DE3908590A1 - Device for measuring, monitoring and evaluating electrostatic parameters during the charging-up and/or discharging of bodies - Google Patents

Device for measuring, monitoring and evaluating electrostatic parameters during the charging-up and/or discharging of bodies

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DE3908590A1
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Inventor
Ulrich Volker Lange
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LANGE, ULRICH-VOLKER, 59597 ERWITTE, DE
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Hella GmbH and Co KGaA
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R29/00Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
    • G01R29/24Arrangements for measuring quantities of charge

Abstract

To be able to measure, monitor and analyse electrostatic parameters in a simple and inexpensive way, this device exhibits a microcomputer which is connected or can be connected to a charge measuring device, a capacitance measuring device, a memory, an input device and an output device, and also exhibits a first test probe which is connected or can be connected electrically conductively to the charge measuring device and/or the capacitance measuring device and also exhibits an earth connection and a counter potential connection which are electrically conductively connected to the charge measuring device and capacitance measuring device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Messung, Überwachung und Auswertung elektrostatischer Parameter bei der Auf- und/oder Entladung von Körpern. The invention relates to a device for measuring, monitoring and evaluation of electrostatic parameters for the up and / or discharge of bodies.

Auf- und/oder Entladevorgänge können die elektronischen Strukturen elektronischer Bauteile schädigen. Up and / or unloading operations can damage the electronic structures of electronic components. Die Schädigung der elektronischen Strukturen kann soweit führen, daß die elektronischen Bauteile direkt zerstört werden oder aber derart geschädigt werden, daß die Lebensdauer dieser Bauteile verkürzt wird. The damage to the electronic structures can lead so far that the electronic components are directly destroyed or damaged but so that the life of these components is shortened.

Es ist bekannt, Feldstärkemeßgeräte zu verwenden, die bei einem definierten Abstand von einem geladenen Körper eine Aussage über das Potential dieses Körpers gegenüber dem normalerweise auf Erdpotential gehaltenen Bezug des Meßgeräts ermöglichen. It is known to use Feldstärkemeßgeräte which enable an indication of the potential of this body relative to the normally held at ground potential reference of the measuring device at a defined distance from a charged body. Dabei ergibt sich jedoch als Nachteil, daß zum einen ein definierter Abstand eingehalten werden muß und daß zum anderen vorausgesetzt wird, daß ein homogenes Feld vorliegt, was häufig nicht gegeben ist und somit die von dem Meßgerät angegebene Feldstärke häufig nicht der wirklich vorliegenden Feldstärke entspricht. In this case, however, results in the disadvantage that on the one hand, a defined distance must be maintained and that is provided to the other, that a uniform field is present, which is often not present, and thus the specified by the meter field strength often does not correspond to the actually present field strength. Als besonders nachteilig erweist sich, daß durch diese Art von Messungen lediglich eine Aussage darüber möglich ist, ob eine bestimmte Ladung an einer bestimmten Stelle des zu messenden Körpers aufgebaut wurde, jedoch keine Aussage darüber möglich ist, was bei einem Auf- und/oder Entladevorgang, das heißt, zB bei einem Berühren eines anderen Körpers passiert und somit keine Aussage über die schädigende Wirkung eines Auf- und/oder Entladevorgangs auf elektronische Strukturen elektronischer Bauteile durch elektrostatischer Parameter möglich ist. As particularly disadvantageous proves that a statement is made possible by this kind of measurement only if, however, a certain charge was built up at a specific point of the body to be measured, no statement is possible, which in an up and / or discharge , that is, occurs, for example with a touch of another body, and thus no information on the damaging effect of a construction and / or discharge to electronic structures of electronic components by electrostatic parameters is possible. Insbesondere kann keine Aussage über die bei dem Auf- und/oder Entladevorgang wirksamwerdende Ladung, die wirksamwerdende Spannung, den wirksamwerdenden Strom und die wirksamwerdende Energie gemacht werden. In particular, no statement about the becomes effective at the assembly and / or unloading cargo that becomes effective voltage, becomes effective current and becomes effective energy can be made.

Die gleichen Nachteile ergeben sich bei bekannten Leitfähigkeitsmessungen, die lediglich eine Aussage darüber ermöglichen, ob der zu messende Stoff eine bestimmte Ladung speichern kann, die bei einem Entladevorgang zu einer Schädigung elektronischer Bauelemente führen kann. The same disadvantages arise with known conductivity measurements, which only allow a statement as to whether or not the substance to be measured can store a certain charge, which may result in damage to electronic components in a discharging.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, die auf einfache und kostengünstige Weise elektrostatische Parameter bei der Auf- und/oder Entladung von Körpern mißt, die die elektronischen Strukturen elektronischer Bauteile bei dem Auf- und/oder Entladevorgang schädigen können und die es ermöglicht, diese Parameter zu überwachen und auszuwerten. The invention has for its object to provide a device which measures in a simple and inexpensive manner electrostatic parameters for the up and / or discharge of bodies, which may damage the electronic structures of electronic components in the assembly and / or unloading process and makes it possible to monitor and evaluate these parameters.

Diese Aufgabe wird bei der erfindungsgemäßen Einrichtung durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. This object is solved by the features of claim 1 for the inventive device.

Es ist von Vorteil, daß die Einrichtung einen Mikrorechner aufweist, weil somit ein einfacher und kostengünstiger Aufbau erreicht wird und zudem eine sofortige Auswertung der gemessenen Parameter durch die Einrichtung ermöglicht wird. It is advantageous that the device has a microcomputer, so as a simple and cost-effective design is achieved and also an immediate evaluation of the measured parameters is made possible by the establishment.

Dadurch, daß der Mikrorechner mit einer Ladungsmeßeinrichtung verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß dem Mikrorechner ein Signal zugeführt wird, das der bei einem Auf- und/oder Entladevorgang eines zu messenden Körpers wirksam werdenden Ladung entspricht. Characterized in that the microcomputer is connected to a charge measuring device, there is the advantage that the microcomputer, a signal is supplied which corresponds to the becoming effective in an up and / or discharge of a body to be measured charge. Zudem ergibt sich hieraus der Vorteil, daß auf einfache und kostengünstige Weise die Polarität der Ladung bestimmt und an den Mikrorechner zur Auswertung weitergegeben werden kann. In addition, the advantage results from this that the polarity of the charge can be determined and forwarded to the microcomputer for evaluation in a simple and inexpensive manner.

Es ist von Vorteil, daß der Mikrorechner mit einer Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden ist, weil somit auf einfache und kostengünstige Weise nach einem Entladevorgang die Kapazität des entladenden, zu messenden Körpers bestimmt werden kann und dem Mikrorechner als ein auswertbarer Spannungswert zugeführt werden kann. It is advantageous that the microcomputer is connected to a capacitance measuring, thus because the capacity of the discharging, body to be measured can be determined in a simple and cost-effective manner for a discharge process, and can be supplied to the microcomputer as an evaluatable voltage value. Insbesondere ergibt sich hieraus der Vorteil, daß in Verbindung mit der Ladungsmessung aus dem Kapazitätsmeßwert und dem Ladungsmeßwert die Spannung des zu messenden Körpers vor der Entladung bestimmt werden kann. In particular, this results in the advantage that in connection with the charge measurement from the Kapazitätsmeßwert and the measured charge the voltage of the body to be measured can be determined prior to discharge.

Dadurch, daß der Mikrorechner mit einem Speicher verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß Meßwerte von verschiedenen Messungen abgespeichert werden können und zu einem späteren Zeitpunkt zu einem Vergleich und einer Auswertung zur Verfügung stehen. Because the microcomputer is connected to a memory, there is the advantage that the measured values ​​of different measurements can be stored and available at a later date at a comparison and evaluation. Es ist von Vorteil, daß der Mikrorechner mit einer Eingabeeinrichtung verbunden oder verbindbar ist, weil es somit möglich ist, die Einrichtung auf einen Anfangszustand zurückzusetzen, einen Speichervorgang einzuleiten und einen Meßvorgang zu starten. It is advantageous that the microcomputer is connected with an input device or can be connected, because it is possible to reset the device to an initial state, initiate a storage operation and to start a measurement process.

Dadurch, daß der Mikrorechner mit einer Ausgabeeinrichtung verbunden oder verbindbar ist, ergibt sich der Vorteil, daß Meßwerte und aus den Meßwerten resultierende Werte zur Weiterverarbeitung und/oder Anzeige von dem Mikrorechner ausgegeben werden können. Characterized in that the microcomputer is connected to an output device or can be connected, there is the advantage that measured values ​​and resulting from the measured values ​​for further processing and / or display can be output from the microcomputer.

Es ist von Vorteil, daß die Einrichtung eine erste Meßspitze aufweist, die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung und/oder der Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden oder verbindbar ist, weil somit auf einfache und sichere Weise die von einem zu messenden Körper abfließende Ladung und die bei dem Abfluß der Ladung wirksame Kapazität gemessen werden kann. It is advantageous that the device has a first measuring tip which is electrically conductively connected to the charge measuring device and / or the capacitance measuring or connectable because thereby in a simple and safe way the flowing off of a body to be measured charge and the at the outlet charge effective capacitance can be measured.

Dadurch, daß die Einrichtung einen Masseanschluß und einen Gegenpotentialanschluß aufweist, die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung und der Kapazitätsmeßeinrichtung verbunden sind, ergibt sich der Vorteil, daß die Messung der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang eines zu messenden Körpers und die Messung der Kapazität nach einem Entladevorgang gegenüber einem vorgegebenen Potential erfolgen kann, wodurch zB eine Messung zwischen zwei Körpern ermöglicht wird oder aber auch eine Messung gegen die Masse der Einrichtung ermöglicht wird. Characterized in that the device comprises a ground terminal and a counter-potential terminal, which are electrically conductively connected to the charge measuring device and the capacitance sensing, there is the advantage that the measurement of becoming effective charge at a discharging process of a body to be measured and the measurement of the capacitance after a discharging can be carried out with respect to a predetermined potential, whereby measurement between two bodies is made possible, for example, or also a measurement is made possible against the mass of the device.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen des Erfindungsgegenstands ergeben sich aus den Unteransprüchen. Further advantageous embodiments and further developments of the subject invention will become apparent from the dependent claims.

Es ist von Vorteil, daß die Ladungsmeßeinrichtung einen Ladungsverstärker aufweist, der über einen hochohmigen Widerstand mit der ersten Meßspitze verbunden ist, weil so auf einfache und kostengünstige Weise dem Mikrorechner ein Spannungssignal zur Auswertung zur Verfügung gestellt werden kann, daß der Ladung bei einem Ent- und/oder Aufladevorgang entspricht, wobei sich insbesondere der Vorteil ergibt, daß durch die Verwendung eines hochohmigen Widerstandes in Verbindung mit der Kapazität des zu messenden Körpers die Zeitkonstante des Entladevorgangs vergrößert wird, wodurch eine Auswertung eines Entladevorgangs ermöglicht wird. It is advantageous that the charge measuring device comprises a charge amplifier, which is connected via a high value resistor to the first probe head, because such a voltage signal can be made available for evaluation in a simple and inexpensive manner to the microcomputer that the charge at a decision and / or charging corresponds to said particular results in the advantage that the time constant of the discharge process is increased by the use of a high-ohmic resistor in connection with the capacity of the body to be measured, whereby an evaluation of a discharge operation is made possible. Dadurch, daß der Ladungsverstärker zum einen mit dem Masseanschluß und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß die Messung der Ladung zum einen gegenüber der Masse der Einrichtung und zum anderen gegenüber einem anderen Körper erfolgen kann, wodurch auch relative Messungen möglich sind. Characterized in that the charge amplifier is the one hand to the ground terminal and the other connected to the counter potential terminal, there is the advantage that can be done to measure the charge for a relative to the mass of the device and on the other with respect to another body, thus also relative measurements possible are.

Es ist von Vorteil, daß der Ladungsverstärker über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner verbunden ist, weil somit auf einfache und kostengünstige Weise ein Rücksetzen des an dem Ausgang des Ladungsverstärkers anliegenden Signals bewirkt werden kann und somit eine neue Messung durchgeführt werden kann. It is advantageous that the charge amplifier is connected via a control line to the microcomputer, thus because a reset of the voltage applied to the output of the charge amplifier signal can be effected in a simple and cost-effective manner and that a new measurement can be performed.

Es ist von Vorteil, daß der Ladungsverstärker über einen Verstärker an den Mikrorechner angeschlossen ist, weil somit auch bei sehr kleinen zu messenden Ladungen sichergestellt wird, daß dem Mikrorechner ein Spannungssignal zur Verfügung gestellt wird, das einen Wert aufweist, der von dem Mikrorechner verwertbar ist. It is advantageous that the charge amplifier is connected to the microcomputer through an amplifier, because thus is ensured even with very small charges to be measured, that the microcomputer, a voltage signal is provided, which has a value that is recyclable by the microcomputer , Dadurch, daß der Verstärker einen Digital-Analog-Wandler aufweist und zum einen über einen Fensterdiskriminator und zum anderen über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner verbunden ist, ergibt sich der Vorteil, daß je nach dem an dem Eingang des Verstärkers von dem Ladungsverstärkers anliegenden Signals eine Regelung der Verstärkung des Verstärkers durch den Mikrorechner erfolgen kann, da je nach dem Signal, das dem Fensterdiskriminator von dem Verstärker zugeführt wird, der Mikrorechner angesteuert wird und dieser den Verstärkungsfaktor des Verstärkers derart ändert, daß dem Mikrorechner ein Spannungssignal von dem Verstärker zugeführt wird, das durch den Mikrorechner auswertbar ist. Characterized in that the amplifier comprises a digital-analog converter and is connected on the one hand through a window discriminator and on the other via a control line to the microcomputer, there is the advantage that, depending on the voltage applied to the input of the amplifier of the charge amplifier signal controlling the gain of the amplifier can be carried out by the microcomputer as the microcomputer is controlled depending on the signal which is supplied to the window comparator of the amplifier and this will change the gain of the amplifier such that the microcomputer, a voltage signal supplied from the amplifier, which can be evaluated by the microcomputer.

Es ist von Vorteil, daß der Verstärker über einen Analog-Digital-Wandler mit dem Mikrorechner verbunden ist, weil somit dem Mikrorechner ein Signal von dem Verstärker zugeführt wird, das auf einfache Weise auswertbar ist. It is advantageous that the amplifier is connected via an analog-to-digital converter to the microcomputer thus because a signal from the amplifier is supplied to the microcomputer, which can be evaluated in a simple manner.

Dadurch, daß der Analog-Digital-Wandler Teil des Mikrorechners ist, ergibt sich ein einfacher und kostengünstiger Aufbau der Einrichtung. Characterized in that the analog-to-digital converter is part of the microcomputer, results in a simple and cost-effective construction of the device.

Es ist von Vorteil, daß eine weitere Meßeinrichtung an den Mikrorechner angeschlossen ist, die zum einen mit der ersten Meßspitze und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß verbunden oder verbindbar ist und daß die Meßeinrichtung eine Widerstandsmeßeinrichtung und/oder eine Induktivitätsmeßeinrichtung ist, weil somit zB eine Bestimmung der wirksamwerdenden Stromstärke bei einem Ent- oder Aufladevorgang eines Körpers durch den Mikrorechner erfolgen kann, was erfordert, daß dem Mikrorechner Spannungswerte zugeführt werden, die dem Innenwiderstand und der Induktivität des gesamten Entladekreises entsprechen. It is advantageous in that a further measuring device is connected to the microcomputer, which is connected on the one hand with the first probe head and on the other with the counter potential terminal or can be connected, and that the measuring device is a resistance measuring device and / or an inductance measuring because thus, for example, a determination of the becoming effective current intensity can be done by the microcomputer in an unloading or charging of a body, which requires that the microcomputer voltage values ​​are supplied corresponding to the internal resistance and the inductance of the entire discharge circuit.

Dadurch, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung und/oder die weitere Meßeinrichtung elektrisch leitend mit einer zweiten Meßspitze verbunden ist und die Verbindung zu der ersten Meßspitze unterbrochen ist, ergibt sich der Vorteil einer Trennung der Ladungsmessung von der Kapazitäts- und/oder Widerstands- und/oder Induktivitätsmessung und dies insbesondere, da die letztgenannten Messungen nur nach einem Entladevorgang durchgeführt werden können. Characterized in that the capacitance sensing and / or the further measuring device is electrically connected to a second probe-tip and the connection is broken to the first probe head, there is the advantage of separation of the charge measurement of the capacitance and / or resistance and / or inductance and this especially since the latter measurements can be carried out only after a discharge.

Es ist von Vorteil, daß die Eingabeeinrichtung in mindestens zwei Eingabeeinrichtungen unterteilt ist, die getrennt mit dem Mikrorechner verbunden sind, weil so die Sicherheit bei dem Betreiben der Einrichtung erhöht wird, da Verwechslungen der Eingabeeinrichtung und Fehleingaben möglichst gering gehalten werden. It is advantageous that the input means is divided into at least two input devices, which are separately connected with the microcomputer, because the security is increased by the operation of the device, since any confusion of the input device and input errors to be minimized.

Es ist von Vorteil, daß die Ausgabeeinrichtung eine Anzeigeeinrichtung aufweist, wodurch auf einfache und kostengünstige Weise eine direkte Anzeige der Meßwerte und der durch den Mikrorechner aus den Meßwerten ermittelten Werten möglich ist. It is of advantage that the output means comprises a display device, whereby a direct indication of the measured values ​​and the values ​​calculated by the microcomputer from the measured values ​​is possible in a simple and inexpensive manner.

Dadurch, daß die Ausgabeeinrichtung eine Schnittstelle aufweist, ergibt sich der Vorteil, daß an die Einrichtung z. Characterized in that said output means comprises an interface, there is the advantage that the device z. B. ein Großrechner anschließbar ist, um zB umfangreiche Auswertungen durchführen zu können. As a mainframe computer can be connected to perform, for example, extensive evaluations.

Dadurch, daß die Ausgabeeinrichtung einen Drucker aufweist, ergibt sich der Vorteil, daß die Meßergebnisse und Auswerteergebnisse auf einfache Weise protokolliert werden können. Characterized in that said output means comprises a printer, there is the advantage that the measurement results and evaluation results can be logged in a simple manner.

Es ist von Vorteil, daß alle oder einige Bauelemente in einem batteriebetriebenen Gerät angeordnet sind, wodurch sich ein einfacher platzsparender und kompakter Aufbau der Einrichtung ergibt und der Einsatz der Einrichtung nicht ortsgebunden ist. It is of advantage that all or some components are arranged in a battery powered device, whereby a simple space-saving and compact construction of the device yields and the use of the device is not bound.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher erläutert. An embodiment of the invention is illustrated in the drawing and will be explained in more detail below. Die einzige Figur zeigt ein Blockdiagramm der erfindungsgemäßen Einrichtung. The single figure shows a block diagram of the inventive device.

Zur Messung und Auswertung eines Ent- und/oder Aufladevorgangs eines zu messenden Körpers ist ein Mikrorechner ( MR ) elektrisch leitend mit einer Ladungsmeßeinrichtung ( C ) verbunden. For the measurement and evaluation of an unloading and / or charging a body to be measured, a microcomputer (MR) is electrically conductively connected to a charge measuring device (C), respectively. Um die Ladung messen zu können, die wirksam wird, wenn eine Ent- und/oder Aufladung des zu messenden Körpers erfolgt, ist die Ladungsmeßeinrichtung ( C ) mit einer ersten Meßspitze ( MS 1 ) verbunden, die zur Entladung des zu vermessenden Körpers mit diesem in Kontakt gebracht wird. In order to measure the charge, which is effective when unloading and / or charging of the body to be measured takes place, the charge measuring device is (C) having a first measuring tip (MS 1), which for discharging the body to be measured with this is brought into contact. Die Ladungsmeßeinrichtung ( C ) ist dabei aus einem hochohmigen Widerstand ( R ), einem Ladungsverstärker ( L ), einem Verstärker ( V ), einem Fensterdiskriminator ( F ) und einem Analog-Digital-Wandler ( W ) aufgebaut. The charge measuring device (C) is made of a high-impedance resistor (R), a charge amplifier (L), an amplifier (V), a window discriminator (F) and an analog-to-digital converter (W) constructed. Um die Zeitkonstante eines Entladevorgangs, die üblicherweise einige Nanosekunden beträgt, zu vergrößern, so daß dem Ladungsverstärker ( L ) ein auswertbares Spannungssignal zugeführt wird, ist der Ladungsverstärker ( L ) über einen hochohmigen Widerstand ( R ) mit der ersten Meßspitze ( MS 1 ) elektrisch leitend verbunden. In a way, that the charge amplifier (L) a usable voltage signal is supplied to increase the time constant of a discharging process, which typically amounts to a few nanoseconds, the charge amplifier (L) via a high value resistor (R) to the first probe head (MS 1) electrically conductively connected. Der hochohmige Widerstand ( R ) bildet dabei mit der Kapazität des zu messenden Körpers ein RC-Glied, dessen Zeitkonstante etwa in dem Bereich einiger Millisekunden bis zu einigen Sekunden liegt. The high-ohmic resistance (R) forms with the capacity of the body to be measured, an RC element, whose time constant is approximately in the range of a few milliseconds to a few seconds. Damit bei der Messung der Ladung bei einem Entladevorgang ein definiertes Bezugspotential zur Verfügung steht, ist der Ladungsverstärker ( L ) zum einen mit einem Masseanschluß ( M ) verbunden, der zB die Gerätemasse der Einrichtung sein kann und zum anderen mit einem Gegenpotentialanschluß ( G ) verbunden, der mit einem weiteren Körper verbindbar ist und es somit möglich ist, Messungen in bezug auf zwei Körper durchzuführen. Thus is available in the measurement of the charge at a discharging process, a defined reference potential, the charge amplifier (L) on the one hand to a ground terminal (M) connected, which for example may be the chassis ground of the device and connected to the other with a counter potential terminal (G) , which is connectable to a further body and thus it is possible to perform measurements with respect to the two bodies. Um den Ausgang des Ladungsverstärkers ( L ) auf einen vorgegebenen Spannungswert zurücksetzen zu können, ist der Ladungsverstärker ( L ) elektrisch leitend über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden. In order to reset the output of the charge amplifier (L) to a predetermined voltage value, the charge amplifier (L) is electrically conductively connected via a control line to the microcomputer (MR).

Der Ausgang des Ladungsverstärkers ( L ), an dem bei einem Meßvorgang eine Spannung anliegt, die der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang entspricht, ist elektrisch leitend mit einem Verstärker ( V ) verbunden, der das von dem Ladungsverstärker ( L ) gelieferte Spannungssignal in einen Spannungswertebereich verstärkt, der eine Weiterverarbeitung des Spannungssignals durch den Mikrorechner ( MR ) ermöglicht. The output of the charge amplifier (L), a voltage is applied to the case of a measuring operation corresponding to the becoming effective charge at a discharge, is electrically conductively connected to an amplifier (V), of the of the charge amplifier (L) supplied voltage signal in a voltage range of values amplified, which allows further processing of the voltage signal by the microcomputer (MR).

Da an dem Eingang des Verstärkers ( V ) sehr kleine und auch sehr große Spannungen anliegen können, da auch die zu messenden Ladungen einen großen Bereich aufweisen, ist eine Regelung des Verstärkungsfaktors des Verstärkers ( V ) erforderlich. Since at the input of the amplifier (V) is very small and very large stresses may be present, as well as the charges to be measured having a large area, control of the gain of the amplifier (V) is required. Zu diesem Zweck ist der Verstärker ( V ) elektrisch leitend über einen Fensterdiskriminator ( F ) mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden. For this purpose, the amplifier (V) is electrically connected via a window comparator (F) to the microcomputer (MR). Um dem Fensterdiskriminator ( F ) eine verwertbare Spannung zur Verfügung zu stellen, verfügt der Verstärker ( V ) über einen Digital-Analog-Wandler. In order to provide the window discriminator (F) a usable voltage, the amplifier (V) has a digital-analog converter. Je nach dem Spannungsbereich, der dem Fensterdiskriminator ( F ) zugeführt wird, steuert dieser den Mikrorechner ( MR ) an, der zur Veränderung des Verstärkungsfaktors des Verstärkers ( V ) elektrisch leitend über eine Steuerleitung mit dem Verstärker ( V ) verbunden ist. Depending on the voltage range which is the window discriminator supplied (F), that the microcomputer (MR) controls, which is electrically conductive for varying the gain of the amplifier (V) via a control line to the amplifier (V). Der Verstärker ( V ) ist zudem über einen Analog-Digital-Wandler ( W ) mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden, um dem Mikrorechner ( MR ) ein Spannungssignal zuzuführen, das der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang entspricht und das von dem Mikrorechner ( MR ) verarbeitet und ausgewertet werden kann. The amplifier (V) is also via an analog-to-digital converter (W) to the microcomputer (MR) connected to supply a voltage signal to the microcomputer (MR), which corresponds to the becoming effective charge at a discharging process and the (by the microcomputer MR ) can be processed and evaluated.

Das dem Mikrorechner ( MR ) von der Ladungsmeßeinrichtung ( C ) zugeführte Spannungssignal kann dabei Informationen über die Polarität der wirksamwerdenden Ladung bei einem Entladevorgang enthalten. This the microcomputer (MR) from the charge measuring device (C) supplied voltage signal can contain information about the polarity of the charge becomes effective in a discharging.

Um zB die Spannung des zu messenden Körpers vor der Entladung und die Energie des Körpers bestimmen zu können, ist der Mikrorechner ( MR ) elektrisch leitend über eine Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) mit der ersten Meßspitze ( MS 1 ) elektrisch leitend verbunden. For example, to determine the voltage of the body to be measured before the discharge and the energy of the body, the microcomputer (MR) is electrically conductive, electrically conductively connected via a capacitance measuring (K) to the first probe head (MS 1). Die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) ist zudem elektrisch leitend zum einen mit dem Masseanschluß ( M ) und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß ( G ) verbunden, damit ein vorgegebenes Bezugspotential vorliegt und eine Messung zwischen zwei Körpern möglich ist. The capacitance measuring (K) is also electrically conductive to a to the ground terminal (M) and connected to the other with the counter potential terminal (G) so that a predetermined reference potential is present and a measurement between two bodies is possible. Da eine Messung der Kapazität des zu messenden Körpers nur nach dem Ladevorgang sinnvoll ist, wird die Kapazitätseinrichtung ( K ) von dem Mikrorechner ( MR ) erst nach einem Entladevorgang für eine Messung gestartet. As a measure of the capacity of the body to be measured is only useful after charging the capacitance means (K) from the microcomputer (MR) is started only after a discharging process for a measurement.

Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Einrichtung ist der Mikrorechner ( MR ) zudem elektrisch leitend über eine weitere Meßeinrichtung ( I ) mit der ersten Meßspitze ( MS 1 ) elektrisch leitend verbunden, wobei die Meßeinrichtung ( I ) eine Widerstandsmeßeinrichtung und/oder eine Induktivitätsmeßeinrichtung aufweisen kann, die jeweils nach einem durchgeführten Entladevorgang von dem Mikrorechner ( MR ) zur Messung angesteuert werden, wenn der Mikrorechner ( MR ) zB die bei einem Entladevorgang wirksamwerdende Stromstärke und/oder die Zeitkonstante des Stromanstiegs und/oder die ungefähre Höhe des Entlade-Spitzenstroms bestimmen soll. In another embodiment of the device according to the invention, the microcomputer is (MR) also electrically conductive via a further measuring device (I) with the first probe head (MS 1) is electrically conductively connected, wherein the measuring device (I) a resistance measuring device and / or an inductance measuring may comprise each after a performed discharge from the microcomputer (MR) are driven for the measurement, when the microcomputer (MR) is to determine which becomes effective in a discharging current and / or the time constant of the current rise and / or the approximate level of the discharge peak current, for example, , Die Meßeinrichtung ( I ) ist dabei elektrisch leitend zudem mit dem Masseanschluß ( M ) und mit dem Gegenpotentialanschluß ( G ) verbunden. The measuring device (I) is also electrically conductively to the ground terminal (M) and (G) with the counter potential terminal connected.

Um sicher zustellen, daß die Kapazitätsmessung und eventuell die Widerstands- und/oder Induktivitätsmessung erst nach der Ladungsmessung durchgeführt wird, kann die Ladungsmeßeinrichtung ( C ), die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) und eventuell die weitere Meßeinrichtung ( I ) über eine interne Umschaltung verfügen, die durch Steuersignale von dem Mikrorechner ( MR ) bewirkt wird. In order to determine sure that the capacitance measurement and possibly the resistance and / or inductance is carried out only after the charge measurement, the charge measuring device (C), the capacitance measuring (K) and possibly the further measuring device (I) via an internal switching may have the is effected by control signals from the microcomputer (MR).

Bei der Verwendung nur einer ersten Meßspitze ( MS 1 ) kann diese mit einer ersten Umschalteinrichtung ( U 1 ) verbunden sein. When only a first measuring tip (MS 1), this having a first switching means (U 1) to be connected. Die erste Umschalteinrichtung ( U 1 ) ist dabei sowohl mit der Ladungsmeßeinrichtung ( C ) als auch mit der Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) und eventuell mit der weiteren Meßeinrichtung ( I ) verbunden und verbindet, z. The first switching means (U 1) is both the charge measuring device (C) and to the capacitance measuring (K) and possibly with further measuring device (I) and connects such. B. durch den Mikrorechner ( MR ) angesteuert, entweder die Ladungsmeßeinrichtung ( L ) oder die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) oder die weitere Meßeinrichtung ( I ) mit der ersten Meßspitze ( MS 1 ). B. controlled by the microcomputer (MR), either the charge measuring device (L) or the capacitance measuring (K) or the further measuring device (I) with the first probe head (MS 1).

Wie in der einzigen Figur gestrichelt dargestellt, kann es erforderlich sein, um Probleme bei dem Umschalten von der Ladungsmessung zu der Kapazitätsmessung zu vermeiden, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) und/oder die weitere Meßeinrichtung ( I ) elektrisch leitend mit einer zweiten Meßspitze ( MS 2 ) verbunden ist, wobei die Verbindung von der Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) und/oder der weiteren Meßeinrichtung ( I ) zu der ersten Meßspitze ( MS 1 ) unterbrochen ist. As shown by dashed lines in the single figure, it may be necessary to avoid problems when the switching from the charge measurement to the capacitance measurement that the capacitance measuring (K) and / or the further measuring device (I) is electrically conductively connected to a second probe head (MS is connected to 2), wherein the compound of the capacitance measuring (K) and / or the further measuring device (I) (to the first probe head MS 1) is interrupted.

In diesem Fall ist die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) und die weitere Meßeinrichtung ( I ) über eine zweite Umschalteinrichtung ( U 2 ) mit der zweiten Meßspitze ( MS 2 ) verbunden. In this case, the capacitance measuring (K) and the further measuring device (I) via a second switching means (U 2) to the second probe head (MS 2). Die zweite Umschalteinrichtung ( U 2 ) kann dabei auch von dem Mikrorechner ( MR ) ansteuerbar sein. The second switching means (U 2) can in this case be of the microcomputer (MR) controllable. Die erste Umschalteinrichtung ( U 1 ) kann dabei auch entfallen. The first switching device (U 1) can thereby be omitted.

Der Mikrorechner ( MR ) ist elektrisch leitend mit einem Speicher ( S ) verbunden, in dem Meßwerte und Werte der Auswertung durch den Mikrorechner ( MR ) abgespeichert werden können. The microcomputer (MR) is electrically connected to a memory (S) is connected, in the measured values and values of the evaluation by the microcomputer (MR) can be stored.

Um Schaltfunktionen durchführen zu können, ist der Mikrorechner ( MR ) zudem elektrisch leitend mit einer Eingabeeinrichtung ( E ) verbunden. To be able to perform switching functions, the microcomputer is (MR) also electrically connected to an input device (E). Die Eingabeeinrichtung ( E ) kann dabei, wie in der Figur gezeigt, aus mindestens zwei getrennt mit dem Mikrorechner ( MR ) verbundenen Eingabeeinrichtungen ( E 1 , E 2 , . . .) bestehen. The input device (E) can, as shown in the figure, isolated from at least two to the microcomputer (MR) connected to the input devices (E 1, E 2,...) Are made. Die erste Eingabeeinrichtung ( E 1 ) kann dabei zB bewirken, daß bei ihrer Betätigung ein neuer Meßvorgang eingeleitet wird und zB der Ladungsverstärker ( L ) von dem Mikrorechner ( MR ) über eine Steuerleitung derart angesteuert wird, daß an dem Ausgang des Ladungsverstärkers ( L ) eine vorgegebene Anfangsspannung anliegt und eine Rücksetzung erfolgt. The first input device (E 1) can thereby causing, when actuated, a new measuring process is initiated, and as the charge amplifier (L) from the micro-computer (MR) via a control line is driven such that at the output of the charge amplifier (L), for example a predetermined initial voltage is applied and a reset occurs. Eine Betätigung der zweiten Eingabeeinrichtung ( E 2 ) kann zB bewirken, daß ein vorliegender Meßwert und/oder Auswertewert in dem Speicher ( S ) abgespeichert wird oder aus dem Speicher ( S ) abgerufen wird. An actuation of the second input device (E 2) may for example cause a present measured value and / or evaluation value in the memory (S) is stored or from the memory (S) is retrieved.

Um eine Verwertbarkeit der Meßwerte und der Werte der Auswertung durch den Mikrorechner ( MR ) zu gewährleisten, ist der Mikrorechner ( MR ) elektrisch leitend mit einer Ausgabeeinrichtung ( A ) verbunden. A usability of the measured values and the values of evaluation by the microcomputer (MR) to ensure the microcomputer (MR) is electrically connected to an output device (A).

Die Ausgabeeinrichtung ( A ) kann dabei aus verschiedenen Geräten oder Bauelementen bestehen, die jeweils getrennt mit dem Mikrorechner verbunden sind. The output device (A) can consist of various devices or components that are connected respectively separately to the microcomputer.

Die Ausgabeeinrichtung ( A ) kann dabei über eine Anzeigeeinrichtung ( AE ) verfügen, die die Meßwerte und/oder die Werte der Auswertung durch den Mikrorechner ( MR ) anzeigt. Said output means (A) may be equipped with a display device (AE) for displaying the measured values and / or the values of the evaluation by the microcomputer (MR). Die Anzeigeeinrichtung ( AE ) kann dabei in stromsparender Weise als eine LCD-Anzeige ausgebildet sein. The display device (AE) can be designed as an LCD display in power-efficient manner.

Die Ausgabeeinrichtung ( A ) kann zudem einen Drucker ( D ) aufweisen, der es ermöglicht die Meßwerte und die Werte der Auswertung durch den Mikrorechner ( MR ) zu protokollieren. The output device (A) can also a printer (D) that enables the measurement values and the values of evaluation by the microcomputer (MR) to be recorded.

Des weiteren kann die Ausgabeeinrichtung ( A ) über eine Schnittstelle ( ST ) verfügen, die zB als eine RS-232-Schnittstelle ausgebildet sein kann, um eine weitere Auswertung der Daten von dem Mikrorechner ( MR ) durch einen Großrechner zu ermöglichen. Furthermore, the output means (A) via an interface (ST) have, for example, can be formed as an RS-232 interface to allow a further analysis of the data from the microcomputer (MR) by a mainframe computer.

Alle in der einzigen Figur gezeigten Bauelemente der erfindungsgemäßen Einrichtung können in einem batteriebetriebenen Gerät angeordnet sein, dessen Spannungsversorgung in der Figur nicht gezeigt ist, um zB ein kompaktes, tragbares Meßgerät zu schaffen, das in seinem Einsatz nicht ortsgebunden ist. All components of the device of the invention shown in the sole FIGURE may be arranged in a battery-operated device whose power supply is not shown in the figure, for example to provide a compact, portable measuring instrument, which is not bound in its use. Um das Gerät in dieser Form möglichst klein zu halten, kann es erforderlich sein, daß z. To keep the unit in this form as small as possible, it may be necessary that such. B. der Drucker ( D ) als ein externer Drucker ausgeführt ist, der über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner ( MR ) und ggfs. über eine gesonderte Schnittstelle mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden ist. B. is the printer (D) as an external printer executed which is connected via a control line to the microcomputer (MR) and, if applicable. Via a separate interface to the microcomputer (MR), respectively.

Im folgenden wird unter Zuhilfenahme der einzigen Figur allgemein ein Meßvorgang und Auswertevorgang beschrieben. In the following is described with the aid of the single FIGURE, generally a measuring and evaluation process.

Soll mit der erfindungsgemäßen Einrichtung eine Messung elektrostatischer Parameter und eine Auswertung dieser Parameter durchgeführt werden, so wird zB über die erste Schalteinrichtung ( E 1 ) eine Rücksetzung der erfindungsgemäßen Einrichtung bewirkt, wodurch ein neuer Meßvorgang eingeleitet werden kann. Is to be performed with the inventive device, a measurement of electrostatic parameters and an evaluation of these parameters, such as via the first switching device (E 1) is effected resetting of the device according to the invention, whereby a new measuring process can be initiated. Damit bei der durchzuführenden Messung ein bestimmtes Bezugspotential zur Verfügung steht, ist der Masseanschluß ( M ) zB mit der Gerätemasse der Einrichtung verbunden. This provides a specific reference potential available in the measurement to be performed, the ground terminal (M), for example connected to the device ground of the device. Bei einer Messung zwischen zwei Körpern kann zB der Gegenpotentialanschluß mit einem weiteren Körper verbunden sein. In a measurement between two bodies, for example, the counter potential terminal may be connected to another body.

Durch das Anlegen der ersten Meßspitze ( MS 1 ) an den zu messenden Körper wird ein Entladevorgang eingeleitet. By the application of the first probe head (MS 1) to the body to be measured, a discharge is initiated. Durch die Verwendung des hochohmigen Widerstands ( R ) wird dabei die Zeitkonstante des Entladevorgangs derart vergrößert, daß eine Verarbeitung durch den Ladungsverstärker ( L ) möglich ist und dieser an seinem Ausgang eine konstante Spannung zur Verfügung stellen kann, die der bei dem Entladevorgang wirksamen Ladung entspricht. By using the high-impedance resistor (R), the time constant of the discharging operation is enlarged such that a processing by the charge amplifier (L) is possible, and this can provide a constant voltage available at its output, which corresponds to the effective upon the discharging charge , In Abhängigkeit von dieser konstanten Spannung wird, wie oben beschrieben, über den Fensterdiskriminator ( F ) und den Mikrorechner ( MR ) die Verstärkung des Verstärkers ( V ) derart geregelt, daß der Analog-Digital-Wandler ( W ) dem Mikrorechner ( MR ) ein Spannungssignal zuführt, daß dieser zur Auswertung verarbeiten kann. In response to this constant voltage, over the window discriminator (F) and the microcomputer (MR), the gain of the amplifier (V) is as described above, controlled so that the analog-to-digital converter (W) to the microcomputer (MR), a voltage signal to that it can be processed for evaluation.

Im Anschluß an den Entladevorgang steuert der Mikrorechner ( MR ) die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) an, um die Kapazität des zu messenden Körpers zu bestimmen. Following the unloading operation, the microcomputer controls (MR), the capacitance measuring (K) to determine the capacity of the body to be measured. Die Bestimmung der Kapazität erfolgt dabei in bekannter Weise. The determination of the capacity takes place in a known manner. Die Kapazitätseinrichtung ( K ) stellt dem Mikrorechner ( MR ) ein Spannungssignal zur Verfügung, daß der Kapazität des zu messenden Körpers entspricht. The capacitance means (K) sets the microcomputer (MR), a voltage signal, that the capacity of the body to be measured corresponds to.

Aus der Ladung und der Kapazität, die für sich schon Aussagen über mögliche Schädigungen elektronischer Strukturen elektronischer Bauteile bei Entladevorgängen ermöglichen, bestimmt der Mikrorechner ( MR ) die Spannung des Körpers vor der Entladung und die Energie des Körpers, wodurch exakte Aussagen über schädigende Wirkungen von Materialien, Kombinationen von Materialien in Verbindung mit bestimmten Arbeitsabläufen und Handhabungen auf die elektronischen Strukturen elektronischer Bauteile möglich werden. From the charge and the capacitance that allow for already statements about possible damage to electronic structures of electronic components during unloading, the microcomputer (MR) determining the voltage of the body prior to discharge and the energy of the body, whereby precise statements about the harmful effects of materials be possible combinations of materials in connection with certain working operations and manipulations on the electronic structures of electronic components. Bei einem weiterführenden Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstands wird nach dem Entladevorgang der ohmsche Innenwiderstand und/oder die Induktivität des gesamten Entladekreises gemessen und die Meßwerte dem Mikrorechner ( MR ) von der weiteren Meßeinrichtung ( I ) zugeführt. In a further embodiment of the subject invention is measured after the discharging of the ohmic internal resistance and / or the inductance of the entire discharge circuit and the measured values to the microcomputer (MR) of the further measuring device (I), respectively. Diese weiteren Meßwerte ermöglichen es, zB die Stromstärke zu bestimmen, die bei der direkten Entladung des Körpers gegen Erde fließen kann und die maßgeblich für eine Zerstörung elektronischer Bauteile sein kann, und zudem die Zeitkonstante des Stromanstiegs und die ungefähre Höhe des Entlade-Spitzen-Stroms zu bestimmen. These additional measurements make it possible to determine for example, the current that can flow in the direct discharge of the body to earth and which may be a destruction of electronic components significantly, and also the time constant of the current rise and the approximate height of the discharge peak current to be determined.

Die gemessenen und bestimmten Werte können dabei von der Anzeigeeinrichtung ( AE ) angezeigt werden, von dem Drucker ( D ) zur Protokollierung ausgedruckt werden, durch Betätigung der zweiten Eingabeeinrichtung ( E 2 ) in den Speicher ( S ) abgespeichert werden oder aber über die Schnittstelle ( ST ) einem Großrechner zur weiteren Auswertung zugeführt werden. The measured and determined values can be displayed by the display device (AE) from the printer (D) are printed for logging, by operating the second input device (E 2) in the memory (S) are stored or (via the interface ST) are supplied to a mainframe computer for further evaluation. Der beschriebene Meßvorgang weicht nicht von einem Meßvorgang ab, der durchgeführt wird, wenn eine zweite Meßspitze ( MS 2 ) verwendet wird, deren Anordnung weiter oben beschrieben ist. The measuring procedure described does not deviate from a measuring operation that is performed when a second measuring tip (MS 2) is used, the arrangement described above.

Im folgenden wird ein spezieller Meß- und Auswerteablauf beschrieben. In the following, a special measuring and evaluation sequence is described.

Um die Aufladung des menschlichen Körpers unter gegebenen äußeren Bedingungen zu bestimmen, wird der Gegenpotentialanschluß ( G ) leitend mit dem Körper des Messenden verbunden, der gleichzeitig die Ladung gegen Erdpotential trägt. In order to determine the charge of the human body under given external conditions, the counter potential terminal (G) is conductively connected to the body of the measuring member, which transfers the charge to ground potential simultaneously. Die Einrichtung wird dazu zweckmäßig in der Hand gehalten. The device is to appropriately held in the hand. Die Meßspitze ( MS 1 ) wird dann, nach elektrischer Rücksetzung des Ladungsverstärkers ( L ) mittels der ersten Eingabeeinrichtung ( E 1 ) auf das Anfangs-Ausgangssignal Null, mit dem Erdpotential leitend verbunden, wodurch die Ladung des Körpers über die erste Meßspitze ( MS 1 ) gegen Erde abfließen und gleichzeitig der Ladungsverstärker ( L ) die Ladung erfassen kann. The measuring tip (MS 1) is then, after electrical reset of the charge amplifier (L) by the first input means (E 1) to the initial output signal is zero, conductively connected to the ground potential, whereby the charge of the body through the first probe head (MS 1 can detect the load) drain to ground and at the same time the charge amplifier (L). Sinngemäß werden danach die anderen Parameter (Kapazität, Widerstand, Induktivität) ermittelt. Analogously, then the other parameters (capacitance, resistance, inductance) are determined. Mittels der zweiten Eingabeeinrichtung ( E 2 ) können dann die von der Anzeigeeinrichtung ( AE ) angezeigten Meßergebnisse einerseits in den Speicher ( S ) übernommen und gleichzeitig über den Drucker ( D ) protokolliert werden. By means of the second input device (E 2) can then be stored in the memory (S) and are recorded simultaneously on the printer (D), the measurement results displayed by the display device (AE) on the one hand.

Im Speicher ( S ) können für zahlreiche Meßvorgänge die gemessenen Parameter abgelegt werden und mittels einer dritten Eingabeeinrichtung ( E 3 ) über die Schnittstelle ( ST ) in einen stationären Rechner zur weiteren Auswertung geleitet werden. In the memory (S), the measured parameters are stored and by means of a third input means (E 3) via the interface (ST) for a number of measuring operations are conducted in a stationary computer for further evaluation. Nach Übernahme der Daten kann zB mit einer vierten Eingabeeinrichtung ( E 4 ) der gesamte Speicherinhalt des Speichers ( S ) gelöscht werden, alternativ auch selbsttätig ausgelöst durch den auslesenden Rechner. After acquiring the data, for example, the entire memory contents of the memory (S) are deleted with a fourth input means (E 4), alternatively, automatically triggered by the reading-out computer.

Claims (15)

  1. 1. Einrichtung zur Messung, Überwachung und Auswertung elektrostatischer Parameter bei der Auf- und/oder Entladung von Körpern, mit 1. A device for measuring, monitoring and evaluation of electrostatic parameters for the up and / or discharge of bodies, with
    • 1) einem Mikrorechner ( MR ), der mit 1) a microcomputer (MR) which is connected
    • 2) einer Ladungsmeßeinrichtung ( C ), 2) a charge measuring device (C),
    • 3) einer Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ), 3) a capacitance measuring (K),
    • 4) einem Speicher ( S ), 4) a memory (S),
    • 5) einer Eingabeeinrichtung ( E ) und 5) an input device (E) and
    • 6) einer Ausgabeeinrichtung ( A ) verbunden oder verbindbar ist, mit Connected 6) an output device (A) is connected or with
    • 7) einer ersten Meßspitze ( MS 1 ), die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung ( C ) und/oder der Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) verbunden oder verbindbar ist, mit 7) a first probe head (MS 1), the electrically conductive (with the charge measuring C) and / or the capacitance measuring connected (K) is connected or with
    • 8) einem Masseanschluß ( M ) und 8) a ground terminal (M) and
    • 9) einem Gegenpotentialanschluß ( G ), die elektrisch leitend mit der Ladungsmeßeinrichtung ( C ) und der Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) verbunden sind. 9) a counter-potential terminal (G) which are electrically conductively connected to the charge measuring device (C) and the capacitance measuring (K).
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsmeßeinrichtung ( C ) einen Ladungsverstärker ( L ) aufweist, der über einen hochohmigen Widerstand ( R ) mit der ersten Meßspitze ( MS 1 ) verbunden ist. 2. Device according to claim 1, characterized in that the charge measuring device (C) a charge amplifier (L) which is connected via a high value resistor (R) to the first probe head (MS 1).
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsverstärker ( L ) zum einen mit dem Masseanschluß ( M ) und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß ( G ) verbunden ist. 3. A device according to claim 2, characterized in that the charge amplifier (L) on the one hand to the ground terminal (M) and on the other with the counter potential terminal (G).
  4. 4. Einrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsverstärker ( L ) über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden ist. 4. A device according to claim 3, characterized in that the charge amplifier (L) via a control line to the microcomputer (MR) is connected.
  5. 5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Ladungsverstärker ( L ) über einen Verstärker ( V ) an dem Mikrorechner ( MR ) angeschlossen ist. 5. Device according to claim 4, characterized in that the charge amplifier is connected to (L) via an amplifier (V) to the microcomputer (MR).
  6. 6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Verstärker ( V ) einen Digital-Analog-Wandler aufweist und zum einen über einen Fensterdiskriminator ( F ) und zum anderen über eine Steuerleitung mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden ist. 6. A device according to claim 5, characterized in that the amplifier (V) comprises a digital-analog converter and the one on a window discriminator (F) and is connected to the other via a control line to the microcomputer (MR).
  7. 7. Einrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Verstärker ( V ) über einen Analog-Digital-Wandler ( W ) mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden ist. 7. A device according to claim 6, characterized in that the amplifier (V) via an analogue-digital converter (W) to the microcomputer (MR) is connected.
  8. 8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Analog-Digital-Wandler ( W ) Teil des Mikrorechners ( MR ) ist. 8. A device according to claim 7, characterized in that the analog-to-digital converter (W) is part of the microcomputer (MR).
  9. 9. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Meßeinrichtung ( I ) an den Mikrorechner ( MR ) angeschlossen ist, die zum einen mit der ersten Meßspitze ( MS 1 ) und zum anderen mit dem Gegenpotentialanschluß ( G ) verbunden oder verbindbar ist und daß die Meßeinrichtung ( I ) eine Widerstandsmeßeinrichtung und/oder eine Induktivitätsmeßeinrichtung ist. 9. A device according to claim 1, characterized in that a further measuring device (I) to the microcomputer (MR) is connected, on the one hand with the first probe head (MS 1) and on the other with the counter potential terminal (G) connected or connectable and that the measuring device (I) is a resistance measuring device and / or an inductance measuring.
  10. 10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitätsmeßeinrichtung ( K ) und/oder die Meßeinrichtung ( I ) elektrisch leitend mit einer zweiten Meßspitze ( MS 2 ) verbunden ist und die Verbindung zu der ersten Meßspitze ( MS 1 ) unterbrochen ist. 10. A device according to claim 9, characterized in that the capacitance measuring (K) and / or the measuring device (I) is electrically conductively connected to a second probe head (MS 2) is connected, and the connection to the first probe head (MS 1) is interrupted.
  11. 11. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingabeeinrichtung ( E ) in mindestens zwei Eingabeeinrichtungen ( E 1 , E 2 , . . .) unterteilt ist, die getrennt mit dem Mikrorechner ( MR ) verbunden sind. 11. The device according to claim 1, characterized in being divided, which are separately connected with the microcomputer (MR) that the input device (E) in at least two input devices (E 1, E 2,...).
  12. 12. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinrichtung ( A ) eine Anzeigeeinrichtung ( AE ) aufweist. 12. The device according to claim 1, characterized in that said output means (A) a display device (AE) has.
  13. 13. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinrichtung ( A ) eine Schnittstelle ( ST ) aufweist. 13. The device according to claim 1, characterized in that said output means (A) an interface (ST) has.
  14. 14. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinrichtung ( A ) einen Drucker ( D ) aufweist. 14. A device according to claim 1, characterized in that the output means (A) a printer (D).
  15. 15. Einrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß alle oder einige Bauteile in einem batteriebetriebenen Gerät angeordnet sind. 15. Device according to one of the preceding claims, characterized in that all or some components are arranged in a battery powered device.
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