DE3908590A1 - Device for measuring, monitoring and evaluating electrostatic parameters during the charging-up and/or discharging of bodies - Google Patents

Device for measuring, monitoring and evaluating electrostatic parameters during the charging-up and/or discharging of bodies

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Ulrich Volker Lange
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LANGE, ULRICH-VOLKER, 59597 ERWITTE, DE
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Hella KGaA Huek and Co
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    • G01R29/24Arrangements for measuring quantities of charge

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Abstract

To be able to measure, monitor and analyse electrostatic parameters in a simple and inexpensive way, this device exhibits a microcomputer which is connected or can be connected to a charge measuring device, a capacitance measuring device, a memory, an input device and an output device, and also exhibits a first test probe which is connected or can be connected electrically conductively to the charge measuring device and/or the capacitance measuring device and also exhibits an earth connection and a counter potential connection which are electrically conductively connected to the charge measuring device and capacitance measuring device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung, Überwachung und Auswertung elektrostatischer Parameter bei der Auf- und/oder Entladung von Körpern.The invention relates to a device for measurement, Monitoring and evaluation of electrostatic parameters at the charging and / or discharging of bodies.

Auf- und/oder Entladevorgänge können die elektronischen Strukturen elektronischer Bauteile schädigen. Die Schädigung der elektronischen Strukturen kann soweit führen, daß die elektronischen Bauteile direkt zerstört werden oder aber derart geschädigt werden, daß die Lebensdauer dieser Bauteile verkürzt wird.Charging and / or discharging can be done electronically Damage the structures of electronic components. The injury of the electronic structures can lead so far that the electronic components are destroyed directly or be damaged so that the lifespan of this Components is shortened.

Es ist bekannt, Feldstärkemeßgeräte zu verwenden, die bei einem definierten Abstand von einem geladenen Körper eine Aussage über das Potential dieses Körpers gegenüber dem normalerweise auf Erdpotential gehaltenen Bezug des Meßgeräts ermöglichen. Dabei ergibt sich jedoch als Nachteil, daß zum einen ein definierter Abstand eingehalten werden muß und daß zum anderen vorausgesetzt wird, daß ein homogenes Feld vorliegt, was häufig nicht gegeben ist und somit die von dem Meßgerät angegebene Feldstärke häufig nicht der wirklich vorliegenden Feldstärke entspricht. Als besonders nachteilig erweist sich, daß durch diese Art von Messungen lediglich eine Aussage darüber möglich ist, ob eine bestimmte Ladung an einer bestimmten Stelle des zu messenden Körpers aufgebaut wurde, jedoch keine Aussage darüber möglich ist, was bei einem Auf- und/oder Entladevorgang, das heißt, z.B. bei einem Berühren eines anderen Körpers passiert und somit keine Aussage über die schädigende Wirkung eines Auf- und/oder Entladevorgangs auf elektronische Strukturen elektronischer Bauteile durch elektrostatischer Parameter möglich ist. Insbesondere kann keine Aussage über die bei dem Auf- und/oder Entladevorgang wirksamwerdende Ladung, die wirksamwerdende Spannung, den wirksamwerdenden Strom und die wirksamwerdende Energie gemacht werden.It is known to use field strength meters, which a defined distance from a charged body Statement about the potential of this body compared to that reference of the normally held to earth potential Enable measuring device. However, this results in Disadvantage that, on the one hand, a defined distance is maintained must be and that on the other hand it is assumed that a homogeneous field is present, which is often not the case and thus the field strength indicated by the measuring device is frequent does not correspond to the actual field strength. As it proves particularly disadvantageous that this type of Measurements can only provide information about whether a certain load at a certain point on the measuring body was built, but no statement about what is possible with an opening and / or Unloading process, i.e. e.g. when you touch one other body happens and therefore no statement about the harmful effect of a loading and / or unloading electronic structures of electronic components electrostatic parameters is possible. In particular, can no statement about the loading and / or unloading process  effective charge, the effective voltage, the effective current and effective energy be made.

Die gleichen Nachteile ergeben sich bei bekannten Leitfähigkeitsmessungen, die lediglich eine Aussage darüber ermöglichen, ob der zu messende Stoff eine bestimmte Ladung speichern kann, die bei einem Entladevorgang zu einer Schädigung elektronischer Bauelemente führen kann.The same disadvantages arise with known ones Conductivity measurements, just a statement about it enable whether the substance to be measured has a certain charge can save that during a discharge to a Can damage electronic components.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, die auf einfache und kostengünstige Weise elektrostatische Parameter bei der Auf- und/oder Entladung von Körpern mißt, die die elektronischen Strukturen elektronischer Bauteile bei dem Auf- und/oder Entladevorgang schädigen können und die es ermöglicht, diese Parameter zu überwachen und auszuwerten.The invention has for its object a device to create that in a simple and inexpensive way electrostatic parameters during charging and / or discharging of bodies that measures the electronic structures electronic components during the loading and / or unloading process can damage and which allows these parameters monitor and evaluate.

Diese Aufgabe wird bei der erfindungsgemäßen Einrichtung durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved with the device according to the invention solved by the features of claim 1.

Es ist von Vorteil, daß die Einrichtung einen Mikrorechner aufweist, weil somit ein einfacher und kostengünstiger Aufbau erreicht wird und zudem eine sofortige Auswertung der gemessenen Parameter durch die Einrichtung ermöglicht wird.It is advantageous that the device has a microcomputer has, because thus a simple and inexpensive Structure is achieved and also an immediate evaluation of the measured parameters is made possible by the device.

Dadurch, daß der Mikrorechner mit einer Ladungsmeßeinrichtung verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß dem Mikrorechner ein Signal zugeführt wird, das der bei einem Auf- und/oder Entladevorgang eines zu messenden Körpers wirksam werdenden Ladung entspricht. Zudem ergibt sich hieraus der Vorteil, daß auf einfache und kostengünstige Weise die Polarität der Ladung bestimmt und an den Mikrorechner zur Auswertung weitergegeben werden kann.The fact that the microcomputer with a Charge measuring device is connected, the result Advantage that the microcomputer is fed a signal that the one during a loading and / or unloading process measuring body corresponds to effective charge. In addition This has the advantage that simple and inexpensive way to determine the polarity of the charge and be passed on to the microcomputer for evaluation can.

Es ist von Vorteil, daß der Mikrorechner mit einer Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden ist, weil somit auf einfache und kostengünstige Weise nach einem Entladevorgang die Kapazität des entladenden, zu messenden Körpers bestimmt werden kann und dem Mikrorechner als ein auswertbarer Spannungswert zugeführt werden kann. Insbesondere ergibt sich hieraus der Vorteil, daß in Verbindung mit der Ladungsmessung aus dem Kapazitätsmeßwert und dem Ladungsmeßwert die Spannung des zu messenden Körpers vor der Entladung bestimmt werden kann.It is advantageous that the microcomputer with a Capacitance measuring device is connected because thus on  simple and inexpensive way after unloading determines the capacity of the unloading body to be measured can be and the microcomputer as an evaluable Voltage value can be supplied. In particular, results this has the advantage that in connection with the Charge measurement from the measured capacitance value and the Charge measurement is the voltage of the body to be measured before the Discharge can be determined.

Dadurch, daß der Mikrorechner mit einem Speicher verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß Meßwerte von verschiedenen Messungen abgespeichert werden können und zu einem späteren Zeitpunkt zu einem Vergleich und einer Auswertung zur Verfügung stehen. Es ist von Vorteil, daß der Mikrorechner mit einer Eingabeeinrichtung verbunden oder verbindbar ist, weil es somit möglich ist, die Einrichtung auf einen Anfangszustand zurückzusetzen, einen Speichervorgang einzuleiten und einen Meßvorgang zu starten.The fact that the microcomputer is connected to a memory is the advantage that measurement values of different Measurements can be saved and used later Time for a comparison and an evaluation of the To be available. It is advantageous that the microcomputer is connected or can be connected to an input device, because it is possible to set it up on one Reset initial state, a save initiate and start a measuring process.

Dadurch, daß der Mikrorechner mit einer Ausgabeeinrichtung verbunden oder verbindbar ist, ergibt sich der Vorteil, daß Meßwerte und aus den Meßwerten resultierende Werte zur Weiterverarbeitung und/oder Anzeige von dem Mikrorechner ausgegeben werden können.The fact that the microcomputer with an output device is connected or connectable, there is the advantage that Measured values and values resulting from the measured values for Further processing and / or display by the microcomputer can be spent.

Es ist von Vorteil, daß die Einrichtung eine erste Meßspitze aufweist, die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung und/oder der Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden oder verbindbar ist, weil somit auf einfache und sichere Weise die von einem zu messenden Körper abfließende Ladung und die bei dem Abfluß der Ladung wirksame Kapazität gemessen werden kann.It is advantageous that the device has a first measuring tip has the electrically conductive with the Charge measuring device and / or the capacitance measuring device is connected or connectable because it is simple and safe way the flowing out of a body to be measured Charge and the capacity effective at the discharge of the charge can be measured.

Dadurch, daß die Einrichtung einen Masseanschluß und einen Gegenpotentialanschluß aufweist, die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung und der Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden sind, ergibt sich der Vorteil, daß die Messung der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang eines zu messenden Körpers und die Messung der Kapazität nach einem Entladevorgang gegenüber einem vorgegebenen Potential erfolgen kann, wodurch z.B. eine Messung zwischen zwei Körpern ermöglicht wird oder aber auch eine Messung gegen die Masse der Einrichtung ermöglicht wird.In that the device has a ground connection and a Has counter potential connection, the electrically conductive with the charge measuring device and the capacitance measuring device connected, there is the advantage that the measurement of effective charge during an unloading process  measuring body and measuring capacity after a Discharge process compared to a given potential can take place, e.g. a measurement between two Bodies is made possible or a measurement against the mass of the facility is made possible.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen des Erfindungsgegenstands ergeben sich aus den Unteransprüchen.Further advantageous refinements and developments of Subject of the invention emerge from the subclaims.

Es ist von Vorteil, daß die Ladungsmeßeinrichtung einen Ladungsverstärker aufweist, der über einen hochohmigen Widerstand mit der ersten Meßspitze verbunden ist, weil so auf einfache und kostengünstige Weise dem Mikrorechner ein Spannungssignal zur Auswertung zur Verfügung gestellt werden kann, daß der Ladung bei einem Ent- und/oder Aufladevorgang entspricht, wobei sich insbesondere der Vorteil ergibt, daß durch die Verwendung eines hochohmigen Widerstandes in Verbindung mit der Kapazität des zu messenden Körpers die Zeitkonstante des Entladevorgangs vergrößert wird, wodurch eine Auswertung eines Entladevorgangs ermöglicht wird. Dadurch, daß der Ladungsverstärker zum einen mit dem Masseanschluß und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß die Messung der Ladung zum einen gegenüber der Masse der Einrichtung und zum anderen gegenüber einem anderen Körper erfolgen kann, wodurch auch relative Messungen möglich sind.It is advantageous that the charge measuring device has a Charge amplifier has a high impedance Resistance is connected to the first probe because so the microcomputer in a simple and inexpensive way Voltage signal can be made available for evaluation can that the charge during a discharge and / or charging process corresponds, with the particular advantage that by using a high impedance resistor in Connection with the capacity of the body to be measured Time constant of the discharge process is increased, whereby an evaluation of a discharge process is made possible. The fact that the charge amplifier on the one hand with the Ground connection and on the other hand with the counter potential connection connected, there is the advantage that the measurement of Charge on the one hand against the mass of the device and on the other others can take place against another body whereby relative measurements are also possible.

Es ist von Vorteil, daß der Ladungsverstärker über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner verbunden ist, weil somit auf einfache und kostengünstige Weise ein Rücksetzen des an dem Ausgang des Ladungsverstärkers anliegenden Signals bewirkt werden kann und somit eine neue Messung durchgeführt werden kann.It is advantageous that the charge amplifier has a Control line is connected to the microcomputer because thus a simple and inexpensive way to reset the signal present at the output of the charge amplifier can be effected and thus a new measurement is carried out can be.

Es ist von Vorteil, daß der Ladungsverstärker über einen Verstärker an den Mikrorechner angeschlossen ist, weil somit auch bei sehr kleinen zu messenden Ladungen sichergestellt wird, daß dem Mikrorechner ein Spannungssignal zur Verfügung gestellt wird, das einen Wert aufweist, der von dem Mikrorechner verwertbar ist. Dadurch, daß der Verstärker einen Digital-Analog-Wandler aufweist und zum einen über einen Fensterdiskriminator und zum anderen über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß je nach dem an dem Eingang des Verstärkers von dem Ladungsverstärkers anliegenden Signals eine Regelung der Verstärkung des Verstärkers durch den Mikrorechner erfolgen kann, da je nach dem Signal, das dem Fensterdiskriminator von dem Verstärker zugeführt wird, der Mikrorechner angesteuert wird und dieser den Verstärkungsfaktor des Verstärkers derart ändert, daß dem Mikrorechner ein Spannungssignal von dem Verstärker zugeführt wird, das durch den Mikrorechner auswertbar ist.It is advantageous that the charge amplifier has a Amplifier is connected to the microcomputer because thus ensured even with very small loads to be measured is that a voltage signal is available to the microcomputer  that has a value different from that Microcomputer is usable. Because the amplifier has a digital-to-analog converter and on the one hand a window discriminator and another one Control line is connected to the microcomputer results the advantage that depending on the at the entrance of the Amplifier of the signal present from the charge amplifier a regulation of the gain of the amplifier by the Microcomputer can be done because depending on the signal that the Window discriminator is supplied from the amplifier that Microcomputer is controlled and this the Gain of the amplifier changes such that the Microcomputer receives a voltage signal from the amplifier is supplied, which can be evaluated by the microcomputer.

Es ist von Vorteil, daß der Verstärker über einen Analog-Digital-Wandler mit dem Mikrorechner verbunden ist, weil somit dem Mikrorechner ein Signal von dem Verstärker zugeführt wird, das auf einfache Weise auswertbar ist.It is advantageous that the amplifier has a Analog-to-digital converter is connected to the microcomputer, because thus the microcomputer receives a signal from the amplifier is supplied, which can be evaluated in a simple manner.

Dadurch, daß der Analog-Digital-Wandler Teil des Mikrorechners ist, ergibt sich ein einfacher und kostengünstiger Aufbau der Einrichtung.The fact that the analog-digital converter part of Microcomputer is a simple and easy inexpensive setup of the facility.

Es ist von Vorteil, daß eine weitere Meßeinrichtung an den Mikrorechner angeschlossen ist, die zum einen mit der ersten Meßspitze und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß verbunden oder verbindbar ist und daß die Meßeinrichtung eine Widerstandsmeßeinrichtung und/oder eine Induktivitätsmeßeinrichtung ist, weil somit z.B. eine Bestimmung der wirksamwerdenden Stromstärke bei einem Ent- oder Aufladevorgang eines Körpers durch den Mikrorechner erfolgen kann, was erfordert, daß dem Mikrorechner Spannungswerte zugeführt werden, die dem Innenwiderstand und der Induktivität des gesamten Entladekreises entsprechen. It is advantageous that a further measuring device to the Microcomputer is connected, the one with the first Measuring tip and on the other hand with the counter potential connection is connected or connectable and that the measuring device a resistance measuring device and / or a Inductance measuring device is because e.g. a Determination of the effective current strength in the event of a or charging process of a body by the microcomputer can be done, which requires that the microcomputer Voltage values are supplied that correspond to the internal resistance and the inductance of the entire discharge circuit correspond.  

Dadurch, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung und/oder die weitere Meßeinrichtung elektrisch leitend mit einer zweiten Meßspitze verbunden ist und die Verbindung zu der ersten Meßspitze unterbrochen ist, ergibt sich der Vorteil einer Trennung der Ladungsmessung von der Kapazitäts- und/oder Widerstands- und/oder Induktivitätsmessung und dies insbesondere, da die letztgenannten Messungen nur nach einem Entladevorgang durchgeführt werden können.The fact that the capacitance measuring device and / or another measuring device electrically conductive with a second Measuring tip is connected and the connection to the first Measuring tip is interrupted, there is the advantage of a Separation of the charge measurement from the capacity and / or Resistance and / or inductance measurement and this especially since the latter measurements only after one Unloading can be performed.

Es ist von Vorteil, daß die Eingabeeinrichtung in mindestens zwei Eingabeeinrichtungen unterteilt ist, die getrennt mit dem Mikrorechner verbunden sind, weil so die Sicherheit bei dem Betreiben der Einrichtung erhöht wird, da Verwechslungen der Eingabeeinrichtung und Fehleingaben möglichst gering gehalten werden.It is advantageous that the input device in at least is divided into two input devices, which are separated with are connected to the microcomputer because this way security the operation of the facility is increased because of confusion the input device and incorrect entries as low as possible being held.

Es ist von Vorteil, daß die Ausgabeeinrichtung eine Anzeigeeinrichtung aufweist, wodurch auf einfache und kostengünstige Weise eine direkte Anzeige der Meßwerte und der durch den Mikrorechner aus den Meßwerten ermittelten Werten möglich ist.It is advantageous that the output device a Display device, which makes simple and an inexpensive way to directly display the measured values and that determined by the microcomputer from the measured values Values is possible.

Dadurch, daß die Ausgabeeinrichtung eine Schnittstelle aufweist, ergibt sich der Vorteil, daß an die Einrichtung z. B. ein Großrechner anschließbar ist, um z.B. umfangreiche Auswertungen durchführen zu können.Because the output device has an interface has the advantage that the device z. B. a mainframe can be connected to e.g. extensive To be able to carry out evaluations.

Dadurch, daß die Ausgabeeinrichtung einen Drucker aufweist, ergibt sich der Vorteil, daß die Meßergebnisse und Auswerteergebnisse auf einfache Weise protokolliert werden können.Because the output device has a printer, there is the advantage that the measurement results and Evaluation results can be logged in a simple manner can.

Es ist von Vorteil, daß alle oder einige Bauelemente in einem batteriebetriebenen Gerät angeordnet sind, wodurch sich ein einfacher platzsparender und kompakter Aufbau der Einrichtung ergibt und der Einsatz der Einrichtung nicht ortsgebunden ist.It is advantageous that all or some components in a battery operated device are arranged, whereby a simple space-saving and compact structure of the Establishment results and the use of the facility does not is local.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher erläutert. Die einzige Figur zeigt ein Blockdiagramm der erfindungsgemäßen Einrichtung.An embodiment of the invention is in the drawing shown and is explained in more detail below. The only figure shows a block diagram of the device according to the invention.

Zur Messung und Auswertung eines Ent- und/oder Aufladevorgangs eines zu messenden Körpers ist ein Mikrorechner (MR) elektrisch leitend mit einer Ladungsmeßeinrichtung (C) verbunden. Um die Ladung messen zu können, die wirksam wird, wenn eine Ent- und/oder Aufladung des zu messenden Körpers erfolgt, ist die Ladungsmeßeinrichtung (C) mit einer ersten Meßspitze (MS 1) verbunden, die zur Entladung des zu vermessenden Körpers mit diesem in Kontakt gebracht wird. Die Ladungsmeßeinrichtung (C) ist dabei aus einem hochohmigen Widerstand (R), einem Ladungsverstärker (L), einem Verstärker (V), einem Fensterdiskriminator (F) und einem Analog-Digital-Wandler (W) aufgebaut. Um die Zeitkonstante eines Entladevorgangs, die üblicherweise einige Nanosekunden beträgt, zu vergrößern, so daß dem Ladungsverstärker (L) ein auswertbares Spannungssignal zugeführt wird, ist der Ladungsverstärker (L) über einen hochohmigen Widerstand (R) mit der ersten Meßspitze (MS 1) elektrisch leitend verbunden. Der hochohmige Widerstand (R) bildet dabei mit der Kapazität des zu messenden Körpers ein RC-Glied, dessen Zeitkonstante etwa in dem Bereich einiger Millisekunden bis zu einigen Sekunden liegt. Damit bei der Messung der Ladung bei einem Entladevorgang ein definiertes Bezugspotential zur Verfügung steht, ist der Ladungsverstärker (L) zum einen mit einem Masseanschluß (M) verbunden, der z.B. die Gerätemasse der Einrichtung sein kann und zum anderen mit einem Gegenpotentialanschluß (G) verbunden, der mit einem weiteren Körper verbindbar ist und es somit möglich ist, Messungen in bezug auf zwei Körper durchzuführen. Um den Ausgang des Ladungsverstärkers (L) auf einen vorgegebenen Spannungswert zurücksetzen zu können, ist der Ladungsverstärker (L) elektrisch leitend über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner (MR) verbunden. A microcomputer ( MR ) is connected in an electrically conductive manner to a charge measuring device ( C ) for measuring and evaluating a discharge and / or charging process of a body to be measured. In order to be able to measure the charge which becomes effective when the body to be measured is discharged and / or charged, the charge measuring device ( C ) is connected to a first measuring tip ( MS 1 ) which is used to discharge the body to be measured is brought into contact. The charge measuring device ( C ) is constructed from a high-resistance resistor ( R ), a charge amplifier ( L ), an amplifier ( V ), a window discriminator ( F ) and an analog-digital converter ( W ). In order to increase the time constant of a discharging process, which typically amounts to a few nanoseconds, so that the charge amplifier (L) is supplied to a usable voltage signal of the charge amplifier (L) via a high value resistor (R) to the first probe head (MS 1) is electrically conductively connected. The high resistance ( R ) forms an RC element with the capacitance of the body to be measured, the time constant of which is approximately in the range of a few milliseconds to a few seconds. So that a defined reference potential is available when measuring the charge during a discharge process, the charge amplifier ( L ) is connected on the one hand to a ground connection ( M ), which can be, for example, the device ground of the device, and on the other hand to a counter potential connection ( G ) which can be connected to another body and thus makes it possible to carry out measurements with respect to two bodies. In order to be able to reset the output of the charge amplifier ( L ) to a predetermined voltage value, the charge amplifier ( L ) is electrically conductively connected to the microcomputer ( MR ) via a control line.

Der Ausgang des Ladungsverstärkers (L), an dem bei einem Meßvorgang eine Spannung anliegt, die der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang entspricht, ist elektrisch leitend mit einem Verstärker (V) verbunden, der das von dem Ladungsverstärker (L) gelieferte Spannungssignal in einen Spannungswertebereich verstärkt, der eine Weiterverarbeitung des Spannungssignals durch den Mikrorechner (MR) ermöglicht.The output of the charge amplifier ( L ), to which a voltage is applied during a measurement process, which corresponds to the charge that becomes effective during a discharge process, is electrically conductively connected to an amplifier ( V ) which converts the voltage signal supplied by the charge amplifier ( L ) into a voltage range amplified, which enables further processing of the voltage signal by the microcomputer ( MR ).

Da an dem Eingang des Verstärkers (V) sehr kleine und auch sehr große Spannungen anliegen können, da auch die zu messenden Ladungen einen großen Bereich aufweisen, ist eine Regelung des Verstärkungsfaktors des Verstärkers (V) erforderlich. Zu diesem Zweck ist der Verstärker (V) elektrisch leitend über einen Fensterdiskriminator (F) mit dem Mikrorechner (MR) verbunden. Um dem Fensterdiskriminator (F) eine verwertbare Spannung zur Verfügung zu stellen, verfügt der Verstärker (V) über einen Digital-Analog-Wandler. Je nach dem Spannungsbereich, der dem Fensterdiskriminator (F) zugeführt wird, steuert dieser den Mikrorechner (MR) an, der zur Veränderung des Verstärkungsfaktors des Verstärkers (V) elektrisch leitend über eine Steuerleitung mit dem Verstärker (V) verbunden ist. Der Verstärker (V) ist zudem über einen Analog-Digital-Wandler (W) mit dem Mikrorechner (MR) verbunden, um dem Mikrorechner (MR) ein Spannungssignal zuzuführen, das der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang entspricht und das von dem Mikrorechner (MR) verarbeitet und ausgewertet werden kann.Since very small and also very large voltages can be present at the input of the amplifier ( V ), since the charges to be measured also have a large range, regulation of the amplification factor of the amplifier ( V ) is necessary. For this purpose, the amplifier ( V ) is electrically connected to the microcomputer ( MR ) via a window discriminator ( F ). In order to provide the window discriminator ( F ) with a usable voltage, the amplifier ( V ) has a digital-to-analog converter. Depending on the voltage range is supplied to the window comparator (F), it controls to the microcomputer (MR), which is connected to vary the gain of the amplifier (V) is electrically conductively connected via a control line to the amplifier (V). The amplifier ( V ) is also connected to the microcomputer ( MR ) via an analog-to-digital converter ( W ) in order to supply the microcomputer ( MR ) with a voltage signal which corresponds to the charge that becomes effective during a discharge process and which is generated by the microcomputer ( MR ) can be processed and evaluated.

Das dem Mikrorechner (MR) von der Ladungsmeßeinrichtung (C) zugeführte Spannungssignal kann dabei Informationen über die Polarität der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang enthalten.The voltage signal supplied to the microcomputer ( MR ) by the charge measuring device ( C ) can contain information about the polarity of the charge that becomes effective during a discharge process.

Um z.B. die Spannung des zu messenden Körpers vor der Entladung und die Energie des Körpers bestimmen zu können, ist der Mikrorechner (MR) elektrisch leitend über eine Kapazitätsmeßeinrichtung (K) mit der ersten Meßspitze (MS 1) elektrisch leitend verbunden. Die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) ist zudem elektrisch leitend zum einen mit dem Masseanschluß (M) und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß (G) verbunden, damit ein vorgegebenes Bezugspotential vorliegt und eine Messung zwischen zwei Körpern möglich ist. Da eine Messung der Kapazität des zu messenden Körpers nur nach dem Ladevorgang sinnvoll ist, wird die Kapazitätseinrichtung (K) von dem Mikrorechner (MR) erst nach einem Entladevorgang für eine Messung gestartet.In order, for example, to be able to determine the voltage of the body to be measured before the discharge and the energy of the body, the microcomputer ( MR ) is electrically conductively connected to the first measuring tip ( MS 1 ) via a capacitance measuring device ( K ). The capacitance measuring device ( K ) is also electrically conductively connected on the one hand to the ground connection ( M ) and on the other hand to the counter potential connection ( G ), so that a predetermined reference potential is present and a measurement between two bodies is possible. Since a measurement of the capacitance of the body to be measured only makes sense after the charging process, the capacitance device ( K ) is only started by the microcomputer ( MR ) for a measurement after a discharging process.

Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung ist der Mikrorechner (MR) zudem elektrisch leitend über eine weitere Meßeinrichtung (I) mit der ersten Meßspitze (MS 1) elektrisch leitend verbunden, wobei die Meßeinrichtung (I) eine Widerstandsmeßeinrichtung und/oder eine Induktivitätsmeßeinrichtung aufweisen kann, die jeweils nach einem durchgeführten Entladevorgang von dem Mikrorechner (MR) zur Messung angesteuert werden, wenn der Mikrorechner (MR) z.B. die bei einem Entladevorgang wirksamwerdende Stromstärke und/oder die Zeitkonstante des Stromanstiegs und/oder die ungefähre Höhe des Entlade-Spitzenstroms bestimmen soll. Die Meßeinrichtung (I) ist dabei elektrisch leitend zudem mit dem Masseanschluß (M) und mit dem Gegenpotentialanschluß (G) verbunden.In another embodiment of the device according to the invention, the microcomputer ( MR ) is also electrically conductively connected to the first measuring tip ( MS 1 ) via a further measuring device ( I ), the measuring device ( I ) being able to have a resistance measuring device and / or an inductance measuring device , which are triggered by the microcomputer ( MR ) for the measurement after each discharge process, if the microcomputer ( MR ) is to determine, for example, the current intensity which becomes effective during a discharge process and / or the time constant of the current rise and / or the approximate amount of the discharge peak current . The measuring device ( I ) is also electrically conductively connected to the ground connection ( M ) and to the counter potential connection ( G ).

Um sicher zustellen, daß die Kapazitätsmessung und eventuell die Widerstands- und/oder Induktivitätsmessung erst nach der Ladungsmessung durchgeführt wird, kann die Ladungsmeßeinrichtung (C), die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) und eventuell die weitere Meßeinrichtung (I) über eine interne Umschaltung verfügen, die durch Steuersignale von dem Mikrorechner (MR) bewirkt wird.To ensure that the capacitance measurement and possibly the resistance and / or inductance measurement is only carried out after the charge measurement, the charge measuring device ( C ), the capacitance measuring device ( K ) and possibly the further measuring device ( I ) can have an internal switchover which is effected by control signals from the microcomputer ( MR ).

Bei der Verwendung nur einer ersten Meßspitze (MS 1) kann diese mit einer ersten Umschalteinrichtung (U 1) verbunden sein. Die erste Umschalteinrichtung (U 1) ist dabei sowohl mit der Ladungsmeßeinrichtung (C) als auch mit der Kapazitätsmeßeinrichtung (K) und eventuell mit der weiteren Meßeinrichtung (I) verbunden und verbindet, z. B. durch den Mikrorechner (MR) angesteuert, entweder die Ladungsmeßeinrichtung (L) oder die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) oder die weitere Meßeinrichtung (I) mit der ersten Meßspitze (MS 1).If only a first measuring tip ( MS 1 ) is used, this can be connected to a first switching device ( U 1 ). The first switching device ( U 1 ) is connected to and connected to both the charge measuring device ( C ) and the capacitance measuring device ( K ) and possibly to the further measuring device ( I ), e.g. B. controlled by the microcomputer ( MR ), either the charge measuring device ( L ) or the capacitance measuring device ( K ) or the further measuring device ( I ) with the first measuring tip ( MS 1 ).

Wie in der einzigen Figur gestrichelt dargestellt, kann es erforderlich sein, um Probleme bei dem Umschalten von der Ladungsmessung zu der Kapazitätsmessung zu vermeiden, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) und/oder die weitere Meßeinrichtung (I) elektrisch leitend mit einer zweiten Meßspitze (MS 2) verbunden ist, wobei die Verbindung von der Kapazitätsmeßeinrichtung (K) und/oder der weiteren Meßeinrichtung (I) zu der ersten Meßspitze (MS 1) unterbrochen ist.As shown in dashed lines in the single figure, in order to avoid problems when switching from charge measurement to capacitance measurement, it may be necessary for the capacitance measuring device ( K ) and / or the further measuring device ( I ) to be electrically conductive with a second measuring tip ( MS 2 ) is connected, the connection from the capacitance measuring device ( K ) and / or the further measuring device ( I ) to the first measuring tip ( MS 1 ) being interrupted.

In diesem Fall ist die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) und die weitere Meßeinrichtung (I) über eine zweite Umschalteinrichtung (U 2) mit der zweiten Meßspitze (MS 2) verbunden. Die zweite Umschalteinrichtung (U 2) kann dabei auch von dem Mikrorechner (MR) ansteuerbar sein. Die erste Umschalteinrichtung (U 1) kann dabei auch entfallen.In this case, the capacitance measuring device ( K ) and the further measuring device ( I ) are connected to the second measuring tip ( MS 2 ) via a second switching device ( U 2 ). The second switching device ( U 2 ) can also be controlled by the microcomputer ( MR ). The first switching device ( U 1 ) can also be omitted.

Der Mikrorechner (MR) ist elektrisch leitend mit einem Speicher (S) verbunden, in dem Meßwerte und Werte der Auswertung durch den Mikrorechner (MR) abgespeichert werden können.The microcomputer ( MR ) is connected in an electrically conductive manner to a memory ( S ) in which measured values and values of the evaluation by the microcomputer ( MR ) can be stored.

Um Schaltfunktionen durchführen zu können, ist der Mikrorechner (MR) zudem elektrisch leitend mit einer Eingabeeinrichtung (E) verbunden. Die Eingabeeinrichtung (E) kann dabei, wie in der Figur gezeigt, aus mindestens zwei getrennt mit dem Mikrorechner (MR) verbundenen Eingabeeinrichtungen (E 1, E 2, . . .) bestehen. Die erste Eingabeeinrichtung (E 1) kann dabei z.B. bewirken, daß bei ihrer Betätigung ein neuer Meßvorgang eingeleitet wird und z.B. der Ladungsverstärker (L) von dem Mikrorechner (MR) über eine Steuerleitung derart angesteuert wird, daß an dem Ausgang des Ladungsverstärkers (L) eine vorgegebene Anfangsspannung anliegt und eine Rücksetzung erfolgt. Eine Betätigung der zweiten Eingabeeinrichtung (E 2) kann z.B. bewirken, daß ein vorliegender Meßwert und/oder Auswertewert in dem Speicher (S) abgespeichert wird oder aus dem Speicher (S) abgerufen wird.In order to be able to carry out switching functions, the microcomputer ( MR ) is also connected in an electrically conductive manner to an input device ( E ). As shown in the figure, the input device ( E ) can consist of at least two input devices ( E 1 , E 2 , ... ) That are separately connected to the microcomputer ( MR ). The first input device ( E 1 ) can, for example, cause a new measurement process to be initiated when it is actuated and the charge amplifier ( L ) to be controlled by the microcomputer ( MR ) via a control line in such a way that at the output of the charge amplifier ( L ) a specified initial voltage is present and a reset is carried out. An actuation of the second input device ( E 2 ) can, for example, cause an existing measured value and / or evaluation value to be stored in the memory ( S ) or to be called up from the memory ( S ).

Um eine Verwertbarkeit der Meßwerte und der Werte der Auswertung durch den Mikrorechner (MR) zu gewährleisten, ist der Mikrorechner (MR) elektrisch leitend mit einer Ausgabeeinrichtung (A) verbunden.In order to ensure the usability of the measured values and the values of the evaluation by the microcomputer ( MR ), the microcomputer ( MR ) is electrically conductively connected to an output device ( A ).

Die Ausgabeeinrichtung (A) kann dabei aus verschiedenen Geräten oder Bauelementen bestehen, die jeweils getrennt mit dem Mikrorechner verbunden sind.The output device ( A ) can consist of various devices or components, each of which is separately connected to the microcomputer.

Die Ausgabeeinrichtung (A) kann dabei über eine Anzeigeeinrichtung (AE) verfügen, die die Meßwerte und/oder die Werte der Auswertung durch den Mikrorechner (MR) anzeigt. Die Anzeigeeinrichtung (AE) kann dabei in stromsparender Weise als eine LCD-Anzeige ausgebildet sein.The output device ( A ) can have a display device ( AE ) which displays the measured values and / or the values of the evaluation by the microcomputer ( MR ). The display device ( AE ) can be designed in an energy-saving manner as an LCD display.

Die Ausgabeeinrichtung (A) kann zudem einen Drucker (D) aufweisen, der es ermöglicht die Meßwerte und die Werte der Auswertung durch den Mikrorechner (MR) zu protokollieren.The output device ( A ) can also have a printer ( D ) which makes it possible to log the measured values and the values of the evaluation by the microcomputer ( MR ).

Des weiteren kann die Ausgabeeinrichtung (A) über eine Schnittstelle (ST) verfügen, die z.B. als eine RS-232-Schnittstelle ausgebildet sein kann, um eine weitere Auswertung der Daten von dem Mikrorechner (MR) durch einen Großrechner zu ermöglichen.Furthermore, the output device ( A ) can have an interface ( ST ), which can be designed, for example, as an RS-232 interface in order to enable further analysis of the data from the microcomputer ( MR ) by a mainframe computer.

Alle in der einzigen Figur gezeigten Bauelemente der erfindungsgemäßen Einrichtung können in einem batteriebetriebenen Gerät angeordnet sein, dessen Spannungsversorgung in der Figur nicht gezeigt ist, um z.B. ein kompaktes, tragbares Meßgerät zu schaffen, das in seinem Einsatz nicht ortsgebunden ist. Um das Gerät in dieser Form möglichst klein zu halten, kann es erforderlich sein, daß z. B. der Drucker (D) als ein externer Drucker ausgeführt ist, der über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner (MR) und ggfs. über eine gesonderte Schnittstelle mit dem Mikrorechner (MR) verbunden ist.All of the components of the device according to the invention shown in the single figure can be arranged in a battery-operated device, the voltage supply of which is not shown in the figure, for example to create a compact, portable measuring device which is not location-specific in use. In order to keep the device as small as possible in this form, it may be necessary for. B. the printer ( D ) is designed as an external printer, which is connected via a control line to the microcomputer ( MR ) and possibly via a separate interface with the microcomputer ( MR ).

Im folgenden wird unter Zuhilfenahme der einzigen Figur allgemein ein Meßvorgang und Auswertevorgang beschrieben.The following is with the help of the single figure generally described a measuring process and evaluation process.

Soll mit der erfindungsgemäßen Einrichtung eine Messung elektrostatischer Parameter und eine Auswertung dieser Parameter durchgeführt werden, so wird z.B. über die erste Schalteinrichtung (E 1) eine Rücksetzung der erfindungsgemäßen Einrichtung bewirkt, wodurch ein neuer Meßvorgang eingeleitet werden kann. Damit bei der durchzuführenden Messung ein bestimmtes Bezugspotential zur Verfügung steht, ist der Masseanschluß (M) z.B. mit der Gerätemasse der Einrichtung verbunden. Bei einer Messung zwischen zwei Körpern kann z.B. der Gegenpotentialanschluß mit einem weiteren Körper verbunden sein.If the device according to the invention is to be used to measure electrostatic parameters and to evaluate these parameters, the first switching device ( E 1 ) is used, for example, to reset the device according to the invention, whereby a new measurement process can be initiated. So that a certain reference potential is available in the measurement to be carried out, the ground connection ( M ) is connected, for example, to the device ground of the device. When measuring between two bodies, for example, the counter potential connection can be connected to another body.

Durch das Anlegen der ersten Meßspitze (MS 1) an den zu messenden Körper wird ein Entladevorgang eingeleitet. Durch die Verwendung des hochohmigen Widerstands (R) wird dabei die Zeitkonstante des Entladevorgangs derart vergrößert, daß eine Verarbeitung durch den Ladungsverstärker (L) möglich ist und dieser an seinem Ausgang eine konstante Spannung zur Verfügung stellen kann, die der bei dem Entladevorgang wirksamen Ladung entspricht. In Abhängigkeit von dieser konstanten Spannung wird, wie oben beschrieben, über den Fensterdiskriminator (F) und den Mikrorechner (MR) die Verstärkung des Verstärkers (V) derart geregelt, daß der Analog-Digital-Wandler (W) dem Mikrorechner (MR) ein Spannungssignal zuführt, daß dieser zur Auswertung verarbeiten kann.By applying the first measuring tip ( MS 1 ) to the body to be measured, an unloading process is initiated. By using the high-impedance resistor ( R ), the time constant of the discharge process is increased in such a way that processing by the charge amplifier ( L ) is possible and this can provide a constant voltage at its output which corresponds to the charge that is effective during the discharge process . Depending on this constant voltage, as described above, the gain of the amplifier ( V ) is regulated via the window discriminator ( F ) and the microcomputer ( MR ) in such a way that the analog-digital converter ( W ) enters the microcomputer ( MR ) Supply voltage signal that it can process for evaluation.

Im Anschluß an den Entladevorgang steuert der Mikrorechner (MR) die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) an, um die Kapazität des zu messenden Körpers zu bestimmen. Die Bestimmung der Kapazität erfolgt dabei in bekannter Weise. Die Kapazitätseinrichtung (K) stellt dem Mikrorechner (MR) ein Spannungssignal zur Verfügung, daß der Kapazität des zu messenden Körpers entspricht.Following the discharge process, the microcomputer ( MR ) controls the capacitance measuring device ( K ) in order to determine the capacitance of the body to be measured. The capacity is determined in a known manner. The capacitance device ( K ) provides the microcomputer ( MR ) with a voltage signal that corresponds to the capacitance of the body to be measured.

Aus der Ladung und der Kapazität, die für sich schon Aussagen über mögliche Schädigungen elektronischer Strukturen elektronischer Bauteile bei Entladevorgängen ermöglichen, bestimmt der Mikrorechner (MR) die Spannung des Körpers vor der Entladung und die Energie des Körpers, wodurch exakte Aussagen über schädigende Wirkungen von Materialien, Kombinationen von Materialien in Verbindung mit bestimmten Arbeitsabläufen und Handhabungen auf die elektronischen Strukturen elektronischer Bauteile möglich werden. Bei einem weiterführenden Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstands wird nach dem Entladevorgang der ohmsche Innenwiderstand und/oder die Induktivität des gesamten Entladekreises gemessen und die Meßwerte dem Mikrorechner (MR) von der weiteren Meßeinrichtung (I) zugeführt. Diese weiteren Meßwerte ermöglichen es, z.B. die Stromstärke zu bestimmen, die bei der direkten Entladung des Körpers gegen Erde fließen kann und die maßgeblich für eine Zerstörung elektronischer Bauteile sein kann, und zudem die Zeitkonstante des Stromanstiegs und die ungefähre Höhe des Entlade-Spitzen-Stroms zu bestimmen.The microcomputer ( MR ) determines the voltage of the body before the discharge and the energy of the body from the charge and the capacity, which in itself make statements about possible damage to electronic structures of electronic components during discharge processes, thereby making exact statements about the damaging effects of materials , Combinations of materials in connection with certain work processes and manipulations on the electronic structures of electronic components are possible. In a further embodiment of the subject of the invention, the ohmic internal resistance and / or the inductance of the entire discharge circuit is measured after the discharge process and the measured values are supplied to the microcomputer ( MR ) by the further measuring device ( I ). These further measured values make it possible, for example, to determine the current strength which can flow when the body is discharged directly to earth and which can be decisive for the destruction of electronic components, as well as the time constant of the current rise and the approximate amount of the discharge peak current to determine.

Die gemessenen und bestimmten Werte können dabei von der Anzeigeeinrichtung (AE) angezeigt werden, von dem Drucker (D) zur Protokollierung ausgedruckt werden, durch Betätigung der zweiten Eingabeeinrichtung (E 2) in den Speicher (S) abgespeichert werden oder aber über die Schnittstelle (ST) einem Großrechner zur weiteren Auswertung zugeführt werden. Der beschriebene Meßvorgang weicht nicht von einem Meßvorgang ab, der durchgeführt wird, wenn eine zweite Meßspitze (MS 2) verwendet wird, deren Anordnung weiter oben beschrieben ist. The measured and determined values can be displayed by the display device ( AE ), printed out by the printer ( D ) for logging, stored in the memory ( S ) by actuating the second input device ( E 2 ) or via the interface ( ST ) are fed to a mainframe for further evaluation. The measuring process described does not deviate from a measuring process which is carried out when a second measuring tip ( MS 2 ) is used, the arrangement of which is described above.

Im folgenden wird ein spezieller Meß- und Auswerteablauf beschrieben.The following is a special measurement and evaluation process described.

Um die Aufladung des menschlichen Körpers unter gegebenen äußeren Bedingungen zu bestimmen, wird der Gegenpotentialanschluß (G) leitend mit dem Körper des Messenden verbunden, der gleichzeitig die Ladung gegen Erdpotential trägt. Die Einrichtung wird dazu zweckmäßig in der Hand gehalten. Die Meßspitze (MS 1) wird dann, nach elektrischer Rücksetzung des Ladungsverstärkers (L) mittels der ersten Eingabeeinrichtung (E 1) auf das Anfangs-Ausgangssignal Null, mit dem Erdpotential leitend verbunden, wodurch die Ladung des Körpers über die erste Meßspitze (MS 1) gegen Erde abfließen und gleichzeitig der Ladungsverstärker (L) die Ladung erfassen kann. Sinngemäß werden danach die anderen Parameter (Kapazität, Widerstand, Induktivität) ermittelt. Mittels der zweiten Eingabeeinrichtung (E 2) können dann die von der Anzeigeeinrichtung (AE) angezeigten Meßergebnisse einerseits in den Speicher (S) übernommen und gleichzeitig über den Drucker (D) protokolliert werden.In order to determine the charge on the human body under given external conditions, the counter-potential connection ( G ) is conductively connected to the body of the measurement person, who at the same time carries the charge against earth potential. The device is conveniently held in the hand. The measuring tip ( MS 1 ) is then, after the electrical reset of the charge amplifier ( L ) by means of the first input device ( E 1 ) to the initial output signal zero, conductively connected to the earth potential, whereby the charge of the body via the first measuring tip ( MS 1 ) drain against earth and at the same time the charge amplifier ( L ) can detect the charge. The other parameters (capacitance, resistance, inductance) are then determined accordingly. By means of the second input device ( E 2 ), the measurement results displayed by the display device ( AE ) can then be transferred to the memory ( S ) and logged at the same time via the printer ( D ).

Im Speicher (S) können für zahlreiche Meßvorgänge die gemessenen Parameter abgelegt werden und mittels einer dritten Eingabeeinrichtung (E 3) über die Schnittstelle (ST) in einen stationären Rechner zur weiteren Auswertung geleitet werden. Nach Übernahme der Daten kann z.B. mit einer vierten Eingabeeinrichtung (E 4) der gesamte Speicherinhalt des Speichers (S) gelöscht werden, alternativ auch selbsttätig ausgelöst durch den auslesenden Rechner.The measured parameters for numerous measurement processes can be stored in the memory ( S ) and can be passed to a stationary computer for further evaluation by means of a third input device ( E 3 ) via the interface ( ST ). After the data have been accepted, the entire memory content of the memory ( S ) can be erased, for example, using a fourth input device ( E 4 ), alternatively also triggered automatically by the computer reading out.

Claims (15)

1. Einrichtung zur Messung, Überwachung und Auswertung elektrostatischer Parameter bei der Auf- und/oder Entladung von Körpern, mit
  • 1) einem Mikrorechner (MR), der mit
  • 2) einer Ladungsmeßeinrichtung (C),
  • 3) einer Kapazitätsmeßeinrichtung (K),
  • 4) einem Speicher (S),
  • 5) einer Eingabeeinrichtung (E) und
  • 6) einer Ausgabeeinrichtung (A) verbunden oder verbindbar ist, mit
  • 7) einer ersten Meßspitze (MS 1), die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung (C) und/oder der Kapazitätsmeßeinrichtung (K) verbunden oder verbindbar ist, mit
  • 8) einem Masseanschluß (M) und
  • 9) einem Gegenpotentialanschluß (G), die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung (C) und der Kapazitätsmeßeinrichtung (K) verbunden sind.
1. Device for measuring, monitoring and evaluating electrostatic parameters when charging and / or discharging bodies, with
  • 1) a microcomputer ( MR ) with
  • 2) a charge measuring device ( C ),
  • 3) a capacitance measuring device ( K ),
  • 4) a memory ( S ),
  • 5) an input device ( E ) and
  • 6) an output device ( A ) is connected or can be connected to
  • 7) a first measuring tip ( MS 1 ), which is electrically conductively connected or connectable to the charge measuring device ( C ) and / or the capacitance measuring device ( K )
  • 8) a ground connection ( M ) and
  • 9) a counter potential connection ( G ) which is electrically conductively connected to the charge measuring device ( C ) and the capacitance measuring device ( K ).
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsmeßeinrichtung (C) einen Ladungsverstärker (L) aufweist, der über einen hochohmigen Widerstand (R) mit der ersten Meßspitze (MS 1) verbunden ist.2. Device according to claim 1, characterized in that the charge measuring device ( C ) has a charge amplifier ( L ) which is connected to the first measuring tip ( MS 1 ) via a high-resistance resistor ( R ). 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsverstärker (L) zum einen mit dem Masseanschluß (M) und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß (G) verbunden ist.3. Device according to claim 2, characterized in that the charge amplifier ( L ) is connected on the one hand to the ground connection ( M ) and on the other hand to the counter potential connection ( G ). 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsverstärker (L) über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner (MR) verbunden ist.4. Device according to claim 3, characterized in that the charge amplifier ( L ) is connected via a control line to the microcomputer ( MR ). 5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsverstärker (L) über einen Verstärker (V) an dem Mikrorechner (MR) angeschlossen ist.5. Device according to claim 4, characterized in that the charge amplifier ( L ) is connected via an amplifier ( V ) to the microcomputer ( MR ). 6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Verstärker (V) einen Digital-Analog-Wandler aufweist und zum einen über einen Fensterdiskriminator (F) und zum anderen über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner (MR) verbunden ist.6. Device according to claim 5, characterized in that the amplifier ( V ) has a digital-to-analog converter and is connected on the one hand via a window discriminator ( F ) and on the other hand via a control line to the microcomputer ( MR ). 7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Verstärker (V) über einen Analog-Digital-Wandler (W) mit dem Mikrorechner (MR) verbunden ist.7. Device according to claim 6, characterized in that the amplifier ( V ) is connected via an analog-digital converter ( W ) to the microcomputer ( MR ). 8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Analog-Digital-Wandler (W) Teil des Mikrorechners (MR) ist.8. Device according to claim 7, characterized in that the analog-digital converter ( W ) is part of the microcomputer ( MR ). 9. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Meßeinrichtung (I) an den Mikrorechner (MR) angeschlossen ist, die zum einen mit der ersten Meßspitze (MS 1) und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß (G) verbunden oder verbindbar ist und daß die Meßeinrichtung (I) eine Widerstandsmeßeinrichtung und/oder eine Induktivitätsmeßeinrichtung ist.9. Device according to claim 1, characterized in that a further measuring device ( I ) is connected to the microcomputer ( MR ), which on the one hand is connected or connectable to the first measuring tip ( MS 1 ) and on the other hand to the counter potential connection ( G ) and that the measuring device ( I ) is a resistance measuring device and / or an inductance measuring device. 10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung (K) und/oder die Meßeinrichtung (I) elektrisch leitend mit einer zweiten Meßspitze (MS 2) verbunden ist und die Verbindung zu der ersten Meßspitze (MS 1) unterbrochen ist.10. The device according to claim 9, characterized in that the capacitance measuring device ( K ) and / or the measuring device ( I ) is electrically conductively connected to a second measuring tip ( MS 2 ) and the connection to the first measuring tip ( MS 1 ) is interrupted. 11. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabeeinrichtung (E) in mindestens zwei Eingabeeinrichtungen (E 1, E 2, . . .) unterteilt ist, die getrennt mit dem Mikrorechner (MR) verbunden sind.11. The device according to claim 1, characterized in that the input device ( E ) is divided into at least two input devices ( E 1 , E 2 ,...), Which are separately connected to the microcomputer ( MR ). 12. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinrichtung (A) eine Anzeigeeinrichtung (AE) aufweist.12. The device according to claim 1, characterized in that the output device ( A ) has a display device ( AE ). 13. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinrichtung (A) eine Schnittstelle (ST) aufweist.13. The device according to claim 1, characterized in that the output device ( A ) has an interface ( ST ). 14. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinrichtung (A) einen Drucker (D) aufweist.14. Device according to claim 1, characterized in that the output device ( A ) has a printer ( D ). 15. Einrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß alle oder einige Bauteile in einem batteriebetriebenen Gerät angeordnet sind.15. Device according to one of the preceding claims, characterized in that all or some components in a battery operated device are arranged.
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