DE4210599A1 - Microscopic hardness test equipment with adjustable counterweight - has max. test force compensated by electromagnet coil with damping and heat dissipation aided by low-viscosity silicone oil filling - Google Patents

Microscopic hardness test equipment with adjustable counterweight - has max. test force compensated by electromagnet coil with damping and heat dissipation aided by low-viscosity silicone oil filling

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Abstract

The workpiece is held and positioned w.r.t. a massive rigid frame (8) by an X-Y table (7) with a large central aperture through which the point of contact of a diamond tool (3) is illuminated brightly by optical fibres (2) and scanned by a CCD camera (1). The normal force (Fz) and one or two tangential forces (Fx,y) are measured by a transducer (4) at the end of the cantilever which is pivoted about an air bearing and balanced by the counterweight for application of the test force by a high-power electromagnet (5), operational amplifier and ramp generator. USE/ADVANTAGE - On transparent workpieces of large surface area, a precise test can be applied even with very light loading to extensive and/or curved surfaces.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur mikroskopischen Härteprüfung von Werkstücken gem. dem Oberbegriff des Anspruchs 1, wie sie aus "Journal of the American Soc. 73, Seiten 787 ff (1990) von Cook und Pharr, Direct Observation and Analysis . . .," und dort insbesondere Seite 790, bekannt ist.The invention relates to a device for microscopic hardness testing of workpieces acc. the preamble of claim 1, as described in "Journal of the American Soc. 73, pages 787 ff (1990) by Cook and Pharr, Direct Observation and Analysis. . ., "and there in particular Page 790.

Diese Vorrichtung entspricht einer Härteprüfvorrichtung, mit der in transparenten Werkstüc­ ken das Eindringen eines Prüfkörpers mikroskopisch beobachtet werden kann und so Aus­ sagen über Fließvorgänge und Rißentstehendung gemacht werden können. Diese Vorrich­ tung gestattet an kleinen planen Modellscheiben die direkte mikroskopische Beobachtung von Ritzvorgängen und Härteeindrücken unter Last, wobei die Vorgänge durch das transpa­ rente Werkstück (anorganische oder organische Gläser, Kristalle usw.) entgegen der La­ steinwirkung betrachtet werden. Hierdurch ist eine unmittelbare Korrelation der erhaltenen Meßwerte mit den in der vom Prüfkörper beanspruchten Oberflächenzone ablaufenden Ver­ schleißvorgängen (z. B. plastisches Fließen und Rißbildung) möglich.This device corresponds to a hardness test device with which in transparent workpieces the penetration of a test specimen can be observed microscopically and so off say about flow processes and crack formation can be made. This device device allows direct microscopic observation on small, flat model disks of scratching and hardness impressions under load, the processes by the transpa annuity workpiece (inorganic or organic glasses, crystals etc.) against the La stone effect can be considered. This is a direct correlation of those obtained Measured values with the ver. Running in the surface zone claimed by the test specimen wear processes (e.g. plastic flow and cracking) possible.

Diese Vorrichtung ist jedoch insbesondere nicht für die Prüfung von großflächigen und/oder gekrümmten Werkstücken geeignet, weil die Steuerung der Belastung des Prüfkörpers der Krümmung des Werkstückes angepaßt werden muß und Auslenkungen des Prüfkörpers in Folge der Krümmung zu erheblichen Meßfehlern führen können.However, this device is particularly not for the testing of large areas and / or curved workpieces suitable because the control of the load on the test specimen Curvature of the workpiece must be adjusted and deflections of the test specimen in As a result of the curvature, this can lead to considerable measurement errors.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, die Vorrichtung derart weiterzubilden, daß die Prüfung von großflächigen transparenten Werkstücken präzise ermöglicht wird. The object of the invention is therefore to develop the device such that the test of large-area transparent workpieces.  

Diese Aufgabe wird durch die Vorrichtung nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestal­ tungen der Vorrichtung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.This object is achieved by the device according to claim 1. Advantageous design lines of the device are characterized in the subclaims.

Durch die erfindungsgemäßen Merkmale wird erreicht, daß großflächige Werkstücke bela­ stet und gemessen werden können, und durch das weiche Belastungssystem können prä­ zise auch kleinste Belastungen auf große und/oder gekrümmte Flächen aufgebracht wer­ den.The features of the invention ensure that large workpieces are loaded stead and can be measured, and by the soft load system pre Even the smallest loads are applied to large and / or curved surfaces the.

Mit der Erfindung können eine Vielzahl unterschiedlicher Verfahren zur Charakterisierung der mechanischen Oberflächeneigenschaften von transparenten Werkstücken mit demselben Meßaufbau realisiert werden, und zwarWith the invention, a variety of different methods for characterizing the mechanical surface properties of transparent workpieces with the same Measurement setup can be realized, namely

  • - konventionelle Mikrohärtemessung nach der Entlastung,- conventional micro hardness measurement after unloading,
  • - registrierende Mikrohärtemessung während der Belastung,- registering micro hardness measurement during exercise,
  • - Eigenspannungsmessungen mit Hilfe von Entlastungsrissen,- residual stress measurements with the help of relief cracks,
  • - Ritztest,- scratch test,
  • - Schichtablösetest beim Ritzen,- delamination test when scratching,
  • - Verschleißtest,- wear test,
  • - Charakterisierung der Wirkung von Schneidrädchen,- characterization of the effect of cutting wheels,
  • - Rauhigkeitsmessungen,- roughness measurements,
  • - Messung von Reibungskoeffizienten.- Measurement of friction coefficients.

Während der Durchführung der verschiedenen Prüfungen können die Vorgänge in der Kon­ taktzone Prüfkörper-Werkstückoberfläche mikroskopisch beobachtet werden.The operations in the con tact zone specimen workpiece surface can be observed microscopically.

Wesentlich bei der vorgestellten Erfindung ist, daß diese Prüfungen an großflächigen Werk­ stücken vorgenommen werden können, die nicht mehr eben zu sein brauchen.It is essential in the presented invention that these tests on large-scale work can be made pieces that no longer need to be level.

Die Maßnahme nach Anspruch 2 bewirkt eine außerordentlich weiche Lagerung des Waage­ arms, so daß präzise auch kleine Lasten aufgebracht werden können. The measure according to claim 2 causes an extremely soft storage of the scale arms, so that even small loads can be applied precisely.  

Gem. Anspruch 3 kann die Belastung regelbar sein, wobei durch Verschieben eines Ge­ wichtes verschiedene Laststufen einstellbar sind und die Belastung von kleineren Lasten sehr präzise von einem elektromagnetischen Belastungssystem durchführbar sind.According to claim 3, the load can be regulated, whereby by moving a Ge important different load levels are adjustable and the load of smaller loads can be carried out very precisely by an electromagnetic load system.

Besonders vorteilhaft ist es, das elektromagnetische Belastungssystem als Tauchspulensy­ stem auszuführen, da hierbei eine feinabgestimmte Regelung erfolgen kann.It is particularly advantageous to use the electromagnetic loading system as a moving coil system stem, since this can be a fine-tuned control.

Das Verschieben des Gewichtes für größere Lasteinwirkungen kann auch mittels eines Elek­ tromotors geschehen.Moving the weight for larger loads can also be done using an elec tromotors happen.

Die Maßnahmen nach Anspruch 8 und 9 bewirken, daß die Ausleuchtung des Bildes des Eindruckes des Prüfkörpers in das Werkstück, beispielsweise für eine CCD-Kamera, beson­ ders gut wird.The measures according to claim 8 and 9 cause the illumination of the image of the Impression of the test specimen in the workpiece, for example for a CCD camera it will be good.

Beschreibung der ErfindungDescription of the invention

Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient der mikroskopischen Charakterisierung der me­ chanischen Oberflächeneigenschaften von großflächigen, unbeschichteten oder beschich­ teten gekrümmten oder ebenen, transparenten Werkstücken wie Kfz-Verglasungen, Bauver­ glasungen, Apparateglas, leicht gekrümmten Schalen aus anorganischen und organischen Glaswerkstoffen, sowie von transparenten Schichten, z. B. Lacken oder anderen Oberflä­ chenschichten. Wenn auf die direkte mikroskopische Beobachtung des Kontaktbereiches der zu prüfenden Oberfläche mit dem Prüfkörper verzichtet wird, so lassen sich mit gewissen Einschränkungen auch nichttransparente Werkstücke untersuchen. Für die Untersuchung der Härteeigenschaften von sehr dünnen Schichten auf dicken Substraten wird jedoch ein extrem empfindliches Kraftmeßsystem benötigt.The device according to the invention is used for the microscopic characterization of the me mechanical surface properties of large, uncoated or coated curved or flat, transparent workpieces such as automotive glazing, building ver glazing, apparatus glass, slightly curved shells made of inorganic and organic Glass materials, as well as transparent layers, e.g. B. paints or other surfaces layers. If on the direct microscopic observation of the contact area of the surface to be tested with the test specimen can be dispensed with with certain Also examine restrictions on non-transparent workpieces. For the investigation The hardness properties of very thin layers on thick substrates, however, extremely sensitive force measuring system needed.

Diese Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß nicht mehr kleine ebene Proben aus großen Werkstücken entnommen werden müssen, vielmehr kann an großen Originalwerkstücken die Prüfung vorgenommen werden, was z. B. bei thermisch vorgespannten Glaswerkstücken besondere Bedeutung erlangt, da diese nach der thermischen Behandlung nicht mehr zer­ teilt werden können. Die Vorrichtung besteht aus folgenden funktionellen Einheiten:This invention is characterized in that flat small samples are no longer made from large ones Workpieces must be removed, rather can be on large original workpieces the test can be made, what z. B. in thermally toughened glass workpieces is of particular importance since it no longer breaks down after the thermal treatment can be shared. The device consists of the following functional units:

  • - einem gestürzten Mikroskop mit CCD-Kamera, Monitor und Videorecorder (Pos. 1) Die Beobachtung der zu prüfenden Oberfläche erfolgt durch ein Mikroobjektiv mit sehr hohem Arbeitsabstand (z. B. U-Tischobjektiv, 10× bis 32×-Vergrößerung, Arbeitsabstand 10-20 mm) von unten her durch das zu prüfende transparente Werkstück. Die maximale Werkstückdicke S (z. B. Scheibendicke) wird dabei durch den Arbeitsabstand des Objektives L und durch den Brechwert n der Scheibe be­ stimmt (sLxn),- a fallen microscope with CCD camera, monitor and video recorder (item 1) The surface to be tested is observed with a micro objective very high working distance (e.g. U-table lens, 10 × to 32 × magnification, Working distance 10-20 mm) from below through the transparent to be tested Workpiece. The maximum workpiece thickness S (e.g. slice thickness) is determined by the working distance of the lens L and by the refractive index n of the lens true (sLxn),
  • - einer Beleuchtungsvorrichtung (Pos. 2) zur lichtstarken Beleuchtung des zu prüfen­ den Oberflächenbereiches, bestehend aus einer speziellen Faseroptik. Dabei ist we­ sentlich, daß die aus den Lichtleitfasern austretenden Lichtstrahlen an den Oberflä­ chen des Prüfkörpers (z. B. Vickers-Pyramide) so reflektiert werden, daß diese das Objektiv möglichst parallel zur optischen Achse treffen,- a lighting device (item 2) for illuminating the light to be checked the surface area, consisting of a special fiber optic. Here is we noticeably that the light rays emerging from the optical fibers on the surface Chen of the test specimen (z. B. Vickers pyramid) are reflected so that this Meet the lens as parallel as possible to the optical axis,
  • - einer Einrichtung zur punktförmigen definierten Lasteinwirkung auf die zu prüfende Oberfläche innerhalb des Fokusraumes des Beobachtungsmikroskopes (Pos. 3) Die Lasteinwirkung auf die Oberfläche kann durch Prüfkörper (z. B. Vickers-Pyramide, Berkovich-Pyramide, Kegelspitze, Kugel, Schneide, Schneidrad) aus Stahl, Hartme­ tall, Saphir, CBN oder Diamant erfolgen, oder durch Reibungskörper. Die Aufbrin­ gung der Prüflast erfolgt stufenlos (oder in Stufen) und frei von Stößen, indem ein Waagebalken, an dem sich die Einrichtung zur Lasteinwirkung mit dem Prüfkörper befindet, nach Maßgabe des gewünschten Belastungsverlaufes elektromagnetisch auf die zu prüfende Oberfläche abgesenkt wird.
    Insbesondere für sehr große zu prüfende Werkstücke ist dabei wichtig, daß der Fo­ kusraum des Beobachtungsmikroskopes mit hoher Genauigkeit reproduzierbar von der Prüfkörperspitze getroffen werden kann. Diese Bedingung wird in hervorragender Weise durch einen Waagebalken realisiert, der an einer großen Luftlagerspindel (Tragkugeldurchmesser z. B. 100 mm) montiert ist. Das sehr geringe Lagerspiel (0,2 µm) der Luftlagerspindel und die sehr geringe, ruckfreie Lagerreibung ermöglichen so, daß sehr lange Waagebalkenausleger (z. B. 1 m lang) bis hinunter zu Momenten von 103 Nxm austariert werden können. Auf diese Weise sind auch bei sehr großen zu prüfenden Werkstücken Belastungen von weniger als 10 mN möglich. Verwendet wurde eine Luftlagerspindel gern. Prospekt "Luftlagerung" INTOP-Koll­ morgen GmbH 1/80,     - A device for punctiform defined load action on the surface to be tested within the focus area of the observation microscope (item 3). The load effect on the surface can be determined by test specimens (e.g. Vickers pyramid, Berkovich pyramid, cone tip, ball, cutting edge, cutting wheel ) made of steel, hard metal, sapphire, CBN or diamond, or by friction body. The test load is applied continuously (or in steps) and free of shocks by electromagnetically lowering a balance beam, on which the device for load application with the test specimen is located, to the surface to be tested in accordance with the desired load profile.
    Particularly for very large workpieces to be tested, it is important that the focus space of the observation microscope can be hit reproducibly by the tip of the test specimen with high accuracy. This condition is excellently realized by a balance beam, which is mounted on a large air bearing spindle (ball diameter e.g. 100 mm). The very low bearing clearance (0.2 µm) of the air bearing spindle and the very low, jerk-free bearing friction enable very long balance beam extensions (e.g. 1 m long) down to moments of 10 3 Nxm. In this way, loads of less than 10 mN are possible even with very large workpieces to be tested. An air bearing spindle was often used. Brochure "Air Storage" INTOP-Koll morgen GmbH 1/80,
  • - einer Vorrichtung zur Messung der Normalkraft (Pos. 4) (Fz) und einer oder zwei Tangentialkräfte (Fx, Fy). Der Kraftaufnehmer ist am Ende desjenigen Waagebalkens befestigt, der auch den Prüfkörper trägt. Für Eindruckhärtemessungen wird dabei le­ diglich die Normalkraft (Fz) ausgewertet; bei Kratzfestigkeitsuntersuchungen und Reibungsmessungen werden hingegen zusätzlich die Tangentialkräfte (Fx, Fy) benö­ tigt,- A device for measuring the normal force (item 4) (Fz) and one or two Tangential forces (Fx, Fy). The force transducer is at the end of that balance beam attached, which also carries the test specimen. For indentation hardness measurements, le diglich evaluated the normal force (Fz); in scratch resistance tests and Friction measurements, on the other hand, require the tangential forces (Fx, Fy) tigt,
  • - einer Vorrichtung zur Erzeugung und Regelung der Prüfkraft (Pos. 5) (Normalkraft Fz), bestehend aus einem weich aufgehängten Tauchspulsystem hoher Leistung, einem Leistungsoperationsverstärker mit Kraftregelung und einem Funkti­ onsgenerator (z. B. Rampengenerator). Das Tauchspulsystem ist zur Erhöhung der Dämpfung und zur Verbesserung der Wärmeableitung der in der Tauchspule umge­ setzten Verlustleitung mit niedrigviskosen Silikonöl gefüllt.
    Das Tauchspulsystem dient der Kompensation der durch ein beliebiges festes Ge­ wicht vorgegebenen maximalen Prüfkraft Fzmax. Das aufgelegte Gewicht Fzmax kann durch das elektrodynamische Tauchspulsystem stufenlos im Bereich OFz Fzmax auf der zu prüfenden Werkstückoberfläche zur Wirkung gebracht werden. Das Magnetsystem des Tauchspulsystems ist fest mit dem Rahmen der Prüfvorrichtung verbunden; für Justierzwecke ist eine Verschiebung in z-, x- und y-Richtung vorhan­ den. Die Tauchspule ist über ein dünnes Federstahlband mit dem zweiten Arm des Waagebalkens verbunden.    - A device for generating and controlling the test force (item 5) (normal force Fz), consisting of a softly suspended moving coil system of high power, a power operational amplifier with force control and a function generator (z. B. ramp generator). The moving coil system is filled with low-viscosity silicone oil to increase the damping and to improve the heat dissipation of the loss line implemented in the moving coil.
    The moving coil system is used to compensate for the maximum test force Fz max . The applied weight Fz max can be applied continuously by the electrodynamic moving coil system in the area OFz Fz max on the workpiece surface to be tested. The magnet system of the moving coil system is firmly connected to the frame of the test device; for adjustment purposes there is a displacement in the z, x and y direction. The moving coil is connected to the second arm of the balance beam via a thin spring steel band.
  • - einem sehr empfindlichen Wegaufnehmer (Pos. 6), der sehr nahe der Prüfkörper­ spitze so angebracht ist, daß die Spitze des Prüfkörpers und die Spitze des Wegauf­ nehmers in einer Ebene parallel zur prüfenden Werkstückoberfläche angeordnet sind. Mit diesem Wegaufnehmer kann mit sehr hoher Auflösung (Nanometer) die Eindringtiefe des Prüfdiamanten in die Oberfläche registriert werden (registrierende Mikrohärtemessung) oder die Oberflächenrauhigkeit abgetastet werden,- A very sensitive displacement sensor (item 6), which is very close to the test specimen is attached so that the tip of the test specimen and the tip of the path arranged in a plane parallel to the workpiece surface to be tested are. With this displacement sensor, the Penetration depth of the test diamond into the surface can be registered (registering Micro hardness measurement) or the surface roughness can be scanned,
  • - einer Vorrichtung zur Halterung und Justierung des zu prüfenden Werkstückes (Pos. 7), bestehend aus einem hochbelastbaren 2-Koordinaten-Meßtisch mit großer Innen­ bohrung und einer Tragplatte mit justierbarer 3-Punkt-Auflage für die spiel- und kipp­ freie Auflage des Werkstückes. Das Werkstück wird auf dem Meßtisch per Hand oder motorisch gegenüber dem fest auf den Prüfrahmen montierten Mikroskop bewegt.
    Dabei wird der unmittelbare Bewegungsspielraum des Werkstückes durch den Durchmesser der Meßtischinnenbohrung (abzüglich Mikroskopobjektivdurchmesser) - begrenzt. Für eine ruck- und schwingungsfreie horizontale Verschiebung des Werk­ stücks sollte einer der Meßtische ein Linearluftlager enthalten. Zum Antrieb des Meß­ tisches sollte ein möglichst schwingungs- und störarmer Gleichstromgetriebemotor verwendet werden, nicht jedoch ein Schrittmotor,    - A device for holding and adjusting the workpiece to be tested (item 7), consisting of a heavy-duty 2-coordinate measuring table with a large inner bore and a support plate with adjustable 3-point support for the play and tilt-free support of the workpiece . The workpiece is moved on the measuring table by hand or by motor in relation to the microscope which is firmly mounted on the test frame.
    The immediate freedom of movement of the workpiece is limited by the diameter of the measuring table inner bore (minus the microscope objective diameter). One of the measuring tables should contain a linear air bearing for a jerk-free and vibration-free horizontal displacement of the workpiece. To drive the measuring table, a DC gear motor with as little vibration and interference as possible should be used, but not a stepper motor,
  • - einem hinreichend schweren und starren Prüfrahmen (Pos. 8), auf dem das Mikro­ skop, der Meßtisch, das Luftlager des Waagebalkens und das kraftkompensierende Tauchspulsystem montiert sind. Das Luftlager ist abgesetzt an einer Säule befestigt und dabei in vertikaler Richtung für Justierzwecke verschiebbar und fest arretierbar.- A sufficiently heavy and rigid test frame (item 8 ) on which the microscope, the measuring table, the air bearing of the balance beam and the force compensating moving coil system are mounted. The air bearing is attached to a pillar and can be moved and locked in the vertical direction for adjustment purposes.

Für die Prüfung des Werkstückes wird ein beliebiger Prüfkörper mittels des Tauchspulsy­ stems durch Reduzierung des Spulenstromes sehr nahe an die zu prüfende Oberfläche herangefahren, jedoch ohne diese zunächst zu berühren. Der Kontakt der Prüfkörperspitze mit der Werkstückoberfläche kann bei einer weiteren geringfügigen Reduzierung des Stro­ mes durch die Tauchspule sehr bequem mittels des Mikroskopes beobachtet werden, zu­ sätzlich anhand des Kraftsignalverlaufes Fz(t). Der weitere Lastverlauf hängt von der ge­ wählten Art der Prüfung ab, dabei sind folgende Prüfungsarten möglich:Any test specimen is used to test the workpiece using the immersion pulse stems by reducing the coil current very close to the surface to be tested moved up, but without touching it first. The contact of the test specimen tip with the workpiece surface, with a further slight reduction in the Stro mes can be observed very comfortably by means of the microscope additionally based on the force signal curve Fz (t). The further load curve depends on the ge selected type of examination, the following types of examination are possible:

  • - ohne Verschiebung des Werkstückes (konventionelle Härteprüfung nach Entlastung oder registrierende Härteprüfung unter Last),- without moving the workpiece (conventional hardness test after unloading or registration hardness test under load),
  • - mit Verschiebung des Werkstückes (Messung der Kratzfestigkeit, Verschleißtest, Rei­ bungstest). Mittels des Tiefentasters kann simultan zu den Tangentialkräften (Reibungsmessungen) die Rauhigkeit gemessen werden.
    Die Interpretation und Bewertung dieser Messungen wird ganz wesentlich ergänzt und erleichtert durch die Möglichkeit der direkten mikroskopischen Beobachtung der Kontaktzone Prüfkörperspitze/Werkstückoberfläche. Das ist insbesondere bei Fra­ gen der Rißinitiierung bei spröden Werkstoffen wie Glas von Bedeutung. Zudem kön­ nen Fließ- und Relaxationsvorgänge unter dem Prüfkörper unmittelbar beobachtet und mittels des Tiefentasters registriert werden.    - with displacement of the workpiece (measurement of scratch resistance, wear test, friction test). Using the depth probe, the roughness can be measured simultaneously with the tangential forces (friction measurements).
    The interpretation and evaluation of these measurements is significantly supplemented and facilitated by the possibility of direct microscopic observation of the contact zone between the test specimen tip and the workpiece surface. This is particularly important when it comes to crack initiation for brittle materials such as glass. In addition, flow and relaxation processes under the test specimen can be observed directly and registered using the depth probe.

Claims (9)

1. Vorrichtung zur mikroskopischen Härteprüfung von Werkstücken mit einer Einrich­ tung zur Lasteinwirkung einer Prüflast auf einen Prüfkörper und einem unter dem Prüfkörper befindlichen Mikroskop, sowie Weg- und Kraftaufnehmern sowie einer Auswerteeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Lasteinwirkung an einem Waagearm eines Waagebalkens gehalten ist, und an dem anderen Arm die Prüflast durch regelbare Gegengewichte austarierbar und kontinuierlich regelbar ist.1. A device for microscopic hardness testing of workpieces with a device for the load effect of a test load on a test specimen and a microscope located under the test specimen, as well as displacement and force transducers and an evaluation device, characterized in that the device for load action is held on a balance arm of a balance beam and the test load on the other arm can be balanced by means of adjustable counterweights and is continuously adjustable. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Waagebalken luftgelagert ist, z. B. mittels einer Luftlagerspindel.2. Device according to claim 1, characterized, that the balance beam is air-supported, e.g. B. by means of an air bearing spindle. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegengewichte aus einem auf dem Waagearm verschiebbaren Kompensati­ onsgewicht und/oder aus einem elektromagnetischen Belastungssystem bestehen. 3. Device according to claim 1, characterized, that the counterweights from a compensati displaceable on the balance arm onsweight and / or consist of an electromagnetic load system.   4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das elektromagnetische Belastungssystem ein Tauchspulensystem ist, wobei die Tauchspule an dem Waagearm hängt und das restliche Tauchspulensystem dar­ unter derart angeordnet ist, daß die Tauchspule in das Tauchspulensystem eintau­ chen kann.4. The device according to claim 3, characterized, that the electromagnetic loading system is a moving coil system, wherein the moving coil hangs on the balance arm and represents the remaining moving coil system is arranged under such that the moving coil dives into the moving coil system can. 5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Tauchspulensystem zur Dämpfung und Wärmeabfuhr mit Öl gefüllt ist.5. The device according to claim 4, characterized, that the moving coil system is filled with oil for damping and heat dissipation. 6. Vorrichtung nach den Ansprüchen 4-5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Regelung des Tauchspulensystems ein Leistungsoperationsverstärker vor­ gesehen ist.6. Device according to claims 4-5, characterized, that to control the moving coil system, a power operational amplifier is seen. 7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 3-6, dadurch gekennzeichnet, daß das elektromagnetische Belastungssystem justierbar in allen drei Achsen aus­ gebildet ist. 7. Device according to claims 3-6, characterized, that the electromagnetic load system is adjustable in all three axes is formed.   8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Beobachtung eine CCD-Kamera hinter dem Mikroskop vorgesehen ist.8. Device according to one of claims 1-7, characterized, that a CCD camera is provided behind the microscope for observation. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Beleuchtung des Eindruckes auf dem Werkstück und des Prüfkörpers Licht­ leitfasern vorgesehen und derart angeordnet sind, daß von dem Prüfkörper reflek­ tierte Strahlen etwa parallel zur optischen Achse auf das Objektiv treffen.9. Device according to one of claims 1-8, characterized, that light to illuminate the impression on the workpiece and the test specimen conductive fibers are provided and arranged such that from the test specimen struck the lens approximately parallel to the optical axis.
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