DE4413745A1 - Monitoring object surfaces - Google Patents
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Abstract
Description
Wenn Gegenstände durch galvanische Metallabscheidung oder durch chemische Abscheidung in chemischen Beschich tungsbädern beschichtet werden, dann sind im allgemeinen die gewünschte Schichtdicke und die Oberflächengüte (Glanz, Freiheit von Poren und Rissen usw.) vorge geben. Um die vorgegebenen Werte zu erreichen, be dient man sich Erfahrungswerten, die dadurch gewonnen werden, daß man die Gegenstände unter definierten Bedingungen (Inhaltsstoffe und deren Konzentration in der Badflüssigkeit, Temperatur und pH-Wert des Bades, Stromdichte (bei der galvanischen Abschei dung) und Abscheidedauer beschichtet und das Ergebnis nachträglich am Gegenstand überprüft. Auf diese Weise ermittelte optimale Abscheidebedingungen versucht man dann während des Betriebes eines Beschichtungsbades in engen Grenzen zu halten. Zu diesem Zweck ist es bekannt, die Temperatur, den pH-Wert, die Konzentration bestimm ter Inhaltstoffe und die Stromdichte laufend zu über wachen. Trotz des damit verbundenen meßtechnischen Auf wandes ist es jedoch schwierig, Beschichtungen mit gleichbleibender Qualität herzustellen, weil man es nicht schafft, alle den Beschichtungsvorgang beein flussenden Parameter unter Kontrolle zu halten. Auch die Geometrie der zu beschichtenden Gegenstände und deren gegenseitige Beeinflussung ist geeignet, den Be schichtungsvorgang zu beeinflussen.If objects by galvanic metal deposition or by chemical deposition in chemical coating tion baths are coated, then in general the desired layer thickness and surface quality (Gloss, freedom from pores and cracks, etc.) featured give. To achieve the specified values, be one uses empirical values, which are thereby gained be that the objects are defined under Conditions (ingredients and their concentration in the bath liquid, temperature and pH of the Bades, current density (in the galvanic separation dung) and deposition time coated and the result subsequently checked on the object. In this way you try to determine the optimal separation conditions then during the operation of a coating bath in keep tight limits. For this purpose it is known determine the temperature, the pH value, the concentration ter ingredients and the current density watch. Despite the associated metrological ups However, it is difficult to use coatings to manufacture consistent quality because you can does not manage to affect all the coating process to keep the flowing parameters under control. Also the geometry of the objects to be coated and their mutual influence is suitable for the Be to influence the stratification process.
Auch bei dem Arbeiten mit Abscheideverfahren aus der Gasphase heraus (PVD-Verfahren und CVD-Verfahren) geht man so vor, daß die Abscheidebedingungen aus Erfahrungs werten gewonnen und eingestellt werden und der Erfolg nachträglich durch Stichproben an den beschichteten Gegenständen überprüft wird. Wenn sich dann aller dings herausstellt, daß die Beschichtungen den ge forderten Ansprüchen nicht genügen, hat man leider Aus schuß produziert. Even when working with separation processes from the Gas phase out (PVD process and CVD process) one pretends that the deposition conditions are based on experience values won and set and success subsequently by random sampling on the coated Items is checked. If everyone then dings turns out that the coatings the ge Unfortunately, you don't have to meet the demands you demand shot produced.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Weg aufzuzeigen, wie man galvanisch, naßchemisch, durch PVD oder CVD hergestellte Beschichtungen mit weniger Aufwand, aber doch sehr aussagekräftig kon trollieren kann.The present invention is based on the object to show a way how to galvanic, wet chemical, coatings produced by PVD or CVD less effort, but still very meaningful can troll.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren mit den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen. Eine zur Durch führung des Verfahrens geeignete Kontrollvorrichtung ist Gegenstand des Anspruchs 7. Vorteilhafte Weiter bildungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.This problem is solved by a method with the features specified in claim 1. One for through appropriate control device is the subject of claim 7. Advantageous Next formations of the invention are the subject of the dependent Expectations.
Erfindungsgemäß wird vorgeschlagen, die Beschichtungen nicht erst dann zu kontrollieren, wenn der Beschich tungsvorgang bereits abgeschlossen ist, sondern be reits während des Beschichtungsvorganges, so daß man die Beschichtung bereits unter Kontrolle hat, während sie aufwächst. Die Kontrolle wird auf optischem Wege durchgeführt, indem die aufwachsende Schicht durch eine Lichtquelle beleuchtet, das von der Schicht zu rückgeworfene Licht aufgefangen, in einem optisch elektrischen Wandler in elektrische Signale gewandelt und diese nach vorgegebenen Kriterien untersucht wer den, die aus Erfahrungswerten gewonnen sein können.According to the invention, the coatings are proposed not to check only when the coating processing is already completed, but be riding during the coating process, so that one the coating is already under control while she grows up. The control is done optically performed by passing through the growing layer a light source illuminates that from the layer too reflected light caught in an optical electrical converter converted into electrical signals and who examines them according to predetermined criteria the one that can be gained from experience.
Diese Vorgehensweise hat mehrere Vorteile:This approach has several advantages:
- - Es wird direkt und unmittelbar das überwacht, was bestimmte Anforderungen erfüllen soll, nämlich die Schicht, nicht aber irgendwelche Verfahrenspara meter wie Temperatur, Konzentration und Stromdich te, die nur eine indirekte Kontrolle über die Be schichtung ermöglichen.- What is monitored directly and immediately should meet certain requirements, namely Shift, but not any procedural para meters such as temperature, concentration and current density te who only have indirect control over the Be enable layering.
- - Abweichungen vom optimalen Aufwachsen und Aufbau einer Beschichtung können frühzeitig entdeckt wer den, weil nicht erst die fertige Schicht, sondern ihre Vorstadien kontrolliert werden.- Deviations from optimal growth and structure a coating can be discovered early that because not just the finished layer, but their pre-stages are controlled.
- - Der sparsame Einsatz von abzuscheidenen Metallen, insbesondere teuren Edelmetallen, und von wei teren Inhaltsstoffen eines Bades optimiert wer den, weil es möglich ist, während des Beschich tungsvorganges eine laufende Aussage über die zu nehmende Schichtdicke zu erhalten, so daß exakt bei der gewünschten Schichtdicke der Abscheidevor gang beendet werden kann. Einflüsse unterschiedlicher Geometrien auf das Abscheideverhalten hat man bei der erfindungsgemäßen Kontrolle leicht im Griff. Dazu genügt es, an einer oder mehreren als beson ders kritisch erkannten Stellen eines Gegenstandes den dort ablaufenden Beschichtungsvorgang zu kon trollieren.- The economical use of metals to be deposited, especially expensive precious metals, and of white who optimizes the other ingredients in a bathroom the one because it is possible during the coating tion process an ongoing statement about the to take increasing layer thickness so that exactly at the desired layer thickness can be ended. Influences different One has geometries on the separation behavior the control of the invention easily under control. It is sufficient to use one or more as special other critically recognized areas of an object the coating process taking place there troll.
- - Die Bedingungen, unter denen die Beschichtungsvor gänge ablaufen, sind recht unwirtlich und gekenn zeichnet durch aggressive Bäder, schlecht zugängliche Vakuumkammern für Bedampfungszwecke, unter Umständen begleitet von Gasentladungen, Korpuskularstrahlung oder elektromagnetischer Strahlung. In solcher Um gebung kommt man erfindungsgemäß zurecht durch Ver wendung von Lichtwellenleitern, welche das Licht einer Lichtquelle bis dicht vor das zu kontrollieren de Objekt führen und das von dem Objekt zurückge worfene Licht wieder aufnehmen und zurückführen zum optisch-elektrischen Wandler. Diese Lichtwellen leiter sind ihrer Natur nach chemisch inert, werden galvanisch nicht beschichtet, können durch andere Beschichtungsverfahren allerdings beschichtet wer den, wobei Beschichtungen über die Länge des Licht wellenleiters nicht stören und Beschichtungen an der Spitze des Lichtwellenleiters verhindert wer den können, indem die Spitze abgeschirmt wird, indem sie z. B. nach rückwärts versetzt in einer Hülse angeordnet wird.- The conditions under which the coating process courses run, are quite inhospitable and knowledgeable characterized by aggressive baths, poorly accessible Vacuum chambers for evaporation purposes, under certain circumstances accompanied by gas discharges, corpuscular radiation or electromagnetic radiation. In such order according to the invention, one gets along by ver application of optical fibers, which the light to control a light source until just before that lead the object and return it from the object absorb the thrown light and return it to the optical-electrical converter. These light waves by their nature, conductors are chemically inert not galvanically coated, can by others Coating process, however, who coated the, with coatings across the length of the light do not interfere with the waveguide and coatings the tip of the optical fiber prevents anyone can by shielding the tip, by z. B. moved backwards in one Sleeve is arranged.
Die übrigen Bestandteile der Kontrollvorrichtung können sich außerhalb des Gefäßes befinden, in welchem die Beschichtung stattfindet, so daß nur der Lichtwellen leiter einer Belastung durch das Beschichtungsmedium ausgesetzt ist. Weitere Komponenten der Kontrollvor richtung sind eine Lichtquelle, insbesondere eine Lampe mit definierter Farbe und Leuchtstärke, ferner ein oder mehrere Lichtwellenleiter, die das Licht von der Licht quelle zur kontrollierenden Oberfläche führen und das von dort reflektierte Licht wieder aufnehmen, um es zum optisch-elektrischen Wandler zu führen. Grundsätzlich kann das Licht hin und zurück über denselben Lichtwellen leiter laufen, wobei das reflektierte Licht an dem außer halb des Beschichtungsbehälters liegenden Ende des Licht wellenleiters ausgekoppelt und auf den optisch-elektri schen Wandler gerichtet wird. Der optisch-elektrische Wandler kann durch eine oder mehrere Fotodioden oder Fototransistoren gebildet werden, aber auch z. B. durch eine eindimensionale oder eine zweidimensionale CCD-Sensor-Anordnung, mit welcher Bilder der zu kontrollieren den den Oberfläche aufgefangen und ausgewertet werden, die durch eine Lichtleitfaseroptik übertragen wurden.The remaining components of the control device can are outside the vessel in which the Coating takes place so that only the light waves head of exposure to the coating medium is exposed. Other components of the control direction are a light source, especially a lamp with defined color and luminosity, also one or multiple fiber optic cables that block the light from the light source to the controlling surface and that from there take up reflected light again in order to to lead optical-electrical converter. Basically the light can go back and forth over the same light waves conductors, with the reflected light on the outside end of the light lying half of the coating container waveguide uncoupled and on the optical-electri converter is directed. The optical-electrical Converter can be through one or more photodiodes or Photo transistors are formed, but also z. B. by a one-dimensional or a two-dimensional CCD sensor arrangement with which images the control which are captured and evaluated on the surface, that were transmitted through an optical fiber optic.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den beige fügten Zeichnungen dargestellt und werden nachfolgend beschrieben.Embodiments of the invention are in the beige attached drawings and are shown below described.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines galvanischen Bades mit einer erfindungs gemäßen Kontrollvorrichtung, Fig. 1 is a schematic illustration of a galvanic bath with a fiction, modern control device,
Fig. 2 ist ein Diagramm zur Erläuterung des Funktionsprinzips der in Fig. 1 dar gestellten Vorrichtung mit dem Ziel einer Schichtwachstumskontrolle, und Fig. 2 is a diagram for explaining the principle of operation of the device shown in Fig. 1 with the aim of a layer growth control, and
Fig. 3 ist eine schematische Darstellung der An wendung eines Kontrollgerätes für die Kontrolle der Oberflächengüte von gal vanisch beschichteten Bändern. Fig. 3 is a schematic representation of the use of a control device for checking the surface quality of galvanically coated tapes.
Fig. 1 zeigt einen Badbehälter 1, in welchem bis zu einem Niveau 2 eine galvanische Badflüssigkeit 3 ent halten ist. In das Bad tauchen eine Anode 4 und ein zu beschichtender, kathodisch geschalteter Gegenstand 5 ein. Der Oberfläche des Gegenstandes 5 gegenüberliegend ist die Spitze 6 eines Lichtwellenleiters 7 angeordnet, welcher die Spitze 6 durch eine in die Badflüssigkeit 3 eingetauchte Halterung 8 in definiertem Abstand gegenüber der Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstandes 5 hält. Der Lichtwellenleiter 7 ist aus dem Badbehälter 1 nach oben herausgeführt zu einem Gehäuse 9 des Kontrollgerätes, in welchem sich eine Lichtquelle, ein optisch-elektrischer Wandler und eine Auswerteschaltung befinden, die das Er gebnis ihrer Auswertung auf einer Anzeigeeinheit 10 zur Anzeige bringt und über Ausgänge 11 Schaltvorgänge und Steuervorgänge auslösen kann. Fig. 1 shows a bath tank 1 , in which up to a level 2 a galvanic bath liquid 3 is kept ent. An anode 4 and a cathode-connected object 5 to be coated are immersed in the bath. The surface of the object 5 is opposite to the tip 6 of an optical fiber 7 is arranged, which holds the tip of the 6 by an immersed into the bath 3 mount 8 in a defined distance to the surface to be coated article. 5 The optical waveguide 7 is led out of the bath container 1 upwards to a housing 9 of the control device, in which there is a light source, an optical-electrical converter and an evaluation circuit which displays the result of its evaluation on a display unit 10 and via outputs 11 switching and control processes can trigger.
Von der Lichtquelle im Gehäuse 9 ausgesandtes Licht wird durch den Lichtleiter übertragen und beleuchtet einen definierten Bereich der Oberfläche des Gegenstandes 5. Von dort zurückgeworfenes Licht wird vom Lichtwellen leiter aufgenommen und in das Gehäuse 9 zurückgeführt, wo es aus dem dort liegenden Ende des Lichtwellenleiters ausgekoppelt, dem optisch-elektrischen Wandler zu geführt und darin in elektrische Ausgangssignale ge wandelt wird.Light emitted by the light source in the housing 9 is transmitted through the light guide and illuminates a defined area of the surface of the object 5 . From there reflected light is taken up by the optical waveguide and fed back into the housing 9 , where it is coupled out from the end of the optical waveguide located there, the optical-electrical converter is fed to and converted into electrical output signals therein.
Mit Beginn des Beschichtungsvorganges ändert sich das Reflexionsverhalten der Oberfläche des Gegenstandes 5. Die von der Oberfläche des Gegenstandes zurückge worfene Lichtmenge Φ/Φo ändert sich in einer be stimmten Weise, die von den beteiligten Materialien abhängt, und stabilisiert sich allmählich auf einem neuen Niveau. Diese Stabilisierung ist ein Anzeichen dafür, daß die Schicht geschlossen ist. In Fällen, wo es nur darauf ankommt, eine dünne, aber geschlossene Schicht zu erzeugen, kann der Zeitpunkt, zu dem dies erreicht wurde, durch die Stabilisierung der reflek tierten Lichtmenge (Strahlungsfluß) recht bequem er mittelt werden. Dies ist Aufgabe der Auswerteschal tung im Gehäuse 9. Die Stabilisierung der reflek tierten Lichtmenge kann auf der Anzeigeeinheit 10 an gezeigt werden und ermöglicht dann eine Beendigung des Beschichtungsvorganges. Der Beschichtungsvor gang kann über einen der Ausgänge 11 aber auch auto matisch beendet werden.With the beginning of the coating process, the reflection behavior of the surface of the object 5 changes . The amount of light reflected from the surface of the object Φ / Φ o changes in a certain way, which depends on the materials involved, and gradually stabilizes at a new level. This stabilization is an indication that the layer is closed. In cases where it is only important to produce a thin but closed layer, the point in time at which this was achieved can be determined quite easily by stabilizing the amount of light reflected (radiation flux). This is the task of the evaluation circuit in the housing 9 . The stabilization of the reflected amount of light can be shown on the display unit 10 and then enables the coating process to be ended. The coating process can also be ended automatically via one of the outputs 11 .
Will man eine bestimmte, konkrete Schichtdicke d/do erreichen, dann kann man das z. B. dadurch, daß man einen definierten Fleck auf der Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstandes 5 beleuchtet. Mit zu nehmender Schichtdicke wandert dieser Fleck an die Spitze 6 der Faseroptik heran. Randstrahlen des über tragenen Lichtbündels können dabei aus dem Gesichts feld des optisch-elektrischen Wandlers herauswandern, und daraus lassen sich Änderungen der Schichtdicke sehr empfindlich, mit einem Auflösungsvermögen von 5 bis 10 nm feststellen.If you want to achieve a specific, concrete layer thickness d / d o , you can do this e.g. B. by illuminating a defined spot on the surface of the object 5 to be coated. With increasing layer thickness, this spot moves to the top 6 of the fiber optics. Edge rays of the transmitted light bundle can migrate out of the field of view of the optical-electrical converter, and from this changes in the layer thickness can be determined very sensitively, with a resolution of 5 to 10 nm.
Durch eine erfindungsgemäße in-line-Kontrolle können die Beschichtungszeiten optimiert, das Galvanikbad besser ausgelastet und der Materialverbrauch minimiert werden. Für die Installation des Lichtwellenleiters und des Kontrollgerätes ist kein großer gerätetechni scher Aufwand erforderlich.By means of an in-line control according to the invention the coating times optimized, the electroplating bath better utilized and minimized material consumption become. For the installation of the optical fiber and the control device is not a large device technology effort required.
Ebenso, wie sich nach dem beschriebenen Verfahren gal vanisch abgeschiedene Schichten kontrollieren lassen, lassen sich auch chemische Abscheidungen, PVD-Be schichtungen, CVD-Beschichtungen und Kunststoffbe schichtungen kontrollieren.Just as how gal have vanically deposited layers checked, chemical deposits, PVD-Be coatings, CVD coatings and plastic coatings check layers.
Fig. 3 illustriert den Einsatz eines erfindungsge mäßen Gerätes für die Kontrolle der Oberflächengüte einer Beschichtung. In beiden Ausführungsbeispielen sind gleiche und einander entsprechende Teile mit über einstimmenden Bezugszahlen bezeichnet. Fig. 3 zeigt das Beispiel einer fortlaufenden galvanischen Be schichtung eines Bandes 5, auf welchem einseitig, z. B. mittels eines Filzes, der mit der elektrolytischen Be schichtungsflüssigkeit getränkt ist, eine galvanische Abscheidung bewirkt wird. Der beschichteten Oberfläche des Bandes 5 gegenüberliegend ist die Spitze 6 eines Lichtwellenleiters 7 angeordnet, welcher wie im ersten Ausführungsbeispiel in das Gehäuse 9 eines Gerätes führt, in dem sich eine Lichtquelle, eine Auswerteschaltung, eine Anzeigeeinheit 10 und mehrere Signalausgänge 11 be finden. Der Aufbau der Kontrollvorrichtung entspricht damit im wesentlichen dem ersten Beispiel. Mikrorisse, Poren, Löcher, aber auch Unebenheiten und Rauhigkeiten lassen sich aus dem Reflexionsvermögen der abge schiedenen Beschichtung ermitteln. Fehlerhafte Ab scheidungen können so automatisch erkannt und ausge sondert werden. Es können auch vom Kontrollgerät über die Ausgänge 11 Signale für die Steuerung des Abscheide vorganges bereitgestellt werden. Die Fertigungsqualität ist so laufend überwacht, und der Abscheideprozeß kann nach Bedarf optimiert werden. Fig. 3 illustrates the use of a device according to the invention for checking the surface quality of a coating. In both exemplary embodiments, identical and corresponding parts are denoted by matching reference numbers. Fig. 3 shows the example of a continuous galvanic coating Be a tape 5 , on which one side, for. B. by means of a felt, which is impregnated with the electrolytic coating liquid Be, an electrodeposition is effected. The coated surface of the tape 5 opposite the tip 6 of an optical waveguide 7 is arranged, which, as in the first embodiment, leads into the housing 9 of a device in which there is a light source, an evaluation circuit, a display unit 10 and a plurality of signal outputs 11 . The structure of the control device thus essentially corresponds to the first example. Microcracks, pores, holes, but also unevenness and roughness can be determined from the reflectivity of the coating. Faulty deposits can thus be automatically recognized and rejected. It can also be provided by the control device via the outputs 11 signals for controlling the separation process. The production quality is continuously monitored and the deposition process can be optimized as required.
Selbstverständlich kann die Oberflächengüte nicht nur an den galvanisch beschichteten Oberflächen unmittelbar anschließend an den galvanischen Beschichtungskopf über prüft werden. Es ist auch möglich, die Oberflächengüte in Vorbehandlungsbädern oder Nachbehandlungsbädern, beim Ätzen, Beizen, Reinigen oder Texturieren von Oberflächen zu kontrollieren. Of course, the surface quality can not only directly on the electroplated surfaces then to the galvanic coating head be checked. It is also possible to get the surface finish in pre-treatment baths or post-treatment baths, at Etching, pickling, cleaning or texturing surfaces to control.
Auch Farbänderungen können auf diese Weise erfaßt wer den. Die Oberfläche kann an einer oder mehreren relevanten Stellen überwacht werden.Color changes can also be recorded in this way the. The surface can be on one or more relevant Bodies are monitored.
In beiden Ausführungsbeispielen kann das Kontrollgerät mit mehreren Faseroptiken 7 ausgerüstet sein. Darüberhinaus kann das Kontrollgerät eine Schnittstelle 12 zu einem externen Rechner, z. B. zu einem PC haben, der die Auswertung der Signale des optisch-elektrischen Wandlers vornimmt. Durch die Auswertung kann auch erkannt werden, ob die Faser optik verschmutzt ist und gereinigt oder ausgetauscht wer den muß.In both exemplary embodiments, the control device can be equipped with a plurality of fiber optics 7 . In addition, the control device can interface 12 to an external computer, for. B. have a PC that performs the evaluation of the signals of the optical-electrical converter. The evaluation can also be used to determine whether the fiber optic is dirty and has to be cleaned or replaced.
Die Auswerteschaltung bzw. der Auswerterechner kann einen Speicher haben, in welchem die Kriterien, nach denen die Auswertung vorgenommen wird, gespeichert sind. Solche Kriterien, z. B. Kennlinien über das Reflexionsverhalten unter variierenden Bedingungen für unterschiedliche Gegen stände, können aus Erfahrungswerten gewonnen und im Rahmen der durchzuführenden Auswertung mit den aktuellen Meß werten verglichen werden.The evaluation circuit or the evaluation computer can be one Have memory in which the criteria according to which the Evaluation is made, are saved. Such Criteria, e.g. B. Characteristic curves of the reflection behavior under varying conditions for different counter stands, can be gained from experience and within the framework the evaluation to be carried out with the current measurement values are compared.
Claims (8)
auf die Kontrolle einer auf dem Gegenstand galvanisch, naßchemisch, physikalisch (PVD) oder chemisch (CVD) aus der Gasphase abgeschiedenen Schicht während des Abscheidevorganges.1. Application of a method for checking the surface of objects by illuminating the objects by means of a light source, collecting light originating from the light source, which has been reflected by the surface, supplying the collected light to an optical-electrical converter and evaluating the converter. Output signal according to given criteria,
on the control of a layer deposited on the object galvanically, wet-chemically, physically (PVD) or chemically (CVD) from the gas phase during the deposition process.
mit einer Lichtquelle zum Beleuchten der Oberfläche,
mit einem Lichtwellenleiter (7) zum Übertragen von Licht aus der Lichtquelle zur Oberfläche,
mit einem optisch-elektrischen Wandler zum Empfangen von Licht, welches von der Oberfläche zurückgeworfen wurde,
mit einem Lichtwellenleiter (7) zum Übertragen des von der Oberfläche zurückgeworfenen Lichts zum optisch-elektrischen Wandler,
und mit einer Auswerteschaltung deren Eingang mit dem Ausgang des Wandlers verbunden ist.7. Device for checking the surface of objects ( 5 ) while they are coated by galvanic, wet chemical, physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD),
with a light source to illuminate the surface,
with an optical waveguide ( 7 ) for transmitting light from the light source to the surface,
with an optical-electrical converter for receiving light that has been reflected back from the surface,
with an optical waveguide ( 7 ) for transmitting the light reflected from the surface to the optical-electrical converter,
and with an evaluation circuit whose input is connected to the output of the converter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19944413745 DE4413745A1 (en) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | Monitoring object surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19944413745 DE4413745A1 (en) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | Monitoring object surfaces |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4413745A1 true DE4413745A1 (en) | 1995-10-26 |
Family
ID=6515977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19944413745 Ceased DE4413745A1 (en) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | Monitoring object surfaces |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4413745A1 (en) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
| 8131 | Rejection |