DE4017006A1 - Transport system for semiconductor wafer discs - uses feed channels supplied with filtered air transporting discs between clean rooms - Google Patents

Transport system for semiconductor wafer discs - uses feed channels supplied with filtered air transporting discs between clean rooms

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DE4017006A1
DE4017006A1 DE19904017006 DE4017006A DE4017006A1 DE 4017006 A1 DE4017006 A1 DE 4017006A1 DE 19904017006 DE19904017006 DE 19904017006 DE 4017006 A DE4017006 A DE 4017006A DE 4017006 A1 DE4017006 A1 DE 4017006A1
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Rolf Groh
Heinz Lamparter
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HLS PRODUKTIONS- UND AUTOMATISIERUNGSTECHNIK GMBH,
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Abstract

The transport system uses a closed system of feed channels (6,7), extending between the different clean rooms (1,2), through which filtered air is fed. The wafer discs (11) are supported by carriers (10) fed through the feed channels (6,7) by transport devices (12,15) contained within the latter. Pref. the feed channels (6,7) comprise horizontal pipes (6) and vertical ducts (7) at spaced points along the latter. ADVANTAGE - Ensures semiconductor wafer discs are not soiled during transport.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Fördersystem für Wafer­ scheiben gemäß Oberbegriff von Anspruch 1.The invention relates to a conveyor system for wafers discs according to the preamble of claim 1.

Aus der deutschen Patentanmeldung P 39 31 985.7 ist eine Transportvorrichtung in Form eines Transportspeichers für Waferscheiben von Reinraum zu Reinraum bekannt, bei der die Träger der Waferscheiben in einem Speicherraum des Transport­ speichers unter Reinraumbedingungen transportiert werden.From German patent application P 39 31 985.7 is one Transport device in the form of a transport storage for Wafer slices known from clean room to clean room, in which the Carrier of the wafer in a storage room of the transport be transported under clean room conditions.

Diese Transportspeicher müssen von Hand beladen werden und der Transport erfolgt von Reinraum zu Reinraum ebenfalls durch einen Bedienungsmann. Es ist also jeweils ein gewisser Arbeits­ aufwand notwendig.This transport storage must be loaded by hand and the Transport also takes place from clean room to clean room an operator. So it is a certain amount of work effort necessary.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Schaffung eines Fördersystems der eingangs genannten Art, die eine automatische Förderung der Waferscheiben ohne wesentlichen menschlichen Eingriff erlaubt und bei der ein rascher und ge­ steuerter Transport ohne Fehlleitung an jeden gewünschten Ort möglich ist.The object of the present invention is therefore to create a conveyor system of the type mentioned, the one automatic conveyance of the wafer slices without essential human intervention allowed and in which a quick and ge controlled transport without misdirection to any desired Place is possible.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnen­ den Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. According to the invention, this object is characterized by the solved the part of claim 1 specified features.  

Das erfindungsgemäße Fördersystem erlaubt einen automatischen, erschütterungsarmen Transport der Waferscheiben von Reinraum zu Reinraum ohne menschlichen Eingriff.The conveyor system according to the invention allows an automatic, low-vibration transport of the wafer from clean room to clean room without human intervention.

Die Anordnung der Förderrohre ist sowohl unter einem Doppel­ boden als auch über den Filterdecken möglich.The arrangement of the conveyor pipes is both under a double floor as well as above the filter ceilings.

Durch die Verwendung von Wegekontrollen und Steuerung durch einen Computer wird ein fehlerfreier Transport der Waferschei­ ben an den gewünschten Ort gewährleistet. Darüberhinaus ist ein vollautomatischer Materialfluß möglich und das gesamte Förder­ system kann in eine CIM-Fertigungssteuerung integriert werden.Through the use of route controls and control by a computer becomes a flawless transport of the wafer wafer guaranteed to the desired location. Furthermore, there is a fully automatic material flow possible and the entire conveyor system can be integrated into a CIM production control.

Die Verwendung von Förderrohren mit rundem Querschnitt vermeidet Ecken mit toten Zonen, in denen sich Partikel absetzen könnten. Die Förderrohre sind mindestens teilweise durchsichtig und erlauben somit eine Kontrolle des Transportgutes.Avoid using conveyor tubes with a round cross-section Corners with dead zones where particles could settle. The conveyor pipes are at least partially transparent and thus allow the goods to be checked.

Im folgenden ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben.The following is an embodiment of the invention below Described in more detail with reference to the drawings.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 Raumanordnung mit Fördersystem, perspektivisch. Fig. 1 room arrangement with conveyor system, in perspective.

Fig. 2 Schnitt nach Linie II-II in Fig. 1 Fig. 2 shows a section according to line II-II in Fig. 1

Fig. 3 Schnitt nach Linie III-III in Fig. 1. Fig. 3 cut along the line III-III in FIG. 1.

Fig. 1 zeigt eine Raumanordnung, bei der zwei Reinräume 1 und 2 durch einen Wartungsgang 3 voneinander getrennt sind. Unter dem Doppelboden 4 und über der Filterdecke 5 der Räume sind Förder­ rohre 6 angeordnet, die durch Hubschächte 7 miteinander ver­ bunden sind. Fig. 1 shows a spatial arrangement in which two clean rooms 1 and 2 by a maintenance passage 3 are separated from each other. Under the double floor 4 and above the filter ceiling 5 of the rooms, delivery pipes 6 are arranged, which are connected to each other by lifting shafts 7 .

An den Kreuzungspunkten zwischen Förderrohren 6 und Hubschäch­ ten 7 sind Übergabestationen 8 vorgesehen, die mit Schleusen 9 zum Be- und Entladen des Fördersystems mit Trägern 10 für die Waferscheiben 11 versehen sind. Wie auch Fig. 2 zeigt, sind in den Förderrohren 6 Transportbänder 12 angeordnet, die durch Elektromotoren 13 antreibbar sind.Th at the crossing points between the feed pipes 6 and 7 are provided Hubschäch transfer stations 8, which are provided with locks 9 for loading and unloading of the conveyor system with carriers 10 for the wafers. 11 As also shown in FIG. 2, conveyor belts 12 are arranged in the conveyor tubes 6 and can be driven by electric motors 13 .

Die Förderrohre 6 wie auch die Hubschächte 7 werden aus den Reinräumen 1, 2 mit gefilterter Luft versorgt, die an geeigneter Stelle von einem Gebläse 14 ausgeblasen wird.The delivery pipes 6 as well as the lifting shafts 7 are supplied with filtered air from the clean rooms 1 , 2 , which air is blown out at a suitable point by a blower 14 .

Zur Verbindung von übereinanderliegenden Stockwerken dienen die Hubschächte 7, in denen Hubvorrichtungen 15 angeordnet sind. Diese bewegen sich in den Hubschächten 7 in vertikaler Richtung und sind mit Drehtischen 16 versehen. (Fig. 3)The lifting shafts 7 , in which lifting devices 15 are arranged, serve to connect superposed floors. These move in the lifting shafts 7 in the vertical direction and are provided with rotary tables 16 . ( Fig. 3)

Dieser Drehtisch ist um 360° drehbar und trägt ein kurzes Förder­ band 17, das die Verbindung zwischen den Förderrohren 6 übernimmt.This turntable is rotatable through 360 ° and carries a short conveyor belt 17 , which takes over the connection between the conveyor tubes 6 .

Zur Steuerung und Überwachung des gesamten Fördersystems dienen Lichtschranken 18 neben den Förderbändern 12 und Lichtschranke 19 neben dem Drehtisch 16. Neben dem Drehtisch 16 ist außerdem ein Barcodeleser 20 vorgesehen.Light barriers 18 next to the conveyor belts 12 and light barriers 19 next to the turntable 16 are used to control and monitor the entire conveyor system. In addition to the rotary table 16 , a bar code reader 20 is also provided.

Zum Transport der Träger 10 durch das Fördersystem werden diese zunächst von Hand oder mit einem Handhabungsgerät in die Schleu­ se 9 eingegeben und von dort in die Übergabestation 8 befördert. Bei der Eingabe von Hand muß der Bedienungsmann den gewünschten Zielort über ein Tastenfeld 21 eingeben. Die Träger 10 sind mit einem Barcode 22 versehen, der in der Übergabestation 8 vom Bar­ codeleser 20 abgelesen wird.To transport the carrier 10 through the conveyor system, these are first entered by hand or with a handling device into the lock 9 and conveyed from there to the transfer station 8 . When entering manually, the operator must enter the desired destination via a keypad 21 . The carriers 10 are provided with a bar code 22 which is read in the transfer station 8 by the bar code reader 20 .

Damit werden die Förderbänder 17 und 12 in Bewegung gesetzt und transportieren den Träger 10 durch das Förderrohr 6. Die För­ derbänder 12 werden dabei von Lichtschranken 18 so überwacht und gesteuert, daß sie sich nur dort bewegen, wo es zur Förderung eines Trägers 10 notwendig ist. Dazu sind die Förderbänder 12 in verschiedene Abschnitte unterteilt. Dadurch wird auch die Parti­ kelerzeugung auf ein Mindestmaß reduziert. Der Träger 10 kann in beiden Richtungen durch die Förderrohre 6 bewegt werden.The conveyor belts 17 and 12 are thus set in motion and transport the carrier 10 through the conveyor tube 6 . The conveyor belts 12 are monitored and controlled by light barriers 18 so that they only move where it is necessary to promote a carrier 10 . For this purpose, the conveyor belts 12 are divided into different sections. This also reduces the particle generation to a minimum. The carrier 10 can be moved in both directions through the conveyor tubes 6 .

Bei der Annäherung eines Trägers 10 an eine Übergabestation 8 bewegt die Hubvorrichtung 15 einen Drehtisch 16 in die ent­ sprechende Übergabeebene. Der Drehtisch 16 wird in die benö­ tigte Einlaufrichtung gedreht, so daß der Träger 10 in die Übergabestation 8 einlaufen kann. Dabei bewegt sich das Förder­ band 17 so lange, bis der Träger 10 genau über dem Drehpunkt von Drehtisch 16 steht. Damit ist gewährleistet, daß die auf den Träger 10 wirkenden Fliehkräfte möglichst gering sind.When a carrier 10 approaches a transfer station 8 , the lifting device 15 moves a turntable 16 into the corresponding transfer plane. The turntable 16 is rotated in the required entry direction so that the carrier 10 can enter the transfer station 8 . The conveyor belt 17 moves until the carrier 10 is exactly above the pivot point of the turntable 16 . This ensures that the centrifugal forces acting on the carrier 10 are as low as possible.

Anschließend dreht sich der Drehtisch 16 so lange, bis der Barcodeleser 20 den Barcode 22 gelesen hat, die Information verarbeitet ist und das Förderband 17 die Auslaufrichtung er­ reicht hat. Erfolgt der Weitertransport in der gleichen Arbeits­ ebene, so wird das vorgegebene Förderband 12 eingeschaltet und der Träger 10 läuft aus.The turntable 16 then rotates until the barcode reader 20 has read the barcode 22 , the information has been processed and the conveyor belt 17 has reached the direction of exit. If the further transport takes place in the same working level, the specified conveyor belt 12 is switched on and the carrier 10 runs out.

Soll der Weitertransport in einer neuen Arbeitsebene erfolgen, dann hebt bzw. senkt die Hubvorrichtung 15 den Drehtisch 16 in die neue Ebene. Das angefahrene Förderband 12 wird eingeschaltet und der Träger 10 kann hier aus der Übergabestation 8 auslaufen. Damit ist diese für den nächsten Träger 10 frei.If the further transport is to take place on a new working level, then the lifting device 15 raises or lowers the turntable 16 into the new level. The conveyor belt 12 approached is switched on and the carrier 10 can run out of the transfer station 8 here. This is free for the next carrier 10 .

Mit dem erfindungsgemäßen Fördersystem ist es natürlich auch möglich, außer Waferscheiben auch andere Halbleiterbauteile unter Reinraumbedingungen zu transportieren.It is of course also with the conveyor system according to the invention possible, other wafer components as well as other wafer components to be transported under clean room conditions.

Claims (6)

1. Fördersystem für Waferscheiben zwischen Reinräumen mit einer Fördervorrichtung für die Träger der Waferscheiben unter Reinraumbedingungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Reinräume (1, 2) durch ein geschlossenes System von Förderkanälen (8, 7) miteinander verbunden sind, die von gefil­ teter Luft durchströmt werden und in denen Förderorgane (12, 15) für die Träger (10) der Waferscheiben (11) angeordnet sind.1. conveyor system for wafer between clean rooms with a conveyor for the support of the wafer under clean room conditions, characterized in that the clean rooms ( 1 , 2 ) are connected to each other by a closed system of conveyor channels ( 8 , 7 ) which flows through filtered air are and in which conveyor members ( 12 , 15 ) for the carrier ( 10 ) of the wafer ( 11 ) are arranged. 2. Fördersystem nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Förderkanäle als im wesentlichen waag­ rechte Förderrohre (6) mit Förderorganen (12) und damit ver­ bundenen senkrechten Hubschächte (7) mit einer Hubvorrichtung (15) ausgebildet sind.2. Conveying system according to claim 1, characterized in that the conveying channels are formed as a substantially horizontal conveying pipes ( 6 ) with conveying members ( 12 ) and thus ver connected vertical lifting shafts ( 7 ) with a lifting device ( 15 ). 3. Fördersystem nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Förderrohre (6) und die Hubschächte, (7) durch Übergabestationen (8) miteinander verbunden sind.3. Conveying system according to claim 2, characterized in that the conveying pipes ( 6 ) and the lifting shafts ( 7 ) are connected to one another by transfer stations ( 8 ). 4. Fördersystem nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Hubvorrichtung (15) mit einem Drehtisch (16) versehen ist.4. Conveyor system according to one of claims 2 or 3, characterized in that the lifting device ( 15 ) is provided with a turntable ( 16 ). 5. Fördersystem nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zum Be- und Endladen der Träger (10) im Bereich der Übergabestationen (8) Schleusen (9) vorgesehen sind.5. Conveyor system according to claim 3 or 4, characterized in that for loading and unloading the carrier ( 10 ) in the area of the transfer stations ( 8 ) locks ( 9 ) are provided. 6. Fördersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Förderrohre (6) mindestens teilweise aus durchsichtigem Kunststoff hergestellt sind.6. Conveyor system according to one of claims 1 to 5, characterized in that the conveyor tubes ( 6 ) are at least partially made of transparent plastic.
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