DE4115080C2

DE4115080C2 - Surface wave arrangement with reduced dependence of the properties on manufacturing-related inaccuracies

Info

Publication number: DE4115080C2
Application number: DE19914115080
Authority: DE
Inventors: Werner Ruile; Juergen Machui
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: TDK Electronics AG
Priority date: 1991-05-08
Filing date: 1991-05-08
Publication date: 1999-11-25
Anticipated expiration: 2011-05-09
Also published as: DE4115080A1

Description

Die Erfindung betrifft eine Oberflächenwellenan ordnung und hat die Verminderung der Abhängigkeit Frequenzgenauigkeit und der Resonatorgüte gegenüber herstellungsbedingten Unge nauigkeiten der Fingerbreite zum Gegenstand.The invention relates to surface waves order and has the dependence on frequency accuracy and reduction the resonator quality compared to manufacturing-related accident accuracy of the finger width to the object.

Oberflächenwellenanordnungen haben auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats wie Quarz oder Lithiumniobat bzw. -tantalat angeordnete Struk turen, die zur elektrischen Erzeugung von Oberflächenwellen, zur Beeinflussung solcher akustischer Oberflächenwellen und zur Umwandlung derartiger Oberflächenwellen in elektrische Signale dienen. Verwendet werden solche Anordnungen als Oberflächenwellenfilter, als Oberflächenwellen-Laufzeitlei tungen, als Oberflächenwellenresonatoren und dgl. Surface wave arrangements have on the surface of a piezoelectric substrate like Quartz or lithium niobate or tantalate arranged structure doors that generate electrical surface waves, to influence such surface acoustic waves and to convert such surface waves into electrical Serve signals. Such arrangements are used as Surface wave filter, as surface wave transit time lines, as surface wave resonators and the like.

Im vorliegenden Falle ist der Begriff "Oberflächenwellen" als allgemein zu verstehen und schließt Rayleighwellen, Bleustein wellen, SSB-Wellen und dgl. ein, die in der Oberfläche und/ oder im Substrat nahe der Oberfläche derselben als akustische Wellen laufen.In the present case, the term "surface waves" is as generally understood and includes Rayleigh waves, lead stone waves, SSB waves and the like, which are in the surface and / or in the substrate near the surface thereof as acoustic Waves run.

Die erwähnten Strukturen sind Anordnungen von im Regelfall pa rallel zueinander angeordneten Metallstreifen, die photolitho grafisch auf die Substratoberfläche aufgebracht werden, wobei im wesentlichen das Ätzverfahren und das Verfahren der Abhebe technik (lift-off) zu verwenden sind. Im Regelfall bestehen die Strukturen aus mit einer Periodenabmessung p angeordneten Streifen, wobei die Metallstreifen selbst eine Breite b haben. D. h. es ist zwischen einander gegenüberstehenden Kanten zweier benachbarter Streifen ein (Streifen-) Zwischenraum p - b vorhanden. Es ist auch üblich, das Metallisierungs verhältnis eta = b/p anzugeben. The structures mentioned are arrangements of usually pa metal strips arranged parallel to each other, the photolitho are graphically applied to the substrate surface, whereby essentially the etching process and the lifting process technology (lift-off) are to be used. Usually exist the structures are arranged with a period dimension p Stripes, the metal strips themselves have a width b. That is, it's between opposing edges two (adjacent) strips a (strip) space p - b present. It is also common to use metallization ratio eta = b / p.

Zur elektroakustischen und zur akustoelektrischen Umwandlung werden Wandlerstrukturen verwendet, die aus interdigital an geordneten Metallstreifen bestehen. Für Resonatoren kommen (zusätlich) Reflektorstrukturen in Frage, die aus wiederum parallel zueinander angeordneten Metallstreifen bestehen, die jedoch nicht notwendigerweise irgendwie elektrisch angeschlos sen sein müssen. Es sind dies die beiden wichtigsten Ausbil dungen für vorliegend in Betracht kommende Strukturen.For electroacoustic and acoustoelectric conversion converter structures are used, which come from interdigital orderly metal strips exist. Come for resonators (Additional) reflector structures in question, which in turn metal strips arranged parallel to each other, which but not necessarily electrically connected in any way must be. These are the two most important training courses for structures that are considered here.

Die Fig. 1 zeigt einen aus der US 4 144 507 bekannten Ober flächenwellen-Resonator mit einzelnen Teilstrukturen. Mit 2 und 3 sind Reflektorstrukturen bezeichnet. Die Strukturen 6 und 7 sind Wandlerstrukturen, die als Eingang und Ausgang des Resonators verwendet werden können. Mit 8 sind die einzelnen Metallstreifen bezeichnet, die periodisch nebeneinander ange ordnet sind. Die Periode dieser Anordnung ist mit p bezeich net. Die einzelnen Streifen 8 haben eine Breite b und im Re gelfall ist bei einer solchen Oberflächenwellenstruktur das Verhältnis eta = b/p konstant gewählt. Fig. 1 shows a surface wave resonator known from US 4 144 507 with individual substructures. 2 and 3 are reflector structures. Structures 6 and 7 are transducer structures that can be used as the input and output of the resonator. With 8 , the individual metal strips are designated, which are periodically arranged side by side. The period of this arrangement is denoted by p. The individual strips 8 have a width b and in the case of re gel the ratio eta = b / p is chosen to be constant in such a surface wave structure.

Die Fig. 2 zeigt als Seitenansicht der Fig. 1 in vergrößer tem Maßstab den in der Fig. 1 mit dem Doppelpfeil A-A' kenntlichen Abschnitt der Teilstruktur 3 der Fig. 1. Auf der Oberfläche des mit 4 bezeichneten Substrats sind die Metall streifen 8 im Querschnitt zu sehen. Es sind wieder die Ab messungen b und p der Breite und der Periode der Streifen und ihrer Anordnung zueinander angegeben. Als photolitographisch aufgebrachte Metallstreifen haben diese Streifen 8 eine Dicke, die vorgegeben werden kann und die zu einem gewissen Maß in die Eigenschaften einer jeweiligen Oberflächenwellenstruktur eingeht. In der Regel ist die Dicke d aufgrund der photolito graphischen Herstellung für alle Metallstreifen 8 im wesent lichen gleich groß. Fig. 2 shows a side view of Fig. 1 on an enlarged scale that in Fig. 1 with the double arrow AA 'recognizable section of the substructure 3 of Fig. 1. On the surface of the substrate designated 4 , the metal strips 8 in To see cross section. The dimensions b and p of the width and the period of the strips and their arrangement with one another are again given. As photolitographically applied metal strips, these strips 8 have a thickness that can be specified and which is to a certain extent included in the properties of a respective surface wave structure. In general, the thickness d is essentially the same for all metal strips 8 due to the photolithographic production.

Je nach der gestellten Aufgabe als Filter, als Verzögerungs leitung, als Resonator oder dgl. bedarf es für die jeweiligen Strukturen der Oberflächenwellenanordnung eines Strukturde signs, das durch Computerberechnungen ermittelt wird. Die heutigen Methoden zur Ermittlung des geeignetsten Designs sind schon sehr weit fortentwickelt, so daß mit nach derartigen Be rechnungsmethoden konzipierten Strukturen vorgegebene Eigen schaften der zu erstellenden Oberflächenwellenanordnung tat sächlich erzielt werden können. An sich ist auch die Herstel lungstechnologie für solche Anordnungen weit entwickelt. Den noch läßt es sich aber nicht vermeiden, daß selbst sehr kleine Ungenauigkeiten, z. B. der Einhaltung der Breite der Metall streifen, d. h. der Fingerbreite, zu merklichen Ungenauigkei ten und Streuungsbreiten der Eigenschaften führen, nämlich weil solche Oberflächenwellenanordnungen außerordentlich hoch präzise Bauelemente der Elektronik sind.Depending on the task as a filter, as a delay line, as a resonator or the like is required for the respective Structures of the surface wave arrangement of a structure end signs, which is determined by computer calculations. The are today's methods of determining the most suitable design already very advanced, so that with such Be structures designed using methods of calculation of the surface wave arrangement to be created can actually be achieved. In itself is also the manufacturer Development technology for such arrangements well developed. Den yet it cannot be avoided that even very small ones Inaccuracies, e.g. B. compliance with the width of the metal streak, d. H. the finger width, to noticeable inaccuracy and spreads of properties, namely because such surface wave arrangements are extremely high are precise electronic components.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, Maßnahmen zur Verminderung der Abhängigkeit der Frequenzgenauigkeit oder der Resonatorgüte eine Oberflächenwellenanordnung gegenüber her stellungsbedingten Ungenauigkeiten der Breite der hergestell ten Metallstreifen der Strukturen anzugeben, und zwar dies für eine Oberflächenwellenstruktur mit einem jeweils vorgegebenen Design.The object of the present invention is to take measures Reduction of the dependency on the frequency accuracy or the Resonator quality compared to a surface wave arrangement positional inaccuracies in the width of the manufactured to specify the metal strips of the structures, specifically for a surface wave structure with a given one Design.

Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand des Anspruchs 1 gelöst.This task is the subject of the claim 1 solved.

Die Erfindung geht davon aus, daß für die Oberflächenwellenanordnung mit den verlangten Ei genschaften nicht nur das diese Eigenschaften erfüllende De sign der Strukturen auf dem vorgegebenen Substrat vorliegen, sondern daß auch das Metall für die Metallstreifen und das anzuwendende (photolithografische) Herstellungsverfahren der Strukturen vorgegeben sind und eine Wahl der Dicke der Me tallstreifen getroffen ist. Es sind dies völlig übliche Vor gaben.The invention is based on that for the surface wave arrangement with the required egg properties not only the de fulfilling these properties sign of the structures on the given substrate, but that also the metal for the metal strips and that (photolithographic) manufacturing processes to be used Structures are given and a choice of the thickness of the me tall stripe is hit. These are completely common before gifts.

Es ist bekannt gewesen, daß das oben erwähnte Verhältnis eta = b/p für die Eigenschaften einer Oberflächenwellenanordnung nicht uninteressant ist. Es ist an sich relativ problemlos, die Periodenabmessung p wenigstens soweit herstellungsbedingt konstant bzw. in engen Toleranzen zu halten, daß von dieser Seite her mit Ungenauigkeiten der Eigenschaften der Anordnung nur in untergeordnetem Maße zu rechnen ist, nämlich weil sich Schwankungen der Abmessung p weitgehend herausmitteln. Durch herstellungsbedingte Ungenauigkeiten der Breite b der Metall streifen hervorgerufenen Störungen der Charakteristik der An ordnung ist bisher durch Maßnahmen zur Verhinderung solcher Ungenauigkeiten so gut wie möglich und unter entsprechendem Technologieaufwand entgegengewirkt worden.It has been known that the above-mentioned ratio eta = b / p for the properties of a surface wave arrangement is not uninteresting. It's relatively easy in itself the period dimension p at least as far as production-related to keep constant or within tight tolerances that of this Side with inaccuracies in the properties of the arrangement can only be expected to a minor extent, namely because Mostly measure out fluctuations in dimension p. By manufacturing-related inaccuracies in the width b of the metal strip caused disturbances in the characteristics of the type So far, order is through measures to prevent such Inaccuracies as good as possible and under appropriate conditions Technology expenditure has been counteracted.

Ausführungbeispiele der Erfindung werden anhand der nach folgend beschriebenen Figuren erläutert.Embodiments of the invention are based on the figures described below.

Fig. 1 zeigt wie schon erwähnt eine bekannte Oberflächen wellenanordnung. Fig. 1 shows, as already mentioned, a known surface wave arrangement.

Fig. 2 zeigt eine Seitenansicht der Anordnung nach Fig. 1 im Schnitt und als vergrößerter Ausschnitt A-A'. Fig. 2 shows a side view of the arrangement of Fig. 1 in section and as an enlarged detail A-A '.

Fig. 3 zeigt ein Diagramm der Abhängigkeit der Ausbreitungs geschwindigkeit v vom Verhältnis eta = Breite/Periode der Anordnung der Streifen. Fig. 3 shows a diagram of the dependence of the propagation speed v on the ratio eta = width / period of the arrangement of the strips.

Fig. 4 zeigt ein Diagramm der Abhängigkeit des Reflexions vermögens der Streifen, wieder in Abhängigkeit von dem Verhältnis eta und Fig. 4 shows a diagram of the dependence of the reflectivity of the stripes, again depending on the ratio eta and

Fig. 5 zeigt für die Ausbreitungsgeschwindigkeit (Kurve 1) und für das Reflexionsvermögen (Kurve 2), bei welchem Wertepaar des auf der Absisse aufgetragenen Verhält nisses eta und des auf die Ordinate aufgetragenen Verhältnisses Dicke der Streifen/doppelte Perioden abmessung jeweils das Optimum bzw. die maximale In varianz der Ausbreitungsgeschwindigkeit v und des Reflexionsvermögens rho für ein vorgegebenes Design liegt. Fig. 5 shows the propagation velocity (curve 1) and for the reflectance (curve 2), wherein said pair of values of the applied on the Absisse behaves Nisses eta and plotted on the ordinate the ratio thickness of the strip / double periods dimension in each case the optimum or the maximum variance in the propagation velocity v and the reflectivity rho for a given design is.

Ausgangspunkt ist die Erkenntnis, daß für die Aus breitungsgeschwindigkeit der akustischen Welle in einer hin sichtlich Design, Substrat, Metall und Herstellungsverfahren sowie der Dicke der Streifen vorgegebenen Anordnung eine wie in Fig. 3 angegebene Abhängigkeit dieser Geschwindigkeit von dem Metallisierungsverhältnis eta besteht. Als Substrate kom men insbesondere die für frequenzgenaue Bauteile überwiegend verwendeten AT-Schnitte des Quarz in Betracht. Als Metalle kommen vorzugsweise Aluminium und Aluminium-Kupferlegierungen in Frage. Die Dicke einer solchen Metallisierung beträgt min destens etwa 1% der Periodizität p. Es wurde festgestellt, daß diese Abhängigkeit ein Minimum hat, was bedeutet, daß für den Wert eta, d. h. für das Verhältnis der Breite zur Periode der Streifen, ein Bereich angegeben werden kann, in dem Schwan kungen des Wertes eta, d. h. Schwankungen der Breite der Me tallstreifen minimalen Einfluß auf den Wert der Ausbreitungs geschwindigkeit haben, d. h. die Ausbreitungsgeschwindigkeit in diesem Bereich größte Invarianz aufweist. Da die Ausbrei tungsgeschwindigkeit v der akustischen Welle wesentlich be stimmend für die Frequenzgenauigkeit der Oberflächenwellen anordnung ist, kann also auch für die Frequenzgenauigkeit ein Wert von eta als Maß für den Bereich größter Invarianz angege ben werden.The starting point is the knowledge that for the speed of propagation of the acoustic wave in a design, substrate, metal and manufacturing process as well as the thickness of the strips given arrangement there is a dependency of this speed as shown in FIG. 3 on the metallization ratio eta. In particular, the AT cuts of the quartz mainly used for frequency-accurate components come into consideration as substrates. Aluminum and aluminum-copper alloys are preferred as metals. The thickness of such a metallization is at least about 1% of the periodicity p. It was found that this dependence has a minimum, which means that for the value eta, ie for the ratio of the width to the period of the stripes, a range can be specified in which fluctuations in the value eta, ie fluctuations in the width of the Metal strips have minimal influence on the value of the rate of propagation, ie the rate of propagation in this area has the greatest invariance. Since the speed of propagation v of the acoustic wave is essentially determined for the frequency accuracy of the surface wave arrangement, a value of eta can also be given for the frequency accuracy as a measure of the area of greatest invariance.

Es wurde auch festgestellt, daß für das Reflexionsvermögen rho der Metallstreifen, aus denen die Strukturen bestehen, eine Abhängigkeit vom Wert eta besteht, nämlich wie dies die Fig. 4 zeigt. Auch diese Abhängigkeit weist ein Extremum auf, in dessen Umgebung größte Invarianz des Reflexionsvermögens eines solchen Metallstreifens gegenüber Schwankungen des Wertes eta bestehen. Das Reflexionsvermögen rho eines Streifens geht in die Resonatorgüte einer Resonator-Oberflächenwellenanordnung ein.It was also found that the reflectivity rho of the metal strips from which the structures are made is dependent on the value eta, namely as shown in FIG. 4. This dependency also shows an extremum, in the vicinity of which there is greatest invariance of the reflectivity of such a metal strip with respect to fluctuations in the value eta. The reflectivity rho of a strip is included in the resonator quality of a resonator surface wave arrangement.

Mit den Maßnahmen des Anspruches 1 kann somit wahlweise opti mal verminderte Abhängigkeit der Frequenzgenauigkeit oder op timal verminderte Abhängigkeit der Resonatorgüte erzielt wer den. Die in dem Anspruch 1 enthaltene Alternative für jeweils eines der Optima ist dadurch bedingt, daß das Minimum für die Ausbreitungsgeschwindigkeit v und das Maximum für das Refle xionsvermögen rho im Regelfall bei voneinander verschiedenen Werten für eta liegen. Man kann noch eine Kompromißlösung erreichen, wenn man einen Wert eta wählt, der zwischen diesen beiden eta-Optima von Geschwindigkeit und Reflexionsvermögen liegt.With the measures of claim 1 can thus opti sometimes reduced dependence on frequency accuracy or op The dependence of the resonator quality is reduced to a minimum the. The alternative contained in claim 1 for each one of the optima is due to the fact that the minimum for the Propagation velocity v and the maximum for the reflect xho rho usually with different Values for eta. One can still reach a compromise if you chooses a value eta between these two eta optima of speed and reflectivity.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß dem Anspruch 3 beruht auf der weiteren Erkenntnis, daß in der im Rahmen der Lösung gemäß Patentan spruch 1 noch wählbaren Dicke der Metallisierung der Metall streifen noch eine Größe zur Disposition steht. Tatsächlich konnte gefunden werden, daß durch zusätzliche Wahl eines op timalen Wertes der Dicke d der Metallstreifen eine optimale Gesamtlösung hinsichtlich Frequenzgenauigkeit und Resonator güte erzielt werden kann, was für alle Resonator-Oberflächen wellenanordnungen von ganz besonderer Bedeutung ist.The development of the invention according to claim 3 is based on the further Recognition that in the context of the solution according to Patentan saying 1 still selectable thickness of the metallization of the metal another size is available. Indeed could be found that by additional choice of an op optimal value of the thickness d of the metal strips Complete solution with regard to frequency accuracy and resonator goodness can be achieved, what for all resonator surfaces shaft arrangements is of particular importance.

Diese Weiterbildung der Erfindung beruht auf weiteren Untersu chungen, die dahin gingen, die in Fig. 3 für eine Metallisie rungsdicke angegebene Abhängigkeit auch für andere Dickenwerte als Parameter zu ermitteln. Desgleichen wurde für die in Fig. 2 angegebene Abhängigkeit das Kennlinienfeld für wiederum die Dicke als Parameter ermittelt.This further development of the invention is based on further investigations which went to determine the dependency indicated in FIG. 3 for a metallization thickness also for other thickness values as parameters. Likewise, the characteristic field for the thickness, in turn, was determined as a parameter for the dependency indicated in FIG. 2.

Die Fig. 5 zeigt die Kombination der beiden vorgegebenen Kenn linienfelder. In Fig. 5 sind wieder über der Größe eta als Ab sisse und für das Verhältnis d/2p als Ordinate diejenigen zwei Kurven aufgetragen, die sich ergeben für den vom Verhältnis d/2p abhängigen Verlauf des jeweils optimalen Wertes von eta: für die Geschwindigkeit v (Kurve 1) und für das Reflexionsver mögen (Kurve 2). Es hat sich gezeigt, daß es in der Regel für diese beiden Kurven 1 und 2 jeweils einen Schnittpunkt gibt, der angibt, bei welchem Verhältnis eta und welchem Verhältnis d/2p optimal verminderte Abhängigkeit sowohl der Frequenzge nauigkeit als auch der Resonatorgüte vorliegt, nämlich für eine Oberflächenwellenanordnung mit im übrigen vorgegebenem Design, Substrat, Metall und Herstellungsverfahren. Fig. 5 shows the combination of the two predetermined characteristic fields. In Fig. 5 those two curves are plotted again over the size eta as Ab sisse and for the ratio d / 2p as ordinate, which result for the course of the optimal value of eta depending on the ratio d / 2p: for the speed v (Curve 1 ) and for the Reflexionsver like (curve 2 ). It has been shown that there is usually an intersection for each of these two curves 1 and 2 , which indicates the ratio eta and the ratio d / 2p optimally reduced dependence of both the frequency accuracy and the resonator quality, namely for a surface wave arrangement with otherwise predetermined design, substrate, metal and manufacturing process.

Mit der Erkenntnis dieser Erfindung kann für jede Oberflächen wellenanordnungen mit den vorgenannten Vorgaben im ersten Falle ein Wert eta, d. h. eine Streifenbreite bei entsprechend dem Design vorgegebener Periodenabmessung p optimale Invarianz der Frequenzgenauigkeit oder Resonatorgüte angegeben werden. Es kann auch, wie oben angegeben, ein Kompromißwert für weit gehend optimale Invarianz von Frequenzgenauigkeit und Resona torgüte angegeben werden, und zwar dies bei gewählter Dicke der Metallstreifen. Es kann aber mit der Erfindung auch das gemeinsame Optimum für Frequenzgenauigkeit und Resonatorgüte angegeben werden, wenn außerdem auch noch die dafür erforder liche Dicke d der Metallisierung ermittelt wird.With the knowledge of this invention can be used for any surface shaft arrangements with the aforementioned specifications in the first If a value eta. H. a stripe width at accordingly the design of given period dimension p optimal invariance frequency accuracy or resonator quality. It can also be a compromise value for far, as stated above optimal invariance of frequency accuracy and resona door quality can be specified, and this at a selected thickness the metal strip. But it can also with the invention common optimum for frequency accuracy and resonator quality can be specified if they are also required Liche thickness d of the metallization is determined.

Aus der vorangehenden Beschreibung geht hervor, wie der Fach mann vorzugehen hat, um die Erfindung auszuführen. Für den ersten Fall genügt es, die Kurve der Fig. 3 bzw. die Kurve der Fig. 4 zu ermitteln. Etwas mehr Aufwand erfordert es, die Kurven 1 und 2 der Fig. 5, d. h. den Schnittpunkt, der das gemeinsame Optimum angibt, festzustellen. Es sind dazu die Kennlinienfelder mit dem Parameter Dicke bzw. dem Verhältnis wert d/2p für die Geschwindigkeit und das Reflexionsvermögen zu ermitteln. Es empfiehlt sich, diese Kennlinienfelder für den Wert d/2p zu ermitteln, weil damit eine wie schon im Wert eta enthaltene Normierung erzielt ist und die Kurven der Fig. 5 damit eine allgemeine verwertbare Bemessungsunterlage sind.From the foregoing description it is apparent how one skilled in the art should proceed to carry out the invention. For the first case, it is sufficient to determine the curve of FIG. 3 or the curve of FIG. 4. It takes somewhat more effort to determine curves 1 and 2 of FIG. 5, ie the intersection point that indicates the common optimum. The characteristic curve fields are to be determined with the parameter thickness or the ratio value d / 2p for the speed and the reflectivity. It is advisable to determine these characteristic curve fields for the value d / 2p, because this achieves normalization as already contained in the value eta and the curves in FIG. 5 are therefore a general usable design document.

Bezüglich der Lehre nach Anspruch 1 empfiehlt es sich, diese auf die einzelnen Strukturen 2, 3; 6, 7 einer ganzen Ober flächenwellenanordnung separat anzuwenden. D. h. man bestimmt für jeden der von dem Design umfaßten Wandler 6, 7, Reflek toren 2, 3 und dgl. das betreffende Optimum für sich genom men.With regard to the teaching according to claim 1, it is advisable to apply this to the individual structures 2 , 3 ; 6 , 7 to use an entire surface wave arrangement separately. That is, one determines for each of the transducers included in the design 6 , 7 , reflectors 2 , 3 and the like. The optimum concerned in itself.

Auch hinsichtlich der dem Anspruch 3 ent sprechenden Bemessung der Dicke d der Metallstreifen 8 ist es von Vorteil, diese Bemessungen für die einzelnen Strukturen 2, 3; 6, 7 separat zu ermitteln.Also with regard to the dimensioning of the thickness d of the metal strips 8 , it is advantageous to use these dimensions for the individual structures 2 , 3 ; 6 , 7 to be determined separately.

Claims

1.Surface wave arrangement with reduced dependency on the frequency accuracy f (v) or the resonator quality Q (rho) compared to manufacturing-related inaccuracies in the metal strip width (b), the surface acoustic wave arrangement comprising structures arranged on a substrate ( 4 ) made of metal strips arranged with a periodicity (p) ( 8) with GE-selected thickness (d) of the metal strip, characterized in that p for a given design of a predetermined substrate (4), a predetermined period, a predetermined metal of the metal strip (8) and a given manufacturing process of the metal strip (8 ) for the structures ( 2 , 3 ; 6 , 7 ) the value of the ratio eta = b / p is selected for which, depending on the values eta, an extreme value for the surface wave propagation velocity (v) or for the wave reflection (rho ) is present on the metal strips of the respective structure.

2. Surface wave arrangement according to claim 1, characterized in that for the respective of the structures ( 2 , 3 , 6 , 7 ), the ratio eta is selected separately for an extreme value.

3. Surface wave arrangement according to claim 1 or 2, leads out as a resonator arrangement with reduced dependence on both the frequency accuracy and the resonator quality, characterized in that in addition the thickness (d) of the metal strip ( 8 ) is dimensioned to a value at which a ratio eta = b / p results in which there is both the extreme value for the surface wave propagation speed and for the wave reflection (intersection of curves 1 and 2 in FIG. 5).

4. Surface wave arrangement according to claim 3, characterized in that for the respective of the structures ( 2 , 3 ; 6 , 7 ) (also) the thickness (d) of the metal strips ( 8 ) is dimensioned separately with respect to the extreme values.