DE3824319A1 - Distance measuring arrangement - Google Patents

Distance measuring arrangement

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DE3824319A1
DE3824319A1 DE19883824319 DE3824319A DE3824319A1 DE 3824319 A1 DE3824319 A1 DE 3824319A1 DE 19883824319 DE19883824319 DE 19883824319 DE 3824319 A DE3824319 A DE 3824319A DE 3824319 A1 DE3824319 A1 DE 3824319A1
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DE19883824319
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Breitmeier Ulrich
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical means
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical means for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical means for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means

Abstract

An arrangement to measure the distance of a test point lying on a specimen surface from a reference plane comprises a semiconductor laser (10), whose power is readjusted so that a constant quantity of light falls on a detector (22), independent of the reflection capability of the specimen surface at the test point, the said detector generating an output signal corresponding to the focal point deviation of the test point. The output signal of a position transmitter (50) which measures the actual position of an optical unit (16), which serves to image the laser beam on the test point and is tracked so that the test point always lies at the focal point, is combined by means of an addition circuit (66) with a correction signal which is derived from a signal assigned to the actual power of the semiconductor laser (10). <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Messen des Ab standes eines auf einer Prüflingsoberfläche liegenden Prüf punktes von einer Bezugsebene gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. The invention relates to an arrangement for measuring the level of an Ab lying on a sample surface inspection point from a reference plane according to the preamble of claim 1.

Eine derartige Anordnung ist Gegenstand der Hauptanmeldung P 38 00 427.5. Such an arrangement is the subject of the parent application P 38 00 427.5.

Es wurde herausgefunden, daß bei derartigen Meßanord nungen dann, wenn eine starke Nachregelung der Laserleistung notwendig wird, weil sich die Reflektivität des ausgemes senen Teiles der Prüflingsoberfläche stark ändert, die Auflösung der Meßanordnung etwas schlechter wird. It was found that in such Meßanord then voltages when a strong adjustment of the laser power is necessary because the reflectivity of the ausgemes Senen part of the test sample changes sharply, the resolution of the measuring device is slightly worse.

Durch die vorliegende Erfindung soll eine Meßanordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 dahingehend weitergebildet werden, daß auch bei starker Nachregelung der Laserleistung die hohe Auflösung der Meßanordnung erhalten bleibt. The present invention provides a measuring arrangement is to be developed to the effect according to the preamble of claim 1 that even when strong readjustment of the laser power, the high resolution of the measuring arrangement is retained.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine Meß anordnung gemäß Anspruch 1. This object is inventively achieved by a measuring arrangement according to claim. 1

Durch die Erfindung wurde erkannt, daß bei einer starken Leistungsnachregelung des Lasers sich auch eine kleine Ver schiebung der Wellenlänge des ausgesandten Lichtes ergibt, was für bisherige Anwendungen irrelevant war, bei der hoch genauen Ausmessung von Prüflingsoberflächen dagegen eine Verfälschung des Meßergebnisses bringt, da der Brennpunkt des Objektives sich mit der Änderung der Wellenlänge des verwendeten Laserlichtes geringfügig verschiebt, so daß man aufgrund der Servonachregelung der Optik eine etwas andere Stellung der Optik erhält, damit auch einen gering fügig verfälschten Abstandsmeßwert. Through the invention it was recognized that with a strong automatic power of the laser is also a small United to shift the wavelength of the emitted light yields, which was irrelevant to current applications in the high-precision measurement of of Prüflingsoberflächen however, a falsification of the measurement brings, as the focal point the lens slightly shifts with the change in wavelength of the laser light used, so that one obtains a slightly different position of the optical system due to the Servonachregelung the optics, so that a distance measurement grow slightly distorted. Diese Verfälschung wird erfindungsgemäß durch eine Korrektureinrichtung kompensiert, welche die durch die Wellenlängenänderung bedingte Brenn punktverschiebung vom gemessenen Ist-Stellungssignal der Optik abzieht. This distortion is compensated for by the present invention, a correction means which offsets the caused by the wavelength change of combustion measured actual position signal of the optical system is withdrawn. Als Maß für die Verschiebung der Wellenlänge wird die Ist-Leistung verwendet, unter welcher der Laser gerade arbeitet. As a measure of the shift of the wavelength, the actual power is used, under which the laser working.

Diese Korrektur des Meßsignales läßt sich unter apparativ geringem Aufwand durchführen; This correction of the measurement signal can be carried out under terms of apparatus little effort; man erhält so insgesamt eine Meßanordnung, mit welcher Bereiche der Prüflingsoberfläche mit hohem Reflexionsvermögen und solche mit kleinem Refle xionsvermögen mit gleicher Auflösung ausgemessen werden können. is obtained as a total of a measuring arrangement with which areas of the sample surface xionsvermögen high-reflectivity and those with small Refle can be measured with the same resolution.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unter ansprüchen angegeben. Advantageous developments of the invention are specified in subclaims.

Die Weiterbildungen der Erfindung gemäß den Ansprüchen 2 und 3 ermöglichen auf besonders einfache Weise das Ableiten eines elektrischen Signales, welches der Ist-Leistung des Lasers zugeordnet ist. The further developments of the invention according to claims 2 and 3 enable a particularly simple manner to derive an electrical signal which is associated with the actual power of the laser.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 4 ermöglicht es auf einfache Weise, auch nichtlineare Zusammenhänge zwi schen Laserleistung und Wellenlängenverschiebung auf ein fache Weise zu berücksichtigen. The development of the invention according to claim 4 allows a simple way to take into account nonlinear relationships interim rule laser power and wavelength shift to a variety of ways.

Nachstehend wird die Erfindung anhand eines Ausführungs beispieles unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläu tert. The invention is by way of execution example with reference to the drawings in greater detail erläu tert. In dieser zeigt die einzige Figur einen schematischen axialen Schnitt durch einen Meßkopf eines Gerätes zum hoch genauem Ausmessen der Lage und Kontur einer Prüflingsober fläche sowie ein Blockschaltbild der zugeordneten Meß elektronik. In this the only figure shows a schematic axial section through a measuring head of an apparatus for high-precision measurement of the position and contour of a Prüflingsober surface and a block diagram of the associated measurement electronics.

In der Zeichnung ist mit 10 ein Halbleiterlaser bezeichnet, der Licht im roten Bereich des Spektrums aussendet. In the drawing, a semiconductor laser is denoted by 10, the light in the red region of the spectrum emits. Das vom Halbleiterlaser 10 abgegebene Licht wird durch eine Linse 12 in ein Parallelbündel umgesetzt, welches über einen halbdurchlässigen Spiegel 14 zu einem Objektiv 16 gelangt. The light emitted from the semiconductor laser 10 is converted by a lens 12 into a parallel beam which passes through a half mirror 14 to a lens sixteenth Letzteres fokussiert den Laserstrahl auf die Oberfläche eines Prüflings 18 . The latter focuses the laser beam onto the surface of a specimen 18th

Das vom Prüfling 18 reflektierte Licht wird von dem Objek tiv 16 wieder in ein Parallelbündel zurückverwandelt und gelangt über den halbdurchsichtigen Spiegel 14 auf eine weitere Linse 20 , die das Strahlenbündel auf einen insge samt mit 22 bezeichneten Detektor abbildet. The light reflected by the specimen 18 the light 16 is converted back by the OBJEK tiv again into a parallel beam and passes through the semi-transparent mirror 14 to a further lens 20 which images the beam onto a designated IMP EXP velvet with 22 detector. Zwischen der Linse 20 und dem Detektor 22 ist ein Prisma 24 angeordnet. Between the lens 20 and the detector 22, a prism 24 is arranged.

Der Detektor 22 ist in der Zeichnung um 90° aus seiner wirk lichen Lage herausgekippt wiedergegeben, um das Auftreffen des Laserstrahles deutlicher zeigen zu können. The detector 22 is shown tilted out in the drawing by 90 ° from its present situation more, to show the impact of the laser beam more clearly. In Wirklich keit steht der Detektor 22 senkrecht auf der Achse der Linse 20 . In reality, of the detector 22 is perpendicular to the axis of the lens 20th

Der Detektor 22 besteht aus einem Substrat 26 , welches zwei lichtempfindliche Elemente 28, 30 , z. The detector 22 consists of a substrate 26 having two light-sensitive elements 28, 30, for example. B. zwei Fotodioden trägt. B. carries two photodiodes.

Steht der ausgeleuchtete Punkt auf der Oberfläche des Prüf linges 18 exakt im Brennpunkt des Objektives 16 , so liegt der auf dem Detektor 22 erzeugte Lichtfleck 32 exakt auf der Mittellinie des Detektors 22 . If the illuminated spot on the surface of the test linges 18 exactly at the focal point of the lens 16, the light spot formed on the detector 22 32 is located precisely on the center line of the detector 22nd Der Lichtfleck 32 ist in der Zeichnung ebenso übertrieben groß wiedergegeben wie der Abstand der beiden lichtempfindlichen Elemente 28, 30 . The light spot 32 is in the drawing as exaggerated in size as the distance between the two light-sensitive elements 28, 30th Liegt der ausgeleuchtete Punkt der Prüflingsoberfläche zur einen oder anderen Seite des Brennpunktes des Objektives 16 , so wandert der Lichtfleck 32 nach der einen oder ande ren Seite von der Mittellinie des Detektors 22 aus, wie in Fig. 2 durch gestrichelte Linien angedeutet. If the illuminated point of the test sample to one or other side of the focal point of the lens 16, the light spot 32 travels from after one or walls ren side of the center line of the detector 22, as indicated in Fig. 2 by dashed lines.

Die lichtempfindlichen Elemente 28, 30 sind mit den Ein gängen eines Differenzverstärkers 34 verbunden, dessen Aus gangssignal über einen Verstärker 36 zum Ansteuern einer Magnetspule 38 dient. The photosensitive elements 28, 30 are connected to A transitions of a differential amplifier 34 is connected, whose output signal is off via an amplifier 36 for driving a solenoid 38th Diese arbeitet mit einem ringförmigen Permanentmagneten 40 zusammen, der auf einer Halterung 42 für das Objektiv 16 angebracht ist. This works together with an annular permanent magnet 40 which is mounted on a support 42 for the lens sixteenth Die Halterung 42 ist in axialer Richtung frei beweglich im Durchgang der ring förmigen Magnetspule 38 angeordnet und ist über mehrere in Umfangsrichtung verteilte Federn 44 an einer Wand 46 des Meßkopfgehäuses abgestützt oder aufgehängt. The holder 42 is freely movable in the axial direction in the passage of the ring-shaped magnetic coil 38 is disposed and is supported by a plurality of circumferentially distributed springs 44 to a wall 46 of the Meßkopfgehäuses or suspended. Durch Er regen der Magnetspule 38 kann somit das Objektiv 16 in der einen oder anderen Richtung aus der durch sein Gewicht und die Federn 44 vorgegebenen Nullage herausbewegt werden. He through the solenoid coil 38 thus stimulate the lens 16 in the one or other direction from the predetermined by its weight, and the neutral position springs 44 can be moved. Aufgrund der oben beschriebenen Erzeugung des Magnetspulen- Speisesignales ist gewährleistet, daß das Auslenken des Objektives 16 so erfolgt, daß der Lichtfleck 32 zur Mitte des Detektors 22 zurückkehrt. Due to the above-described generation of the Solenoid feed signal ensures that the deflection of the objective lens 16 is performed so that the light spot 32 returns to the center of the detector 22nd Damit ist dann das Objektiv 16 so bewegt worden, daß sein objektseitiger Brennpunkt wieder exakt auf den gerade ausgeleuchteten Punkt der Prüf lingsoberfläche fällt. Thus, the lens is then 16 has been moved so that its object-side focal point falls exactly ling surface on the just illuminated point of the testing again.

An der Halterung 42 ist ein Stößel 48 befestigt, der mit einem Stellungsgeber 50 zusammenarbeitet, der ebenfalls von der Wand 46 getragen ist. On the holder 42, a plunger 48 is fixed, which cooperates with a position transmitter 50, which is also carried by the wall 46th Der Stellungsgeber 50 kann ein Potentiometer, ein Differentialtransformator, eine Tauchspulenanordnung oder dergleichen sein. The position sensor 50 may be a potentiometer, a differential transformer, a moving coil arrangement or the like. Man erkennt, daß bei der oben beschriebenen Servonachstellung des Objek tives 16 das Ausgangssignal des Stellungsgebers 50 direkt ein Maß für den Abstand des gerade ausgeleuchteten Punktes der Prüflingsoberfläche von einer festen Bezugsebene ist. It is recognized that the above-described adjustment of the servo OBJEK tive the output signal of the position sensor 50 is a measure of the distance of the currently illuminated point of the sample surface from a fixed reference plane directly sixteenth

Im Prinzip erhält man zwar die Nachführung des Objektives 16 durch die oben beschriebene Regelschleife auch für ge ringe Gesamtintensität des Lichtfleckes 32 , da wegen des Differenzverstärkers 34 der stabile Lagezustand des Objek tives 16 immer dann erreicht wird, wenn die Anteile des Lichtfleckes 32 , die auf das lichtempfindliche Element 28 gleich groß sind wie die Anteile, die auf das lichtempfind liche Element 30 fallen. In principle, since because of the differential amplifier 34 of the stable position state of OBJEK tive 16 always reached gets Although the tracking of the lens 16 by the above described control loop for ge rings overall intensity of the light spot 32, where the shares of the light spot 32 on the photosensitive member 28 are the same as the components that fall on the lichtempfind Liche element 30th Die Steilheit der Regelkennlinie hängt aber von der Gesamtintensität des Lichtfleckes 32 ab. But the slope of the control characteristic depends on the overall intensity of the light spot 32nd Die Steilheit der Regelkennlinie bedingt die Schnellig keit des Auffindens der Brennpunktslage des Objektives 16 und in gewissem Ausmaße auch die Genauigkeit der Ausmessung der Prüflingsoberfläche. The slope of the control characteristic due to the rapidity ness of finding the focus position of the lens 16 and to some extent also the accuracy of the measurement of the sample surface.

Die Menge des den Detektor 22 nach Reflexion an der Prüf lingsoberfläche wieder erreichenden Lichtes hängt nun vom Reflexionsvermögen der Prüflingsoberfläche ab. The amount of the detector 22 after reflection on the test surface ling back light reaching now depends on the reflectivity of the sample surface. Um dies aus zugleichen, wird die Leistung des Halbleiterlasers 10 so nachgeregelt, daß man unabhängig vom Reflexionsvermögen der Prüflingsoberfläche eine konstante auf den Detektor 22 auffallende Lichtmenge hat. To this from zugleichen, the power of the semiconductor laser 10 is adjusted so that one has, regardless of the reflectivity of the sample surface, a constant incident on the detector 22 light quantity. Hierzu sind die Ausgänge der lichtempfindlichen Elemente 28, 30 mit den Eingängen eines Summierverstärkers 52 verbunden. For this purpose, the outputs of the photosensitive elements 28, 30 connected to the inputs of a summing amplifier 52nd Dessen Ausgang ist mit der einen Eingangsklemme eines weiteren Differenzver stärkers 54 verbunden. Whose output is connected to one input terminal of a further Differenzver stärkers 54th Dessen zweite Eingangsklemme erhält von einem als einstellbarer Widerstand 56 gezeigten Soll wertgeber ein elektrisches Signal, welches der Lichtmenge entspricht, die im Hinblick auf eine bestimmte Steilheit der Regelkennlinie auf den Detektor 22 fallen soll. Whose second input terminal receives from a state shown as an adjustable resistor 56 setpoint generator, an electrical signal corresponding to the amount of light is to fall in view of a certain slope of the control characteristic on the detector 22nd Das Ausgangssignal des Differenzverstärkers 54 wird auf den Eingang eines Leistungsverstärkers 58 gegeben, der den Halb leiterlaser 10 speist. The output signal of the differential amplifier 54 is applied to the input of a power amplifier 58 which supplies the semiconductor laser 10 degrees.

An den Halbleiterlaser 10 ist eine Fotodiode 60 angebaut, auf welche ein Teil des Laserlichtes fällt und die somit ein der momentanen Laserleistung zugeordnetes Ausgangssi gnal erzeugt. To the semiconductor laser 10, a photodiode 60 is mounted on which a part of the laser light falls, and thus generates a current of the laser power associated Ausgangssi gnal. Dieses Signal wird auf einen Analog/Digital wandler 62 gegeben, und durch dessen Ausgangssignal wird ein Festwertspeicher 64 adressiert. This signal is applied to an analog / digital converter 62, and the output signal of a fixed value memory 64 is addressed. Der Festwertspeicher enthält die Veränderungen der Brennweite des Objektives 16 bei den verschiedenen Laserleistungen. The ROM contains the changes the focal length of the lens 16 at the different laser powers. Diese Werte kön nen einmal durch Laborversuch ermittelt sein. These values ​​Kings nen even be detected by laboratory testing. Am Ausgang des Festwertspeichers 64 steht somit jeweils ein digitales Korrektursigal, welches der der momentanen Laserleistung entsprechenden Änderung der Objektivbrennweite gegenüber Normal-Arbeitsbedingungen entspricht. At the output of the ROM 64 is thus in each case a digital Korrektursigal which corresponds to the corresponding one of the instantaneous laser power change the lens focal length compared to normal working conditions. Dieses Korrektursi gnal wird in einem digitalen Addierkreis 66 mit dem Aus gangssignal eines zweiten Festwertspeichers 66 zusammen gefaßt, der über einen zweiten Analog/Digitalwandler 68 adressiert wird. This Korrektursi gnal is combined in a digital adder circuit 66 with the output signal from a second read-only memory 66 together, which is addressed via a second analog / digital converter 68th Der Eingang des letzteren ist mit dem Ausgang des Stellungsgebers 50 verbunden. The input of the latter is connected to the output of the position sensor 50th Im Festwertspei cher 66 sind Signale abgelegt, die zur Korrektur von Nicht linearitäten des Stellungsgebers 50 dienen. In Festwertspei cher 66 signals are stored, the correction of non-linearities of the position indicator 50 are used.

Das durch Zusammenfassen der Ausgangssignale der Festwert speicher 64 und 66 vom Addierkreis 66 bereitgestellte Signal wird auf einer Anzeigeeinheit 70 dargestellt. The memory by combining the output signals of the fixed value provided by the adder circuit 66 64 and 66 signal is displayed on a display unit 70th Anstelle der Anzeigeeinheit 70 kann man auch eine Standardschnittstelle anschließen, um die Daten einem Rechner zu überstellen. Instead of the display unit 70 can also connect a standard interface in order to provide the data to a computer.

In Abwandlung des vorstehenden Ausführungsbeispieles kann man dem Halbleiterlaser 10 anstelle der Fotodiode 60 einen Temperaturfühler 60 zuordnen, dessen Ausgangssignal analog verarbeitet wird wie das Ausgangssignal der Fotodiode 60 . In a modification of the above embodiment can assign the semiconductor laser 10 instead of the photodiode 60 a temperature sensor 60 whose output signal is analog processed as the output signal of the photodiode 60th

Da die im Laser aufgebaute Temperatur ein noch direkteres Maß für die genaue Arbeitswellenlänge des Lasers ist als die dem Laser zugeführte elektrische Leistung oder von diesem abgegebene optische Leistung, erhält man auf diese Weise eine noch genauere Abstandsmessung. Since the built up in the laser temperature is an even more direct measure of the precise operating wavelength of the laser as the laser supplied to the electric power, or output from this optical power, to obtain a more accurate distance measurement in this way.

In weiterer Abwandlung des oben beschriebenen Ausführungs beispieles kann man anstelle eines Halbleiterlasers 10 mit integrierter Fotodiode 60 auch einen Halbleiterlaser ohne Fotodiode verwenden, wobei dann das Ausgangssignal des Differenzverstärkers 54 , welches ebenfalls ein Maß für die Ist-Leistung des Halbleiterlasers 10 ist, über eine in der Zeichnung gestrichelt eingezeichnete Leitung 72 auf den Eingang des Analog/Digital-Wandlers 62 gegeben wird. In a further modification of the execution above-described embodiment can be 60 also use a semiconductor laser without photo diode instead of a semiconductor laser 10 with integrated photo diode, in which case the output signal of the differential amplifier 54, which is also a measure of the actual power of the semiconductor laser 10, via an in the drawing, a broken line is given line 72 to the input of the analog / digital converter 62nd Diese Variante arbeitet im übrigen genauso wie das zuerst beschrie bene Ausführungsbeispiel. This variation in other respects the same as the first beschrie bene embodiment.

Claims (4)

  1. 1. Anordnung zum Messen des Abstandes eines auf einer Prüflingsoberfläche liegenden Prüfpunktes von einer Bezugsebene, mit einem Halbleiterlaser als Lichtquelle, mit einer axial beweglichen Optik zum Fokussieren des Laser strahles auf den Prüfpunkt, mit einer Detektoreinheit, die mit dem vom Prüfpunkt reflektierten Laserlicht beaufschlagt ist und ein der Brennpunktablage des Prüfpunktes zugeord netes Lagefehlersignal und ein dem Unterschied zwischen der Intensität des reflektierten Lichtes und einem gewünsch ten Intensitätswert auf der Detektoreinheit zugeordnetes Intensitätsfehlersignal erzeugt, mit einem auf die Optik arbeitenden Stellmotor, der gemäß dem Lagefehlersignal an gesteuert wird, mit einem dem Halbleiterlaser zugeordneten Leistungssteuerkreis, der in Abhängigkeit vom Intensitäts fehlersignal arbeitet, und mit einer Einrichtung zum Er mitteln der Ist-Stellung der Optik nach Patentanmeldung P 38 00 427.9, gekennzeichnet durch eine Korrektureinrichtung ( 62 bis 1. Arrangement for measuring the distance of an on a sample surface inspection point from a reference plane, comprising a semiconductor laser as a light source, comprising an axially movable optical system for focusing the laser beam to the test terminal, using a detector unit, which is acted upon by the light reflected from the probe laser light and the focus offset of the checkpoint zugeord designated position error signal and a the difference between the intensity of the reflected light and a gewünsch th intensity value on the detector unit associated intensity error signal generated with a working on the optics servomotor which is controlled according to the attitude error signal on, with a the semiconductor laser associated with power control circuit operating in response to the intensity error signal, and means for He provide the actual position of the optical system according to Patent application P 38 00 427.9, characterized by a correcting means (62 to 66 ), welche das Ausgangssignal der Einrichtung ( 50 ) zum Ermitteln der Stellung der Optik ( 16 ) in Abhängigkeit von der Ist-Leistung des Halbleiterlasers ( 10 ) modifiziert. 66) which modifies the output of the means (50) for determining the position of the optics (16) in response to the actual power of the semiconductor laser (10).
  2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Halbleiterlaser ( 10 ) ein Temperaturfühler oder ein Lichtdetektor ( 60 ) zugeordnet ist, dessen Ausgangssignal der Korrektureinrichtung ( 62 bis 66 ) zugeführt wird. 2. Arrangement according to claim 1, characterized in that the semiconductor laser (10), a temperature sensor or a light detector (60) is associated, the output of the correction device is fed (62 to 66).
  3. 3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrektureinrichtung ( 62 bis 66 ) mit dem Intensi tätsfehlersignal beaufschlagt ist. 3. Arrangement according to claim 1, characterized in that the correction means is acted upon (62 to 66) with the tätsfehlersignal Intensi.
  4. 4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Korrektureinrichtung einen Korrekturspeicher ( 64 ) aufweist, der durch ein der Ist- Intensität des Halbleiterlasers ( 10 ) zugeordnetes Signal adressiert wird. 4. An arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that the correction means comprises a correction memory (64) by a the actual intensity of the semiconductor laser (10) associated with the signal is addressed.
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Cited By (2)

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DE4019405A1 (en) * 1990-06-18 1991-12-19 Focus Messtechnik Gmbh & Co Kg Optical scanning head for measuring micro-contour of workpiece surface - has lens magnetically controlled to image laser on surface and image reflected light on CCD transducer plate
DE19710420C2 (en) * 1997-03-13 2001-07-12 Helmut Fischer Gmbh & Co Method and device for measuring the thicknesses of thin layers by means of X-ray fluorescence

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