DE4107610A1 - Translatory measuring arrangement for displacement length of two relatively movable objects - uses scale carrier band circulating on runners attached to one object and fixed scale sensing unit on other object - Google Patents

Translatory measuring arrangement for displacement length of two relatively movable objects - uses scale carrier band circulating on runners attached to one object and fixed scale sensing unit on other object

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Hans-Joachim Dr Ing Freitag
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Jenoptik AG
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    • G01B5/0011Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
    • G01B5/0014Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature

Abstract

The arrangement for measuring the displacement distance between two objects consists of a flexible scale carrier with scale markings coupled to one object and a marking sensing device coupled to the other. The scale carrier is passed over two rollers (5, 6) with parallel axes (7, 8) perpendicular to the displacement direction and coupled to the first object (4). The scale carrier (1) is coupled to the second object (13) by a drive element (12). The sensing device (3) is mounted on the first object in a stationary position. USE/ADVANTAGE - Esp. for use in machine tools, length and coordinate measurement machines and in automation technology. Low cost band material can be used, a short installation length achieved and a large external drive tolerance allowed.

Description

Die Erfindung ist in translatorischen Meßsystemen insbesondere bei Werkzeugmaschinen, bei Längen- und Koordinatenmeßmaschinen und in der Automatisierungstechnik anwendbar.The invention is particularly applicable to translatory measuring systems Machine tools, for length and coordinate measuring machines and in of automation technology applicable.

Im Werkzeugmaschinenbau, im allgemeinen Maschinenbau, in der Automatisierungstechnik, im Präzisionsgerätebau und an Längen- und Koordinatenmeßmaschinen, sind hauptsächlich zwei Einsatzarten von translatorischen Meßsystemen mit materieller Maßverkörperung bekannt. Bei der ersten Art ist ein Teilungsträger mit Teilungsmarken stationär angeordnet, und eine Abtasteinheit für diese Teilungsmarken wird relativ zum Teilungsträger bewegt. Der Vorteil dieser Art ist, daß durch die relativ kurze Abtasteinheit, die bewegt wird, die Gesamtbaulänge des Meßsystems bzw. einer Maschine nur geringfügig größer sein muß als die Gesamtmeßlänge. Ein großer Nachteil ist jedoch, daß mit der Bewegung der Abtasteinheit auch die für die Abtasteinheit notwendigen Anschlußleitungen über die gesamte Meßlänge ständig mitbewegt werden müssen. Das erfordert zum einen höhere Antriebskräfte aufgrund großer Kabellängen und der relativ hohen Steifigkeit, insbesondere bei speziell abgeschirmten und geschützten Leitungen, und zum anderen einen zusätzlichen freien Einbauraum für den Kabeltransport über die gesamte Bewegungslänge.In machine tool construction, in general mechanical engineering, in automation technology, in precision device construction and in length and Coordinate measuring machines are mainly two types of use known translatory measuring systems with material material measure. In the first type there is a division carrier with division marks arranged stationary, and a scanning unit for these division marks is moved relative to the division carrier. The advantage this type is that by the relatively short scanning unit, the is moved, the overall length of the measuring system or a machine only has to be slightly larger than the total measuring length. A large However, the disadvantage is that with the movement of the scanning unit too the connecting lines necessary for the scanning unit via the entire measuring length must be constantly moved. That requires on the one hand higher driving forces due to long cable lengths and the relatively high rigidity, especially with specially shielded and protected lines, and another one free installation space for cable transport over the entire Movement length.

Durch die ständige Bewegung der Anschlußleitungen und die dadurch auftretenden Belastungen vor allem bei dynamisch sehr schnell arbeitenden Maschinen bildet dieser Kabelanschluß eine kritische Schwachstelle, wo jedoch besonders in modernen Fertigungssystemen und den sehr komplexen Meßmaschinen eine hohe Funktionssicherheit und Verfügbarkeit von hervorragender Bedeutung ist.Due to the constant movement of the connecting lines and the thereby occurring loads, especially when dynamic, very quickly  This cable connection is a critical factor for working machines Weak point, however, where particularly in modern manufacturing systems and the very complex measuring machines a high level of functional reliability and availability is of paramount importance.

Bei Einrichtungen, bei denen die Abtasteinheit mit einem pneumatischen Drucksystem in Verbindung steht, müssen neben den elektrischen Versorgungsleitungen zusätzlich ein relativ starrer Pneumatikschlauch mitbewegt werden, so daß die oben angeführten Nachteile noch verstärkt wirken. In den Patentschriften DE 33 11 203 A1, DE 33 11 204 A1, DE 33 34 398 A1, DE 33 40 866 A1, DE 4 12 063 A1 und DE 35 27 546 A1 sind Lösungen zum Reproduzieren der Bezugspositionen nach unterbrochener Messung beschrieben und in DD 2 84 772 A5 ist eine Anordnung zum Kalibrieren eines Längenmeßsystems beschrieben. All diesen Lösungen ist gemeinsam, daß die jeweilige Abtasteinheit in ihrer Gesamtheit mit zusätzlichen Koppelelementen, Führungen u. ä. kompliziert aufgebaut ist und für den dynamischen Einsatz entweder schlecht geeignet ist oder zusätzliche konstruktive Maßnahmen zur Gewährleistung der vollen Funktionsfähigkeit erforderlich sind.For devices in which the scanning unit with a pneumatic Printing system, in addition to the electrical Supply lines additionally a relatively rigid one Pneumatic hose to be moved, so that the above Disadvantages exacerbated. In the patents DE 33 11 203 A1, DE 33 11 204 A1, DE 33 34 398 A1, DE 33 40 866 A1, DE 4 12 063 A1 and DE 35 27 546 A1 are solutions for reproducing the Reference positions after interrupted measurement described and in DD 2 84 772 A5 is an arrangement for calibrating a length measuring system described. All these solutions have in common that the respective scanning unit in its entirety with additional coupling elements, Guides u. Ä. is complex and for dynamic use is either poorly suited or additional constructive measures to ensure full Functionality are required.

Bei der zweiten Einsatzart ist die Abtasteinheit stationär angeordnet, und der Teilungsträger wird relativ zur Abtasteinheit bewegt. Diese Einsatzart beseitigt all die aufgeführten Nachteile bezüglich der beweglichen Abtasteinheit bei der ersten Einsatzart, hat aber den Nachteil, daß durch den bewegten Teilungsträger die Gesamtbaulänge mindestens doppelt so lang ist, wie die Gesamtlänge. Diese Forderung ist vor allem für die Realisierung größerer Meßlängen nicht erfüllbar, so daß diese Einsatzart in der Regel nur für kurze Meßlängen anwendbar ist.In the second type of application, the scanning unit is arranged stationary, and the graduation carrier is moved relative to the scanning unit. This type of application eliminates all of the disadvantages listed with regard to the movable scanning unit in the first type of use, has the disadvantage, however, that through the moving division carrier Overall length is at least twice as long as the total length. This requirement is especially important for the realization  Measuring lengths cannot be met, so this type of application usually can only be used for short measuring lengths.

Die bekannten gekapselten Längenmeßsysteme haben den Nachteil, daß sie nur unzureichend gegen Schmutz, Kühlflüssigkeit und andere für die Maßverkörperung schädlichen Stoffe geschützt sind oder dieser Schutz nur durch erhebliche Aufwendungen realisiert werden kann.The known encapsulated length measuring systems have the disadvantage that that they are insufficient against dirt, coolant and others harmful substances are protected for the material measure or this protection can only be realized through considerable expenditure can.

Beispiele hierfür sind in den Patentanschriften DE 34 00 395 A1, DE 34 10 944 A1, DE 34 15 514 A1, DE 36 23 353 A1, DE 38 40 791 A1 und DE 38 41 721 A1 beschrieben.Examples of this are in the patent addresses DE 34 00 395 A1, DE 34 10 944 A1, DE 34 15 514 A1, DE 36 23 353 A1, DE 38 40 791 A1 and DE 38 41 721 A1.

Die Ursache hierfür ist, daß der in der Regel schwertartige Mitnehmer relativ dick ist, da er gleichzeitig die Anschlußleitungen für die Abtasteinheit aufnimmt und die elastischen Dichtelemente durch die relativ große Aufspreizung am Mitnehmer nicht immer eng genug anliegen.The reason for this is that the usually sword-like driver is relatively thick, since it also connects the connecting cables for the scanning unit and the elastic sealing elements not always tight due to the relatively large spread on the driver enough.

Bezüglich der Führung der Abtasteinheit zum Teilungsträger lassen sich die Lösungen nach dem Stand der Technik in zwei große Gruppen einteilen:Leave regarding the guidance of the scanning unit to the graduation carrier the state of the art solutions in two large groups organize:

Bei der einen Gruppe wird die Abtasteinheit fremdgeführt, wobei die Abtasteinheit starr an das Meßobjekt angekoppelt ist. Das stellt jedoch hohe Anforderungen an die Fremdführung und an die Ausrichtung des Teilungsträgers zum Ablauf des Meßobjektes. Diese starre Ankopplung des Abtastkopfes ist mit einfachen Mitteln zu realisieren, jedoch erfüllen die Mehrzahl der Führungen vor allem im allgemeinen Maschinenbau, insbesondere bei Werkzeugmaschinen, nicht die geforderten Ablauftoleranzen. Deshalb wird in der zweiten Gruppe die Abtasteinheit durch eine meßsystemeigene Führung zum Teilungsträger geführt, und die Abtasteinheit wird durch eine spezielle Art der Ankopplung, die Ablaufdifferenzen zwischen beiden Führungen ausgleicht, mit dem Meßobjekt verbunden. Sowohl die Realisierung der meßsystemeigenen Führung als auch die spezielle Ankopplung der Abtasteinheit erhöht die Aufwendungen zur Herstellung der Meßsysteme.In one group, the scanning unit is managed externally, whereby the scanning unit is rigidly coupled to the measurement object. The however, places high demands on external management and on the Alignment of the graduation carrier to the course of the measurement object. These rigid coupling of the scanning head is easy with simple means realize, but most of the tours fulfill above all in general mechanical engineering, especially in machine tools,  not the required drain tolerances. That is why in the second Group the scanning unit through a measuring system's own guide led to the graduation carrier, and the scanning unit is by a special type of coupling, the process differences between the two Compensates guides, connected to the measurement object. Both the Realization of the measuring system's own guidance as well as the special one Coupling the scanning unit increases the manufacturing costs of measuring systems.

Ziel der Erfindung ist es, eine Einrichtung anzugeben, die die Nachteile des Standes der Technik beseitigt und den Gebrauchswert von translatorischen Meßsystemen bezüglich Baulänge, Führung der Abtasteinheit und Schutz vor schädlichen Umwelteinflüssen durch den Einsatz von billigem Bandmaterial und einen einfachen Aufbau erhöht.The aim of the invention is to provide a device that the Disadvantages of the prior art eliminated and the use value of translational measuring systems with regard to overall length, management of the Scanning unit and protection against harmful environmental influences the use of cheap tape material and a simple construction elevated.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßeinrichtung zu entwickeln, welche die Verwendung von billigem strukturierbarem Bandmaterial erlaubt, welche eine kurze Baulänge aufweist und eine stationär angeordnete Abtasteinheit besitzt, welche mit einer starren Mitnehmerankopplung an eine Fremdführung grobe Ablauftoleranzen zuläßt und welche im Temperaturdehnungsverhalten mit einfachen Mitteln an die Meßbasis angepaßt werden kann.The invention has for its object to a measuring device develop the use of cheap structurable Band material allowed, which has a short length and a has a stationary scanning unit, which with a rigid driver coupling to an external guide, rough drain tolerances allows and which in the temperature expansion behavior with simple means can be adapted to the measuring base.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß bei einer Einrichtung zum Messen und Einstellen von Längen zwischen einem ersten Gegenstand und einem zum ersten verschiebbaren zweiten Gegenstand, die aus einem flexiblen Teilungsträger mit Teilungsmarken und einer Abtasteinrichtung für diese Teilungsmarken besteht, der flexible Teilungsträger über mindestens zwei mit dem ersten Gegenstand verbundene Umlenkrollen gespannt ist, wobei die beiden Enden des Teilungsträgers miteinander verbunden sind. Die Verbindung kann direkt kraft- oder formschlüssig realisiert sein oder indirekt über eine Spanneinrichtung oder zusätzlichen Spannelementen. Der flexible Teilungsträger ist mit einem einfach ausgebildeten Mitnehmer mit dem zweiten Gegenstand verbunden, wobei dieser zwischen den Umlenkrollen bewegt werden kann, so daß die Teilungsmarken auf dem Teilungsträger synchron zum zweiten Gegenstand bewegt werden und die Bewegungsrichtung des flexiblen Teilungsträgers über die Umlenkrollen geändert wird. Die Teilungsmarken werden mittels einer auf dem ersten Gegenstand stationär angeordneten Abtasteinheit abgetastet, wobei die Abtastsignale einer Auswerteeinheit zugeführt werden.The object is achieved in that at a Device for measuring and setting lengths between one first object and a second movable to the first Subject that consists of a flexible graduation carrier with graduation marks  and there is a scanner for these division marks, the flexible division carrier over at least two with the is connected to the first object connected pulleys, the both ends of the graduation carrier are connected to each other. The Connection can be realized directly in a non-positive or positive manner or indirectly via a clamping device or additional clamping elements. The flexible division carrier is easy with one trained driver connected to the second object, which can be moved between the pulleys, so that the division marks on the division carrier in synchronization with the second Object to be moved and the direction of movement of the flexible Division carrier is changed via the pulleys. The Division marks are created using one on the first item stationary scanning unit scanned, the scanning signals are fed to an evaluation unit.

Eine vorteilhafte Ausführung besteht darin, daß nur zwei Umlenkrollen verwendet werden, und daß die Achsen der Umlenkrollen starr mit dem ersten Gegenstand verbunden sind und die Vorspannung des flexiblen, elastischen Teilungsträgers, der über seine gesamte Länge eine konstante Federkonstante aufweist, durch eine Dehnung in seinem elastischen Bereich ohne zusätzliche krafterzeugende Elemente realisiert ist.An advantageous embodiment is that only two pulleys be used, and that the axes of the pulleys rigid are connected to the first object and the bias of the flexible, elastic division carrier, which over its entire Length has a constant spring constant, due to an expansion in its elastic range without additional force-generating Elements is realized.

Wird die elastische Dehnung des Teilungsträgers so bemessen, daß trotz thermischer Deformation des ersten Gegenstandes im Bereich der zwei Umlenkelemente immer eine Restspannung im Teilungsträger erhalten bleibt, dann entspricht die Längenänderung der Teilungsmarken der mittleren Temperaturdehnung des ersten Gegenstandes. Unabhängigkeit vom Material des Teilungsträgers zeigt die Meßeinrichtung ein scheinbares Verhalten so, als ob die Maßverkörperung den gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten besitzt, wie der erste Gegenstand. Weiterhin wirken sich bei dieser Anordnung mittlere Temperaturabweichungen des Teilungsträgers von der mittleren Temperatur des ersten Gegenstandes nicht als Längenfehler und somit als Meßfehler aus, da die scheinbaren thermischen Längenänderungen des Teilungsträgers nur in Zugspannungsänderungen im Teilungsträger umgesetzt werden und die Teilungsmarken ihre Positionen beibehalten.Is the elastic expansion of the graduation carrier dimensioned so that despite thermal deformation of the first object in the area  of the two deflection elements always a residual tension in the graduation carrier is retained, then the change in length corresponds to the division marks the mean temperature expansion of the first object. The measuring device shows independence from the material of the graduation carrier an apparent behavior as if the embodiment of measurement has the same coefficient of thermal expansion as the first subject. This arrangement also has an effect mean temperature deviations of the graduation carrier from the mean temperature of the first object not as a length error and thus as a measurement error, since the apparent thermal Changes in length of the graduation carrier only in changes in tension implemented in the division carrier and the division marks theirs Maintain positions.

Die Meßeinrichtung läßt sich sowohl als offenes Meßsystem für den Einsatz in einer hinreichend sauberen Umgebung einsetzen als auch vorteilhaft als ein geschütztes Meßsystem realisieren.The measuring device can be used as an open measuring system for the Use in a sufficiently clean environment as well realize advantageously as a protected measuring system.

In einer geschützten Ausführung kann der erste Gegenstand als längsseitig geschlitzter, mit Dichtelementen abgedichteter Hohlkörper ausgebildet sein, wobei der flexible Teilungsträger in dem Hohlkörper gespannt ist und der sehr flach ausgebildete Mitnehmer durch den Längsschlitz hindurchgreift. Dadurch, daß die Abtasteinheit mit den Versorgungsleitungen stationär angeordnet ist und der Mitnehmer nur den massearmen Teilungsträger über die Umlenkelemente zu transportieren hat, kann er sehr dünn ausgebildet sein. Die Aufspreizkräfte für die Dichtelemente bleiben damit sehr klein, und der Dichteffekt unmittelbar vor und nach dem Mitnehmer ist hoch.In a protected version, the first item can be used as Longitudinally slotted hollow body sealed with sealing elements be formed, the flexible graduation carrier in the Hollow body is stretched and the very flat driver reaches through the longitudinal slot. In that the scanning unit is arranged stationary with the supply lines and the driver only the low-mass graduation carrier over the deflection elements has to be transported, it can be made very thin be. The spreading forces for the sealing elements thus remain very high  small, and the sealing effect immediately before and after the driver is high.

Durch die freie Einspannung des flexiblen und elastischen Teilungsträgers zwischen zwei Fixpunkten sind geringfügige Auslenkungen des Teilungsträgers quer zur Meßeinrichtung zulässig, ohne daß eine störende Verlängerung des Teilungsträgers auftritt. Dadurch entschärfen sich die Anforderungen an die Ablaufgenauigkeit des Mitnehmers, und der Mitnehmer kann starr an den zweiten Gegenstand angekoppelt werden, ohne daß störende Zwangskräfte zwischen dem Teilungsträger und dem zweiten Gegenstand auftreten - auch bei schlechter Qualität der Führung des zweiten Gegenstandes zum ersten Gegenstand. Due to the free clamping of the flexible and elastic graduation carrier There are minor deflections between two fixed points of the graduation carrier permissible transversely to the measuring device, without that a disturbing extension of the division carrier occurs. Thereby defuse the requirements for the accuracy of the process of the driver, and the driver can rigidly on the second object be coupled without interfering forces between the division carrier and the second subject occur - too if the quality of the management of the second item is poor first subject.  

Die Erfindung soll anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.The invention will be explained in more detail using an exemplary embodiment will.

Das in der Zeichnung schematisch dargestellte Bandmeßsystem besteht aus folgenden Elementen:The measuring system shown schematically in the drawing consists from the following elements:

Der flexible, elastische Teilungsträger 1 aus dünnem Federstahlband ist über eine Länge, die mindestens der maximalen Meßlänge entspricht, mit Teilungsmarken 2 versehen. Diese Teilungsmarken 2, z. B. als Rasterstriche ausgebildet, sind im Auflichtverfahren optoelektronisch durch eine Abtasteinheit 3 abtastbar.The flexible, elastic graduation carrier 1 made of thin spring steel tape is provided with graduation marks 2 over a length which corresponds at least to the maximum measuring length. These division marks 2 , z. B. formed as a grid lines are optoelectronically scanned by a scanning unit 3 in the reflected light method.

An einem ersten Maschinenelement, dem Maschinenbett 4, sind zwei wälzgelagerte Umlenkrollen 5, 6 mit ihren Achsen 7, 8 starr befestigt. Die beiden Enden 9, 10 des Teilungsträgers 1 sind direkt über eine Spanneinrichtung 11 verbunden. Vor dem festen Verspannen über die Spanneinrichtung 11 wurde mit einer hier nicht näher dargestellten Hilfsvorrichtung eine definierte Zugspannung zwischen den Bandenden 9, 10 bei einer definierten Temperatur des Bandes eingestellt. Bei dieser Bandvorspannung wurden der Teilungsträger 1 auch strukturiert. Über einen Mitnehmer 12, der in diesem Beispiel auch gleichzeitig als Spanneinrichtung 11 dient, ist das geschlossene Band an ein zweites Maschinenelement, dem Support 13, starr angekoppelt. Beim Verfahren des Supportes 13 wird das in sich geschlossene Band über die beiden Umlenkrollen 5, 6 synchron mitbewegt, und die Teilungsmarken 2 können durch die stationär am Maschinenbett 4 angeordnete Abtasteinheit 3 abgetastet werden, wobei die relative Verschiebung der Teilungsmarken 2 zur stationären Abtasteinheit 3 der relativen Verschiebung des Supportes 13 zum Maschinenbett 4 entspricht. Die Verbindungskabel 14 zwischen der Abtasteinheit 3 und einer Auswerteeinheit 15 sind fest am Maschinenbett 4 verlegt.On a first machine element, the machine bed 4 , two roller-mounted deflection rollers 5, 6 are rigidly attached with their axes 7, 8 . The two ends 9, 10 of the division carrier 1 are connected directly via a tensioning device 11 . Before the firm tensioning via the tensioning device 11 , a defined tensile stress was set between the tape ends 9, 10 at a defined temperature of the tape using an auxiliary device, not shown here. The division carrier 1 was also structured with this band prestressing. The closed belt is rigidly coupled to a second machine element, the support 13 , via a driver 12 , which in this example also serves as a tensioning device 11 . When the support 13 is moved, the self-contained belt is moved synchronously via the two deflection rollers 5, 6 , and the graduation marks 2 can be scanned by the scanning unit 3 arranged stationary on the machine bed 4 , the relative displacement of the graduation marks 2 relative to the stationary scanning unit 3 relative displacement of the support 13 to the machine bed 4 corresponds. The connecting cables 14 between the scanning unit 3 and an evaluation unit 15 are fixed to the machine bed 4 .

Durch die starre Anordnung der zwei Achsen 7, 8 der Umlenkrollen 5, 6 am Maschinenbett 4 und durch die Vorspannung des flexiblen Teilungsträgers 1 weist das Meßsystem im Mittel die gleiche Temperaturdehnung auf, wie das Maschinenbett 4, ohne daß die thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Maschinenbett 4 und Teilungsträger 1 übereinstimmen müssen.Due to the rigid arrangement of the two axes 7, 8 of the deflection rollers 5, 6 on the machine bed 4 and by the bias of the flexible graduation support 1 , the measuring system has on average the same temperature expansion as the machine bed 4 , without the thermal expansion coefficients of the machine bed 4 and Division carrier 1 must match.

Der vorgespannte Teilungstgräger 1 mit seiner sehr kleinen Federkonstante paßt sich im Bereich seiner Elastizität immer den beiden Achsabständen an, so daß sich bei einer Temperatur bedingten Achsabstandsänderung diese auf den Teilungsträger überträgt.The prestressed graduation carrier 1 with its very small spring constant always adapts to the two center distances in the area of its elasticity, so that at a temperature-related change in the center distance these are transferred to the graduation carrier.

Ein anderes günstiges Temperaturverhalten weist diese Einrichtung auf, wenn z. B. größere kurzzeitige Änderungen der Umgebungstemperatur auftreten. Der Teilungsträger 1 folgt im Gegensatz zum massereichen Maschinenbett 4 schnell dieser Umgebungstemperatur. Diese abweichende Temperaturänderung des Teilungsträgers 1 zum Maschinenbett 4 führt jedoch nicht zu Längenmeßfehlern, da sich die abweichende Temperaturänderung im Teilungsträger 1 nur in Zugspannungsänderungen und nicht in thermische Deformationsänderungen auswirkt.This device has another favorable temperature behavior if, for. B. major short-term changes in ambient temperature may occur. In contrast to the massive machine bed 4, the graduation carrier 1 quickly follows this ambient temperature. However, this deviating change in temperature of the graduation carrier 1 to the machine bed 4 does not lead to length measurement errors, since the deviating temperature change in the graduation carrier 1 only has an effect on changes in tensile stress and not on changes in thermal deformation.

Der Mitnehmer 12 und die Abtasteinheit 3 sind bewußt unterschiedlichen Abschnitten des Teilungsträgers 1 zugeordnet. Bei dieser Anordnung kann der Mitnehmer 12 orthogonal zur Meßrichtung 16 kleine Auslenkungen ausführen, ohne daß ein merklicher Längenmeßfehler auftrifft. Das heißt, daß der Teilungsträger 1 fremdgeführt starr angekoppelt sein kann, ohne daß sehr hohe Anforderungen an die Führungsgenauigkeit der Fremdführung gestellt werden müssen.The driver 12 and the scanning unit 3 are deliberately assigned to different sections of the graduation carrier 1 . With this arrangement, the driver 12 can make small deflections orthogonal to the measuring direction 16 without a noticeable length measuring error occurring. This means that the division carrier 1 can be rigidly coupled externally, without having to make very high demands on the guiding accuracy of the outside guidance.

Claims (6)

1. Einrichtung zum Messen der Verschiebungslänge zwischen zwei relativ zueinander beweglichen Gegenständen, bestehend aus einem flexiblen Teilungsträger mit Teilungsmarken und einer Abstasteinrichtung für diese Teilungsmarken, wobei Teilungsträger und Abtasteinrichtung jeweils an einem der Gegenstände gekoppelt sind, dadurch gekennzeichnet,
- daß der Teilungsträger (1) über mindestens zwei Umlenkrollen (5, 6) gespannt ist, deren parallele Achsen (7, 8) senkrecht zur Richtung (16) der Verschiebung angeordnet sind und deren Achsen (7, 8) mit dem ersten Gegenstand (4) gekoppelt sind, wobei die Enden (9, 10) des Teilungsträgers (1) miteinander verbunden sind, und
- daß der Teilungsträger (1) über einen Mitnehmer (12) an den zweiten Gegenstand (13) gekoppelt ist, und die Abtasteinheit (3) stationär auf dem ersten Gegenstand (4) angeordnet ist.
1. A device for measuring the displacement length between two objects movable relative to one another, consisting of a flexible graduation carrier with graduation marks and a scanning device for these graduation marks, graduation carrier and scanning device each being coupled to one of the objects, characterized in that
- That the graduation carrier ( 1 ) is stretched over at least two deflection rollers ( 5, 6 ), the parallel axes ( 7, 8 ) of which are arranged perpendicular to the direction ( 16 ) of the displacement and whose axes ( 7, 8 ) are connected to the first object ( 4 ) are coupled, the ends ( 9, 10 ) of the graduation carrier ( 1 ) being connected to one another, and
- That the graduation carrier ( 1 ) via a driver ( 12 ) to the second object ( 13 ) is coupled, and the scanning unit ( 3 ) is arranged stationary on the first object ( 4 ).
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Achsen (7, 8) der Umlenkrollen (5, 6) fest mit dem ersten Gegenstand (4) verbunden sind.2. Device according to claim 1, characterized in that all axes ( 7, 8 ) of the deflecting rollers ( 5, 6 ) are fixedly connected to the first object ( 4 ). 3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse (7, 8) mindestens einer Umlenkrolle (5, 6) starr mit dem ersten Gegenstand (4) verbunden ist und die Achse (7, 8) mindestens einer anderen Umlenkrolle (5, 6) gegen ein mit einer Kraft beaufschlagten Andruckelement beweglich auf dem esten Gegenstand (4) angeordnet ist.3. Device according to claim 1, characterized in that the axis ( 7, 8 ) of at least one deflection roller ( 5, 6 ) is rigidly connected to the first object ( 4 ) and the axis ( 7, 8 ) of at least one other deflection roller ( 5 , 6 ) is movably arranged on the first object ( 4 ) against a pressure element which is subjected to a force. 4. Einrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Gegenstand (4) als längsseitig geschlitzter, mit Dichtelementen abgedichteter Hohlkörper ausgebildet ist,
daß der Teilungsträger (1) im besagten Hohlkörper angeordnet ist und
daß der Mitnehmer (12) durch den Längsschlitz hindurchgreift.
4. Device according to claim 1 to 3, characterized in
that the first object ( 4 ) is designed as a longitudinally slotted hollow body sealed with sealing elements,
that the graduation carrier ( 1 ) is arranged in said hollow body and
that the driver ( 12 ) reaches through the longitudinal slot.
5. Einrichtung nach den Ansprüchen 1, 2 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Enden (9, 10) des Teilungsträgers (1) über ein krafterzeugendes Element verbunden sind.5. Device according to claims 1, 2 and 4, characterized in that the ends ( 9, 10 ) of the graduation carrier ( 1 ) are connected via a force-generating element. 6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das krafterzeugende Element und der Mitnehmer (12) als eine Einheit ausgebildet sind.6. Device according to claim 5, characterized in that the force-generating element and the driver ( 12 ) are formed as a unit.
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