DE4202623A1 - Sensing path arrangement for test circuits, e.g. for testing RAM(s) - has two groups of registers in series with controller managing priority of shift operation of first gp. - Google Patents

Sensing path arrangement for test circuits, e.g. for testing RAM(s) - has two groups of registers in series with controller managing priority of shift operation of first gp.

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DE4202623A1 DE19924202623 DE4202623A DE4202623A1 DE 4202623 A1 DE4202623 A1 DE 4202623A1 DE 19924202623 DE19924202623 DE 19924202623 DE 4202623 A DE4202623 A DE 4202623A DE 4202623 A1 DE4202623 A1 DE 4202623A1
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Abstract

A sensing path arrangement contains a first sensing register group (10) with a number of first sensing registers connected in series, a second group (20, 30) connected in series with the output of the first group and with registers in series and a controller (60). The controller regulates the first and second groups of registers so that the second group's shift operation is interrupted and the first group's shift operation is carried out. It applies a shift clock signal to the first group and applies a clock signal to the second group depending on a defined control signal. ADVANTAGE - wiring of arrangement is simplified and testing efficiency increased.

Description

Die Erfindung betrifft eine Abtastpfadeinrichtung und eine integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung mit dieser. Die Erfindung betrifft insbesondere eine Verbesserung eines zusätzlichen Testschaltkreises zur Ausführung eines Tests.The invention relates to a scanning path device and a Integrated semiconductor circuit device with this. The In particular, the invention relates to an improvement of an additional one Test circuit for executing a test.

Ein Abtastpfad wird als zusätzlicher Testschaltkreis zum Ausführen der Prüfung einer integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung wie z. B. eines RAM (Direktzugriffsspeichers) benutzt. In der folgenden Beschreibung werden ein allgemeiner Abtastpfad, ein Abtastpfad mit Umgehungsfunktion und ein Abtastpfad, der totale Zufallsfolgen zur Adreßeinstellung verwendet, als erstes, zweites bzw. drittes Beispiel für den Stand der Technik beschrieben.A scan path is used as an additional test circuit for execution testing a semiconductor integrated circuit device such as e.g. B. a RAM (random access memory) used. In the following Description will be a general scan path, a scan path with  Bypass function and a scan path that leads to total random sequences Address setting used, first, second and third Example of the prior art described.

(1) Erstes Beispiel für den Stand der Technik(1) First example of the prior art (a) Aufbau eines allgemeinen Abtastpfades(a) Establish a general scan path

Fig. 43 zeigt ein Blockdiagramm der Struktur eines zusätzlichen Testschaltkreises (Abtastpfads) für einen RAM. Fig. 43 is a block diagram showing the structure of an additional test circuit (scanning path) for a RAM.

Eine Mehrzahl von Abtastregistern für Adressen (im weiteren als AD- Abtastregister bezeichnet) 10a, eine Mehrzahl von Abtastregistern für Eingabedaten (im weiteren als DI-Abtastregister bezeichnet) 20a, und eine Mehrzahl von Abtastregistern für Ausgabedaten (im weiteren als DO-Abtastregister bezeichnet) 30a sind um einen RAM 2 angeodnet. Der RAM 2 und die Abtastregister 10a, 20a, 30a sind zusammen mit anderen (nicht dargestellten) Logikschaltkreisen auf demselben Halbleiterchip gebildet.A plurality of scan registers for addresses (hereinafter referred to as AD scan registers) 10 a, a plurality of scan registers for input data (hereinafter referred to as DI scan registers) 20 a, and a plurality of scan registers for output data (hereinafter referred to as DO scan registers) 30 A are anodized around a RAM 2 . The RAM 2 and the scanning registers 10 a, 20 a, 30 a are formed together with other (not shown) logic circuits on the same semiconductor chip.

Die Abtastregister 10a, 20a und 30a verbinden beim normalen Betrieb die anderen Logikschaltkreise mit dem RAM 2 auf dem Halbleiterchip und trennen die anderen Logikschaltkreise bei der Prüfung des RAM 2 vom RAM 2 auf dem Halbleiterchip.The scanning registers 10 a, 20 a and 30 a connect the other logic circuits with the RAM 2 on the semiconductor chip during normal operation and separate the other logic circuits when testing the RAM 2 from the RAM 2 on the semiconductor chip.

Die Abtastregister 10a, 20a und 30a sind zwischen einem seriellen Eingangsanschluß SIC und einem seriellen Ausgabeanschluß SOC in Reihe geschaltet, um einen Abtastpfad (ein Art von Schieberegister) zu implementieren. Bei der Prüfung des RAM 2 bewirkt die Schiebefunktion des Abtastpfads, daß ein Adreßsignal und Daten, wie z. B. Testdaten, über Adreßeingabeanschlüsse A0 bis Am-1 und Dateneingangsanschlüsse DI1-DIn zugeführt werden. Das Testergebnis des RAM 2 wird über die Datenausgangsanschlüsse DO1-DOn des RAM 2 an das DO-Abtastregister 30a des Abtastpfads eingegeben.The scan registers 10 a, 20 a and 30 a are connected in series between a serial input port SIC and a serial output port SOC in order to implement a scan path (a type of shift register). When testing the RAM 2 , the shift function of the scan path causes an address signal and data such. B. test data, via address input connections A 0 to Am- 1 and data input connections DI 1 -DIn. The test result of the RAM 2 is entered via the data output connections DO 1 -DOn of the RAM 2 to the DO scan register 30 a of the scan path.

(b) AD-Abtastregister(b) AD scan register

Fig. 44 zeigt die Schaltkreisstruktur des AD-Abtastregisters 10a. Das AD-Abtastregister 10a weist N-Kanal MOS-Transistoren N51-N53 und Inverter G51-G54 auf. Die Inverter G51 und G52 und die Inverter G53 und G54 implementieren jeweils einen Latch-Schaltkreis vom Verhältnistyp. Das Treibungsvermögen der Inverter G52 und G54 ist geringer als das der Inverter G51 und G53. Fig. 44 shows the circuit structure of the AD scan register 10 a. The AD scanning register 10 a has N-channel MOS transistors N 51 -N 53 and inverters G 51 -G 54 . Inverters G 51 and G 52 and inverters G 53 and G 54 each implement a ratio type latch circuit. The driving capacity of the inverters G 52 and G 54 is lower than that of the inverters G 51 and G 53 .

Das AD-Abtastregister 10a weist einen seriellen Eingangsanschluß SI, einen seriellen Ausgangsanschluß SO, einen parallelen Eingangsanschluß PI1 und einen parallelen Ausgangsanschluß PO1 auf. Das AD-Abtastregister 10a weist ferner einen parallelen Taktsignalanschluß pck1 zum Empfangen eines parallelen Taktsignals PCK1, einen seriellen Taktsignalanschluß sck1a zum Empfangen eines ersten seriellen Schiebetaktsignals SCK1a für eine Adresse und einen seriellen Taktsignalanschluß sck2a zum Empfangen eines zweiten seriellen Schiebetaktsignals SCK2a für eine Adresse auf.The AD scanning register 10 a has a serial input terminal SI, a serial output terminal SO, a parallel input terminal PI 1 and a parallel output terminal PO 1 . The AD scanning register 10 a also has a parallel clock signal connection pck 1 for receiving a parallel clock signal PCK 1 , a serial clock signal connection sck 1 a for receiving a first serial shift clock signal SCK 1 a for an address and a serial clock signal connection sck 2 a for receiving a second serial shift clock signal SCK 2 a for an address.

Beim normalen Betrieb des RAM 2 wird das Potential des seriellen Taktsignalanschlusses sck1a auf einen L-Pegel (logisch niedrig) eingestellt, und das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 wird auf einen H-Pegel (logisch hoch) gesetzt. Das bewirkt, daß ein Adreßsignal vom parallelen Eingangsanschluß PI1 zum parallelen Ausgangsanschluß PO1 übertragen wird. Das Potential des seriellen Taktsignalanschlusses sck2a kann entweder auf den H- oder L-Pegel eingestellt sein.During normal operation of the RAM 2 , the potential of the serial clock signal connection sck 1 a is set to an L level (logic low), and the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an H level (logic high). This causes an address signal to be transmitted from the parallel input terminal PI 1 to the parallel output terminal PO 1 . The potential of the serial clock signal connection sck 2 a can be set to either the H or L level.

Beim Testbetrieb des RAM 2 wird das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 auf einen L-Pegel eingestellt. Das trennt den RAM 2 von den anderen Logikschaltkreisen ab. Der Schiebebetrieb wird von einem ersten Phasentaktsignal SCK1A und einem zweiten Phasentaktsignal SCK2A ausgeführt, die den Schiebetaktsignal- Eingangsanschlüssen sck1a bzw. sck2a zugeführt werden. Damit wird eine Testadresse im AD-Abtastregister 10a eingestellt.During test operation of the RAM 2 , the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an L level. This separates the RAM 2 from the other logic circuits. The shift operation is carried out by a first phase clock signal SCK 1 A and a second phase clock signal SCK 2 A, which are supplied to the shift clock signal input connections sck 1 a and sck 2 a. This sets a test address in the AD scan register 10 a.

(c) DI-Abtastregister(c) DI scan register

Fig. 45 zeigt eine Schaltkreisstruktur für das DI-Abtastregister 20a. Die Struktur des DI-Abtastregisters 20a ist der Struktur des AD-Abtastregisters 10a der Fig. 44 ähnlich, wobei dieselben Bezugszeichen dieselben oder einander entsprechende Komponenten bezeichnen. Das DI-Abtastregister 20a weist einen seriellen Taktsignalanschluß sck1 zum Empfangen eines ersten seriellen Schiebetaktsignals SCK1 und einen seriellen Taktsignalanschluß sck2 zum Empfangen eines zweiten seriellen Schiebetaktsignals SCK2 auf. Fig. 45 shows a circuit structure for the DI scan register 20 a. The structure of the DI scan register 20 a is similar to the structure of the AD scan register 10 a of FIG. 44, the same reference numerals designating the same or corresponding components. The DI sampling register 20 a has a serial clock signal connection sck 1 for receiving a first serial shift clock signal SCK 1 and a serial clock signal connection sck 2 for receiving a second serial shift clock signal SCK 2 .

Beim Normalbetrieb des RAM 2 wird das Potential des seriellen Taktsignalanschlusses sck1 auf einen L-Pegel eingestellt, und das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 wird auf einen H-Pegel gesetzt. Dadurch werden Daten vom parallelen Eingangsanschluß PI1 an den parallelen Ausgangsanschluß PO1 übertragen. Zu diesem Zeitpunkt kann das Potential des seriellen Taktsignalanschlusses sck2 entweder auf den H- oder L-Pegel eingestellt sein.During normal operation of the RAM 2 , the potential of the serial clock signal connection sck 1 is set to an L level, and the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an H level. This transfers data from the parallel input port PI 1 to the parallel output port PO 1 . At this time, the potential of the serial clock signal connection sck 2 can be set to either the H or L level.

Beim Testbetrieb des RAM 2 wird das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 auf einen L-Pegel eingestellt. Das trennt den RAM 2 von den anderen Logikschaltkreisen ab. Der Schiebebetrieb wird von einem ersten und zweiten Phasentaktsignal SCK1 und SCK2 ausgeführt, die den seriellen Taktsignalanschlüssen sck1 und sck2 zugeführt werden. Damit werden Testeingabedaten im DI-Abtastregister 20a eingestellt.During test operation of the RAM 2 , the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an L level. This separates the RAM 2 from the other logic circuits. The shift operation is carried out by a first and second phase clock signal SCK 1 and SCK 2 , which are supplied to the serial clock signal connections sck 1 and sck 2 . Test input data are thus set in the DI scanning register 20 a.

(d) DO-Abtastregister(d) DO scan register

Fig. 46 zeigt eine Schaltkreisstruktur für das DO-Abtastregister 30a. Beim DO-Abtastregister 30a bezeichnen identische Bezugszeichen Komponenten, die denen im AD-Abtastregister 10a und im DI- Abtastregister 20a entsprechen. Das DO-Abtastregister 30a weist N-Kanal MOS-Transistoren N61-N64, Inverter G61-G64, einen Exklusiv- NOR-Schaltkreis G65 und einen NOR-Schaltkreis G66 auf. Das DO- Abtastregister 30a weist einen Testtaktsignalanschluß tck* zum Empfangen eines invertierten Testtaktsignals TCK* auf (* bzeichnet im weiteren ein invertiertes Signal oder einen invertierten Anschluß). Fig. 46 shows a circuit structure for the DO scan register 30 a. In DO scan register 30 a, identical reference numerals denote components which correspond to those in AD scan register 10 a and DI scan register 20 a. The DO sampling register 30 a has N-channel MOS transistors N 61 -N 64 , inverter G 61 -G 64 , an exclusive NOR circuit G 65 and a NOR circuit G 66 . The DO sampling register 30 a has a test clock signal connection tck * for receiving an inverted test clock signal TCK * (hereinafter referred to as an inverted signal or an inverted connection).

Beim Normalbetrieb des RAM 2 wird das Potential des seriellen Taktsignalanschlusses sck1 auf einen L-Pegel eingestellt, und die Potentiale des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 und des seriellen Taktsignalanschlusses sck2 werden auf einen H-Pegel gesetzt. Das bewirkt, daß die Ausgangsdaten des RAM 2 vom parallelen Eingangsanschluß PI zum parallelen Ausgangsanschluß PO übertragen werden. Zu diesem Zeitpunkt kann das Potential des Testtaktsignalanschlusses tck* entweder auf den H- oder L-Pegel eingestellt sein.During normal operation of the RAM 2 , the potential of the serial clock signal connection sck 1 is set to an L level, and the potentials of the parallel clock signal connection pck 1 and the serial clock signal connection sck 2 are set to an H level. This causes the output data of the RAM 2 to be transferred from the parallel input terminal PI to the parallel output terminal PO. At this time, the potential of the test clock signal terminal tck * can be set to either the H or L level.

Beim Testbetrieb des RAM 2 wird das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 auf einen L-Pegel eingestellt, und das Potential des invertierten Testtaktsignalanschlusses tck* wird auf einen H-Pegel gesetzt. Das trennt den RAM 2 von den anderen Logikschaltkreisen ab. Der Schiebebetrieb wird vom ersten Phasentaktsignal SCK1 und dem zweiten Phasentaktsignal SCK2 ausgeführt, die den seriellen Taktsignalanschlüssen sck1 bzw. sck2 zugeführt werden.During test operation of RAM 2 , the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an L level, and the potential of the inverted test clock signal connection tck * is set to an H level. This separates the RAM 2 from the other logic circuits. The shift operation is carried out by the first phase clock signal SCK 1 and the second phase clock signal SCK 2 , which are supplied to the serial clock signal connections sck 1 and sck 2, respectively.

(e) Abtastpfadbetrieb(e) Scan path operation

Fig. 47 zeigt ein Signaldiagramm, das den Schiebebetrieb des Abtastpfads von Fig. 43 darstellt. Jedem der Abtastregister 10a, 20a und 30a wird ein erstes Phasentaktsignal über die seriellen Taktsignalanschlüsse sck1 und sck1a und ein zweites Phasentaktsignal über die seriellen Taktsignalanschlüsse sck2 und sck2a zugeführt. FIG. 47 is a signal diagram showing the shift operation of the scan path of FIG. 43. Each of the sampling registers 10 a, 20 a and 30 a is supplied with a first phase clock signal via the serial clock signal connections sck 1 and sck 1 a and a second phase clock signal via the serial clock signal connections sck 2 and sck 2 a.

Die Daten des seriellen Eingangsanschlusses des jeweiligen Abtastregisters werden durch das erste Phasentaktsignal an den Knoten A im Abtastregister eingegeben. Die Daten des Knotens A werden invertiert und durch das zweite Phasentaktsignal an den Knoten B übertragen. Die Daten des Knotens B werden invertiert und dem seriellen Ausgangsanschluß SO zugeführt. The data of the serial input connection of the respective Sampling registers are sent to the first phase clock signal Node A entered in the scan register. The data of node A are inverted and the second phase clock signal to the Transfer node B. The data of node B are inverted and supplied to the serial output terminal SO.  

Dadurch wird ein Schiebebetrieb für ein Bit vom seriellen Eingabeanschluß SI zum seriellen Ausgabeanschluß SO ausgeführt. Damit wird der Schiebebetrieb durch Taktsignale zweier Phasen ausgeführt, um Testdaten einzustellen und das Testergebnis auszulesen.This shifts operation for one bit from the serial Input port SI to serial output port SO executed. The shifting operation is thus effected by clock signals of two phases executed to set test data and the test result read out.

Fig. 48 zeigt ein Signaldiagramm, das den Betrieb des Abtastpfads von Fig. 43 beim Testen zeigt. Den Abtastregistern 20a und 30a werden über die seriellen Taktsignalanschlüsse sck1 und sck2 serielle Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 zugeführt. Dem AD- Abtastregister 10a werden über die seriellen Taktsignalanschlüsse sck1a und ack2a verschiedene serielle Schiebetaktsignale SCK1A und SCK2A zugeführt. Damit wird eine Aktualisierung der Testadresse ausgeführt. Fig. 48 shows a signal diagram showing the operation of the scan path of Fig. 43 during testing. The scanning registers 20 a and 30 a are supplied with serial shift clock signals SCK 1 and SCK 2 via the serial clock signal connections sck 1 and sck 2 . Various serial shift clock signals SCK 1 A and SCK 2 A are supplied to the AD scanning register 10 a via the serial clock signal connections sck 1 a and ack 2 a. This will update the test address.

Am parallelen Ausgangsanschluß PO des DO-Abtastregisters 30a wird ein Ausleseerwartungsdatenwert eingestellt. Die vom RAM 2 an den parallelen Eingangsanschluß PI ausgelesenen Daten werden vom Exklusiv-NOR-Schaltkreis G65 mit den Ausleseerwartungsdaten verglichen. Dem invertierten Testtaktsignalanschluß tck* wird jedesmal dann ein invertiertes Testtaktsignal TCK* zugeführt, wenn Daten ausgelesen werden. Wenn ein Fehlerwert (fehlerhafte Daten) ausgelesen wird, wird am Ausgangsknoten des NOR-Schaltkreises G66 ein Taktsignal PCK2 erzeugt, das durch Inversion des invertierten Testtaktsignals TCK* erzeugt wird. Damit werden die Daten des parallelen Eingangsanschlusses PI an den Knoten A (PO2) eingegeben.At the parallel output terminal PO of the DO-scan register 30 a a read data expectation value is set. The data read out from the RAM 2 to the parallel input terminal PI are compared by the exclusive NOR circuit G 65 with the readout expected data. An inverted test clock signal TCK * is supplied to the inverted test clock signal terminal tck * each time data is read out. If an error value (incorrect data) is read out, a clock signal PCK 2 is generated at the output node of the NOR circuit G 66 , which is generated by inversion of the inverted test clock signal TCK *. The data of the parallel input connection PI is thus entered at node A (PO 2 ).

Am Knoten PO2 ist durch einen Schiebebetrieb vorher ein Wert eingestellt worden, der mit dem des parallelen Ausgangsanschlusses PO identisch ist. Daher wird der Wert des Knotens PO2 invertiert, wenn ein Fehlerwert ausgelesen wird.A value that is identical to that of the parallel output connection PO has previously been set at the node PO 2 by a pushing operation. Therefore, the value of node PO 2 is inverted when an error value is read out.

Der oben beschriebene Betrieb wird für eine Mehrzahl von Adressen ausgeführt, worauf der in Fig. 47 dargestellte Schiebebetrieb folgt, um das Testergebnis vom seriellen Ausgangsanschluß SO zu lesen. Entsprechend der Tatsache, ob der im Latch-Schaltkreis gehaltene Wert invertiert ist oder nicht, kann ermittelt werden, ob dem parallelen Eingangsanschluß PI ein Wert zugeführt wird, der sich vom Ausleseerwartungswert unterscheidet.The above-described operation is performed for a plurality of addresses, followed by the shift operation shown in Fig. 47 to read the test result from the serial output terminal SO. Depending on whether the value held in the latch circuit is inverted or not, it can be determined whether a value different from the readout expected value is supplied to the parallel input terminal PI.

(f) Schwierigkeiten beim ersten Beispiel des Standes der Technik(f) Difficulties in the first example of the prior art

Beim in Fig. 43 gezeigten zusätzlichen Testschaltkreis (Abtastpfad) müssen die DI-Abtastregister und die DO-Abtastregister alle mit den jeweiligen Dateneingangsanschlüssen und den jeweiligen Datenausgangsanschlüssen des RAM verbunden sein. Das steigert die Komplexität des zusätzlichen Testschaltkreises.In the additional test circuit (scan path) shown in Fig. 43, the DI scan registers and the DO scan registers must all be connected to the respective data input terminals and the respective data output terminals of the RAM. This increases the complexity of the additional test circuit.

(2) Zweites Beispiel für den Stand der Technik(2) Second example of the prior art

Fig. 49 zeigt ein Blockdiagramm der Struktur einer integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung mit einem Abtastpfad mit Umgehungsfunktion. Fig. 49 is a block diagram showing the structure of a semiconductor integrated circuit device having a scan path with transfer function.

Eine Mehrzahl von Schaltkreisblöcken 2a ist auf einem Halbleiterchip 1a gebildet. Jeder Schaltkreisblock 2a weist z. B. einen RAM, ROM (Festwertspeicher) oder einen Multiplizierer auf. Ein Testschaltkreis 3a ist um jeden Schaltkreisblock 2a gebildet. Der Testschaltkreis 3a weist eine Mehrzahl von Abtastregistern 31, die in Reihe geschaltet sind, und eine Auswahleinrichtung 32 auf.A plurality of circuit blocks 2 a is formed on a semiconductor chip 1 a. Each circuit block 2 a has z. B. a RAM, ROM (read-only memory) or a multiplier. A test circuit 3 a is formed around each circuit block 2 a. The test circuit 3 a has a plurality of scanning registers 31 , which are connected in series, and a selection device 32 .

Die Auswahleinrichtung 32 ist von einem Modussteuersignal MD abhängig, um selektiv entweder das Eingangssignal an das Abtastregister 31 der ersten Stufe oder das Ausgangssignal vom Abtastregister 31 der letzten Stufe auszugeben. Wenn die Auswahleinrichtung 32 auf die "1"-Seite eingestellt ist, wählt die Auswahleinrichtung 32 das Eingangssignal an das Abtastregister 32 der ersten Stufe aus. Das wird als Umgehungszustand bezeichnet. Wenn die Auswahleinrichtung 32 auf die "0"-Seite eingestellt ist, wählt die Auswahleinrichtung 32 das Ausgangssignal des Abtastregisters 32 der letzten Stufe aus. Das wird als Nicht-Umgehungszustand bezeichnet. The selector 32 is dependent on a mode control signal MD to selectively output either the input signal to the first stage scan register 31 or the output signal from the last stage scan register 31 . When the selector 32 is set to the "1" side, the selector 32 selects the input signal to the first stage scan register 32 . This is known as a bypass condition. When the selector 32 is set to the "0" side, the selector 32 selects the output of the scan register 32 of the last stage. This is called a non-bypass condition.

Zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SIC und dem seriellen Ausgangsanschluß SOC ist eine Mehrzahl von Testschaltkreisen (zusätzlichen Testschaltkreisen) 3a entsprechend der Mehrzahl von Schaltkreisblöcken 2a in Reihe geschaltet, um auf dem Halbleiterchip 1a einen Abtastpfad zu implementieren.Between the serial input terminal SIC and the serial output port SOC a plurality of test circuits (additional test circuits) 3a is a switched according to the plurality of circuit blocks 2 in series, to implement on the semiconductor chip 1 a a scan.

Allgemein wird eine Auswahleinrichtung 32 entsprechend einem Schaltkreisblock 2a, der keiner Prüfung unterworfen ist, in den Umgehungszustand versetzt, und eine Auswahleinrichtung 32 entsprechend einem zu prüfenden Schaltkreisblock 2a wird in den Nicht-Umgehungszustand versetzt. Daher durchlaufen die Testdaten nur das Abtastregister 31 entsprechend dem zu prüfenden Schaltkreisblock 2a. Entsprechend wird die Anzahl der Schiebeoperationen reduziert, um die Testzeit im Vergleich zu dem Fall, bei dem die Testdaten alle Schieberegister 31 durchlaufen, zu verkürzen.Generally, a selector 32 corresponding to a circuit block 2 a, which is not subjected to a test, is placed in the bypass state, and a selector 32 corresponding to a circuit block 2 a to be tested is placed in the non-bypass state. Therefore, the test data only pass through the scan register 31 corresponding to the circuit block 2 a to be tested. The number of shift operations is correspondingly reduced in order to shorten the test time compared to the case in which the test data passes through all shift registers 31 .

Fig. 50 zeigt das Blockdiagramm eines Beispiels für die Struktur eines Testschaltkreises, bei der der RAM 2 den Schaltkreisblock darstellt. Fig. 50 shows the block diagram of an example of the structure of a test circuit in which the RAM 2 represents the circuit block.

Der Testschaltkreis 3a weist eine Adreßabtastregistergruppe (im weiteren als AD-Abtastregistergruppe bezeichnet) 10, eine Eingabedaten-Abtastregistergruppe (im weiteren als DI- Abtastregistergruppe bezeichnet) 20, eine Ausgabedaten- Abtastregistergruppe (im weiteren als DO-Abtastregistergruppe bezeichnet) 30 und eine Auswahleinrichtung 50 auf. Die AD- Abtastregistergruppe 10, die DI-Abtastregistergruppe 20, die DO- Abtastregistergruppe 30 und die Auswahleinrichtung 50 sind zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SI und dem seriellen Ausgangsanschluß SO in Reihe geschaltet, um einen Abtastpfad zu implementieren. Der AD-Abtastregistergruppe 10, der DI-Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 wird ein gemeinsames Schiebetaktsignal SCK und der Auswahleinrichtung 50 ein Modussteuersignal MD zugeführt. Die in Fig. 50 gezeigte Auswahleinrichtung 50 entspricht der in Fig. 49 dargestellten Auswahleinrichtung 32. The test circuit 3 a has a Adreßabtastregistergruppe (hereinafter referred to as AD-Abtastregistergruppe) 10, an input data Abtastregistergruppe (hereafter DI Abtastregistergruppe hereinafter) 20, a Ausgabedaten- Abtastregistergruppe (hereafter DO-Abtastregistergruppe hereinafter) 30, and a selection means 50 on. The AD scan register group 10 , the DI scan register group 20 , the DO scan register group 30 and the selector 50 are connected in series between the serial input port SI and the serial output port SO to implement a scan path. The AD scan register group 10 , the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 are supplied with a common shift clock signal SCK and the selector 50 with a mode control signal MD. The selector 50 shown in Fig. 50 corresponds to the selection means 32 shown in Fig. 49.

Das Schiebetaktsignal SCK ist ein Ein-Phasen-Schiebetaktsignal oder ein Zwei-Phasen-Schiebetaktsignal.The shift clock signal SCK is a one-phase shift clock signal or a two-phase shift clock signal.

Wenn ein RAM 2 der Fig. 50 geprüft werden soll, werden die Testschaltkreise entsprechenden den anderen Schaltkreisblöcken in den Umgehungszustand versetzt. Dieser Zustand ist dem Zustand äquivalent, in dem der serielle Eingangsanschluß SI und der serielle Ausgangsanschluß SO des Testschaltkreises 3a entsprechend diesem RAM 2 mit dem seriellen Eingangsanschluß SIC und dem seriellen Ausgangsanschluß SOC des in Fig. 49 gezeigten Halbleiterchips 1a verbunden sind. Daher hängt die Testzeit von den Schiebeoperationen des in Fig. 50 gezeigten Testschaltkreises 3a ab, und die Schiebeoperation der Testschaltkreise der anderen Schaltkreisblöcke braucht nicht in Betracht gezogen zu werden.When a RAM 2 of Fig. 50 is to be tested, the test circuits corresponding to the other circuit blocks are set in the bypass state. This state is equivalent to the state in which the serial input terminal SI and the serial output terminal SO of the test circuit 3 a corresponding to this RAM 2 are connected to the serial input terminal SIC and the serial output terminal SOC of the semiconductor chip 1 a shown in FIG. 49. Therefore, the test time depends on the shift operations of the test circuit shown in Fig. 50 3a decreases, and the shift operation of the test circuits of the other circuit blocks need not be considered.

Die Prüfung wird von der Schiebeoperation des Abtastpfads für den zu prüfenden Schaltkreisblock ausgeführt. Daher steigt die Testzeit proportional zur Anzahl der Schiebeoperationen an. Dieses Problem tritt selbst dann auf, wenn der Schaltkreisblock einen RAM darstellt. Im folgenden wird ein March-Test beschrieben, der einen typischen Testalgorithmus für einen RAM darstellt, um das Problem des Testzeitanstiegs zu erläutertn.The test is based on the shift operation of the scan path for the testing circuit block executed. Therefore the test time increases proportional to the number of shift operations. This problem occurs even when the circuit block has RAM represents. The following is a March test that describes one typical test algorithm for a RAM represents the problem to explain the increase in test time.

(3) Ein typischer March-Test(3) A typical March test

Im folgenden wird die Verarbeitungsprozedur des Testalgorithmus eines typischen March-Tests beschrieben.The following is the processing procedure of the test algorithm a typical March test.

(Schritt 1) "0" wird in alle Adressen geschrieben.(Step 1) "0" is written in all addresses.

(Schritt 2) Für alle Adressen wird "1" nach dem Auslesen von "0" geschrieben, während die Adresse von 0 bis zur letzten Adresse aufeinanderfolgend angehoben wird.(Step 2) For all addresses, "1" after reading "0" written while the address from 0 to the last address is raised successively.

(Schritt 3) Für alle Adressen wird "0" nach dem Auslesen von "1" geschrieben, während die Adresse von der letzten Adresse bis zu 0 aufeinanderfolgend vermindert wird. (Step 3) "0" for all addresses after reading out "1" written while the address from the last address down to 0 is successively decreased.  

(Schritt 4) "1" wird in alle Adressen geschrieben.(Step 4) "1" is written in all addresses.

(Schritt 5) Für alle Adressen wird "0" nach dem Auslesen von "1" geschrieben, während die Adresse von 0 bis zur letzten Adresse aufeinanderfolgend angehoben wird.(Step 5) "0" for all addresses after reading out "1" written while the address from 0 to the last address is raised successively.

(Schritt 6) Für alle Adressen wird "1" nach dem Auslesen von "0" geschrieben, während die Adresse von der letzten Adresse bis zu 0 aufeinanderfolgend vermindert wird.(Step 6) For all addresses, "1" after reading out "0" written while the address from the last address down to 0 is successively decreased.

Es sei ein Fall betrachtet, in dem der RAM 2 der Fig. 51 geprüft werden soll. Die Adreßsignale A(0) bis A(n-1), ein Chipaktivierungssignal CE, ein Schreibaktivierungssignal WE und Daten DI(0) bis DI(m-1) werden dem RAM 2 zugeführt, und es werden Daten DO(0) bis DO(m-1) vom RAM 2 abgegeben.Consider a case where the RAM 2 of Fig. 51 is to be checked. The address signals A (0) to A (n-1), a chip activation signal CE, a write activation signal WE and data DI (0) to DI (m-1) are supplied to the RAM 2 , and data DO (0) to DO (m-1) output from RAM 2 .

Der in Fig. 52 gezeigte Schreibbetrieb wird in den Schritten 1 und 4 ausgeführt. Der in Fig. 53 gezeigte Lese-/Schreibbetrieb wird für die Schritte 2, 3, 5 und 6 ausgeführt. Beim Schreibbetrieb der Fig. 52 werden Daten DI(i) in Abhängigkeit von einem aktiv niedrigen Schreibaktivierungssignal WE geschrieben. Beim in Fig. 53 dargestellten Lese-/Schreibbetrieb werden in Abhängigkeit vom aktiv niedrigen Chipaktivierungssignal CE ausgelesene DO(i) von einem externen Tester zu einem Testerabtastzeitpunkt mit einem vorbestimmten Erwartungsdatenwert verglichen, wobei Daten DI(i) in Abhängigkeit von einem aktiv niedrigen Schreibaktivierungssignal WE geschrieben werden. Hier stellt i einen Wert 0 bis m-1 dar. Beim in Fig. 53 gezeigten Lese-/Schreibbetrieb werden die Leseoperation und die Schreiboperation innerhalb desselben Testzyklus ausgeführt.The write operation shown in Fig. 52 is carried out in steps 1 and 4. The read / write operation shown in Fig. 53 is carried out for steps 2, 3, 5 and 6. In the write operation of Fig. 52 data DI (i) to be written in response to an active low write enable signal WE. In the read / write operation shown in FIG. 53, DO (i) read out as a function of the active low chip activation signal CE is compared by an external tester at a tester scanning time with a predetermined expected data value, data DI (i) as a function of an active low write activation signal WE to be written. Here, i represents a value 0 to m-1. In the read / write operation shown in Fig. 53, the read operation and the write operation are carried out within the same test cycle.

Als Beispiel wird ein RAM mit der Organisation 1024 Worte * 8 Bit betrachtet. In den Schritten 1 und 4 wird die Schreiboperation der Fig. 52 jeweils 1024mal wiederholt. Bei den Schritten 2, 3, 5 und 6 wird die Lese-/Schreiboperation der Fig. 53 jeweils 1024mal ausgeführt. Der March-Test wird daher in insgesamt 6144 Testzyklen realisiert. A RAM with the organization 1024 words * 8 bits is considered as an example. In steps 1 and 4, the write operation of Fig. 52 is repeated 1024 times each. At steps 2, 3, 5 and 6, the read / write operation of Fig. 53 is performed 1024 times each. The March test is therefore carried out in a total of 6144 test cycles.

Der March-Test für einen 2n-Wort-RAM wird durch 6 * 2n-Testzyklen realisiert. Diese Abschätzung ist für den Fall anwendbar, daß alle verschiedenen Signale von einer externen Quelle, wie z. B. dem RAM 2 in Fig. 51, direkt gesteuert und überwacht werden können.The March test for a 2 n word RAM is implemented by 6 * 2 n test cycles. This estimate is applicable in the event that all different signals from an external source, such as. B. the RAM 2 in Fig. 51, can be directly controlled and monitored.

Wenn dieser March-Test unter Verwendung des Abtastpfads mit einer Umgehungsfunktion, wie er in den Fig. 49 und 50 dargestellt ist, ausgeführt wird, wird jeder RAM-Test durch die normale Abtastprüfung ausgeführt. Weil die Leseoperation und die Schreiboperation des RAM 2 innerhalb des Testzyklus der Schiebeoperation im Abtasttest ausgeführt werden kann, wird in der folgenden Beschreibung die Anzahl der Testzyklen im Schiebebetrieb betrachtet.When this March test is performed using the scan path with a bypass function as shown in Figs. 49 and 50, each RAM test is performed by the normal scan test. Because the read operation and the write operation of the RAM 2 can be performed within the test cycle of the shift operation in the scan test, the number of test cycles in the shift operation is considered in the following description.

Wie in Fig. 50 gezeigt ist, weist der RAM 2 mit einer Organisation von 1024 Worten * 8 Bit eine AD-Abtastregistergruppe 10 mit zehn Abtastregistern, eine DI-Abtastregistergruppe 20 mit 8 Abtastregistern und eine DO-Abtastregistergruppe 30 mit 8 Abtastregistern auf.As shown in Fig. 50, the RAM 2 with an organization of 1024 words * 8 bits has an AD scan register group 10 with ten scan registers, a DI scan register group 20 with 8 scan registers and a DO scan register group 30 with 8 scan registers.

In den Schritten 1 und 4 ist es erforderlich, durch die Schiebeoperation ein Adreßsignal für jede Adresse und einen Schreibwert einzustellen. Es sind acht Schiebeoperationen notwendig, um Schreibdaten in der DI-Abtastregistergruppe 20 einzustellen, und es sind zehn Schiebeoperationen erforderlich, um ein Adreßsignal in der AD-Abtastregistergruppe 10 zu setzen. In der folgenden Beschreibung wird angenommen, daß eine Schiebeoperation durch einen Testzyklus ausgeführt wird. In den Schritten 1 und 4 wird dieser Testzyklus 1024mal wiederholt, was zu (10+8) * 1024=18 432 Testzyklen führt.In steps 1 and 4, it is necessary to set an address signal for each address and a write value by means of the shift operation. Eight shift operations are required to set write data in the DI scan register group 20 , and ten shift operations are required to set an address signal in the AD scan register group 10 . In the following description, it is assumed that a shift operation is carried out by a test cycle. In steps 1 and 4, this test cycle is repeated 1024 times, which leads to (10 + 8) * 1024 = 18 432 test cycles.

In den Schritten 2, 3, 5 und 6 ist es notwendig, die Schreibdaten und das Adreßsignal durch eine Schiebeoperation für jede Adresse einzustellen und die Lesedaten durch eine Schiebeoperation für jede Adresse auszulesen. Daher sind acht Schiebeoperationen erforderlich, um die Schreibdaten in der DI-Abtastregistergruppe 20 einzustellen, und es sind zehn Schiebeoperationen notwendig, um das Adreßsignal in der AD-Abtastregistergruppe 10 zu setzen. Ferner sind acht Schiebeoperationen erforderlich, um die Auslesedaten der DO- Abtastregistergruppe 30 zuzuführen. In den Schritten 2, 3, 5 und 6 wird der Testzyklus 1024mal wiederholt, was zu (10+8+8) * 1024=26 624 Testzyklen führt.In steps 2, 3, 5 and 6, it is necessary to set the write data and the address signal by a shift operation for each address and to read out the read data by a shift operation for each address. Therefore, eight shift operations are required to set the write data in the DI scan register group 20 , and ten shift operations are required to set the address signal in the AD scan register group 10 . Eight shift operations are also required to feed the readout data to the DO scan register group 30 . In steps 2, 3, 5 and 6, the test cycle is repeated 1024 times, which leads to (10 + 8 + 8) * 1024 = 26 624 test cycles.

Um den March-Test auszuführen, sind daher insgesamt (18 432 * 2+ 26 624 * 4)=143 360 Testzyklen notwendig.To run the March test, a total of (18 432 * 2+ 26 624 * 4) = 143 360 test cycles are necessary.

Die Anzahl der Testzyklen, die für einen Abtasttest erforderlich sind, beträgt ungefähr das 23fache der Anzahl der Testzyklen (6144 Testzyklen), die für einen typischen March-Test notwendig sind. Das bedeutet, daß ein Anstieg der Testzeit (ungefähr das 23fache bei diesem Beispiel) selbst dann nicht vermieden werden kann, wenn ein Abtastpfad mit Umgehungsfunktion verwendet wird, falls ein normaler Abtasttest für jeden RAM-Test ausgeführt wird.The number of test cycles required for a scan test is approximately 23 times the number of test cycles (6144 Test cycles), which are necessary for a typical March test. The means an increase in test time (approximately 23 times at this example) cannot be avoided even if a Bypass scan path is used if normal Sampling test is performed for each RAM test.

(4) Drittes Beispiel für den Stand der Technik(4) Third example of the prior art

Im folgenden wird ein Testschaltkreis beschrieben, der totale Zufallsfolgen für die Adreßeinstellung benutzt.In the following a test circuit is described, the total Random sequences used for the address setting.

Eine totale Zufallsfolge ist ein bestimmter Bitzug. Durch Verschieben des Bitzugs in einen Abtastpfad kann die Testadresse eines RAM effizient eingestellt werden. "0000111101011001000" ist ein Beispiel für eine totale Zufallsfolge vierter Ordnung.A total random sequence is a certain bit train. By Moving the bit train into a scan path can change the test address of RAM can be set efficiently. "0000111101011001000" is an example of a total fourth order random sequence.

Wenn dieser Bitzug einem Schieberegister mit 4 Bit zugeführt wird, variieren die im Schieberegister gehaltenen Daten für jede Schiebeoperation. Damit können alle möglichen 16 Zustände eingestellt werden, obwohl die Reihenfolge statistisch ist. Unter der Voraussetzung, daß der im Schieberegister gehaltene Wert die Testadresse des RAM darstellt, können alle Adressen von Adresse 0 bis Adresse 15 eingestellt werden, wie in Fig. 38 gezeigt ist, und das sogar in statistischer Reihenfolge. When this bit train is applied to a 4-bit shift register, the data held in the shift register varies for each shift operation. With this, all possible 16 states can be set, although the order is statistical. Provided that the value held in the shift register represents the test address of the RAM, all addresses from address 0 to address 15 can be set as shown in Fig. 38, and even in a statistical order.

Es wird angenommen, daß die totale Zufallsfolge von Fig. 54 gleich "000011110101100100" ist und ein Bit in dieser Reihenfolge auf einmal in das Schieberegister mit 4 Bit geschoben wird. Wenn die ersten "0000" eingeschoben werden, lautet die Adresse daher 0. Durch aufeinanderfolgendes Einschieben der restlichen "111101011001000" ändert sich die Adresse entsprechend als Adresse 8, Adresse 12, Adresse 14, . . ., Adresse 1. Die Anzahl der Testzyklen, die dafür erforderlich sind, beträgt (4-1)+2⁴=19 Testzyklen.It is believed that the total random sequence of Fig. 54 is equal to "000011110101100100", and a bit in this sequence is shifted at once to the shift register having 4 bits. If the first "0000" is inserted, the address is therefore 0. By successively inserting the remaining "111101011001000" the address changes accordingly as address 8, address 12, address 14,. . ., Address 1. The number of test cycles required for this is (4-1) + 2⁴ = 19 test cycles.

Allgemein wird eine totale Zufallsfolge der Ordnung n für die Prüfung eines RAM mit n Adreßleitungen verwendet. In diesem Fall sind insgesamt (n-1)+2n Testzyklen notwendig, um alle Testadressen einzustellen. Es ist nicht möglich, die Prüfung innerhalb der ersten (n-1) Schiebeoperationen aufzunehmen, weil die Adresse nicht bestimmt ist. Der Lese- und Schreibbetrieb des RAM kann während der nachfolgenden 2n Schiebeoperationen ausgeführt werden, nachdem die Adresse festgelegt worden ist.Generally, a total random order of order n is used to test a RAM with n address lines. In this case, a total of (n-1) +2 n test cycles are required to set all test addresses. It is not possible to start the check within the first (n-1) shift operations because the address is not determined. The read and write operation of the RAM can be performed during the subsequent 2 n shift operations after the address has been set.

(5) Zufalls-March-Test(5) Random March test

Im folgenden wird die Verarbeitungsprozedur eines Zufalls-March-Tests als ein Beispiel für den Testalgorithmus unter Verwendung einer totalen Zufallsfolge für die Adreßeinstellung beschrieben.The following is the processing procedure of a random March test using as an example of the test algorithm described a total random sequence for the address setting.

(Schritt 1) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und "0" wird in alle Adressen geschrieben.(Step 1) It gets an address by inserting the total Random sequence set, and "0" is written in all addresses.

(Schritt 2) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "1" nach dem Auslesen von "0" geschrieben.(Step 2) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "1" after the Read out of "0" written.

(Schritt 3) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "0" nach dem Auslesen von "1" geschrieben.(Step 3) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "0" after the Read out of "1" written.

(Schritt 4) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und "1" wird in alle Adressen geschrieben. (Step 4) It gets an address by inserting the total Random sequence set, and "1" is written in all addresses.  

(Schritt 5) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "0" nach dem Auslesen von "1" geschrieben.(Step 5) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "0" after the Read out of "1" written.

(Schritt 6) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "1" nach dem Auslesen von "0" geschrieben.(Step 6) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "1" after the Read out of "0" written.

Für jeden Zyklus der Schritte 1-6 können verschiedene totale Zufallsfolgen verwendet werden.For each cycle of steps 1-6 different totals can be made Random sequences can be used.

In den Fig. 55 und 56 ist ein Testschaltkreis gezeigt, der diesen Zufalls-March-Test benutzt. Im Beispiel der Fig. 55 sind eine AD- Abtastregistergruppe 10, eine DI-Abtastregistergruppe 20, eine DO- Abtastregistergruppe 30 und ein Vergleichsschaltkreis 80 entsprechend einem RAM 2 gebildet. Beim Beispiel der Fig. 56 sind eine Mehrzahl von AD-Abtastregistergruppen 10, eine Mehrzahl von DI- Abtastregistergruppen 20, eine Mehrzahl von DO-Abtastregistergruppen 30 und eine Mehrzahl von Vergleichsschaltkreisen 80 entsprechend der Mehrzahl von RAMs 2 gebildet.In Figs. 55 and 56, a test circuit is shown that uses this random March test. In the example of FIG. 55, an AD scan register group 10 , a DI scan register group 20 , a DO scan register group 30 and a comparison circuit 80 are formed corresponding to a RAM 2 . In the example of FIG. 56, a plurality of AD scan register groups 10 , a plurality of DI scan register groups 20 , a plurality of DO scan register groups 30 and a plurality of comparison circuits 80 corresponding to the plurality of RAMs 2 are formed.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 55 wird im folgenden der Testzyklus beschrieben, der für den Zufalls-March-Test notwendig ist.The test cycle necessary for the random March test is described below with reference to FIG. 55.

Durch Einschieben einer totalen Zufallsfolge in die AD- Abtastregistergruppe 10 kann das Adreßsignal durch eine Schiebeoperation aktualisiert werden. Es ist daher nicht notwendig, für eine Adresse alle Bits eines Adreßsignals einzuschieben, wie das beim typischen March-Test der Fall war.By inserting a total random sequence into the AD scan register group 10 , the address signal can be updated by a shift operation. It is therefore not necessary to insert all bits of an address signal for an address, as was the case with the typical March test.

Weil die Schreibdaten und die Lesedaten sich nicht mit jedem Schritt ändern, ist es nicht erforderlich, den Abtastpfad zu unterteilen, so daß die Schreibdaten durch den Schiebebetrieb der totalen Zufallsfolge nicht verändert werden. Daher wird die AD- Abtastregistergruppe 10 zwischen den seriellen Eingangsanschluß SI1 und den seriellen Ausgangsanschluß SO1 geschaltet, und die DI- Abtastregistergruppe 20 und die DO-Abtastregistergruppe 30 sind zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SI2 und dem seriellen Ausgangsanschluß SO2 in Reihe geschaltet, wie das in Fig. 55 gezeigt ist. Das Schiebetaktsignal SCKA wird der AD-Abtastregistergruppe 10 und das Schiebetaktsignal SCKD der DI-Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 zugeführt.Since the write data and the read data do not change with each step, it is not necessary to divide the scan path, so that the write data is not changed by the shift operation of the total random sequence. Therefore, the AD scan register group 10 is connected between the serial input port SI 1 and the serial output port SO 1 , and the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 are connected in series between the serial input port SI 2 and the serial output port SO 2 , as shown in Fig. 55. The shift clock signal SCKA is supplied to the AD scan register group 10 and the shift clock signal SCKD to the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 .

Um das Ausschieben der Auslesedaten zu elimieren ist ein Vergleichsschaltkreis 80 gebildet. Der Vergleichsschaltkreis 80 vergleicht die von der DO-Abtastregistergruppe 30 gehaltenen Daten (die Ausleseerwartungsdaten) und die vom RAM 2 ausgelesenen Daten, um ein PASS/FAIL-Signal abzugeben, das eine Übereinstimmung/Nicht- Übereinstimmung anzeigt. Die Schiebeoperation der DO- Abtastregistergruppe 30 ist nicht notwendig, solange sich die Ausleseerwartungsdaten nicht ändern.A comparison circuit 80 is formed in order to eliminate the pushing out of the readout data. The comparison circuit 80 compares the data held by the DO scan register group 30 (the readout awaiting data) and the data read out by the RAM 2 to output a PASS / FAIL signal indicating a match / mismatch. The shift operation of the DO scan register group 30 is not necessary as long as the readout expectation data does not change.

Beim Zufalls-March-Test ändern sich die Schreibdaten oder die Auslesedaten während der Aktualisierung der Adresse im jeweiligen Schritt nicht. Das bedeutet, daß die Anzahl der Schiebeoperationen der DI-Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 im Vergleich mit der Anzahl der Schiebeoperationen der AD- Abtastregistergruppe 10 ziemlich gering ist.With the random March test, the write data or the readout data do not change during the update of the address in the respective step. This means that the number of shift operations of the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 is quite small compared to the number of shift operations of the AD scan register group 10 .

Beispielsweise sei die Anzahl der Testzyklen abgeschätzt, die für die Prüfung eines 1024 Worte * 8 Bit-RAM notwendig sind. Weil die Anzahl der Worte 2¹⁰=1024 beträgt, gilt n=10. Daher wird eine totale Zufallsfolge der Ordnung 10 verwendet.For example, let us estimate the number of test cycles required to test a 1024 word * 8 bit RAM. Because the number of words is 2¹⁰ = 1024, n = 10. Therefore, a total random order of 10 is used.

Es sind neun zusätzliche Schiebeoperationen notwendig, bis die Adresse festgelegt ist. Anschließend kann die Adresse aktualisiert und die Prüfung durch eine Schiebeoperation ausgeführt werden.Nine additional shift operations are necessary until the Address is set. The address can then be updated and the test can be carried out by a shift operation.

Da die Schiebeoperationen innerhalb desselben Testzyklus ausgeführt werden kann, in dem auch der Lesebetrieb oder der Lese- /Schreibbetrieb ausgeführt wird, wird die folgende Beschreibung ausgeführt unter der Annahme, daß in den Schritten 1 und 4 die Schiebeoperation und der Schreibbetrieb und in den Schritten 2, 3, 5 und 6 die Schiebeoperation und der Lese-/Schreibbetrieb während desselben Testzyklus ausgeführt werden.Because the shift operations are performed within the same test cycle in which the reading mode or the reading / Write operation is performed, the following description carried out on the assumption that in steps 1 and 4 the Shift operation and the write operation and in steps 2, 3, 5  and 6 the shift operation and the read / write operation during run in the same test cycle.

In den Schritten 1 und 4 sind neun Schiebeoperationen notwendig, bis eine Adresse bestimmt ist, und anschließend sind 1024 Testzyklen erforderlich. Die acht für die Einstellung der Schreibdaten in der DI-Abtastregistergruppe 20 notwendigen Schiebeoperationen können gleichzeitig mit den neun Schiebeoperationen ausgeführt werden, die für die Bestimmung der Adresse erforderlich sind. Daher sind für die Schritte 1 und 4 jeweils 9+1024=1033 Testzyklen notwendig.In steps 1 and 4, nine shift operations are required until an address is determined, and then 1024 test cycles are required. The eight shift operations necessary for setting the write data in the DI scan register group 20 can be performed concurrently with the nine shift operations required to determine the address. Therefore, 9 + 1024 = 1033 test cycles are necessary for steps 1 and 4.

In den Schritten 2, 3, 5 und 6 sind neun Schiebeoperationen für die Bestimmung einer Adresse und anschließend 1024 Testzyklen erforderlich. Es sind acht Schiebeoperationen notwendig, um einen Ausleseerwartungsdatenwert in der DO-Abtastregistergruppe einzustellen, und acht Schiebeoperationen, um einen Schreibwert in der DI-Abtastregistergruppe 20 einzustellen. Die für die Bestimmung einer Adresse notwendigen neun Schiebeoperationen können während der Schiebeoperationen für die Einstellung der Ausleseerwartungsdaten und der Schreibdaten ausgeführt werden. Daher sind für die Schritte 2, 3, 5 und 6 jeweils 16+1024=1040 Testzyklen notwendig.In steps 2, 3, 5 and 6, nine shift operations are required to determine an address and then 1024 test cycles. Eight shift operations are required to set a readout expectation data in the DO scan register group and eight shift operations to set a write value in the DI scan register group 20 . The nine shift operations necessary for determining an address can be carried out during the shift operations for setting the readout expectation data and the write data. Therefore steps 16, 3, 5 and 6 each require 16 + 1024 = 1040 test cycles.

Damit sind insgesamt (1033 * 2+1040 * 4)=6226 Testzyklen für einen Zufalls-March-Test erforderlich.A total of (1033 * 2 + 1040 * 4) = 6226 test cycles are required for a random March test.

Die Anzahl der für einen Zufalls-March-Test notwendigen Testzyklen zeigt einen Anstieg von nur 1,3% im Vergleich mit der Anzahl der Testzyklen, die für einen typischen March-Test erforderlich sind (6144 Testzyklen). Das ist ein Vorteil, um den Anstieg der Testzeit zu unterdrücken.The number of test cycles required for a random March test shows an increase of only 1.3% compared to the number of Test cycles that are required for a typical March test (6144 test cycles). This is an advantage to the increase in test time to suppress.

(6) Angabe bekannter Druckschriften(6) Indication of known publications

Ein Beispiel für einen herkömmlichen Abtastpfad ist in der JP 63- 2 22 399 beschrieben, die der US 49 26 424 entspricht. An example of a conventional scan path is in JP 63- 2 22 399 described, which corresponds to US 49 26 424.  

Die in den Fig. 55 und 56 dargestellten Testschaltkreise, die totale Zufallsfolgen für die Adreßeinstellung verwenden, sind in "TESTING OF EMBEDDED RAM USING EXHAUSTIVE RANDOM SEQUENCES", 1987 International Conference Paper 4.2, S. 105-110, H. Maeno et al beschrieben.The test circuits shown in FIGS . 55 and 56 that use total random sequences for address setting are described in "TESTING OF EMBEDDED RAM USING EXHAUSTIVE RANDOM SEQUENCES", 1987 International Conference Paper 4.2, pp. 105-110, H. Maeno et al .

Bei den in den Fig. 55 und 56 gezeigten Testschaltkreisen ist der Abtastpfad in zwei Reihen unterteilt, nämlich einen Adreßabtastpfad und einen Datenabtastpfad. Dadurch ist die Bildung von zwei seriellen Eingangs-/Ausgangsanschlüssen für jeden Testschaltkreis notwendig. Das führt zu dem Problem, daß die Verdrahtung des seriellen Schiebepfades, der mit diesen Anschlüssen verbunden ist, kompliziert wird.In the test circuits shown in Figs. 55 and 56, the scan path is divided into two rows, namely an address scan path and a data scan path. This requires the formation of two serial input / output connections for each test circuit. This leads to the problem that the wiring of the serial slide path connected to these terminals becomes complicated.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Verdrahtung einer Abtastpfadeinrichtung zu vereinfachen und die Testeffizienz zu verbessern. Außerdem soll die Moduseinstellung ohne Verkomplizierung der Schaltkreisstruktur in einer Abtastpfadeinrichtung mit einer Umgehungsfunktion ermöglicht werden, um die Testeffizienz zu verbessern. Ferner soll in einer integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung mit einer Speichereinrichtung die Testzeit reduziert werden, ohne die Verdrahtung zu verkomplizieren. Aufgabe der Erfindung ist außerdem die Verminderung der Komplexität eines zusätzlichen Testschaltkreises. Ferner soll die Komplexität eines Abtastregisters reduziert werden. Außerdem soll ein Abtastregister geschaffen werden, das eine Dateneingabe-/-ausgabe ermöglicht.The object of the invention is to wire a Simplify scan path setup and test efficiency too improve. In addition, the mode setting should be without complication the circuit structure in a scan path device with a Bypass feature will be enabled to test efficiency improve. Furthermore, an integrated Semiconductor circuit device with a memory device Test time can be reduced without complicating the wiring. The object of the invention is also to reduce complexity an additional test circuit. Furthermore, the complexity of a scan register can be reduced. In addition, a Sampling registers are created that provide data input / output enables.

Die erfindungsgemäße Abtastpfadeinrichtung weist eine erste Abtastregistergruppe mit einer Mehrzahl von Abtastregistern, die in Reihe geschaltet sind, und eine zweite Abtastregistergruppe mit einer Mehrzahl von Abtastregistern, die mit dem Ausgang der ersten Abtastregistergruppe in Reihe geschaltet sind, auf. Der Abtastpfad weist ferner einen Schaltkreis zur Steuerung der ersten und zweiten Abtastregistergruppen auf, so daß die zweite Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb unterbricht und die erste Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb ausführt. The scanning path device according to the invention has a first one Scan register group with a plurality of scan registers, which in Series are connected, and a second scan register group with a plurality of scan registers connected to the output of the first Scan register group are connected in series. The scan path also has a circuit for controlling the first and second Scan register groups so that the second scan register group interrupts its shift operation and the first scan register group carries out their push operation.  

Bei der Abtastpfadeinrichtung kann die erste Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb ausführen, während die zweite Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb unterdrückt. Daher können Daten nacheinander in die ersten Abtastregistergruppe eingegeben werden, ohne die Daten der Abtastregistergruppe zu verändern. Das verbessert die Testeffizienz. Darüber hinaus wird die Verdrahtung des seriellen Schiebepfads vereinfacht, weil die ersten und zweiten Abtastregistergruppen mit einem Pfad implementiert werden.In the scan path device, the first scan register group carry out their push operation while the second Scan register group suppresses its shift operation. Therefore can Data is sequentially input to the first scan register group without changing the data of the scan register group. The improves test efficiency. In addition, the wiring of the serial slide path simplified because the first and second Scan register groups can be implemented with a path.

Die Abtastpfadeinrichtung in Übereinstimmung mit einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung weist einen Eingangsanschluß zum Empfangen serieller Daten, eine erste Abtastregistergruppe mit einer Mehrzahl von Abtastregistern, die mit dem Eingangsanschluß in Reihe geschaltet sind, eine zweite Abtastregistergruppe mit einer Mehrzahl von Abtastregistern, die mit dem Ausgang der ersten Abtastregistergruppe in Reihe geschaltet sind, einen Ausgangsanschluß, einen Auswahlschaltkreis und einen ersten Steuerschaltkreis auf. Der Auswahlschaltkreis wählt entweder die Daten des Eingangsanschlusses oder die von der zweiten Abtastregistergruppe ausgegebenen Daten aus, um die ausgewählten Daten dem Ausgangsanschluß zuzuführen. Der erste Steuerschaltkreis steuert die erste und die zweite Schieberegistergruppe, so daß die zweite Schieberegistergruppe ihren Schiebebetrieb einstellt und die erste Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb ausführt, wenn vom Auswahlschaltkreis die Daten des Eingangsanschlusses ausgewählt worden sind.The scan path device in accordance with another Aspect of the present invention has an input port for Receive serial data, a first scan register group with one A plurality of scan registers in series with the input port are connected, a second scan register group with a plurality of scan registers that match the output of the first Scan register group are connected in series, one Output terminal, a selection circuit and a first Control circuit on. The selection circuit either selects the Data of the input connection or that of the second Sample register group output data to the selected Feed data to the output port. The first control circuit controls the first and second shift register groups so that the second shift register group sets its shift operation and the first scan register group performs its shift operation when from Selection circuit selected the data of the input terminal have been.

Die Abtastpfadeinrichtung ermöglicht die Einstellung eines Umgehungszustands, bei dem die Daten des Eingangsanschlusses nacheinander der ersten Abtastregistergruppe zugeführt und nacheinander vom Ausgangsanschluß abgegeben werden, und die Einstellung eines Nicht-Umgehungszustands, bei dem die Daten des Eingangsanschlusses nacheinander der ersten Abtastregistergruppe zugeführt und Daten von der zweiten Abtastregistergruppe nacheinander vom Ausgangsanschluß abgegeben werden. Wenn die Abtastpfadeinrichtung in den Umgehungszustand versetzt worden ist, können Daten nacheinander in die erste Abtastregistergruppe eingegeben werden, ohne die Daten der zweiten Abtastregistergruppe zu verändern. Das verbessert die Testeffizienz.The scan path device enables the setting of a Bypass state in which the data of the input port successively fed to the first scan register group and are sequentially discharged from the output port, and the Setting a non-bypass condition in which the data of the Input port successively the first scan register group fed and data from the second scan register group are successively output from the output terminal. If the Scan path device has been placed in the bypass state,  can sequentially transfer data into the first scan register group are entered without the data of the second scan register group to change. This improves the test efficiency.

Eine Abtastpfadeinrichtung in Übereinstimmung mit einem weiteren Aspekt der Erfindung weist ferner einen zweiten Steuerschaltkreis auf. Der zweite Steuerschaltkreis empfängt Daten von einem der Abtastregister, die in den ersten und zweiten Abtastregistergruppen enthalten sind, um die Auswahleinrichtung in Abhängigkeit von diesen Daten zu steuern.One scan path device in accordance with another Aspect of the invention further includes a second control circuit on. The second control circuit receives data from one of the Scan registers in the first and second scan register groups are included to make the selection device dependent on these Control data.

Bei der Abtastpfadeinrichtung wird die Auswahleinrichtung entsprechend den in die erste oder zweite Abtastregistergruppe eingegebenen Daten gesteuert, so daß die Verdrahtung für ein Steuersignal vereinfacht wird.In the scanning path device, the selection device corresponding to those in the first or second scan register group entered data controlled so that the wiring for a Control signal is simplified.

Eine integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Speichereinrichtung und einen Abtastpfad auf. Der Abtastpfad weist einen Eingangsanschluß zum Empfangen serieller Daten, eine erste Abtastregistergruppe, eine zweite Abtastregistergruppe, eine Auswahleinrichtung und einen ersten Steuerschaltkreis auf. Die erste Abtastregistergruppe weist eine Mehrzahl von Abtastregistern auf, die in Reihe geschaltet sind, um die nacheinander vom Eingangsanschluß zugeführten Daten parallel an die Speichereinrichtung als Adreßsignal auszugeben. Die zweite Abtastregistergruppe weist eine Mehrzahl von Abtastregistern auf, die in Reihe geschaltet sind, um die nacheinander von der ersten Abtastregistergruppe angelegten Daten parallel an die Speichereinrichtung auszugeben, oder die von der Speichereinrichtung parallel ausgegebenen Daten zu empfangen. Die Auswahleinrichtung wählt entweder die Daten vom Eingangsanschluß oder die von der zweiten Abtastregistergruppe ausgegebenen Daten aus, um sie als ausgewählte Daten abzugeben. Der erste Steuerschaltkreis steuert die erste und die zweite Abtastregistergruppe, so daß die zweite Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb anhält und die erste Abtastregistergruppe ihren Schiebebetrieb ausführt, wenn von der Auswahleinrichtung die Daten des Eingangsanschlusses ausgewählt worden sind.An integrated semiconductor circuit device according to one another aspect of the present invention features a Storage device and a scan path. The scan path points an input port for receiving serial data, a first one Scan register group, a second scan register group, a Selector and a first control circuit. The first Scan register group has a plurality of scan registers, which are connected in series to the successively from Input port fed data in parallel to the Output memory device as an address signal. The second Scan register group has a plurality of scan registers, which are connected in series to one after the other from the first Sample register group applied data in parallel to the Output storage device, or that of the storage device to receive data output in parallel. The selector selects either the data from the input port or that from the second scan register group output data to them as submit selected data. The first control circuit controls the first and second scan register groups so that the second Scan register group stops shifting and the first Scan register group performs its shift operation when from the  Selector selected the data of the input port have been.

Die integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung ermöglicht die selektive Einstellung eines Umgehungszustands oder eines Nicht- Umgehungszustands für den Abtastpfad. Wenn der Abtastpfad in den Umgehungszustand versetzt worden ist, können Daten nacheinander der ersten Abtastregistergruppe zugeführt werden, ohne die in der zweiten Abtastregistergruppe gehaltenen Daten zu modifizieren. Daher kann das Adreßsignal auf einfache Weise aktualisiert werden, und die Testzeit wird vermindert.The integrated semiconductor circuit device enables selective setting of a bypass condition or a non- Bypass state for the scan path. If the scan path is in the Bypass state has been set, data can be sequentially changed first scan register group are supplied without the in the second sample register group held data to modify. Therefore the address signal can be updated in a simple manner, and the Test time is reduced.

Eine weitere integrierte Halbleiterspeichereinrichtung kann ferner einen zweiten Steuerschaltkreis aufweisen. Der zweite Steuerschaltkreis empfängt Daten, die von einem der Abtastregister in der ersten oder zweiten Abtastregistergruppe angelegt werden, um die Auswahleinrichtung in Abhängigkeit von diesen Daten zu steuern.Another integrated semiconductor memory device can furthermore have a second control circuit. The second Control circuitry receives data from one of the scan registers in the first or second scan register group to control the selection device in dependence on this data.

Bei der integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung wird die Auswahleinrichtung entsprechend den Daten gesteuert, die von der ersten und zweiten Abtastregistergruppe zugeführt werden, so daß die Verdrahtung für die Steuersignale vereinfacht wird.In the integrated semiconductor circuit device, the Selector controlled according to the data from the first and second scan register group are supplied so that the Wiring for the control signals is simplified.

Die integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung kann ferner einen Halteschaltkreis und einen zweiten Steuerschaltkreis aufweisen. Der Halteschaltkreis ist in Reihe mit der ersten und zweiten Abtastregistergruppe gebildet, um die Daten für die Moduseinstellung zu halten. Der zweite Steuerschaltkreis steuert die Auswahleinrichtung in Abhängigkeit von den Moduseinstelldaten, die im Halteschaltkreis gehalten werden.The semiconductor integrated circuit device can also be a Holding circuit and a second control circuit. The Hold circuit is in series with the first and second Scan register group formed to set the data for mode setting to keep. The second control circuit controls the Selector depending on the mode setting data be held in the hold circuit.

Bei der integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung wird die Auswahleinrichtung entsprechend den Moduseinstelldaten gesteuert, die in der Halteeinrichtung gehalten werden, so daß die Verdrahtung für die Steuersignale vereinfacht wird. In the integrated semiconductor circuit device, the Selection device controlled according to the mode setting data, which are held in the holding device so that the wiring for the control signals is simplified.  

Ein zusätzlicher Testschaltkreis in Übereinstimmung mit einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung weist eine Mehrzahl von Abtastregistern auf, die in Reihe geschaltet sind. Jedes Abtastregister weist einen seriellen Eingangsanschluß, einen ersten und zweiten parallelen Eingangsanschluß, einen ersten und zweiten Halteschaltkreis, einen ersten, zweiten, dritten und vierten Übertragungsschaltkreis, einen ersten und zweiten parallelen Ausgangsanschluß, einen seriellen Ausgangsanschluß, einen Vergleichsschaltkreis und einen Aktivierungsschaltkreis auf.An additional test circuit in accordance with one Another aspect of the present invention includes a plurality of Scan registers that are connected in series. Each Scan register has a serial input port, a first and second parallel input port, first and second Hold circuit, a first, second, third and fourth Transmission circuit, a first and a second parallel Output port, a serial output port, a Comparison circuit and an activation circuit.

Jeder der ersten und zweiten Halteschaltkreise hält einen zugeführten Wert und gibt ihn aus. Der erste Übertragungsschaltkreis überträgt die Daten des ersten parallelen Eingangsanschlusses an den ersten Halteschaltkreis. Der zweiten Übertragungsschaltkreis überträgt die Daten des seriellen Eingangsanschlusses an den ersten Halteschaltkreis. Der dritte Übertragungsschaltkreis überträgt die Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses an den zweiten Halteschaltkreis. Der vierte Übertragungsschaltkreis überträgt die Daten des ersten Halteschaltkreises an den zweiten Halteschaltkreis. Der erste parallele Ausgangsanschluß empfängt die Daten vom ersten Halteschaltkreis. Der zweite parallele Ausgangsanschluß empfängt die Daten vom zweiten Halteschaltkreis. Der serielle Ausgangsanschluß empfängt die Daten vom zweiten Halteschaltkreis.Each of the first and second hold circuits holds one fed value and outputs it. The first transmission circuit transmits the data of the first parallel input connection to the first hold circuit. The second transmission circuit transfers the data of the serial input connector to the first one Hold circuit. The third transmission circuit transmits the Data of the second parallel input connection to the second Hold circuit. The fourth transmission circuit transmits the Data from the first hold circuit to the second hold circuit. The first parallel output port receives the data from the first Hold circuit. The second parallel output port receives the Data from the second hold circuit. The serial output connector receives the data from the second hold circuit.

Der Vergleichsschaltkreis vergleicht die Daten des zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschlusses mit den Daten, die vom ersten oder zweiten Halteschaltkreis ausgegeben werden. Der Aktivierungsschaltkreis aktiviert/deaktiviert den dritten oder ersten Übertagungsschaltkreis entsprechend dem Vergleichsergebnis des Vergleichsschaltkreises.The comparison circuit compares the data of the second or first parallel input connector with the data from the first or second hold circuit are output. The Activation circuit activates / deactivates the third or first transmission circuit according to the comparison result of the comparison circuit.

Der serielle Eingangsanschluß des jeweiligen Abtastregisters ist mit dem seriellen Ausgangsanschluß des Abtastregisters in der vorherigen Stufe verbunden.The serial input connection of the respective scan register is with the serial output port of the scan register in the previous one Stage connected.

Im zusätzlichen Testschaltkreis wird einer der ersten und zweiten Halteschaltkreise, die im jeweiligen Abtastregister enthalten sind, für die Eingabe paralleler Daten verwendet, und der andere Halteschaltkreis wird für die Ausgabe der parallelen Daten benutzt. Es ist daher möglich, die Eingabe/Ausgabe von Daten mit einem Abtastregister auszuführen, um die Komplexität des zusätzlichen Testschaltkreises zu vermindern.In the additional test circuit, one of the first and second Holding circuits contained in the respective scan register,  used for entering parallel data, and the other Hold circuit is used for the output of the parallel data. It is therefore possible to input / output data using a Scan registers to perform the complexity of the additional Reduce test circuitry.

Weitere Merkmale und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von den Figuren zeigtFurther features and advantages of the invention result from the description of exemplary embodiments with reference to the figures. From shows the figures

Fig. 1 ein Blockdiagramm der Struktur der Hauptbestandteile nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung; Fig. 1 is a block diagram of the structure of the main components according to a first embodiment of the invention;

Fig. 2 ein Blockdiagramm der Gesamtstruktur der ersten Ausführungsform der Erfindung; Fig. 2 is a block diagram of the overall structure of the first embodiment of the invention;

Fig. 3 ein Diagramm der Beziehung zwischen einem Testschaltkreis und einem RAM; Fig. 3 is a graph showing the relationship between a test circuit and a RAM;

Fig. 4 ein Blockdiagramm eines Beispiels für die Struktur eines Testschaltkreises; Fig. 4 is a block diagram of an example of the structure of a test circuit;

Fig. 5 ein Blockdiagramm eines weiteren Beispiels für die Struktur eines Testschaltkreises; Fig. 5 is a block diagram of another example of the structure of a test circuit;

Fig. 6 ein Blockdiagramm der Struktur einer AD-Abtastregistergruppe; Fig. 6 is a block diagram of the structure of an AD scan register group;

Fig. 7 ein Blockdiagramm der Struktur eines Abtastregisters; Fig. 7 is a block diagram of the structure of a scan register;

Fig. 8 ein Blockdiagramm eines Beispiels für die Struktur eines CE-Abtastregisters; Fig. 8 is a block diagram of an example of the structure of a CE scan register;

Fig. 9 ein Blockdiagramm eines weiteren Beispiels für die Struktur eines CE-Abtastregisters; Fig. 9 is a block diagram of another example of the structure of a CE scan register;

Fig. 10 ein Blockdiagramm der Struktur eines WE-Abtastregisters; Fig. 10 is a block diagram of the structure of a WE scan register;

Fig. 11 ein Blockdiagramm der Struktur einer DIO-Abtastregistergruppe; Fig. 11 is a block diagram of the structure of a DIO scan register group;

Fig. 12 ein Blockdiagramm eines Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; Fig. 12 is a block diagram of an example of the structure of a DIO scan register;

Fig. 13 ein Blockdiagramm eines weiteren Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; Fig. 13 is a block diagram of another example of the structure of a DIO scan register;

Fig. 14 ein Blockdiagramm der Struktur eines DMY-Abtastregisters; Fig. 14 is a block diagram of the structure of a DMY scan register;

Fig. 15 ein Schaltbild der Struktur eines Latch-Schaltkreises; Figure 15 is a diagram showing the structure of a latch circuit.

Fig. 16 ein Schaltbild der Struktur eines zurücksetzbaren Latch-Schaltkreises; FIG. 16 is a diagram showing the structure of a resettable latch circuit;

Fig. 17 ein Schaltbild der Struktur eines 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises; Fig. 17 is a circuit diagram showing the structure of a 2-input latch circuit;

Fig. 18 ein Flußdiagramm zur Erläuterung der Initialisierungsoperation; FIG. 18 is a flowchart for explaining the initialization operation;

Fig. 19 ein Signaldiagramm eines Rückstellzyklus; Fig. 19 is a waveform diagram of a reset cycle;

Fig. 20 ein Signaldiagramm eines Abtast-Ein-Zyklus; FIG. 20 is a signal diagram of a scan-in cycle;

Fig. 21 ein Signaldiagramm eines Moduseinstellzyklus; Fig. 21 is a signal diagram of a mode setting cycle;

Fig. 22 ein Flußdiagramm zur Erläuterung einer Write-All-Operation; FIG. 22 is a flowchart for explaining a write-all operation;

Fig. 23 ein Signaldiagramm eines Schreibzyklus; FIG. 23 is a signal diagram of a write cycle;

Fig. 24 ein Flußdiagramm zur Erläuterung der Read-Write-All-Operation; FIG. 24 is a flowchart for explaining the read-write All-operation;

Fig. 25 ein Signaldiagramm eines Lese-/Schreibzyklus; FIG. 25 is a signal diagram of a read / write cycle;

Fig. 26 ein Signaldiagramm eines Einstellzyklus; Fig. 26 is a signal diagram of a setting cycle;

Fig. 27 ein Signaldiagramm eines Abtast-Aus-Zyklus; Fig. 27 is a signal diagram of a scan-out cycle;

Fig. 28 ein Flußdiagramm zur Erläuterung eines Zufalls-March-Testes; Fig. 28 is a flow chart for explaining a random March test;

Fig. 29 ein Flußdiagramm zur Erläuterung eines Zufalls-March-Testes; FIG. 29 is a flow chart for explaining a random March-test;

Fig. 30 ein Blockdiagramm einer weiteren Anwendung der vorliegenden Erfindung; FIG. 30 is a block diagram of another application of the present invention;

Fig. 31 ein Blockdiagramm der Struktur der Hauptbestandteile einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; Fig. 31 is a block diagram of the structure of the main components of a second embodiment of the present invention;

Fig. 32 ein Blockdiagramm der Struktur der Hauptbestandteile einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; Fig. 32 is a block diagram of the structure of the main components of a third embodiment of the present invention;

Fig. 33 ein Blockdiagramm einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; Fig. 33 is a block diagram of a fourth embodiment of the present invention;

Fig. 34 ein Schaltbild eines Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; Fig. 34 is a circuit diagram showing an example of the structure of a DIO scan register;

Fig. 35 ein Schaltbild eines weiteren Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; FIG. 35 is a circuit diagram of another example of the structure of DIO-scan register;

Fig. 36 ein Schaltbild eines weiteren Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; Fig. 36 is a circuit diagram of another example of the structure of a DIO scan register;

Fig. 37 ein Schaltbild eines weiteren Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; FIG. 37 is a circuit diagram of another example of the structure of DIO-scan register;

Fig. 38 ein Zeitdiagramm des Schiebebetriebs eines zusätzlichen Testschaltkreises; FIG. 38 is a timing chart of the shift operation of an additional test circuit;

Fig. 39 ein Zeitdiagramm des Betriebs eines zusätzlichen Testschaltkreises beim Test; FIG. 39 is a timing diagram of the operation of an additional test circuit in the test;

Fig. 40 ein Schaltbild eines weiteren Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; Fig. 40 is a circuit diagram of another example of the structure of DIO-scan register;

Fig. 41 ein Schaltbild eines weiteren Beispiels für die Struktur eines DIO-Abtastregisters; Fig. 41 is a circuit diagram of another example of the structure of a DIO scan register;

Fig. 42 ein Diagramm eines weiteren Beispiels für die Strukturen eines Vergleichsschaltkreises und eines Latch- Aktivierungsschaltkreises; Fig. 42 is a diagram showing another example of the structures of a comparing circuit and a latch activation circuit;

Fig. 43 ein Blockdiagramm eines ersten Beispiels für den Stand der Technik; Fig. 43 is a block diagram of a first example of the prior art;

Fig. 44 ein Schaltbild einer Struktur für ein AD-Abtastregister; FIG. 44 is a diagram showing a structure of an AD sample register;

Fig. 45 ein Schaltbild einer Struktur für ein DIO-Abtastregister; FIG. 45 is a diagram showing a structure for a DIO-scan register;

Fig. 46 ein Schaltbild einer Struktur für ein DO-Abtastregister; Fig. 46 is a diagram showing a structure for a DO-scan register;

Fig. 47 ein Zeitdiagramm des Schiebebetriebs entsprechen dem ersten Beispiel für den Stand der Technik; FIG. 47 is a timing chart of the shift operation corresponding to the first example of the prior art;

Fig. 48 ein Zeitdiagramm zur Erläuterung des Testbetriebs entsprechend dem ersten Beispiel für den Stand der Technik; 48 is a timing chart for illustrating the test mode according to the first example of the prior art.

Fig. 49 ein Blockdiagramm eines zweiten Beispiels für den Stand der Technik; Fig. 49 is a block diagram of a second example of the prior art;

Fig. 50 ein Blockdiagramm einer Struktur des Testschaltkreises entsprechend dem zweiten Beispiel für den Stand der Technik; Fig. 50 is a block diagram of a structure of the test circuit according to the second example of the prior art;

Fig. 51 ein Diagramm, das ein Beispiel für einen RAM darstellt; FIG. 51 is a diagram illustrating an example of a RAM;

Fig. 52 ein Signaldiagramm des Schreibbetriebs; Fig. 52 is a signal diagram of the write operation;

Fig. 53 ein Signaldiagramm des Lese-/Schreibbetriebs; Fig. 53 is a signal diagram of the read / write operation;

Fig. 54 ein Diagramm zur Erläuterung einer totalen Zufallsfolge; FIG. 54 is a diagram for explaining a total random sequence;

Fig. 55 ein Blockdiagramm eines dritten Beispiels für den Stand der Technik; und Fig. 55 is a block diagram of a third example of the prior art; and

Fig. 56 ein Blockdiagramm eines weiteren Beispiels der Struktur des dritten Beispiels für den Stand der Technik. Fig. 56 is a block diagram of another example of the structure of the third example of the prior art.

(1) Schematische Struktur und Betrieb(1) Schematic structure and operation

Fig. 1 zeigt ein Blockdiagramm einer schematischen Struktur für einen Testschaltkreis, der in einer integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung enthalten ist. Fig. 2 ist ein Blockdiagramm, das die Gesamtstruktur der integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung zeigt. Fig. 1 is a block diagram showing a schematic structure of a test circuit included in a semiconductor integrated circuit device according to a first embodiment of the invention. Fig. 2 is a block diagram showing the overall structure of the semiconductor integrated circuit device.

Wie in Fig. 2 gezeigt ist, sind auf einem Halbleiterchip 1 eine Mehrzahl von RAMs 2, eine Mehrzahl von Testschaltkreisen 3 entsprechend der Mehrzahl von RAMs 2 und ein Logikschaltkreis 4 gebildet. Jeder RAM 2 ist über einen entsprechenden Testschaltkreis 3 mit dem Logikschaltkreis 4 verbunden. Die Mehrzahl von Testschaltkreisen 3 ist zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SIC und dem seriellen Ausgangsanschluß SOC in Reihe geschaltet, um einen Abtastpfad zu implementieren. As shown in Fig. 2, a plurality of RAMs 2, a plurality of test circuits 3 according to the plurality of RAM 2 and a logic circuit 4 are formed on a semiconductor chip 1. Each RAM 2 is connected to the logic circuit 4 via a corresponding test circuit 3 . The plurality of test circuits 3 are connected in series between the serial input terminal SIC and the serial output terminal SOC to implement a scan path.

Über einen Testbus TB werden ein Rückstellsignal RST, ein Moduseinstellsignal MDST, ein Schiebetaktsignal SCK, ein Abtastsignal STB, ein Testmodussignal TM, ein Test-Chip- Aktivierungssignal TCE und ein Testschreib-Aktivierungssignal TWE jedem Testschaltkreis 3 zugeführt. In der vorliegenden Ausführungsform ist das Schiebetaktsignal SCK ein Zwei-Phasen-Taktsignal, das ein erstes Phasenschiebetaktsignal SCK1 und ein zweites Phasenschiebetaktsignal SCK2 umfaßt. Das Schiebetaktsignal SCK kann auch ein Ein-Phasen-Taktsignal sein.A reset signal RST, a mode setting signal MDST, a shift clock signal SCK, a scanning signal STB, a test mode signal TM, a test chip activation signal TCE and a test write activation signal TWE are supplied to each test circuit 3 via a test bus TB. In the present embodiment, the shift clock signal SCK is a two-phase clock signal that includes a first phase shift clock signal SCK 1 and a second phase shift clock signal SCK 2 . The shift clock signal SCK can also be a single-phase clock signal.

Wie in Fig. 1 dargestellt ist, sind eine AD-Abtastregistergruppe 10, eine DI-Abtastregistergruppe 20, eine DO-Abtastregistergruppe 30, ein Moduseinstell-Abtastregister 40 und eine Auswahleinrichtung 50 zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SIB und dem seriellen Ausgangsanschluß SOB des Testschaltkreises 3 in Reihe geschaltet, um den Abtastpfad zu implementieren.As shown in Fig. 1, an AD scan register group 10 , a DI scan register group 20 , a DO scan register group 30 , a mode setting scan register 40 and a selector 50 are between the serial input terminal SIB and the serial output terminal SOB of the test circuit 3 in Connected in series to implement the scan path.

Der Testschaltkreis 3 weist ferner einen Gatterschaltkreis 60 und ein Modussteuer-Latch 70 auf. Der AD-Abtastregistergruppe 10 und einem Eingangsanschluß des Gatterschaltkreises 60 wird das Schiebetaktsignal SCK zugeführt. Das vom Modussteuer-Latch 70 ausgegebene Modussteuersignal MD wird dem anderen Eingangsanschluß des Gatterschaltkreises 60 zugeführt. Das Ausgangssignal des Gatterschaltkreises 60 wird an die DI-Abtastregistergruppe 20, die DO-Abtastregistergruppe 30 und das Moduseinstell-Abtastregister 40 angelegt.The test circuit 3 further includes a gate circuit 60 and a mode control latch 70 . The AD clock register group 10 and an input terminal of the gate circuit 60 are supplied with the shift clock signal SCK. The mode control signal MD output from the mode control latch 70 is supplied to the other input terminal of the gate circuit 60 . The output signal of the gate circuit 60 is applied to the DI scan register group 20 , the DO scan register group 30 and the mode setting scan register 40 .

Die Auswahleinrichtung 50 wird in einen Umgehungszustand versetzt, wenn das Modussteuersignal MD gleich "1" ist. Zu diesem Zeitpunkt wird das Schiebetaktsignal SCK vom Gatterschaltkreis 60 nicht ausgegeben. Daher kann der Schiebebetrieb der DI- Abtastregistergruppe 20, der DO-Abtastregistergruppe 30 und des Moduseinstell-Abtastregisters 40 angehalten werden.The selector 50 is placed in a bypass state when the mode control signal MD is "1". At this time, the shift clock signal SCK is not output from the gate circuit 60 . Therefore, the shift operation of the DI scan register group 20 , the DO scan register group 30, and the mode setting scan register 40 can be stopped.

Es ist daher möglich, bei der Ausführung des Zufalls-March-Testes die totale Zufallsfolge in die AD-Abtastregistergruppe 10 einzuschieben, um eine Adresse zu aktualisieren, wobei die DI- Abtastregistergruppe 20 und die DO-Abtastregistergruppe 30 weiter die Schreibdaten und die Ausleseerwartungsdaten halten.It is therefore possible, when performing the random march test, to insert the total random sequence into the AD scan register group 10 to update an address, the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 still holding the write data and the readout expectation data .

Wenn das Modussteuersignal MD gleich "0" ist, wird die Auswahleinrichtung 50 in einen Nicht-Umgehungszustand versetzt. Zu diesem Zeitpunkt wird das Schiebetaktsignal SCK neben der AD- Abtastregistergruppe 10 über das Gatter 60 auch der DI- Abtastregistergruppe 20, der DO-Abtastregistergruppe 30 und dem Moduseinstell-Abtastregister 40 zugeführt. Daher arbeiten die Abtastregister zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SIB und dem seriellen Ausgangsanschluß SOB als ein normaler Abtastpfad.When the mode control signal MD is "0", the selector 50 is placed in a non-bypass state. At this time, in addition to the AD scan register group 10 , the shift clock signal SCK is also supplied to the DI scan register group 20 , the DO scan register group 30, and the mode setting scan register 40 via the gate 60 . Therefore, the scan registers between the serial input port SIB and the serial output port SOB operate as a normal scan path.

Das Moduseinstellsignal MDST und das Rückstellsignal RST werden den Modussteuer-Latch 70 zugeführt. Das Modussteuer-Latch 70 hält Daten vom Moduseinstell-Abtastregister. Das Modussteuer-Latch 70 gibt in Abhängigkeit vom Moduseinstellsignal MDST, vom Rückstellsignal RST und den Daten vom Moduseinstell-Abtastregister 40 das Modussteuersignal MD aus.The mode setting signal MDST and the reset signal RST are supplied to the mode control latch 70 . The mode control latch 70 holds data from the mode set scan register. The mode control latch 70 outputs the mode control signal MD depending on the mode setting signal MDST, the reset signal RST and the data from the mode setting scan register 40 .

Wenn das Rückstellsignal RST zugeführt wird, wird das Modussteuersignal MD auf "0" gesetzt. Das bringt die Auswahleinrichtung 50 in einen Nicht-Umgehungszustand. Zu diesem Zeitpunkt können die Schieberegistergruppen 10, 20, 30 und 40 durch das Schiebetaktsignal Schiebeoperationen ausführen. In diesem Fall sind die Abtastregister 10, 20, 30 und 40 aller Testschaltkreise 3 auf dem Halbleiterchip der Fig. 2 in Reihe geschaltet.When the reset signal RST is supplied, the mode control signal MD is set to "0". This puts the selector 50 in a non-bypass state. At this time, the shift register groups 10, 20, 30 and 40 can perform shift operations by the shift clock signal. In this case, the scanning registers 10, 20, 30 and 40 of all test circuits 3 on the semiconductor chip of FIG. 2 are connected in series.

Durch eine nachfolgende Schiebeoperation werden Daten "1" oder "0" im Moduseinstell-Abtastregister 40 in jedem Testschaltkreis 3 eingestellt. Dann bewirkt die Zuführung des Moduseinstellsignals MDST, daß der Wert "1" oder "0", der im Moduseinstell-Abtastregister 40 in jedem Testschaltkreis gehalten wird, in das Modussteuer-Latch 70 eingegeben werden, wodurch dieser als Modussteursignal MD ausgegeben wird. Damit kann die Auswahleinrichtung 50 in jedem Testschaltkreis 3 selektiv in einen Umgehungs- oder einen Nicht- Umgehungszustand versetzt werden. A subsequent shift operation sets data "1" or "0" in the mode setting scan register 40 in each test circuit 3 . Then, the supply of the mode setting signal MDST causes the value "1" or "0" held in the mode setting scanning register 40 in each test circuit to be input to the mode control latch 70 , thereby outputting it as the mode control signal MD. Thus, the selector 50 in each test circuit 3 can be selectively put in a bypass or a non-bypass state.

Obwohl in Fig. 1 das Vergleichsverfahren der Auslesedaten nicht gezeigt ist, kann ein Vergleichsschaltkreis 80, wie er in den Fig. 39 und 40 dargestellt ist, gebildet sein.Although the comparison method of the readout data is not shown in FIG. 1, a comparison circuit 80 as shown in FIGS. 39 and 40 can be formed.

Wenn beim Zufalls-March-Test eine totale Zufallsfolge in den Testschaltkreis 3 entsprechend dem zu prüfenden RAM 2 eingeschoben wird, sollten sich die Schreibdaten und die Ausleseerwartungsdaten nicht ändern. Es ist daher notwendig, den Testschaltkreis 3 des zu prüfenden RAM 2 in einen Umgehungszustand zu versetzen. Außerdem ist es erforderlich, die Testschaltkreise 30 entsprechend den anderen Schaltkreisblöcken in einen Umgehungszustand zu versetzen, um die Testzeit zu reduzieren. Daher werden alle Schaltkreisblöcke in den Umgehungszustand versetzt.If, during the random March test, a total random sequence is inserted into the test circuit 3 in accordance with the RAM 2 to be tested, the write data and the readout expected data should not change. It is therefore necessary to put the test circuit 3 of the RAM 2 under test in a bypass state. In addition, it is necessary to put the test circuits 30 in a bypass state corresponding to the other circuit blocks to reduce the test time. Therefore, all circuit blocks are set to bypass.

Dieser Zustand ist einem Fall äquivalent, in dem eine vom seriellen Eingangsanschluß SIC des Halbleiterchips 1 angelegte totale Zufallsfolge gemeinsam in alle Testschaltkreise 3 eingegeben wird. Wenn die Anzahl der Worte gleich ist, kann daher die totale Zufallsfolge gleichzeitig als Adresse für alle der Mehrzahl von RAMs 2 eingestellt werden. Das bedeutet, daß die gleichzeitige Prüfung einer Mehrzahl von RAMs 2 möglich ist.This state is equivalent to a case in which a total random sequence applied by the serial input connection SIC of the semiconductor chip 1 is jointly input into all test circuits 3 . Therefore, when the number of words is the same, the total random sequence can be set as an address for all of the plurality of RAMs 2 at the same time. This means that it is possible to test a plurality of RAMs 2 at the same time.

(2) Zufalls-March-Test(2) Random March test

Im folgenden wird die Verarbeitungsprozedur eines Zufalls-March-Tests unter Verwendung einer totalen Zufallsfolge für die Adreßeinstellung beschrieben.The following is the processing procedure of a random March test using a total random sequence for the Address setting described.

(Schritt 1) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und "0" wird in alle Adressen geschrieben.(Step 1) It gets an address by inserting the total Random sequence set, and "0" is written in all addresses.

(Schritt 2) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für jede Adresse wird "1" nach dem Auslesen von "0" geschrieben. (Step 2) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for each address "1" after the Read out of "0" written.  

(Schritt 3) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "0" nach dem Auslesen von "1" geschrieben.(Step 3) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "0" after the Read out of "1" written.

(Schritt 4) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und "1" wird in alle Adressen geschrieben.(Step 4) It gets an address by inserting the total Random sequence set, and "1" is written in all addresses.

(Schritt 5) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "0" nach dem Auslesen von "1" geschrieben.(Step 5) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "0" after the Read out of "1" written.

(Schritt 6) Es wird eine Adresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge eingestellt, und für alle Adressen wird "1" nach dem Auslesen von "0" geschrieben.(Step 6) It gets an address by inserting the total Random sequence is set, and for all addresses "1" after the Read out of "0" written.

Im folgenden wird ein Testzyklus abgeschätzt für den Fall, daß ein Zufalls-March-Test unter Verwendung des Testschaltkreises 3 der Fig. 1 ausgeführt wird.In the following, a test cycle is estimated in the event that a random March test is carried out using the test circuit 3 of FIG. 1.

Als Beispiel wird ein 1024 Wort * 8 Bit-RAM 2 herangezogen. Da die Anzahl der Worte gleich 2¹⁰=1024 ist, gilt n=10. Daher wird eine totale Zufallsfolge der Ordnung 10 verwendet. Für jeden Schritt des Zufalls-March-Test sind neun zusätzliche Schiebeoperationen notwendig, um eine Adresse zu bestimmen. Anschließend kann der Test durch Aktualisierung mit jeder einzelnen Schiebeoperation ausgeführt werden.A 1024 word * 8 bit RAM 2 is used as an example. Since the number of words is 2¹⁰ = 1024, n = 10. Therefore, a total random order of 10 is used. For each step of the random March test, nine additional shift operations are necessary to determine an address. The test can then be carried out by updating with each individual shift operation.

Die Schiebeoperation kann innerhalb desselben Testzyklus wie der Schreibbetrieb oder der Lese-/Schreibbetrieb des RAM 2 ausgeführt werden. Daher wird angenommen, daß in den Schritten 1 und 4 die Schiebeoperation und die Schreiboperation innerhalb desselben Testzyklus ausgeführt werden, und daß in den anderen Schritten die Schiebeoperation und die Lese-/Schreiboperation innerhalb desselben Testzyklus ausgeführt werden.The shift operation can be carried out within the same test cycle as the write operation or the read / write operation of the RAM 2 . Therefore, it is assumed that in steps 1 and 4, the shift operation and the write operation are carried out within the same test cycle, and in the other steps the shift operation and the read / write operation are carried out within the same test cycle.

In den Schritten 1 und 4 sind acht Schiebeoperationen notwendig, um in der DI-Abtastregistergruppe 20 einen Schreibwert einzustellen. Es sind neun Schiebeoperationen erforderlich, bis eine Adresse feststeht, und es sind Schiebeoperationen und Schreiboperationen für jede der 1024 Adressen notwendig. Daher für jeden der Schritte 1 und 4 jeweils 8+9+1024=1041 Testzyklen erforderlich.In steps 1 and 4, eight shift operations are necessary to set a write value in the DI scan register group 20 . Nine shift operations are required to determine an address, and shift operations and write operations are required for each of the 1024 addresses. Therefore, 8 + 9 + 1024 = 1041 test cycles are required for each of steps 1 and 4.

In den Schritten 2, 3, 5 und 6 sind acht Schiebeoperationen notwendig, um in der DO-Abtastregistergruppe 30 einen Ausleseerwartungswert einzustellen, und es sind acht Schiebeoperationen notwendig, um in der DI-Abtastregistergruppe 20 einen Schreibwert einzustellen. Außerdem sind neun Schiebeoperationen erforderlich, bis eine Adresse feststeht, und es sind Schiebeoperationen und Schreiboperationen für jede der 1024 Adressen notwendig. Daher sind für jeden der Schritte 2, 3, 5 und 6 jeweils 16+9+1024=1049 Testzyklen erforderlich.In steps 2, 3, 5 and 6, eight shift operations are necessary to set a readout expected value in the DO scan register group 30 , and eight shift operations are necessary to set a write value in the DI scan register group 20 . In addition, nine shift operations are required to determine an address, and shift and write operations are required for each of the 1024 addresses. Therefore, 16 + 9 + 1024 = 1049 test cycles are required for each of steps 2, 3, 5 and 6.

Damit benötigt der Zufalls-March-Test (1041 * 2+1049 * 4)=6278 Testzyklen.The random March test (1041 * 2 + 1049 * 4) = 6278 test cycles.

(3) Besondere Effekte(3) Special effects

Die Anzahl der für den Zufalls-March-Test entsprechend der vorliegenden Ausführungsform notwendigen Testzyklen ist nur 2,2% größer als die der Testzyklen (6144 Testzyklen), die für einen allgemeinen March-Test erforderlich sind. Das ist ausreichend effektiv, um den Anstieg der Testzeit zu unterdrücken.The number of for the random March test corresponding to the necessary test cycles in this embodiment is only 2.2% larger than that of the test cycles (6144 test cycles) required for one general March test are required. That's enough effective to suppress the increase in test time.

Weil das Schiebetaktsignal SCK bei der gegenwärtigen Ausführungsform über den Gatterschaltkreis 60 der DI-Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 zugeführt wird, sind für diese Abtastregistergruppen 20 und 30 keine besonderen Schiebetaktsignale notwendig. Daher wird die Anzahl der Schiebetaktsignalanschlüsse nicht vergrößert, wodurch die Komplexität der Verdrahtung vermindert wird.Because the shift clock signal SCK in the present embodiment is supplied to the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 via the gate circuit 60, no special shift clock signals are necessary for these scan register groups 20 and 30 . Therefore, the number of shift clock signal terminals is not increased, thereby reducing the complexity of the wiring.

Bei der vorliegenden Ausführungsform ist es nicht notwendig, ein unabhängiges Modussteuersignal MD an alle Testschaltkreise 3 anzulegen, und es kann ein gemeinsames Moduseinstellsignal MDST und ein gemeinsames Rückstellsignal RST für alle Testschaltkreise 3 zugeführt werden. Das vermindert die Komplexität der Verdrahtung weiter.In the present embodiment, it is not necessary to apply an independent mode control signal MD to all test circuits 3 , and a common mode setting signal MDST and a common reset signal RST can be supplied for all test circuits 3 . This further reduces the complexity of the wiring.

(4) Detaillierte Struktur jeder Komponente(4) Detailed structure of each component (a) Testschaltkreis 3 (a) Test circuit 3

Die Beziehung zwischen dem Testschaltkreis 3 und dem RAM 2 ist in Fig. 3 dargestellt. Die detaillierte Struktur des Testschaltkreises 3 ist in Fig. 4 gezeigt.The relationship between the test circuit 3 and the RAM 2 is shown in FIG. 3. The detailed structure of the test circuit 3 is shown in FIG. 4.

Wie in Fig. 3 dargestellt ist, werden dem Testschaltkreis 3 Adreßsignale AX(n-1) bis AX(0), ein Chipaktivierungssignal CEX, ein Schreibaktivierungssignal WEX und Schreibdaten DIX(m-1) bis DIX(0) vom Logikschaltkreis 4 (siehe Fig. 2) zugeführt. Der Testschaltkreis 3 gibt Auslesedaten DOX(m-1) bis DOX(0) an den Logikschaltkreis 4 ab. Der Testschaltkreis 3 gibt Adreßsignale A(n-1) bis A(0), ein Chipaktivierungssignal CE, ein Schreibaktivierungssignal WE und Schreibdaten DI(m-1) bis DI(0) an den RAM 2 ab. Dem Testschaltkreis werden vom RAM 2 Auslesedaten DO(m-1) bis DO(0) zugeführt.As shown in Fig. 3, the test circuit 3 address signals AX (n-1) to AX (0), a chip activation signal CEX, a write activation signal WEX and write data DIX (m-1) to DIX (0) from the logic circuit 4 (see Fig. 2) supplied. The test circuit 3 outputs readout data DOX (m-1) to DOX (0) to the logic circuit 4 . The test circuit 3 outputs address signals A (n-1) to A (0), a chip activation signal CE, a write activation signal WE and write data DI (m-1) to DI (0) to the RAM 2 . The test circuit are supplied from the RAM 2 read data DO (m-1) to DO (0).

Wie in Fig. 4 gezeigt ist, weist der Testschaltkreis 3 eine AD- Abtastregistergruppe 100, ein Chipaktivierungs-Abtastregister 200 (im weiteren als CE-Abtastregister bezeichnet), ein Schreibaktivierungs-Abtastregister 300 (im weiteren als WE- Abtastregister bezeichnet), eine Dateneingabe-/-ausgabe- Abtastregistergruppe 400 (im weiteren als DIO-Abtastregistergruppe bezeichnet), ein Blindabtastregister 500 (im weiteren als DMY- Abtastregister bezeichnet), einen rückstellbaren Latch-Schaltkreis 600 und einen Multiplexer 700 auf. Der Testschaltkreis 3 weist ferner Inverterschaltkreise G1 und G2, 2-Eingangs-UND-Schaltkreise G3-G5 und einen 3-Eingangs-UND-Schaltkreis G6 auf.As shown in Fig. 4, the test circuit 3 has an AD scan register group 100 , a chip activation scan register 200 (hereinafter referred to as a CE scan register), a write activation scan register 300 (hereinafter referred to as a WE scan register), data input - / - Output scan register group 400 (hereinafter referred to as DIO scan register group), a blind scan register 500 (hereinafter referred to as DMY scan register), a resettable latch circuit 600 and a multiplexer 700 . The test circuit 3 also has inverter circuits G 1 and G 2 , 2-input AND circuits G 3 -G 5 and a 3-input AND circuit G 6 .

Die AD-Abtastregistergruppe 100 entspricht der AD- Abtastregistergruppe 10 der Fig. 1 und die DIO-Abtastregistergruppe 400 der DI-Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 der Fig. 1. Das DMY-Abtastregister 500 entspricht dem Moduseinstell-Abtastregister 40 der Fig. 1 und der Multiplexer der Auswahleinrichtung 50. Der rückstellbare Latch-Schaltkreis 600 entspricht dem Modussteuer-Latch 70 von Fig. 1.The AD scan register group 100 corresponds to the AD scan register group 10 of FIG. 1 and the DIO scan register group 400 corresponds to the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 of FIG. 1. The DMY scan register 500 corresponds to the mode setting scan register 40 of FIG . 1 and the multiplexer of the selector 50. The resettable latch circuit 600 corresponds to the mode control latch 70 of FIG. 1.

Fig. 5 zeigt ein weiteres Beispiel der Struktur des Testschaltkreises 3. Der in Fig. 5 dargestellte Testschaltkreis 3 unterscheidet sich von dem in Fig. 4 gezeigten in den folgenden Punkten. DMY 500 ist nicht gebildet und ein Ausgangssignal von einem der Mehrzahl von Abtastregistern in der AD-Abtastregistergruppe 100 wird dem rückstellbaren Latch-Schaltkreis 600 zugeführt. Fig. 5 shows another example of the structure of the test circuit 3. The test circuit 3 shown in FIG. 5 differs from that shown in FIG. 4 in the following points. DMY 500 is not formed and an output signal from one of the plurality of scan registers in the AD scan register group 100 is supplied to the resettable latch circuit 600 .

(b) AD-Abtastregistergruppe 100 (b) AD scan register group 100

Fig. 6 zeigt eine Struktur der AD-Abtastregistergruppe 100. Die AD- Abtastregistergruppe 100 weist n Abtastregister 110 (im weiteren als AD-Abtastregister bezeichnet) auf. Diese AD-Abtastregister 110 sind zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SIA und dem seriellen Ausgangsanschluß SOA in Reihe geschaltet, um einen kurzen Abtastpfad zu implementieren (einen Abtastpfad aus n Bit). Der serielle Ausgangsanschluß SOR des jeweiligen AD-Abtastregisters 110 ist mit dem seriellen Eingangsanschluß SIR des AD-Abtastregisters 110 der nachfolgenden Stufe verbunden. Fig. 6 shows a structure of the AD-Abtastregistergruppe 100th The AD scan register group 100 has n scan registers 110 (hereinafter referred to as AD scan registers). These AD scan registers 110 are connected in series between the serial input port SIA and the serial output port SOA to implement a short scan path (an n-bit scan path). The serial output port SOR of the respective AD scan register 110 is connected to the serial input port SIR of the AD scan register 110 of the subsequent stage.

Beim Testen wird die Testadresse des RAM 2 durch eine Schiebeoperation in der AD-Abtastregistergruppe 100 eingestellt.During testing, the test address of RAM 2 is set by a shift operation in AD scan register group 100 .

(c) AD-Abtastregister 110 (c) AD scan register 110

Fig. 7 zeigt eine detaillierte Struktur für das AD-Abtastregister 110. Das AD-Abtastregister 110 weist einen Latch-Schaltkreis L1 und einen 2-Eingang-Latch-Schaltkreis L2 auf. Fig. 7 shows a detailed structure of the AD-scan register 110th The AD sample register 110 has a latch circuit L 1 and a 2-input latch circuit L 2 .

Der Latch-Schaltkreis L1 arbeitet folgendermaßen. Wenn das an den Aktivierungsanschluß EN angelegte Schiebetaktsignal SCK2 einen Aktivierungszustand erreicht, werden Daten vom Eingangsanschluß D eingegeben, um darin gehalten zu werden, wodurch diese Daten vom Ausgangsanschluß Q abgegeben werden.The latch circuit L 1 works as follows. When the shift clock signal SCK 2 applied to the activation terminal EN reaches an activation state, data is input from the input terminal D to be held therein, whereby this data is output from the output terminal Q.

Der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 arbeitet folgendermaßen. Wenn das den ersten Aktivierungsanschluß EN1 zugeführte Chipaktivierungssignal EN1 einen Aktivierungszustand erreicht, werden Daten vom ersten Eingangsanschluß D1 eingegeben, um darin gehalten zu werden, wodurch diese Daten vom Ausgangsanschluß Q abgegeben werden. Wenn das an den zweiten Aktivierungsanschluß EN2 angelegte Schiebetaktsignal SCK1 einen Aktivierungszustand erreicht, werden Daten vom zweiten Eingangsanschluß D2 eingegeben, um darin gespeichert zu werden, wodurch diese Daten vom Ausgangsanschluß Q abgegeben werden. Die gleichzeitige Zuführung eines Signals im Aktivierungszustand an den ersten Aktivierungsanschluß EN1 und den zweiten Aktivierungsanschluß EN2 wird verhindert.The 2-input latch circuit L 2 operates as follows. When the chip activation signal EN 1 supplied to the first activation terminal EN 1 reaches an activation state, data is input from the first input terminal D 1 to be held therein, whereby this data is output from the output terminal Q. When the shift clock signal SCK 1 applied to the second activation terminal EN 2 reaches an activation state, data is input from the second input terminal D 2 to be stored therein, whereby this data is output from the output terminal Q. The simultaneous supply of a signal in the activation state to the first activation connection EN 1 and the second activation connection EN 2 is prevented.

Das Adreßsignal AX(i) vom Logikschaltkreis 4 (siehe Fig. 2) wird dem Eingangsanschluß axi des AD-Abtastregisters 110 zugeführt. Wenn das Chipaktivierungssignal CEA einen Aktivierungszustand erreicht, wird dieses Adreßsignal AX(i) in den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 eingegeben und vom Ausgangsanschluß ai als Adreßsignal A(i) abgegeben. Wenn das Chipaktivierungssignal CEA in einem Aktivierungszustand ist, wird genauer gesagt das Adreßsignal vom Eingangsanschluß axi zum Ausgangsanschluß ai übertragen. In diesem Zustand sind die Adreßanschlüsse des Logikschaltkreises 4 und des RAM 2 logisch miteinander verbunden.The address signal AX (i) from the logic circuit 4 (see FIG. 2) is supplied to the input terminal axi of the AD scan register 110 . When the chip activation signal CEA reaches an activation state, this address signal AX (i) is input to the 2-input latch circuit L 2 and is output from the output terminal ai as the address signal A (i). More specifically, when the chip activation signal CEA is in an activation state, the address signal is transmitted from the input terminal axi to the output terminal ai. In this state, the address connections of the logic circuit 4 and the RAM 2 are logically connected to one another.

Wenn das Chipaktivierungssignal CEA in einem Deaktivierungszustand ist, befinden sich die Adreßanschlüsse des Logikschaltkreises 4 und des RAM 2 in einem nicht-verbundenen Zustand. Zu diesem Zeitpunkt kann eine Schiebeoperation ausgeführt werden, wenn nicht- überlappende Zwei-Phasen-Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 den Aktivierungsanschlüssen EN2 bzw. EN zugeführt werden. Zuerst wird das Schiebetaktsignal SCK1 erster Phase dem Aktivierungsanschluß EN2 des 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises L2 zugeführt, und es werden Daten am seriellen Eingangsanschluß SIR in den 2-Eingangs-Latch- Schaltkreis L2 eingegeben. Da der Ausgangsanschluß Q des 2-Eingangs- Latch-Schaltkreises L2 mit dem Eingangsanschluß des Latch- Schaltkreises L1 verbunden ist, wird das an den Aktivierungsanschluß EN angelegte Schiebetaktsignal SCK2 zweiter Phase in den Latch- Schaltkreis L1 eingegeben, um vom seriellen Ausgangsanschluß SOR abgegeben zu werden. Damit wird eine Schiebeoperation eines Bits vom seriellen Eingangsanschluß SIR zum seriellen Ausgangsanschluß SOR ausgeführt.When the chip activation signal CEA is in a deactivation state, the address connections of the logic circuit 4 and the RAM 2 are in a non-connected state. At this time, a shift operation can be performed when non-overlapping two-phase shift clock signals SCK 1 and SCK 2 are supplied to the activation terminals EN 2 and EN, respectively. First, the first phase shift clock signal SCK 1 is supplied to the activation terminal EN 2 of the 2-input latch circuit L 2 , and data is input to the 2-input latch circuit L 2 at the serial input terminal SIR. Since the output terminal Q of the 2-input latch circuit L 2 is connected to the input terminal of the latch circuit L 1 , the second-phase shift clock signal SCK 2 applied to the activation terminal EN is input to the latch circuit L 1 to switch from the serial Output port SOR to be delivered. With this, a shift operation of a bit from the serial input terminal SIR to the serial output terminal SOR is carried out.

(d) CE-Abtastregister(d) CE scan register

Fig. 8 zeigt eine detaillierte Struktur des CE-Abtastregisters 200. Das CE-Abtastregister 200 weist ähnlich wie das AD-Abtastregister 110 einen Latch-Schaltkreis L1 und einen 2-Eingangs-Latch- Schaltkreis L2 auf, und umfaßt ferner Inverterschaltkreise G11 und G12 und einen 2-Eingangs-NAND-Schaltkreis G13. Fig. 8 shows a detailed structure of the CE-scan register 200th The CE scan register 200 , like the AD scan register 110, has a latch circuit L 1 and a 2-input latch circuit L 2 , and further comprises inverter circuits G 11 and G 12 and a 2-input NAND circuit G 13 .

Die Schiebeoperation des CE-Abtastregisters 200 ist der des AD- Abtastregisters 110 ähnlich. Es werden jedoch Schiebetaktsignale SCK1M und SCK2M als Schiebetaktsignale verwendet, die sich von den Schiebetaktsignalen des AD-Abtastregisters 110 unterscheiden.The shift operation of the CE scan register 200 is similar to that of the AD scan register 110 . However, shift clock signals SCK 1 M and SCK 2 M are used as shift clock signals, which differ from the shift clock signals of the AD scan register 110 .

Beim Normalbetrieb wird das Aktivierungssignal TCE auf einen L-Pegel und das Aktivierungssignal STBM auf einen H-Pegel eingestellt. Damit wird das Aktivierungssignal CEX über den Inverterschaltkreis G12, den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 und den NAND-Schaltkreis G13 zum Ausgangsanschluß übertragen. Das Aktivierungssignal CEX wird vom Inverterschaltkreis G12 invertiert und vom NAND-Schaltkreis G13 weiter invertiert. Daher führen die Logikpegel des Aktivierungssignals CE und des Aktivierungssignals CEX zum selben Pegel.In normal operation, the activation signal TCE is set to an L level and the activation signal STBM to an H level. The activation signal CEX is thus transmitted to the output terminal via the inverter circuit G 12 , the 2-input latch circuit L 2 and the NAND circuit G 13 . The activation signal CEX is inverted by the inverter circuit G 12 and further inverted by the NAND circuit G 13 . Therefore, the logic levels of the activation signal CE and the activation signal CEX lead to the same level.

Beim Testen wird das Aktivierungssignal STBM auf einen niedrigen Pegel und das Aktivierungssignal TCE auf einen L-Pegel eingestellt. Es wird angenommen, daß die Aktivierungssignale STBM und TCE beide aktiv niedrig sind. When testing, the activation signal STBM is low Level and the activation signal TCE set to an L level. It is assumed that the activation signals STBM and TCE are both are actively low.  

Wenn das Ausgangssignal des Ausgangsanschlusses Q des 2-Eingangs- Latch-Schaltkreises L2 durch eine Schiebeoperation auf einen H-Pegel eingestellt ist, wechselt das Aktivierungssignal CE auf einen L-Pegel. Dadurch arbeitet der RAM 2. Wenn das Ausgangssignal des Ausgangsanschlusses Q des 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises L2 auf einen L-Pegel eingestellt ist, wird das Aktivierungssignal TCE nicht zum Ausgangsanschluß ce übertragen, und das Aktivierungssignal CE behält den H-Pegel bei. Daher nimmt der RAM 2 einen Wartezustand ein.When the output signal of the output terminal Q of the 2-input latch circuit L 2 is set to an H level by a shift operation, the activation signal CE changes to an L level. This causes RAM 2 to work . When the output signal of the output terminal Q of the 2-input latch circuit L 2 is set to an L level, the activation signal TCE is not transmitted to the output terminal ce, and the activation signal CE maintains the H level. Therefore, the RAM 2 assumes a waiting state.

Damit kann der Betrieb des RAM 2 durch die im CE-Abtastregister 200 eingestellten Daten gesteuert werden.The operation of the RAM 2 can thus be controlled by the data set in the CE scanning register 200 .

Wenn eine Mehrzahl von RAMs 2 auf dem Halbleiterchip 1 integriert sind, wie das in Fig. 2 gezeigt ist, kann daher ein gewünschter RAM 2 selektiv zum Testen betrieben werden, wenn im SE-Abtastregister 200 eines jeden Testschaltkreises 3 ein gewünschter Wert durch eine Schiebeoperation eingestellt wird.Therefore, when a plurality of RAMs 2 are integrated on the semiconductor chip 1 , as shown in FIG. 2, a desired RAM 2 can be operated selectively for testing when in the SE scan register 200 of each test circuit 3, a desired value by a shift operation is set.

Im CE-Abtastregister 200, das in Fig. 8 dargestellt ist, wird das Aktivierungssignal STBM vom Ausgangsanschluß cea als Aktivierungssignal CEA abgegeben, um dem AD-Abtastregister 110 zugeführt zu werden.In the CE scan register 200 shown in FIG. 8, the activation signal STBM is output from the output terminal cea as the activation signal CEA to be supplied to the AD scan register 110 .

Fig. 9 zeigt ein weiteres Beispiel der Struktur des CE- Abtastregisters 200. Dem CE-Abtastregister 200 ist ein 2-Eingangs- UND-Schaltkreis G14 hinzugefügt worden. Das ermöglicht es, das AD- Abtastregister 110 im Normalbetrieb als Adreß-Latch zu verwenden. Fig. 9 shows another example of the structure of the scan register CE 200th A 2-input AND circuit G 14 has been added to the CE scan register 200 . This enables the AD scan register 110 to be used as an address latch in normal operation.

Das Aktivierungssignal STBM wird im Normalbetrieb auf einen H-Pegel und im Testbetrieb auf einen L-Pegel eingestellt. Daher stimmen im Normalbetrieb die Logikpegel der Aktivierungssignale CEA und CE überein.The activation signal STBM is at an H level in normal operation and set to an L level in test mode. Therefore vote in Normal operation, the logic levels of the activation signals CEA and CE match.

Beim Normalbetrieb wird das (aktiv niedrige) Aktivierungssignal CEX gleichzeitig an die Ausgangsanschlüsse CE und cea übertragen. Wenn das Aktivierungssignal CEA einen L-Pegel annimmt, erreicht der 2- Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 des AD-Abtastregisters 110 von Fig. 7 einen Haltezustand (verriegelt ein Adreßsignal).In normal operation, the (active low) activation signal CEX is transmitted simultaneously to the output connections CE and cea. When the activation signal CEA goes low, the 2-input latch circuit L 2 of the AD scan register 110 of FIG. 7 reaches a hold state (latches an address signal).

Durch Verwendung des in Fig. 9 gezeigten CE-Abtastregisters 200 kann das AD-Abtastregister 110 im Normalbetrieb damit als Adreß-Latch verwendet werden.By using the CE scan register 200 shown in FIG. 9, the AD scan register 110 can thus be used as an address latch in normal operation.

Das in Fig. 8 dargestellte CE-Abtastregister 200 weist keine solche Verriegelungsfunktion auf. Die CE-Abtastregister 200 der Fig. 8 und 9 können entsprechend der jeweiligen Anforderung verwendet werden.The CE scan register 200 shown in FIG. 8 has no such locking function. The CE scan registers 200 of Figures 8 and 9 can be used according to the particular requirement.

(e) WE-Abtastregister 300 (e) WE scan register 300

Fig. 10 zeigt eine detaillierte Struktur des WE-Abtastregisters 300. Die Struktur des WE-Abtastregisters 300 ist der des CE- Abtastregisters 200 von Fig. 8 ähnlich. Fig. 10 shows a detailed structure of the HS-scan register 300th The structure of the WE scan register 300 is similar to that of the CE scan register 200 of FIG. 8.

Die Schiebeoperation des WE-Abtastregisters 300 ist der des AD- Abtastregisters 110 ähnlich (siehe Fig. 7), wobei aber wie im Falle des CE-Abtastregisters 200 der Fig. 8 die Schiebetaktsignale SCK1M und SCK2M als Schiebetaktsignale verwendet werden.The shift operation of the WE scan register 300 is similar to that of the AD scan register 110 (see FIG. 7), but as in the case of the CE scan register 200 of FIG. 8, the shift clock signals SCK 1 M and SCK 2 M are used as shift clock signals.

Im Normalbetrieb wird das Aktivierungssignal TWE auf einen L-Pegel und das Aktivierungssignal STBM auf einen H-Pegel gesetzt. Damit wird das Aktivierungssignal WEX über den Inverterschaltkreis G12, den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 und den NAND-Schaltkreis G13 zum Ausgangsanschluß übertragen. Das Aktivierungssignal WEX wird vom Inverterschaltkreis G12 invertiert und vom NAND-Schaltkreis G13 weiter invertiert, so daß die Logikpegel der Aktivierungssignale WE und WEX im Endergebnis gleich sind.In normal operation, the activation signal TWE is set to an L level and the activation signal STBM to an H level. The activation signal WEX is thus transmitted to the output terminal via the inverter circuit G 12 , the 2-input latch circuit L 2 and the NAND circuit G 13 . The activation signal WEX is inverted by the inverter circuit G 12 and further inverted by the NAND circuit G 13 , so that the logic levels of the activation signals WE and WEX are the same in the end result.

Beim Testen wird das Aktivierungssignal STBM auf einen L-Pegel eingestellt und das Aktivierungssignal TWE nimmt einen L-Pege 56161 00070 552 001000280000000200012000285915605000040 0002004202623 00004 56042l an. Hier wird angenommen, daß das Aktivierungssignal TWE aktiv niedrig ist. During testing, the activation signal STBM is at an L level set and the activation signal TWE assumes an L level 56161 00070 552 001000280000000200012000285915605000040 0002004202623 00004 56042l. Here it is assumed that the activation signal TWE is active low is.  

Wenn das Ausgangssignal des Ausgangsanschlusses Q des 2-Eingangs- Latch-Schaltkreises L2 durch eine Schiebeoperation auf einen H-Pegel eingestellt ist, wird das Aktivierungssignal TWE zum Ausgangsanschluß we übertragen. Daher wird ein Schreibbetrieb ausgeführt, wenn das Aktivierungssignal CE (siehe Fig. 3) des RAM 2 in einem Aktivierungszustand ist. Wenn das Ausgangssignal des Ausgangsanschlusses Q des 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises L2 auf einen L-Pegel eingestellt ist, wird das Aktivierungssignal TWE nicht zum Ausgangsanschluß WE übertragen, und das Aktivierungssignal WE hält einen H-Pegel. Daher wird vom RAM 2 kein Schreibbetrieb ausgeführt.When the output signal of the output terminal Q of the 2-input latch circuit L 2 is set to an H level by a shift operation, the activation signal TWE is transmitted to the output terminal we. Therefore, a write operation is carried out when the activation signal CE (see FIG. 3) of the RAM 2 is in an activation state. When the output signal of the output terminal Q of the 2-input latch circuit L 2 is set at an L level, the activation signal TWE is not transmitted to the output terminal WE, and the activation signal WE maintains an H level. Therefore, write operation is not performed by RAM 2 .

Damit kann der Schreibbetrieb des RAM 2 von den im WE-Abtastregister 300 eingestellten Daten gesteuert werden.The write operation of the RAM 2 can thus be controlled by the data set in the WE scan register 300 .

(f) DIO-Abtastregistergruppe 400 (f) DIO scan register group 400

Fig. 11 zeigt eine detaillierte Struktur der DIO- Abtastregistergruppe 400. Die DIO-Abtastregistergruppe 400 weist m DIO-Abtastregister 410 auf. Schreibdaten DIX(m-1) bis DIX(0) und Auslesedaten DO(m-1) bis DO(0) werden an das DIO-Abtastregister 410 angelegt. Vom DIO-Abtastregister 410 werden Auslesedaten DOX(m-1) bis DOX(0) und Schreibdaten DI(m-1) bis DI(0) abgegeben. Fig. 11 shows a detailed structure of DIO Abtastregistergruppe 400th The DIO scan register group 400 has m DIO scan registers 410 . Write data DIX (m-1) to DIX (0) and readout data DO (m-1) to DO (0) are applied to the DIO scan register 410 . Readout data DOX (m-1) to DOX (0) and write data DI (m-1) to DI (0) are output from the DIO scan register 410 .

Die DIO-Abtastregister 410 sind zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SID und dem seriellen Ausgangsanschluß SOD in Reihe geschaltet, um einen kurzen Abtastpfad zu implementieren (einen Abtastpfad mit m Bit). Der serielle Ausgangsanschluß SOR eines jeden DIO-Abtastregister 410 ist mit dem seriellen Eingangsanschluß SIR des DIO-Abtastregisters 410 der nachfolgenden Stufe verbunden.The DIO scan registers 410 are connected in series between the serial input port SID and the serial output port SOD to implement a short scan path (a m bit scan path). The serial output port SOR of each DIO scan register 410 is connected to the serial input port SIR of the DIO scan register 410 of the subsequent stage.

(g) DIO-Abtastregister 410 (g) DIO scan register 410

Fig. 12 zeigt die detaillierte Struktur des DIO-Abtastregisters 410. Das DIO-Abtastregister 410 weist 2-Eingangs-Latch-Schaltkreise L2a und L2b, Inverterschaltkreise G15 und G16, 2-Eingangs-NAND- Schaltkreise G17 und G18 und einen Exklusiv-ODER-Schaltkreis G19 auf. Schreibdaten DIX(i) vom Logikschaltkreis 4 (siehe Fig. 2) werden dem Eingangsanschluß dix zugeführt. Daten vom RAM 2 (siehe Fig. 2) oder Daten, die im Abtastregister 410 gehalten werden, werden dem Ausgangsanschluß dox zugeführt, der mit dem Logikschaltkreis 4 verbunden ist. Fig. 12 shows the detailed structure of the DIO-scan register 410th The DIO sample register 410 has 2-input latch circuits L 2 a and L 2 b, inverter circuits G 15 and G 16 , 2-input NAND circuits G 17 and G 18 and an exclusive-OR circuit G 19 . Write data DIX (i) from the logic circuit 4 (see Fig. 2) are supplied to the input terminal dix. Data from the RAM 2 (see FIG. 2) or data held in the scan register 410 are supplied to the output terminal dox, which is connected to the logic circuit 4 .

Die Schiebeoperation wird ausgeführt durch Anlegen von zwei Phasen von Schiebetaktsignalen SCK1M und SCK2M an den zweiten Aktivierungsanschluß EN2 der 2-Eingangs-Latch- Schaltkreise L2a und L2b. Im Schiebebetrieb ist es notwendig, das Aktivierungssignal STBM und das Vergleichssignal CMP auf einen L-Pegel und das Testmodussignal TM auf einen H-Pegel zu setzen. Durch die Einstellung wechselt das Ausgangssignal des NAND-Schaltkreises G18 auf einen H-Pegel und das Ausgangssignal des NAND-Schaltkreises G17 auf einen L-Pegel. Daher erreichen die Potentiale der ersten Aktivierungsanschlüsse EN1 in den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreisen L2a undL2b beide einen L-Pegel.The shift operation is carried out by applying two phases of shift clock signals SCK 1 M and SCK 2 M to the second activation connection EN 2 of the 2-input latch circuits L 2 a and L 2 b. In push mode, it is necessary to set the activation signal STBM and the comparison signal CMP to an L level and the test mode signal TM to an H level. The setting changes the output signal of the NAND circuit G 18 to an H level and the output signal of the NAND circuit G 17 to an L level. Therefore, the potentials of the first activation terminals EN 1 in the 2-input latch circuits L 2 a and L 2 b both reach an L level.

Wenn das Schiebetaktsignal SCK1M zugeführt wird, werden Daten vom seriellen Eingangsanschluß SIR an den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2a der ersten Stufe eingegeben. Diese Daten werden vom Inverterschaltkreis G15 invertiert und dem zweiten Eingangsanschluß D2 des 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises L2b der zweiten Stufe zugeführt. Wenn dann das Schiebetaktsignal SCK2M zugeführt wird, werden die invertierten Daten in den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b der zweiten Stufe eingegeben. Diese Daten werden vom Inverterschaltkreis G16 weiter invertiert, um dem seriellen Ausgangsanschluß SOR zugeführt zu werden.When the shift clock signal SCK 1 M is supplied, data from the serial input terminal SIR is input to the 2-input latch circuit L 2 a of the first stage. This data is inverted by the inverter circuit G 15 and fed to the second input terminal D 2 of the 2-input latch circuit L 2 b of the second stage. Then, when the shift clock signal SCK 2 M is supplied, the inverted data is input to the 2-input latch circuit L 2 b of the second stage. This data is further inverted by the inverter circuit G 16 in order to be supplied to the serial output connection SOR.

Damit wird die Schiebeoperation eines Bits durch die Zwei-Phasen- Schiebetaktsignale SCK1M und SCK2M ausgeführt. Die seriellen Daten werden von den Inverterschaltkreisen G15 und G16 zweimal invertiert, so daß die Logikpegel der Daten des seriellen Eingangsanschlusses SIR und derjenigen des seriellen Ausgangsanschlusses SOR identisch sind. The shift operation of a bit is thus carried out by the two-phase shift clock signals SCK 1 M and SCK 2 M. The serial data are inverted twice by the inverter circuits G 15 and G 16 , so that the logic levels of the data of the serial input connection SIR and that of the serial output connection SOR are identical.

Im Normalbetrieb wird das Aktivierungssignal STBM auf einen H-Pegel und das Testmodussignal TM auf einen L-Pegel eingestellt. Durch diese Einstellung erreichen die Potentiale der ersten Aktivierungsanschlüsse EN1 der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreise L2a und L2b beide einen H-Pegel. Zu diesem Zeitpunkt werden Schreibdaten DIX(i), die an den Eingangsanschluß dix angelegt sind, in den 2- Eingangs-Latch-Schaltkreis L2a eingegeben und zum Ausgangsanschluß di übertragen. Dem Eingangsanschluß do zugeführte Auslesedaten DO(i) werden in den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b eingegeben und zum Ausgangsanschluß dox übertragen.In normal operation, the activation signal STBM is set to an H level and the test mode signal TM to an L level. With this setting, the potentials of the first activation connections EN 1 of the 2-input latch circuits L 2 a and L 2 b both reach an H level. At this time, write data DIX (i) applied to the input terminal dix is input to the 2-input latch circuit L 2 a and transferred to the output terminal di. Readout data DO (i) supplied to the input terminal do is input into the 2-input latch circuit L 2 b and transmitted to the output terminal dox.

In diesem Zustand sind die Dateneingangs-/Datenausgangsanschlüsse des RAM 2 und des Logikschaltkreises 4 logisch miteinander verbunden.In this state, the data input / data output terminals of the RAM 2 and the logic circuit 4 are logically connected to each other.

Beim Testen wird das Testmodussignal TM auf einen H-Pegel gesetzt. Zu diesem Zeitpunkt werden die Schreibdaten und die Ausleseerwartungsdaten, die dem RAM 2 zugeführt werden sollen, durch eine Schiebeoperation im DIO-Abtastregister 410 eingestellt. Die Schreibdaten werden im 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2a eingestellt, und die vom Inverterschaltkreis G15 invertierten Daten werden zu den Ausleseerwartungsdaten. Die in den 2-Eingangs-Latch-Schaltkreisen L2a und L2b durch die Schiebeoperation gehaltenen Daten weisen entgegengesetzte Logikpegel auf. Daher werden die Ausleseerwartungsdaten auch im 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b eingestellt.During testing, the test mode signal TM is set to an H level. At this time, the write data and the readout expectation data to be supplied to the RAM 2 are set by a shift operation in the DIO scan register 410 . The write data is set in the 2-input latch circuit L 2 a, and the data inverted by the inverter circuit G 15 becomes the readout expectation data. The data held in the 2-input latch circuits L 2 a and L 2 b by the shift operation have opposite logic levels. Therefore, the readout expectation data is also set in the 2-input latch circuit L 2 b.

Die vom RAM 2 ausgegebenen Auslesedaten Do(i) werden dem Eingangsanschluß do zugeführt. Diese Auslesedaten DO(i) werden vom Exklusiv-ODER-Schaltkreis G19 mit Ausleseerwartungsdaten (dem Ausgangssignal des Inverterschaltkreises G15) verglichen. Wenn der RAM 2 fehlerfrei ist, erreicht das Ausgangssignal des Exklusiv-ODER- Schaltkreises G19 einen L-Pegel. Existiert im RAM 2 ein Fehler (wenn Daten vom RAM 2 ausgelesen werden, die sich von den Ausleseerwartungsdaten unterscheiden), nimmt das Ausgangssignal des Exklusiv-ODER-Schaltkreises G19 einen H-Pegel an. The readout data Do (i) output from the RAM 2 are supplied to the input terminal do. These readout data DO (i) are compared by the exclusive OR circuit G 19 with readout expectation data (the output signal of the inverter circuit G 15 ). If the RAM 2 is free of errors, the output signal of the exclusive-OR circuit G 19 reaches an L level. If there is an error in RAM 2 (when reading data from RAM 2 that is different from the readout expectation data), the output signal of the exclusive-OR circuit G 19 assumes an H level.

In diesem Zustand wechselt das Vergleichssignal CMP zu einem H- Pegel. Ist der RAM 2 fehlerfrei, hält der Ausgang des NAND- Schaltkreises G18 einen H-Pegel. Existiert im RAM 2 ein Fehler, wird am Ausgangsanschluß des NAND-Schaltkreises G18 ein aktiv niedriges Taktsignal erzeugt. Das Ausgangssignal des NAND-Schaltkreises G18 wird vom NAND-Schaltkreis G17 invertiert und dem ersten Aktivierungsanschluß EN1 des 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises L2b zugeführt. Wenn der RAM 2 fehlerfrei ist, wird das Potential des ersten Aktivierungsanschlusses EN1 daher auf einem L-Pegel gehalten. Existiert im RAM 2 ein Fehler, wird dem ersten Aktivierungsanschluß EN1 ein aktiv hohes Taktsignal zugeführt.In this state, the comparison signal CMP changes to an H level. If the RAM 2 is free of errors, the output of the NAND circuit G 18 maintains an H level. If there is an error in RAM 2 , an active low clock signal is generated at the output terminal of NAND circuit G 18 . The output signal of the NAND circuit G 18 is inverted by the NAND circuit G 17 and fed to the first activation terminal EN 1 of the 2-input latch circuit L 2 b. When the RAM 2 is free of errors, the potential of the first activation connection EN 1 is therefore kept at an L level. If an error exists in RAM 2 , an active high clock signal is fed to the first activation connection EN 1 .

Wenn Daten aus dem RAM 2 ausgelesen werden, die sich von den Ausleseerwartungsdaten unterscheiden, wird dem ersten Aktivierungsanschluß EN1 des 2-Eingangs-Latch-Schaltkreises L2b ein aktiv hohes Taktsignal zugeführt. Daher werden die aus dem RAM 2 ausgelesenen Daten (Daten mit einem Logikpegel, der dem der Ausleseerwartungsdaten entgegengesetzt ist) in den 2-Eingangs-Latch- Schaltkreis L2b eingegeben. Damit werden die im 2-Eingangs-Latch- Schaltkreis L2b gehaltenen Daten invertiert. Wenn der RAM 2 fehlerfrei ist tritt eine solche Inversion der gehaltenen Daten nicht auf. Das bedeutet, daß der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b das Testergebnis des RAM 2 hält.When data are read out from the RAM 2 which differ from the readout expected data, the first activation connection EN 1 of the 2-input latch circuit L 2 b is supplied with an active high clock signal. Therefore, the data read out from the RAM 2 (data with a logic level opposite to that of the readout expectation data) is input to the 2-input latch circuit L 2 b. The data held in the 2-input latch circuit L 2 b are thus inverted. If the RAM 2 is error-free, such an inversion of the held data does not occur. This means that the 2-input latch circuit L 2 b holds the test result of the RAM 2 .

Fig. 13 zeigt ein weiteres Beispiel einer Struktur des DIO- Abtastregisters 410. Im DIO-Abtastregister 410 der Fig. 13 stellt der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b den Latch-Schaltkreis der ersten Stufe dar, und der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2a ist der Latch-Schaltkreis der zweiten Stufe. Das ist dem Fall des DIO- Abtastregisters 410 von Fig. 12 entgegengesetzt. Der 2-Eingangs- Latch-Schaltkreis L2a der zweiten Stufe hält Schreibdaten und Auleseerwartungsdaten, und der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b der ersten Stufe hält die Testergebnisse im DIO-Abtastregister 410. Fig. 13 shows another example of a structure of the scan register DIO 410th In the DIO sample register 410 of FIG. 13, the 2-input latch circuit L 2 b represents the latch circuit of the first stage, and the 2-input latch circuit L 2 a is the latch circuit of the second stage . This is the opposite of the DIO scan register 410 of FIG . The 2-input latch circuit L 2 a of the second stage holds write data and readout expectation data, and the 2-input latch circuit L 2 b of the first stage holds the test results in the DIO scan register 410 .

Die in Fig. 11 gezeigte DIO-Abtastregistergruppe 400 wird unter Verwendung des DIO-Abtastregisters 410 von Fig. 12 oder Fig. 13 konstruiert. The DIO scan register group 400 shown in FIG. 11 is constructed using the DIO scan register 410 of FIG. 12 or FIG. 13.

Das DIO-Abtastregister 410 stellt eine wesentliche Strukturkomponente der vorliegenden Erfindung dar. Das in den Fig. 12 und 13 dargestellte DIO-Abtastregister 410 ist dadurch gekennzeichnet, daß einer der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreise Schreibdaten und Ausleseerwartungsdaten (invertierte Daten der Schreibdaten) und der andere der 2-Eingangs-Latch-Schaltkreise das Testergebnis hält.The DIO scan register 410 represents an essential structural component of the present invention. The DIO scan register 410 shown in FIGS . 12 and 13 is characterized in that one of the 2-input latch circuits write data and readout expectation data (inverted data of the write data) and the other of the 2-input latch circuits holds the test result.

(h) DMY-Abtastregister 500 (h) DMY scan register 500

Fig. 14 zeigt eine detaillierte Struktur des DMY-Abtastregisters 500. Das DMY-Abtastregister 500 weist Latch-Schaltkreise L1a und L1b auf. Das DMY-Abtastregister 500 ist ein einfaches Schieberegister, das von zwei Pahsen von Schiebetaktsignalen betrieben wird. Fig. 14 shows a detailed structure of the scan register DMY 500th The DMY scan register 500 has latch circuits L 1 a and L 1 b. The DMY scan register 500 is a simple shift register that is operated by two phases of shift clock signals.

Wenn das Schiebetaktsignal der ersten Phase zugeführt wird, werden Daten am seriellen Eingangsanschluß SIR in den Latch-Schaltkreis L1a eingegeben. Da der Ausgangsanschluß Q des Latch-Schaltkreises L1a mit dem Eingangsanschluß D des Latch-Schaltkreises L1b verbunden ist, bewirkt die Zuführung des Schiebetaktsignals SCK2M zweiter Phase, daß die Daten in den Latch-Schaltkreis L1b eingegeben und am seriellen Ausgangsanschluß SOR ausgegeben werden.When the shift clock signal of the first phase is supplied, data are input to the latch circuit L 1 a at the serial input terminal SIR. Since the output terminal Q of the latch circuit L 1 a is connected to the input terminal D of the latch circuit L 1 b, the supply of the shift clock signal SCK 2 M second phase causes the data to be entered into the latch circuit L 1 b and on serial output port SOR are output.

Damit wird die Schiebeoperation eines Bits vom seriellen Eingangsanschluß SIR zum seriellen Ausgangsanschluß SOR ausgeführt.The shift operation of a bit from the serial Input connection SIR to the serial output connection SOR executed.

(i) Latch-Schaltkreis L1 (i) Latch circuit L 1

Fig. 15 zeigt ein Beispiel der Struktur des Latch-Schaltkreises L1 (ein Beispiel eines CMOS-Schaltkreises). Der Latch-Schaltkreis L1 weist N-Kanal Transistoren N1-N3, P-Kanal Transistoren P1-P3 und Inverterschaltkriese G20-G22 auf. Fig. 15 shows an example of the structure of the latch circuit L is 1 (an example of a CMOS circuit). The latch circuit L 1 has N-channel transistors N 1 -N 3 , P-channel transistors P 1 -P 3 and inverter switching circuit G 20 -G 22 .

Wenn dem Aktivierungsanschluß EN ein Signal mit H-Pegel zugeführt wird, nimmt das Ausgangssignal des Inverterschaltkreises G20 einen L-Pegel an. Damit schalten die Transistoren N3 und P3 durch und die Transistoren P1 und N1 sperren. Die dem Eingangsanschluß D zugeführten Daten durchlaufen die Transistoren N3 und P3 und werden vom Inverterschaltkreis G21 invertiert. Dieser Wert wird vom Inverterschaltkreis G22 nochmals invertiert und zum Ausgangsanschluß Q übertragen. Damit tritt keine Dateninversion zwischen dem Eingangsanschluß D und dem Ausgangsanschluß Q auf.When an H-level signal is supplied to the activation terminal EN, the output signal of the inverter circuit G 20 becomes an L-level. The transistors N 3 and P 3 thus switch through and the transistors P 1 and N 1 block. The data supplied to the input terminal D pass through the transistors N 3 and P 3 and are inverted by the inverter circuit G 21 . This value is inverted again by the inverter circuit G 22 and transmitted to the output terminal Q. There is therefore no data inversion between the input terminal D and the output terminal Q.

Wenn ein Signal mit L-Pegel dem Aktivierungsanschluß EN zugeführt wird, nimmt der Ausgang des Inverterschaltkreises G20 einen H-Pegel an. Damit werden die Transistoren N3 und P3 und die Transistoren P1 und N1 gesperrt. Damit wird der Source des Transistors P2 das Versorgungspotential VDD und der Source des Transistors N2 das Massepotential GND zugeführt. Da die Gates und auch die Drains der Transistoren N2 und P2 miteinander verbunden sind, wirkt das Transistorpaar N2 und P2 als Inverterschaltkreis.When an L level signal is supplied to the activation terminal EN, the output of the inverter circuit G 20 assumes an H level. The transistors N 3 and P 3 and the transistors P 1 and N 1 are thus blocked. The source of the transistor P 2 is thus supplied with the supply potential VDD and the source of the transistor N 2 with the ground potential GND. Since the gates and also the drains of the transistors N 2 and P 2 are connected to one another, the transistor pair N 2 and P 2 acts as an inverter circuit.

Der Inverterschaltkreis mit der oben beschriebenen Struktur implementiert mit dem Inverterschaltkreis G21 eine Speicherschleife. Mit anderen Worten wird das Ausgangssignal von einem dem Eingang des anderen zugeführt. Die in dieser Speicherschleife gehaltenen Daten werden dem Ausgangsanschluß Q zugeführt.The inverter circuit with the structure described above implements a memory loop with the inverter circuit G 21 . In other words, the output signal is supplied from one to the input of the other. The data held in this memory loop is supplied to the output terminal Q.

Die in der Speicherschleife gehaltenen Daten stellen die Daten dar, die dem Eingangsanschluß D zugeführt werden, unmittelbar bevor das Signal am Aktivierungsanschluß EN auf einen L-Pegel wechselt.The data held in the memory loop represents the data which are fed to the input terminal D immediately before that Signal at the activation terminal EN changes to an L level.

(j) Rückstellbarer Latch-Schaltkreis 600 (j) Resettable latch circuit 600

Fig. 16 zeigt eine detaillierte Struktur des rückstellbaren Latch- Schaltkreises 600. Der rückstellbare Latch-Schaltkreis 600 unterscheidet sich dahingeghend vom Latch-Schaltkreis L1, der in Fig. 15 gezeigt ist, daß ein 2-Eingangs-NAND-Schaltkreis G23 anstelle des Inverterschaltkreises G21 gebildet ist. Fig. 16 shows a detailed structure of the resettable latch circuit 600th The resettable latch circuit 600 differs from the latch circuit L 1 shown in FIG. 15 in that a 2-input NAND circuit G 23 is formed in place of the inverter circuit G 21 .

Wenn dem Rückstellanschluß R ein Signal mit H-Pegel zugeführt wird, wirkt der NAND-Schaltkreis G23 als Inverterschaltkreis. In diesem Zustand führt der rückstellbare Latch-Schaltkreis 600 eine Operation aus, die der des Latch-Schaltkreises L1 von Fig. 15 ähnlich ist. Genauer gesagt werden die an den Eingangsanschluß D angelegten Daten zum Ausgangsanschluß Q übertragen, wenn ein Signal mit H-Pegel dem Aktivierungsanschluß EN zugeführt wird. Wenn dem Aktivierungsanschluß EN ein Signal mit L-Pegel zugeführt wird, werden die Daten gehalten, die dem Eingangsanschluß D unmittelbar bevor das Signal am Aktivierungsanschluß EN auf einen L-Pegel wechselt.When a high level signal is supplied to the reset terminal R, the NAND circuit G 23 acts as an inverter circuit. In this state, the resettable latch circuit 600 performs an operation similar to that of the latch circuit L 1 of FIG. 15. More specifically, the data applied to the input terminal D is transmitted to the output terminal Q when an H level signal is supplied to the activation terminal EN. When an L-level signal is supplied to the activation terminal EN, the data is held which is input terminal D immediately before the signal at the activation terminal EN changes to an L-level.

Wird dem Rückstellanschluß R ein Signal mit L-Pegel zugeführt, wechselt das Ausgangssignal des NAND-Schaltkreises G23 auf einen H- Pegel, so daß ein Signal mit L-Pegel dem Ausgangsanschluß Q zugeführt wird, das ein invertiertes Signal des Ausgangssignals darstellt. Mit anderen Worten wird der rückstellbare Latch- Schaltkreis 600 zurückgestellt. Damit ist der Rückstellanschluß R des rückstellbaren Latch-Schaltkreises 600 aktiv niedrig.If the reset terminal R is supplied with an L level signal, the output signal of the NAND circuit G 23 changes to an H level, so that an L level signal is supplied to the output terminal Q, which represents an inverted signal of the output signal. In other words, the resettable latch circuit 600 is reset. The reset connection R of the resettable latch circuit 600 is thus actively low.

(k) 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 (k) 2-input latch circuit L 2

Fig. 17 zeigt ein Beispiel einer Struktur des 2-Eingangs-Latch- Schaltkreises L2 (ein Beispiel eines CMOS-Schaltkreises). Der 2- Eingangs-Latch-Schaltkreis L2 weist N-Kanal Transistoren N1-N5, P- Kanal Transistoren P1-P5 und Inverterschaltkreise G20, G21, G22 und G24 auf. Fig. 17 shows an example of a structure of the 2-input latch circuit L 2 (an example of a CMOS circuit). The 2-input latch circuit L 2 has N-channel transistors N 1 -N 5 , P-channel transistors P 1 -P 5 and inverter circuits G 20 , G 21 , G 22 and G 24 .

Die ersten und zweiten Aktivierungsanschlüsse EN1 und EN2 sind aktiv hoch, und es wird verhindert, daß beide gleichzeitig auf Potentiale eines H-Pegels gesetzt werden.The first and second activation connections EN 1 and EN 2 are actively high, and it is prevented that both are set to potentials of an H level at the same time.

Wenn ein Signal mit L-Pegel sowohl dem ersten Aktivierungsanschluß EN1 als auch dem zweiten Aktivierungsanschluß EN2 zugeführt wird, nehmen die Ausgänge der Inverterschaltkreise G20 und G24 beide einen H-Pegel an. Damit werden die Transistoren N3, P3, N5 und P5 und die Transistoren P1, N1, P4 und N4 gesperrt. Daher wird der Source des Transistors P2 das Versorgungspotential VDD und der Source des Transistors N2 das Massepotential GND zugeführt. Da die Gates und Drains der Transistoren N2 und P2 miteinander verbunden sind, arbeitet das Transistorpaar N2, P2 als Inverterschaltkreis.When an L level signal is applied to both the first activation terminal EN 1 and the second activation terminal EN 2 , the outputs of the inverter circuits G 20 and G 24 both assume an H level. The transistors N 3 , P 3 , N 5 and P 5 and the transistors P 1 , N 1 , P 4 and N 4 are thus blocked. Therefore, the source of the transistor P 2 is supplied with the supply potential VDD and the source of the transistor N 2 with the ground potential GND. Since the gates and drains of the transistors N 2 and P 2 are connected to one another, the transistor pair N 2 , P 2 works as an inverter circuit.

Der Inverterschaltkreis der oben beschriebenen Struktur implementiert mit dem Inverterschaltkreis G21 eine Speicherschleife. Mit anderen Worten wird das Ausgangssignal des einen dem Eingang des anderen zugeführt. Die in dieser Speicherschleife gehaltenen Daten werden vom Ausgangsanschluß Q abgegeben.The inverter circuit of the structure described above implements a memory loop with the inverter circuit G 21 . In other words, the output signal of one is fed to the input of the other. The data held in this memory loop is output from the output terminal Q.

Die in der Speicherschleife gehaltenen Daten stellen die Daten dar, die dem ersten oder zweiten Eingangsanschluß D1 bzw. D2 zugeführt werden, wenn eines der Signale am ersten oder zweiten Aktivierungsanschluß EN1 bzw. EN2 auf einem H-Pegel liegt.The data held in the memory loop represents the data that are supplied to the first or second input connection D 1 or D 2 when one of the signals at the first or second activation connection EN 1 or EN 2 is at an H level.

Wird dem ersten Aktivierungsanschluß EN1 ein Signal mit H-Pegel zugeführt, nimmt der Ausgang des Inverterschaltkreises G24 einen L- Pegel an. Damit sind die Transistoren N5 und P5 durchgeschaltet und die Transistoren P4 und N4 sperren. Die dem ersten Eingangsanschluß D1 zugeführten Daten durchlaufen die Transistoren N5 und P5 und werden vom Inverterschaltkreis G21 invertiert. Diese Daten werden vom Inverterschaltkreis G22 erneut invertiert und dem Ausgangsanschluß Q zugeführt. Daher tritt zwischen dem ersten Eingangsanschluß D1 und dem Ausgangsanschluß Q keine Dateninversion auf.If a signal with H level is supplied to the first activation connection EN 1 , the output of the inverter circuit G 24 assumes an L level. So that the transistors N 5 and P 5 are turned on and the transistors P 4 and N 4 block. The data supplied to the first input terminal D 1 pass through the transistors N 5 and P 5 and are inverted by the inverter circuit G 21 . This data is inverted again by the inverter circuit G 22 and supplied to the output terminal Q. Therefore, no data inversion occurs between the first input terminal D 1 and the output terminal Q.

Wird dem zweiten Aktivierungsanschluß EN2 ein Signal mit H-Pegel zugeführt, nimmt der Ausgang des Inverterschaltkreises G20 einen L- Pegel an. Damit sind die Transistoren N3 und P3 durchgeschaltet und die Transistoren P1 und N1 sperren. Die dem zweiten Eingangsanschluß D2 zugeführten Daten durchlaufen die Transistoren N3 und P3 und werden vom Inverterschaltkreis G21 invertiert. Diese Daten werden vom Inverterschaltkreis G22 erneut invertiert und dem Ausgangsanschluß Q zugeführt. Daher tritt zwischen dem zweiten Eingangsanschluß D2 und dem Ausgangsanschluß Q keine Dateninversion auf. If a signal with the H level is fed to the second activation connection EN 2 , the output of the inverter circuit G 20 assumes an L level. So that the transistors N 3 and P 3 are turned on and the transistors P 1 and N 1 block. The data supplied to the second input terminal D 2 pass through the transistors N 3 and P 3 and are inverted by the inverter circuit G 21 . This data is inverted again by the inverter circuit G 22 and supplied to the output terminal Q. Therefore, no data inversion occurs between the second input terminal D 2 and the output terminal Q.

(5) Betrieb des Testschaltkreises 3 (Fig. 5)(5) Operation of the test circuit 3 ( Fig. 5)

Im folgenden wird der Betrieb des Testschaltkreises 3 erläutert: Vom Ausgangsanschluß Q des rückstellbaren Latch-Schaltkreises 600 wird das Modussteuersignal MD abgegeben. Die Zustände werden als Nicht- Umgehungszustand bzw. Umgehungszustand bezeichnet, wenn das Modussteuersignal MD gleich "0" bzw. gleich "1" ist. Der Inverterschaltkreis G2 gibt ein invertiertes Signal des Modussteuersignals MD ab.The operation of the test circuit 3 is explained below: The mode control signal MD is output from the output terminal Q of the resettable latch circuit 600 . The states are referred to as a non-bypass state or a bypass state when the mode control signal MD is "0" or "1". The inverter circuit G 2 outputs an inverted signal of the mode control signal MD.

(a) Betrieb im Umgehungszustand(a) Bypass operation

Der Multiplexer 700 wählt die Daten des seriellen Eingangsanschlusses SIB aus, um sie dem seriellen Ausgangsanschluß SOB zuzuführen. Mit anderen Worten umgehen die seriellen Daten die Abtastregistergruppen 100, 200, 300, 400 un 500. Zu diesem Zeitpunkt wird das Ausgangssignal des Inverterschaltkreises G2 gleich "0" und die Ausgangssignale er UND-Schaltkreise G4, G5 und G6 sind auf "0" fixiert. Selbst wenn die Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 ausgegeben werden, werden sie daher nicht dem CE-Abtastregister 200, dem WE-Abtastregister 300, der DIO-Abtastregistergruppe 400 und dem DMY-Abtastregister 500 zugeführt. Die in den Abtastregistergruppen 200, 300, 400 und 500 gehaltenen Daten ändern sich daher nicht.The multiplexer 700 selects the data from the serial input port SIB to be supplied to the serial output port SOB. In other words, the serial data bypasses scan register groups 100, 200, 300, 400 and 500 . At this time, the output signal of the inverter circuit G 2 becomes "0" and the output signals of the AND circuits G 4 , G 5 and G 6 are fixed at "0". Therefore, even when the shift clock signals SCK 1 and SCK 2 are output, they are not supplied to the CE scan register 200 , the WE scan register 300 , the DIO scan register group 400 and the DMY scan register 500 . The data held in the scan register groups 200, 300, 400 and 500 therefore do not change.

Andererseits werden die Schiebetaktsignale SCK1 und SCKL2 der AD- Abtastregistergruppe 100 direkt zugeführt. Die AD- Abtastregistergruppe 100 führt damit selbst im Umgehungszustand einen Schiebebetrieb aus.On the other hand, the shift clock signals SCK 1 and SCKL 2 are directly supplied to the AD scan register group 100 . The AD scan register group 100 thus executes a shift operation even in the bypass state.

Wenn ein aktiv niedriges Abtastsignal STB zugeführt wird, wird das Aktivierungssignal STBM auf "0" fixiert, auch wenn das aktiv hohe Vergleichssignal CMP erzeugt wird. Dieses Vergleichssignal CMP wird zur Prüfung des RAM 2 verwendet. When an active low scan signal STB is supplied, the activation signal STBM is fixed at "0" even if the active high comparison signal CMP is generated. This comparison signal CMP is used to test the RAM 2 .

(b) Betrieb im Nicht-Umgehungszustand(b) Non-bypass operation

Der Multiplexer 700 wählt die Daten des seriellen Ausgangsanschlusses SOR des DMY 500 (siehe Fig. 14) aus, um diese dem seriellen Ausgangsanschluß SOB zuzuführen. Mit anderen Worten durchlaufen die seriellen Daten die Abtastregistergruppen 100, 200, 300, 400 und 500.The multiplexer 700 selects the data of the serial output connection SOR of the DMY 500 (see FIG. 14) in order to supply it to the serial output connection SOB. In other words, the serial data passes through scan register groups 100, 200, 300, 400 and 500 .

Das Ausgangssignal des Inverterschaltkreises G2 wird gleich "1". Wenn das Testmodussignal TM auf "1" gesetzt und die Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 zugeführt werden, durchlaufen diese Schiebetaktsignale die UND-Schaltkreise G5 und G6 und werden den Abtastregistergruppen 200, 300, 400 und 500 als Schiebetaktsignale SCK1M und SCK2M zugeführt. Damit führen die Abtastregistergruppen 200, 300, 400 und 500 einen Schiebebetrieb aus.The output signal of the inverter circuit G 2 becomes "1". When the test mode signal TM is set to "1" and the shift clock signals SCK 1 and SCK 2 are supplied, these shift clock signals pass through the AND circuits G 5 and G 6 and become the scan register groups 200, 300, 400 and 500 as shift clock signals SCK 1 M and SCK 2 M fed. With this, the scan register groups 200, 300, 400 and 500 perform a shift operation.

Zu diesem Zeitpunkt werden die Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 der AD-Abtastregistergruppe 100 direkt zugeführt, so daß die AD- Abtastregistergruppe 100 gleichzeitig mit den anderen Abtastregistergruppen 200, 300, 400 und 500 einen Schiebebetrieb ausführt. Im Nicht-Umgehungszustand ist das Vergleichssignal CMP auf "0" fixiert.At this time the shift clock signals SCK 1 and SCK 2 are the AD Abtastregistergruppe fed directly to 100 so that the AD Abtastregistergruppe 100 executes simultaneously with the other Abtastregistergruppen 200, 300, 400 and 500 shift operation. In the non-bypass state, the comparison signal CMP is fixed at "0".

(c) Zusammenfassung des Betriebs(c) Summary of operations

Im Umgehungszustand werden die seriellen Daten vom seriellen Eingangsanschluß SIB direkt zum seriellen Ausgangsanschluß SOB übertragen, und nur die AD-Abtastregistergruppe 100 führt den Schiebebetrieb aus. Im Nicht-Umgehungszustand werden die seriellen Daten des seriellen Eingangsanschlusses SIB in allen Abtastregistern im Testschaltkreis 3 verschoben, um zum seriellen Ausgangssanschluß SOB übertragen zu werden. Beim Testen des RAM 2 wird der Multiplexer 700 in einen Umgehungszustand versetzt, und ein aktiv niedriges Abtastsignal STB wird zugeführt, um das Vergleichssignal CMP zu erzeugen. In the bypass state, the serial data is transferred from the serial input terminal SIB directly to the serial output terminal SOB, and only the AD scan register group 100 carries out the shift operation. In the non-bypass state, the serial data of the serial input port SIB in all the scan registers in the test circuit 3 are shifted to be transmitted to the serial output port SOB. When testing RAM 2 , multiplexer 700 is placed in a bypass state and an active low strobe signal STB is provided to generate comparison signal CMP.

(6) Betrieb im Zufalls-March-Test(6) Operation in the Random March Test

Im folgenden wird ein Zufalls-March-Test beschrieben, der den in Fig. 4 gezeigten Testschaltkreis 3 benutzt.A random March test using the test circuit 3 shown in Fig. 4 will be described below.

(a) Initialisierungsoperation (siehe Fig. 18)(a) Initialization operation (see Fig. 18) <1< Rückstellzyklus (Schritt 1; siehe Fig. 19)<1 <reset cycle (step 1; see Fig. 19)

Zuerst nimmt das Rückstellsignal RST einen L-Pegel an. Das bewirkt, daß das vom Latch-Schaltkreis 600 ausgegebene Modussteuersignal MD nach "0" wechselt. Damit wird der Testschaltkreis 3 in einen Nicht- Umgehungszustand versetzt. Daher können alle Abtastregister eine Verschiebung ausführen.First, the reset signal RST assumes an L level. This causes the mode control signal MD output from the latch circuit 600 to change to "0". This places the test circuit 3 in a non-bypass state. Therefore, all scan registers can perform a shift.

<2< Abtast-Ein-Zyklus (Schritte S2, S3; siehe Fig. 20)<2 <scan-on cycle (steps S 2 , S 3 ; see Fig. 20)

Die Mehrzahl der in Fig. 2 gezeigten Testschaltkreise 3 ist in Reihe geschaltet, um einen langen Abtastpfad zu implementieren. Alle der Mehrzahl von Testschaltkreisen 3 befinden sich in einem Nicht- Umgehungszustand, so daß alle Abtastregister eine Verschiebung ausführen können. Daher kann durch eine Schiebeoperation in einem Abtastregister an einer beliebigen Stelle im jeweiligen Testschaltkreis 3 ein Wert eingestellt werden. Das wird als Abtast- Ein-Operation bezeichnet. Fig. 20 zeigt die Abtast-Ein-Operation eines Bits.The majority of the test circuits 3 shown in FIG. 2 are connected in series to implement a long scan path. All of the plurality of test circuits 3 are in a non-bypass state so that all of the scan registers can perform a shift. Therefore, a value can be set by a shift operation in a scan register at any point in the respective test circuit 3 . This is called a scan-on operation. Fig. 20 shows the scan on operation of a bit.

Vor der Prüfung des RAM 2 wird durch die Abtast-Ein-Operation in jedem Abtastregister ein Anfangswert eingestellt. Das DMY- Abtastregister 500 in allen Testschaltkreisen 3 wird auf "1" gesetzt. Im Testschaltkreis 3 des zu prüfenden RAM 2 wird eine "1" im CE-Abtastregister 200 und im WE-Abtastregister 300 eingestellt. Es wird ein gewünschter Anfangswert, z. B. eine Adresse 0, in der AD- Abtastregistergruppe 100 eingestellt und Schreibdaten werden in der DIO-Abtastregistergruppe 400 gesetzt. Before the RAM 2 is checked, the scan-on operation sets an initial value in each scan register. The DMY scan register 500 in all test circuits 3 is set to "1". In the test circuit 3 of the RAM 2 to be tested, a "1" is set in the CE scanning register 200 and in the WE scanning register 300 . A desired initial value, e.g. B. An address 0 is set in the AD scan register group 100 and write data is set in the DIO scan register group 400 .

<3< Moduseinstellzyklus (Schritt S4; siehe Fig. 21)<3 <mode setting cycle (step S 4 ; see Fig. 21)

Als nächstes wird ein Moduseinstellsignal MDST mit einem H-Pegel- Impuls zugeführt. Das bewirkt, daß alle Modussteuersignale MD, die vom rückstellbaren Latch-Schaltkreis 600 in allen Testschaltkreisen 3 ausgegeben werden, gleich "1" werden, wodurch alle Testschaltkreise 3 in einen Umgehungszustand versetzt sind. In diesem Zustand werden dieselben Daten (Daten des seriellen Eingangsanschlusses SIC) dem seriellen Eingangsanschluß SIB aller Testschaltkreise 3 zugeführt.Next, a mode setting signal MDST with an H-level pulse is supplied. This causes all the mode control signals MD output from the resettable latch circuit 600 in all test circuits 3 to become "1", whereby all test circuits 3 are set in a bypass state. In this state, the same data (data of the serial input connection SIC) are supplied to the serial input connection SIB of all test circuits 3 .

Da die AD-Abtastregistergruppe 100 selbst im Umgehungszustand einen Schiebebetrieb ausführen kann, können die Daten des seriellen Eingangsanschlusses SIC in die AD-Abtastregistergruppe 100 des jeweiligen Testschaltkreises 3 eingeschoben werden.Since the AD scan register group 100 can carry out a shift operation even in the bypass state, the data of the serial input connection SIC can be inserted into the AD scan register group 100 of the respective test circuit 3 .

Im Zufalls-March-Test wird die Testadresse durch Einschieben der totalen Zufallsfolge in die AD-Abtastregistergruppe 100 aktualisiert.In the random March test, the test address is updated by inserting the total random sequence into the AD scan register group 100 .

(b) Write-All-Operation (siehe Fig. 22)(b) Write All Operation (see Fig. 22)

Eine Prozedur des Zufalls-March-Testes schreibt in alle Adressen, während die Adresse durch das Einschieben der totalen Zufallsfolge aktualisiert wird. Das wird das Write-All-Operation bezeichnet (Schritte S11, S12; siehe Abb. 23).A random March test procedure writes to all addresses, while the address is updated by inserting the total random sequence. This is called the write-all operation (steps S 11 , S 12 ; see Fig. 23).

Die Zuführung der Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 bewirkt die Aktualisierung des Inhalts der AD-Abtastregistergruppe 100. Das Adreßsignal A(i) wird mit der Taktung des Schiebetaktsignals SCK1 bestimmt. Wenn ein aktiv niedriges Aktivierungssignal TCE zugeführt wird, beginnt der RAM 2 den Betrieb entsprechend diesem Adreßsignal. Wird das aktiv niedrige Aktivierungssignal TWE zugeführt, wenn das Aktivierungssignal TCE aktiv ist, führt der RAM 2 eine Schreiboperation entsprechend diesem Adreßsignal aus. The supply of the shift clock signals SCK 1 and SCK 2 causes the content of the AD scan register group 100 to be updated. The address signal A (i) is determined with the clocking of the shift clock signal SCK 1 . When an active low activation signal TCE is supplied, the RAM 2 starts operating in accordance with this address signal. If the active low activation signal TWE is supplied when the activation signal TCE is active, the RAM 2 carries out a write operation in accordance with this address signal.

(c) Read-Write-All-Operation (siehe Fig. 24)(c) Read-Write-All operation (see Fig. 24)

Eine Prozedur des Zufalls-March-Testes führt eine Lese- und Schreiboperation für alle Adressen aus, während die Adresse durch das Einschieben der totalen Zufallsfolge aktualisiert wird. Das wird als Read-Write-All-Operation bezeichnet.A random March test procedure performs a read and Write operation for all addresses while the address is through the insertion of the total random sequence is updated. It will referred to as read-write-all operation.

<1< Lese-Schreib-Zyklus (Schritte S21, S22; siehe Fig. 25)<1 <read-write cycle (steps S 21 , S 22 ; see Fig. 25)

Die Zuführung der Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 bewirkt, daß der Inhalt der AD-Abtastregistergruppe 100 aktualisiert wird. Das Adreßsignal A(i) wird mit der Taktung des Schiebetaktsignals SCK1 bestimmt. Wird ein aktiv niedriges Aktivierungssignal TCE zugeführt, beginnt der RAM 2 daher den Betrieb entsprechend diesem Adreßsignal. Nach einer vorbestimmten Zeitverzögerung werden vom RAM 2 Auslesedaten DO(i) abgegeben.The supply of the shift clock signals SCK 1 and SCK 2 causes the content of the AD scan register group 100 to be updated. The address signal A (i) is determined with the clocking of the shift clock signal SCK 1 . If an active low activation signal TCE is supplied, the RAM 2 therefore begins to operate in accordance with this address signal. After a predetermined time delay 2 read data DO (i) are output from RAM.

Wenn anschließend ein aktiv niedriges Abtastsignal STB zugeführt wird, werden die Auslesedaten DO(i) und die in der DIO- Abtastregistergruppe 400 gehaltenen Ausleseerwartungsdaten (ein Logikpegel entgegengesetzt den Schreibdaten) verglichen, wobei das Ergebnis in der DIO-Abtastregistergruppe 400 gespeichert wird.Then, when an active low scan signal STB is supplied, the readout data DO (i) and the readout expectation data held in the DIO scan register group 400 (a logic level opposite to the write data) are compared, and the result is stored in the DIO scan register group 400 .

Wenn danach während der aktiven Periode des Aktivierungssignals TCE ein aktiv niedriges Aktivierungssignal TWE zugeführt wird, führt der RAM 2 eine Schreiboperation entsprechend diesem Adreßsignal aus.Thereafter, when an active low activation signal TWE is supplied during the active period of the activation signal TCE, the RAM 2 performs a write operation in accordance with this address signal.

<2< Rückstellzyklus (Schritt S23; siehe Fig. 19)<2 <reset cycle (step S 23 ; see Fig. 19)

Das Rückstellsignal RST erreicht einen L-Pegel und alle Testschaltkreise 3 werden in einen Nicht-Umgehungszustand versetzt.The reset signal RST reaches an L level and all test circuits 3 are set to a non-bypass state.

<3< Einstellzyklus (Schritt S24; siehe Fig. 26)<3 <setting cycle (step S 24 ; see Fig. 26)

Weil das Testergebnis im 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2b eines jeden DIO-Abtastregisters 410 gehalten wird, ist nach dem Rückstellzyklus ein Einstellzyklus notwendig, wenn das in Fig. 13 gezeigte DIO-Abtastregister 410 benutzt wird.Because the test result is held in the 2-input latch circuit L 2 b of each DIO scan register 410 , an adjustment cycle is necessary after the reset cycle when the DIO scan register 410 shown in FIG. 13 is used.

Im Einstellzyklus wird nur das Schiebetaktsignal SCK2, nicht aber das Schiebetaktsignal SCK1 zugeführt. Das bewirkt, daß das Testergebnis zum 2-Eingangs-Latch-Schaltkreis L2a übertragen wird, um dem seriellen Ausgangsanschluß SOR zugeführt zu werden.In the setting cycle, only the shift clock signal SCK 2 is supplied, but not the shift clock signal SCK 1 . This causes the test result to the 2-input latch circuit L 2 is transmitted a, to be supplied to the serial output terminal SOR.

Da das Testergebnis dem seriellen Ausgangsanschluß SOR im DIO- Abtastregister 410 der Fig. 12 zugeführt wird, ist hier kein Einstellzyklus notwendig.Since the test result is supplied to the serial output connection SOR in the DIO scan register 410 of FIG. 12, no adjustment cycle is necessary here.

<4< Abtast-Aus-Zyklus (Schritte S25 und S26; siehe Fig. 27)<4 <scan-off cycle (steps S 25 and S 26 ; see Fig. 27)

Die in der DIO-Abtastregistergruppe 400 gehaltenen Testergebnisse werden durch einen Schiebebetrieb ausgegeben. Das wird als Abtast- Aus-Zyklus bezeichnet. Synchron zum Schiebetaktsignal SCK2 erscheinen die Daten aller Abtastregister nacheinander am seriellen Ausgangsanschluß SOC. Mit einem externen LSI-Tester werden die Daten des seriellen Ausgangsanschlusses SOC zu einem Testerabtastzeitpunkt geprüft.The test results held in the DIO scan register group 400 are output by a shift operation. This is called a scan-off cycle. In synchronism with the shift clock signal SCK 2 , the data of all scan registers appear successively at the serial output connection SOC. With an external LSI tester, the data of the serial output connection SOC are checked at a tester sampling time.

(7) Gesamtbetrieb des Zufalls-March-Tests(7) Overall operation of the random March test

Beim Zufalls-March-Test wird der Testbetrieb zweimal mit derselben Prozedur und den Daten "0"/"1" ausgeführt. Die Testprozedur für die Daten "0" ist in Fig. 28 gezeigt, die Testprozedur für die Daten "1" in Fig. 29. Diese Testprozeduren sind ähnlich, außer daß sich die bei der Initialisierung eingeschobenen Daten unterscheiden. Mit anderen Worten ist der einzige Unterschied, daß entweder "0" oder "1" als Anfangsdaten in der DIO-Abtastregistergruppe 400 eingestellt werden. Das erlaubt eine Änderung der Schreibdaten und der Ausleseerwartungsdaten für den RAM 2.In the random March test, the test operation is carried out twice with the same procedure and the data "0" / "1". The test procedure for data "0" is shown in Fig. 28, the test procedure for data "1" in Fig. 29. These test procedures are similar except that the data inserted during initialization differs. In other words, the only difference is that either "0" or "1" is set as the initial data in the DIO scan register group 400 . This allows the write data and the readout expectation data for the RAM 2 to be changed .

Im folgenden wird die in Fig. 28 gezeigte Testprozedur erläutert. The test procedure shown in Fig. 28 will be explained below.

<1< Initialisierungsoperation (0) (Schritt S31)<1 <initialization operation (0) (step S 31 )

In der DIO-Abtastregistergruppe 400 werden Schreibdaten "0" eingestellt.Write data "0" is set in the DIO scan register group 400 .

<2< Write-All-Operation (Schritt S32)<2 <write-all operation (step S 32 )

Für alle Adressen wird eine Schreiboperation mit dem Wert "0" ausgeführt.A write operation with the value "0" is carried out for all addresses. executed.

<3< Initialisierungsoperation (1) (Schritt S33)<3 <initialization operation (1) (step S 33 )

Schreibdaten "1" werden in der DIO-Abtastregistergruppe 400 eingestellt. Das bewirkt, daß "0" als Ausleseerwartungsdaten eingestellt werden.Write data "1" is set in the DIO scan register group 400 . This causes "0" to be set as readout expectation data.

<4< Read-Write-All-Operation (Schritt S34)<4 <Read-Write-All-Operation (step S 34 )

Für alle Adressen wird ein Auslesen von "0" und ein Schreiben von "1" ausgeführt. Zu diesem Zeitpunkt werden die Auslesedaten mit den Ausleseerwartungsdaten in der DIO-Abtastregistergruppe 400 verglichen.A readout of "0" and a write of "1" are carried out for all addresses. At this time, the readout data is compared with the readout expectation data in the DIO scan register group 400 .

<5< Initialisierungsoperation (0) (Schritt S35)<5 <initialization operation (0) (step S 35 )

In der DIO-Abtastregistergruppe 400 werden Schreibdaten "0" eingestellt. Dadurch werden Daten "1" als Ausleseerwartungsdaten eingestellt.Write data "0" is set in the DIO scan register group 400 . Thereby, data "1" is set as readout expectation data.

<6< Read-Write-All-Operation (Schritt S36)<6 <Read-Write-All-Operation (step S 36 )

Für alle Adressen wird ein Lesen von "1" und ein Schreiben von "0" ausgeführt. Zu diesem Zeitpunkt werden die Auslesedaten mit den Ausleseerwartungsdaten in der DIO-Abtastregistergruppe 400 verglichen. Die Schritte S41-S46 der in Fig. 29 gezeigten Testprozedur entsprechen den in Fig. 28 dargestellten Schritten S31-S36, außer daß die Daten "0"/"1" verschieden sind. A read of "1" and a write of "0" are carried out for all addresses. At this time, the readout data is compared with the readout expectation data in the DIO scan register group 400 . Steps S 41 -S 46 of the test procedure shown in Fig. 29 correspond to steps S 31 -S 36 shown in Fig. 28, except that the data "0" / "1" are different.

(8) Betrieb des Testschaltkreises 3 (Fig. 5)(8) Operation of the test circuit 3 ( Fig. 5)

Nun wird der Betrieb des in Fig. 5 gezeigten Testschaltkreises 3 beschrieben. Der Betrieb des in Fig. 5 gezeigten Testschaltkreises 3 ist ähnlich dem des in Fig. 4 gezeigten Testschaltkreises 3, außer daß die Einstellung des Modussteuersignals MD unterschiedlich ist, das den Umgehungs-/Nicht-Umgehungszustand steuert. Daher wird nur das Verfahren zur Einstellung des Modussteuersignals MD erläutert.The operation of the test circuit 3 shown in FIG. 5 will now be described. The operation of the test circuit 3 shown in Fig. 5 is similar to that of the test circuit 3 shown in Fig. 4, except that the setting of the mode control signal MD which controls the bypass / non-bypass state is different. Therefore, only the method for setting the mode control signal MD will be explained.

Beim in Fig. 4 gezeigten Latch-Schaltkreis werden die durch die Abtast-Ein-Operation eingestellten Daten in den Latch-Schaltkreis 600 eingegeben. Der in Fig. 5 dargestelle Testschaltkreis 3 weist eingestellte Daten in einem vorbestimmten AD-Abtastregister 110 in der AD-Abtastregistergruppe 100 auf, die in den Latch-Schaltkreis 600 eingegeben worden sind. Werden bei der Initialisierungsoperation gewünschte Daten im AD-Abtastregister 110 eingestellt, werden daher diese Daten im Latch-Schaltkreis 600 eingestellt, wenn das Moduseinstellsignal MDST ausgegeben wird. Damit ist der Modus (Umgehungszustand/Nicht-Umgehungszustand) des jeweiligen Testschaltkreises 3 bestimmt.In the latch circuit shown in FIG. 4, the data set by the scan-on operation is input to the latch circuit 600 . The test circuit 3 shown in FIG. 5 has set data in a predetermined AD scan register 110 in the AD scan register group 100 that has been input to the latch circuit 600 . Therefore, when desired data is set in the AD scan register 110 in the initialization operation, this data is set in the latch circuit 600 when the mode setting signal MDST is output. The mode (bypass state / non-bypass state) of the respective test circuit 3 is thus determined.

Obwohl der Latch-Schaltkreis 600 mit dem seriellen Ausgangsanschluß SOR des AD-Abtastregisters 110 der letzten Stufe in der AD- Abtastregistergruppe 100 von Fig. 5 verbunden ist, kann der Latch- Schaltkreis 600 mit dem seriellen Ausgangsanschluß SOR eines anderen AD-Abtastregisters 110 in der AD-Abtastregistergruppe 100 verbunden sein.Although the latch circuit 600 is connected to the serial output port SOR of the last stage AD scan register 110 in the AD scan register group 100 of FIG. 5, the latch circuit 600 may be connected to the serial output port SOR of another AD scan register 110 in of the AD scan register group 100 .

Weil das DMY-Abtastregister 500 im Testschaltkreis 3, der in Fig. 5 gezeigt ist, nicht notwendig ist, kann die Komplexität des Testschaltkreises im Vergleich zum Testschaltkreis 3 der Fig. 4 vermindert werden. Beim in Fig. 5 gezeigten Testschaltkreis 3 sind die Moduseinstelldaten und die Anfangsadresse in einem AD- Abtastregister 110 gespeichert, so daß sie nicht unabhängig voneinander eingestellt werden können. Daher müssen der in Fig. 4 gezeigte Testschaltkreis 3 und der in Fig. 5 dargestellte Testschaltkreis 3 entsprechend den Anforderungen verwendet werden.Because the DMY scan register 500 in the test circuit 3 shown in FIG. 5 is not necessary, the complexity of the test circuit can be reduced compared to the test circuit 3 of FIG. 4. In the test circuit 3 shown in Fig. 5, the mode setting data and the start address are stored in an AD scan register 110 so that they cannot be set independently. Therefore, the test circuit shown in Fig. 4 3 and the test circuit 3 shown in Fig. 5 must be used according to the requirements.

(9) Andere Anwendungen(9) Other applications

Der in den Fig. 4 und 5 gezeigte Testschaltkreis 3 kann nicht nur auf einen Einzel-Port-RAM, sondern auch auf einen Multiport-RAM angewandt werden. Fig. 30 zeigt den Fall, in dem der Testschaltkreis 3 auf einen Dual-Port-RAM 2b angewandt ist. Jeweils ein Testschaltkreis 3 ist einem der zwei Ports (Port A, Port B) des Dual-Port-RAM 2b zugewiesen.The test circuit 3 shown in FIGS . 4 and 5 can be applied not only to a single-port RAM but also to a multi-port RAM. Fig. 30 shows the case in which the test circuit 3 is applied to a dual-port RAM 2 b. One test circuit 3 is assigned to one of the two ports (port A, port B) of the dual-port RAM 2 b.

In jedem Testschaltkreis 3 sind ein serieller Eingangsanschluß SIB, ein serieller Ausgangsanschluß SOB und Steueranschlüsse für verschiedene Steuersignale RST, MDST, SCK1, SCK2, STB, TM, TCE und TWE unabhängig gebildet und innerhalb des Halbleiterchips verbunden. Der Zufalls-March-Test kann in jedem Port ähnlich wie im Falle eines Einzel-Port-RAM ausgeführt werden.In each test circuit 3 , a serial input terminal SIB, a serial output terminal SOB and control terminals for various control signals RST, MDST, SCK 1 , SCK 2 , STB, TM, TCE and TWE are formed independently and connected within the semiconductor chip. The random march test can be performed on each port in a similar way to that of a single port RAM.

(10) Zweite Ausführungsform(10) Second embodiment

Fig. 31 zeigt die Struktur der Hauptkomponenten einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von der in Fig. 1 gezeigten dahingehend, daß das Modussteuer-Latch 70 nicht gebildet ist, und daß das Modussteuersignal MD direkt von einer externen Quelle zugeführt wird. Fig. 31 shows the structure of the main components of a second embodiment of the present invention. This embodiment differs from that shown in Fig. 1 in that the mode control latch 70 is not formed and the mode control signal MD is supplied directly from an external source.

(11) Dritte Ausführungsform(11) Third embodiment

Fig. 32 zeigt eine Struktur der Hauptkomponenten einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Bei dieser Ausführungsform wird der AD-Abtastregistergruppe 10 das Schiebetaktsignal SCKA und der DI-Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 das Schiebetaktsignal SCKD zugeführt. Weil das Schiebetaktsignal SCKA und das Schiebetaktsignal SCKD getrennt sind, kann die AD-Abtastregistergruppe 10 einen Schiebebetrieb ausführen, während der Betrieb der DI- Abtastregistergruppe 20 und der DO-Abtastregistergruppe 30 angehalten ist. Fig. 32 shows a structure of the main components of a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the AD scan register group 10 is supplied with the shift clock signal SCKA and the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 with the shift clock signal SCKD. Because the shift clock signal SCKA and the shift clock signal SCKD are separate, the AD scan register group 10 can perform a shift operation while the operation of the DI scan register group 20 and the DO scan register group 30 is stopped.

Die in den Fig. 1, 31 und 32 gezeigten Testschaltkreise können auch auf den in Fig. 49 dargestellten integrierten Halbleiterschaltkreis angewandt werden.In Figs. 1, 31 and 32 shown test circuits may also be integrated semiconductor circuit shown 49 are applied to the in Fig..

(12) Vierte Ausführungsform(12) Fourth embodiment (a) Gesamtstruktur(a) Forest

Fig. 33 zeigt ein Blockdiagramm einer Struktur für den zusätzlichen Testschaltkreis (Abtastpfad) einer integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach einer vierten Ausführungsform. Fig. 33 shows a block diagram of a structure for the additional test circuit (scan) of a semiconductor integrated circuit device according to a fourth embodiment.

Eine Mehrzahl von AD-Abtastregistern 10a und eine Mehrzahl von Dateneingangs-/-ausgangs-Abtastregistern (im weiteren als DIO- Abtastregister bezeichnet) 25a sind um einen RAM 2 angeordnet. Die Struktur des jeweiligen AD-Abtastregisters 10a ist der des AD- Abtastregisters 10a der Fig. 44 ähnlich.A plurality of AD scan registers 10 a and a plurality of data input / output scan registers (hereinafter referred to as DIO scan registers) 25 a are arranged around a RAM 2 . The structure of the respective AD scan register 10 a is similar to that of the AD scan register 10 a of FIG. 44.

Die Abtastregister 10a sind den AD-Abtastregisters 10a der Fig. 44 ähnlich.The scan register 10 a are similar to the AD scan register 10 a of FIG. 44.

Die Abtastregister 10a und 25a verbinden beim Normalbetrieb des RAM 2 die (nicht dargestellten) anderen Logikschaltkreise auf dem Halbleiterchip mit dem RAM 2 und trennen beim Testen des RAM 2 die anderen Logikschaltkreise vom RAM 2 ab.The scan registers 10 a and 25 a connecting the normal operation of the RAM 2 (not shown) other logic circuits on the semiconductor chip with the RAM 2 and separate testing of the RAM 2, the other logic circuits of RAM 2 from.

Diese Abtastregister 10a und 25a sind zwischen dem seriellen Eingangsanschluß SIC und dem seriellen Ausgangsanschluß SOC in Reihe geschaltet, um einen Abtastpfad zu implementieren. Durch die Schiebefunktion des Abtastpfads werden das Adreßsignal und die Testdaten dem RAM 2 zugeführt. Das Testergebnis des RAM 2 wird in die DIO-Abtastregister 25a innerhalb des Abtastpfads eingegeben. These scan registers 10 a and 25 a are connected in series between the serial input port SIC and the serial output port SOC to implement a scan path. The address signal and the test data are supplied to the RAM 2 by the shift function of the scan path. The test result of the RAM 2 is entered in the DIO scan register 25 a within the scan path.

(b) Erstes Beispiel für das DIO-Abtastregister(b) First example of the DIO scan register

Fig. 34 zeigt ein erstes Beispiel für das DIO-Abtastregister 25a Dieses Abtastregister 25a weist eine Struktur auf, die der des Abtastregisters 410 von Fig. 12 ähnlich ist. Fig. 34 shows a first example of the DIO scan register 25 a. This scan register 25 a has a structure which is similar to that of the scan register 410 of Fig. 12.

Der serielle Eingangsanschluß SI ist mit dem Eingangsanschluß D2 des ersten Latch-Schaltkreises L2a verbunden. Der erste parallele Eingangsanschluß PI1 ist mit dem Eingangsanschluß D1 des ersten Latch-Schaltkreises L2a und der erste parallel Ausgangsanschluß PO1 mit dem Ausgangsanschluß Q des ersten Latch-Schaltkreises L2a verbunden. Der zweite parallele Eingangsanschluß PI2 ist mit dem Eingangsanschluß D1 des zweiten Latch-Schaltkreises L2b verbunden. Der zweite parallele Ausgangsanschluß PO2 ist mit dem Ausgangsanschluß Q des zweiten Latch-Schaltkreises L2b und der serielle Ausgangsanschluß SO mit dem Ausgangsanschluß des Inverters G16 verbunden.The serial input terminal SI is connected to the input terminal D 2 of the first latch circuit L 2 a. The first parallel input terminal PI 1 is connected to the input terminal D 1 of the first latch circuit L 2 a and the first parallel output terminal PO 1 to the output terminal Q of the first latch circuit L 2 a. The second parallel input terminal PI 2 is connected to the input terminal D 1 of the second latch circuit L 2 b. The second parallel output terminal PO 2 is connected to the output terminal Q of the second latch circuit L 2 b and the serial output terminal SO to the output terminal of the inverter G 16 .

Der serielle Taktsignalanschluß sck1, der das serielle Schiebetaktsignal SCK1 der ersten Phase empfängt, ist mit dem Aktivierungsanschluß EN2 des ersten Latch-Schaltkreises L2a und der serielle Taktsignalanschluß sck2, der das serielle Schiebetaktsignal SCK2 der zweiten Phase empfängt, ist mit dem Aktivierungsanschluß EN2 des zweiten Latch-Schaltkreises L2b verbunden. Der parallele Taktsignalanschluß PCK1, der das parallele Taktsignal PCK1 empfängt, ist mit dem Aktivierungsanschluß EN1 des ersten Latch-Schaltkreises L2a verbunden. Der Testtaktsignalanschluß tck, der das Testtaktsignal TCK empfängt, ist mit einem Eingang des NAND- Schaltkreises G18 und der Testmodusanschluß tm, der das Testmodussignal TM empfängt, ist mit einem Eingang des NAND- Schaltkreises G17 verbunden.The serial clock signal connection sck 1 , which receives the serial shift clock signal SCK 1 of the first phase, is with the activation connection EN 2 of the first latch circuit L 2 a and the serial clock signal connection sck 2 , which receives the serial shift clock signal SCK 2 of the second phase connected to the activation terminal EN 2 of the second latch circuit L 2 b. The parallel clock signal connection PCK 1 , which receives the parallel clock signal PCK 1 , is connected to the activation connection EN 1 of the first latch circuit L 2 a. The test clock signal terminal tck, which receives the test clock signal TCK, is connected to an input of the NAND circuit G 18 and the test mode terminal tm, which receives the test mode signal TM, is connected to an input of the NAND circuit G 17 .

Die Daten des seriellen Eingangsanschlusses SI und die Daten des ersten parallelen Eingangsanschlusses PI1 werden dem ersten Latch- Schaltkreis L2a zugeführt. Daten, die durch Invertieren des Ausgangssignals vom ersten Latch-Schaltkreis L2a erthalten werden, und Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses PI2 werden in den zweiten Latch-Schaltkreis L2b eingegeben.The data of the serial input connection SI and the data of the first parallel input connection PI 1 are fed to the first latch circuit L 2 a. Data obtained by inverting the output signal from the first latch circuit L 2 a and data of the second parallel input terminal PI 2 are input to the second latch circuit L 2 b.

Die Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses PI2 werden vom Exklusiv-ODER-Schaltkreis G19 mit den invertierten der im ersten Latch-Schaltkreis L2a gehaltenen Daten verglichen. Das Vergleichsergebnis wird dem anderen Eingangsanschluß des NAND- Schaltkreises G18 zugeführt. Das Ausgangssignal des NAND- Schaltkreises G18 wird dem anderen Eingangsanschluß des NAND- Schaltkreises G17 übergeben. Das Ausgangssignal PCK2 (das zweite Testtaktsignal) des NAND-Schaltkreises G17 wird dem Aktivierungsanschluß EN1 des zweiten Latch-Schaltkreises L2b als Latch-Aktivierungssignal zugeführt.The data of the second parallel input connection PI 2 are compared by the exclusive OR circuit G 19 with the inverted data held in the first latch circuit L 2 a. The comparison result is supplied to the other input terminal of the NAND circuit G 18 . The output signal of the NAND circuit G 18 is passed to the other input terminal of the NAND circuit G 17 . The output signal PCK 2 (the second test clock signal) of the NAND circuit G 17 is supplied to the activation terminal EN 1 of the second latch circuit L 2 b as a latch activation signal.

Ein Paar eines Dateneingangsanschlusses und eines Datenausgangsanschlusses des RAM 2 wird einem DIO-Abtastregister 20a zugeordnet. Der zweite parallele Eingangsanschluß PI2 des jeweiligen DIO-Abtastregisters 25a ist mit dem Datenausgangsanschluß DOi (i=1,. . .,n) des RAM 2 verbunden. Hier ist n eine natürliche Zahl. Der erste parallele Ausgangsanschluß PO1 des jeweiligen DIO- Abtastregisters 25a ist mit dem Dateneingangsanschluß DIi des RAM 2 verbunden. Genauer gesagt werden im DIO-Abtastregister 25a der Fig. 34 die Eingangsdaten an den RAM 2 einem Master-Latch zugeordnet, und die Ausgabedaten des RAM 2 werden einem Slave-Latch zugeordnet.A pair of a data input connection and a data output connection of the RAM 2 is assigned to a DIO sampling register 20 a. The second parallel input terminal PI 2 of the respective DIO sampling register 25 a is connected to the data output terminal DOi (i = 1, ..., n) of the RAM 2 . Here n is a natural number. The first parallel output terminal PO 1 of the respective DIO scan register 25 a is connected to the data input terminal DIi of the RAM 2 . Specifically, A of Fig. 34, the input data to the RAM 2 associated with a master latch in the scan register 25 DIO said, and the output data of the RAM 2 will be assigned to a slave latch.

Fig. 35 zeigt ein Beispiel für eine Struktur des DIO-Abtastregisters 25a als einen MOS-Schaltkreis mit einer Funktion, die mit der des DIO-Abtastregisters 25a der Fig. 34 übereinstimmt. Das in Fig. 35 gezeigte DIO-Abtastregister 25a weist N-Kanal MOS-Transistoren N31- N34 und Inverter G31-G34 auf. Die Inverter G31 und G32 und auch die Inverter G33 und G34 implementieren einen Latch-Schaltkreis L31 bzw. L32 vom Verhältnistyp. Das Treibungsvermögen der Inverter G32 und G34 ist geringer als das der Inverter G31 bzw. G33. Komponenten mit ähnlichen Bezugszeichen in den Fig. 35 und 34 geben äquivalente oder entsprechende Komponenten an. Fig. 35 shows an example of a structure of the DIO-scan register 25 a as a MOS circuit having a function that matches with that of DIO-scan register 25 a of Fig. 34. . The DIO-scan register 35 shown in Figure 25 has a N-channel MOS transistors N 31 - N 34 and inverter 31 to G 34 -G. The inverters G 31 and G 32 and also the inverters G 33 and G 34 implement a latch circuit L 31 and L 32 of the ratio type. The driving capacity of the inverters G 32 and G 34 is lower than that of the inverters G 31 and G 33 . Components with similar reference numerals in Figs. 35 and 34 indicate equivalent or corresponding components.

Anstelle der in Fig. 35 dargestellten N-Kanal MOS-Transistoren können auch P-Kanal MOS-Transistoren verwendet werden.Instead of the N-channel MOS transistors shown in FIG. 35, P-channel MOS transistors can also be used.

Unter Verwendung eines CMOS-2-Eingangs-Latch-Schaltkreises, der in den Fig. 36 und 37 gezeigt ist, anstelle des Latch-Schaltkreises von Fig. 35 kann ein DIO-Abtastregister 25a mit einer Funktion implementiert werden, die ähnlich der des in Fig. 34 gezeigten DIO- Abtastregisters 25a ist. Beim in Fig. 36 dargestellten DIO- Abtastregister 25a ist der zweite parallele Ausgangsanschluß PO2 direkt mit dem Knoten B verbunden. Beim in Fig. 37 dargestellten DIO-Abtastregister 25a ist der zweite parallele Ausgangsanschluß PO2 durch zwei Inverter mit dem Knoten B verbunden. Die Komponenten in den Fig. 36 und 37 mit identischen Bezugszeichen wie die Komponenten in den Fig. 34 und 35 bezeichnen äquivalente oder entsprechende Komponenten.Using a CMOS 2-input latch circuit shown in Figs. 36 and 37 is shown, of the latch circuit in place of Fig. 35, a DIO-scan register 25 a implemented with a function similar to that of 34 DIO scan register 25 a shown in FIG . In the DIO scan register 25 a shown in FIG. 36, the second parallel output connection PO 2 is connected directly to the node B. In the DIO scan register 25 a shown in FIG. 37, the second parallel output connection PO 2 is connected to the node B by two inverters. The components in FIGS. 36 and 37 with identical reference numerals to the components in FIGS. 34 and 35 denote equivalent or corresponding components.

(c) Betrieb des DIO-Abtastregisters(c) Operation of the DIO scan register

Unter Bezugnahme auf die Fig. 35 wird nun der Betrieb des DIO- Abtastregisters 25a beschrieben.Referring to Fig. 35, the operation of DIO scan register 25 a will now be described.

Beim Normalbetrieb des RAM 2 sind die Potentiale der seriellen Taktsignalanschlüsse sck1, sck2 und des Testmodusanschlusses TM auf einen L-Pegel eingestellt, und das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 ist auf einen H-Pegel gesetzt. Das bewirkt, daß Daten, die in den RAM 2 eingegeben werden sollen, vom ersten parallelen Eingangsanschluß PI1 zum ersten parallelen Ausgangsanschluß PO1 übertragen werden. Auch das zweite Testtaktsignal PCK2 erreicht einen H-Pegel. Das bewirkt, daß die vom RAM 2 ausgegebenen Daten vom zweiten parallelen Eingangsanschluß PI2 zum zweiten parallelen Ausgangsanschluß PO2 übertragen werden. Zu diesem Zeitpunkt kann das Potential des Testtaktsignalanschlusses tck entweder auf einen H- oder einen L-Pegel gesetzt sein.During normal operation of the RAM 2 , the potentials of the serial clock signal connections sck 1 , sck 2 and the test mode connection TM are set to an L level, and the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an H level. This causes data to be input to the RAM 2 to be transferred from the first parallel input port PI 1 to the first parallel output port PO 1 . The second test clock signal PCK 2 also reaches an H level. This causes the data output from the RAM 2 to be transmitted from the second parallel input port PI 2 to the second parallel output port PO 2 . At this time, the potential of the test clock signal terminal tck can be set to either an H or an L level.

Beim Testen des RAM 2 wird das Potential des parallelen Taktsignalanschlusses pck1 auf einen L-Pegel, das Potential des Testtaktsignalanschlusses tck auf einen L-Pegel und das Potential des Testmodusanschlusses TM auf einen H-Pegel gesetzt. Damit wird der RAM 2 von den anderen Logikschaltkreisen abgetrennt. Durch die erste und zweite Phase der Taktsignale SCK1 und SCK2, die den Schiebetaktsignalanschlüssen sck1 und sck2 zugeführt werden, wird ferner eine Schiebeoperation ausgeführt, wodurch das Testergebnis ausgelesen wird.When testing the RAM 2 , the potential of the parallel clock signal connection pck 1 is set to an L level, the potential of the test clock signal connection tck to an L level and the potential of the test mode connection TM to an H level. This separates the RAM 2 from the other logic circuits. The first and second phases of the clock signals SCK 1 and SCK 2 , which are fed to the shift clock signal connections sck 1 and sck 2 , furthermore perform a shift operation, as a result of which the test result is read out.

(d) Betrieb der vierten Ausführungsform(d) Operation of the fourth embodiment

Fig. 38 zeigt ein Zeitdiagramm der Schiebeoperation des zusätzlichen Testschaltkreises von Fig. 33. Das Taktsignal erster Phase wird dem seriellen Taktsignalanschluß sck1a eines jeden AD-Abtastregisters 10a und dem seriellen Tatksignalanschluß sck1 eines jeden DIO- Abtastregisters 25a zugeführt. Das Textsignal zweiter Phase wird dem seriellen Taktsignalanschluß sck2a eines jeden AD-Abtastregisters 10a und dem seriellen Taktsignalanschluß sck2 eines jeden DIO- Abtastregisters 25a zugeführt. Fig. 38 shows a timing diagram of the shift operation of the additional test circuit of Fig. 33. The clock signal of the first phase is supplied to the serial clock signal connection sck 1 a of each AD scanning register 10 a and the serial actual signal connection sck 1 of each DIO scanning register 25 a. The second phase text signal is fed to the serial clock signal connection sck 2 a of each AD scanning register 10 a and the serial clock signal connection sck 2 of each DIO scanning register 25 a.

Die Daten des seriellen Eingangsanschlusses SI des jeweiligen Abtastregisters werden mit dem Taktsignal erster Phase an den Knoten A darin eingegeben. Die Daten des Knotens A werden invertiert und durch das Taktsignal zweiter Phase an den Knoten B übertragen. Die Daten des Knotens B werden invertiert und dem seriellen Ausgangsanschluß SO zugeführt.The data of the serial input connection SI of the respective Scan registers are sent to the node with the first phase clock signal A entered in it. The data of node A are inverted and transmitted to node B by the second phase clock signal. The Data of node B is inverted and the serial Output terminal SO supplied.

Damit wird eine Schiebeoperation eines Bit vom seriellen Eingangsanschluß SI zum seriellen Ausgangsanschluß SO ausgeführt. Die Schiebeoperation wird von den Taktsignalen erster und zweiter Phase ausgeführt, wodurch die Einstellung von Testdaten und das Auslesen von Testergebnissen ausgeführt wird.This is a shift operation of a bit from the serial Input port SI to serial output port SO executed. The shift operation is from the clock signals first and second Phase executed, causing the setting of test data and that Reading out test results is carried out.

Fig. 39 zeigt ein Zeitdiagramm des Betriebs des in Fig. 33 dargestellten zusätzlichen Testschaltkreises zum Zeitpunkt des Testens. Beim Testen des RAM 2 wird das Potential des Testmodusanschlusses tm auf einen H-Pegel gesetzt. Den seriellen Taktsignalanschlüssen sck1 und sck2 des DIO-Abtastregisters 25a werden die Schiebetaktsignale SCK1 und SCK2 erster und zweiter Phase zugeführt. Den seriellen Taktsignalanschlüssen sck1a und sck2a des AD-Abtastregisters 10a werden Schiebetaktsignale SCK1a und SCK2a zugeführt, die sich von den Schiebetaktsignalen unterscheiden. Damit wird eine Aktualisierung der Testadresse ausgeführt. FIG. 39 shows a timing chart of the operation of the additional test circuit shown in FIG. 33 at the time of testing. When testing the RAM 2 , the potential of the test mode terminal tm is set to an H level. The serial clock signal connections sck 1 and sck 2 of the DIO sampling register 25 a are supplied with the shift clock signals SCK 1 and SCK 2 first and second phase. The serial clock signal connections sck 1 a and sck 2 a of the AD scanning register 10 a are supplied with shift clock signals SCK 1 a and SCK 2 a, which differ from the shift clock signals. This will update the test address.

Invertierte Daten der Ausleseerwartungsdaten werden im ersten parallelen Ausgangsanschluß PO1 eingestellt. Diese invertierten Daten werden vom Inverter G15 (Inverter G31 in Fig. 35) weiter invertiert. Damit werden die Ausleseerwartungsdaten mit den aus dem RAM 2 an den zweiten parallelen Eingangsanschluß PI2 ausgelesenen Daten vom Exklusiv-ODER-Schaltkreis G19 verglichen.Inverted data of the readout expected data are set in the first parallel output terminal PO 1 . These inverted data are further inverted by inverter G 15 (inverter G 31 in FIG. 35). The read-out expected data are thus compared with the data read from the RAM 2 to the second parallel input terminal PI 2 by the exclusive-OR circuit G 19 .

Dem Testtaktsignalanschluß tck wird immer dann ein Testtaktsignal TCK zugeführt, wenn Daten vom RAM 2 ausgelesen werden. Wenn ein Fehlerwert (fehlerhafter Daten) aus dem RAM 2 ausgelesen wird, wird daher ein zweites Testtaktsignal PCK2 erzeugt, dessen Phase mit der des Testtaktsignals TCK des Testtaktsignalanschlusses tck übereinstimmt. Damit werden die Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses PI2 über den Knoten B an den zweiten parallelen Ausgangsanschluß PO2 übertragen. Am Knoten B wird vorher über eine Schiebeoperation ein Ausleseerwartungswert eingestellt (ein Wert entgegengesetzt den invertierten Daten des ersten parallelen Ausgangsanschlusses PO1). Wird ein Fehlerwert aus dem RAM 2 ausgelesen, werden die Daten des zweiten parallelen Ausgangsanschlusses PO2 daher invertiert.A test clock signal TCK is supplied to the test clock signal terminal tck whenever data is read out from the RAM 2 . If an error value (incorrect data) is read out from the RAM 2 , a second test clock signal PCK 2 is therefore generated, the phase of which corresponds to that of the test clock signal TCK of the test clock signal terminal tck. The data of the second parallel input connection PI 2 is thus transmitted via the node B to the second parallel output connection PO 2 . A readout expected value is set beforehand at node B via a shift operation (a value opposite to the inverted data of the first parallel output connection PO 1 ). If an error value is read out from RAM 2 , the data of the second parallel output connection PO 2 are therefore inverted.

Nachdem der oben beschriebene Betrieb für eine Mehrzahl von Adressen ausgeführt worden ist, wird das Testergebnis durch Ausführen der in Fig. 38 gezeigten Schiebeoperation ausgelesen. Damit kann entsprechend der Tatsache, ob die im Latch-Schaltkreis im DIO- Abtastregister 25a gehaltenen Daten invertiert worden sind oder nicht, ermittelt werden, ob dem zweiten parallelen Eingangsanschluß PI2 Daten zugeführt worden sind, die sich von den Ausleseerwartungsdaten unterscheiden, oder nicht. After the above-described operation is performed for a plurality of addresses, the test result is read out by performing the shift operation shown in FIG. 38. This allows corresponding to the fact that the are a held data inverted in the latch circuit in DIO scan register 25 or can not be determined whether the second parallel input port PI 2 data has been supplied, which differ from the read-out expectation data, or not .

(e) Zweites Beispiel für das DIO-Abtastregister(e) Second example of the DIO scan register

Fig. 40 zeigt ein Schaltbild eines weiteren Beispiels für das DIO- Abtastregister 25a. Das in Fig. 40 dargestellte DIO-Abtastregister 25a weist eine Struktur ähnlich der des DIO-Abtastregisters 410 in Fig. 13 auf. Die Komponenten in Fig. 40 mit denselben Bezugszeichen wie in Fig. 34 bezeichnen äquivalente oder ähnliche Komponenten. Fig. 40 shows a circuit diagram of another example of the DIO sample register 25 a. The illustrated in Fig. 40 DIO-scan register 25 a has a structure similar to that of DIO-scan register 410 in Fig. 13. The components in FIG. 40 with the same reference numerals as in FIG. 34 denote equivalent or similar components.

Daten vom seriellen Eingangsanschluß SI und Daten vom zweiten parallelen Eingangsanschluß PI2 werden dem zweiten Latch-Schaltkreis L2b zugeführt. Dem ersten Latch-Schaltkreis L2a werden invertierte Daten des Ausgangs vom zweiten Latch-Schaltkreis L2b und die Daten des ersten parallelen Eingangsanschlusses PI1 zugeführt.Data from the serial input terminal SI and data from the second parallel input terminal PI 2 are fed to the second latch circuit L 2 b. The first latch circuit L 2 a is supplied with inverted data of the output from the second latch circuit L 2 b and the data of the first parallel input terminal PI 1 .

Die Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses PI2 werden vom Exklusiv-ODER-Schaltkreis G19 mit den invertierten der Daten verglichen, die im ersten Latch-Schaltkreis L2a gehalten sind. Das Vergleichsergebnis wird dem NAND-Schaltkreis G18 zugeführt. Das Ausgangssignal des NAND-Schaltkreises G18 wird dem NAND-Schaltkreis G17 zugeführt. Das Ausgangssignal PCK2 (zweites Testtaktsignal) des NAND-Schaltkreises G17 wird dem Aktivierungsanschluß EN1 des zweiten Latch-Schaltkreises L2b als Latch-Aktivierungssignal zugeführt.The data of the second parallel input connection PI 2 are compared by the exclusive-OR circuit G 19 with the inverted of the data held in the first latch circuit L 2 a. The comparison result is fed to the NAND circuit G 18 . The output signal of the NAND circuit G 18 is supplied to the NAND circuit G 17 . The output signal PCK 2 (second test clock signal) of the NAND circuit G 17 is supplied to the activation terminal EN 1 of the second latch circuit L 2 b as a latch activation signal.

Der zweite parallele Eingangsanschluß PI2 ist mit dem Datenausgangsanschluß des RAM 2 und der erste parallele Ausgangsanschluß PO1 mit dem Dateneingangsanschluß des RAM2 verbunden.The second parallel input port PI 2 is connected to the data output port of RAM 2 and the first parallel output port PO 1 to the data input port of RAM 2 .

Beim DIO-Abtastregister 25a, das in Fig. 34 gezeigt ist, ist der Dateneingang zum RAM 2 einem Master-Latch und der Datenausgang vom RAM 2 einem Slave-Latch zugeordnet. Beim DIO-Abtastregister 25a, das in Fig. 40 gezeigt ist, ist der Datenausgang vom RAM 2 einem Master- Latch und der Dateneingang zum RAM 2 einem Slave-Latch zugeordnet.In the DIO scan register 25 a, which is shown in FIG. 34, the data input to RAM 2 is assigned to a master latch and the data output from RAM 2 to a slave latch. In the DIO scan register 25 a, which is shown in FIG. 40, the data output from RAM 2 is assigned to a master latch and the data input to RAM 2 is assigned to a slave latch.

Fig. 41 zeigt ein Beispiel für ein DIO-Abtastregister mit einer Funktion, die der des DIO-Abtastregisters 25a der Fig. 40 ähnlich ist, und das ein Latch vom Verhältnistyp benutzt. Die Komponenten in Fig. 41 mit denselben Bezugszeichen wie diejenigen in Fig. 34 bezeichnen äquivalente oder ähnliche Komponenten. Fig. 41 shows an example of a DIO-scan register by a function which is a of FIG. 40 similar to that of DIO-scan register 25, and a latch used on the ratio type. The components in FIG. 41 with the same reference numerals as those in FIG. 34 denote equivalent or similar components.

Der Betrieb des in Fig. 41 gezeigten DIO-Abtastregisters 25a ist im wesentlichen dem des in den Fig. 34 bis 37 dargestellten DIO- Abtastregisters 25a ähnlich. Weil das Testergebnis bei den in den Fig. 40 und 41 gezeigten Abtastregistern im Master-Latch gehalten wird, ist es aber notwendig, beim Auslesen des Testergebnisses durch einen Schiebebetrieb etwas vorsichtig zu sein. Genauer gesagt muß zuerst das Testergebnis durch Zuführen eines Schiebetaktsignals an den seriellen Taktsignalanschluß sck2 zum Slave-Latch übertragen werden, worauf die in Fig. 38 gezeigte Schiebeoperation folgt, um das Testergebnis in nicht-zerstörender Weise auszulesen.The operation of the shown in Fig. 41 DIO-scan register 25 a is substantially that of in Figs. 34 to 37 shown DIO scan register 25 a similar. Because the test result is held in the master latch in the scan registers shown in FIGS . 40 and 41, it is necessary to be somewhat careful when reading out the test result by a shift operation. More specifically, the test result must first be transmitted to the slave latch by supplying a shift clock signal to the serial clock signal port sck 2 , followed by the shift operation shown in Fig. 38 to read the test result in a non-destructive manner.

(f) Weiteres Beispiel für den Vergleichsschaltkreis und den Latch- Aktivierungsschaltkreis(f) Another example of the comparison circuit and the latch Activation circuit

Bei den in den Fig. 34 bis 41 gezeigten Ausführungsformen wird der Exklusiv-ODER-Schaltkreis G19 als Vergleichsschaltkreis verwendet, um die Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses PI2 und die im ersten Latch-Schaltkreis 2a gehaltenen Daten zu vergleichen. Ferner werden die NAND-Schaltkreise G17 und G18 als Latch- Aktivierungsschaltkreis verwendet, um die Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses PI2 an den zweiten Latch-Schaltkreis L2b entsprechend dem Vergleichsergebnis zu verriegeln. Der Vergleichsschaltkreis und der Latch-Aktivierungsschaltkreis sind jedoch nicht auf die Kombination solcher Logikschaltkreise beschränkt.In the embodiments shown in FIGS. 34 to 41, the exclusive OR circuit G 19 is used as a comparison circuit in order to compare the data of the second parallel input terminal PI 2 and the data held in the first latch circuit 2 a. Furthermore, the NAND circuits G 17 and G 18 are used as a latch activation circuit in order to lock the data of the second parallel input connection PI 2 to the second latch circuit L 2 b in accordance with the comparison result. However, the comparison circuit and the latch activation circuit are not limited to the combination of such logic circuits.

Beispielsweise kann ein Exklusiv-NOR-Gatter G41 als Vergleichsschaltkreis benutz werden, und ein NOR-Schaltkreis G42 oder ein ODER-Schaltkreis G43 kann als Latch-Aktivierungsschaltkreis verwendet werden, wie das in Fig. 42 dargestellt ist. Ein Eingangsanschluß des NOR-Schaltkreises G42 ist mit dem Ausgangsanschluß des Exklusiv-NOR-Schaltkreises G41 und der andere Eingangsanschluß mit dem Testtaktsignalanschluß tck*, der das invertierte Testtaktsignal tck* empfängt, verbunden. Ein Eingangsanschluß des ODER-Schaltkreises G43 ist mit dem Ausgangsanschluß des NOR-Schaltkreises G42 und der andere Eingangsanschluß mit dem Testmodusanschluß tn*, der das invertierte Testmodussignal TM* empfängt, verbunden.For example, an exclusive NOR gate G 41 can be used as a comparison circuit, and a NOR circuit G 42 or an OR circuit G 43 can be used as a latch activation circuit, as shown in FIG. 42. One input terminal of the NOR circuit G 42 is connected to the output terminal of the exclusive NOR circuit G 41 and the other input terminal is connected to the test clock signal terminal tck *, which receives the inverted test clock signal tck *. One input terminal of the OR circuit G 43 is connected to the output terminal of the NOR circuit G 42 and the other input terminal is connected to the test mode terminal tn *, which receives the inverted test mode signal TM *.

(g) Vorteil der vierten Ausführungsform(g) Advantage of the fourth embodiment

Entsprechend der vierten Ausführungsform ist der Dateneingang einem von zwei Latch-Schaltkreisen und der Datenausgang dem anderen Latch- Schaltkreis zugeordnet, die ein Abtastregister bilden. Daher ist die Datenein-/Datenausgabe mit einem Abtastregister möglich. Das führt zu einer Verminderung der Komplexität des zusätzlichen Testschaltkreises in einer integrierten Halbleiterschaltkreiseinrichtung.According to the fourth embodiment, the data input is one of two latch circuits and the data output to the other latch Associated circuit that form a scan register. Hence the Data input / output possible with a scan register. Leading to reduce the complexity of the additional Test circuit in an integrated Semiconductor circuit device.

Wie in den Fig. 34 und 40 gezeigt ist, reduziert die Implementierung eines jeden Abtastregisters durch zwei Latch-Schaltkreise vom Verhältnistyp die Anzahl der zu verwendenden Teile signifikant. Das ist für die Reduzierung der Schaltkreiskomplexität sehr effektiv.As shown in Figs. 34 and 40, the implementation of each scan register by two ratio type latch circuits significantly reduces the number of parts to be used. This is very effective for reducing circuit complexity.

(h) Andere Anwendungen(h) Other applications

Bei der vierten Ausführungsform ist der zu prüfende Schaltkreis der RAM 2, wobei der Datenausgangsanschluß des RAM 2 mit dem zusätzlichen Testschaltkreis verbunden ist. Der zusätzliche Testschaltkreis der vorliegenden Erfindung kann mit einem Datenbus verbunden sein, der mit einer Mehrzahl von RAMs verbunden ist.In the fourth embodiment, the circuit under test is RAM 2 , and the data output terminal of RAM 2 is connected to the additional test circuit. The additional test circuitry of the present invention may be connected to a data bus connected to a plurality of RAMs.

Der zu prüfende Schaltkreis ist nicht auf einen RAM beschränkt. Der zusätzliche Testschaltkreis der vorliegenden Erfindung kann auf einen beliebigen Schaltkreis angewandt werden, der kontinuierlich Daten "0" oder "1" ausgibt. Das führt zu ähnlichen Effekten.The circuit under test is not limited to a RAM. The additional test circuitry of the present invention can be implemented any circuit that is applied continuously Outputs data "0" or "1". This leads to similar effects.

Claims (30)

1. Abtastpfadeinrichtung, aufweisend
eine erste Abtastregistergruppe (10) mit einer Mehrzahl von ersten Abtastregistern (110), die in Reihe geschaltet sind,
eine zweite Abtastregistergruppe (20, 30), die mit dem Ausgang der ersten Abtastregistergruppe (10) in Reihe geschaltet ist, mit einer Mehrzahl von zweiten Abtastregistern (410), die in Reihe geschaltet sind, und
eine Steuereinrichtung (SCK, 60) zum Steuern der ersten und zweiten Abtastregistergruppen (10, 20, 30) so daß die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) ihren Schiebebetrieb unterbricht und die erste Abtastregistergruppe (10) ihren Schiebebetrieb ausführt.
1. Scanning path device, comprising
a first scan register group ( 10 ) with a plurality of first scan registers ( 110 ) connected in series,
a second scan register group ( 20, 30 ) connected in series with the output of the first scan register group ( 10 ), with a plurality of second scan registers ( 410 ) connected in series, and
a control device (SCK, 60 ) for controlling the first and second scan register groups ( 10, 20, 30 ) so that the second scan register group ( 20, 30 ) interrupts their shift operation and the first scan register group ( 10 ) carries out their shift operation.
2. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung
eine Einrichtung zum Anlegen eines Schiebetaktsignals (SCK) an die erste Abtastregistergruppe (10), und
eine Einrichtung (60), die von einem vorbestimmten Steuersignal (MD) abhängig ist, zum Anlegen des Schiebetaktsignals (SCK) an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist.
2. Scanning path device according to claim 1, characterized in that the control device
means for applying a shift clock signal (SCK) to the first scan register group ( 10 ), and
a device ( 60 ), which is dependent on a predetermined control signal (MD), for applying the shift clock signal (SCK) to the second scan register group ( 20, 30 ).
3. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung
eine Einrichtung zum Anlegen eines ersten Schiebetaktsignals (SCKA) an die erste Abtastregistergruppe (10), und
eine Einrichtung zum Anlegen eines zweiten Schiebetaktsignals (SCKD), das vom ersten Schiebetaktsignal (SCKA) abhängig ist, an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist.
3. Scanning path device according to claim 1, characterized in that the control device
means for applying a first shift clock signal (SCKA) to the first scan register group ( 10 ), and
has a device for applying a second shift clock signal (SCKD), which is dependent on the first shift clock signal (SCKA), to the second scan register group ( 20, 30 ).
4. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die erste Abtastregistergruppe (10) eine Funktion zum parallelen Ausgeben seriell angelegter Daten und eine Funktion zum seriellen Ausgeben seriell angelegter Daten an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist, und
die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) eine Funktion zum parallelen Ausgeben seriell angelegter Daten von der ersten Abtastregistergruppe (10) und eine Funktion zum seriellen Ausgeben parallel angelegter Daten aufweist.
4. Scanning path device according to claim 1, characterized in that
the first scan register group ( 10 ) has a function for parallel output of serial data and a function for serial output of serial data to the second scan register group ( 20, 30 ), and
the second scan register group ( 20, 30 ) has a function for parallel output of serial data from the first scan register group ( 10 ) and a function for serial output of parallel data.
5. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Mehrzahl zweiter Abtastregister (410)
einen seriellen Eingangsanschluß (SIR),
einen ersten parallelen Eingangsanschluß (dix; do),
einen zweiten parallelen Eingangsanschluß (do; dix),
eine erste Halteeinrichtung (L2a; L2b) zum Halten und Ausgeben eines zugeführten Wertes,
eine zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a) zum Halten und Ausgeben eines zugeführten Wertes,
eine erste Übertragungseinrichtung (EN1) zum Übertragen von Daten vom ersten parallelen Eingangsanschluß (dix; do) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine zweite Übertragungseinrichtung (EN2) zum Übertragen von Daten vom seriellen Eingangsanschluß (SIR) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine dritte Übertragungseinrichtung (EN1) zum Übertragen von Daten vom zweiten parallelen Eingangsanschluß (do; dix) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
eine vierte Übertragungseinrichtung (EN2) zum Übertragen von Daten von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
einen ersten parallelen Ausgangsanschluß (di; dox) zum Empfangen von Daten, die von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) ausgegeben werden,
einen zweiten parallelen Ausgangsanschluß (dox; di) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden;
einen seriellen Ausgangsanschluß (SOR) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
eine Vergleichseinrichtung (G19) zum Vergleichen der Daten des zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschlusses (do, dix) mit Daten, die von der ersten oder zweiten Halteeinrichtung (L2a, L2b) ausgegeben werden, und
eine Aktivierungseinrichtung (G17, G18) zum Aktivieren/Deaktivieren der dritten oder ersten Übertragungseinrichtung (EN1) entsprechend dem Vergleichsergebnis der Vergleichseinrichtung (G19), aufweist, wobei
der serielle Eingangsanschluß (SIR) eines jeden zweiten Abtastregisters (410) mit dem seriellen Ausgangsanschluß (SOR) des Abtastregisters (410) der vorherigen Stufe verbunden ist.
5. Scan path device according to claim 4, characterized in that each of the plurality of second scan registers ( 410 )
a serial input port (SIR),
a first parallel input connection (dix; do),
a second parallel input connection (do; dix),
a first holding device (L 2 a; L 2 b) for holding and outputting a supplied value,
a second holding device (L 2 b; L 2 a) for holding and outputting a supplied value,
a first transmission device (EN 1 ) for transmitting data from the first parallel input connection (dix; do) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second transmission device (EN 2 ) for transmitting data from the serial input connection (SIR) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a third transmission device (EN 1 ) for transmitting data from the second parallel input connection (do; dix) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a fourth transmission device (EN 2 ) for transmitting data from the first holding device (L 2 a; L 2 b) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a first parallel output connection (di; dox) for receiving data which are output by the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second parallel output terminal (dox; di) for receiving data output from the second holding device (L 2 b; L 2 a);
a serial output port (SOR) for receiving data output from the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a comparison device (G 19 ) for comparing the data of the second or first parallel input connection (do, dix) with data which are output from the first or second holding device (L 2 a, L 2 b), and
an activation device (G 17 , G 18 ) for activating / deactivating the third or first transmission device (EN 1 ) in accordance with the comparison result of the comparison device (G 19 ), wherein
the serial input port (SIR) of every other scan register ( 410 ) is connected to the serial output port (SOR) of the scan register ( 410 ) of the previous stage.
6. Abtastpfadeinrichtung, aufweisend
einen Eingangsanschluß (SIB) zum Empfangen serieller Daten,
eine erste Abtastregistergruppe (10) mit einer Mehrzahl von ersten Abtastregistern (110), die mit dem Eingangsanschluß (SIB) in Reihe geschaltet sind,
eine zweite Abtastregistergruppe (20, 30), die mit dem Ausgang der ersten Abtastregistergruppe (10) in Reihe geschaltet ist, mit einer Mehrzahl von zweiten Abtastregistern (410), die in Reihe geschaltet sind,
einen Ausgangsanschluß (SOB),
eine Auswahleinrichtung (50) zum Auswählen entweder der Daten des Eingangsanschlusses (SIB) oder der Daten, die von der zweiten Abtastregistergruppe (20, 30) ausgegeben werden, um die ausgewählten Daten dem Ausgangsanschluß (SOB) zuzuführen, und
eine erste Steuereinrichtung (SCK, 60) zum Steuern der ersten und zweiten Abtastregistergruppen (10, 20, 30), so daß die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) ihren Schiebebetrieb unterbricht und die erste Abtastregistergruppe (10) ihren Schiebebetrieb ausführt, wenn von der Auswahleinrichtung (50) die Daten des Eingangsanschlusses (SIB) ausgewählt worden sind.
6. Scanning path device, comprising
an input port (SIB) for receiving serial data,
a first scan register group ( 10 ) having a plurality of first scan registers ( 110 ) connected in series with the input terminal (SIB),
a second scan register group ( 20, 30 ) connected in series with the output of the first scan register group ( 10 ) with a plurality of second scan registers ( 410 ) connected in series,
an output connection (SOB),
a selector ( 50 ) for selecting either the data of the input port (SIB) or the data output from the second scan register group ( 20, 30 ) to supply the selected data to the output port (SOB), and
first control means (SCK, 60 ) for controlling the first and second scan register groups ( 10, 20, 30 ) so that the second scan register group ( 20, 30 ) stops shifting and the first scan register group ( 10 ) does its shift operation when the Selector ( 50 ) the data of the input port (SIB) have been selected.
7. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Empfangen eines Steuersignals (MD), das den Auswahlzustand der Auswahleinrichtung (50) steuert, wobei die erste Steuereinrichtung
eine Einrichtung zum Anlegen eines Schiebetaktsignals (SCK) an die erste Abtastregistergruppe (10), und
eine Einrichtung (60), die vom Steuersignal (MD) abhängig ist, zum Anlegen des Schiebetaktsignals (SCK) an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist.
7. Scanning path device according to claim 6, characterized by a device for receiving a control signal (MD) which controls the selection state of the selection device ( 50 ), the first control device
means for applying a shift clock signal (SCK) to the first scan register group ( 10 ), and
a device ( 60 ), which is dependent on the control signal (MD), for applying the shift clock signal (SCK) to the second scan register group ( 20, 30 ).
8. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine zweite Steuereinrichtung (70) zum Empfangen von Daten von einem Abtastregister (40), das in der ersten oder zweiten Abtastregistergruppe (10, 20, 30) enthalten ist, zum Steuern der Auswahleinrichtung (50) in Abhängigkeit von den empfangenen Daten.8. scan path device according to claim 6, characterized by a second control device ( 70 ) for receiving data from a scan register ( 40 ) contained in the first or second scan register group ( 10, 20, 30 ) for controlling the selection device ( 50 ) depending on the data received. 9. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Steuereinrichtung
eine Einrichtung zum Anlegen eines Schiebetaktsignals (SCK) an die erste Abtastregistergruppe (10), und
eine Einrichtung (60), die vom Ausgangssignal der zweiten Steuereinrichtung (70) abhängig ist, zum Anlegen des Schiebetaktsignals (SCK) an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist.
9. scan path device according to claim 8, characterized in that the first control device
means for applying a shift clock signal (SCK) to the first scan register group ( 10 ), and
a device ( 60 ), which is dependent on the output signal of the second control device ( 70 ), for applying the shift clock signal (SCK) to the second scan register group ( 20, 30 ).
10. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die erste Abtastregistergruppe (10) eine Funktion zum parallelen Ausgeben seriell angelegter Daten und eine Funktion zum seriellen Ausgeben seriell angelegter Daten an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist, und
die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) eine Funktion zum parallelen Ausgeben seriell angelegter Daten von der ersten Abtastregistergruppe (10) und eine Funktion zum seriellen Ausgeben parallel angelegter Daten aufweist.
10. scan path device according to claim 6, characterized in that
the first scan register group ( 10 ) has a function for parallel output of serial data and a function for serial output of serial data to the second scan register group ( 20, 30 ), and
the second scan register group ( 20, 30 ) has a function for parallel output of serial data from the first scan register group ( 10 ) and a function for serial output of parallel data.
11. Abtastpfadeinrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Mehrzahl zweiter Abtastregister (410)
einen seriellen Eingangsanschluß (SIR),
einen ersten parallelen Eingangsanschluß (dix; do),
einen zweiten parallelen Eingangsanschluß (do; dix),
eine erste Halteeinrichtung (L2a; L2b) zum Halten und Ausgeben zugeführter Daten,
eine zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a) zum Halten und Ausgeben zugeführter Daten,
eine erste Übertragungseinrichtung (EN1) zum Übertragen von Daten vom ersten parallelen Eingangsanschluß (dix; do) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine zweite Übertragungseinrichtung (EN2) zum Übertragen von Daten vom seriellen Eingangsanschluß (SIR) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine dritte Übertragungseinrichtung (EN1) zum Übertragen von Daten vom zweiten parallelen Eingangsanschluß (do; dix) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
eine vierte Übertragungseinrichtung (EN2) zum Übertragen von Daten von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
einen ersten parallelen Ausgangsanschluß (di; dox) zum Empfangen von Daten, die von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) ausgegeben werden,
einen zweiten parallelen Ausgangsanschluß (dox; di) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
einen seriellen Ausgangsanschluß (SOR) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
eine Vergleichseinrichtung (G19) zum Vergleichen der Daten des zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschlusses (do; dix) mit Daten, die von der ersten oder zweiten Halteeinrichtung (L2a, L2b) ausgegeben werden, und
eine Aktivierungseinrichtung (G17, G18) zum Aktivieren/Deaktivieren der dritten oder ersten Übertragungseinrichtung (EN1) entsprechend dem Vergleichsergebnis der Vergleichseinrichtung (G19), aufweist, wobei
der serielle Eingangsanschluß (SIR) eines jeden zweiten Abtastregisters (410) mit dem seriellen Ausgangsanschluß (SOR) des Abtastregisters (410) der vorherigen Stufe verbunden ist.
11. Scan path device according to claim 10, characterized in that each of the plurality of second scan registers ( 410 )
a serial input port (SIR),
a first parallel input connection (dix; do),
a second parallel input connection (do; dix),
a first holding device (L 2 a; L 2 b) for holding and outputting supplied data,
a second holding device (L 2 b; L 2 a) for holding and outputting supplied data,
a first transmission device (EN 1 ) for transmitting data from the first parallel input connection (dix; do) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second transmission device (EN 2 ) for transmitting data from the serial input connection (SIR) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a third transmission device (EN 1 ) for transmitting data from the second parallel input connection (do; dix) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a fourth transmission device (EN 2 ) for transmitting data from the first holding device (L 2 a; L 2 b) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a first parallel output connection (di; dox) for receiving data which are output by the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second parallel output connection (dox; di) for receiving data which are output by the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a serial output port (SOR) for receiving data output from the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a comparison device (G 19 ) for comparing the data of the second or first parallel input connection (do; dix) with data which are output from the first or second holding device (L 2 a, L 2 b), and
an activation device (G 17 , G 18 ) for activating / deactivating the third or first transmission device (EN 1 ) in accordance with the comparison result of the comparison device (G 19 ), wherein
the serial input port (SIR) of every other scan register ( 410 ) is connected to the serial output port (SOR) of the scan register ( 410 ) of the previous stage.
12. Integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung, aufweisend
eine Speichereinrichtung (2) zum Speichern von Daten, und
eine Abtastpfadeinrichtung (3), wobei
die Abtastpfadeinrichtung (3)
einen Eingangsanschluß (SIB) zum Empfangen serieller Daten,
eine erste Abtastregistergruppe (10) mit einer Mehrzahl von ersten Abtastregistern (110), die in Reihe geschaltet sind, zum parallelen Ausgeben von Daten, die seriell vom Eingangsanschluß (SIB) angelegt werden, an die Speichereinrichtung als Adreßsignal,
eine zweite Abtastregistergruppe (20, 30) mit einer Mehrzahl von zweiten Abtastregistern (410), die in Reihe geschaltet sind, zum parallelen Anlegen von Daten an die Speichereinrichtung (2), die von der ersten Abtastregistergruppe (10) seriell zugeführt werden, oder zum Empfangen paralleler Daten, die von der Speichereinrichtung (2) ausgegeben werden,
eine Auswahleinrichtung (50) zum Auswählen entweder der Daten des Eingangsanschlusses (SIB) oder der Daten, die von der zweiten Abtastregistergruppe (20, 30) ausgegeben werden, um die ausgewählten Daten auszugeben, und
eine erste Steuereinrichtung (SCK, 60) zum Steuern der ersten und zweiten Abtastregistergruppen (10, 20, 30), so daß die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) ihren Schiebebetrieb unterbricht und die erste Abtastregistergruppe (10) ihren Schiebebetrieb ausführt, wenn von der Auswahleinrichtung (50) die Daten des Eingangsanschlusses (SIB) ausgewählt worden sind, aufweist.
12. Integrated semiconductor circuit device, comprising
a storage device ( 2 ) for storing data, and
a scan path device ( 3 ), wherein
the scan path device ( 3 )
an input port (SIB) for receiving serial data,
a first scan register group ( 10 ) with a plurality of first scan registers ( 110 ), which are connected in series, for parallel output of data, which are applied serially from the input connection (SIB), to the memory device as an address signal,
a second scan register group ( 20, 30 ) with a plurality of second scan registers ( 410 ), which are connected in series, for the parallel application of data to the memory device ( 2 ), which are supplied serially by the first scan register group ( 10 ), or for Receiving parallel data output from the memory device ( 2 ),
a selector ( 50 ) for selecting either the data of the input port (SIB) or the data output from the second scan register group ( 20, 30 ) to output the selected data, and
first control means (SCK, 60 ) for controlling the first and second scan register groups ( 10, 20, 30 ) so that the second scan register group ( 20, 30 ) stops shifting and the first scan register group ( 10 ) does its shift operation when the Selection device ( 50 ), the data of the input connection (SIB) have been selected.
13. Halbleiteschaltkreiseinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastpfadeinrichtung (3) eine zweite Steuereinrichtung (70) zum Empfangen von Daten von einem Abtastregister (40), das in der ersten oder zweiten Abtastregistergruppe (10, 20, 30) enthalten ist, zum Steuern der Auswahleinrichtung (50) in Abhängigkeit von diesen Daten aufweist. 13. The semiconductor circuit device according to claim 12, characterized in that the scan path device ( 3 ) comprises a second control device ( 70 ) for receiving data from a scan register ( 40 ) which is contained in the first or second scan register group ( 10, 20, 30 ), for controlling the selection device ( 50 ) depending on this data. 14. Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Steuereinrichtung
eine Einrichtung zum Anlegen eines Schiebetaktsignals (SCK) an die erste Abtastregistergruppe (10), und
eine Einrichtung (60), die vom Ausgangssignal der zweiten Steuereinrichtung (70) abhängig ist, zum Anlegen des Schiebetaktsignals (SCK) an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist.
14. A semiconductor circuit device according to claim 13, characterized in that the first control device
means for applying a shift clock signal (SCK) to the first scan register group ( 10 ), and
a device ( 60 ), which is dependent on the output signal of the second control device ( 70 ), for applying the shift clock signal (SCK) to the second scan register group ( 20, 30 ).
15. Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtastpfadeinrichtung (3)
eine Halteeinrichtung (49), die in Reihe mit der ersten und zweiten Abtastregistergruppe (10, 20, 30) gebildet ist, zum Halten eines Moduseinstellwertes, und
eine zweite Steuereinrichtung (70), die von dem Moduseinstellwert abhängig ist, der in der Halteeinrichtung (40) gehalten wird, zum Steuern der Auswahleinrichtung (50), aufweist.
15. A semiconductor circuit device according to claim 12, characterized in that the scanning path device ( 3 )
holding means ( 49 ), formed in series with the first and second sample register groups ( 10, 20, 30 ), for holding a mode setting value, and
a second control device ( 70 ), which is dependent on the mode setting value which is held in the holding device ( 40 ), for controlling the selection device ( 50 ).
16. Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Steuereinrichtung
eine Einrichtung zum Anlegen eines Schiebetaktsignals (SCK) an die erste Abtastregistergruppe (10), und
eine Einrichtung (60), die vom Ausgangssignal der zweiten Steuereinrichtung(70) abhängig ist, zum Anlegen des Schiebetaktsignals (SCK) an die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) aufweist.
16. A semiconductor circuit device according to claim 15, characterized in that the first control device
means for applying a shift clock signal (SCK) to the first scan register group ( 10 ), and
a device ( 60 ), which is dependent on the output signal of the second control device ( 70 ), for applying the shift clock signal (SCK) to the second scan register group ( 20, 30 ).
17. Halbleiterschaltkreiseinrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Mehrzahl zweiter Abtastregister (410) einen seriellen Eingangsanschluß (SIR),
einen ersten parallelen Eingangsanschluß (dix; do)
einen zweiten parallelen Eingangsanschluß (do; dix),
eine erste Halteeinrichtung (L2a; L2b) zum Halten und Ausgeben zugeführter Daten,
eine zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a) zum Halten und Ausgeben zugeführter Daten,
eine erste Übertragungseinrichtung (EN1) zum Übertragen von Daten vom ersten parallelen Eingangsanschluß (dix; do) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine zweite Übertragungseinrichtung (EN2) zum Übertragen von Daten vom seriellen Eingangsanschluß (SIR) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine dritte Übertragungseinrichtung (EN1) zum Übertragen von Daten vom zweiten parallelen Eingangsanschluß (do; dix) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L1a),
eine vierte Übertragungseinrichtung (EN2) zum Übertragen von Daten von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
einen ersten parallelen Ausgangsanschluß (dox; di) zum Empfangen von Daten, die von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) ausgegeben werden,
einen zweiten parallelen Ausgangsanschluß (di; dox) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
einen seriellen Ausgangsanschluß (SOR) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
eine Vergleichseinrichtung (G19) zum Vergleichen der Daten des zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschlusses (do; dix) mit Daten, die von der ersten oder zweiten Halteeinrichtung (L2a, L2b) ausgegeben werden, und
eine Aktivierungseinrichtung (G17, G18) zum Aktivieren/Deaktivieren der dritten oder ersten Übertragungseinrichtung (EN1) entsprechend dem Vergleichsergebnis der Vergleichseinrichtung (G19), aufweist, wobei
der serielle Eingangsanschluß (SIR) eines jeden zweiten Abtastregisters (410) mit dem seriellen Ausgangsanschluß (SOR) des Abtastregisters (410) der vorherigen Stufe verbunden ist.
17. The semiconductor circuit device according to claim 12, characterized in that each of the plurality of second scanning registers ( 410 ) has a serial input connection (SIR),
a first parallel input connection (dix; do)
a second parallel input connection (do; dix),
a first holding device (L 2 a; L 2 b) for holding and outputting supplied data,
a second holding device (L 2 b; L 2 a) for holding and outputting supplied data,
a first transmission device (EN 1 ) for transmitting data from the first parallel input connection (dix; do) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second transmission device (EN 2 ) for transmitting data from the serial input connection (SIR) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a third transmission device (EN 1 ) for transmitting data from the second parallel input connection (do; dix) to the second holding device (L 2 b; L 1 a),
a fourth transmission device (EN 2 ) for transmitting data from the first holding device (L 2 a; L 2 b) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a first parallel output connection (dox; di) for receiving data which are output by the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second parallel output connection (di; dox) for receiving data which are output by the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a serial output port (SOR) for receiving data output from the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a comparison device (G 19 ) for comparing the data of the second or first parallel input connection (do; dix) with data output by the first or second holding device (L 2 a, L 2 b), and
an activation device (G 17 , G 18 ) for activating / deactivating the third or first transmission device (EN 1 ) in accordance with the comparison result of the comparison device (G 19 ), wherein
the serial input port (SIR) of every other scan register ( 410 ) is connected to the serial output port (SOR) of the scan register ( 410 ) of the previous stage.
18. Zusätzlicher Testschaltkreis, aufweisend
eine Mehrzahl von Abtastregistern (25a), die in Reihe geschaltet sind, wobei
jedes der Mehrzahl von Abtastregistern (25a) einen seriellen Eingangsanschluß (SI),
einen ersten parallelen Eingangsanschluß (PI1; PI2),
einen zweiten parallelen Eingangsanschluß (PI2, PI1),
eine erste Halteeinrichtung (L2a; L2b) zum Halten und Ausgeben zugeführter Daten,
eine zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a) zum Halten und Ausgeben zugeführter Daten,
eine erste Übertragungseinrichtung (EN1; N32; N34) zum Übertragen von Daten vom ersten parallelen Eingangsanschluß (PI1; PI2) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine zweite Übertragungseinrichtung (EN2; N31; N33) zum Übertragen von Daten vom seriellen Eingangsanschluß (SI) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b),
eine dritte Übertragungseinrichtung (EN1; N34; N32) zum Übertragen von Daten vom zweiten parallelen Eingangsanschluß (PI2; PI1) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
eine vierte Übertragungseinrichtung (EN1; N33; N31) zum Übertragen von Daten von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a),
einen ersten parallelen Ausgangsanschluß (PO1; PO2) zum Empfangen von Daten, die von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) ausgegeben werden,
einen zweiten parallelen Ausgangsanschluß (PO2; PO1) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
einen seriellen Ausgangsanschluß (SO) zum Empfangen von Daten, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2b; L2a) ausgegeben werden,
eine Vergleichseinrichtung (G19) zum Vergleichen der Daten des zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschlusses (PI2) mit Daten, die von der ersten oder zweiten Halteeinrichtung (L2a) ausgegeben werden, und
eine Aktivierungseinrichtung (G17, G18) zum Aktivieren/Deaktivieren der dritten oder ersten Übertragungseinrichtung (EN1; N34) entsprechend dem Vergleichsergebnis der Vergleichseinrichtung (G19), aufweist, wobei
der serielle Eingangsanschluß (SI) eines jeden Abtastregisters (25a) mit dem seriellenAusgangsanschluß (SO) des Abtastregisters (25a) der vorherigen Stufe verbunden ist.
18. Additional test circuit, having
a plurality of scan registers ( 25 a) which are connected in series, wherein
each of the plurality of scan registers ( 25 a) has a serial input connection (SI),
a first parallel input connection (PI 1 ; PI 2 ),
a second parallel input connection (PI 2 , PI 1 ),
a first holding device (L 2 a; L 2 b) for holding and outputting supplied data,
a second holding device (L 2 b; L 2 a) for holding and outputting supplied data,
a first transmission device (EN 1 ; N 32 ; N 34 ) for transmitting data from the first parallel input connection (PI 1 ; PI 2 ) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second transmission device (EN 2 ; N 31 ; N 33 ) for transmitting data from the serial input connection (SI) to the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a third transmission device (EN 1 ; N 34 ; N 32 ) for transmitting data from the second parallel input connection (PI 2 ; PI 1 ) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a fourth transmission device (EN 1 ; N 33 ; N 31 ) for transmitting data from the first holding device (L 2 a; L 2 b) to the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a first parallel output connection (PO 1 ; PO 2 ) for receiving data which are output by the first holding device (L 2 a; L 2 b),
a second parallel output connection (PO 2 ; PO 1 ) for receiving data which are output by the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a serial output connection (SO) for receiving data which are output by the second holding device (L 2 b; L 2 a),
a comparison device (G 19 ) for comparing the data of the second or first parallel input connection (PI 2 ) with data output from the first or second holding device (L 2 a), and
an activation device (G 17 , G 18 ) for activating / deactivating the third or first transmission device (EN 1 ; N 34 ) in accordance with the comparison result of the comparison device (G 19 ), wherein
the serial input port (SI) of each scan register ( 25 a) is connected to the serial output port (SO) of the scan register ( 25 a) of the previous stage.
19. Testschaltkreis nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichseinrichtung (G19) Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses (PI2) mit Daten vergleicht, die von der ersten Halteeinrichtung (L2a) ausgegeben werden, und die Aktivierungseinrichtung (G17, G18) die dritte Übertragungseinrichtung (EN1; N34) aktiviert/deaktiviert.19. Test circuit according to claim 18, characterized in that the comparison device (G 19 ) compares data of the second parallel input connection (PI 2 ) with data which are output by the first holding device (L 2 a), and the activation device (G 17 , G 18 ) the third transmission device (EN 1 ; N 34 ) activated / deactivated. 20. Testschaltkreis nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichseinrichtung (G19) Daten des ersten parallelen Eingangsanschlusses (PI2) mit Daten vergleicht, die von der zweiten Halteeinrichtung (L2a) ausgegeben werden, und die Aktivierungseinrichtung (G17, G18) die erste Übertragungseinrichtung (EN1; N34) aktiviert/deaktiviert.20. Test circuit according to claim 18, characterized in that the comparison device (G 19 ) compares data of the first parallel input connection (PI 2 ) with data which are output by the second holding device (L 2 a), and the activation device (G 17 , G 18 ) the first transmission device (EN 1 ; N 34 ) activated / deactivated. 21. Testschaltkreis nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß jede der ersten und zweiten Halteeinrichtungen (L2a, L2b) einen Latch-Schaltkreis (L31, L32) vom Verhältnistyp (einen Ratio-Type- Latch-Schaltkreis) aufweist.21. Test circuit according to claim 18, characterized in that each of the first and second holding devices (L 2 a, L 2 b) has a latch circuit (L 31 , L 32 ) of the ratio type (a ratio-type latch circuit) . 22. Testschaltkreis nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß jede der ersten und zweiten Halteeinrichtungen (L2a, L2b) einen CMOS-Schaltkreis aufweist.22. Test circuit according to claim 18, characterized in that each of the first and second holding devices (L 2 a, L 2 b) has a CMOS circuit. 23. Testschaltkreis nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktivierungseinrichtung (G17, G18) die dritte oder erste Übertragungseinrichtung (EN1; N34) aktiviert, wenn das Vergleichsergebnis der Vergleichseinrichtung (G19) eine Nicht- Übereinstimmung anzeigt, und daß die Aktivierungseinrichtung (G17, G18) die dritte oder erste Übertragungseinrichtung (EN1; N34) deaktiviert, wenn das Vergleichsergebnis eine Übereinstimmung anzeigt.23. Test circuit according to claim 18, characterized in that the activation device (G 17 , G 18 ) activates the third or first transmission device (EN 1 ; N 34 ) when the comparison result of the comparison device (G 19 ) indicates a mismatch, and that the activation device (G 17 , G 18 ) deactivates the third or first transmission device (EN 1 ; N 34 ) when the comparison result indicates a match. 24. Testschaltkreis nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß die erste oder dritte Übertragungseinrichtung (EN1; N32) in Abhängigkeit von einem parallelen Schiebetaktsignal (PCK1) aktiviert wird,
die zweite Übertragungseinrichtung (EN2; N31; N33) in Abhängigkeit von einem ersten seriellen Schiebetaktsignal (SCK1) aktiviert wird, und
die vierte Übertragungseinrichtung (EN2; N33; N31) in Abhängigkeit von einem zweiten seriellen Schiebetaktsignal (SCK2) aktiviert wird.
24. Test circuit according to claim 23, characterized in that the first or third transmission device (EN 1 ; N 32 ) is activated as a function of a parallel shift clock signal (PCK 1 ),
the second transmission device (EN 2 ; N 31 ; N 33 ) is activated as a function of a first serial shift clock signal (SCK 1 ), and
the fourth transmission device (EN 2 ; N 33 ; N 31 ) is activated as a function of a second serial shift clock signal (SCK 2 ).
25. Testschaltkreis nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktivierungseinrichtung (G17, G18) die dritte oder erste Übertragungseinrichtung (EN1; N34) in Abhängigkeit von einem Testmodussignal (TM) aktiviert.25. Test circuit according to claim 24, characterized in that the activation device (G 17 , G 18 ) activates the third or first transmission device (EN 1 ; N 34 ) as a function of a test mode signal (TM). 26. Testschaltkreis für eine integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung, aufweisend
eine Mehrzahl von Abtastregistern (25a), die in Reihe geschaltet sind, um einen Abtastpfad zu implementieren, wobei
jedes der Mehrzahl von Abtastregistern (25a) eine erste Latch-Einrichtung (L2a) mit einem ersten seriellen Eingangsanschluß (D2) und einem ersten parallelen Eingangsanschluß (D1) zum Verriegeln von Daten,
eine zweite Latch-Einrichtung (L2b) mit einem zweiten seriellen Eingangsanschluß (D2) und einem zweiten parallelen Eingangsanschluß (D1) zum Verriegeln von Daten,
eine Vergleichseinrichtung (G19) zum Vergleichen der Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses (D1) mit den Daten, die in der ersten Latch-Einrichtung (L2a) verriegelt sind, und
eine Latch-Aktivierungseinrichtung (G17, G18) zum Verriegeln von Daten des zweiten parallelen Eingangsanschlusses (D1) in der zweiten Latch-Einrichtung (L2b) entsprechend dem Vergleichsergebnis der Vergleichseinrichtung (G17).
26. Test circuit for an integrated semiconductor circuit device, comprising
a plurality of scan registers ( 25 a) connected in series to implement a scan path, wherein
each of the plurality of scan registers ( 25 a) a first latch device (L 2 a) with a first serial input connection (D 2 ) and a first parallel input connection (D 1 ) for locking data,
a second latch device (L 2 b) with a second serial input connection (D 2 ) and a second parallel input connection (D 1 ) for locking data,
a comparison device (G 19 ) for comparing the data of the second parallel input connection (D 1 ) with the data which are locked in the first latch device (L 2 a), and
a latch activation device (G 17 , G 18 ) for locking data of the second parallel input connection (D 1 ) in the second latch device (L 2 b) in accordance with the comparison result of the comparison device (G 17 ).
27. Testschaltkreis nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die integrierte Halbleiterschaltkreiseinrichtung einen Direktzugriffsspeicher (2) mit einer Mehrzahl von Datenausgangsanschlüssen (DO1-DOn) und einer Mehrzahl von Dateneingangsanschlüssen (DI1-DIn) aufweist, wobei der zweite parallele Eingangsanschluß (D1) eines jeden Abtastregisters (25a) mit einem der Mehrzahl von Datenausgangsanschlüssen (DO1-DOn) verbunden ist, und der Ausgang der ersten Latch-Einrichtung (L2a) eines jeden Abtastregisters (25a) mit einem der Mehrzahl von Dateneingangsanschlüssen (DI1-DIn) verbunden ist.27. Test circuit according to claim 26, characterized in that the integrated semiconductor circuit device has a random access memory ( 2 ) with a plurality of data output connections (DO 1 -DOn) and a plurality of data input connections (DI 1 -DIn), the second parallel input connection (D 1 ) of each scan register ( 25 a) is connected to one of the plurality of data output connections (DO 1 -DOn), and the output of the first latch device (L 2 a) of each scan register ( 25 a) is connected to one of the plurality of data input connections (DI 1 -DIn) is connected. 28. Betriebsverfahren für eine Abtastpfadeinrichtung mit einer ersten Abtastregistergruppe (10) mit einer Mehrzahl von ersten Abtastregistern (110), die in Reihe geschaltet sind, und einer zweiten Abtastregistergruppe (20, 30), die mit dem Ausgang der ersten Abtastregistergruppe (10) verbunden ist und eine Mehrzahl von zweiten Abtastregistern (410) enthält, die in Reihe geschaltet sind, gekennzeichnet durch die Schritte:
Steuern der ersten und zweiten Abtastregistergruppen (10, 20, 30), so daß die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) ihren Schiebebetrieb unterbricht und die erste Abtastregistergruppe (10) ihren Schiebebetrieb ausführt.
28. Operating method for a scan path device having a first scan register group ( 10 ) with a plurality of first scan registers ( 110 ) connected in series and a second scan register group ( 20, 30 ) connected to the output of the first scan register group ( 10 ) and includes a plurality of second scan registers ( 410 ) connected in series, characterized by the steps:
Controlling the first and second scan register groups ( 10, 20, 30 ) so that the second scan register group ( 20, 30 ) interrupts their shift operation and the first scan register group ( 10 ) carries out their shift operation.
29. Betriebsverfahren nach Anspruch 28, gekennzeichnet durch die Schritte:
Auswählen entweder der Daten, die der ersten Abtastregistergruppe (10) zugeführt werden, oder der Daten, die von der zweiten Abtastregistergruppe (20, 30) ausgegeben werden, um die ausgewählten Daten auszugeben, wobei
der Schritt der Steuerung den Schritt des Steuerns der ersten und zweiten Abtastregistergruppen (10, 20, 30) umfaßt, so daß die zweite Abtastregistergruppe (20, 30) ihren Schiebebetrieb ausführt, wenn im Auswahlschritt die Daten ausgewählt worden sind, die der ersten Abtastregistergruppe (10) zugeführt werden.
29. Operating method according to claim 28, characterized by the steps:
Selecting either the data supplied to the first scan register group ( 10 ) or the data output from the second scan register group ( 20, 30 ) to output the selected data, wherein
the step of controlling includes the step of controlling the first and second scan register groups ( 10, 20, 30 ) so that the second scan register group ( 20, 30 ) will shift when the data corresponding to the first scan register group ( 10 ) are supplied.
30. Betriebsverfahren für einen zusätzlichen Testschaltkreis mit einer Mehrzahl von Abtastregistern (25a), die in Reihe geschaltet sind, wobei jedes Abtastregister (25a) einen seriellen Eingangsanschluß (SI), einen ersten und zweiten parallelen Ausgangsanschluß (PI1, PI2) und eine erste und zweite Halteeinrichtung (L2a; L2b) aufweist, gekennzeichnet durch die Schritte:
Anlegen der Daten des seriellen Eingangsanschlusses (SI) an die erste Halteeinrichtung (L2a; L2b) in Abhängigkeit von einem ersten seriellen Schiebetaktsignal (SCK1),
Anlegen der Daten, die von der ersten Halteeinrichtung (L2a; L2b) ausgegeben werden, an die zweite Halteeinrichtung (L2b; L2a) in Abhängigkeit von einem zweiten seriellen Schiebetaktsignal (SCK2),
Vergleichen der Daten vom zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschluß (PI2) mit den Daten, die von der ersten oder zweiten Halteeinrichtung (L2a) ausgegeben werden, und
Anlegen der Daten des zweiten oder ersten parallelen Eingangsanschlusses (PI2) an die erste oder zweite Halteeinrichtung (L2a), wenn das Vergleichsergebnis eine Nicht-Übereinstimmung anzeigt.
30. Operating method for an additional test circuit with a plurality of scan registers ( 25 a) connected in series, each scan register ( 25 a) having a serial input connection (SI), a first and a second parallel output connection (PI 1 , PI 2 ) and a first and second holding device (L 2 a; L 2 b), characterized by the steps:
Applying the data of the serial input connection (SI) to the first holding device (L 2 a; L 2 b) as a function of a first serial shift clock signal (SCK 1 ),
Applying the data which are output by the first holding device (L 2 a; L 2 b) to the second holding device (L 2 b; L 2 a) as a function of a second serial shift clock signal (SCK 2 ),
Comparing the data from the second or first parallel input terminal (PI 2 ) with the data output from the first or second holding device (L 2 a), and
Applying the data of the second or first parallel input connection (PI 2 ) to the first or second holding device (L 2 a) if the comparison result indicates a mismatch.
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