DE4425874A1

DE4425874A1 - Substrate carrier

Info

Publication number: DE4425874A1
Application number: DE4425874A
Authority: DE
Inventors: Dieter Linke
Original assignee: GES ZUR FOERDERUNG ANGEWANDTER OPTIK OPTOELEKTRONIK QUANTENELEKTRONIK & SPEKTROSKOPIE EV
Current assignee: GES ZUR FOERDERUNG ANGEWANDTER OPTIK OPTOELEKTRONIK QUANTENELEKTRONIK & SPEKTROSKOPIE EV
Priority date: 1994-07-09
Filing date: 1994-07-09
Publication date: 1996-01-11

Abstract

The substrate carrier (1) for temporary fixing of a flat component, in particular, a semiconductor substrate, is provided with a number of suction holes (4.0-4.4) in its plane seating surface (2). Means are provided for individual or gp.-wise control of the connection between these holes and a vacuum source. The suction holes (4.0-4.4) lead into a common vacuum chamber in the substrate carrier body. Between the holes and the vacuum chamber there is a closure system (7) whose elements are movable essentially parallel to the seating surface (2), and dependent on their position, either block or unblock a predetermined number of holes.

Description

Die Erfindung betrifft einen Substratträger der im Ober begriff des Anspruchs 1 angegebenen Art.The invention relates to a substrate carrier in the upper Concept of claim 1 specified Art.

Substratträger sind zur zeitweiligen Halterung und Lage fixierung für die mechanische Bearbeitung, Reinigung und Strukturierung von - bei großtechnischen Verfahren in der Regel scheibenförmigen - Halbleitersubstraten in der Mikro- und Optoelektroniktechnologie unverzichtbare Hilfs mittel.Substrate carriers are for temporary holding and location fixation for mechanical processing, cleaning and Structuring of - in large-scale processes in the Usually disk-shaped - semiconductor substrates in the Micro and optoelectronic technology indispensable auxiliary medium.

Die zu bearbeitenden Substrate können auf einen Substrat träger aufgekittet oder -geklebt oder auf diesem - ent sprechende Ausbildung des Trägers vorausgesetzt - durch einen auf die Rückseite des Substrates einwirkenden Unter druck (ein "Vakuum") festgehalten werden. Die letztere Möglichkeit ist insofern vorteilhaft, als weder ein Auf trag noch anschließend eine Entfernung von Kitt oder Kleb stoff erforderlich ist, was zu erheblichen Vereinfachungen der Verfahren und zur Minimierung aufwendiger und umwelt belastender chemischer Prozeduren führt.The substrates to be processed can be on a substrate carrier cemented or glued or on this - ent speaking training of the carrier provided - by a sub acting on the back of the substrate pressure (a "vacuum"). The latter Possibility is advantageous in that neither an up then remove putty or glue Substance is required, which leads to significant simplifications the process and to minimize costly and environmental leads to stressful chemical procedures.

Bei den großtechnischen Prozessen der Halbleitertechnolo gie sind üblicherweise sämtliche Anlagen und Komponenten einer Fertigungslinie oder -stätte auf die Bearbeitung und Handhabung von scheibenförmigen Substraten einer bestimm ten standardisierten Größe - etwa (derzeit) mit einem Durchmesser von 75-300 mm bei der Si-Technologie bzw. 50 oder 100 mm bei der GaAs-Technologie - ausgerichtet. Diese Auslegung betrifft auch die Handhabungseinrichtungen ein schließlich der Vakuum-Substratträger.In the large-scale processes of semiconductor technology All systems and components are usually used a production line or site for processing and Handling disc-shaped substrates of a certain standardized size - approximately (currently) with a Diameter of 75-300 mm with Si technology or 50 or 100 mm for GaAs technology - aligned. These Interpretation also affects the handling equipment finally the vacuum substrate carrier.

In für kleinere Stückzahlen ausgelegten, flexiblen Produk tionsanlagen sowie Anlagen, die zu Forschungs- und Test zwecken genutzt werden, ist jedoch eine Auslegung der Substratträger zur Aufnahme und sicheren Fixierung von Substraten unterschiedlichen Durchmessers sowie auch von Substrat-Bruchstücken wünschenswert. In flexible product designed for smaller quantities tion systems as well as systems for research and testing used for purposes, however, is an interpretation of the Substrate carrier for holding and securely fixing Substrates of different diameters as well as Substrate fragments desirable.

Bei einem für nur eine Substratgröße ausgelegten Sub stratträger ist eine Anpassung an ein kleineres als das bei der Auslegung zugrundegelegte Substrat behelfsweise durch Überkleben oder anderweitiges Verstopfen von Sauglö chern, die durch das kleinere Substrat nicht bedeckt sind, zur Vermeidung von Lecks im Vakuumsystem und einer dadurch verringerten Haltekraft möglich. Dieses Vorgehen ist je doch umständlich und birgt die Gefahr von Verschmutzungen des Trägers und Substrates in sich. Bei häufig wechselnden Substratgrößen und -formen ist es nicht praktikabel.With a sub designed for only one substrate size stratträger is an adaptation to a smaller one than that temporarily as a basis for the design of the substrate by pasting or otherwise clogging suction that are not covered by the smaller substrate, to avoid leaks in the vacuum system and thereby one reduced holding power possible. This approach is ever but cumbersome and carries the risk of contamination of the carrier and substrate in itself. With frequently changing Substrate sizes and shapes are not practical.

Bei einem bekannten Substratträger der gattungsgemäßen Art, der etwa in Ritzautomaten zur Vereinzelung von Halb leiterbauelementen eingesetzt wird, sind gruppenweise mit getrennten, jeweils einzeln durch gesonderte Ventile ab sperrbarem Kanälen verbundene Ansaugöffnungen vorgesehen. Durch Betätigung der einzelnen Ventile werden je nach Ge stalt und Größe eines zu bearbeitenden Substrates die au ßerhalb von dessen Grundfläche liegenden Ansaugöffnungen möglichst vollständig abgesperrt, so daß das Vakuumsystem möglichst leckfrei ist und das Substrat damit fest auf dem Träger fixiert ist. Dies gelingt jedoch in sinnvoller Wei se nur für wenige Standard-Substratgrößen, da eine Unter teilung der Ansaugöffnungen in sehr viele Gruppen - wie sie zur Anpassung an sehr unterschiedliche Substratgrößen und -formen nötig wäre - gleichzeitig das Vorsehen der gleichen Anzahl getrennter Kanäle und Absperrventile, d. h. einen unvertretbaren technischen Aufwand, erfordern würde. Zudem ist der Substratträger durch die vielen Absperrven tile unhandlich und umständlich zu bedienen. In a known substrate carrier of the generic type Kind that is used in scribing machines for separating half ladder components are used in groups separated, each individually by separate valves lockable channels connected suction openings provided. Depending on the ge shape and size of a substrate to be processed suction openings located outside its base area shut off as completely as possible, so that the vacuum system is as leak-free as possible and thus the substrate firmly on the Carrier is fixed. However, this succeeds in a meaningful way se only for a few standard substrate sizes, as a sub division of the suction openings into very many groups - such as to adapt to very different substrate sizes and forms would be necessary - at the same time the provision of same number of separate channels and shut-off valves, d. H. an unacceptable technical effort. In addition, the substrate carrier is due to the many shut-off valves tile unwieldy and cumbersome to use.

Aus DD-A-2 33 773 ist eine ähnliche Vorrichtung zur Vakuum aufspannung von Halbleitersubstraten mit gruppenweise mit einem Vakuumverteiler verbindbaren Ansaugöffnungen bekannt. Die Verbindung erfolgt hier in vereinfachter Weise über einen speziell ausgebildeten Umschaltring, auch hier ist jedoch infolge der relativ kleinen Anzahl einander fest zugeordneter Gruppen von Ansaugöffnungen eine flexible Anpassung an sehr unterschiedliche Substrat formen und -größen nicht möglich.From DD-A-2 33 773 is a similar device for vacuum clamping of semiconductor substrates with in groups a vacuum distributor connectable suction openings known. The connection is made here in a simplified manner a specially trained switching ring, is also here however, due to the relatively small number, fixed to each other assigned groups of suction openings a flexible Shape and adapt to very different substrates -sizes not possible.

Ein an unterschiedliche Substrate anpaßbarer Substratträ ger ist auch aus DD-A-1 42 406 bekannt. Die hier beschriebene Vakuumhalterung soll es ermöglichen, verschiedene Substra te bzw. -bruchstücke sicher zu halten, indem durch eine zwischen einer Grundplatte und einer Deckplatte mit kreis förmigen Kammern und exzentrischen Bohrungen angeordnete dehnbare, gelochte Membran die nicht durch ein Substrat bedeckten Ansaugöffnungen selbsttätig verschlossen werden. Dieser Substratträger ist sehr herstellungsaufwendig, nicht uneingeschränkt beheizbar, seine Funktion ist emp findlich gegenüber Alterung oder Verschmutzung der elasti schen Membran, und er gewährleistet eine zuverlässige Anpassung nur an Substrate mit kreis- oder kreisringförmi ger Grundfläche, nicht aber an anders geformte Substrate und Substrat-Bruchstücke.A substrate carrier that can be adapted to different substrates ger is also known from DD-A-1 42 406. The one described here Vacuum holder should enable different substrates to keep te or fragments safe by using a between a base plate and a cover plate with a circle shaped chambers and eccentric holes arranged stretchable, perforated membrane not through a substrate covered suction openings are closed automatically. This substrate carrier is very expensive to manufacture, not fully heatable, its function is emp sensitive to aging or pollution of the elasti membrane, and it ensures reliable Adaptation only to substrates with circular or donut-shaped small footprint, but not on differently shaped substrates and substrate fragments.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen uni versell einsetzbaren und leicht handhabbaren Substratträ ger der eingangs genannten Gattung zu schaffen, mit dem auf einfache Weise eine sichere Fixierung sehr unter schiedlich großer und geformter Substrate möglich ist. The invention is therefore based on the object, a uni versatile and easy to handle substrate carrier ger to create the type mentioned, with the in a simple way a very secure fixation different sized and shaped substrates is possible.

Diese Aufgabe wird durch einen Substratträger mit den Merk malen des Anspruchs 1 gelöst.This task is carried out by a substrate carrier with the Merk paint the claim 1 solved.

Die Erfindung schließt den Gedanken ein, anstelle einer Verfeinerung der bisher üblichen Kammer- bzw. Ringstruktur der Vakuumräume im Substratträger und der zugehörigen Absperr- bzw. Umschaltventile von einer solchen Struktur gänzlich abzugehen und statt dessen eine allen Ansaugöff nungen gemeinsamen Vakuumkammer vorzusehen, deren Verbin dung zu den Ansaugöffnungen verschließbar ist.The invention includes the idea instead of one Refinement of the previously common chamber or ring structure the vacuum spaces in the substrate carrier and the associated Shut-off or switch valves of such a structure to go completely and instead an all intake Provide common vacuum chamber, the connection dung to the suction openings is closable.

Sie schließt weiter den Gedanken ein, zum Verschließen vorbestimmter Ansaugöffnungen ein im wesentlichen parallel zur Oberfläche des Substratträgers bewegliches Element vorzusehen.It also includes the thought of locking up predetermined suction openings a substantially parallel element movable to the surface of the substrate carrier to provide.

In einer vorteilhaften Ausbildung ist das Absperrelement als von allen Randbereichen zu einem Mittelpunkt der Auf nahmefläche hin zu schließendes bzw. in umgekehrter Rich tung zu öffnendes Element ausgebildet. Damit ist eine quasi stufenlose (in der Einstellgenauigkeit nur durch den radia len Abstand der Ansaugöffnungen begrenzte) Anpassung auf unterschiedliche Substratgrößen möglich, wobei die Sub strate jeweils im wesentlichen in der Mitte des Trägers angeordnet sind.In an advantageous embodiment, the shut-off element than from all peripheral areas to a center of the up area to be closed or in reverse direction device to be opened. So that's a quasi stepless (in the setting accuracy only by the radia the distance between the suction openings) different substrate sizes possible, the sub strate essentially in the middle of the carrier are arranged.

Insbesondere kann das Absperrelement in Art einer Iris blende aufgebaut sein, d. h. eine Mehrzahl von auf einem Kreisumfang angeordneten, in einer gemeinsamen Bewegung um jeweils eine Achse ins Innere des Kreises schwenkbaren, sichelartig gekrümmten Gliedern umfassen, die durch die Drehung eines Einstellringes verstellt werden. Diese Anordnung ist besonders handlich und leicht bedienbar.In particular, the shut-off element in the manner of an iris be built diaphragm, d. H. a plurality of on one Circumference arranged in a common movement around one axis each swiveling inside the circle, include sickle-like curved limbs, which by the Rotation of an adjustment ring can be adjusted. These The arrangement is particularly handy and easy to use.

In einer hierzu alternativen Ausbildung kann das Absperr element in Art einer Katzenaugenblende aufgebaut sein, bei der zwei im wesentlichen L-förmige Verschlußteile auf das Zentrum des Trägers zu bzw. von diesem weg bewegt werden und einen Ansaugbereich von im wesentlichen quadratischer Gestalt auf der Aufnahmefläche bestimmen.In an alternative training, the shut-off can element in the form of a cat’s eye blind, at of the two substantially L-shaped closure parts on the Center of the carrier to be moved to or away from this and a suction area of substantially square Determine the shape on the receiving surface.

Weiterhin kann das Absperrelement als von einem oder zwei Randbereichen zu dem bzw. den gegenüberliegenden Randbe reich(en) hin zu bewegendes und bei seiner Bewegung eine zunehmende Anzahl von Ansaugöffnungen verschließendes bzw. freigebendes Element ausgebildet sein, in konstruktiv be sonders einfacher Realisierung etwa als diagonal zu einer rechteckig geformten Aufnahmefläche verschiebbarer, im we sentlichen L-förmiger Schieber oder auch als ein eine Mehrzahl von gegeneinander verschieblichen Verschlußlamel len umfassendes Element. In zweckmäßiger Ausführung umfaßt ein Absperrelement dieser Art zwei Gruppen von im wesent lichen senkrecht zueinander angeordneten und verschiebli chen Verschlußlamellen.Furthermore, the shut-off element can be one or two Edge areas to the opposite edge (s) rich (s) to be moved and one in its movement increasing number of intake openings closing or releasing element be formed in constructively be particularly simple implementation, for example, as diagonal to one rectangular shaped receiving surface slidable, in white substantial L-shaped slider or as a one Plurality of mutually displaceable closure lamella len comprehensive element. Appropriately included a shut-off element of this type essentially consists of two groups Lichen arranged and displaceable perpendicular to each other Chen locking slats.

Bei den letztgenannten Ausbildungen des Substratträgers werden kleinere Substrate nicht mittig auf dem Träger ge halten, sondern es kann etwa bei Substraten mit zwei zu einander rechtwinkligen Begrenzungskanten unabhängig von ihrer Größe ein und derselbe Anschlagwinkel auf dem Träger zur Positionierung verwendet werden. In the latter embodiments of the substrate carrier smaller substrates are not centered on the carrier hold, but it can be about two substrates mutually perpendicular boundary edges regardless of their size one and the same stop angle on the carrier be used for positioning.

Das Absperrelement kann in Stufen verstellbar sein, wobei jede Stufe einer vorbestimmten Gruppe von Ansaugöffnungen zugeordnet ist, es ist aber auch ohne weiteres eine stu fenlose Ausführung möglich.The shut-off element can be adjustable in stages, whereby each stage of a predetermined group of suction openings is assigned, but it is also a stu open design possible.

Die Ansaugöffnungen in der Substrataufnahmefläche können - insbesondere zur vorzugsweisen Fixierung scheibenförmi ger Substrate - auf konzentrischen Kreisen oder einer Spi rale angeordnet sein. Sie können aber - was zweckmäßig sein wird, wenn überwiegend Substrate mit rechteckiger Grundfläche zu bearbeiten sind - auch matrixartig in zuei nander parallelen Zeilen und zu diesen senkrechten sowie zueinander parallelen Spalten angeordnet sein.The suction openings in the substrate receiving surface can - In particular for preferential disc-shaped fixation substrates - on concentric circles or on a spi rale be arranged. But you can - what is appropriate will be if predominantly substrates with rectangular Base area to be processed - also matrix-like in zuei parallel lines and perpendicular to these as well columns arranged parallel to one another.

Zur Vermeidung von Fehleinstellungen, die zu unbeabsich tigten Beschädigungen unzureichend fixierter Substrate führen können, sollten Mittel zur Anzeige der aktuellen Stellung des Absperrelementes vorgesehen sein. In bedie nungsfreundlicher und konstruktiv einfacher Ausführung können diese mit dem Betätigungselement bzw. den Betäti gungselementen der Absperrvorrichtung vereinigt sein der art, daß die Stellung des Betätigungselementes den Bedie ner ohne weiteres zugleich über die Position des Absperre lementes informiert.To avoid incorrect settings that are too unintentional damage to insufficiently fixed substrates should lead to means of displaying the current Position of the shut-off element may be provided. In operation user-friendly and structurally simple design can this with the actuator or the actuator supply elements of the shut-off device be united art that the position of the actuator the Bedie ner without further ado about the position of the shut-off lementes informed.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Un teransprüchen gekennzeichnet bzw. werden nachstehend zu sammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführung der Erfindung anhand der Figuren näher dargestellt. Es zeigen:Advantageous developments of the invention are in the Un claims marked or become below together with the description of the preferred embodiment of the Invention illustrated with reference to the figures. Show it:

Fig. 1 eine vereinfachte perspektivische Darstellung ei ner Ausführungsform des erfindungsgemäßen Substratträgers, Fig. 1 is a simplified perspective view of egg ner embodiment of the substrate support according to the invention,

Fig. 2 eine schematische Querschnittsdarstellung des Substratträgers nach Fig. 1, FIG. 2 shows a schematic cross-sectional representation of the substrate carrier according to FIG. 1,

Fig. 2a eine schematische Querschnittsdarstellung einer modifizierten Ausführung des Substratträgers nach Fig. 1, FIG. 2a is a schematic cross-sectional view of a modified embodiment of the substrate carrier of FIG. 1,

Fig. 3 eine vereinfachte perspektivische Darstellung ei ner weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Sub stratträgers, Fig. 3 is a simplified perspective view of another embodiment of the egg ner Sub invention stratträgers,

Fig. 4 eine schematische Darstellung einer Anordnung zur automatischen Einstellung des Substratträgers nach Fig. 1 und Fig. 4 is a schematic representation of an arrangement for automatic adjustment of the substrate carrier according to Fig. 1 and

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer weiteren Anordnung zur automatischen Einstellung des Substratträ gers nach Fig. 1. Fig. 5 is a schematic representation of a further arrangement for the automatic setting of the Substratträ gers of FIG. 1.

Fig. 1 zeigt in vereinfachter perspektivischer Darstel lung einen Substratträger 1 mit kreisförmiger Aufnahmeflä che 2 auf einem xy-Koordinatentisch 3. Im Zentrum der Auf nahmefläche 2 ist eine zentrale Bohrung als Ansaugöffnung 4.0 und in konzentrischen, äquidistanten Kreisen um diese herum sind vier Gruppen 4.1 bis 4.4 von weiteren Ansaug öffnungen vorgesehen. Alle Ansaugöffnungen stehen - was in Fig. 2 genauer gezeigt und weiter unten erläutert ist - über einen (in Fig. 1 nicht gezeigten) Vakuumraum im Inne ren des Substratträgerkörpers mit einem Anschlußstutzen 5 in Verbindung, der über einen Schlauch 6 an eine (nicht gezeigte) Vakuumpumpe angeschlossen ist. Fig. 1 shows a simplified perspective presen- tation a substrate carrier 1 with a circular surface 2 on an xy coordinate table 3rd In the center of the receiving surface 2 there is a central bore as a suction opening 4.0 and in concentric, equidistant circles around it four groups 4.1 to 4.4 of further suction openings are provided. All suction openings are - which is shown in more detail in Fig. 2 and explained below - via a (not shown in Fig. 1) vacuum space in the interior of the substrate carrier body with a connecting piece 5 in connection via a hose 6 to a (not shown) ) Vacuum pump is connected.

Im Inneren des Substratträgers 1 ist eine (in den Figuren aus Gründen der Übersichtlichkeit stark vereinfacht darge gestellte) verstellbare Verschlußeinrichtung 7 in Art ei ner Irisblende angeordnet, die aus zwölf um jeweils eine Achse 7.1 schwenkbaren Lamellen 7.2 und einem Betätigungs ring 7.3 aufgebaut ist, der einen in einer Langloch- Führung 1a in der Umfangs fläche des Substratträger 1 lau fenden Bedienhebel 7.3a aufweist.Inside the substrate carrier 1 (in the figures for the sake of clarity Darge shown) adjustable closure device 7 is arranged in kind egg ner iris, which is made up of twelve pivotable about an axis 7.1 slats 7.2 and an actuating ring 7.3 , the one in a slot guide 1 a in the circumferential surface of the substrate carrier 1 lau fenden operating lever 7.3 a.

Die Lamellen 7.2 der Verschlußeinrichtung 7 haben alle die gleiche, in der Draufsicht sichelartige Gestalt, und ihre Schwenkachsen 7.1 sind um jeweils 30° gegeneinander ver setzt auf einer zu den Kreislinien der Ansaugöffnungs- Gruppen 4.0 bis 4.4 konzentrischen Kreislinie im Sub stratträgerkörper 1 angeordnet. Die den zum Mittelpunkt des Substratträgers hin gerichteten Sichel-Abschnitten der La mellen abgewandten Endabschnitte haben in der gezeigten Ausführung die Form eines Kreisabschnittes und weisen in diesem Abschnitt eine Verzahnung auf, über die sie mit ei ner entsprechenden Innen-Verzahnung des Betätigungsringes 7.3 im Eingriff stehen. (Die Verzahnungen sind in der Ge samtansicht nicht dargestellt.)The slats 7.2 of the closure device 7 all have the same, in the plan view sickle-like shape, and their pivot axes 7.1 are each offset by 30 ° to one another on a to the circular lines of the suction groups 4.0 to 4.4 concentric circular line in the substrate carrier body 1 arranged. The facing towards the center of the substrate carrier towards the sickle sections of the La mellen end sections have the shape of a circular section in the embodiment shown and have a toothing in this section, via which they are in engagement with a corresponding inner toothing of the actuating ring 7.3 . (The teeth are not shown in the overall view.)

Fig. 2 zeigt in einer schematischen Querschnittsdarstel lung längs der Linie A-A in Fig. 1 weitere Einzelheiten des Substratträgers 1 mit einem aufgelegten Substrat S. Fig. 2 shows in a schematic cross-sectional representation along the line AA in Fig. 1 further details of the substrate carrier 1 with an applied substrate S.

In dieser Darstellung ist zu erkennen, daß der Substrat träger 1 ein auf einer zentrischen Drehachse 8 ruhendes, mit dieser über eine Feder 8a drehfest verbundenes Unter teil 1.1, ein auf dem Unterteil aufgenommenes und mittels einer Dichtung 1.2 gegen dieses abgedichtetes, im wesent lichen scheibenförmiges Oberteil 1.3 mit den Ansaugöffnun gen 4.0 bis 4.4 und eine aufgeklebte Gummiauflage 1.4 um faßt, in der in Ausrichtung mit den im Oberteil 1.3 vorge sehenen Ansaugöffnungen und mit etwas größerem Durchmesser ebenfalls Öffnungen 4.0′ bis 4.1′ vorgesehen sind.In this representation it can be seen that the substrate carrier 1 is a resting on a central axis of rotation 8 , with this via a spring 8 a non-rotatably connected lower part 1.1 , a received on the lower part and sealed by means of a seal 1.2 against this, in wesent union disc-shaped upper part 1.3 with the intake openings 4.0 to 4.4 and a glued-on rubber pad 1.4 , in which openings 4.0 'to 4.1 ' are also provided in alignment with the intake openings provided in the upper part 1.3 and with a somewhat larger diameter.

Das Unterteil 1.1 weist eine Vakuumkammer 1.3a auf, die einerseits über einen Kanal 1.3b mit dem Anschlußstutzen 5 und über diesen mit dem zur Vakuumpumpe führenden Schlauch 6 verbunden ist und in die andererseits die An saugöffnungen 4.0 bis 4.4 münden.The lower part 1.1 has a vacuum chamber 1.3 a, which is connected on the one hand via a channel 1.3 b to the connecting piece 5 and via this to the hose 6 leading to the vacuum pump and in which, on the other hand, the suction openings 4.0 to 4.4 open.

Zwischen dem Unterteil 1.1 und dem Oberteil 1.3, unmit telbar unterhalb der Mündungen der Ansaugöffnungen 4.0 bis 4.4 in die Vakuumkammer 1.3a ist in einer (in der Drauf sicht kreisförmigen) gleichzeitig den oberen Teil der Va kuumkammer 1.3a bildenden Ausnehmung im Oberteil 1.3 die Verschlußeinrichtung 7 untergebracht. Die Verschlußein richtung ist in Fig. 2 (wiederum vereinfacht) mit durchge zogenen Linien in geöffneter und mit gestrichelten Linien in maximal geschlossener Stellung gezeigt. Es ist zu er kennen, daß die Drehachsen 7.1 der Lamellen 7.2 in ent sprechende Bohrungen im Unterteil 1.1 eingefügt sind.Between the lower part 1.1 and the upper part 1.3 , immediately below the mouths of the suction openings 4.0 to 4.4 in the vacuum chamber 1.3 a, the upper part of the vacuum chamber 1.3 a forming a recess in the upper part 1.3 of the vacuum chamber 1.3 a is the closure device 7 housed. The closure device is shown in Fig. 2 (again simplified) with solid lines in the open and with dashed lines in the maximum closed position. It is known to him that the axes of rotation 7.1 of the slats 7.2 are inserted into corresponding holes in the lower part 1.1 .

Die Lamellen sind aus dünnem Federstahl oder Kunststoff (etwa PTFE) gefertigt und haben eine sich über ihre Längs- und Quererstreckung zur Sichelspitze hin derart verjüngen de und gekrümmte Gestalt, daß in den verschiedenen Stel lungen des Verschlusses jeweils mehrere Lamellen im für den Verschluß vorgesehenen Raum im Substratkörper (vgl. Fig. 2) abschnittsweise übereinander liegen können und da bei so gegen die ihnen zugewandte, der Aufnahmefläche 2 gegenüberliegende Innenfläche 2a des Oberteils 1.3 gedrückt werden, daß die entsprechend der jeweiligen Verschlußstel lung bedeckten Ansaugöffnungen in der Aufnahme fläche weit gehend gasdicht verschlossen sind. Lamellenform, -spannung und -material sind derart gewählt, daß die einzelnen La mellen in jeder Position auch aufeinander im wesentlichen gasdicht aufliegen. Um dies - entsprechend den Einsatzan forderungen des Substratträgers - zu erreichen, kann eine partielle Beschichtung mit Kunststoff, Silikongummi o. ä. in Art von Dichtlippen vorgesehen sein.The slats are made of thin spring steel or plastic (such as PTFE) and have a tapered and curved shape over their longitudinal and transverse extension to the sickle tip, such that in the various positions of the closure, several slats in the space provided for the closure sections in the substrate body (see. Fig. 2) can lie one above the other, and since at such against the facing them, the receiving surface 2 are opposed inner surface 2a of the upper part 1.3 is pressed, that corresponding to the respective closure Stel lung covered suction holes in the support surface largely are sealed gas-tight. Lamella shape, tension and material are chosen such that the individual La mellen lie on each other in an essentially gas-tight manner. In order to achieve this - in accordance with the application requirements of the substrate carrier - a partial coating with plastic, silicone rubber or the like can be provided in the manner of sealing lips.

In Fig. 2a ist eine modifizierte Ausführung dieses Sub stratträgers gezeigt, bei der zur Abdichtung der Bereiche zwischen und hinter den Lamellen 7.2 des Verschlusses 7 je eine koaxial mit dem Oberteil 1.3 gelochte, hochgradig elastisch kompressible Elastomer (z. B. Moosgummi- oder PU-Schaum-)Scheibe 7.4 und 7.5 über und unter den Lamellen angeordnet sind. Die untere Elastomerscheibe 7.5 wird in der Vakuumkammer 1.3a durch ein Traggitter 7.6 gehalten. Bei dieser Ausführung weisen die Lamellen selbst keine speziellen Dichtelemente auf.In Fig. 2a is a modified version of this sub stratträger shown in which to seal the areas between and behind the lamellae 7.2 of the closure 7 each coaxially perforated with the upper part 1.3 , highly elastically compressible elastomer (z. B. foam rubber or PU Foam) 7.4 and 7.5 discs are arranged above and below the slats. The lower elastomer disc 7.5 is held in the vacuum chamber 1.3 a by a support grid 7.6 . In this version, the fins themselves have no special sealing elements.

Wird auf den Substratträger - wie in Fig. 2 dargestellt - ein Substrat gebracht, das so groß ist, daß es alle Ansau göffnungen bedeckt, so wird die Verschlußeinrichtung im vollständig geöffneten Zustand belassen, so daß alle An saugöffnungen mit der Vakuumkammer verbunden sind und durch die Vakuumpumpe mit Unterdruck beaufschlagt werden. Dadurch wirkt der Unterdruck auf eine größtmögliche Flä che des Substrates ein, womit dieses auch gegenüber bei einer Bearbeitung auftretenden tangentialen Kräften sicher auf dem Träger fixiert ist. Wird auf den Substratträger hingegen ein kleineres Substrat (etwa ein Halbleiterwafer geringeren Durchmessers oder ein Wafer-Bruchstück) ge bracht, das nur einen Teil der Ansaugöffnungen bedeckt, so wird die Verschlußeinrichtung über ihren Bedienhebel der art betätigt, daß alle nicht vom Substrat bedeckten Ansau göffnungen im Substratträgerkörper verschlossen werden. Damit wird gesichert, daß im Vakuumsystem kein Leck vor handen ist, das den an den vom Substrat bedeckten Ansau göffnungen anliegenden Unterdruck und damit die auf das Substrat wirkende Haltekraft unzulässig verringern würde. Wie weit der Verschluß geschlossen wird, ist von der Sub stratgröße abhängig, wobei die aktuelle Verschlußstellung für den Bediener an der Stellung des Bedienhebels im - zweckmäßigerweise noch mit einer Skala versehenen - Lang loch im Trägerkörper ablesbar ist.Is placed on the substrate carrier - as shown in Fig. 2 - a substrate that is so large that it covers all suction openings, the closure device is left in the fully open state, so that all suction openings are connected to the vacuum chamber and through the vacuum pump is subjected to negative pressure. As a result, the negative pressure acts on the largest possible surface of the substrate, with the result that the substrate is securely fixed on the carrier, even with respect to tangential forces that occur during processing. If, on the other hand, a smaller substrate (such as a semiconductor wafer of smaller diameter or a wafer fragment) is placed on the substrate carrier, which covers only part of the suction openings, the closure device is actuated via its operating lever in such a way that all suction openings not covered by the substrate be sealed in the substrate carrier body. This ensures that there is no leak in the vacuum system that would inadmissibly reduce the negative pressure applied to the suction openings covered by the substrate and thus the holding force acting on the substrate. How far the shutter is closed depends on the sub strate size, the current shutter position for the operator at the position of the control lever in - conveniently provided with a scale - oblong hole in the carrier body can be read.

Im Prinzip gleichartig funktioniert eine weitere, in Fig. 3 dargestellte Ausführungsform. Die Teilen in Fig. 1 entsprechenden Teile tragen dieselben oder ähnliche Be zugsziffern wie dort und werden nachfolgend - soweit nicht wegen Abweichungen von ersteren nötig - nicht nochmals er läutert.A further embodiment shown in FIG. 3 functions in principle in the same way. The parts in Fig. 1 corresponding parts have the same or similar reference numerals as there and are - as far as not necessary because of deviations from the former - not explained again.

Der in Fig. 3 dargestellte Substratträger 1′ hat quadra tische Aufnahmefläche 2′ und weist matrixartig angeordnete Ansaugöffnungen 4′ auf, ist aber - mit Ausnahme der nach folgend erläuterten Verschlußeinrichtung - analog aufge baut wie in Fig. 2 für den Träger 1 nach Fig. 1 gezeigt. The substrate carrier 1 shown in Fig. 3 'has quadra table receiving surface 2 ' and has matrix-like suction openings 4 ', but is - with the exception of the closure device explained below - built up analogously as in Fig. 2 for the carrier 1 of Fig. 1 shown.

Der Träger 1′ unterscheidet sich (außer in der äußeren Ge stalt) vom Substratträger 1 nach Fig. 1 in der Ausbildung einer Verschlußeinrichtung 7′ aus zwei unabhängigen, senk recht zueinander angeordneten und ab- bzw. auflaufenden Lamellenreihen 7.1′ und 7.2′, denen jeweils ein eigener Bedienhebel 7.3′ bzw. 7.4′ zugeordnet ist. Die Bedienhebel laufen in entsprechenden Langlöchern 1a′ und 1b′ in zwei zueinander senkrechten Seitenflächen des Substratträgers. Die Lamellen sind bei dieser Ausführung rechteckige dünne Streifen aus Federstahl oder Kunststoff, die derart mit einander verbunden sind, daß benachbarte Lamellen jeweils (unter geringfügiger Überlappung) dicht aneinander an schließen und jede Lamelle, sobald sie gegenüber der nach folgenden voll ausgezogen ist, diese mit sich mitzieht. Innerhalb des Substratträgerkörpers sind (in der Figur nicht gezeigte) Parallelführungen vorgesehen, in denen die Lamellen laufen.The carrier 1 'differs (except in the outer Ge stalt) from the substrate carrier 1 according to Fig. 1 in the formation of a closure device 7 ' from two independent, perpendicular to each other and running or running slat rows 7.1 'and 7.2 ', which each own control lever 7.3 'or 7.4 ' is assigned. The control levers run in corresponding elongated holes 1 a 'and 1 b' in two mutually perpendicular side surfaces of the substrate carrier. The slats are rectangular thin strips of spring steel or plastic in this embodiment, which are connected to each other in such a way that adjacent slats close to each other (with a slight overlap) and each slat, as soon as it is fully extended compared to the next one, with these pulls along. Parallel guides (not shown in the figure) in which the lamellae run are provided within the substrate carrier body.

Der Aufbau der Verschlußeinrichtung aus zwei unabhängig zueinander ablaufenden Lamellenreihen erlaubt die vorteil hafte Einstellung auf im wesentlichen rechteckförmige Sub strate mit großem Längen-Breiten-Verhältnis, ermöglicht aber ebenso die Fixierung quadratischer oder kreisförmiger Substrate sowie von Substraten, die Bruchstücke dieser Grundformen darstellen.The construction of the closure device from two independently mutually running rows of slats allows the advantage adhesive setting to a substantially rectangular sub strate with a large length-width ratio but also the fixation of square or circular Substrates as well as of substrates that are fragments of these Represent basic forms.

Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf das vorstehend angegebene bevorzugte Ausführungsbei spiel. Vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, welche von der dargestellten Lösung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführungen Gebrauch macht. The invention is not restricted in its implementation to the preferred embodiment given above game. Rather, a number of variants are conceivable which of the solution shown also in principle makes use of different types.

So sind im Rahmen der durch die Erfindung bereitgestellten Prinziplösung neben den gezeigten Ausführungen weitere Ausbildungen der Verschlußeinrichtung - ggfs. etwa auch mit zwei aufeinander zu laufenden Lamellengruppen pro Ach se in Abwandlung der zweiten gezeigten Ausführungsform oder in Gestalt einfacher rechteckiger oder L-förmiger Schieber auf der Unterseite der Aufnahmefläche oder in ei ner diese schneidenden Ebene - möglich. Mit zwei L- förmigen Schiebern, die in zwei gegeneinander abgedichte ten Verschiebe-Ebenen im Tisch diagonal aufeinander zu laufen, ist ein gesteuerter Verschluß der Ansaugöffnungen in Art einer Katzenaugenblende realisierbar.So are within the scope provided by the invention Principle solution in addition to the versions shown Formations of the locking device - if necessary also with two slat groups running towards each other per ach se in a modification of the second embodiment shown or in the form of simple rectangular or L-shaped Slider on the bottom of the receiving surface or in egg ner this intersecting plane - possible. With two L shaped sliders that are sealed in two against each other th shift levels in the table diagonally towards each other run, is a controlled closure of the suction openings realizable in the manner of a cat's eye mask.

Die Anordnung der Ansaugöffnungen kann ebenfalls modifi ziert sein; diese können etwa auf einer Spiralbahn oder in Matrixform mit seitlichem Versatz gegeneinander in benach barten Reihen etc. angeordnet sein.The arrangement of the suction openings can also be modified be adorned; these can be on a spiral track or in Matrix shape with lateral offset against each other in cont beard rows etc. can be arranged.

Insbesondere ist anstelle der oben vorausgesetzten manuel len Betätigung auch eine elektrische, pneumatische oder anderweitige Ansteuerung der Verschlußeinrichtung möglich, wobei dann an die Stelle des Bedienhebels ein der Art der Ansteuervorrichtung angepaßtes Stellorgan tritt. Hierbei ist in vorteilhafter Weise auch eine automatische Anpas sung der Stellung der Verschlußeinrichtung an die regi strierte Substratgeometrie vornehmbar.In particular, is manual instead of the above len actuation also an electrical, pneumatic or other control of the locking device possible, then in the place of the control lever one of the kind of Control device adapted actuator occurs. Here is also an automatic adjustment in an advantageous manner Solution of the position of the closure device to the regi strated substrate geometry can be performed.

Bei einer solchen Ausbildung, deren vereinfachtes Block schaltbild in Fig. 4 gezeigt ist und die speziell zur au tomatischen Einstellung des Probenträgers auf scheibenför mige Wafer verschiedener Durchmesser geeignet ist, sind in die Aufnahmefläche 2 (entsprechend der Ausbildung gemäß Fig. 1) Sensorelemente zur Festellung der Grundflächenge stell eines aufgebrachten (mit punktierten Linien symboli sierten) Substrates S als optische Sensoren in Gestalt je weils eines einer der Ansaugöffnungs-Gruppen 4.0 bis 4.4 zugeordneten LED-Fotodioden-Paares 9.0 bis 9.4 integriert.With such a design, the simplified block diagram of which is shown in FIG. 4 and which is particularly suitable for the automatic setting of the sample holder on wafer-shaped wafers of different diameters, sensor elements for detection are in the receiving surface 2 (corresponding to the design according to FIG. 1) the Grundflächege stell an applied (symbolized with dotted lines) substrate S integrated as optical sensors in the form of one of the suction port groups 4.0 to 4.4 associated LED-photodiode pair 9.0 to 9.4 .

Die Ausgangssignale der optischen Sensoren 9.0 bis 9.4, die den Umstand widerspiegeln, ob über ihnen ein (das Licht der LED zur Fotodiode reflektierender) Substratab schnitt angeordnet ist oder nicht, werden einer Verarbei tungseinheit 10 zugeführt, die daraus ein Steuersignal bildet, das einer Motoransteuerung 11 zugeführt wird. Die se veranlaßt einen Schrittmotor 12 (über eine hier an die Stelle des Bedienhebels 7.3 nach Fig. 1 tretenden, durch einen Antriebsriemen symbolisierte Übersetzung) zu einer Einstellung der Irisblende 7 derart, daß die vom Substrat S jeweils nicht bedeckten Ansaugöffnungen (bei dem punk tiert gezeichneten Substrat die Öffnungen der Gruppen 4.3 und 4.4) verschlossen werden.The output signals of the optical sensors 9.0 to 9.4 , which reflect the fact whether a substrate section (reflecting the light from the LED to the photodiode) is arranged above them or not, are fed to a processing unit 10 , which forms a control signal therefrom, which is a motor control 11 is supplied. This causes a stepper motor 12 (via a here in the place of the operating lever 7.3 according to FIG. 1, symbolized by a drive belt translation) to adjust the iris 7 such that the suction openings not covered by the substrate S (at which points) drawn substrate, the openings of groups 4.3 and 4.4 ) are closed.

Alternativ dazu ist es auch möglich, den Druck in der Va kuumkammer zu registrieren, über einen Vergleich mit einem vorgegebenen Solldruck das Vorhandensein von Lecks - d. h. nicht bedeckten Ansaugöffnungen - nachzuweisen und die Verschlußeinrichtung stufenweise immer weiter zu schlie ßen, bis kein Leck mehr nachgewiesen wird, mithin alle An saugöffnungen bedeckt bzw. verschlossen sind.Alternatively, it is also possible to set the pressure in the Va to register a vacuum chamber by comparing it with a predetermined target pressure the presence of leaks - d. H. not covered suction openings - to prove and the Closing device gradually to close ate until no more leak is detected, hence all types suction openings are covered or closed.

Eine solche Ausgestaltung ist schematisch in Fig. 5 ge zeigt, die von der Darstellung des Substratträgers 1 in Fig. 2 ausgeht. Such an embodiment is shown schematically in FIG. 5, which is based on the representation of the substrate carrier 1 in FIG. 2.

Der Vakuumkammer 1.3a im Substratträger 1 ist ein Druck sensor 13 zugeordnet. Dessen Ausgang ist mit einer Ver gleichereinheit 14 verbunden, deren anderer Eingang mit einem Speicher 15 und deren Ausgang mit der Ansteuerein heit 16 des Schrittmotors 12 verbunden ist. Sie gibt an die Ansteuereinheit 16 ein das Ergebnis des Vergleiches zwischen einem aus dem Speicher 15 abgerufenen vorbestimm ten (dem geschlossenen Zustand aller Ansaugöffnungen ent sprechenden) Druckwert und dem vom Sensor 13 erfaßten Druckwert zu. Unterscheiden sich beide Werte über eine vorbestimmte, als Meßfehler tolerierbare Differenz hinaus, wird ein Signal "Nichtübereinstimmung" ausgegeben, das in der Ansteuereinheit die Erzeugung eines Ansteuerimpulses für den Motor 12 zur Schließung des Verschlusses 7 um eine Stufe ausgibt. Der Schrittmotor 12 realisiert diesen Be fehl über einen Ritzel-Antrieb, der aus einem Motor- Ritzel 17a und einer Außenverzahnung 7.3b des Betätigungs ringes 7.3 gebildet ist, die hier an die Stelle des Bedien hebels 7.3a nach Fig. 2 tritt. Anschließend wird eine weitere Druckmessung ausgeführt, mit deren Ergebnis analog verfahren wird usw., bis sich in einem Schritt Überein stimmung von gespeichertem und gemessenem Druckwert er gibt. Dann wird durch die Vergleichereinheit 14 ein Signal "Übereinstimmung" ausgegeben und der Motor 12 gestoppt.The vacuum chamber 1.3 a in the substrate carrier 1 is assigned a pressure sensor 13 . Whose output is connected to a comparison unit 14 , whose other input is connected to a memory 15 and whose output is connected to the control unit 16 of the stepping motor 12 . It gives the control unit 16 a result of the comparison between a pressure value retrieved from the memory 15 (corresponding to the closed state of all suction openings) and the pressure value detected by the sensor 13 . If the two values differ beyond a predetermined difference which can be tolerated as a measurement error, a "mismatch" signal is output, which in the drive unit outputs the generation of a drive pulse for the motor 12 to close the shutter 7 by one step. The stepper motor 12 realizes this via a pinion drive, which is formed from a motor pinion 17 a and an external toothing 7.3 b of the actuation ring 7.3 , which takes the place of the operating lever 7.3 a according to FIG. 2. Then another pressure measurement is carried out, with the result of which the procedure is analogous, etc., until there is agreement in one step between the stored and measured pressure value. The comparator unit 14 then outputs a "match" signal and the motor 12 is stopped.

Auf die Vorgabe eines Druckwertes kann in einer Abwandlung dieser Anordnung verzichtet werden, indem statt dessen in aufeinanderfolgenden Schritten jeweils der in einer vor hergehenden Stellung der Verschlußeinrichtung gemessene Druckwert im Speicher 15 gespeichert und zusammen mit dem aktuellen Meßwert der Vergleichereinheit 14 zugeführt wird. Sobald in einem Schritt n keine Differenz mehr fest gestellt und ein entsprechendes Signal vom Vergleicher aus gegeben wird, wird über den Motor 12 die Verschlußeinrich tung 7 wieder auf den im vorhergehenden Schritt n-1 einge stellten Öffnungswert zurückgestellt und dieser beibehal ten.In a modification of this arrangement, the specification of a pressure value can be dispensed with, by instead storing in each case the pressure value measured in a previous position of the closure device in memory 15 and supplying it to the comparator unit 14 together with the current measured value. As soon as no difference is ascertained in a step n and a corresponding signal is given by the comparator, the closure device 7 is reset via the motor 12 to the opening value set in the previous step n-1 and this is retained.

Claims

1. substrate carrier ( 1 ; 1 ') for receiving and temporarily fixing the position of a flat body, in particular a semiconductor substrate (S) for the production of electronic or optoelectronic components, during an upper surface treatment essentially by generating a negative pressure on a flat surface of the body, with a essentially flat receiving surface ( 2 ; 2 ') with a plurality of suction openings ( 4.0 to 4.4 ; 4 ') which can be connected to a vacuum pump for generating the negative pressure, and shut-off means for controlled individual or group-wise establishing or breaking the connection between the suction openings and the vacuum pump pe, characterized in that the suction openings ( 4.0 to 4.4 ; 4 ′) open into a common vacuum chamber ( 1.3 a) in the substrate carrier body ( 1 ; 1 ′) and the shut-off means are arranged between the suction openings and the vacuum chamber, essentially parallel to the recording e surface ( 2 ) movable and depending on its position the opening of a predetermined number of suction openings in the vacuum chamber closing or releasing closure device ( 7 ; 7 ') have.

2. Substrate carrier according to claim 1, characterized in that the closure device ( 7 ) is designed as from all edge regions to a center of the receiving surface ( 2 ) to be closed or in the opposite direction to be opened element.

3. Substrate carrier according to claim 2, characterized in that the closure element ( 7 ) is constructed in the manner of an iris diaphragm, ie a plurality of arranged on a circumference, in a common movement about an axis ( 7.1 ) in the interior of the Krei ses pivotable , sickle-like curved links ( 7.2 ) and an actuating ring acting on these links ( 7.3 ).

4. substrate carrier according to claim 2, characterized ge indicates that the shut-off element in Art a cat's eye shield is built.

5. Substrate carrier according to claim 1, characterized in that the closure device ( 7 ') one of one or two edge regions to the or the opposite edge region (s) of the receiving surface ( 2 ') to move and with its movement an increasing number of suction openings ( 4 ') closing or releasing closure element ( 7 a', 7 b ') comprises.

6. Substrate carrier according to claim 5, characterized in that the closure element ( 7 a ', 7 b') comprises a plurality of interconnected, actuation in succession in a substantially straight line or on running slats.

7. Substrate carrier according to claim 6, characterized in that the closure device ( 7 ') comprises two groups of substantially perpendicular to each other and movable slats.

8. substrate carrier according to claim 5, characterized ge indicates that the closure device a diagonally to a rectangular shaped receiving surface che displaceable, essentially L-shaped slide having.

9. substrate support according to one of the preceding and workman surface, characterized in that the closure device ( 7 , 7 ') is adjustable in stages, each stage being assigned to a predetermined group of intake openings.

10. Substrate carrier according to one of the preceding claims, characterized in that the suction openings ( 4.0 to 4.4 ) are arranged on concentric circles or a spiral.

11. Substrate carrier according to one of the preceding claims, characterized in that the suction openings ( 4 ') are arranged in a matrix-like manner in rows parallel to one another and perpendicular to these and parallel to one another.

12. Substrate carrier according to one of the preceding claims che, characterized in that Means for displaying the current position of the shut-off mentes are provided.

13. Substrate carrier according to claim 12, characterized ge indicates that the means for display with Means for operating the shut-off element are combined such that the position of the means for actuation as an show serves.

14. Substrate carrier according to claim 13, characterized in that the means for operating comprise an operating lever ( 7.3 a; 7.3 ', 7.4 '), the position of which relative to the substrate carrier ( 1 ; 1 ') serves as a display.

15. Substrate carrier according to one of the preceding claims, characterized in that a drive device ( 12 , 17 a, 7.3 b) is provided for actuating the closure device ( 7 ).

16. A substrate carrier according to claim 15, characterized in that sensor means ( 9.0 to 9.4 ; 13 ) are provided for detecting the shape and position of the body (S) on the receiving surface ( 2 ) and for generating a control signal characterizing this, which one At control device ( 11 ; 16 ) is supplied, which actuates the closure device ( 7 ) according to the control signal.

17. Substrate carrier according to claim 16, characterized in that the sensor means comprise optical sensor means, in particular a light-emitting diode-photodiode arrangement ( 9.0 to 9.4 ), in the receiving surface ( 2 ).

18. Substrate carrier according to claim 16, characterized in that the sensor means comprise a pressure measuring device ( 13 ) assigned to the vacuum chamber ( 1.3 a) and a memory ( 15 ) for storing a pressure value measured before or before a setting operation and one with the outputs of the Druckmeßein direction and the memory connectable comparator unit ( 14 ) which outputs the control signal as a result of the comparison of the measured with the stored pressure value.