DE3932886A1

DE3932886A1 - Light detection device for 2 wavelength ranges - has mirrors dividing incident light into 2 partial beams

Info

Publication number: DE3932886A1
Application number: DE19893932886
Authority: DE
Inventors: Guenter Knapp; Bernhard Platzer
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1989-10-02
Filing date: 1989-10-02
Publication date: 1991-04-11

Abstract

The light detection device uses a pair of mirrors (4,5) for splitting the incident light into 2 divergent beams. The rear sides (4b,5b) of the 2 mirrors (4,5) face one another and the normals to their reflective surfaces each extend at an angle of at least 90 degrees to the axis of the incident light. A modular light stop (B) is positioned in the path of the light in front of each mirror (4,5) and has an aperture (E1,E2) for each of the latter. Pref. the modular light stop (13) comprises a number of foil marks (1a..1f; 2a..2f), stacked parallel to the light axis, defining a hollow space containing the 2 mirrors (4,5). USE - For optical chemical analysis.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur gleichzeitigen Erfassung von zwei definierten Wellenlängen bereichen einer Lichtstrahlung.The present invention relates to a device for simultaneous acquisition of two defined wavelengths areas of light radiation.

Bei der optischen Analyse chemischer Elemente oder Ver bindungen wird häufig Licht verwendet, welches von der betreffenden Substanz im angeregten Zustand emittiert wird. Insbesondere beim quantitativen Nachweis der gesuchten Substanz ist es häufig erforderlich, nicht die Brutto intensität des emittierten Lichtes bei einer bestimmten Wellenlänge zu messen, sondern nach Bestimmung des kontinuierlichen Untergrundes die Nettointensität der Strahlung im interessierenden Wellenlängenbereich exakt abzuleiten.In the optical analysis of chemical elements or ver light is often used by bindings the substance in question is emitted in the excited state. Especially when it comes to the quantitative detection of the searched Substance is often required, not gross intensity of the emitted light at a certain Wavelength, but after determining the continuous background the net intensity of the Radiation in the wavelength range of interest exactly to derive.

Eine derartige Bestimmung kann entweder durch sequentielle Vermessung des Spektrums mit einem einzelnen Detektor er folgen, indem man aus den hierbei erhaltenen Meßwerten die gewünschte Information über Intensitätsverteilung von Untergrundstrahlung und Meßstrahlung erhält, mit deren Hilfe man anschließend die Nettointensität der Strahlung bestimmt. Bei Verwendung sequentieller Geräte darf sich das Spektrum, während es über den Detektor bewegt wird, nicht verändern. Dies ist jedoch insbesondere bei Anwendungen mit diskontinuierlicher Probenzufuhr nicht der Fall. Ins besondere besteht hierbei die Schwierigkeit, das Meß signal innerhalb eines Meßintervalles von oft nur wenigen Sekunden konstant zu halten. Aus sequentiellen Messungen zur Bestimmung der Nettointensität können daher keine exakten analytischen Ergebnisse erwartet werden.Such a determination can be made either by sequential Measuring the spectrum with a single detector follow by taking the desired information about intensity distribution of Receives background radiation and measuring radiation, with their Then one helps the net intensity of the radiation certainly. When using sequential devices, this may be the case Spectrum while it is moving over the detector, not change. However, this is particularly true for applications not the case with discontinuous sample supply. Ins there is a particular difficulty in measuring signal within a measuring interval of often only a few To keep constant for seconds. From sequential measurements therefore, none can be used to determine the net intensity exact analytical results are expected.

Eine zweite Möglichkeit besteht in der festen Anordnung mehrerer Detektoren in der Fokalebene eines Spektrometers. Aus den gleichzeitig erhaltenen Meßwerten für verschiedene Wellenlängenbereiche des Spektrums läßt sich hierbei die Nettointensität der Strahlung im interessierenden Wellen längenbereich direkt ermitteln. Die Verwendung von zwei Fotomultipliern als Detektoren kommt aus Platzgründen in der Fokalebene des Spektrometers nicht in Betracht. Von der Fa. Spektro-Kleve wird daher die Verwendung mehrerer Spektrometer vorgeschlagen, womit allerdings ein hoher Kostenaufwand und eine verminderte Nachweisintensität, bedingt durch die erforderliche Strahlenteilung, verbunden ist.A second possibility is the fixed arrangement several detectors in the focal plane of a spectrometer. From the measured values obtained simultaneously for different Wavelength ranges of the spectrum can be Net intensity of radiation in the waves of interest determine length range directly. The use of two Photo multipliers as detectors come in for space reasons the focal plane of the spectrometer. Of the Spektro-Kleve will therefore use several Spectrometer proposed, but a high one Costs and a reduced intensity of detection, due to the required beam splitting is.

Aufgrund der geringen Dimensionen erscheinen daher Halb leiter-Detektoren wie Mehrfachdioden oder Diodenarrays prinzipiell geeignet. Bei kommerziell erhältlichen Mehr fachdioden besteht jedoch nur eine kleine Auswahl bezüglich Breite und Abstand der Detektorelemente, die sich häufig für die gleichzeitige Bestimmung von Meß- und Vergleichs strahlung in einem bestimmten analytischen System nicht eignen. Auf ein analytisches Laboratorium kommen daher häufig hohe Initialkosten für Sonderanfertigungen von Mehrfachdioden bestimmter Dimension zu. Because of the small dimensions half appear conductor detectors such as multiple diodes or diode arrays basically suitable. With commercially available more Fachdioden there is only a small selection regarding Width and distance of the detector elements that are common for the simultaneous determination of measurement and comparison radiation in a particular analytical system own. So come to an analytical laboratory often high initial costs for special designs of Multiple diodes of a certain dimension.

Fotodiodenarrays umgehen diesen Nachteil durch ihren flächen deckenden Aufbau, doch ist ein derartiger Detektor aufgrund der großen Anzahl von Detektorelementen durch einen enormen technischen Aufwand für dessen Auswerteelektronik gekennzeichnet.Photodiode arrays avoid this disadvantage with their surfaces covering structure, but such a detector is due the large number of detector elements by an enormous technical effort for its evaluation electronics featured.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine optische Vorrichtung bereitzustellen, welche eine simultane Messung in zwei eng benachbarten Wellenlängenbereichen unabhängig von der jeweiligen Detektorgeometrie ermöglicht, wobei Abstand und Breite der vermessenen Wellenlängen bereiche variierbar sein sollen.The object of the present invention is therefore a Provide optical device that a simultaneous Measurement in two closely adjacent wavelength ranges regardless of the detector geometry, where the distance and width of the measured wavelengths areas should be variable.

Die erfindungsgemäß gestellte Aufgabe wird durch eine Vorrichtung der eingangs beschriebenen Art gelöst, die gekennzeichnet ist durch zwei den Lichtstrahl in zwei divergierende Lichtbündel aufteilende Spiegel, deren Rück seiten einander zugewandt sind und deren Flächennormalen einen Winkel von weniger als 90° mit der Achse des ein fallenden Lichtstrahls bilden. Die Vorrichtung ist weiter hin gekennzeichnet durch eine im Strahlengang vor den Spiegeln angeordnete, modular aufgebaute Blende mit je weils einer Öffnung pro Spiegel.The object of the invention is achieved by a Device of the type described above solved is characterized by two the light beam in two diverging light beams dividing mirrors, their back sides facing each other and their surface normals an angle of less than 90 ° with the axis of the a form falling light beam. The device is wider characterized by an in front of the Mirrors arranged, modular panel with each because of one opening per mirror.

Die erfindungsgemäß verwendete modular aufgebaute Blende besteht vorteilhafterweise aus mehreren folienförmigen Spaltmasken. Diese werden vorteilhaft aus, in verschiedenen Stärken käuflichen, Edelstahlfolien gefertigt. Diese Spalt masken sind schichtweise übereinander gestapelt und parallel zur Lichteintrittsachse angeordnet.The modularly designed diaphragm used according to the invention advantageously consists of several film-shaped Slit masks. These are advantageous in different ways Starchable, stainless steel foils manufactured. That gap Masks are stacked on top of each other and arranged parallel to the light entry axis.

Zum Aufbau einer erfindungsgemäßen Doppelspaltblende ver wendet man einen Satz von vorzugsweise rechteckigen Spalt masken, die innen je eine Ausnehmung aufweisen, und vorzugs weise mindestens eine Spaltmaske oder Trennfolie ohne Aus nehmung, welche den Maskenstapel, vorzugsweise in der Mittel teilt. Durch eine derartige zweiteilige Anordnung wird in jeder Stapelhälfte durch die Ausnehmungen der einzelnen Spaltmasken je ein Hohlraum definiert, in welchen man je einen Ablenkspiegel einsetzt.To build a double slit diaphragm according to the invention one uses a set of preferably rectangular gap masks, each with a recess on the inside, and preferred wise at least one split mask or release film without Aus take, which the mask stack, preferably in the Means divides. By such a two-part arrangement is in each stack half through the recesses of the defines a cavity for each slit mask, in which one ever uses a deflecting mirror.

Die erfindungsgemäß verwendeten Spiegel sind vorzugsweise quaderförmige Prismen mit einer schrägen Seitenfläche, welche die Spiegelfläche bildet. Ihre Flächennormale bildet einen Winkel von weniger als 90° mit der Achse des einfallen den Lichtstrahles. Werden die Spiegel in die Hohlräume der Maskenstapel eingesetzt, so liegen sie jeweils mit ihrer größten Grundfläche an der Trennfolie an. Zur Ausbildung der Öffnungen für das eintretende Licht weist mindestens eine Spaltmaske je Maskenstapel eine einseitig offene Ausnehmung auf.The mirrors used according to the invention are preferred cuboid prisms with an oblique side surface, which forms the mirror surface. Forms your surface normal an angle of less than 90 ° with the axis of incidence the light beam. Are the mirrors in the cavities of the Mask stack used, so they lie with theirs largest base area on the release film. For training of the openings for the incoming light has at least one split mask per mask stack one open on one side Recess on.

Die Spiegelflächen der eingesetzten Prismen einerseits und die den Spiegelflächen gegenüber liegenden Innenflächen der Spaltmasken andererseits definieren eine in Richtung des austretenden Lichtes sich erweiternde Lichtaustritts öffnung.The mirror surfaces of the prisms used on the one hand and the inner surfaces opposite the mirror surfaces the slit masks, on the other hand, define one in the direction of the emerging light widening light exit opening.

Erfindungsgemäß bevorzugt sind die Maskenstapel, die Trenn folie und die Spiegel an einem Träger mit einer Abdeckplatte befestigt.According to the invention, the mask stacks, the separators, are preferred foil and the mirrors on a support with a cover plate attached.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weisen Träger und Abdeckplatte Öffnungen für das austretende Licht auf. According to a further preferred embodiment Carrier and cover plate openings for the emerging Light on.

Die Öffnungen im Träger und in der Abdeckplatte sind vorzugsweise schlitzförmig ausgebildet. Diese Öffnungen münden auf der Seite des Lichtaustritts in zwei Erwei terungen, welche zur Aufnahme der Detektoren, vorzugs weise Fotodioden, dienen.The openings in the carrier and in the cover plate are preferably slit-shaped. These openings flow into two extensions on the side of the light outlet preferential, which for receiving the detectors wise photodiodes, serve.

In einer weiteren bevorzugten erfindungsgemäßen Vorrich tung definieren die der Eintrittsblende benachbarten Kanten der Abdeckplatte und des Trägers eine Lichtein trittsöffnung, deren Öffnungswinkel kleiner als 180° ist.In another preferred device according to the invention tion define those adjacent to the entrance panel Edges of the cover plate and the carrier step opening whose opening angle is less than 180 °.

Besonders bevorzugt sind diejenigen Spaltmasken, welche die Eintrittsöffnungen der Blende definieren, bündig mit der zentralen Spaltmaske oder Trennfolie angeordnet, während die der Lichtquelle zugewandten Seiten der übrigen Spaltmasken mit zunehmenden lateralen Abstand von der Trennfolie in Lichteinfallsrichtung abgestuft sind.Those slit masks which are particularly preferred define the inlet openings of the panel, flush with the central slit mask or release film, while the sides of the rest facing the light source Slit masks with increasing lateral distance from the Separating film are graded in the direction of light incidence.

Besonders bevorzugt ist auch, daß die Trennfolie, die Ablenkspiegel und die Abdeckplatte deckungsgleich angeord nete, zentrale Bohrungen für eine Schraube aufweisen, wo mit die Abdeckplatte, die Maskenstapel, die Trennfolie und die Spiegel am Träger lösbar befestigt sind.It is also particularly preferred that the release film, the Deflecting mirror and the cover plate arranged congruently Have central holes for a screw where with the cover plate, the mask stack, the release film and the mirrors are releasably attached to the carrier.

Vorteilhafterweise besitzen die Spaltmasken eine recht eckige Form mit exakt der gleichen Breite und im wesent lichen der gleichen Länge. Am meisten bevorzugt sind Spalt masken mit geringfügigen Längenunterschieden, welche die erfindungsgemäß bevorzugte V-förmige Ausbildung der Licht eintrittsseite der Blende ermöglichen. Beispielsweise sind die Spaltmasken etwa 40 mm lang, 35 mm breit und besitzen eine Dicke von etwa 50-200 µm. Die Längenabstufung erfolgt in Schritten von 5-30 µm, vorzugsweise 10 µm.The slit masks advantageously have a right angular shape with exactly the same width and essentially same length. Gap is most preferred masks with slight differences in length, which the preferred V-shaped design of the light according to the invention allow entry side of the panel. For example the slit masks are about 40 mm long, 35 mm wide and have a thickness of about 50-200 microns. The length gradation takes place in steps of 5-30 µm, preferably 10 µm.

Im Maskenstapel sind die einzelnen Spaltmasken an ihren Sei tenkanten und Hinterkanten bündig übereinander geschichtet. Auch die in den Spaltmasken ausgebildeten Ausnehmungen sind im Maskenstapel bezüglich ihrer Hinterkanten und Sei tenkanten deckungsgleich angeordnet. Die Dimensionen der Ablenkspiegel sind so bemessen, daß ihre Breite der Brei te der Ausnehmungen in den Spaltmasken derart entspricht, daß die Spiegel in die durch die Masken definierten Hohl räume eingesetzt werden können. Beispielsweise besitzt eine Hälfte eines erfindungsgemäß verwendeten Spiegel prismas eine Länge von etwa 30 mm, eine Breite von 20 mm und eine Dicke von 0,3 bis 5 mm, vor zugsweise von etwa 1 mm. Der Spiegelkörper besteht vor zugsweise aus Messing mit vergoldeter oder versilberter Oberfläche.The individual slit masks are on their sides in the mask stack edge and rear edges layered flush on top of each other. Also the recesses formed in the slit masks are in the mask stack regarding their trailing edges and be the edges are congruently arranged. The dimensions of the Deflecting mirrors are sized so that their width is the pulp te corresponds to the recesses in the slit masks in such a way that the mirror into the cavity defined by the masks rooms can be used. For example, one Half of a mirror used according to the invention prism a length of about 30 mm, one Width of 20 mm and a thickness of 0.3 to 5 mm, before preferably about 1 mm. The mirror body exists preferably made of brass with gold-plated or silver-plated Surface.

In Abhängigkeit von den Abmessungen der Detektorhalterung im Träger und in der Abdeckplatte, können die Ausschnitte in den Spaltmasken asymmetrisch angeordnet sein.Depending on the dimensions of the detector bracket in the carrier and in the cover plate, the cutouts be arranged asymmetrically in the slit masks.

Der Abstand der beiden Lichteintrittsspalte und somit der Wellenlängenabstand kann über eine Veränderung der Dicke der Trennfolie eingestellt werden. Er liegt im wesentlichen im Bereich von 100 µm bis 5 mm, vorzugsweise bei etwa 500 µm. Die Spaltgeometrie wird im wesentlichen durch diejenige Spaltmaske bestimmt, deren Ausschnitt einseitig geöffnet ist, so daß diese im wesentlichen eine U-förmi ge Gestalt annimmt. Durch Veränderung der Foliendicke so wie der Breite der Ausnehmung kann die Spaltgeometrie ver ändert werden. So kann beispielsweise ein Eintrittsspalt mit einer Länge von 12 mm und einer Breite von 100 µm gebildet werden.The distance between the two light entry gaps and thus the Wavelength spacing can change the thickness the release film can be set. It lies essentially in the range from 100 μm to 5 mm, preferably around 500 µm. The gap geometry is essentially determined by determines the slit mask, the cutout one-sided is open so that this is essentially a U-shaped takes shape. By changing the film thickness like this like the width of the recess, the gap geometry can ver be changed. For example, an entry gap with a length of 12 mm and a width of 100 µm be formed.

Die modular zusammengesetzte Blende, bestehend aus Spalt masken und Spiegeln wird in eine Ausnehmung des Trägers bündig eingesetzt, in dessen vorderem Bereich etwa senk recht zur Haupteintrittsrichtung des Lichtes ein länglicher Schlitz ausgebildet ist, durch den ein von der einen Spie gelhälfte abgelenktes Lichtbündel zu einem Detektor ge langt. Die Abdeckplatte, mit deren Hilfe die Blende im Träger fixiert wird, entspricht in ihrer Breite im wesentlichen der Breite der Spaltmasken. Sie weist eine schlitzförmige Lichtaustrittsöffnung für das von der ande ren Spiegelhälfte reflektierte Lichtbündel auf. Die Lage dieser Lichtaustrittsöffnung entspricht derjenigen im Träger. Träger, Maskenstapel und Abdeckplatte sind somit in Sandwichanordnung. Vor den beidseitig vom Maskenstapel befindlichen Lichtaustrittsöffnungen in Träger und Abdeck platte liegen die Lichtdetektoren.The modular panel consisting of a gap Masks and mirrors are placed in a recess in the wearer inserted flush, in the front area about lower an elongated right to the main entry direction of the light Slot is formed through which one of the one Spie half of the deflected light beam to a detector reaches. The cover plate, with the help of the panel in Beam is fixed, corresponds in width to essentially the width of the slit masks. She assigns one slit-shaped light outlet for the other The other half of the mirror reflected light beams. The location this light exit opening corresponds to that in Carrier. Carrier, mask stack and cover plate are thus in a sandwich arrangement. In front of the mask stack on both sides light outlet openings in the carrier and cover the light detectors lie flat.

Das neue Blendensystem weist folgende Vorteile auf:The new panel system has the following advantages:

a) It allows a flexible selection of gap widths and gap distances. A simple adjustment to ver different spectral conditions are possible.
b) The gap widths and gap distances are from Ab measurements of the detectors independently. So it's one free choice between different detector types possible. Both photomultiplier and different types of diodes are usable. There is no need for special to manufacture detectors.
c) It allows a separation of spectrometer optics and Electronics, making it easier to replace the Electronic components is made possible.
d) It contributes significantly to a simpler and cheaper further structure of the measuring arrangement.

Die vorliegende Erfindung wird anhand beiliegender Figuren näher beschrieben. Es zeigen:The present invention will be more apparent from the accompanying Figures described in more detail. Show it:

Fig. 1 einen nicht maßstabsgetreuen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße in einem Träger befestig te Doppelspaltblende; Figure 1 is a cross-section not to scale through an inventive double slit aperture fastened in a carrier.

Fig. 2 eine Draufsicht auf einen erfindungsgemäß ver wendeten Spaltträger, wobei die Spaltmasken noch nicht eingelegt sind; Figure 2 is a plan view of a slit carrier used in accordance with the invention, the slit masks not yet being inserted;

Fig. 3 eine Draufsicht der erfindungsgemäß ver wendeten Abdeckplatte, mit der die Spalt anordnung im Träger fixiert wird; Fig. 3 is a plan view of the cover plate used according to the invention, with which the gap arrangement is fixed in the carrier;

Fig. 4 einen Längsschnitt entlang der Linie X-X in Fig. 2; Fig. 4 shows a longitudinal section along the line XX in Fig. 2;

Fig. 5 eine Draufsicht der Trennfolie; Fig. 5 is a plan view of the release film;

Fig. 6 eine Draufsicht der Spaltmaske mit einseitig geöffneter Ausnehmung, welche die Spaltgeometrie im wesentlichen bestimmt; Fig. 6 is a plan view of the slit mask with one side open recess, which determines the gap geometry substantially;

Fig. 7 eine Draufsicht einer Spaltmaske mit seit lich versetzter allseitig geschlossener Aus nehmung; und Fig. 7 is a plan view of a slit mask with recess closed since Lich offset on all sides; and

Fig. 8 eine Explosionsdarstellung der erfindungs gemäßen Vorrichtung. Fig. 8 is an exploded view of the device according to the Invention.

Fig. 1 zeigt die modular zusammengesetzte Doppelspalt- Blende B, welche aus zwei Stapeln 1 und 2 von Spaltmasken und einer zentralen Trennfolie 3 besteht. Je Stapelhälfte sind sechs folienförmige Spaltmasken 1a bis 1f bzw. 2a bis 2f schichtweise oberhalb und unterhalb der Trennfolie 3 angeordnet. Die Trennfolie 3 besitzt im Gegensatz zu den Spaltmasken der Stapel 1 und 2 keine rechteckige Ausnehmung. Sie weist lediglich eine Bohrung 3a auf, durch welche die Befestigungsschraube 8 durchgeführt wird. Durch die rechteckigen Ausnehmungen in den Spaltmasken der Stapel 1 und 2 werden Hohlräume H1 und H2 gebildet, in welche die plattenförmigen Spiegel 4 und 5 so eingesetzt werden, daß deren Grundflächen 4b und 5b die Trennfolie 3 berühren, die Bohrungen 4c und 5c in den Spiegeln mit der Bohrung 3a der Trennfolie in Deckung kommen und die Ablenk- oder Spiegelflächen 4a, 5a zur Lichtquelle weisen. Die mit den Spiegeln 4 und 5 ausge rüstete Blende B befindet sich in der Ausnehmung 6e des Trägers 6 und wird mit der Abdeckplatte 7 abgedeckt, wo bei deren Bohrung 7d mit den Bohrungen 4c und 5c in den Spiegeln 4 und 5 zur Deckung kommt. Eine Schlitzschraube 8 mit einem Außengewinde 8a wird durch die Bohrungen in der Abdeckplatte 7, den Spiegeln 4, 5 und der Trennfolie 3 durchgeführt und über ein zum Gewinde 8a komplementäres Innengewinde in der Bohrung 6d des Trägers 6 verschraubt. Fig. 1 shows the modular double slit diaphragm B, which consists of two stacks 1 and 2 of slit masks and a central separating film 3 . Six film-shaped slit masks 1 a to 1 f or 2 a to 2 f are arranged in layers above and below the separating film 3 per stack half. In contrast to the split masks of stacks 1 and 2, the separating film 3 has no rectangular recess. It has only one hole 3 a through which the mounting screw is performed. 8 Through the rectangular recesses in the gap masks of the stacks 1 and 2 , cavities H 1 and H 2 are formed, in which the plate-shaped mirrors 4 and 5 are used so that their bases 4 b and 5 b touch the separating film 3 , the holes 4 c and 5 c in the mirrors with the hole 3 a of the separating film take cover and the deflecting or mirror surfaces 4 a, 5 a point towards the light source. Equipped with the mirrors 4 and 5 aperture B is in the recess 6 e of the carrier 6 and is covered with the cover plate 7 , where in the bore 7 d with the holes 4 c and 5 c in the mirrors 4 and 5 Cover comes. A slotted screw 8 with an external thread 8 a is passed through the bores in the cover plate 7 , the mirrors 4 , 5 and the separating film 3 and screwed into the bore 6 d of the carrier 6 via an internal thread complementary to the thread 8 a.

Die Spaltmasken 1a bis 1f, 2a bis 2f und die Trennfolie 3 werden mit Hilfe der Trägervorrichtung parallel zur Haupteintrittsebene des Lichtes ausgerichtet. In den Spaltmasken 1e, 2e sind einseitig offene Ausschnitte aus gebildet, so daß die Hohlräume H1, H2 auf ihrer der Licht quelle zugewandten Seite spaltförmige Lichteintritts öffnungen E1 und E2 besitzen. Die Breite der Spalte E1 und E2 wird durch die Dicke der Spaltmasken 1e und 2e be stimmt. Die Länge der Spalte E1 und E2 ist durch die Brei te der Ausnehmungen in den Spaltmasken 1e und 2e definiert. Die Spaltmasken 1e und 2e sind mit jeweils zwei gleich großen Spaltmasken 1d, 1f bzw. 2f, 2d über- bzw. unter schichtet. Die Länge der darauf folgenden Spaltmasken nimmt mit deren zunehmenden Abstand von der Trennfolie 3 zu. In annähernd gleichem Maße wächst auch die Länge der Ausnehmungen in den Spaltmasken. Die Hohlräume H1 und H2 zwischen den Spiegelflächen 4a und 5a und den gegenüber liegenden Kanten der Spaltmasken weisen somit einen annähernd V-förmig aufgeweiteten Querschnitt auf. Die Spiegelflächen 4a bzw. 5a bilden mit den Spaltmasken 1a bzw. 2a die Blenden-Austrittsöffnungen A1 bzw. A2 für die durch die Eintrittsöffnungen E1 bzw. E2 eingetretenen und durch die Spiegelflächen 4a bzw. 5a abgelenkten Lichtstrah len. Die dabei in entgegengesetzte Richtungen abgelenkten Lichtstrahlen treten durch die Öffnungen 6a bzw. 7a, welche im Träger 6 und der Abdeckplatte 7 ausgebildet sind und sich an die Austrittsspalte A2 und A1 anschließen. Die Öffnungen 6a und 7a weisen dabei eine geringere Breite auf als die zugeordneten Austrittsöffnungen A2 bzw. A1. Die Öffnungen 6a und 7a münden an ihrem den Austrittspalt A2 bzw. A1 gegenüberliegenden Enden in die Erweiterungen 6b bzw. 7b, welche zur Aufnahme der Detektoren dienen. Die der Blende B benachbarten Vorderkanten 6c und 7c, welche die Lichteintrittsöffnung 9 definieren, sind nach außen hin aufgeweitet, so daß die Lichteintrittsöffnung 9 einen Öffnungswinkel von etwa 90° einnimmt.The slit masks 1 a to 1 f, 2 a to 2 f and the separating film 3 are aligned parallel to the main entrance plane of the light with the aid of the carrier device. In the slit masks 1 e, 2 e, cutouts which are open on one side are formed, so that the cavities H 1 , H 2 have slit-shaped light entry openings E 1 and E 2 on their side facing the light source. The width of the column E 1 and E 2 is determined by the thickness of the slit masks 1 e and 2 e. The length of the column E 1 and E 2 is defined by the width of the recesses in the gap masks 1 e and 2 e. The slit masks 1 e and 2 e are each covered with two slit masks 1 d, 1 f and 2 f, 2 d of the same size. The length of the subsequent slit masks increases with their increasing distance from the separating film 3 . The length of the recesses in the slit masks also grows to approximately the same extent. The cavities H 1 and H 2 between the mirror surfaces 4 a and 5 a and the opposite edges of the slit masks thus have an approximately V-shaped cross section. The mirror surfaces 4 a and 5 a, together with the slit masks 1 a and 2 a, form the diaphragm outlet openings A 1 and A 2 for those that entered through the inlet openings E 1 and E 2 and through the mirror surfaces 4 a and 5 a deflected light rays. The light rays deflected in opposite directions pass through the openings 6 a and 7 a, which are formed in the carrier 6 and the cover plate 7 and connect to the exit gaps A 2 and A 1 . The openings 6 a and 7 a have a smaller width than the assigned outlet openings A 2 and A 1 . The openings 6 a and 7 a open at their ends opposite the exit gap A 2 and A 1 into the extensions 6 b and 7 b, respectively, which serve to accommodate the detectors. The front edges 6 c and 7 c adjacent to the aperture B, which define the light entry opening 9 , are widened outwards, so that the light entry opening 9 assumes an opening angle of approximately 90 °.

Fig. 2 zeigt eine Draufsicht des Trägers 6 bei geöffneter Ausnehmung 6e, in welche die Spaltmasken 1a bis 1f, 2a bis 2f, die Trennfolie und die Spiegel 4, 5 eingesetzt werden. Die Erweiterung 7b an der Oberseite des Trägers 6 geht in die Erweiterung 7b der Abdeckplatte 7 gemäß Fig. 3 über, wenn diese die Maskenstapel 1 und 2 in der Ausneh mung 6e des Trägers 6 fixiert. Die Erweiterung 7b im zu sammengesetzten Träger ist im wesentlichen deckungsgleich mit der Erweiterung 6b auf der Unterseite des Trägers aus gebildet. Der Träger wird über die Paßlöcher 10 und 11 im Strahlengang des Spektrophotometers fixiert. Von der frei zugänglichen, den Paßlöchern 10 und 11 gegenüber liegenden Seite können anschließend Detektorelemente in die Erweiterungen 6b und 7b bis zu den schlitzförmigen Öffnungen 6a des Trägers 6 und 7a der Abdeckplatte 7 vorgeschoben werden. Fig. 2 shows a plan view of the carrier 6 with an open recess 6 e, where the slit masks 1 a f to 1, 2 a to 2 f, the release film and the mirrors 4, 5 are employed. The extension 7 b on the upper side of the carrier 6 merges into the extension 7 b of the cover plate 7 according to FIG. 3 when this fixes the mask stack 1 and 2 in the recess 6 e of the carrier 6 . The extension 7 b in the composite carrier is essentially congruent with the extension 6 b formed on the underside of the carrier. The carrier is fixed in the beam path of the spectrophotometer via the fitting holes 10 and 11 . From the freely accessible side opposite the fitting holes 10 and 11 , detector elements can then be pushed into the extensions 6 b and 7 b up to the slot-shaped openings 6 a of the carrier 6 and 7 a of the cover plate 7 .

Die im wesentlichen deckungsgleiche Ausbildung der Er weiterungen 6b und 7b ist in Fig. 4 gezeigt, welche einem Schnittbild des Trägers entlang der Achse X-X in Fig. 2 entspricht.The substantially congruent design of the extensions 6 b and 7 b is shown in Fig. 4, which corresponds to a sectional view of the carrier along the axis XX in Fig. 2.

Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäß verwendete Trennfolie 3, in welcher eine Bohrung 3a zur Durchführung der Schraube 8 ausgebildet ist. Fig. 5 shows a plan view of a release film 3 used in the invention, in which a bore 3 a is formed for the passage of the screw 8 .

Fig. 6 zeigt eine Draufsicht auf die Spaltmasken 1e, 2e mit einseitig geöffneter rechteckiger Ausnehmung. Fig. 6 shows a plan view of the slit masks 1 e, 2 e with a rectangular recess open on one side.

Fig. 7 zeigt eine Draufsicht der Spaltmasken mit umlaufend geschlossener rechteckiger Ausnehmung. FIG. 7 shows a top view of the slit masks with a circumferentially closed rectangular recess.

Fig. 8 zeigt eine Explosionsdarstellung der erfindungs gemäß verwendeten Vorrichtung gemäß Fig. 1. In die Aus nehmung 6e des Trägers 6 werden zunächst die Spaltmasken 2a bis 2f mit rechteckigen Ausnehmungen bündig eingelegt. Anschließend setzt man den Ablenkspiegel 5 in den von den Spaltmasken 2a bis 2e definierten Hohlraum H2 ein, wobei die Flächennormale der Ablenkfläche 5a einen Winkel von etwa 45° zur Längsachse der Spaltmasken bildet. Anschließend deckt man den Maskenstapel mit der Trennfolie 3 ab. In umgekehrter Reihen folge wird der Maskenstapel 1, bestehend aus den Spalt masken 1a bis 1f und dem Ablenkspiegel 4 in den Träger eingesetzt. Anschließend werden die Maskenstapel mit der Abdeckplatte 7 abgedeckt und mit Hilfe der Schlitz schrauben 8 am Träger 6 lösbar fixiert. Fig. 8 shows an exploded view of the device used according to the Invention according to FIG. 1. In the recess 6 e from the carrier 6 , the slit masks 2 a to 2 f are first inserted flush with rectangular recesses. Then the deflecting mirror 5 is inserted into the cavity H 2 defined by the slit masks 2 a to 2 e, the surface normal of the deflecting surface 5 a forming an angle of approximately 45 ° to the longitudinal axis of the slit masks. Then you cover the mask stack with the release film 3 . In reverse order, the mask stack 1 , consisting of the gap masks 1 a to 1 f and the deflecting mirror 4 is used in the carrier. Then the mask stack is covered with the cover plate 7 and 8 using the slotted screws on the support 6 releasably fixed.

Claims

1. Device for the simultaneous detection of two defined wavelength ranges of light radiation, characterized by
two mirrors ( 4 , 5 ) dividing the light beam into two diverging light bundles, the rear sides ( 4 b, 5 b) of which face one another and whose mirror surface norms each form an angle of less than 90 ° with the axis of the incident light beam, and
one in the beam path in front of the mirrors ( 4 , 5 ) arranged, modularly designed diaphragm (B), each with one opening (E 1 , E 2 ) per mirror ( 4 , 5 ).

2. Device according to claim 1, characterized in that the modular diaphragm (B) consists of a plurality of layers stacked, arranged parallel to the light entry axis, film-shaped slit masks ( 1 a to 1 f; 2 a to 2 f), which are cut out on the inside , so that they define a cavity in which the mirrors ( 4 , 5 ) are arranged, at least one slit mask ( 1 e, 2 e) having an open recess facing the incident light, which opening (E 1 , E 2 ) represents.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the mask stack inside has at least one separating film ( 3 ) without a recess, which divides the mask stack and separates the mirrors ( 4 , 5 ), the mirrors with their the incident light facing edges are each leaning back to the parting foil (3), and wherein in each stack half (1, 2) has a slit mask (1 e, 2 e) with an open recess.

4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the mirror surfaces ( 4 a, 5 a) of the single inclined surface of a cuboid prism ( 4 , 5 ) are formed, with its largest surface ( 4 b , 5 b) abuts the separating film ( 3 ).

5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the mirror surfaces ( 4 a, 5 a) on the one hand and the mirror surfaces opposite the inner surfaces of the slit masks ( 1 a to 1 d; 2 a to 2 d) on the other hand in Define the widening light exit opening in the direction of the emerging light.

6. Device according to one of claims 2 to 5, characterized in that the mask stack ( 1 , 2 ), the separating film ( 3 ) and the mirror ( 4 , 5 ) on a carrier ( 6 ) with a cover plate ( 7 ) can be fastened .

7. The device according to claim 6, characterized in that the carrier ( 6 ) and the cover plate ( 7 ) have openings ( 6 a, 7 a) for the emerging light.

8. The device according to claim 7, characterized in that the openings ( 6 a, 7 a) on the side of the light outlet in an extension ( 6 b, 7 b) open for receiving detectors.

9. Device according to one of claims 6 to 8, characterized in that the aperture (B) neigh disclosed front edges ( 6 c, 7 c) of the carrier ( 6 ) and the cover plate ( 7 ) define a light entry opening ( 9 ), whose opening angle is less than 180 °.

10. Device according to one of claims 2 to 9, characterized in that the openings (E 1 , E 2 ) on both sides delimiting gap masks ( 1 d, 1 f; 2 d, 2 f) are arranged flush with the separating film ( 3 ) , while the sides of the remaining slit masks facing the light source ( 1 a, 1 b, 1 c; 2 a, 2 b, 2 c) are graduated in the direction of light incidence with increasing distance from the separating film ( 3 ).

11. The device according to one of claims 6 to 10, characterized in that the separating film ( 3 ), the mirror ( 4 , 5 ) and the cover plate ( 7 ) coincidentally arranged, central bores ( 3 a, 4 c, 5 c, 7 d) for a screw ( 8 ), with which the cover plate ( 7 ), the mask stack ( 1 , 2 ), the split mask ( 3 ) and the mirror ( 4 , 5 ) are detachably attached to the carrier ( 6 ).