere, i) eine Oberschicht-Außenelektrodenpaste, die Ag oder ein Gemisch von Ag und Pd enthält, auf die Unterschicht-Außenelektroden aufgebracht wird, undi) a top layer external electrode paste containing Ag or a mixture of Ag and Pd is applied to the bottom layer external electrodes, and j) die Oberschicht-Elektrodenpaste in Luft oder einer Stickstoffatmosphäre gebrannt wird, um Oberschicht-Außenelektroden auf den Unterschicht- Außenelektroden auszubilden, und wobeij) the upper layer electrode paste is fired in air or a nitrogen atmosphere to form upper layer external electrodes on the lower layer external electrodes, and wherein k) für die Innenelektrodenpaste (2) ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder höher und 0,05 Mol-% bis 2,0 Mol-% mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht,k) for the internal electrode paste (2), a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90% or higher and 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K , l) das Mischpulver in Luft oder einer Stickstoff enthaltenen Atmosphäre kalziniert wird, um die Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in das Ni oder die Ni enthaltende Verbindung hinein zu lösen, und(l) the mixed powder is calcined in air or a nitrogen-containing atmosphere to dissolve the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K into the Ni or the Ni-containing compound, and m) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht.m) the calcined mixed powder is finely ground and mixed in a solvent, whereby an internal electrode paste (2) is formed. 26. Verfahren gemäß Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Sintern des Schrittes (h) das Re-Oxidieren des gesinterten Keramikkörpers in Luft und das Re- reduzieren der Außenelektroden (3) folgt.26. Method according to claim 25, characterized in that the sintering of step (h) is followed by re-oxidizing the sintered ceramic body in air and re-reducing the external electrodes (3). 27. Verfahren gemäß Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Sintern des Schrittes (h) das Re-Oxidieren des gesinterten Keramikkörpers in Luft folgt, auf den Schritt (i) das Re-Reduzieren des gesinterten und re-oxidierten Keramikkörpers folgt, und der gesinterte, re-oxidierte und re-reduzierte Keramikkörper in Luft wärmebehandelt wird.27. A method according to claim 25, characterized in that the sintering of step (h) is followed by re-oxidizing the sintered ceramic body in air, step (i) is followed by re-reducing the sintered and re-oxidized ceramic body, and the sintered, re-oxidized and re-reduced ceramic body is heat-treated in air. 28. Verfahren zur Herstellung eines laminierten Halbleiterkeramikkondensators (4) mit Zwischenkornisolation mit den folgenden Schritten:28. A method for producing a laminated semiconductor ceramic capacitor (4) with intergrain insulation, comprising the following steps: a) Kalzinieren eines Mischpulvers aus einer Keramikzusammensetzung zur Ausbildung einer zwischenkornisolierten Struktur in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre,a) calcining a mixed powder of a ceramic composition to form an intergrain isolated structure in air or in a nitrogen atmosphere, b) Ausbilden von Roh-Flächengebilden (1b) durch Dispergieren des kalzinierten Pulves in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel und Ausformen des dispergierten Pulvers, wobei das kalzinierte Pulver vor dem Dispergieren und nach dem Kalzinieren feinzerkleinert wird,b) forming raw sheet structures (1b) by dispersing the calcined Powders in a solvent with an organic binder and forming the dispersed powder, whereby the calcined powder is finely ground before dispersion and after calcination, c) Ausbilden eines Innenelektrodenmusters durch die Aufbringung einer Innenelektrodenpaste (2) auf eine Oberfläche eines jeden der Roh-Flächengebilde (1b), bis auf das oberste und unterste Flächengebilde (1a, 1c), wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) verlängert werden, um alternativ einer nach dem anderen die entsprechenden gegenüberliegenden Kanten der Roh- Flächengebilde (1b) zu erreichen,c) forming an internal electrode pattern by applying an internal electrode paste (2) to a surface of each of the green sheets (1b), except for the uppermost and lowermost sheets (1a, 1c), whereby terminals of the internal electrodes (2a) are extended to alternatively reach the corresponding opposite edges of the green sheets (1b) one after the other, d) Laminieren und Komprimieren der Roh-Flächengebilde (1b) mit dem Innenelektrodenmuster mit den obersten und untersten Roh-Flächengebilden (1a, 1c),d) laminating and compressing the raw sheet structures (1b) with the internal electrode pattern with the uppermost and lowermost raw sheet structures (1a, 1c), e) Kalzinieren der erhaltenen Rohflächengebilde (1b) in Luft bei einer Temperatur von höchstens 1250 ºC,e) calcining the resulting raw sheet (1b) in air at a temperature of not more than 1250 ºC, f) Sintern der kalzinierten Flächengebilde (1b) in einer reduzierenden Atmosphäre, wodurch ein gesinterter Keramikkörper entsteht,f) sintering the calcined sheet structures (1b) in a reducing atmosphere, thereby producing a sintered ceramic body, g) Re-oxidieren des gesinterten Keramikkörpers in Luft,g) Re-oxidizing the sintered ceramic body in air, dadurch gekennzeichnet, daßcharacterized in that h) die Temperatur des Kalzinierungsschrittes (e) mindestens 800 ºC ist,h) the temperature of the calcination step (e) is at least 800 ºC, i) beim Re-Oxidationsschritt (g) das Atom, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht, in die Kristallkorngrenzen des Keramikelements des Keramikkörpers hinein dispergiert,i) in the re-oxidation step (g), the atom selected from the group consisting of Li, Na and K is dispersed into the crystal grain boundaries of the ceramic element of the ceramic body, j) auf das Re-Oxidieren das Abdecken der Kanten des gesinterten Keramikkörpers mit einer Unterschicht-Außenelektrodenpaste folgt, wobei Anschlüsse der Innenelektroden (2a) zu den Kanten hin freiliegen,j) the re-oxidation is followed by covering the edges of the sintered ceramic body with an underlayer external electrode paste, whereby connections of the internal electrodes (2a) are exposed towards the edges, k) die Unterschicht-Außenelektrodenpaste in einer reduzierenden oder in einer Stickstoffatmosphäre gebrannt wird,k) the undercoat outer electrode paste is fired in a reducing or nitrogen atmosphere, l) eine Oberschicht-Außenelektrodenpaste, die Ag oder ein Gemisch von Ag und Pd enthält, auf die Unterschicht-Außenelektroden aufgebracht wird, undl) a top layer external electrode paste containing Ag or a mixture of Ag and Pd is applied to the bottom layer external electrodes, and m) die Oberschicht-Außenelektrodenpaste in Luft oder einer Stickstoffatmosphäre gebrannt wird, um Oberschicht-Außenelektroden auf den Unterschicht- Außenelektroden auszubilden, und wobeim) the upper layer outer electrode paste is fired in air or a nitrogen atmosphere to form upper layer outer electrodes on the lower layer external electrodes, and n) für die Innenelektrodenpaste ein Mischpulver hergestellt wird, das Ni oder eine Ni enthaltende Verbindung mit einer Reinheit von 90 % oder mehr und 0,05 Mol-% bis 2,0 Mol-% mindestens einer Verbindung enthält, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus Li, Na und K besteht,n) for the internal electrode paste, a mixed powder is prepared which contains Ni or a Ni-containing compound with a purity of 90% or more and 0.05 mol% to 2.0 mol% of at least one compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K, o) das Mischpulver in Luft oder in einer Stickstoffatmosphäre kalziniert wird, um die Verbindung, die ein Atom enthält, das aus der Gruppe ausgewählt wird, die Li, Na und K enthält, in das Ni oder die Ni enthaltende Verbindung hinein gelöst wird, und(o) the mixed powder is calcined in air or in a nitrogen atmosphere to dissolve the compound containing an atom selected from the group consisting of Li, Na and K into the Ni or the Ni-containing compound, and p) das kalzinierte Mischpulver feinzerkleinert und in einem Lösungsmittel mit einem organischen Bindemittel gemischt wird, wodurch eine Innenelektrodenpaste (2) entsteht.p) the calcined mixed powder is finely ground and mixed in a solvent with an organic binder, whereby an internal electrode paste (2) is formed. 29. Verfahren gemäß einem der vorhergehenden Verfahrensansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur der kalzinierten Flächengebilde (1b) vor dem Sintern auf eine Temperatur im Bereich von 1000 bis 1200 ºC in einer Stickstoffatmosphäre angehoben wird.29. Process according to one of the preceding process claims, characterized in that the temperature of the calcined sheet-like structures (1b) is raised to a temperature in the range of 1000 to 1200 ºC in a nitrogen atmosphere before sintering.
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