DE4143284A1 - Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer - Google Patents
Integrierter halbleitersensor fuer spektrometerInfo
- Publication number
- DE4143284A1 DE4143284A1 DE19914143284 DE4143284A DE4143284A1 DE 4143284 A1 DE4143284 A1 DE 4143284A1 DE 19914143284 DE19914143284 DE 19914143284 DE 4143284 A DE4143284 A DE 4143284A DE 4143284 A1 DE4143284 A1 DE 4143284A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- semiconductor sensor
- spectrum
- detectors
- radiation
- charge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 31
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 30
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 7
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000000559 atomic spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000010905 molecular spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft die Detektierung von Strahlung in spektrometrischen
Einrichtungen, insbesondere einen integrierten Halbleitersensor für optische
Spektrometer.
Für die simultane Messung eines großen Spektralbereiches mit hoher
spektraler Auflösung existiert neben konventionell eindimensional auflösenden
Spektrometern ein spezieller Typ von Spektralgeräten, die
Echelle-Spektrometer mit interner Ortstrennung, welche das Spektrum
einer Strahlungsquelle als zweidimensionale Anordnung von nebeneinander
liegenden Teilspektren, den Ordnungen, in einer Bildebene erzeugen. Dabei
sind die nur annähernd geraden Ordnungen des Spektrums auch nur
annähernd parallel und mit ungleichmäßigem Abstand voneinander in der
Bildebene angeordnet. Der Informationsgehalt des Spektrums, welcher zu
einer Aussage über die zu untersuchende Strahlungsquelle genutzt werden
soll, ist je nach Strahlungsquelle unregelmäßig, aber reproduzierbar im
Spektrum verteilt. Darüber hinaus enthalten die Zwischenräume zwischen
den Teilspektren Informationen über das Streustrahlung, welche durch die
Kombination der Eigenschaften von Strahlungsquelle und Spektralgerät
bestimmt wird. Zur Erfassung der Intensität in Abhängigkeit von der Wellenlänge,
welche in der Bildebene als ortsabhängige Intensitätsverteilung
vorliegt, werden linien- und flächenhafte Strahlungssensoren in verschiedenster
Form eingesetzt.
Eine typische Anwendung wird in Spectrochem. Acta, Vol. 42 B, Nr. 1/2,
1987, S. 341 beschrieben, bei der zunächst eine Vorauswahl der bedeutenden
Spektrallinien mittels eines Polychromators erfolgt, um mittels
eines nachfolgenden Echelle-Spektrometers das Teilspektrum auf eine CCD-
Sensorzeile abzubilden. Dies Verfahren ist sowohl optisch als auch mechanisch
sehr kompliziert zu handhaben und häufig durch Linienkoinzidenzen
benachteiligt. Die Zahl der zu untersuchenden Spektrallinien
liegt bei nur ca. 10, Streustrahlungsverhältnisse und Emissionsverhalten
der Quelle können nicht simultan erfaßt werden.
In einigen Fällen wie z. B. im US-PS 40 49 353 werden Schlitz-Masken in
die Fokalebene des Spektrums gestellt, um mittels Lichtleiter die Information
über nur eine Spektrallinie an Einzeldetektoren zuzuführen. Ähnlich
diskret werden Informationen von nur einer Linie allein registriert in der
Patentschrift D 29 46 862, indem auf einem Chip einzelne Fotoaufnehmer
angeordnet sind. Nachteilig ist, daß die Umgebung der Spektrallinien,
Streustrahlungsverhältnisse und das Emissionsverhalten der Quelle nicht
simultan erfaßt werden können.
In vielen Fallen wurden zur Registrierung des Gesamtspektrums
flächenhafte Detektorsysteme wie Vidicons, Dissektorröhren oder CCD-
Sensor-Matrizen eingesetzt (Y. Talmi, "Multichanel Image Detectals", American
Chemical Society, Washington D. C. 1979). Der Einsatz dieser
Detektorsysteme ist vor allem durch eine ungenügende Anpassung an die
Erfordernisse der Registrierung benachteiligt. Um die allgemein geforderte
hohe Ortsauflösung des Detektors über die resultierende große Fokalfläche,
die sich aus unregelmäßig und gekrümmt angeordneten Ordnungszeilen zusammensetzt,
zu realisieren, muß eine hohe Zahl von Sensoren ausgewertet
werden, was zu einer reduzierten Zeitauflösung führt und ein geringes
Signal/Rauschverhältnis bedingt. Will man auf diesem Wege die Umgebungsverhältnisse
kontinuierlicher Spektren, einer Spektrallinie (Untergrundstrahlung)
sowie die Streustrahlungsverhältnisse und das Emissionsverhalten
der Quelle simultan erfassen, übersteigt die dazu notwendige
Informationsmenge die Akzeptanz der zeitlichen Auflösung. Damit sind
wesentliche Einschränkungen des Spektrometereinsatzes verbunden.
In der US-PS 48 20 048 ist eine Detektoranordnung bekannt, die eine
spezielle zweidimensionale Anordnung von strahlungsempfindlichen Pixeln
an nur solchen Projektionsorten verwendet, an denen wenigstens eine relevante
Spektrallinie vorhanden ist. Hier werden lediglich die fest vorgegebenen
Linien sowie deren unmittelbare Umgebung, jedoch nicht die weiteren
Bereiche der flächenhaften Spektralanordnung untersucht. Nachteilig ist,
daß kontinuierliche Spektren (Bandenspektren), die fernere Umgebung von
Spektrallinien, die Streustrahlungsverhältnisse über die resultierend große
Fokalfläche und das Emissionsverhalten der Quelle nicht simultan erfaßt
werden können.
Insgesamt kann festgestellt werden, daß die hohen Anforderungen an die
Orts- und Zeitauflösung, an die Streustrahlung- sowie an die Quellenstabilitätserfassung
prinzipiell gegeneinander konkurrieren. Keine der vier Detektorsysteme
in den speziellen Anforderungen einer umfassenden simultanen
Auswertung von linien- oder flächenhaften Spektralanordnungen bzgl.
kontinuierlicher Spektren, der Linienerfassung, der Intensitätsauswertung
der Spektrallinien, der Untergrundstrahltung der Linienumgebung, einer
flächenbezogenen Streustrahlungkorrektur und einer Registrierung der
Lichtquellenemission ausreichend angepaßt.
Ziel der Erfindung ist es, die Nachteile und die Einschränkungen der bisher
bekannten Detektorsysteme zu überwinden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur Untersuchung
ein- oder zweidimensionaler Spektren zu schaffen, welche die simultane
Messung der gesamten, analytisch relevanten Information des Spektrums
einer Strahlungsquelle mit hoher Zeitauflösung bei geringen Anforderungen
an die Steuer- und Auswerteelektronik gestattet. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß
dadurch gelöst, daß der in der Fokalfläche des Spektrometers
angeordnete Halbleitersensor als ein integriertes Bauelement ausgebildet
ist, auf dessen Oberfläche über wesentliche Wellenlängenbereiche des abgebildeten
Spektrums regelmäßig und lückenlos Strahlungsdetektoren angeordnet
sind, deren Abmessungen jeweils der Ortsauflösung und örtlichen
Verteilung des abgebildeten Spektrums entsprechen. Die den Detektoren
nachgeschalteten Speicher-, Transport-, Verstärker- und Schaltungseinrichtungen
werden derart angeordnet und eingerichtet, daß durch eine
gemeinsame Logikschaltung aus anwählbaren Teilen der (des) genutzten
zusammenhängenden Wellenlagenbereiche(s) intensitätsbezogene
Signale von Bandenspektren, Spektrallinien, Untergrundstrahlung
der Linienumgebung, von flächenbezogenen Streustrahlungsanteilen
sowie von der Lichtquelle selbst zu einem oder mehreren Ausgängen
geführt werden. Die anwählbaren zusammenhängenden Abschnitte des
integrierten Halbleitersensors arbeiten vorzugsweise nach den
Prinzipien ladungsgekoppelter Bauelemente (CCD) und ermöglichen
durch die Zuordnung eines zusätzlichen Speichergebietes und die
koordinierte Taktung von zwei an jedem Detektor angebrachten Schaltungseinrichtungen
die Realisierung streng simultaner Messungen der
Strahlungsintensität an allen Detektoren innerhalb eines in weiten
Grenzen frei wählbaren Zeitfensters, aber auch alternativ die
Anpassung der in jedem einzelnen anwählbaren zusammenhängenden
Abschnitt angewendeten Integrationszeit an die auf den betreffenden
Abschnitt fallende Strahlungsintensität durch entsprechende
Anwahlzyklen oder durch eine geeignete Taktung eines erst durch die
Anwahl des betreffenden Abschnittes aktivierten und an jedem
Detektor dieses Abschnittes wirksamen zusätzlichen Schalters,
mittels dessen die Ladungsintegration des Detektors zeitweise unterdrückt
werden kann. In einer Ausgestaltung der den Detektoren
nachgeschalteten Ladungstransport-, Verstärker- und Schaltungseinrichtungen
werden diese derart ausgelegt, daß die zu einem gegebenen
Zeitpunkt nicht angewählten Detektorabschnitte von der Taktspannungsversorgung
und/oder den Versorgungspotentialleitungen
und/oder von einer gemeinsamen Ausgangssignalleitung abgetrennt
werden, um die Anzahl der Chiptotalausfälle durch Defekte und
Kurzschlüsse innerhalb eines Abschnitts zu verringern. Weiterhin
wird in einer Ausgestaltung des in der Fokalfläche des Spektrometers
angeordneten Halbleitersensors dieser als ein hybrides Bauelement
ausgebildet, in dem mehrere auf einem gemeinsamen Substrat positionierte,
monolithisch integrierte Halbleiterchips oben beschriebener
Art so im abgebildeten Spektrum angeordnet sind, daß keine für
die vorgesehene Meßaufgabe wesentlichen Teile des Spektrums in die
nicht mit Detektoren belegbaren Randgebiete der Halbleiterchips oder
in die zwischen diesen Chips nicht nutzbaren Zwischenräume fallen.
Durch diese Ausgestaltung wird die Fläche der Einzelchips in bezug
auf die Fläche des Gesamtdetektors verringert und damit auch bei sehr
großen Detektorflächen eine brauchbare Chipausbeute ermöglicht. Die
Verwendung derartiger großflächiger Detektoren vereinfacht die
optische Konstruktion der Spektrometer und verbessert gleichzeitig
die spektrale Auflösung.
In einem Echelle-Spektrometer, das für Analysen der Molekül- und
Atomspektroskopie eingesetzt wird, entstehen in an sich bekannter
Weise auf einer zweidimensionalen Fläche Atomlinien, deren relative
Positionen im Spektrometer mit identischem Dispersionssystem
konstant sind, oder charakteristische Bandenspektren der zu
untersuchenden Moleküle. Da für Analysen Informationen über
Bandenspektren, über eine endliche Menge ausgewählter Atomlinien,
über die Untergrundstrahlung der unmittelbaren Umgebung dieser
Linien, über die Streustrahlungsverteilung der gesamten Abbildungsfläche
sowie über das Emissionsverhalten der Lichtquelle während der
Lichtintegrationszeit zu erfassen sind, werden über ausgewählte Wellenlängenbereiche
des Sensors regelmäßig und lückenlos empfindliche
Detektoren mit angepaßten Abmessungen in Gruppen so angeordnet,
daß ihre freie Anwahl, eine simultane Lichtintegration, sowie die
erforderliche Zwischenspeicherung, Informationsververarbeitung und
Aufgabe der Signale ermöglicht wird. Die Abmessungen der Sensoren
werden derart gestaltet, daß sie an Orten, an denen zu untersuchende
Spektrallinien erwartet werden, den Dimensionen der abgebildeten Linien
folgen. In einem Bereich um einen solchen Linienort herum
werden beidseitig in Dispersionsrichtung des Gitters Detektoren mit
gleichen Abmessungen angeordnet. Es folgen dann in weiter anschließenden
Bereichen, in denen keine oder unbedeutende, nicht zu
erfassende Spektrallinien erwartet werden, in denen Streulichtanteile
des optischen Systems, Anteile der Untergrundstrahlung
sowie Molekülspektren zu analysieren sind, gemäß den Ordnungsbereichen
in dem zweidimensionalen Spektralmuster entsprechend
strukturierte Detektoren. Die den Sensoren nachgeschalteten
Ladungspeichereinrichtungen, Versorgungspotentialleitungen, Logikschaltungen
und Ausgangsverstärker führen durch eine gemeinsame
Logikschaltung aus anwählbaren Teilen der Wellenlängenbereiche intensitätsbezogene
Signale von Bandenspektren, Spektrallinien, Untergrundstrahlung
der Linienumgebung, von flächenbezogenen Streustrahlungsanteilen
sowie von der Lichtquelle selbst Signale seriell zu
einem Ausgang des Chips.
Claims (5)
1. Integrierter Halbleitersensor für Spektrometer, die eine ein- oder
zweidimensionale Anordnung eines Spektrums erzeugen, bestehend aus
einer Vielzahl von Strahlungsdetektoren, Ladungsspeicher- und Ladungstransporteinrichtungen,
Versorgungspotentialleitungen, Logikschaltungen
und Ausgangsverstärkern, die in einer ein- oder zweidimensionalen Anordnung
die Strahlung von Teilgebieten des Spektrums in elektrische
Signale gemäß der Intensitäten umzusetzen vermögen, dadurch gekennzeichnet,
daß die auf einem oder mehreren zusammenhängenden
Wellenlängenbereich(en) des auf dem integrierten Halbleitersensor abgebildeten
Spektrums regelmäßig und lückenlos angeordneten Strahlungsdetektoren
jeweils an die sich aus dem Blenden- und Dispersionssystem des
Spektrometers und der zu untersuchenden Strahlungsquelle ergebenden
ortsauflösenden Bedingungen angepaßte Abmessungen besitzen und entsprechend
der Zeilenstruktur des Spektrums angeordnet sind und daß die
den Detektoren nachgeschalteten Speicher-, Ladungstransport-, Verstärker-
und Schaltungseinrichtungen auf eine den jeweils verwendeten Sensoren
spezifisch angepaßte Weise eingerichtet sind und daß durch diese
zusammen mit einer integrierten Logikschaltung sowohl die Signale der Detektoren
anwählbarer zusammenhängender Abschnitte wenigstens eines regelmäßig
mit Detektoren belegten Wellenlängenbereiches einzeln oder
teilweise zusammengefaßt, seriell und/oder parallel ausgelesen werden, als
auch die Lichtintegrationszeit der einzelnen Abschnitte gesteuert wird.
2. Halbleitersensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die anwählbaren zusammenhängenden Abschnitte des integrierten Halbleitersensors
nach den Prinzipien ladungsgekoppelter Bauelemente (CCD)
arbeiten.
3. Halbleitersensor nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß mittels der den Detektoren nachgeschalteten Ladungsspeicher-,
Transport- und Schaltungseinrichtungen sowie der integrierten Logikschaltungschaltungen
der Ladungsintegrationsvorgang aller Detektoren simultan
gestartet und nach einer unabhängig von der Auslesezeit des
gesamten Halbleitersensors bzw. eines angewählten zusammenhängenden
Abschnittes vorgebbaren Zeit simultan beendet wird oder daß die
Ladungsintegrationszeit der anwählbaren Abschnitte an die jeweilige Strahlungsintensitäten
angepaßt unterschiedlich eingestellt wird.
4. Halbleitersensor nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die zu einem gegebenen Zeitpunkt nicht angewählten zusammenhängenden
Abschnitte durch geeignete Logik- und Steuerelemente von
der Taktspannungsversorgung und/oder den Versorgungspotentialleitungen
und/oder von einer gemeinsamen Ausgangssignalleitung abgetrennt werden.
5. Halbleitersensor nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der integrierte Halbleitersensor für ein zweidimensionales Spektrum
eines Echelle-Spektrometers aus mehreren exakt auf einem gemeinsamen
Substrat positionierten monolithisch integrierten Halbleiterchips
besteht, welche derart konstruiert und im abgebildeten Spektrum angeordnet
sind, daß keine für die vorgesehene Meßaufgabe wesentlichen Teile
des Spektrums in die nicht mit Detektoren belegbaren Randgebiete besagter
Halbleiterchips bzw. in die zwischen diesen Chips notwendig vorhandenen,
nicht nutzbaren Zwischenräume fallen.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914143284 DE4143284A1 (de) | 1991-12-30 | 1991-12-30 | Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer |
EP19920122175 EP0550076B1 (de) | 1991-12-30 | 1992-12-29 | Spektrometer mit integriertem Halbleitersensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914143284 DE4143284A1 (de) | 1991-12-30 | 1991-12-30 | Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4143284A1 true DE4143284A1 (de) | 1992-10-01 |
Family
ID=6448302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19914143284 Ceased DE4143284A1 (de) | 1991-12-30 | 1991-12-30 | Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0550076B1 (de) |
DE (1) | DE4143284A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0615115A2 (de) * | 1993-03-09 | 1994-09-14 | The Perkin-Elmer Corporation | Gruppierung von Spektralbändern für die Datenerfassung in Spektrophotometern |
EP1634043A1 (de) * | 2003-06-02 | 2006-03-15 | Sensovation AG | Vorrichtung und verfahren für photo-elektrische messung |
DE19620807B4 (de) * | 1995-06-07 | 2006-07-27 | Varian, Inc., Palo Alto | Festkörperdetektor |
US8274657B2 (en) | 2006-11-30 | 2012-09-25 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Radiation detector |
FR3144659A1 (fr) * | 2022-12-30 | 2024-07-05 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Dispositif et procédé d’analyse par spectroscopie Brillouin |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI109149B (fi) | 1999-09-29 | 2002-05-31 | Valtion Teknillinen | Spektrometri ja menetelmä optisen spektrin mittaamiseksi |
SE0100602L (sv) * | 2001-02-22 | 2002-08-23 | Multichannel Instr Ab | System för karakterisering av ljus |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4049353A (en) * | 1976-08-11 | 1977-09-20 | Spectrametrics, Incorporated | Spectrometric system and cassette |
US4820048A (en) * | 1987-11-19 | 1989-04-11 | The Perkin-Elmer Corporation | Detector for a spectrometer |
DD270133A1 (de) * | 1988-03-11 | 1989-07-19 | Akad Wissenschaften Ddr | Anordnung zur untersuchung hochaufgeloester teilspektren eines echelle-spektrums |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4134683A (en) * | 1976-03-05 | 1979-01-16 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Multispectral imaging and analysis system |
US4678917A (en) * | 1985-02-19 | 1987-07-07 | The Perkin-Elmer Corporation | Instantaneous reading multichannel polychromatic spectrophotometer method and apparatus |
DE3878687T2 (de) * | 1988-08-17 | 1993-06-09 | Hewlett Packard Gmbh | Spektrometer mit fotodiodenanordnung. |
-
1991
- 1991-12-30 DE DE19914143284 patent/DE4143284A1/de not_active Ceased
-
1992
- 1992-12-29 EP EP19920122175 patent/EP0550076B1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4049353A (en) * | 1976-08-11 | 1977-09-20 | Spectrametrics, Incorporated | Spectrometric system and cassette |
US4820048A (en) * | 1987-11-19 | 1989-04-11 | The Perkin-Elmer Corporation | Detector for a spectrometer |
DD270133A1 (de) * | 1988-03-11 | 1989-07-19 | Akad Wissenschaften Ddr | Anordnung zur untersuchung hochaufgeloester teilspektren eines echelle-spektrums |
EP0332211A2 (de) * | 1988-03-11 | 1989-09-13 | Becker-Ross, Helmut, Dr. | Echelle-Spektrometer zur Untersuchung hochaufgelöster Teilspektren eines Echelle-Spektrums |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Spectrochemica Acta, Vol. 42 B, Nr. 1/2, 1987, S. 341 * |
Y. Talmi, "Multichannel Image Detecals", American Chemical Society, Washington D.C., 1979 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0615115A2 (de) * | 1993-03-09 | 1994-09-14 | The Perkin-Elmer Corporation | Gruppierung von Spektralbändern für die Datenerfassung in Spektrophotometern |
EP0615115A3 (de) * | 1993-03-09 | 1995-06-21 | Perkin Elmer Corp | Gruppierung von Spektralbändern für die Datenerfassung in Spektrophotometern. |
DE19620807B4 (de) * | 1995-06-07 | 2006-07-27 | Varian, Inc., Palo Alto | Festkörperdetektor |
EP1634043A1 (de) * | 2003-06-02 | 2006-03-15 | Sensovation AG | Vorrichtung und verfahren für photo-elektrische messung |
US8274657B2 (en) | 2006-11-30 | 2012-09-25 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Radiation detector |
FR3144659A1 (fr) * | 2022-12-30 | 2024-07-05 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Dispositif et procédé d’analyse par spectroscopie Brillouin |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0550076A1 (de) | 1993-07-07 |
EP0550076B1 (de) | 1996-09-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3888925T3 (de) | Detektor für ein Spektrometer. | |
DE102010053323B3 (de) | Verfahren zur räumlich aufgelösten Messung von Parametern in einem Querschnitt eines Strahlenbündels energiereicher Strahlung mit hoher Intensität | |
EP3262453B1 (de) | Verfahren zur verbesserung des dynamikbereichs einer vorrichtung zum detektieren von licht | |
DE69206641T2 (de) | Hochempfindlicher Multiwellenlängenspektralanalysator | |
EP2156154B1 (de) | Spektrometer mit festkörpersensoren und sekundärelektronenvervielfachern | |
EP0778459B1 (de) | Spektrometervorrichtung | |
DE102018114860A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Vermessung eines Messobjekts | |
DE3878687T2 (de) | Spektrometer mit fotodiodenanordnung. | |
DE3843876A1 (de) | Spektralmikroskop mit einem photometer | |
DE102006045626A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Untersuchung von Wertdokumenten | |
DE69818763T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Lesen von Datensignalen, die von einem aktive Pixel eines Sensors ausgegeben werden | |
EP2011092A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur optischen untersuchung von wertdokumenten | |
DE69722551T2 (de) | Spektrometer mit einem orientiert-geformten Schlitz | |
DE69424082T2 (de) | Gruppierung von Spektralbändern für die Datenerfassung in Spektrophotometern | |
DE102016216842B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Spektrometers | |
EP0332211B1 (de) | Echelle-Spektrometer zur Untersuchung hochaufgelöster Teilspektren eines Echelle-Spektrums | |
DE4143284A1 (de) | Integrierter halbleitersensor fuer spektrometer | |
WO2013064245A1 (de) | Sensor zur prüfung von wertdokumenten | |
DE10156629A1 (de) | Anordnung von Steuerelementen | |
DE102012007609A1 (de) | Optisches Weitbereichsspektrometer | |
DE102006015269A1 (de) | Spektrometrisches Messsystem und Verfahren zur Kompensation von Falschlicht | |
WO2018072985A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum erkennen eines direkten lichtreflexionsstrahls von einem objekt auf einen lichtsensor | |
WO1984003774A1 (en) | Photodetector system to determine, respectively measure the position of one or a plurality of light sources | |
DE19532749C2 (de) | Verfahren und Anordnung zur berührungslosen Längenmessung | |
DE19523140A1 (de) | Mehrkanal-Spektrometer mit Zeilensensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAV | Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1 | ||
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: INSTITUT FUER HALBLEITERPHYSIK FRANKFURT (ODER) GM |
|
8181 | Inventor (new situation) |
Free format text: ENGEL, KLAUS EBERHARD, 15234 FRANKFURT, DE EHWALD, KARL-ERNST, 15232 FRANKFURT, DE WINKLER, WOLFGANG, DR., 15232 FRANKFURT, DE SCHLEY, PETER, 15234 FRANKFURT, DE |
|
8131 | Rejection |