DE4413975C1

DE4413975C1 - Surface acoustic wave filter component with parallel meander lines

Info

Publication number: DE4413975C1
Application number: DE19944413975
Authority: DE
Inventors: Christian Dr Arabjan-Kappacher; Peter Dipl Ing Zibis; Stefan Dipl Ing Kurp
Original assignee: Siemens Matsushita Components GmbH and Co KG
Current assignee: TDK Electronics AG
Priority date: 1993-03-11
Filing date: 1994-04-21
Publication date: 1995-12-07
Anticipated expiration: 2014-04-22

Abstract

An interdigital transducer (not depicted) of the SAW filter is protected from destruction through contact with electrostatically charged (ESD) parts by an impedance consisting of two parallel meander lines (1, 2) bridged at intervals by crossbars (3). These are so numerous that a single fracture of either meander line or of a crossbar leaves a sufficient number of conductive links intact so that the protective impedance is practically unaltered. Typical dimensions are 3 microns for the breadths (B1, B2) of the meander lines and crossbars, and 10 microns for the crossbar spacing (D).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement insbesondere Oberflächenwellenfilter mit mindestens einem Interdigitalwandler, dem zum Schutz gegen elektrostatische Entladung durch Berührung mit elektrostatisch geladenen Teilen ein mäanderförmiger Widerstand parallel geschaltet ist, nach Patent 43 07 726.The present invention relates to an acoustic Surface wave working component in particular Surface wave filter with at least one Interdigital converter, the protection against electrostatic Discharge by contact with electrostatically charged Parts a meandering resistor is connected in parallel, according to patent 43 07 726.

Aus der dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 des Hauptpaten tes zugrunde liegenden DE-OS 41 15 702 ist eine reflektive Verzögerungsleitung in Oberflächenwellentechnik mit einem Eingangs/Ausgangs-In terdigitalwandler und mehreren Oberflächenwellen-Reflektoren bekannt, die zur Realisierung unterschiedlicher Laufzeiten von Oberflächenwellen zwischen sich und dem Ein gangs/Ausgangs-Interdigitalwandler in unterschiedlichen Ab ständen von diesem angeordnet sind. Dabei sind zur Vermeidung von Amplitudenstörungen der von den einzelnen Reflektoren re flektierten und am Eingangs/Ausgangs-Interdigitalwandler an kommenden Oberflächenwellenanteilen wenigstens bestimmte Oberflächenwellen-Reflektoren mit Impedanzen jeweils unter schiedlichen Impedanzwertes abgeschlossen.From the preamble of claim 1 of the main sponsor The underlying DE-OS 41 15 702 is a reflective delay line in surface wave technology with an input / output-in terdigital converter and several surface wave reflectors known to realize different terms of surface waves between themselves and the one gangs / output interdigital converter in different Ab stands of this are arranged. Here are to avoid of amplitude disturbances from the right of the individual reflectors inflected and at the input / output interdigital converter coming surface wave fractions at least certain Surface wave reflectors with impedances below each different impedance value completed.

Im Hauptpatent ist ausgeführt, daß Oberflächenwellenfilter, insbesondere Filter mit feinen Strukturen empfindlich gegen elektrostatische Entladungen sind und bei Berührung mit elektrostatisch geladenen Teilen durch Entladung dieser Teile der einen im Filter enthaltenen Interdigitalwandler zerstört werden können. The main patent states that surface wave filters, especially filters with fine structures sensitive to electrostatic discharges and when in contact with electrostatically charged parts by discharging these parts which destroys an interdigital converter contained in the filter can be.

Gemäß dem Hauptpatent wird vorgeschlagen, einem Interdigitalwandler in einem mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelement zum Schutz gegen elektrostatische Entladung durch Berührung mit elektrostatisch geladenen Teilen einen mäanderförmigen Widerstand parallel zu schalten, dessen Wert derart festgelegt ist, daß die Zeitkonstante aus einem Innenwiderstand und einer Eigenkapazität der durch ein elektrostatisch geladenes Teil gebildeten Spannungsquelle groß gegen die Zeitkonstante aus Parallelwiderstand und Eigenkapazität des Interdigitalwandlers ist. Der Parallelwiderstand wird dabei zweckmäßigerweise auf dem Substrat des Filters als mäanderförmige integrierte Widerstandsschicht ausgebildet.According to the main patent, it is proposed to Interdigital converter in one with acoustic Surface wave working component to protect against electrostatic discharge by contact with electrostatically charged parts a meandering Resistor in parallel, the value of which it is determined that the time constant from a Internal resistance and an inherent capacity of one electrostatically charged part formed voltage source large against the time constant from parallel resistance and Own capacity of the interdigital converter is. Of the Parallel resistance is expediently on the Integrated filter substrate as a meandering shape Resistance layer formed.

Bei einer derartigen Schutzmaßnahme tritt jedoch noch das Problem auf, daß die Schutzwirkung verloren geht, wenn die Mäanderstruktur aus irgendeinem Grunde mechanisch und damit elektrisch unterbrochen wird.With such a protective measure, however, this still occurs Problem on that the protective effect is lost if the Meander structure for some reason mechanical and therefore is electrically interrupted.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Gegenstand des Hauptpatentes so weiterzubilden, daß mechanische und damit elektrische Unterbrechungen der Widerstandsstruktur wenn überhaupt nur einen geringfügigen, zu tolerierenden Einfluß auf die Schutzwirkung haben.The present invention is based on the object Subject of the main patent so that mechanical and thus electrical interruptions of the Resistance structure, if any, only a minor, have a tolerable influence on the protective effect.

Diese Aufgabe wird bei einem mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelement der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.This task is done with an acoustic Surface wave working component of the beginning mentioned type according to the invention by the features of characterizing part of claim 1 solved.

Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.Developments of the invention are the subject of Subclaims.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in den Figuren der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigt:The invention is described below with reference to one in the figures the drawing shown embodiment closer explained. It shows:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Teils eines erfindungsgemäß ausgebildeten Schutzwiderstandes; und Figure 1 is a schematic representation of part of a protective resistor designed according to the invention. and

Fig. 2 in vergrößerter Darstellung einen Teil des Schutzwiderstandes nach Fig. 1. Fig. 2 is an enlarged view of a portion of the protective resistor of FIG. 1.

Gemäß Fig. 1 wird ein Schutzwiderstand R_p für ein nicht dargestelltes mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Bauelement durch zwei Mäander 1 und 2 gebildet, die durch eine Vielzahl von Querstegen 3 elektrisch parallel geschaltet sind. Hinsichtlich der Ausbildung eines mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelementes in Form eines Oberflächenwellenfilters wird auf das Hauptpatent Bezug genommen.According to FIG. 1, a protective resistor R _p for a component (not shown) working with surface acoustic waves is formed by two meanders 1 and 2 , which are electrically connected in parallel by a plurality of crossbars 3 . With regard to the design of a component working with surface acoustic waves in the form of a surface wave filter, reference is made to the main patent.

Ein erfindungsgemäß ausgebildeter Schutzwiderstand nach Fig. 1 besitzt ersichtlich den Vorteil, daß bei mechanischer Unterbrechung einer der Mäanderlinien 1, 2, beider Mäanderlinien oder von Querstegen 3 noch so viel leitende Verbindungen erhalten bleiben, daß die elektrische Widerstandswirkung praktisch unverändert erhalten bleibt.A protective resistor designed according to the invention according to FIG. 1 clearly has the advantage that when one of the meandering lines 1 , 2 , both meandering lines or transverse webs 3 is mechanically interrupted, so much conductive connections are retained that the electrical resistance effect remains practically unchanged.

Fig. 2 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Ausschnittes 10 gemäß Fig. 1. Die Mäander 1 und 2 besitzen eine breite B1, die die Mäander 1 und 2 miteinander verbindenden Stege eine Breite B2 und die Stege 3 einen Abstand D voneinander. Bei einer praktischen Ausführungsform können die Mäander 1 und 2 und die Querstege 3 eine Breite von 3 um und die Querstege 3 einen Abstand von 10 um voneinander besitzen. FIG. 2 shows an enlarged illustration of a section 10 according to FIG. 1. The meanders 1 and 2 have a wide B1, the webs connecting the meanders 1 and 2 to one another have a width B2 and the webs 3 have a spacing D from one another. In a practical embodiment, the meanders 1 and 2 and the crossbars 3 can have a width of 3 µm and the crossbars 3 can be 10 µm apart.

Claims

1. Working with surface acoustic wave component, in particular surface wave filter with at least one interdigital transducer, which is connected in parallel to protect against electrostatic charge by contact with electrostatically charged parts, a meandering resistor (R _p ) electrically connected, according to patent 43 07 726, characterized in that the meandering resistance is formed by two meanders ( 1 , 2 ) connected in parallel.

2. Component according to claim 1, characterized in that the meanders ( 1 , 2 ) are connected in parallel by transverse webs ( 3 ).

3. Component according to claim 1 and 2, characterized in that the meanders ( 1 , 2 ) and the transverse webs ( 3 ) have a width (B1, B2) of 3 µm and the transverse webs ( 3 ) a distance (D) of 10 µm have.