DE4220501A1 - Optical thickness measurement during mfr. of strip material - using triangulation by measuring distance to material from head above and below material, directing reference line onto head and detecting with PSD or CCD line sensor, and determining position of head for position compensation. - Google Patents

Optical thickness measurement during mfr. of strip material - using triangulation by measuring distance to material from head above and below material, directing reference line onto head and detecting with PSD or CCD line sensor, and determining position of head for position compensation.

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DE4220501A1 DE19924220501 DE4220501A DE4220501A1 DE 4220501 A1 DE4220501 A1 DE 4220501A1 DE 19924220501 DE19924220501 DE 19924220501 DE 4220501 A DE4220501 A DE 4220501A DE 4220501 A1 DE4220501 A1 DE 4220501A1
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Abstract

The distance from the material to a measurement head is measured by distance sensors (2,5) above and below the material path (3). A temp.-stable fixed light beam projector directs a virtual reference line at the measurement head. In addition to the light spot or line which the head projects onto the material for triangulation measurement, the light point is simultaneously formed on a separate area of the position sensitive detector, e.g. CCD matrix or line sensor, used for the distance measurement. The spatial position of the measurement head wrt. the reference line is determined from the position of this light spot and is used as a correction value for the mechanical or thermal bending and positional changes of the measurement head's suspension. USE/ADVANTAGE - E.g. for contactless, continuous measurement of thickness of foils or coated tissues. Uses low-cost optical distance sensors to achieve accurate measurements by compensating for temp. or mechanically-induced bending and position changes..

Description

Bei der Herstellung von bahnförmigen Materialien wie Folien, Verbund­ folien, beschichtete Gewebe u. ä. muß die Dicke kontinuierlich und berührungslos gemessen werden. Oft werden hierfür auf der Triangulation basierende optische Abstandsensoren eingesetzt. So stellt und vertreibt z. B. die Fa. EyeTec GmbH, Am Seerhein 8, 7750 Konstanz, unter der Bezeich­ nung "Deltamaster" ein Dickenmeßgerät, welches auf einem modifizierten Triangulations-Lichtschnittverfahren beruht. Eine auf die Materialoberfläche projizierte Laserlichtlinie wird unter einem Winkel von einer CCD-Matrixka­ mera beobachtet. Aus der Position der Linie im Bildfeld der Kamera kann auf die Distanz vom Meßkopf zur Materialoberfläche geschlossen werden. Zahlreiche andere Hersteller liefern Abstandssensoren, welche auf der Pro­ jektion eines Lichtpunktes und der Auswertung der Position dieses Punktes mit einem Zeilensensor oder einer Positions-empfindlichen Diode beruhen.In the production of sheet-like materials such as foils, composite foils, coated fabrics u. Ä. The thickness must be continuous and can be measured without contact. Often this is based on triangulation based optical distance sensors are used. So z. B. EyeTec GmbH, Am Seerhein 8, 7750 Konstanz, under the designation "Deltamaster" a thickness gauge, which is based on a modified Triangulation light section method is based. One on the material surface projected laser light line is at an angle from a CCD matrixka mera is watching. From the position of the line in the camera's field of view the distance from the measuring head to the material surface. Numerous other manufacturers supply distance sensors that are based on the Pro injection of a light point and the evaluation of the position of this point with a line sensor or a position sensitive diode.

Allen diesen auf der Triangulation beruhenden Dickenmeßgeräten ist gemein­ sam, daß sie lediglich den Abstand d1 der Materialoberfläche zum Meßkopf bestimmen. Um eine Materialdicke zu messen, muß in einer Kalibrations­ phase erst der Abstand dref einer Referenzebene, auf welcher das Material aufliegt, bestimmt werden. Die Materialdicke D ergibt sich aus der DifferenzAll of these thickness measuring devices based on triangulation have in common that they only determine the distance d 1 of the material surface from the measuring head. In order to measure a material thickness, the distance d ref of a reference plane on which the material rests must first be determined in a calibration phase. The material thickness D results from the difference

D= dref-d1 (1).D = d ref -d 1 (1).

Diese Messung setzt allerding voraus, daß nach der Kalibration die Raumla­ ge sowohl dieser Referenzebene wie auch der Meßkopfaufhängung bzw. -Traversiereinrichtung mit hoher Genauigkeit konstant bleibt.This measurement presupposes, however, that after the calibration the room la ge both this reference plane and the measuring head suspension or traversing device remains constant with high accuracy.

Bei heute üblichen Produktionsbreiten bis zu 6 m und einer geforderten Genauigkeit der Dickenmessung von typ. 5 µm stellt dies extreme Anforde­ rungen an die Stabilität der mechanischen Konstruktion. Es ist bekannt, die Problematik der stabilen Referenzebene dadurch zu lösen, daß die Material­ dicke aus der Differenz eines von oben mit Hilfe eines Meßkopfes A gemessenen Abstandes d1 und eines von unten mit Hilfe eines Meßkopfes B gemessenen Abstandes d2 bestimmt wirdWith today's usual production widths of up to 6 m and a required accuracy of the thickness measurement of typically 5 µm, this places extreme demands on the stability of the mechanical construction. It is known to solve the problem of the stable reference plane in that the material thickness is determined from the difference between a distance d 1 measured from above with the aid of a measuring head A and a distance d 2 measured from below with the aid of a measuring head B.

D = Dab-(d1 + d2) (2).D = D ab - (d 1 + d 2 ) (2).

Dab ist der vertikale Abstand beider Meßköpfe, welcher ebenfalls bekannt und konstant bleiben muß. Somit ist die Frage der konstanten Raumlage der beiden Meßköpfe immer noch nicht gelöst. Insbesondere bei traversie­ renden Meßköpfen ist es extrem schwierig, über den gesamten Temperatur­ bereich und bei allen Meßkopf-Positionen eine Durchhängung von nur weni­ gen µm bei solchen großen Bahnbreiten einzuhalten.D ab is the vertical distance between the two measuring heads, which must also be known and remain constant. Thus the question of the constant spatial position of the two measuring heads is still not solved. Especially with traversing measuring heads, it is extremely difficult to maintain a sag of only a few µm with such large web widths over the entire temperature range and in all measuring head positions.

Die geschilderte Problematik hat dazu geführt, daß heute solche Messungen praktisch ausschließlich mit radioaktiven Meßverfahren durchgeführt wer­ den. Hierbei wird die Absorption zumeist einer Gamma-Strahlungsquelle durch das Material ausgemessen und daraus unabhängig von der Raumlage des Materials oder des Meßgerätes auf die Materialdicke geschlossen. Aller­ dings werfen radioaktive Meßverfahren bei der Herstellung, beim Betrieb und bei der Entsorgung eine ganze Reihe von Strahlenschutz-Probleme auf, welche die Gesamtkosten erheblich beeinflussen und auch im Sinne eines gesteigerten Umweltbewußtseins als mit erheblichen Nachteilen behaftet erscheinen lassen.The described problem has led to such measurements today practically exclusively carried out with radioactive measuring procedures the. The absorption is mostly a gamma radiation source measured by the material and from it regardless of the location of the material or the measuring device inferred about the material thickness. Everything Things throw radioactive measuring methods in the production, in the operation and a whole host of radiation protection problems which significantly affect the total costs and also in the sense of a increased environmental awareness as having considerable disadvantages let appear.

Rein optisch arbeitende Abstands-Meßgeräte besitzen diese Nachteile nicht, leiden allerdings unter den oben geschilderten Problemen der schwierig zu erreichenden konstanten Raumlage der Köpfe.Purely optical distance measuring devices do not have these disadvantages, however, suffer from the problems outlined above reaching constant spatial position of the heads.

Erfindungsgemäß wird der Einsatz von preiswerten optischen Abstandsmeß­ geräten zur genauen Dickenmessung bei bahnförmigen Materialien dadurch erreicht, daß die Materialdicke aus der Differenz eines von oben mit einem ersten Abstandsmeßgerät gemessenen Abstandes mit dem von unten mit einem zweiten Meßgerät gemessenen Abstand des jeweiligen Meßkopfes zur Materialoberfläche bestimmt wird, daß die Raumlage beider Meßköpfe da­ durch gemessen wird, daß ein fein fokussierter, außerhalb der Material­ bahn fixierter Laser-Punktprojektor mit Hilfe einer optischen Einkopplung auf den zur Abstandmessung verwendeten oder auf einen zusätzlich im je­ weiligen Meßkopf eingebauten Positions-empfindlichen Sensor eingespiegelt wird, daß aus der Position dieses Lichtpunktes die Raumlage des jeweiligen Meßkopfes bestimmt und als Korrekturwerte für die aus der Differenz der beiden Abstände bestimmten fehlerbehafteten Materialdicke verwendet wer­ den.According to the use of inexpensive optical distance measurement devices for precise thickness measurement of sheet-like materials achieved that the material thickness from the difference of one from above with one first distance measuring device with the distance measured from below with a second measuring device measured distance from the respective measuring head to Material surface is determined that the spatial position of both measuring heads there by measuring that a finely focused, outside of the material track-fixed laser point projector with the help of an optical coupling on the one used for distance measurement or on one additional one each because of the built-in position-sensitive sensor is that from the position of this point of light the spatial position of the respective Measuring head determined and as correction values for from the difference of the two distances certain faulty material thickness who used the.

Der Erfindungsgedanke sei beispielhaft, aber nicht ausschließend an einer zur Dickenmessung eingesetzten Anordnung der o.g. "Deltamaster" Meß­ geräte erklärt. Hierbei wird auf folgende Abbildungen Bezug genommen: The idea of the invention is exemplary, but not exclusive to one arrangement used for thickness measurement of the above "Deltamaster" meas devices explained. The following figures are referred to:  

Fig. 1 zeigt, wie sich bei einer Differenzanordnung von zwei traversierenden Abstandsensoren durch die thermisch oder mechanisch bewirkte Durchhängung der Traversen Meßfehler ergeben, Fig. 1 shows how a difference arise in an arrangement of two traversing distance sensors by the thermally or mechanically induced sagging of the cross members measurement error,

Fig. 2 zeigt, wie durch einen Ausrichtlaser eine virtuelle konstante horizontale Referenzachse für jeden Meßkopf gebildet wird, aus welcher die Raumlage der Meßköpfe bestimmt werden kann, Fig. 2 shows, as formed by a Alignment laser, a virtual constant horizontal reference axis for each measurement head, from which the spatial position of the measuring heads can be determined,

Fig. 3 zeigt am Beispiel des "Deltamaster" Meßgerätes, wie durch Einspiegelung des Laserpunktes in das Blickfeld des zur Triangulation verwendeten CCD-Matrix-Sensors eine kosten­ günstige Ausführung des Erfindungsgedanken gefunden wird, Fig. 3 shows the example of the "Delta Master" measuring instrument, such as a low-cost implementation of the inventive concept is found by input reflection of the laser spot in the field of view of the CCD matrix sensor used for triangulation,

Fig. 4 zeigt das Blickfeld des CCD-Matrix-Sensors im Meßkopf mit der zur Abstandsmessung auf das Material projizierten Laserlinie und dem zur Messung der Raumlage eingeblendeten Laserpunkt. FIG. 4 shows the field of view of the CCD matrix sensor in the measuring head with the laser line projected onto the material for measuring the distance and the laser point faded in for measuring the spatial position.

Beispielhaft wird von dem technisch besonders schwierigen, aber wichtigen Fall einer Differenzanordnung von zwei traversierenden Abstandssensoren nach Fig. 1 ausgegangen. An einer oberen Traversiereinrichtung 1 ist ein Abstandssensor 2, an einer unter der Materialbahn 3 befindlichen unte­ ren Traversiereinrichtung 4 ist ein zweiter Abstandsensor 5 befestigt. Die Materialbahn schwebt frei im Blickfeld beider Sensoren, welche mecha­ nisch gemeinsam in die jeweilige Meßposition quer zur Bahn verschoben wer­ den können.For example, the technically particularly difficult but important case of a differential arrangement of two traversing distance sensors according to FIG. 1 is assumed. At an upper traversing device 1 , a distance sensor 2 is attached to a lower traversing device 4 located under the material web 3 , a second distance sensor 5 is attached. The web of material floats freely in the field of view of both sensors, which can be moved mechanically together into the respective measuring position across the web.

Infolge der ortsveränderlichen Belastung biegen sich beide Traversen um den Betrag ∂1(x, t1) und ∂2 (x, t2) durch. x ist die Koordinate quer zur Bahn, t die lokale Temperatur. Infolge geringer konstruktiver und Materia­ lunterschiede sind beide Durchbiegungen nicht gleich. Auch Tempertatur­ unterschiede zwischen Ober- und Unterseite bewirken unterschiedliche Durchbiegungen ∂X und ∂y. Mit Hilfe der Auswerteeinheit wird die Material­ dicke nach der Vorschrift (2) berechnetAs a result of the moving load, both trusses bend by the amount ∂1 (x, t 1 ) and ∂2 (x, t 2 ). x is the coordinate perpendicular to the orbit, t the local temperature. As a result of minor design and material differences, the two deflections are not the same. Temperature differences between the top and bottom also cause different deflections ∂X and ∂y. With the help of the evaluation unit, the material thickness is calculated according to regulation (2)

D=Dab-(d1+d2) (3).D = D ab - (d 1 + d 2 ) (3).

Werden die Durchbiegungen berücksichtigt, so ergibt sich für die tatsächlich gemessene Materialdicke DIf the deflections are taken into account, it actually results for the measured material thickness D

D = Dab+(∂x-∂y)-((d1-∂x)+(d2+∂y))D = D ab + (∂x-∂y) - ((d 1 -∂x) + (d 2 + ∂y))

D = D+2∂x-2∂y (4).D = D + 2∂x-2∂y (4).

Nur für den Sonderfall, daß beide Durchbiegungen gleich sind, kompensiert sich die Durchbiegung. Es ist bereits darauf hingewiesen worden, daß bei einer Meßgenauigkeit von typ. 5 µm und bei Trasversierbreiten von 6 m dies in der Praxis entweder überhaupt nicht oder nur mit einem extremen me­ chanisch/konstruktiven Aufwand zu erreichen ist.Compensated only for the special case that both deflections are the same the deflection. It has already been pointed out that at a measuring accuracy of typically 5 µm and with cross-sections of 6 m this in practice either not at all or only with an extreme me mechanical / constructive effort can be achieved.

Der Erfindungsgedanke sei anhand von Fig. 2 erläutert. Neben der Traver­ siereinrichtung wird aus einem temperaturstabilen Material, z. B. Granit oder Temperatur-kompensierter Stahl ("INVAR"), eine Halterung 1 für zwei Ausrichtlaser 2 und 3 mit feinfokussiertem Strahl angebracht. Beide Laserstrahle bilden im Raum eine (virtuelle) Referenzlinie 4 und 5, an welchen sich die beide Meßköpfe ausrichten und ihre Raumlage be­ stimmen können. Ein weiterer Erfindungsgedanke ist, die Halterung für die beiden Laser mit einer Temperatur-Meßeinrichtung zu versehen, um die ver­ bleibende thermische Ausdehnung der Halterung aus der gemessenen Tem­ peratur und dem für das Material bekannten Langenausdehnungskoeffizien­ ten berechnen zu können und somit rechnerisch die Lage der beiden virtuel­ len Referenzlinien zu korrigieren.The idea of the invention will be explained with reference to FIG. 2. In addition to the traver siereinrichtung is made of a temperature-stable material such. B. granite or temperature-compensated steel ("INVAR"), a holder 1 for two alignment lasers 2 and 3 with a finely focused beam attached. Both laser beams form a (virtual) reference line 4 and 5 in the room, on which the two measuring heads are aligned and their spatial position can be determined. Another idea of the invention is to provide the holder for the two lasers with a temperature measuring device in order to be able to calculate the remaining thermal expansion of the holder from the measured temperature and the length expansion coefficients known for the material, and thus computationally the position of the two correct virtual reference lines.

Ein weiterer Erfindungsgedanke ist es, das Laserlicht der beiden Laser 2 und 3 mit einer Linienoptik zu versehen, so daß ein feines Muster in Form einer kurzen Linie projiziert wird. Dieses Muster erlaubt in einer im nächsten Abschnitt erklärten Weise nicht nur die vertikale Durchhängung der Traverse, sondern auch die Torsion der Traverse an der Stelle des Meßkopfes zu erfassen.Another idea of the invention is to provide the laser light of the two lasers 2 and 3 with line optics so that a fine pattern in the form of a short line is projected. In the manner explained in the next section, this pattern allows not only the vertical sagging of the traverse, but also the torsion of the traverse to be recorded at the position of the measuring head.

Fig. 3 zeigt am Beispiel des "Deltamaster" Meßkopfes, wie die virtuelle Refe­ renzlinie meßtechnisch erfaßt und ausgewertet wird. Der Meßkopf besteht wie alle auf der Triangulation basierenden Abstandsensoren aus einem Pro­ jektor und einem positionsempfindlichen Detektor. Beim "Deltamaster" pro­ jiziert der Halbleiterlaser 1 über eine Zylinderoptik eine feine Linie auf die zu vermessende Oberfläche 2. Das Bild dieser Linie wird über die Optik 4 auf einen Matrix-CCD-Sensor 3 abgebildet. Die Materialdicke bestimmt die Position der Linie auf dem CCD-Sensor. Aus der Position dieser Linie wird nach dem Fachmann bekannten Verfahren der Triangulation der Abstand vom Sensorkopf zur Materialoberfläche berechnet. Erfindungsgemäß wird die virtuelle Referenzlinie 5 des seitlich angebrachten Ausrichtlasers über einen Strahlteiler auf den gleichen CCD-Matrix-Sensor abgebildet, vorzugs­ weise am Rande des Bildfeldes. Fig. 3 shows, using the example of the "Delta Master" measuring head, how the virtual reference line is measured and evaluated. Like all triangulation-based distance sensors, the measuring head consists of a projector and a position-sensitive detector. In the "Delta Master", the semiconductor laser 1 projects a fine line onto the surface 2 to be measured by means of a cylindrical lens. The image of this line is imaged on a matrix CCD sensor 3 via the optics 4 . The material thickness determines the position of the line on the CCD sensor. From the position of this line, the distance from the sensor head to the material surface is calculated by the triangulation method known to the person skilled in the art. According to the invention, the virtual reference line 5 of the side-mounted alignment laser is imaged on the same CCD matrix sensor via a beam splitter, preferably at the edge of the image field.

Wie in Fig. 4 gezeigt, empfängt der Matrix-Sensor zwei Bilder:As shown in Fig. 4, the matrix sensor receives two images:

  • a) das zur Abstandsmessung erforderliche, durch Rauhigkeiten der Materialoberfläche und durch speckle-Bildung verzerrte Bild der auf die Oberfläche projizierten Linie (2 bzw. 3). Mit wachsender Materialdicke wandert diese Linie in horizontaler Richtung, z. B. von der Position 2 in die Position 3. Aus ihrer entsprechend gemittelten Position läßt sich der Abstand vom Meßkopf zur Materialoberfläche bestimmen.a) the image of the line ( 2 or 3 ) projected onto the surface, which is distorted due to roughness of the material surface and speckle formation. With increasing material thickness, this line moves in the horizontal direction, e.g. B. from position 2 to position 3 . The distance from the measuring head to the material surface can be determined from their correspondingly averaged position.
  • b) am oberen Rande eingespiegelt das, ebenfalls durch speckle gestörte Bild des Lichtflecks des Ausrichtlasers. Die Position dieses Lichtflecks wandert mit wachsender Durchbiegung der Traverse ebenfalls am Bildrand entlang. Aus seiner Position läßt sich damit die Durchbiegung der Transverse und damit die Raumlage des Meßkopfes berechnen und als Korrekturwert in Gl. (4) verwenden.
    Durch eine entsprechend gewählte Optik 7 kann die Empfindlichkeit (d. h. das Verhältnis von Positionsverschiebung zu Durchbiegung) in weiten Grenzen so gewählt werden, daß die Durchbiegung mit einer ausreichenden und von der eigentlichen Abstandmessung abweichen­ den Auflösung bestimmt werden kann.    b) reflected in the upper edge of the image of the light spot of the alignment laser, likewise disturbed by speckle. The position of this light spot also moves along the edge of the image as the traverse bends. From its position, the deflection of the transverse and thus the position of the measuring head can be calculated and used as a correction value in Eq. Use (4).
    By means of an appropriately selected optical system 7 , the sensitivity (ie the ratio of position shift to deflection) can be selected within wide limits so that the deflection can be determined with a sufficient resolution that deviates from the actual distance measurement.

Bei der Einspiegelung einer kurzen Linie statt eines Lichtpunktes kann neben der Durchbiegung auch die Verdrehung des Meßkopfes, z. B. infolge einer Torsion der Traversiereinrichtung bestimmt werden. Eine solche Torsion bewirkt ein Kippen der Linie im Blickfeld des Sensors.When reflecting a short line instead of a point of light in addition to the deflection, the rotation of the measuring head, e.g. B. as a result a torsion of the traversing device can be determined. Such Torsion causes the line to tilt in the field of view of the sensor.

Selbstverständlich läßt sich der Erfindungsgedanke auch bei andern Abstandsmeßgeräten als dem beispielhaft aufgeführten "Deltamaster" ein­ setzen. Verwendet ein Abstandsensor z. B. eine positionsempfindliche Diode als Meßwertelement, so ist es nicht möglich, zwei gleichzeitig auf die Diodenfläche projizierten Punkte anhand der erzeugten Spannungssignale zu identifizieren. In diesem Fall werden der Triangulationslaser und der Aus­ richtlaser im zeitlichen Wechsel ein- und ausgeschaltet und über eine entsprechend synchronisierte Auswertung einmal der Abstand und dann die Raumlage bestimmt.Of course, the idea of the invention can also be applied to others Distance measuring devices as the "Delta Master" listed as an example put. Uses a distance sensor e.g. B. a position sensitive diode as a measured value element, it is not possible to use two at the same time Diode area projected points based on the generated voltage signals to identify. In this case, the triangulation laser and the off Straightening laser switched on and off alternately and via one correspondingly synchronized evaluation once the distance and then determines the location.

Es ist keine Einschränkung des Erfindungsgedanken, wenn die Referenzli­ nie nicht auf den gleichen, zur Abstandsmessung verwendeten Sensor abge­ bildet wird, sondern auf einen separaten eigenen Sensor.It is not a limitation of the inventive concept if the reference list never not on the same sensor used for distance measurement is formed, but on a separate own sensor.

Ebenfalls Teil des Erfindungsgedanken ist es, wenn nur ein Meßkopf und eine stabile Referenzebene, auf welcher das Material aufliegt, eingesetzt wird und die Kompensation der Durchbiegung der Aufhängung lediglich auf den Meßkopf angewendet wird.It is also part of the inventive concept if only one measuring head and a stable reference plane on which the material rests is used and compensation of the deflection of the suspension only on the Measuring head is applied.

Claims (7)

1. Verfahren zur genauen Messung der Dicke von bahnförmigen Materia­ lien mit optischen Abstandssensoren dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand von Materialoberfläche zu Meßkopf von jeweils einem oberhalb und unterhalb der Materialbahn angebrachten Abstandssen­ sor gemessen wird, daß jeweils ein außerhalb der Bahnführung raum­ fest und temperaturstabil angebrachter Lichtstrahlprojektor eine virtu­ elle Referenzlinie in Form einer Lichtlinie auf den jeweilig ihm zugeord­ neten Meßkopf richtet, daß zusätzlich zur Abbildung des Lichtflecks oder der Lichtlinie, welche der Meßkopf zur Triangulations-Abstands­ messung auf die Materialbahn projiziert, gleichzeitig der den Meßkopf treffende Lichtpunkt auf eine separate Zone des bei der Abstands­ messung verwendeten Positions-empfindlichen Detektors wie CCD-Matrix- oder CCD-Zeilensensor abgebildet wird, daß aus der Lage des Lichtflecks welche die Referenzlinie auf dem Positions-emp­ findlichen Sensor erzeugt die Raumlage des Meßkopfes bezüglich die­ ser Referenzlinie bestimmt wird und als Korrekturwert für die me­ chanisch oder thermisch bedingten Durchbiegungen und Lageverän­ derungen der Meßkopfaufhängung verwendet wird.1. A method for the precise measurement of the thickness of web-shaped materia lines with optical distance sensors, characterized in that the distance from the material surface to the measuring head is measured by a distance sensor attached above and below the material web, that in each case an outside of the web guide space fixed and temperature-stable attached Light beam projector directs a virtual reference line in the form of a light line at the respective measuring head assigned to it, that in addition to imaging the light spot or the light line which the measuring head projects for triangulation distance measurement onto the material web, at the same time the light spot hitting the measuring head onto a separate one Zone of the position-sensitive detector used in the distance measurement, such as a CCD matrix or CCD line sensor, is mapped so that the spatial position of the measuring head is generated from the position of the light spot which the reference line generates on the position-sensitive sensor Regarding this reference line is determined and is used as a correction value for the mechanical or thermal deflections and changes in position of the measuring head suspension. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzlinie zur Bestimmung der Raumlage des Meßkopfes auf einen separaten Positions-empfindlichen Detektor abgebildet wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the reference line for determining the spatial position of the measuring head a separate position-sensitive detector is imaged. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstandssensor einen Halbleiter-Matrix oder Zeilensensor oder eine Positions-empfindliche Diode verwendet, daß die Projektionsquelle im Meßkopf und die raumfeste Referenzquelle außerhalb des Meßkopfes im zeitlichen Wechsel eingeschaltet werden, so daß aus dem Bild beider Quellen auf dem Positions-empfindlichen Detektor eindeutig alternierend der Abstand oder die Meßkopf-Raumlage bestimmt wird. 3. The method according to claim 1, characterized in that the distance sensor is a semiconductor matrix or line sensor or a Position sensitive diode used that the projection source in the Measuring head and the fixed reference source outside the measuring head be switched on alternately, so that from the picture both sources clearly on the position sensitive detector alternately the distance or the position of the measuring head is determined.   4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der außerhalb der Bahnführung raumfest angebrachte Referenzlinien­ projektor eine kurze waagrechte Linie in den Meßkopf projiziert, daß aus der Lage der Linie auf dem Positions-empfindlichen Detektor die vertikale Raumlage bezüglich der projizierten Linie und aus der Verdre­ hung der Linie die Torsion der Meßkopfaufhängung bestimmt und als Korrekturwerte zur Bestimmung der Materialdicke aus dem oder den gemessenen Abständen verwendet werden.4. The method according to claim 1 to 3, characterized in that the reference lines fixed outside the web guide projector projects a short horizontal line into the measuring head from the position of the line on the position sensitive detector vertical spatial position with respect to the projected line and from the Verdre hung the line determines the torsion of the measuring head suspension and as Correction values for determining the material thickness from the or measured distances can be used. 5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialbahn auf einer stabilen Referenzebene geführt ist und nur einseitig der Abstand zu einem oder mehreren Meßköpfen bestimmt wird.5. The method according to claim 1 to 4, characterized in that the material web on a stable Reference plane is guided and the distance to one only on one side or several measuring heads is determined. 6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßköpfe traversierend angebracht sind.6. The method according to claim 1 to 5, characterized in that the measuring heads are mounted traversing. 7. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß einseitig oder beidseitig einer Materialbahn einer oder mehrere optische Abstandsensoren fest oder traversierend angeordnet sind, daß außer­ halb der Bahnführung seitlich auf einer raum- und temperaturfesten Halterung für jeden Meßkopf ein Lichtpunktprojektor angebracht und auf den Meßkopf gerichtet wird, daß über eine getrennte Optik der Lichtpunkt auf den zur Abstandmessung verwendeten Positions-emp­ findlichen Detektor gleichzeitig mit dem Abbild des vom Meßkopf auf die Materialoberfläche gerichteten Lichtmusters eingespiegelt wird, daß durch eine getrennte Auswertung einerseits der Position des Lichtmu­ sters von der Materialoberfläche und andererseits der Position des Lichtpunktes des seitlich angebrachten Projektors mit der gleichen oder jeweils einer eigenen Auswertelektronik der Abstand zur Materialober­ fläche und die Raumlage des Meßkopfes bezüglich der Lichtlinie des Lichtpunktprojektor gemessen wird und in einem die Materialdicke bestimmenden Rechner als Korrekturwert für eine nicht stabile Aufhängung des Meßkopfes verwendet wird.7. Arrangement for performing the method according to claim 1 to 6, characterized in that one or more optical webs on one or both sides of a material web Distance sensors are fixed or traversing that except half of the web guide on the side on a room and temperature resistant Mounted for each measuring head a light spot projector and is directed to the measuring head that the Light point on the position emp used for distance measurement sensitive detector simultaneously with the image of the measuring head the material surface directed light pattern is reflected that through a separate evaluation of the position of the light mu sters from the material surface and on the other hand the position of the Light point of the laterally attached projector with the same or each with its own evaluation electronics, the distance to the upper material area and the spatial position of the measuring head with respect to the light line of the Light spot projector is measured and in one the material thickness determining calculator as a correction value for an unstable Suspension of the measuring head is used.
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