DE623769C

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Publication number: DE623769C
Application number: DENDAT623769D
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Description

Elektrische Linsensysteme, z. B. elektrische Einzellinsen, in der bekannten Doppelkondensatorform gemäß Abb. 1 wurden bisher aus gelochten, ebenen Blechen oder Blechzylin,-dem hergestellt.Electric lens systems, e.g. B. electric single lenses, in the known double capacitor form according to Fig. 1 were previously made of perforated, flat sheet metal or sheet metal cylinder, -dem manufactured.

Es hat sich aber gezeigt, daß derartige Linsensysteme Bildfehler aufweisen, insbeson-• dere Bildfeldwölbung·, und zwar machen sich diese Fehler mit wachsender Entfernung der 10' Elektronenstrahlen von der optischen Achse des Systems in steigendem Maße bemerkbar. Diese Fehler sind darauf zurückzuführen· daß die die brechenden Eigenschaften des Systems bestimmenden Potentialflächen an achsenentfernteren Punkten eine starke Krümmung aufweisen, wie dies aus dem eingezeichneten Potentialverlauf der Abb. 1 zu ersehen ist, wenn man die Punkten betrachtet.It has been shown, however, that such lens systems have image errors, in particular their curvature of field ·, and these errors occur with increasing distance of the 10 'electron beams from the optical axis of the system is becoming increasingly noticeable. These errors are due to that the potential surfaces that determine the breaking properties of the system are present Points further away from the axis have a strong curvature, as shown in the drawing The potential curve in Fig. 1 can be seen if you look at the points.

Die Bildfehler lassen sich nun weitgehend dadurch herabsetzen, daß gemäß der Erfindung die die brechenden Eigenschaften des Systems bestimmenden Elektrodenöffnungen trichterförmige Auswölbungen aufweisen, die dem natürlichen Verlauf der Potentialflächen angepaßt sind.The image errors can now largely be reduced in that, according to the invention the electrode openings, which determine the refractive properties of the system, have funnel-shaped bulges which are adapted to the natural course of the potential surfaces.

Die Erfindung soll an Hand der Zeichnung in mehreren Ausführungsformen näher erläutert werden. Abb, 2 zeigt eine elektrische Einzellinse in Form eines rotationssymmetrisehen Doppelkondensators im Querschnitt Die Öffnungen der Elektroden Uf₁ und Zr₂ sind in Ausführung der Erfindung durch schräg nach außen gerichtete kranzförmige Ansätze F trichterförmig ausgewölbt.The invention is to be explained in more detail with reference to the drawing in several embodiments. Fig, 2 is an electric single lens in the form shows a double rotationssymmetrisehen capacitor in cross-section, the openings of the electrodes Uf ₁ and ₂ of the invention are Zr arched funnel-shaped by oblique annular outwardly directed lugs F in execution.

Als sehr vorteilhaft hat sich auch die in Abb. 3 dargestellte Form erwiesen, bei der die nach außen gerichteten kranzförmigen Ansätze noch eine Umbiegung F' besitzen; hierdurch wird die Krümmung der Potentialflächen noch gleichmäßiger, so daß die Bildfehler noch geringer werden.The shape shown in Fig. 3 has also proven to be very advantageous, in which the outwardly directed annular extensions still have a bend F ' ; This makes the curvature of the potential surfaces even more uniform, so that the image errors are even less.

Die Elektroden gemäß der Erfindung können aus Blech gepreßt sein oder aus vollem Material bestehen oder auch als Hohlkörper ausgebildet sein. Abb. 4 zeigt die Ausführung als Hohlkörper.The electrodes according to the invention can be pressed from sheet metal or from consist of full material or be designed as a hollow body. Fig. 4 shows the execution as a hollow body.

Bei der elektrischen Einzellinse haben sich außerdem wulstförmige Mittelclektroden für die Herabsetzung der Bildfehler als günstig erwiesen, wie dies in Abb. 4 bei W dargestellt ist.In the case of the individual electric lens, bead-shaped central electrodes have also proven to be beneficial for reducing image errors, as shown in Fig. 4 at W.

Claims

Patent claims:

1. Electric lens system in double capacitor form for the purpose of electron-optical imaging, characterized in that that the electrode openings, which determine the refractive properties of the system, are funnel-shaped bulges that are adapted to the natural course of the potential surfaces.

2. Electric single lens according to claim i, characterized in that the Center electrode is bead-shaped.

*) Von dem Patentsucher ist als der Erfinder angegeben worden:*) The patent seeker stated as the inventor:

Dr.-Ing. Helmut Johannson in Berlin-Charlottenburg.Dr.-Ing. Helmut Johannson in Berlin-Charlottenburg.