DE3941608A1 - Vorrichtung zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlen - Google Patents
Vorrichtung zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Bear
beiten von Werkstücken mit Laserstrahlen gemäß Oberbegriff
des Anspruchs 1.
Aus der Zeitschrift "Lasermagazin", Ausgabe 3/85,
Seiten 10 bis 14 und 5/88, Seite 57, sowie aus einem Pro
spekt der Firma Weidmüller sind Laser-Bearbeitungsköpfe
bekannt, die sehr starke Baugrößen aufweisen, insbesondere
bezüglich der Durchmesser in der Nähe der Laserstrahlwirk
stelle. Dies führt oft zu Einschränkungen in der dreidimen
sionalen Materialbearbeitung, da häufig Zugänglichkeitspro
bleme auftauchen.
Die Gaszufuhreinheiten sind vor allem bei Systemen
zum Laserschweißen im wesentlichen rotationssymmetrisch
ausgebildet. Die Wasserkühlungs- und Gaszufuhrrohre liegen
außen und sind an den Teachköpfen nicht vorhanden, so daß
sich bei der Bearbeitung von dreidimensionalen Konturen
durch die Baugröße der Gaszufuhreinheiten bedingte Fehlposi
tionen ergeben, die erst mit erheblichem zeitlichem Mehr
aufwand und Positionierungskorrekturen beseitigt werden
müssen.
Bei Beschädigung müssen größere Bauteilgruppen
komplett ersetzt werden, da die Konstruktionen teilweise
verlötet sind.
Bei Variation der Bearbeitungsart, wie Schweißen
mit zum Laserstrahl koaxialer Arbeitsgaszufuhr zum dreidi
mensionalen Laserschweißen, Schweißen mit Plasmajetgaszufuhr
zur Erhöhung der Prozeßstabilität, der Einschweißtiefe und
der Qualität der äußeren Schweißnahtmerkmale, Laserschneiden
sowohl im zwei- als auch im dreidimensionalen Bereich,
Oberflächenbehandeln, wie Härten oder Umschmelzen zur Stei
gerung beispielsweise der tribologischen Eigenschaften,
müssen in der Regel die kompletten Gaszufuhreinheiten -
zum Teil auch die Strahlfokussierungseinheiten, beispiels
weise Austausch von Fokussierspiegeln gegen Linsensysteme,
gewechselt werden. Dies führt zu einer Vielzahl von ver
schiedenen und oft nicht kompatibler Gaszufuhreinheiten und
dementsprechend hohen Kosten in der Anschaffung und zu einem
hohen Zeitaufwand beim Umrüsten. Laserschneiden im Raum mit
Abstandsregelung über 2 kW Strahlleistung ist bisher nicht
möglich, da die benutzten Fokussierlinsen dabei zerstört
werden.
Die Gaszufuhreinheiten sind auf jeweils definier
te Brennweiten der Fokussieroptiken abgestimmt und nicht
variabel. Dies führt ebenfalls zu der oben angegebenen
Vielzahl von verschiedenen Gaszufuhreinheiten mit den be
schriebenen Nachteilen.
Systemkomponenten, die in der Nähe der von der
Laserstrahlung beaufschlagten Wirkstelle liegen, sind teil
weise aus konstruktiven und systembedingten Gründen durch
Löten miteinander verbunden und erfahren durch die extrem
hohen Temperaturen des Schweißplasmas und der reflektierten
Laserstrahlung Schädigungen.
Eine Plasmajetgaszufuhr für die dreidimensionale
Bearbeitung ist bis jetzt noch nicht möglich, da die bis
jetzt realisierten Systeme mit externer Gaszufuhr für die
Plasmajetbildung nicht bei räumlichen Konturen einsetzbar
sind, da sich Probleme bei der Zugänglichkeit und Nachfüh
rung der externen Rohre ergeben.
Eine Kühlung beispielsweise mit Wasser ist nicht
bei allen Systemen möglich oder vorgesehen. Dies führt zu
Schädigungen an durch Temperatur beaufschlagten Elementen
der Konstruktionen.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht
darin, eine Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit
Laserstrahlen der eingangs genannten Art so zu verbessern,
daß die Nachteile der bekannten Vorrichtungen vermieden sind
und insbesondere eine geringere Baugröße realisierbar ist
und eine uneingeschränkte zwei- und dreidimensionale Materi
albearbeitung ermöglicht wird.
Diese Aufgabe wird durch die Ausbildung gemäß
Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen der
erfindungsgemäßen Aufgabenlösung sind in den Unteransprüchen
gekennzeichnet.
Durch die Erfindung werden folgende Vorteile er
zielt:
Die Baugröße kann bezüglich des Durchmessers in der Nähe der Wirkstelle bis auf 50% reduziert werden, was eine höhere Zugänglichkeit an extrem konturierten Bauteilen, z. B. tiefgezogenen Karosserieblechen zur Folge hat.
Die Baugröße kann bezüglich des Durchmessers in der Nähe der Wirkstelle bis auf 50% reduziert werden, was eine höhere Zugänglichkeit an extrem konturierten Bauteilen, z. B. tiefgezogenen Karosserieblechen zur Folge hat.
Die erfindungsgemäße Konstruktion ist rotations
symmetrisch. Somit sind Fehlpositionierungen aufgrund exter
ner Gas- und Wasserleitungen bei Rotation der Düse oder bei
geteachten Konturen ausgeschlossen. Dies wird erreicht durch
die erfindungsgemäße Integration der Gas- und Wasserzufuhr
in den erfindungsgemäß vorgesehenen Grundkörper und Kühlkör
per zur Aufnahme des eigentlichen Schweißkopfes.
Die gesamte Vorrichtung ist modular aufgebaut,
so daß die Einzelkomponenten schnell und leicht ausgewech
selt werden können. Durch die erfindungsgemäße Aufgabenlö
sung ist es beispielsweise möglich, ein einzelnes Bauteil,
beispielsweise die über ein Gewinde fixierte Düse auszuwech
seln und so zum einen eine für verschiedene Anwendungen
optimierte Schweißgaszufuhr schnell und kostengünstig zu
realisieren und zum anderen andere Bearbeitungsverfahren zu
ermöglichen.
Der Stand der Technik beschränkt sich auf zweidi
mensionales Laserschneiden im Multikilowattbereich ohne
Abstandsregelung und dreidimensionales Laserschneiden bis zu
2 kW mit Abstandsregelung und Fokussierung durch für Schädi
gungen empfindliche Linsensysteme. Die erfindungsgemäße
Ausbildung ermöglicht dreidimensionales Laserschneiden im
Multikilowattbereich mit Abstandsregelung und Fokussierung
durch Spiegeloptiken. Eine Einsatzmöglichkeit ist hier
beispielsweise das Laserschneiden von räumlich konturierten
Blechen im Dickenbereich über 10 mm, z. B. in der Werftindu
strie.
Mit Hilfe von Abstandsringen ist die erfindungs
gemäße Vorrichtung für verschiedene Brennweiten einsetzbar.
Durch die erfindungsgemäße Aufgabenlösung sind
Lötstellen nicht mehr gefährdet, da die Erfindung keine in
der Nähe des Schweißplasmas befindliche oder durch reflek
tierte Laserstrahlung möglicherweise beaufschlagte gelötete
Module vorsieht.
Durch Auswechseln der Düsen ist es möglich, nicht
nur die axiale Gaszufuhr, die die bis jetzt einzige Schweiß
gaszufuhr für das dreidimensionale Schweißen darstellt, zu
realisieren, sondern auch eine Plasmajetdüsung für die
räumliche Bearbeitung zu realisieren, die nur zu geringen
Zugänglichkeitseinschränkungen führt. Ein Plasmajet beim
Laserschweißen ergibt tiefere Einschweißungen, höhere
Schweißnahtoberraupenqualität und geringe Porosität der
Naht.
Durch die erfindungsgemäße Aufgabenlösung ist
eine Kühlung der durch Wärme beaufschlagten Teile immer und
grundsätzlich möglich.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand der beige
fügten Zeichnung näher erläutert werden.
Es zeigt:
Fig. 1 eine schematische Darstellung einer
Vorrichtung zum Bearbeiten von Werk
stücken mit Laserstrahlen,
Fig. 2 einen bei der Vorrichtung nach Fig. 1
verwendeten Bearbeitungskopf im
Schnitt,
Fig. 3 und 4 einen beim Bearbeitungskopf nach
Fig. 2 verwendeten Kühlkörper im Schnitt
und in der Vorderansicht,
Fig. 5 eine Laserschweißdüse mit koaxialer Gas
zufuhr,
Fig. 6 eine Plasmajetschweißdüse,
Fig. 7 eine Spiegelschneiddüse und
Fig. 8 eine Schneiddüse.
Gleiche Bauteile in den Figuren der Zeichnung
sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Die Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung 2 zum Bearbei
ten von Werkstücken 4 mittels Laserstrahlen 6 in modularer
Bauweise. Die Laserstrahlen 6 werden durch eine nicht darge
stellte Laserquelle erzeugt und fallen auf einen in einem
Gehäuse 7 angeordneten Fokussierspiegel 8, der die Laser
strahlen durch einen am Gehäuse angebrachten Bearbeitungs
kopf 10 hindurch auf eine Wirkstelle 12 auf dem Werkstück 4
fokussiert.
Der Bearbeitungskopf 10 besteht aus einem Grund
körper 14, an den ein Kühlkörper 16 mit Hilfe einer Über
wurfmutter 18 anschraubbar ist, vgl. Fig. 1 und 2.
An den Kühlkörper 16 ist eine Düse 19, beispiels
weise eine Schweißdüse (vgl. Fig. 1, 2, 5 und 6) oder eine
Schneiddüse (vgl. Fig. 7 und 8) anschraubbar.
Der Grundkörper ist über einen Abstandsring 20
mit Hilfe eines Halteringes 22 mit dem Gehäuse 7 verbunden.
Der Abstandsring dient zur Anpassung des Bearbeitungskopfes
an verschiedene Brennweiten des Fokussierspiegels 8.
Der Haltering 22 dient zum Anbringen des Bear
beitungskopfes an verschiedene Laserhandlingsysteme und muß
dementsprechend konstruiert werden. Er kann beispielsweise
zum magnetischen Anschluß ausgebildet sein.
Der Grundkörper 14 dient vor allem der Zuführung
des Prozeßgases zur Düse 19 und der Zu- und Abfuhr eines
Kühlmittels, in der Regel eines Kühlwassers. Dabei sind die
Leitungen für das Prozeßgas und das Kühlmittel nicht extern
angebracht, sondern als Gaszufuhrbohrungen 24 und Kühlwas
serzu- und -abführbohrungen 26, 28 im Grundkörpermantel
ausgeführt.
In den Fig. 1 und 2 ist nur eine der Kühlwasser
bohrungen dargestellt.
Anschlußbohrungen 30, 32 zum Anschluß an die Ver
sorgung der Gaszufuhreinheit (nicht dargestellt) sind dabei
so weit wie möglich von der Düse 19 entfernt gelegen, bei
spielsweise ca. 10 mm von einer Aufnahme 34 des Abstandsrin
ges 20 am düsenabseitigen Ende.
Der Kühlkörper 16 besteht im wesentlichen aus
einem Kühlringkanal 36, einem Gasverteilungsringkanal 38 und
einer Aufnahme 40 für die eigentlichen Düsen 19.
In den Kühlringkanal 36 führen eine mit dem
Kühlwasserzuführkanal 26 verbindbare Kühlwasserzufuhrbohrung
42 und eine mit dem Kühlwasserabführkanal 28 verbindbare
Kühlwasserabführbohrung 44. In den Gasverteilungsringkanal
führt eine mit dem Gaszuführkanal 24 verbindbare Gasbohrung
46. Außerdem ist ein Zentrierstift 48 vorgesehen, der in
eine komplementäre Bohrung (nicht dargestellt) im Mantel des
Grundkörpers 14 im zusammengebauten Zustand eingreift.
An der Seite, mit der der Kühlkörper 16 am Grund
körper 14 aufgesetzt wird, befinden sich die Kühlwasserzu
führbohrung 42, die Gasbohrung 46, der Zentrierstift 48 und
die Kühlwasserabführbohrung 44 in einer Winkelentfernung von
jeweils 10 bis 30°. Spiegelverkehrt münden die Wasserzufuhr
und -abführkanäle 26, 28 und der Prozeßgaszuführkanal 24 in
der dem Kühlkörper zugewandten Seite des Grundkörpers. Der
Zentrierstift verhindert einen Winkelversatz zwischen Grund
körper und Kühlkörper. Ein ringförmiger Absatz 48 am Grund
körper und eine komplementäre Ausbildung 49 am Kühlkörper
verhindern ein seitliches Verschieben der beiden Teile.
Die Düse 19 stellt hinsichtlich der Bearbeitung
von Werkstücken das wichtigste modulare Einzelteil dar. In
der Zeichnung sind verschiedene Bauformen dargestellt:
Die Fig. 5 zeigt eine Laserschweißdüse 47 mit ko axialer Gaszufuhr. In diesem Bauteil, vorzugsweise aus Kupfer wegen des hohen Temperaturleitkoeffizienten, sind drei bis acht Bohrungen 50 für das Prozeßgas unter definier ten Winkeln, beispielsweise 5° bis 15°, zur Wirkstelle der Laserstrahlung angebracht. Die Bohrungen an jeweils einer Düse können sowohl unter gleichen als auch verschiedenen Winkeln angebracht sein (Beispiel: Bei acht Bohrungen ab wechselnd jeweils vier unter 6° und 14°) . Dies ermöglicht eine optimale Anpassung an die Schweißaufgabe. Acht Bohrun gen unter 10° haben sich als besonders vorteilhaft für möglichst hohe Schweißgeschwindigkeit erwiesen. Der Gas punkt, d. h. der Punkt, in dem sich die theoretisch verlän gerten Bohrungen 50 schneiden, kann vom Fokuspunkt der Laserstrahlung, also der Wirkstelle 12, unterschiedlich sein.
Die Fig. 5 zeigt eine Laserschweißdüse 47 mit ko axialer Gaszufuhr. In diesem Bauteil, vorzugsweise aus Kupfer wegen des hohen Temperaturleitkoeffizienten, sind drei bis acht Bohrungen 50 für das Prozeßgas unter definier ten Winkeln, beispielsweise 5° bis 15°, zur Wirkstelle der Laserstrahlung angebracht. Die Bohrungen an jeweils einer Düse können sowohl unter gleichen als auch verschiedenen Winkeln angebracht sein (Beispiel: Bei acht Bohrungen ab wechselnd jeweils vier unter 6° und 14°) . Dies ermöglicht eine optimale Anpassung an die Schweißaufgabe. Acht Bohrun gen unter 10° haben sich als besonders vorteilhaft für möglichst hohe Schweißgeschwindigkeit erwiesen. Der Gas punkt, d. h. der Punkt, in dem sich die theoretisch verlän gerten Bohrungen 50 schneiden, kann vom Fokuspunkt der Laserstrahlung, also der Wirkstelle 12, unterschiedlich sein.
Die Fig. 6 zeigt eine Plasmajetschweißdüse 51,
die eine dreidimensionale Schweißbearbeitung mit einem
einzigen seitlichen Prozeßgasstrom, dem sogenannten Plasma
jet, ermöglicht. Das Gas wird über ein seitliches, gekrümm
tes Gaszuführrohr 52 der Wirkstelle zugeführt. Der Winkel
zwischen Laserstrahlachse 54 und Gaszuführrohr 52 kann
zwischen 30° und 60° liegen, und der Abstand zwischen Rohr
ende und Laserstrahlfokuspunkt (Wirkstelle 12) kann 2 bis
10 mm betragen. Dabei sollte das Gaszuführrohr 52 vorzugs
weise am Ende in Richtung der Wirkstelle gerade ausge
bildet sein. Dieses gerade Teil sollte dabei mindestens 5 mm
betragen. Der Radius des Gaszuführrohres zur Gasversorgung
durch den Kühlkörper sollte möglichst klein gehalten werden,
um möglichst wenig in der Werkstückzugänglichkeit beschränkt
zu sein.
Die Fig. 7 zeigt eine Spiegelschneiddüse 58, die
im wesentlichen 3, 5 oder 6 unter einem Winkel von 20° bis
40° zur Laserstrahlachse 60 angeordnete und beispielsweise
0,5 mm starke Bohrungen 62 aufweist, deren Mittelachsen
innerhalb der Düse zusammentreffen, d. h. der Punkt, in dem
die einzelnen Gasströmungen sich zu einem axialen Gasstrahl
vereinigen, liegt zum Unterschied zu herkömmlichen Systemen
nicht frei im Raum außerhalb der Düse, sondern innerhalb der
Düse. Durch Kombination mit einem Abstandssensor über ein
Gewinde ist eine Abstandsregelung zum Werkstück möglich.
Die Fig. 8 zeigt eine Schneiddüse 64, die aus
einer Spiegelschneiddüse 66 gemäß Fig. 7 und einem im Handel
erhältlichen Abstandssensor 68 aufgebaut ist, mit dem die
Entfernung zwischen Düse und Werkstück regelbar ist. Die
Adaption des Sensors kann auf verschiedene bekannte Weisen
erfolgen.
Claims (24)
1. Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit fokus
sierten Laserstrahlen, mit einem Bearbeitungskopf, mit
Mitteln zur Prozeßgaszufuhr und mit einer Bearbeitungsdüse,
dadurch gekennzeichnet, daß der Bearbeitungskopf (10)
einen Grundkörper (14) umfaßt, in dem Bohrungen (24, 26, 28)
für die Prozeßgaszufuhr und für die Zu- und Abfuhr von
Kühlmittel ausgebildet sind, sowie einen am Grundkörper
lösbar befestigten Kühlkörper (16), mit dem die Bearbei
tungsdüse (19) verbindbar ist, der einen Kühlringkanal (36),
mit dem die Bohrungen (26, 28) für Kühlmittelzu- und -abfuhr
in Verbindung bringbar sind, und einen Gasverteilungsringka
nal (38) aufweist, der in Verbindung mit der Bohrung (24)
zum Zuführen des Prozeßgases bringbar ist und der das Pro
zeßgas in in der Bearbeitungsdüse (19) ausgebildete Gaszu
führbohrungen (50, 52) verteilt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß sich der Kühlringkanal (36) über einen Winkel von we
niger als 360° erstreckt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß sich der Gasverteilungsringkanal (38) über einen Bereich
von 360° erstreckt.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Kühlringkanal (36) und der Gasver
teilungsringkanal (38) auf verschiedenen, hintereinander
angeordneten Schnittebenen ausgebildet sind.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Kühlmittelzuführbohrung
(42), die Prozeßgaszuführung (46), ein Zentrierstift (48)
und die Kühlmittelabführbohrung (44) sowie die zugeordneten
Bohrungen (24, 26, 28) und eine dem Zentrierstift zugeordne
te Zentrierbohrung im Grundkörper (14) in einer Winkelent
fernung von jeweils 10°-30° angeordnet sind.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (14) und der
Kühlkörper (16) mit Hilfe einer Überwurfmutter (18) unter
Zwischenschaltung von Dichtungen (21) zur leckfreien Verbin
dung der Bohrungen für das Kühlmittel und das Prozeßgas
verbindbar sind.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der Bearbeitungskopf (10)
mit Hilfe von Abstandsringen (20) an verschiedene Brennwei
ten der Laserstrahlfokussiereinrichtung anpaßbar ist.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gas- und Kühlmittelan
schlüsse (30, 32) am düsenabseitigen Ende des Bearbeitungs
kopfes bzw. des Grundkörpers angeordnet sind.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichent, daß zur Zentrierung von Grund
körper und Kühlkörper im Grundkörper (14) ein ringförmiger
Absatz (48) und im Kühlkörper (16) eine dazu komplementäre
Ausbildung (49) vorgesehen sind.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß am Kühlkörper (16) eine
metallische Dichtfläche (48) zum leckfreien Anschluß der
Düsen (19) ausgebildet ist.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (19) eine Laser
schweißdüse (49) mit Gaszuführbohrungen (50) ist, die unter
definierten oder verschiedenen Winkeln zur Wirkstelle (12)
der Laserstrahlung angeordnet sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich
net, daß der Winkel 5° bis 15° beträgt.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich
net, daß drei bis sechzehn Gaszuführbohrungen (50) vorge
sehen sind.
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (19) eine Plasma
jetschweißdüse (51) mit seitlichem Gaszuführrohr (52) ist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich
net, daß das Gaszuführrohr (52) gekrümmt ist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Gaszuführrohr ein gerades freies
Ende aufweist.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14-16, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen Laserstrahlachse (54) und
Gaszuführrohr (52) ein Winkel von 30° bis 60° vorgesehen
ist.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14-17, dadurch
gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen Ende des Gaszu
führrohres (52) und dem Laserstrahlfokuspunkt bzw. der
Wirkstelle (12) 2 bis 10 mm beträgt.
19. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich
net, daß die Länge des geraden freien Endes mindestens
5 mm beträgt.
20. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Düse (19) eine Spiegel
schneiddüse (58) ist, die mehrere unter einem definierten
Winkel zur Laserstrahlachse (60) angeordnete Bohrungen (62)
aufweist.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich
net, daß der Winkel 20° bis 40° beträgt.
22. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeich
net, daß drei, fünf oder sechs Bohrungen vorgesehen sind.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 22, da
durch gekennzeichnet, daß die Mittelachsen der Bohrungen
innerhalb der Düse zusammentreffen.
24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Düse eine Schneiddüse
(64) ist, die aus einer Spiegelschneiddüse (58) gemäß An
sprüchen 20 bis 23 und einem handelsüblichen Abstandssensor
(68) aufgebaut ist, mit dem die Entfernung zwischen Düse und
Werkstück regelbar ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3941608A DE3941608A1 (de) | 1989-12-16 | 1989-12-16 | Vorrichtung zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3941608A DE3941608A1 (de) | 1989-12-16 | 1989-12-16 | Vorrichtung zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3941608A1 true DE3941608A1 (de) | 1991-06-20 |
Family
ID=6395606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3941608A Withdrawn DE3941608A1 (de) | 1989-12-16 | 1989-12-16 | Vorrichtung zum bearbeiten von werkstuecken mit laserstrahlen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3941608A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1989
- 1989-12-16 DE DE3941608A patent/DE3941608A1/de not_active Withdrawn
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Legal Events
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---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |