DE4023504A1

DE4023504A1 - Measurement arrangement checking workpiece dimensions - has fixed measurement element, and sensing element in contact with measurement surface

Info

Publication number: DE4023504A1
Application number: DE19904023504
Authority: DE
Inventors: Horst Dipl Ing Knaebel
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1990-07-24
Filing date: 1990-07-24
Publication date: 1992-01-30

Abstract

A measurement arrangement for installation in a carrier for checking the dimensions of objects, such as mechanical workpieces, contains a fixed measurement element (9,10) and a separate sensing element (15) in contact with the measurement surface. The distance between the measurement and sensing elements forms a measurement parameter. The measurement and sensing elements are attached to a base body (7). The measurement element is an electrical field carrier and the sensing element is a deflection body or a carrier for a deflection body. USE/ADVANTAGE - Compact, self-cleaning. Produces summing measurement result suitable for computer processing and enables high measurement frequency at low cost.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Meßvorrichtung zum Einbau in einen Träger zur Aufnahme mindestens einer Meßvorrichtung zur Überprüfung der Maße eines Gegenstandes, beispielsweise eines mechanischen Werkstückes, bestehend aus einem ortsfesten Meßglied und einem mit veränderbarem Abstand davon angeordne ten, sich auf der Meßoberfläche abstützenden Tastelement, wo bei der Abstand zwischen Meßglied und Tastelement eine Meß größe bildet.The invention relates to a measuring device for installation in a carrier for receiving at least one measuring device to check the dimensions of an object, for example a mechanical workpiece consisting of a stationary one Measuring element and one arranged with a variable distance therefrom ten, probe element supported on the measuring surface, where a measurement at the distance between the measuring element and the probe element size forms.

Zur Überprüfung der Maße eines mechanischen Werkstückes sind Einrichtungen bekannt, die vielfach aus einem dornartigen Träger bestehen, in dessen Mantelfläche mindestens eine Meß vorrichtung angeordnet ist. Eine solche Meßvorrichtung besteht aus einem als Kugel ausgebildeten, anstellbaren Tastelement, dem eine Düse vorgeordnet ist, über die Druckluft ausströmt. Durch eine Veränderung des Abstandes des Tastelementes von der Druckluftdüse wird der Querschnitt des Ausströmspaltes verän dert, was bei einem konstantem Luftdruck zwangsläufig eine Veränderung der ausströmenden Druckluftmenge pro Zeiteinheit zur Folge hat. Diese ausströmende Druckluftmenge ist dann ein Maß für die Stellung des Tastelementes und ergibt damit ein verwertbares Meßsignal. Bedarfsweise kann die Meßvorrichtung auch so ausgebildet sein, daß sich das kugel- bzw. halbkugel förmige Tastelement am freien Ende einer einseitig befestig ten Feder befindet. Die Luftdüse kann dann im Bereich des Tastelementes oder mit Abstand davon im Bereich der Feder an geordnet sein wobei die verlagerte Meßdüse die Möglichkeit gibt, Übersetzungen und Meßbereiche zu verändern. Derartige pneumatische Meßvorrichtungen haben den Vorteil, daß sie kleinbauend und durch die Druckluft selbstreinigend sind, d. h., eine besondere Abdeckung des Tastelementes ist nicht erforderlich. Zusätzlich ermöglichen derartige Meßvorrichtun gen eine summierende Messung, d. h., der Luftstrom, der durch zwei sich gegenüberliegende bzw. vier sich kreuzweise gegen überliegende Düsen strömt, wird als Summe gemessen und ausge wertet. Der Nachteil dieser pneumatischen Meßvorrichtungen be steht jedoch darin, daß sie gegenüber der Elektronik ein er heblich ungünstigeres Zeitverhalten besitzen und hohe Anfor derungen an die Druckluft gestellt werden. Dabei muß der Druck der verwendeten Luft absolut konstant gehalten werden und die Luft frei von Öl sein. Bei Differenzdruckmeßverfahren werden zwar geringere Anforderungen an die Druckkonstanz ge stellt, aber es wird dabei verhältnismäßig viel Luft ver braucht. Die Justage der Tastelemente und der Druckluftdüsen ist verhältnismäßig aufwendig, da sie hochwertige handwerk liche Feinarbeit erfordern. Zur Umwandlung eines pneumatischen Meßwertes in ein elektrisches Signal wird ein präziser Meß wertwandler benötigt, um das Signal weiter verarbeiten zu kön nen. Der Meßbereich von pneumatischen Meßvorrichtungen ist äußerst gering und nur in einem engen Bereich ausreichend li near.To check the dimensions of a mechanical workpiece Facilities known, often from a thorn-like Carrier exist, in the lateral surface at least one measuring device is arranged. Such a measuring device exists from a ball-shaped, adjustable probe element, which is preceded by a nozzle through which compressed air flows out. By changing the distance of the probe element from the The cross section of the outflow gap is changed by the compressed air nozzle what is inevitable at a constant air pressure Change in the amount of compressed air flowing out per unit of time has the consequence. This outflowing amount of compressed air is then a Measure of the position of the probe element and thus results in a usable measurement signal. If necessary, the measuring device also be designed so that the ball or hemisphere shaped probe element at one end attached to the free end ten spring. The air nozzle can then in the range of Probe element or at a distance from it in the area of the spring be ordered with the displaced measuring nozzle the possibility changes translations and measuring ranges. Such Pneumatic measuring devices have the advantage that they are small and self-cleaning due to the compressed air, d. that is, a special cover of the probe element is not required. In addition, such measuring devices enable against a summing measurement, d. that is, the air flow through two opposite or four crosswise overlying nozzles flows, is measured as a sum and output evaluates. The disadvantage of these pneumatic measuring devices be stands in the fact that it is compared to the electronics have considerably less favorable time behavior and high demands changes to the compressed air. The Pressure of the air used can be kept absolutely constant and the air be free of oil. With differential pressure measurement there are lower requirements for constant pressure provides, but it is ver relatively air needs. The adjustment of the feeler elements and the compressed air nozzles is relatively expensive because they are high quality crafts require fine work. To convert a pneumatic Measured value in an electrical signal becomes a more precise measurement value converter needed to be able to process the signal further nen. The measuring range of pneumatic measuring devices is extremely low and only sufficient in a narrow area near.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrich tung zum Einbau in einen Träger zur Aufnahme mindestens einer Meßvorrichtung zur Überprüfung der Maße eines Gegenstandes, beispielsweise eines mechanischen Werkstückes, zu schaffen, kleinbauend und möglichst selbstreinigend ist, eine summieren de Messung ermöglicht und eine hohe Meßfrequenz zuläßt sowie ohne großen Aufwand ein elektrisches Meßsignal liefert, wel ches in Meßrechnern verwertet oder für statistische Zwecke verwendet werden kann.The invention is based on the object, a measuring device device for installation in a carrier for holding at least one Measuring device for checking the dimensions of an object, for example of a mechanical workpiece, is small and self-cleaning as possible, add one de enables measurement and allows a high measurement frequency as well delivers an electrical measurement signal with little effort, wel ches used in measuring computers or for statistical purposes can be used.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird gemäß der Erfindung bei einer Vorrichtung der eingangs beschriebenen Gattung vorgeschlagen, daß das Meßglied und das Tastelement mit einem Grundkörper verbunden sind und das Meßglied als mindestens ein elektrischer Feldträger und das Tastelement als mindestens ein Ablenkkör per bzw. vorgeschaltetes Tragelement für einen Ablenkkörper ausgebildet ist.To solve this problem, according to the invention at a Proposed device of the type described above, that the measuring element and the probe element with a base body are connected and the measuring element as at least one electrical Field carrier and the sensing element as at least one deflector by or upstream support element for a deflector is trained.

Eine derartige Meßvorrichtung kann auf kleinstem Raum unterge bracht und damit beispielsweise in einen Bohrungsmeßdorn ein gesetzt werden, der bei einseitigem Einbau nur 6 mm Durchmes ser und beim Einbau von zwei diagonal gegenüberliegenden Vor richtungen nur 10 mm Durchmesser aufweisen muß. Der so be stückte Grundkörper kann in die verschiedenartigsten, der je weiligen Meßaufgabe angepaßten Träger eingebaut werden. Mit verhältnismäßig wenig Druckluft, deren Druck auf einem niedri gen Wert gehalten werden kann und nicht konstant sein muß, ist bedarfsweise eine Reinigung der Meßvorrichtung möglich. Bei der Anordnung von zwei sich diagonal gegenüberliegenden oder von vier sich kreuzweise gegenüberliegenden Meßvorrichtungen in einem derartigen Träger ist eine summierende Messung mög lich. Je nach Bedarf kann die Meßvorrichtung mit einem induk tiven oder kapazitiven Meßsystem ausgerüstet werden. Der Meß bereich einer solchen Meßvorrichtung ist erheblich höher als bei einer pneumatischen Meßvorrichtung und darüber hinaus über einen größeren Bereich linear. Dies trifft insbesondere dann zu, wenn zwei Feldträger zu einem sogenannten Differential system zusammengeschlossen sind. Such a measuring device can underge in the smallest space brings and thus, for example, in a bore plug be set, which with a one-sided installation only 6 mm in diameter water and when installing two diagonally opposite front directions must only have a diameter of 10 mm. The so be piece basic body can be in the most diverse, ever Because of the measurement task, adapted carriers can be installed. With relatively little compressed air, the pressure on a low can be kept at value and need not be constant if necessary, cleaning of the measuring device possible. At the arrangement of two diagonally opposite or of four crosswise opposite measuring devices A summation measurement is possible in such a carrier Lich. Depending on your needs, the measuring device can be equipped with an induc tive or capacitive measuring system. The meas The range of such a measuring device is considerably higher than with a pneumatic measuring device and beyond a larger area linear. This is especially true to when two field carriers become a so-called differential system are united.

Weitere Merkmale einer Meßvorrichtung gemäß der Erfindung sind in den Ansprüchen 2-14 offenbart.Further features of a measuring device according to the invention are disclosed in claims 2-14.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand in einer Zeichnung dar gestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Dabei zeigenThe invention is illustrated below in a drawing provided embodiments explained in more detail. Show

Fig. 1 einen Schnitt durch einen Meßdorn mit einer Meßvor richtung gemäß der Erfindung, Fig. 1 is a sectional view of a plug gauge with a Meßvor device according to the invention,

Fig. 2 einen Schnitt durch eine weitere Ausbildung einer Meßvorrichtung gemäß der Erfindung und Fig. 2 shows a section through a further embodiment of a measuring device according to the invention and

Fig. 3 einen Schnitt durch eine andere Ausbildung einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung. Fig. 3 shows a section through another embodiment of a measuring device according to the invention.

In der Fig. 1 der Zeichnung ist eine Vorrichtung gezeigt, die zur Ermittlung, insbesondere zur Überprüfung des Maßes einer verhältnismäßig engen und dazu noch tiefen Bohrung dient. Die se Vorrichtung besteht aus einem nur teilweise gezeichneten, Gehäuse 1, welches beispielsweise als Meßdorn ausgebildet und in vorteilhafter Weise aus einem nicht magnetisierbaren Edel stahl gefertigt ist. Dieses Gehäuse 1 hat einen Außendurchmes ser ab etwa 6 mm und eine beliebige Länge. Dieses Gehäuse 1 besitzt einen axialen Kanal 2, der an einem Ende offen und nach außen geführt ist. In diesen axialen Kanal 2 münden zwei radiale Bohrungen 3 und 4. Im Bereich der radialen Bohrungen 3, 4 ist in die Mantelfläche des Gehäuses 1 eine axiale Öffnung bzw. Nut 5 eingearbeitet.In Fig. 1 of the drawing, an apparatus is shown, the relatively narrow in order to determine, in particular to check the degree of a deep hole and serves yet. This device consists of a partially drawn housing 1 , which is formed, for example, as a measuring mandrel and is advantageously made of a non-magnetizable stainless steel. This housing 1 has an outer diameter from about 6 mm and any length. This housing 1 has an axial channel 2 , which is open at one end and guided to the outside. Two radial bores 3 and 4 open into this axial channel 2 . In the area of the radial bores 3 , 4 , an axial opening or groove 5 is machined into the outer surface of the housing 1 .

In dieser Öffnung bzw. Nut 5 ist nun die eigentliche Meßvor richtung 6 eingebaut. Diese Meßvorrichtung 6 besteht aus einem plattenartigen Grundkörper 7, der eine Bohrung 8 zur Aufnahme einer als Feldträger wirkenden Induktionsspule 9 mit Spulenkör per 10 besitzt. Dieser Spulenkörper 10 ragt in die Bohrung 3 des Gehäuses 1 und ist so in dem Grundkörper 7 befestigt, daß seine beim Einbau der Induktionsspule 9 mit Spulenkörper 10 durchdrungene Stirnfläche nur geringfügig über die äußere Fläche des Grundkörpers 7 hinausragt. An die Induktionsspule 9 ist eine Leitung 11 angeschlossen, die über die Bohrung 4 in den Kanal 2 und von dort nach außen geführt ist.In this opening or groove 5 , the actual Meßvor direction 6 is now installed. This measuring device 6 consists of a plate-like base body 7 , which has a bore 8 for receiving an induction coil 9 acting as a field carrier with a bobbin by 10 . This coil body 10 protrudes into the bore 3 of the housing 1 and is fastened in the base body 7 in such a way that its end face penetrated by the coil body 10 when the induction coil 9 is installed protrudes only slightly beyond the outer surface of the base body 7 . A line 11 is connected to the induction coil 9 and is led through the bore 4 into the channel 2 and from there to the outside.

Über einen Abstandhalter 12 ist an dem der Induktionsspule 9 abgewandten Ende der Grundplatte 7 eine Blattfeder 13 befe stigt, die so lang ausgebildet ist, daß sie die Induktionsspu le 9 und den Spulenkörper 10 vollkommen überdeckt. An ihrem der Induktionsspule 9 zugewandten Ende ist die Blattfeder 13 mit einem als Anker wirkenden Ablenkkörper 14 aus magnetisier barem Werkstoff versehen. Die gegenüberliegende Seite der Blattfeder 13 ist in diesem Bereich mit einem als Kugelab schnitt ausgebildeten Tastelement 15 aus nicht magnetisierba rem Werkstoff bestückt. Mit seiner äußeren Begrenzungsfläche ragt dieses Tastelement 15 über die Kontur des dornartigen Ge häuses 1 hinaus. Im Bereich des Abstandhalters 12 ist die Lei tung 11 mit der Grundplatte 7 vergossen.About a spacer 12 is at the end of the base plate 7 facing away from the induction coil 9 a leaf spring 13 BEFE Stigt, which is formed so long that it covers the Induktionsspu le 9 and the bobbin 10 completely. At its end facing the induction coil 9 , the leaf spring 13 is provided with a deflector 14 acting as an armature made of magnetizable material. The opposite side of the leaf spring 13 is equipped in this area with a cut as Kugelab button 15 made of non-magnetizable material. With its outer boundary surface, this sensing element 15 projects beyond the contour of the spike-like housing 1 . In the area of the spacer 12 , the Lei device 11 is shed with the base plate 7 .

Bei der Erläuterung der Wirkungsweise der Vorrichtung gemäß Fig. 1 wird nun davon ausgegangen, daß das Gehäuse 1 des als Dorn ausgebildeten Trägers, beispielsweise in eine Bohrung ein geführt wurde und das Tastelement 15 an der Innenwandung 16 der Bohrung anliegt. Jetzt wird an die Induktionsspule 9 eine vor gegebene hochfrequente Wechselspannung angelegt und ein induk tiver Widerstand entsteht. Die Induktivität der Induktionsspule 9 ändert sich nun mit dem Abstand des als Anker wirkenden Ab lenkkörper 14 von der Induktionsspule 9 bzw. dem Spulenkörper 10 und damit in Abhängigkeit von der Maßabweichung der Bohrung 16, die sich durch die Bewegung des Tastelementes 15 äußert und über einen an sich bekannten Meßverstärker als Meßgröße angezeigt und gegebenenfalls weiterverarbeitet werden kann.In the explanation of the operation of the device according to FIG. 1, it is now assumed that the housing 1 of the carrier designed as a mandrel, for example, has been inserted into a bore and the sensing element 15 bears against the inner wall 16 of the bore. Now a given high-frequency AC voltage is applied to the induction coil 9 and an inductive resistance arises. The inductance of the induction coil 9 now changes with the distance from the steering body 14 acting as an anchor from the induction coil 9 or the coil body 10 and thus as a function of the dimensional deviation of the bore 16 , which is expressed by the movement of the sensing element 15 and via a known measuring amplifier is displayed as a measured variable and can be further processed if necessary.

Der Kanal 2 ist in vorteilhafter Weise an eine Druckluftlei tung angeschlossen, über die Druckluft mit verhältnismäßig ge ringem Druck zugeführt wird. Diese zugeführte Druckluft tritt über eine im Spulenkörper 10 vorhandene Bohrung 17 aus und stellt sicher, daß die Nut 5 und insbesondere der Spalt zwi schen dem Spulenkörper 10 und des Ablenkkörpers 14 von Schmutzpartikeln befreit bzw. freigehalten wird. Die über die Bohrung 17 des Spulenkörpers 9 austretende Druckluft drückt dabei das Tastelement 15 zusätzlich unterstützend ge gen die Innenwandung 16 der Bohrung.The channel 2 is advantageously connected to a Druckluftlei device, via which compressed air is supplied with relatively low pressure. This supplied compressed air exits through an existing bore 17 in the bobbin 10 and ensures that the groove 5 and in particular the gap between the bobbin 10 and the deflector 14 is freed of dirt particles or kept free. The emerging via the bore 17 of the bobbin 9 presses the sensing element 15 additionally supporting ge conditions the inner wall 16 of the bore.

In Abänderung dieses Ausführungsbeispieles ist es möglich, der Induktionsspule 9 im Gehäuse 1 eine weitere, nicht dargestell te Induktionsspule 9 zuzuordnen, die mit der Induktionsspule 9 als sogenannte Halbbrücke verschaltet ist. Dabei hat die zweite Induktionsspule insbesondere die Aufgabe, den Temperaturein fluß zu kompensieren.In a modification of this embodiment, it is possible to assign the induction coil 9 in the housing 1 to a further induction coil 9 , not shown, which is connected to the induction coil 9 as a so-called half-bridge. The second induction coil has in particular the task of compensating for the Temperaturein flow.

In der Fig. 2 der Zeichnung ist eine weitere Meßvorrichtung 6 gezeigt, die ebenfalls in einem Gehäuse 1 eines Meßdornes mit einem axialen Kanal 2 und radialen Bohrungen 3, 4 eingesetzt ist. Auch hier ist in das Gehäuse 1 eine Nut 5 eingearbeitet, die sich in axialer Richtung über drei Bohrungen 3, 4 erstreckt und die Meßvorrichtung 6 aufnimmt.In FIG. 2 of the drawing a further measuring device 6 is shown which is used a measuring mandrel having an axial channel 2 and radial holes 3, 4 are also in a housing 1. Here too, a groove 5 is machined into the housing 1 , which extends in the axial direction over three bores 3 , 4 and receives the measuring device 6 .

Diese Meßvorrichtung 6 besteht ebenfalls aus einem plattenarti gen Grundkörper 7, der jedoch anders ausgebildet ist und in diesem Ausführungsbeispiel zwei Induktionsspulen 9 mit Spulen körper 10 aufnimmt. Beide Induktionsspulen 9 sind hier zu ei ner sogenannten Differentialdrossel verknüpft. Über den beiden Spulenkörpern 10 mit den Induktionsspulen 9 befindet sich ein Doppelhebel 18, der hier über einen Federsteg 19, der fest in die Grundplatte 7 eingesetzt ist, schwenkbar gelagert bzw. als Wippe ausgebildet ist. Dieser Doppelhebel 18 bildet gleichzei tig den als Anker wirkenden Ablenkkörper für beide Induktions spulen 9. An einem Ende des Doppelhebels 18 ist ebenfalls ein als kugelförmiger Abschnitt ausgebildetes Tastelement 15 befe stigt, das auch hier die Wandung einer Bohrung 16 abtastet.This measuring device 6 also consists of a plattenarti gene base body 7 , but which is designed differently and in this embodiment, two induction coils 9 with coil body 10 receives. Both induction coils 9 are linked here to a so-called differential choke. Above the two bobbins 10 with the induction coils 9 there is a double lever 18 , which here is pivotably mounted or designed as a rocker via a spring bar 19 which is firmly inserted into the base plate 7 . This double lever 18 forms simultaneously acting as an anchor deflector for both induction coils 9th At one end of the double lever 18 is also formed as a spherical section feeler 15 BEFE Stigt, which also scans the wall of a bore 16 here.

Im dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Doppelhebel 18 an beiden Enden den gleichen stirnseitigen Abstand von den In duktionsspulen 9 auf, was bei einer entsprechenden Differen tialdrossel dem Meßsignal "Null" entspricht.In the illustrated embodiment, the double lever 18 at both ends at the same end distance from the induction coils 9 , which corresponds to the measurement signal "zero" with a corresponding differential throttle.

Durch eine Schrägstellung in der Grundstellung des Doppelhe bels 18 kann eine Vorspannung über den gesamten Meßbereich erzeugt werden, der dementsprechend dann von einem positiven bis hin zu einem negativen Meßsignal reicht. Liegt das Nenn maß der Bohrung 16 beim Ausgleich beider Induktivitäten, so kann damit die Abweichung der Bohrung erfaßt und weiter verar beitet werden. Auch hier wird über den Kanal 2 Druckluft zu geführt, die über die Bohrungen 3 und 17 nach außen tritt und damit den Meßeinsatz 6 von Schmutz und dgl. freihält. Über die Bohrung 4 und den Kanal 2 wird auch hier die elektrische Lei tung der Induktionsspule 9 nach außen geführt.By an inclination in the basic position of the Doppelhe lever 18 , a bias voltage can be generated over the entire measuring range, which accordingly ranges from a positive to a negative measurement signal. Is the nominal dimension of the bore 16 when balancing the two inductors, so the deviation of the bore can be detected and processed further. Here, too, compressed air is supplied via the channel 2 , which passes through the bores 3 and 17 to the outside and thus keeps the measuring insert 6 free from dirt and the like. About the bore 4 and the channel 2 , the electrical Lei device of the induction coil 9 is guided to the outside.

In der Fig. 3 der Zeichnung ist eine sehr einfach aufgebaute Meßvorrichtung 6 gezeigt, die sich ebenfalls in einem Gehäuse 1 eines Trägers mit einem Kanal 2 befindet. In diesem Gehäuse 1 ist eine Bohrung 3 vorgesehen, die auch hier die Meßvorrich tung 6 aufnimmt. Diese Meßvorrichtung 6 besteht hier aus einem hülsenartigen Grundkörper 21, der sich mit einem umlaufenden Kragen 22 auf der ebenen Flache 23 einer Aussparung 24 in der Mantelfläche des Gehäuses 1 abstützt. In diesem Grundkörper 21 ist eine weitere Hülse 25 befestigt, die in den Kanal 2 ragt und mit am Umfang verteilten Aussparungen 26 versehen ist und eine Stirnfläche 27 aufweist. An dieser Stirnfläche 27 ist ein Spulenkörper 10 befestigt, der eine Induktionsspule 9 trägt. Zwischen der Induktionsspule 9 und der Innenwandung der Hülse 25 befindet sich ein freier Ringraum 28, über den durch den Kanal 2 eingeleitete Druckluft nach außen abströmen kann und dabei die Meßvorrichtung 6 von Schmutzpartikeln freihält oder befreit. Über Nasen oder einen Verformungsgrat an der Aus trittsöffnung des Grundkörpers 21 wird ein Herausdrücken der Kugel 29 verhindert ohne der durchströmenden Luft einen merk lichen Widerstand zu bieten. Um Versetzungen der Kugel 29 zu vermeiden, die bei unhomogen magnetisierbarem Material zu In duktionsänderungen führen können, kann die Kugel 29 axial über dem Spulenkörper 10 oder radial über der Hülse 21 bzw. 25 ge gen Abrollen gesichert werden ohne ihre axiale Beweglichkeit zu beeinträchtigen.In FIG. 3 of the drawing a very simply structured measuring device 6, there is shown a carrier is also located in a housing 1 with a duct 2. In this housing 1 , a bore 3 is provided which also receives the Meßvorrich device 6 . This measuring device 6 consists here of a sleeve-like base body 21 , which is supported with a circumferential collar 22 on the flat surface 23 of a recess 24 in the outer surface of the housing 1 . In this base body 21 , a further sleeve 25 is fastened, which projects into the channel 2 and is provided with recesses 26 distributed around the circumference and has an end face 27 . A coil former 10 , which carries an induction coil 9, is fastened to this end face 27 . Between the induction coil 9 and the inner wall of the sleeve 25 there is a free annular space 28 , through which compressed air introduced through the channel 2 can flow out and thereby keep the measuring device 6 free of dirt particles or free it. About noses or a deformation ridge at the outlet opening of the base body 21 , a pushing out of the ball 29 is prevented without the air flowing through to offer a remarkable resistance. In order to avoid dislocations of the ball 29 , which can lead to changes in production in the case of non-homogeneously magnetizable material, the ball 29 can be secured axially over the bobbin 10 or radially over the sleeve 21 or 25 , without rolling, without impairing its axial mobility.

Über der Hülse 25 und damit über der Drosselspule 9 ist eine Kugel 29 axial zur Hülse 25 angeordnet, die das anstellbare, als Anker wirkende Tastelement bildet. Diese Kugel 29 wird durch die zugeführte Druckluft gegen die Wandung 16 beispiels weise einer zu messenden Bohrung zum Anliegen gebracht. Mit einer Veränderung des Abstandes der Kugel 29 von der Induk tionsspule 9 ändert sich auch hier die Induktivität, die damit ein Maß für die Maßabweichung der Bohrung ist und ebenfalls über einen Meßwandler angezeigt bzw. weiterverarbeitet werden kann. Auch dieser Meßvorrichtung 6 nach Fig. 3 ist zweckmäßi gerweise eine zweite Spule mit Spulenträger und fest angebau tem Ablenkkörper zur Temperaturkompensation zuzuordnen. Over the sleeve 25 and thus over the choke coil 9 , a ball 29 is arranged axially to the sleeve 25 , which forms the adjustable, acting as an armature sensing element. This ball 29 is brought against the wall 16, for example, a bore to be measured by the supplied compressed air. With a change in the distance of the ball 29 from the induction coil 9 , the inductance also changes here, which is therefore a measure of the dimensional deviation of the bore and can also be displayed or processed via a transducer. This measuring device 6 according to FIG. 3 is assigned a second coil with a coil carrier and a permanently attached deflector for temperature compensation.

In Abänderung der erläuterten Ausführungsbeispiele ist es mög lich die als Drosselspule 9 ausgebildeten elektrischen Feld träger und die als Anker 14 wirkenden Ablenkkörper als Platten eines Kondensators auszubilden, wobei sich die Kapazität durch den Abstand zwischen den Platten verändert. Diese Kapazitäts änderung kann auch hierbei mittels Meßbrücken erfaßt werden.In a modification of the exemplary embodiments explained, it is possible to design the electric field carrier designed as a choke coil 9 and the deflecting bodies acting as armatures 14 as plates of a capacitor, the capacitance changing as a result of the distance between the plates. This change in capacitance can also be detected by means of measuring bridges.

Dabei ist es grundsätzlich auch möglich, die Kondensatorplat ten des ortsfesten Feldträgers senkrecht auf die Grundplatte 7 aufzustellen und zwischen ihnen die Kondensatorplatten oder Dielektrikumscheiben des Ablenkkörpers einzufügen, die sich dann mehr oder weniger überdecken. Gleiches gilt auch beim Aufbau eines Kondensators bestehend aus Hohlzylinder und Walze oder zylindrischen Ringen. Die Luft aus einem Kanal 2 durch strömt dabei die Kondensatorplatten, wobei die Luft jedoch gereinigt und trocken sein sollte.In principle, it is also possible to place the capacitor plates of the fixed field carrier perpendicular to the base plate 7 and to insert the capacitor plates or dielectric disks of the deflector between them, which then overlap more or less. The same applies to the construction of a capacitor consisting of a hollow cylinder and roller or cylindrical rings. The air from a duct 2 flows through the capacitor plates, but the air should be cleaned and dry.

Claims

1. Measuring device for installation in a carrier for receiving at least one measuring device for checking the dimensions of an object, for example a mechanical workpiece, consisting of a stationary measuring member and a variable distance therefrom arranged on the measuring surface supporting probe element, the Distance between measuring element and probe element forms a measured variable, characterized in that the measuring element ( 9 , 10 ) and the probe element ( 15 , 29 ) are connected to a base body ( 7 , 21 ) and the measuring element ( 9 , 10 ) as at least one electrical field carrier and the sensing element ( 15 , 29 ) as at least one deflecting body or upstream supporting element for a deflecting body is formed.

2. Measuring device according to claim 1, characterized in that the measuring element ( 9 , 10 ) is formed by two electrical field carriers and a second deflecting body is provided.

3. Measuring device according to claim 2, characterized in that the second field carrier and the second deflector are firmly connected to one another and are arranged at a distance from the first field carrier in the carrier ( 1 ) of the measuring device ( 6 ).

4. Measuring device according to claim 2, characterized in that the second field carrier is also arranged in the base body ( 7 ) and the second deflecting body is rigidly connected to the first deflecting body and can be moved in opposite directions to the same.

5. Measuring device according to at least one of claims 1-4, characterized in that the base body ( 7 ) is designed as a plate.

6. Measuring device according to at least one of claims 1-4, characterized in that the base body ( 21 ) is designed as a sleeve.

7. Measuring device according to at least one of claims 1-6, characterized in that the electrical field carrier as an induction coil and the deflecting body ( 14 ) are designed as an armature.

8. Measuring device according to claim 7, characterized in that the armature is formed by a probe ball ( 29 ).

9. The device according to at least one of claims 1-6, characterized in that the feeler element ( 15 ) is designed as a spherical section and is attached to the free end of a cantilever-like clamped leaf spring ( 13 ) and that on the Tastele element ( 15 ) opposite side the leaf spring ( 13 ) of the deflector ( 14 ) designed as an anchor is arranged.

10. The device according to at least one of claims 1-7, characterized, that the leaf spring itself is designed as a deflector is.

11. The device according to at least one of claims 1-10, characterized in that the deflecting body ( 18 ) as a between the two field carriers ( 9 ) mounted double lever and the egg element ( 15 ) is arranged at one end.

12. The device according to at least one of claims 1-6, characterized, that the electric field carrier and the deflector each Weil are designed as a capacitor plate.

13. The device according to at least one of claims 1-6, characterized, that the electric field carrier by two or more Capacitor plates formed and the deflector from the condensate corresponding to the number of spaces sator- or dielectric plates is formed, the lower are arranged right to the base plate.

14. The apparatus according to claim 13, characterized, that the capacitor and dielectric plates are cylindrical bent or ge to a hollow cylinder or a roller are shaped.