DE60101897T2

DE60101897T2 - Manufacturing process of a stator stage for a turbine pump

Info

Publication number: DE60101897T2
Application number: DE2001601897
Authority: DE
Inventors: Roberto Carboneri; Silvio Giors
Original assignee: Varian SpA
Current assignee: Varian SpA
Priority date: 2001-03-15
Filing date: 2001-03-15
Publication date: 2004-12-30
Anticipated expiration: 2021-03-16
Also published as: DE60101897D1

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Turbinenpumpen und insbesondere betrifft sie ein Verfahren zur Herstellung einer Statorstufe für eine solche Pumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe.The The present invention relates to turbine pumps and in particular it relates to a method for producing a stator stage for one Pump, especially a turbomolecular pump.

Die herkömmlichen Statorstufen solcher Pumpen werden, selbst wenn sie mit radialen Flügeln ausgestattet werden, im Allgemeinen durch Form- und Fräsverfahren hergestellt.The usual Stator stages of such pumps, even if they are radial Wings fitted are generally manufactured by molding and milling processes.

Eine gleichzeitig anhängige Patentanmeldung im Namen des Anmelders, eingereicht am gleichen Datum wie die vorliegende Anmeldung, offenbart eine Turbomolekularpumpe mit mindestens einer Statorstufe, die mit einem Abstandshalterring integriert ist, welcher in Übereinstimmung mit einer Übergangskammer auf Zwischendruck angeordnet ist. Eine solche Stufe umfasst eine Scheibe mit einer Vielzahl von radialen Flügeln, die an ihren inneren Enden mit dem zentralen Scheibenbereich und an ihren äußeren Enden mit dem Abstandhalterring verbunden sind. Die Flügel bilden einen sehr schmalen Winkel mit der Scheibenebene in der Größenordnung von 10° und überlappen einander, um sehr schmale Kanäle in der Größenordnung von 1 mm dazwischen zu belassen. Diese Werte ermöglichen das Aufrechterhalten einer molekularen Gasströmung in der Richtung vom Pumpeneinlass zum Auslaß bis zu etwa 100 mTorr, das heißt 13,33 Pa (oder anders ausgedrückt, die Pumpe kann den obigen Druck in der Übergangskammer tolerieren), ohne die Kompressionsfähigkeit der oberen Stufen zu verlieren.A pending at the same time Patent application on behalf of the applicant, filed on the same day Date as the present application discloses a turbomolecular pump with at least one stator stage with a spacer ring is integrated, which is in accordance with a transition chamber is arranged on intermediate pressure. Such a stage includes one Washer with a large number of radial wings at its inner ends with the central disc area and at its outer ends with the spacer ring are connected. The wings form a very narrow angle with the disk plane of the order of magnitude of 10 ° and overlap each other to very narrow channels in the order of magnitude of 1 mm in between. These values allow maintenance a molecular gas flow in the direction from the pump inlet to the outlet up to about 100 mTorr is called 13.33 Pa (or in other words, the pump can tolerate the above pressure in the transition chamber), without the compressibility to lose the upper levels.

Eine solche Statorstufe, bei der die Flügel an beiden Enden gebunden sind, können nicht durch die Fräs- und Formverfahren hergestellt werden, die üblicherweise zur Herstellung von herkömmlichen Statorstufen verwendet werden, da das Fräsen nicht zur Herstellung von Trennkanälen mit verringerter Dicke zwischen den Flügeln verwendet werden kann, wohingegen das Formen nicht die Herstellung von überlappenden Flügeln gestattet.A such a stator stage in which the blades are tied at both ends are, can not through the milling and molding processes that are commonly used for manufacturing from conventional Stator stages are used because the milling is not used to manufacture separation channels can be used with reduced thickness between the wings, whereas molding does not allow the production of overlapping wings.

Somit besteht das Ziel der Erfindung darin, ein Verfahren zur Herstellung von Statorstufen mit teilweise überlappenden radialen Flügeln bereitzustellen, wobei die Flügel keine freien Enden aufweisen und durch sehr schmale Kanäle getrennt sind.Consequently The aim of the invention is to provide a method for the production of stator stages with partially overlapping radial wings provide, with the wings have no free ends and separated by very narrow channels are.

Um dieses Ziel zu erreichen, wurde ein Verfahren auf der Basis einer Bearbeitung mit elektrischer Entladung gemäß der Erfindung verwendet. Ein solches Verfahren wird bereits auf dem Gebiet von Turbinenpumpen verwendet, um Laufräder und Rotoren herzustellen, wie z.B. in EP-A-0 426 233 offenbart. Gemäß diesem Dokument wird ein Werkstück, in dem ein Laufrad erhalten werden soll, in einer Vorrichtung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung der Wirkung eines Werkzeugs mit mindestens einer Platte, in der radiale Schlitze ausgebildet sind, die in einem zentralen hohlen Bereich enden, ausgesetzt. Durch eine relative kombinierte Dreh- und Parallelverschiebungsbewegung des Werkstücks und des Werkzeugs, die die zwei Elektroden der Vorrichtung bilden, wird ein radialer Flügel des Laufrades für jeden Schlitz hergestellt. Dennoch weisen die radialen Flügel ein freies Ende auf, somit sehen die Lehren des Dokuments keinen nützlichen Hinweis vor, um das obige Ziel zu erreichen.To achieve this goal, a method based on electrical discharge machining according to the invention has been used. Such a method is already used in the field of turbine pumps to produce impellers and rotors, such as in EP-A-0 426 233 disclosed. According to this document, a workpiece in which an impeller is to be obtained is subjected in an electrical discharge machining apparatus to the action of a tool with at least one plate in which radial slots are formed which end in a central hollow area. By means of a relatively combined rotational and parallel displacement movement of the workpiece and the tool, which form the two electrodes of the device, a radial wing of the impeller is produced for each slot. However, the radial wings have a free end, so the teachings of the document provide no useful clue to accomplish the above goal.

Dieses Ziel wird durch ein Verfahren mit einem Vorschritt erreicht, bei dem ein Werkstück, das der zu erhaltenden Statorstufe entspricht, vorbereitet wird und in einer Vorrichtung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung, von welcher das Werkstück eine Elektrode bildet, vor einem Bearbeitungswerkzeug zur elektrischen Entladung, das die andere Elektrode bildet, angeordnet wird, und eine relative kombinierte Dreh- und Parallelverschiebungsbewegung des Werkzeugs und des Werkstücks erzeugt wird. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass zur Herstellung einer Statorstufe mit einer Scheibe mit einer Vielzahl von radialen Flügeln, die mit der Scheibe an sowohl einem radial inneren Ende als auch einem radial äußeren Ende verbunden sind und durch sehr schmale Kanäle getrennt sind, das Werkzeug mindestens eine Platte umfasst, die mit mindestens einem zungenförmigen langgestreckten Element ausgestattet ist, das an einem Ende mit der Werkzeugplatte verbunden ist und sich entlang einer Umfangskante der Platte in einer Ebene, die relativ zur Platte selbst geneigt ist, in einem solchen Abstand von der Achse der kombinierten Dreh- und Parallelverschiebungsbewegung erstreckt, dass die Zunge immer innerhalb der Scheibe bleibt, so dass durch die relative kombinierte Dreh- und Parallelverschiebungsbewegung des Werkzeugs und des Werkstücks mindestens ein Kanal, der an beiden Enden radial begrenzt ist und eine Form, Größe und Neigung aufweist, die jenen des Zungenelements entsprechen, in dem Werkstück erzeugt wird.This Goal is achieved through a one step process at which a workpiece that corresponds to the stator stage to be obtained is prepared and in an electrical discharge machining apparatus, of which the workpiece is one Electrode forms in front of a machining tool for electrical Discharge, which forms the other electrode, is arranged, and a relative combined rotational and parallel displacement movement of the tool and the workpiece is produced. The process is characterized in that Production of a stator stage with a disk with a large number of radial wings, the one with the washer at both a radially inner end as well a radially outer end are connected and separated by very narrow channels, the tool comprises at least one plate with at least one tongue-shaped elongated element is equipped, which is connected at one end to the tool plate and is along a peripheral edge of the plate in one plane, which is inclined relative to the plate itself at such a distance from the axis of the combined rotational and parallel displacement movement that the tongue always stays inside the disc, so that by the relative combined rotational and parallel displacement movement of the tool and the workpiece at least one channel which is radially delimited at both ends and a shape, size and inclination has that correspond to those of the tongue element, produced in the workpiece becomes.

Die Merkmale der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels besser ersichtlich, das als nicht-begrenzendes Beispiel angegeben wird und in den zugehörigen Zeichnungen gezeigt ist, in welchen gilt:The Features of the invention will become apparent from the following description of a preferred embodiment more clearly, which is given as a non-limiting example and in the associated Is shown in which:

1 ist eine Draufsicht auf ein zum Durchführen des Verfahrens der Erfindung verwendetes Werkzeug; 1 Figure 3 is a top view of a tool used to carry out the method of the invention;

2 ist eine Vorderansicht des in 1 gezeigten Werkzeugs; 2 is a front view of the in 1 tool shown;

3 ist eine schematische perspektivische Ansicht des Verfahrens der Erfindung; 3 Figure 3 is a schematic perspective view of the method of the invention;

4 ist eine perspektivische Ansicht einer gemäß der Erfindung hergestellten Statorstufe; 4 Figure 3 is a perspective view of a stator stage made in accordance with the invention;

5 ist eine schematische Draufsicht auf den in 4 gezeigten Stator; 5 is a schematic top view of the in 4 shown stator;

6 ist eine Querschnittsansicht gemäß einer Ebene, die durch die Linie VI-VI in 5 verläuft; und 6 Fig. 3 is a cross-sectional view according to a plane through the line VI-VI in Fig. 5 runs; and

7 ist eine schematische Draufsicht auf den Stator, der zum Montieren am Rotor bereit ist. 7 is a schematic top view of the stator ready for mounting on the rotor.

Mit Bezug auf die 1 bis 3 wurde das Verfahren der Erfindung im Fall seiner Anwendung auf die Herstellung eines Turbinenpumpenstators durch Bearbeitung mit elektrischer Entladung, welcher eine Scheibe mit radialen Flügeln umfasst und mit einem Abstandhalterring an seiner Außenkante versehen ist, schematisch dargestellt. Das Werkzeug ist mit 1 bezeichnet und das Werkstück ist mit 2 bezeichnet. Beide Elemente befinden sich in einer Vorrichtung zur Bearbeitung mit elektrischer Entladung, die nicht dargestellt ist, da sie an sich gut bekannt ist und kein Teil der vorliegenden Erfindung ist. Das Werkzeug 1 bildet eine Elektrode und das Werkstück 2 die andere Elektrode dieser Vorrichtung.With respect to the 1 to 3 the method of the invention in the case of its application to the production of a turbine pump stator by machining with electrical discharge, which comprises a disk with radial vanes and is provided with a spacer ring on its outer edge, has been schematically illustrated. The tool is with 1 designated and the workpiece is marked with 2 designated. Both elements are in an electrical discharge machining device, which is not shown, since it is well known per se and is not part of the present invention. The tool 1 forms an electrode and the workpiece 2 the other electrode of this device.

Das aus Kupfer hergestellte Werkzeug 1 besteht aus einer Platte 3, die im Wesentlichen wie ein gleichschenkliges Dreieck geformt ist, von welchem die Basis 4 ein Bogen mit einem Umfang mit einem Radius ist, der im Wesentlichen jenem der herzustellenden Statorscheibe entspricht (und genauer einem Radius, der im Wesentlichen gleich dem Abstand der äußeren Flügelkanten von der Scheibenachse ist). Die Platte 3 weist eine zur Basis 4 koaxiale Bohrung 5 auf, die es ermöglicht, dass das Werkzeug 1 an einer Welle 6, die an einem Werkzeugkopf montiert ist, der entlang der drei kartesischen Achsen parallelverschoben und um die Z-Achse gedreht werden kann, festgekeilt wird.The tool made of copper 1 consists of a plate 3 which is shaped essentially like an isosceles triangle from which the base 4 is an arc with a perimeter with a radius that substantially corresponds to that of the stator disc to be manufactured (and more precisely a radius that is substantially equal to the distance of the outer wing edges from the disc axis). The plate 3 points one to the base 4 coaxial bore 5 on that allows the tool 1 on a shaft 6 , which is mounted on a tool head that can be moved in parallel along the three Cartesian axes and rotated around the Z axis.

Die Platte 3 weist auf einer Seite eine Zunge 7 auf, die sich entlang eines Teils der Basis 4 erstreckt und an einem Ende mit der Platte 3 verbunden ist, wohingegen das andere Zungenende frei ist. Die Zunge 7 weist ebene Oberflächen und eine konstante Dicke auf und bildet mit der Ebene der Platte 3 einen Winkel α in Abhängigkeit vom Neigungswinkel, der für die Flügel des herzustellenden Stators erwünscht ist.The plate 3 has a tongue on one side 7 on that extends along part of the base 4 extends and at one end to the plate 3 is connected, whereas the other end of the tongue is free. The tongue 7 has flat surfaces and a constant thickness and forms with the plane of the plate 3 an angle α as a function of the angle of inclination that is desired for the blades of the stator to be manufactured.

Das Werkstück 2 ist ein im Wesentlichen becherartiges Aluminiumstück mit einer Scheibe 8 mit einer Umfangskante 9, die in beiden Richtungen axial vorsteht. Die axiale Ausdehnung der Kante 9 ist an den entgegengesetzten Scheibenkanten verschieden und sie ist vorzugsweise auf der Seite größer, die während der Bearbeitung vom Werkzeug 1 abgewandt ist. Eine Öffnung 10 ist in einem solchen Teil mit größerer Ausdehnung vorgeformt, und wenn der Stator in einer Pumpe montiert ist, die in einem Leckdetektor verwendet wird, steht sie mit einem Zwischendruckeinlass für ein Testgas in Verbindung, das in einem Gegenstromfluss in Richtung eines mit einem Niederdruckeinlass der Pumpe verbundenen Gasdetektors strömt.The workpiece 2 is an essentially cup-like piece of aluminum with a disc 8th with a peripheral edge 9 that protrudes axially in both directions. The axial extent of the edge 9 is different on the opposite edge of the disc and it is preferably larger on the side during the machining of the tool 1 is turned away. An opening 10 is preformed in such a larger dimension, and when the stator is mounted in a pump used in a leak detector, it communicates with an intermediate pressure inlet for a test gas which is in a countercurrent flow towards one with a low pressure inlet of the pump connected gas detector flows.

Durch Parallelverschieben des Werkzeugs 1 entlang der Z-Achse und Drehen desselben um einen Winkel β um diese Achse wird eine kombinierte schraubenförmige Dreh- und Parallelverschiebungsbewegung erhalten, durch die veranlasst wird, dass das Werkzeug 1 mit dem durch die Kante 9 festgelegten Hohlraum in Eingriff kommt und durch das Werkstück 2 hindurchgeht. Der Teil der Scheibe 8, der vor der Zunge 7 liegt, wird durch Bearbeitung mit elektrischer Entladung entfernt, wodurch ein geneigter Kanal ausgebildet wird, der sich von der Kante 9 in Richtung des Zentrums der Scheibe 8 in einem Ausmaß erstreckt, das im Wesentlichen der Breite der Zunge 7 entspricht. Die Länge der Zunge 7 wird so gewählt, dass sich die Bearbeitung auf die gesamte Dicke der Scheibe 8 auswirkt.By moving the tool in parallel 1 a combined helical rotational and parallel displacement movement is obtained along the Z axis and rotating the same by an angle β about this axis, which causes the tool to move 1 with that by the edge 9 fixed cavity comes into engagement and through the workpiece 2 passes. The part of the disc 8th who is in front of the tongue 7 is removed by machining with electrical discharge, forming an inclined channel extending from the edge 9 towards the center of the disc 8th extends to an extent substantially the width of the tongue 7 equivalent. The length of the tongue 7 is chosen so that the processing is based on the entire thickness of the disc 8th effect.

Sobald ein Kanal ausgebildet wurde, wird das Werkzeug 1 wieder in seine Ruhestellung gebracht, es wird um einen Winkel gedreht, der dem gewünschten Winkelabstand zwischen den Kanälen entspricht, und es wird dann wieder der kombinierten schraubenförmigen Dreh- und Parallelverschiebungsbewegung unterzogen, um einen zweiten Kanal zu graben. Die Vorgänge werden wiederholt, bis die gewünschte Anzahl an Kanälen erhalten wurde. Die Bearbeitung der Scheibe 8 hinterlässt zwischen den Kanälen einen Satz von Flügeln, die um den Winkel α geneigt sind und mit der Scheibe nicht nur an ihren radial inneren Kanten, sondern auch an ihren radial äußeren Kanten verbunden sind; wenn die radiale Größe der Platte 3 und die Position der Zunge 7 gegeben sind, ist die Umfangskante 9 des Werkstücks tatsächlich von der Bearbeitung nicht betroffen.As soon as a channel has been formed, the tool 1 returned to its rest position, it is rotated through an angle corresponding to the desired angular distance between the channels, and it is then subjected to the combined helical rotating and parallel displacement movement to dig a second channel. The processes are repeated until the desired number of channels has been obtained. Processing the disc 8th leaves between the channels a set of wings which are inclined by the angle α and which are connected to the disk not only at its radially inner edges but also at its radially outer edges; if the radial size of the plate 3 and the position of the tongue 7 is the circumferential edge 9 of the workpiece is actually not affected by the machining.

4 bis 6 zeigen den Stator 11, der durch das beschriebene Verfahren erhalten wurde. Die Flügel sind mit 12 bezeichnet, die Trennkanäle sind mit 13 bezeichnet und die Bezugsziffer 14 bezeichnet eine vorgeformte zentrale Bohrung, durch die die Welle des Pumpenrotors verläuft. Die Querschnittsansicht in 6 zeigt deutlich den schmalen Winkel der Flügel 12 relativ zur Ebene der Scheibe 8 entsprechend dem Winkel α und die begrenzte Dicke s der Kanäle 13, die aufgrund der konstanten Dicke der Zunge 7 radial konstant ist. 4 to 6 show the stator 11 obtained by the described method. The wings are with 12 designated, the separation channels are marked with 13 designated and the reference number 14 denotes a preformed central hole through which the shaft of the pump rotor runs. The cross-sectional view in 6 clearly shows the narrow angle of the wings 12 relative to the plane of the disc 8th corresponding to the angle α and the limited thickness s of the channels 13 due to the constant thickness of the tongue 7 is radially constant.

Vorteilhafterweise liegt der Winkel α in der Größenordnung von 10° und die Dicke s liegt in der Größenordnung von 1 mm. Eine solche begrenzte Dicke und die Tatsache, dass die Flügel 12 keine freien Enden aufweisen, hat zur Verwendung der Bearbeitung mit elektrischer Entladung zur Herstellung des Stators geführt.Advantageously, the angle α is of the order of 10 ° and the thickness s is of the order of 1 mm. Such a limited Tuesday cke and the fact that the wings 12 has no free ends, has led to the use of electrical discharge machining to manufacture the stator.

Sobald alle Flügel 12 und Kanäle 13 ausgebildet wurden, umfasst das Verfahren den weiteren Schritt des Schneidens des Stators 11 in zwei Hälften 11', 11'', um eine anschließende Montage innerhalb einer Pumpe um die Rotorwelle zu ermöglichen. Das Schneiden wird auch durch Bearbeitung mit elektrischer Entladung, insbesondere Bearbeitung mit elektrischer Drahtentladung unter Verwendung eines sehr dünnen Drahts (z.B. mit einem Durchmesser von 0,1 mm), durchgeführt, um sicherzustellen, dass die engen Toleranzen eingehalten werden, die für die Montage in der Pumpe erforderlich sind. Das Endprodukt ist in 7 gezeigt.Once all the wings 12 and channels 13 were formed, the method comprises the further step of cutting the stator 11 in two halves 11 ' . 11 '' to enable subsequent assembly within a pump around the rotor shaft. The cutting is also done by machining with electrical discharge, in particular machining with electrical wire discharge using a very thin wire (e.g. with a diameter of 0.1 mm) to ensure that the tight tolerances that are required for assembly in the pump are required. The end product is in 7 shown.

Es ist offensichtlich, dass die obige Beschreibung nur als nicht-begrenzendes Beispiel gegeben ist und dass Änderungen und Modifikationen möglich sind, ohne vom Schutzbereich der Erfindung abzuweichen.It it is obvious that the above description is only non-limiting Example is given and that changes and modifications are possible without departing from the scope of the invention.

Offensichtlich gilt das Verfahren insbesondere nicht nur für die Herstellung einer Statorstufe, die mit einem Abstandhalterring integriert ist, wie der in 4 gezeigten Stufe, sondern es ermöglicht im Allgemeinen das Ausbilden von Kanälen in einem Werkstück, die an beiden Enden radial begrenzt sind (daher sind die Flügel an beiden Enden mit dem Körper des ausgebildeten Stücks verbunden).Obviously, the method applies in particular not only to the production of a stator stage which is integrated with a spacer ring, such as that in 4 stage, but generally allows channels to be formed in a workpiece that are radially delimited at both ends (therefore the wings are connected to the body of the formed piece at both ends).

Selbst wenn ein Werkzeug, das für das Ausbilden eines Kanals auf einmal geeignet ist, offenbart wurde, könnte überdies ein Werkzeug, das aus einer Scheibe mit mehreren Zungen 7 besteht, ins Auge gefasst werden, um die gleichzeitige Herstellung von mehreren und möglicherweise allen Kanälen 13 zu ermöglichen. Das Werkzeug könnte natürlich selbst im Fall einer einzelnen Zunge eine vollständige Scheibe sein.Furthermore, even if a tool suitable for forming a channel at once was disclosed, a tool consisting of a disc with several tongues could be used 7 exists to be envisaged to produce multiple and possibly all channels simultaneously 13 to enable. The tool could of course be a complete disc even in the case of a single tongue.

Schließlich könnten unter Verwendung eines Werkzeugs mit einer Vielzahl von Platten oder Scheiben 3, die an der Welle 6 montiert sind, alle Statorstufen der Pumpe ausgebildet werden, ausgehend von einem geeignet geformten Rohwerkstück, das bereits in die zwei Hälften unterteilt ist, um das Anordnen der Platten 3 vor den Statorscheiben zu ermöglichen.Finally, you could use a tool with a variety of plates or disks 3 that on the shaft 6 are assembled, all stator stages of the pump are formed, starting from a suitably shaped raw workpiece, which is already divided into two halves, in order to arrange the plates 3 in front of the stator disks.

Claims

Method for producing a stator stage ( 11 ) for a turbine pump with a preliminary step in which a workpiece ( 2 ) that of the stator stage to be obtained ( 11 ) corresponds to, is prepared and in a device for machining with electrical discharge, of which the workpiece forms an electrode, in front of a machining tool ( 1 ) for electrical discharge, which forms the other electrode, and a relative combined rotational and parallel displacement movement of the tool and the workpiece is generated, the method being characterized in that for forming a stator stage ( 11 ) with a disc ( 8th ) with a large number of radial vanes ( 12 ) with the disc ( 8th ) are connected at both a radially inner end and a radially outer end and by very narrow channels ( 13 ) are separated, the tool ( 1 ) at least one plate ( 3 ) comprising at least one tongue-shaped element ( 7 ) that is fitted at one end with the plate ( 3 ) is connected and that extends along a peripheral edge ( 4 ) the plate ( 3 ) in a plane that is inclined relative to the plate, at such a distance from the axis of the combined rotary and parallel displacement movement that the tongue always remains within the disc, so that by the relative combined rotary and parallel displacement movement of the tool and the Workpiece at least one channel ( 13 ) which is radially delimited at both ends and has a shape, size and inclination corresponding to that of the tongue-shaped element ( 7 ) is generated in the workpiece.

A method according to claim 1, characterized in that the tongue element ( 7 ) has such a longitudinal extent that it the channels ( 13 ) in the disc ( 8th ) molded.

A method according to claim 1 or 2, characterized in that the plate ( 3 ) with a single tongue-shaped element ( 7 ) is provided and the relative combined rotational and parallel displacement movement of the tool ( 1 ) and the workpiece ( 2 ) is repeated to a variety of channels ( 13 ), which always starts from a starting position in which the tool ( 1 ) is rotated relative to a previous starting position by an angle corresponding to the angular distance between successive channels.

A method according to claim 1 or 2, characterized in that the plate ( 3 ) from a disc with a multitude of tongue-shaped elements ( 7 ), which are arranged along the edge.

A method according to claim 4, characterized in that the disc has so many tongue-shaped elements ( 7 ) like channels to be made ( 13 ) having.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the channels ( 13 ) Pairs of inclined and overlapping radial wings ( 12 ) separate.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the or each tongue-shaped element ( 7 ) has an inclination of the order of 10 °.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the or each tongue-shaped element ( 7 ) has a constant thickness.

A method according to claim 8, characterized in that the constant thickness is such that the channels in the radial direction have a constant thickness on the order of 1 mm.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the workpiece ( 2 ) at least one disc ( 8th ) with a peripheral edge ( 9 ), which is in one piece with the disk and projects axially therefrom, for the production of a stator stage which is integrated with a spacer ring, and the tool ( 1 ) is arranged so that it enters the cavity defined by the protruding edge during the combined rotational and parallel displacement movement.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the tool ( 1 ) a variety of plates ( 3 ) carried by a shaft and the workpiece ( 2 ) a variety of discs ( 8th ), with each plate ( 3 ) is placed in front of one of the disks during operation and is brought to it by the combined rotary and parallel displacement movement, for the simultaneous production of one or more through channels ( 13 ) in a variety of stator stages.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that, after all the channels ( 13 ) were trained, the disc ( 8th ) or each level ( 11 ) for the subsequent assembly on a rotor of the pump is divided into two halves according to a diametrical line.

A method according to claim 12, characterized in that subdivision by machining with electrical discharge carried out by means of a wire becomes.