DE4308375A1 - Störspannungskompensierte Halleffekt-Einrichtung - Google Patents
Störspannungskompensierte Halleffekt-EinrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung geht aus von einer Halleffekt-
Einrichtung mit einem dünnen, rahmenförmigen Hallplättchen
oder Hallelement, das mit Stromanschlüssen und Hallspannungs
anschlüssen kontaktiert ist.
Bringt man einen vom Strom I durchflossenen streifen
förmigen, im Vergleich zu seiner Breite dünnen elektrischen
Leiter ("Hallelement") in ein Magnetfeld B*, das eine auf
der Leiterebene senkrecht stehende Komponente aufweist, so
entsteht aufgrund des sogenannten Halleffektes zwischen den
seitlichen Rändern des streifenförmigen Leiters eine
Spannung, die sogenannte Hall-Spannung
AH·I·B*/d (1)
wobei AH der Hall-Koeffizient,
AH = r/(n·e) (2)
ist. Hierin bedeuten
B* = magnetische Feldstärke,
d = Dicke des Leiters,
r = von der Beweglichkeit der Ladungsträger abhängiger Faktor,
n = Dichte der Ladungsträger,
e = Elementarladung.
B* = magnetische Feldstärke,
d = Dicke des Leiters,
r = von der Beweglichkeit der Ladungsträger abhängiger Faktor,
n = Dichte der Ladungsträger,
e = Elementarladung.
Der Hall-Effekt wird in der Wissenschaft und Technik für die
verschiedensten Zwecke nutzbar gemacht, z. B. für robuste
Magnetometer, magnetfeldbetätigte Schalter, Positions
sensoren und neuerdings auch für hochpräzise Widerstands
standards, bei dem der Quanten-Halleffekt ausgenutzt wird,
siehe z. B.: die Veröffentlichungen von Popovi in "Sensors
and Actuators", 10 (1986) 347-378 und 17, (1989) 39-53.
Im einfachsten Falle enthält eine Halleffekt-Einrichtung
einen möglichst dünnen, rechteckigen oder streifenförmigen
elektrischen Leiter ("Hallelement"). Es sind ferner magnet
feldabhängige Widerstände (Hallwiderstände) bekannt, die
einen dünnen, ringförmigen Leiter enthalten, der am Innen
rand und am Außenrand jeweils mit einem sich über den ganzen
Rand oder nur einen Teil des Randes erstreckenden Anschluß
versehen ist (Corbino- bzw. Quasi-Corbino-Konfiguration)
Aufgrund der Gleichung (1) könnte man annehmen, daß die Empfindlichkeit einer Halleffekt-Einrichtung, also das Ver hältnis von Hallspannung zu magnetischer Feldstärke, durch Erhöhung des Stromes I beliebig gesteigert werden könnte. In der Praxis zeigt es sich jedoch, daß durch Störeffekte, insbesondere mangelhafte Ausrichtung der Anschlüsse (Posi tionsfehler) und Inhomogenitäten des Leitermaterials sehr schnell eine Grenze erreicht wird, da diese Unvollkommen heiten einen widerstandsbedingten Spannungsabfall und damit auch ohne Einwirkung eines Magnetfeldes eine Fehlerspannung an den Hallspannungsanschlüssen verursachen. Wenn die Hall spannung bei schwachen Magnetfeldern in die Größenordnung dieser Fehlerspannungen gelangt, ist eine ordnungsgemäße Messung offensichtlich nicht mehr möglich.
Aufgrund der Gleichung (1) könnte man annehmen, daß die Empfindlichkeit einer Halleffekt-Einrichtung, also das Ver hältnis von Hallspannung zu magnetischer Feldstärke, durch Erhöhung des Stromes I beliebig gesteigert werden könnte. In der Praxis zeigt es sich jedoch, daß durch Störeffekte, insbesondere mangelhafte Ausrichtung der Anschlüsse (Posi tionsfehler) und Inhomogenitäten des Leitermaterials sehr schnell eine Grenze erreicht wird, da diese Unvollkommen heiten einen widerstandsbedingten Spannungsabfall und damit auch ohne Einwirkung eines Magnetfeldes eine Fehlerspannung an den Hallspannungsanschlüssen verursachen. Wenn die Hall spannung bei schwachen Magnetfeldern in die Größenordnung dieser Fehlerspannungen gelangt, ist eine ordnungsgemäße Messung offensichtlich nicht mehr möglich.
Es sind bereits verschiedene Maßnahmen zur Beseitigung oder
Kompensation dieser Fehlerspannungen bekannt. Das einfachste
Verfahren besteht darin, das Signal an den Hallspannungs
anschlüssen bei zwei entgegengesetzten Richtungen des Magnet
feldes zu messen, wobei dann die Fehlerspannung durch Sub
traktion der gewonnenen Signale eliminiert werden kann. In
der Praxis ist eine Umkehr der Magnetfeldrichtung jedoch
sehr schwer durchführbar. Ein anderes, etwas komplizierteres
Verfahren arbeitet mit einem Austausch der Stromanschlüsse
und der Hallspannungs-Anschlüsse ohne Feldumkehr. Hier
werden außer einer Bildung der Signaldifferenz relativ
komplizierte Umschalter benötigt. Schließlich ist es bekannt,
die Fehlerspannungen durch Verwendung gegeneinanderge
schalteter, gepaarter Halleffekt-Einrichtungen zu kompen
sieren. Es ist jedoch wegen der praktisch unvermeidlichen
Materialinhomogenitäten kaum möglich, genau gleiche Hall
elemente herzustellen, auch wenn diese auf dem gleichen
Substrat gebildet werden. Außerdem benötigen solche Anord
nungen die doppelte Fläche und Leistung.
Für manche Anwendungen, wie z. B. die Messung von örtlich
veränderlichen Magnetfelder, wie Gradientenfeldern, werden
ebenfalls bessere, insbesondere einfachere, genauere und
funktionstüchtigere Halleffekt-Einrichtungen benötigt.
Der vorliegenden Erfindung liegt ausgehend von diesem Stand
der Technik die Aufgabe zugrunde, Halleffekt-Einrichtungen
mit neuartigen Konfigurationen anzugeben, mit denen die oben
erwähnten widerstandsbedingten Fehlerspannungen auf einfache
Weise vermieden und andere Meßaufgaben gelöst werden können.
Diese Aufgabe wird bei einer Halleffekt-Einrichtung mit den
im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Merkmalen durch
die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 gelöst.
Die vorliegende Erfindung beruht auf der Entdeckung, daß bei
Halleffekt-Einrichtungen mit einem Hallelement, das minde
stens ein Loch oder Fenster aufweist und dementsprechent
durch einen äußeren Rand und mindestens einen inneren Rand
begrenzt ist, an dem oder jedem inneren Rand eine Hall
spannung abgenommen werden kann.
Das Hallelement hat also mathematisch gesprochen die Form
eines mehrfach zusammenhängenden Gebietes, im einfachsten
Falle die Form eines zweifach zusammenhängenden Gebietes,
d. h. daß daß es geschlossene Kurven im Gebiet gibt, die nur
mit ein- bzw. mehrmaligem Überschreiten eines Randes zu
einem Punkt zusammengezogen werden können.
Eine bevorzugte zweifach zusammenhängende Konfiguration ist
die eines rechteckigen Rahmens, der durch einen äußeren und
einen inneren Rand begrenzt ist. Hier können Ströme jeweils
an zwei einander entgegengesetzten Stellen des äußeren und
des inneren Randes in das rahmenförmige Hallelement injiziert
werden und Hallspannungen können an zwei einander entgegen
gesetzten Stellen des äußeren und/oder des inneren Randes
abgenommen werden. Die injizierten Ströme können unabhängig
voneinander so eingestellt werden, daß der resultierende
Strom in der Nähe der Hallspannungsanschlüsse verschwindet.
Dadurch kann auch kein Spannungsabfall im Bereich der Hall
spannungsanschlüsse und damit auch keine widerstandsbedingte
Fehlerspannung auftreten.
Mit einem Hallelement, das mehrere, in einer Reihe oder über
einen Flächenbereich verteilte Löcher oder Fenster aufweist,
können örtliche Magnetfeldverteilungen gemessen werden. Am
Innenrand jedes Fensters kann ein Strom injiziert und eine
Hallspannung abgenommen werden und die Fehlerspannungs
kompensation kann mittels eines gemeinsamen Stromes erfolgen,
der am äußeren Rand injiziert wird.
Die vorliegenden Halleffekt-Einrichtungen zeichnen sich
dementsprechend durch eine vielseitige Verwendbarkeit aus.
Die Verlustleistung und dementsprechend das thermische
Rauschen sind niedrig; die Empfindlichkeit ist mindestens
zwei Größenordnungen höher als die vergleichbarer Halleffekt-
Einrichtung und wegen der Ausschaltung der widerstandsbe
dingten Störspannungen ist auch die Temperaturabhängigkeit
des Hallspannungssignals klein.
Die Erfindung soll nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
näher erläutert werden, dabei werden noch weitere Vorteile
und Merkmale der Erfindung zur Sprache kommen. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Halleffekt-
Einrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der
Erfindung;
Fig. 2 eine schematische Darstellung einer störspannungs
kompensierten Halleffekt-Einrichtung gemäß einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung mit einer
Stromversorgungsschaltung, die zwei getrennte Strom
quellen enthält;
Fig. 3a bis 3f Diagramme zur Erläuterung der Arbeitsweise
der Einrichtung gemäß Fig. 2 und
Fig. 4 bis 7 weitere Ausführungsbeispiele von Halleffekt-
Einrichtungen gemäß der Erfindung.
Bei allen Halleffekteinrichtungen, die im Folgenden be
schrieben werden, wirkt im Betrieb auf das Hallelement ein
Magnetfeld ein, das auf der Ebene des Hallelements senkrecht
steht oder zumindest eine auf der Ebene des Hallelements
senkrecht stehende Komponente hat.
Die in Fig. 1 schematisch dargestellte Halleffekt-Einrichtung
enthält ein Hallelement 10, also einen dünnen, praktisch
zweidimensionalen Leiter, der die Form eines länglichen,
rechteckigen Rahmens hat, welcher durch einen äußeren Rand
10a und einen inneren Rand 10b begrenzt ist und streifen
förmige Seiten gleicher Breite hat. An zwei einander ent
gegengesetzten Seiten des inneren Randes 10b sind zwei
Stromanschlüsse 1 und 2 angeordnet, die mit einer Strom
quelle 12 gekoppelt sind, welche eine Spannungsquelle 16 und
einen dieser in Reihe geschalteten Widerstand R enthält. Am
inneren Rand 10b ist mindestens ein Paar Hallspannungs
anschlüsse (bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel zwei
Paare von Hallspannungsanschlüssen 3-5 und 4-6) angeordnet,
an dem eine Hallspannung entsprechend einem auf das Hall
element einwirkenden Magnetfeld abgenommen werden kann.
Das Hallelement 10 kann in üblicher Weise ausgebildet sein.
Eine praktisch zweidimensionale leitende "Elektronengas"-
Schicht (Dicke ca. 10 nm) liefert bestimmte epitaktische
Heterostrukturen, z. B. GaAs auf AlGaAs. Die Ladungsträger
dichte beträgt in diesem Fall ca. 1011 cm-2. Das Hallelement
kann auch aus einer dünnen (z. B. 2 µm dicken) dotierten
Siliciumschicht (Trägerdichte etwa 1018 cm-3 bestehen. Die
Breite der streifenförmigen Seiten des rahmenförmigen Hall
elements 10 kann beispielsweise 300 µm betragen.
Bei diesem und allen folgenden Ausführungsbeispielen kann
anstelle der dargestellten Rechteckrahmenkonfiguration auch
irgend eine andere hinsichtlich des Hall-Effektes topologisch
gleichwertige Konfiguration verwendet werden. Auch für die
Stromquelle kann jede Einrichtung verwendet werden, die
einen geeigneten, insbesondere zeitlich konstanten Strom mit
vorzugsweise einstellbarer Stärke zu liefern vermag.
Bei der störspannungskompensierten Halleffekteinrichtung
gemäß Fig. 2 sind zusätzlich zu den in Verbindung mit Fig. 1
erwähnten Komponenten auch am äußeren Rand 10a Strom
anschlüsse A und B vorgesehen, die mit einer zweiten Strom
quelle 14 gekoppelt sind. Außerdem ist am äußeren Rand 10a
und/oder am inneren Rand 10b mindestens ein Paar von Hall
spannungsanschlüssen C-E und/oder D-F und/oder 3-5 und/oder
4-6 vorgesehen. Die Abstände von einem Stromanschluß zu den
Hallspannungsanschlüssen eines Paares sind gleich und groß
im Vergleich zum Abstand benachbarter Stromanschlüsse A - 1
bzw. B - 2. Der Strom I1,2 bzw. IA,B mindestens einer der
beiden Stromquellen 12, 14 ist einstellbar.
Die Hallspannung zwischen den Hallspannungsanschlüssen C-E
bzw. D-F hängt hinsichtlich des injizierten Stromes aus
schließlich vom Strom IA,B ab. Die Hallspannung zwischen den
Hallspannungsanschlüssen 3-5 bzw. 4-6 hängt hinsichtlich des
injizierten Stromes ausschließlich vom Strom I1,2 ab. Man
kann diese beiden Ströme einander überlagern, so daß die
Bereiche in den langen Schenkeln des Hallelements, an deren
Rändern die Hallspannungsanschlüsse 3-6 bzw. C-F angebracht
sind, praktisch stromlos sind und daher zwischen den
zugehörigen Hallspannungsanschlüssen keine strombedingten
Fehlerspannungen auftreten können.
Der Effekt dieser Überlagerung ist in den Fig. 3a bis
3f dargestellt. Die Messungen wurden mit einem Hallelement
der in Fig. 2 dargestellten Konfiguration durchgeführt, das
aus einer GaAs-Epischicht bestand (n29K = 2,2·1017cm-3).
Der Strom IA,B wurde auf 0,1 mA konstant gehalten.
Fig. 3a zeigt das Hallspannungs-Signal V4,6 in mV in Ab
hängigkeit von der magnetischen Feldstärke B* in Milli-
Tesla, Parameter I1,2 in Schritten von 0,05 mA. Man beachte
die geringe Neigung, die sich mit I1,2 ändert.
Fig. 3b) zeigt V4,6 in Abhängigkeit von I1,2 bei B* = 0.
Dieses Signal stellt die durch den Widerstands-Spannungs
abfall im Hallelement verursachte Fehlerspannung dar. Man
beachte, daß die Fehlerspannung praktisch verschwindet, wenn
I1,2 = -IA,B = 0,1 mA ist.
Fig. 3c) zeigt das fehlerspannungskompensierte Hall
spannungssignal
dV4,6 = (V4,6[+B]-V4,6[-B])/2 (3)
zwischen den Innenrand-Hallspannungsanschlüssen 4 und 6 in
Abhängigkeit von B*, Parameter I1,2 in Schritten von 0,05 mA.
Man beachte, daß dV4,6 verschwindet, wenn I1,2 = 0 ist und
daß es nur von I1,2 proportional abhängig ist. dV4,6 ist
auch unabhängig von IA,B.
Fig. 3d) zeigt das fehlerspannungskompensierte Hall
spannungssignal
dVD,F = (VD,F[+B]-VD,F[-B])/2 (4)
zwischen den Außenrand-Hallspannungsanschlüssen D und F. Man
beachte, daß dVD,F sich bei Änderungen von I1,2 nicht
ändert.
Fig. 3e) zeigt die Abhängigkeit von VD,F von B*, Parameter
I1,2 in Schritten von 0,05 mA. Die geringe positive Steigung
ist unabhängig von Änderungen des Stromes I1,2.
Fig. 3f) zeigt die Abhängigkeit von VD,F von I1,2 bei
B* = 0, d. h. die durch interne Spannungsabfälle verursachte
Fehlerspannung am Außenrand des Hallelements 10. Diese
Fehlerspannung verschwindet praktisch bei I1,2 = -IRA,B
= 0,1 mA wie bei Fig. 3b.
Bei Fig. 2 wurde das Hallelement 1, 2 von zwei getrennten
Stromquellen 12, 14 über die Stromanschlüsse A, B und 1, 2
mit Strömen IA,B bzw. I1,2 gespeist. Die Fig. 4 bis 6
zeigen Ausführungsbeispiele von störspannungsfreien Hall
effekt-Einrichtungen gemäß der Erfindung, die nur eine
einzige Energiequelle zur Stromversorgung enthalten.
Die Halleffekt-Einrichtung gemäß Fig. 4 enthält eine
Energieversorgung mit einer Spannungsquelle 16 und zwei
Widerständen R1 und R2. Der eine Pol der Spannungsquelle 16
ist mit den Stromanschlüssen 3 und 1 verbunden, während
der andere Pol über den Widerstand R1 mit dem Stromanschluß
A und über den Widerstand R2 mit dem Stromanschluß 2
gekoppelt ist.
Die Halleffekt-Einrichtung gemäß Fig. 5 enthält zur Energie
versorgung eine Spannungsquelle 16 sowie einen Widerstand R,
die in Reihe zwischen die Stromanschlüsse 1 und A geschaltet
sind. Hier kann an den mit dem Innenrand verbundenen Hall
spannungsanschlüssen 3-5 und/oder 4-6 und/oder den mit dem
Außenrand verbundenen Hallspannungsanschlüssen C-E und/oder
D-F ein Hallspannungssignal abgenommen werden.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 6 enthält die Strom
versorgungsschaltung eine Spannungsquelle 16 und zwei Wider
stände R1, R2. Der eine, hier negative Pol der Spannungs
quelle 16 ist mit den Stromanschlüssen B und 2 verbunden.
Der andere, positive Pol der Spannungsquelle 16 ist über den
Widerstand R1 mit dem Stromanschluß 1 und über den Wider
stand R2 mit dem Stromanschluß A verbunden. Im übrigen
entsprechen die Halleffekt-Einrichtungen gemäß den Fig. 4
bis 6 denen gemäß Fig. 1 und 2, so daß sich eine weitere
Erläuterung erübrigt.
Die Halleffekt-Einrichtung gemäß Fig. 7 hat ein längliches
Hallelement mit mehreren, hier drei in einer Reihe angeord
neten Löchern oder Fenstern, es hat daher einen Außenrand
10a sowie drei Innenränder 10b1, 10b2, 10b3. An zwei ent
gegesetzten Stellen des Außenrandes sind zwei Strom
anschlüsse A und B vorgesehen, die mit einer Stromquelle 14
verbunden sind. Die Innenränder sind jeweils mit einem Paar
von Stromanschlüssen 1a, 2a bzw. 1b, 2b, bzw. 1c, 2c, die
mit zugehörigen, einstellbaren Stromquellen 12a bzw. 12b
bzw. 12c gekoppelt sind, und mindestens einem Paar von
Hallspannungsanschlüssen 3a, 5a bzw. 3b, 5b bzw 3c, 5c
kontaktiert. Die Funktionsweise ist analog der gemäß Fig. 2.
Die beschriebenen Einrichtungen lassen sich in verschiedener
Weise abwandeln. Fig. 7 läßt sich z. B. entsprechend den
Fig. 1 und 4 bis 6 abwandeln und es können auch nur zwei
oder mehr als drei Fenster vorgesehen sein und die Fenster
können in beliebiger Anordnung im Hallelement verteilt sein.
Claims (10)
1. Halleffekt-Einrichtung mit einem dünnen, elektrisch
leitfähigen Hallelement (10), das mit Stromanschlüssen und
Hallspannungsanschlüssen versehen ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
dadurch gekennzeichnet, daß
- - das Hallspannungselement (10) mindestens ein Loch aufweist und dementsprechend durch einen äußeren und mindestens einen inneren Rand (10a, 10b; 10b1, 10b2, . . .) begrenzt ist,
- - mindestens einer der Stromanschlüsse (1) an einem inneren Rand angeordnet ist, und
- - mindestens ein Paar von Hallspannungsanschlüssen (3-5; C-E) am inneren und/oder äußeren Rand vorgesehen ist.
2. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet,
durch
- a) ein erstes Paar von Stromanschlüssen (A, B) an zwei ent gegengesetzten Stellen des äußeren Randes (10a);
- b) ein zweites Paar von Stromanschlüssen (1, 2) an zwei entgegengesetzten Stellen jedes inneren Randes (10b);
- c) mindestens ein erstes Paar von Hallspannungsanschlüssen (C, E) an zwei entgegengesetzten Stellen des äußeren Randes (10a) zwischen den Stromanschlüssen (A, B) des ersten Paares; und/oder
- d) mindestens ein zweites Paar von Hallspannungsanschlüssen (3, 5) an zwei entgegengesetzten Stellen des inneren Randes (10b) zwischen den Stromanschlüssen (1, 2) des zweiten Paares (Fig. 2).
3. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet
durch eine erste Stromquelle (14), die mit den Strom
anschlüssen (A, B) des ersten Paares gekoppelt ist und eine
zweite Stromquelle (12), die mit den Stromanschlüssen (1,2)
des zweiten Paares gekoppelt ist, wobei die Polaritäten und
Größen der von den Stromquellen gelieferten Ströme (IA,B,
I1,2) so bemessen sind, daß spannungsabfallbedingte Fehler
spannungen an den Hallspannungsanschlüssen verringert werden.
4. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet
durch eine Spannungsquelle (16), deren einer Anschluß über
einen ersten Widerstand (R2) mit einem ersten Stromanschluß
(A) des ersten Paares und über einen zweiten Widerstand (R1)
mit einem ersten Stromanschluß (1) des zweiten Paares, der
dem ersten Stromanschluß (A) des ersten Paares benachbart
ist, gekoppelt ist und deren zweiter Anschluß mit den
zweiten Stromanschlüssen (B,2) des ersten und des zweiten
Paares gekoppelt ist (Fig. 6).
5. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet
durch eine Spannungsquelle (16), einen ersten Widerstand
(R1), der zwischen einen ersten Anschluß der Spannungsquelle
(16) und einen ersten Stromanschluß (A) des ersten Paares
geschaltet ist, eine Kopplung zwischen einem zweiten Anschluß
der Spannungsquelle und einem ersten Stromanschluß (1) des
zweiten Paares, der dem ersten Stromanschluß (A) des ersten
Paares (A) benachbart ist, einen zweiten Widerstand (R2),
der zwischen den ersten Anschluß der Spannungsquelle und den
zweiten Stromanschuß (2) des zweiten Paares geschaltet ist,
und eine Kopplung zwischen dem zweiten Anschluß der
Spannungsquelle (16) und dem zweiten Stromanschluß (B) des
ersten Paares (Fig. 4).
6. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch
gekennzeichnet durch
- a) einen ersten und einen zweiten Stromanschluß (A,1), die an einander benachbarten Stellen des äußeren bzw. des inneren Randes (10a, 10b) des Hallelements (10) angebracht sind, und
- b) mindestens ein Paar von Hallspannungsanschlüssen (3, 5; C-E) , die an einander entgegengesetzten Stellen des inneren und/oder des äußeren Randes (10b, 10a) im Abstand vom zweiten Stromanschluß (1) angeordnet sind (Fig. 5)
7. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet
durch eine Stromquelle (16, R), die mit den Stromanschlüssen
(A,1) gekoppelt ist.
8. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet
durch ein Paar von Stromanschlüssen (1, 2) an entgegengesetz
ten Stellen des inneren Randes (10b) des Hallelements, und
mindestens ein Paar von Hallspannungsanschlüssen (3, 5), die
an entgegengesetzten Stellen des inneren Randes (10b) im
Abstand von den Stromanschlüssen (1, 2) angeordnet sind
(Fig. 1).
9. Halleffekt-Einrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet
durch eine mit den Stromanschlüssen (1, 2) gekoppelte Strom
quelle (16, R).
10. Halleffekt-Einrichtung nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung zum Erzeu
gen eines auf das Hallelement einwirkenden Magnetfeldes mit
einer zur Ebene des Hallelementes senkrechten Komponente.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4308375A DE4308375C2 (de) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | Störspannungskompensierte Halleffekt-Einrichtung |
JP6519590A JPH08507413A (ja) | 1993-03-08 | 1994-03-08 | 電流接続体および電圧接続体を有するホール効果装置 |
PCT/EP1994/000701 WO1994020993A1 (de) | 1993-03-08 | 1994-03-08 | Halleffekt-einrichtung mit strom- und hallspannungs-anschlüssen |
DE59403030T DE59403030D1 (de) | 1993-03-08 | 1994-03-08 | Halleffekt-einrichtung mit strom- und hallspannungs-anschlüssen |
EP94909122A EP0689723B1 (de) | 1993-03-08 | 1994-03-08 | Halleffekt-einrichtung mit strom- und hallspannungs-anschlüssen |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE4308375A1 true DE4308375A1 (de) | 1994-09-22 |
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ID=6482965
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DE4308375A Expired - Fee Related DE4308375C2 (de) | 1993-03-08 | 1993-03-16 | Störspannungskompensierte Halleffekt-Einrichtung |
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