DE3823905C1 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3823905C1
DE3823905C1 DE3823905A DE3823905A DE3823905C1 DE 3823905 C1 DE3823905 C1 DE 3823905C1 DE 3823905 A DE3823905 A DE 3823905A DE 3823905 A DE3823905 A DE 3823905A DE 3823905 C1 DE3823905 C1 DE 3823905C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
layer
impression
acetone
solution
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE3823905A
Other languages
German (de)
Inventor
Herbert 8060 Dachau De Buergel
Jimme R. 8068 Pfaffenhofen De Ross
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MTU Aero Engines GmbH
Original Assignee
MTU Motoren und Turbinen Union Muenchen GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MTU Motoren und Turbinen Union Muenchen GmbH filed Critical MTU Motoren und Turbinen Union Muenchen GmbH
Priority to DE3823905A priority Critical patent/DE3823905C1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3823905C1 publication Critical patent/DE3823905C1/de
Priority to IT8921083A priority patent/IT1230045B/en
Priority to GB8915596A priority patent/GB2221421B/en
Priority to FR8909296A priority patent/FR2635725B1/en
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/02Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances with solvents, e.g. swelling agents
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2301/00Characterised by the use of cellulose, modified cellulose or cellulose derivatives
    • C08J2301/08Cellulose derivatives
    • C08J2301/10Esters of organic acids
    • C08J2301/12Cellulose acetate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Moulding By Coating Moulds (AREA)

Abstract

An impression body for depicting microstructures comprises a copy layer 2 with an overlying contrast-enhancing optical layer 1, the copy layer being a dried soluble film of cellulose triacetate, homogeneously dispersed in a solvent such as acetone, having a thickness of 1 to 15 mu m and rigidly connected to a support 3. Preferably, the homogeneous dispersion is obtained by swelling the film material in the solvent, freeze-cooling the mixture and then bringing to room temperature whilst agitating; the film is applied to the microstructured surface by spraying, painting or splashing and then allowed to dry; a plate, disc or roll support is formed or applied, and the resulting impression body lifted away. The optical layer of metal or metal alloy is applied by sputtering, vacuum evaporation or chemical deposition. A single support can carry the microstructure impressions on both sides, Fig 3. Stated uses are when impressions are needed for micro-fissured mechanically loaded large area components, and for microstructured large area data carriers. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft einen Abdruckkörper als Träger von Mikrostrukturen.The invention relates to an impression body as a carrier of Microstructures.

Aus der Veröffentlichung "Metallographische und fraktographische Untersuchung an Bauteilen", VGB Kraftwerkstechnik 62, Heft 6, Juni 1982, Seite 519 bis 524 sind Polyvenylacetallösungen mit chlorierten Kohlenwasserstoffen bekannt, die als Lösungsfolie auf mikrostrukturierte Bruchflächen aufgebracht und mit einem Gießharz verstärkt werden, wobei die Verwendung chlorierter Kohlenwasserstoffe nachteilig als umweltbelastend und gesundheitsschädlich bekannt ist. Mit dieser Lösungsfolie werden Auflösungen bis 1 µm erreicht. Aus derselben Veröffentlichung sind Sandwich-Abdrücke bestehend aus einer Folie als Kopierschicht "einer darunterliegenden stützenden und reflektierenden Aluschicht" und einem Klebefilm zum direkten Aufbringen auf einen Objektträger bekannt. Wie aus derselben Schrift zu entnehmen ist, sind derartige Folien etwa 100 µm dick und mit Kantenlängen von einigen Zentimetern nutzbar.From the publication "Metallographic and Fractographic Investigation on components ", VGB Kraftwerkstechnik 62, No. 6, June 1982, pages 519 to 524 Polyvinyl acetal solutions with chlorinated hydrocarbons known as a solution film on microstructured Broken surfaces applied and with a casting resin be reinforced, the use of chlorinated hydrocarbons disadvantageous as polluting and harmful to health is known. With this solution film Resolutions down to 1 µm achieved. From the same publication are sandwich impressions consisting of a film as a copy layer "an underlying supportive and reflective Aluminum layer "and an adhesive film for direct Known application on a slide. As from the same Scripture can be seen, are such films about 100 µm thick and with edge lengths of a few centimeters usable.

Derartige Folienabdrücke wie sie auch aus DIN 54 150 Abschnitt 3.2 bekannt sind, haben den Nachteil, daß großflächige Abdrücke von mehreren Quadratdezimetern nachteilig mit erheblichen Fehlern wie Luftblaseneinschlüssen und Aufwölbungen behaftet sind.Such film impressions as they also from DIN 54 150 section 3.2 are known, have the disadvantage that large areas Imprints of several square decimeters are disadvantageous with considerable  Errors such as bubble inclusions and bulges are afflicted.

Ein luftblasenfreies Verfahren ist der einschichtige Lackabdruck nach DIN 54 150 Abschnitt 3.1 auf Nitrozellulose- oder Kunstharzbasis. Derartige Lackabdrücke lassen sich im Gegensatz zur Abdruckfolie nicht rückstandsfrei von großen zu kopierenden Oberflächen abheben, so daß nachteilig erhebliche Fehlstellen und Fehlstrukturen in der Kopierschicht auftreten. Großflächige Abdrücke sind darüberhinaus als einschichtiger Lackabdruck weder unversehrt abziehbar noch handhabbar.A single-layer process is a bubble-free process Paint impression according to DIN 54 150 section 3.1 on nitrocellulose or synthetic resin base. Leave such varnish marks In contrast to the impression film, it is not residue-free stand out from large surfaces to be copied so that disadvantageous significant defects and defective structures in the copy layer occur. Large prints are moreover, as a single-layer varnish impression, neither intact removable still manageable.

Neben Folien- und Lackabdruck von Mikrostrukturen sind Abgußverfahren bekannt. Mit diesen Verfahren entstehen zwar mechanisch stabile Abdruckkörper, die aber nicht frei von Luftblaseneinschlüssen sind und nachteilig eine mikroskopische Eigenstruktur zeigen, die eine mikroskopische Auswertung erschweren. Abgüsse von großflächigen gekrümmten Oberflächen ergeben nachteilig keine planen Präparate für die mikroskopische Auswertung.In addition to film and varnish prints of microstructures Casting process known. With these procedures arise mechanically stable impression body, but not free of Bubble inclusions are and disadvantageously microscopic Show own structure that is microscopic Complicate evaluation. Casts of large-area curved Surfaces disadvantageously do not result in plan preparations for the microscopic evaluation.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Abdruckkörper als Träger von Mikrostrukturen anzugeben, der eine Kopierschicht und eine darüberliegende kontraststeigernde optische Schicht aufweist, der mechanisch stabil ist, so daß großflächige Oberflächen mit Mikrostrukturen insbesondere von mikrostrukturierten großflächigen Datenträgern und mikrorißbehafteten, großflächigen Bauteilen blasenfrei und aufwölbungsfrei kopiert werden können und der rückstandsfrei von der zu kopierenden Oberfläche abhebbar ist, sowie ein Verfahren zur Herstellung derartiger Abdruckkörper aufzuzeigen, das insbesondere die Verwendung umweltbelastender und gesundheitsschädlicher Lösungsmittel wie beispielsweise chlorierte Kohlenwasserstoffe vermeidet.The object of the invention is an impression body as a carrier of microstructures specifying a copy layer and an overlying contrast-enhancing optical Has layer that is mechanically stable, so that large areas Surfaces with microstructures, in particular from microstructured large data carriers and microcracked, large-area components free of bubbles and bulges can be copied and the residue-free can be lifted off the surface to be copied, and a method for producing such impression body to demonstrate that in particular the use of polluting and harmful solvents such as  for example, avoid chlorinated hydrocarbons.

Gelöst wird diese Aufgabe durch einen Abdruckkörper, der eine 1-15 µm dicke Kopierschicht und eine darüber liegende, kontraststeigernde, optische Schicht und einen unter der Kopierschicht liegenden und fest mit dieser verbundenen Stützkörper aufweist, wobei die Kopierschicht aus homogenisiertem Cellulosetriacetat besteht, das durch Abkühlen von in Aceton gequollenem Cellulosetriacetat unter den Gefrierpunkt von Aceton und Trocknen der nach Aufheizung gebildeten Lösung erhalten worden ist.This task is solved by an impression body, the one 1-15 micron thick copy layer and one overlying, contrast-increasing, optical layer and one under the copy layer and firm with this connected support body, the Copy layer made of homogenized cellulose triacetate consists of cooling swollen in acetone Cellulose triacetate below the freezing point of acetone and drying the solution formed after heating has been.

Mit dem erfindungsgemäßen Abdruckkörper werden die im Stand der Technik begründeten Nachteile überwunden.With the impression body according to the invention Disadvantages justified prior art are overcome.

Die Erfindung erreicht vorteilhaft sowohl die guten Kopier-, Auflösungs- und Abdruckeigenschaften einer Folie als auch die Blasen- und Aufwölbungsfreiheit der Abdrucklacke, indem der Folienwerkstoff Cellulosetriacetat gemäß den Merkmalen des Verfahrensanspruch 7 zu einer Lösung aufbereitet wird und in einer Dicke von 1 bis 15 µm auf der zu kopierenden Oberfläche mit Mikrostrukturen zu einer Kopierschicht trocknet.The invention advantageously achieves both the good Copy, resolution and impression properties of a Foil as well as the freedom from bubbles and bulges Imprint varnishes by the film material cellulose triacetate according to the features of method claim 7 to a Solution is prepared and in a thickness of 1 to 15 microns with microstructures on the surface to be copied a copy layer dries.

Mit dieser aufbereiteten Lösung von Cellulosetriacetat in Aceton werden vorteilhaft Kopierschichten mit einem Auflösungsvermögen unter 0,5 µm erreicht.With this prepared solution of cellulose triacetate in acetone, copy layers with a Resolving power reached below 0.5 µm.

Die Oberfläche der Kopierschicht ist mit einer kontrasterhöhenden optischen Schicht von 0,01 bis 0,3 µm Dicke aus Chrom, Palladium, Aluminium, Gold, Tantal, Platin, Nickel, Wolfram, Kohlenstoff oder deren Legierungen oder mehrlagig aus diesen Substanzen bedeckt. Die dünne blasen- und aufwölbungsfreie Kopierschicht bildet mit dem Stützkörper einen verstärkten, selbsttragenden Abdruckrohling. Der platten-, scheiben- oder walzenförmige Stützkörper besteht vorteilhaft aus Duroplasten wie Epoxidharz oder faserverstärkten Duroplasten mit Textil-, Glas- oder Kohlenstoffasern.The surface of the copy layer is with a contrast-enhancing optical layer from 0.01 to 0.3 microns thick Chrome, palladium, aluminum, gold, tantalum, platinum, Nickel, tungsten, carbon or their alloys or covered in multiple layers from these substances. The thin one  bubble and bulge-free copying layer forms with the Support body a reinforced, self-supporting impression blank. The plate, disc or roller-shaped Support body advantageously consists of thermosets such as Epoxy resin or fiber-reinforced thermosets with textile, Glass or carbon fibers.

Der Stützkörper ist in einer besonders vorteilhaften Ausführungsform schichtförmig und elastisch und besteht aus einem zusätzlich auf der Unterseite der Kopierschicht aufgebrachten Stützlack. Dieser kann einer der bekannten Abdrucklacke sein. Diese Ausführungsform des Stützkörpers ist besonders zum Abdruck sphärisch, kegelig oder zylindrisch geformter Innenflächen von Hohlformen geeignet.The support body is in a particularly advantageous embodiment layered and elastic and consists of one on the underside of the copy layer applied support varnish. This can be one of the known Be impression varnishes. This embodiment of the support body is particularly spherical, conical or cylindrical for imprinting shaped inner surfaces of hollow molds.

Für Mikroanalysen einer ebenen, kegeligen oder zylindrischen Oberfläche ist der elastische Abdruckrohling aus der getrockneten Lösung und dem Stützlack durch ein doppelt-klebendes oder doppelt-adhäsives Kunststoffband verstärkt und mit einer planen Trägerplatte verbunden, so daß ein mehrschichtiger Stützkörper vorliegt.For micro analysis of a flat, conical or cylindrical The surface is the elastic impression blank from the dried Solution and the support varnish by a double-adhesive or double-adhesive plastic tape reinforced and connected to a flat carrier plate, so that a multilayer support body is present.

Die Dicke der ein- oder mehrschichtigen Stützkörper ist vorteilhaft 0,06 mm bis 10 mm.The thickness of the single-layer or multilayer support body is advantageous 0.06 mm to 10 mm.

Mit Anspruch 7 wird ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Abdruckkörpers als Träger von Mikrostrukturen angegeben, das durch folgende Verfahrensschritte gekennzeichnet ist:With claim 7 is a method for producing a impression body according to the invention as a carrier of microstructures indicated by the following process steps is marked:

  • a) Aufquellen von Cellulosetriacetat in Aceton,a) swelling of cellulose triacetate in acetone,
  • b) Abkühlen der erhaltenen Mischung unter den Gefrierpunkt von Aceton und Wiederaufheizen, b) cooling the mixture obtained below freezing of acetone and reheating,  
  • c) Auftragen der erhaltenen Lösung auf die zu kopierende Oberfläche mit Mikrostruktur,c) applying the solution obtained to the copying surface with microstructure,
  • d) Trocknen der Lösung zu einer Kopierschicht auf der zu kopierenden Oberfläche mit Mikrostruktur,d) drying the solution to a copy layer the surface to be copied with microstructure,
  • e) Bildung eines Abdruckrohlings durch Verstärken der Kopierschicht auf der zu kopierenden Oberfläche mittels Aufbringen eines Stützkörpers,e) Formation of an impression blank by reinforcing the Copy layer on the surface to be copied by applying a support body,
  • f) Abnehmen des Abdruckrohlings von der Oberfläche mit Mikrostruktur,f) Removing the impression blank from the surface with Microstructure,
  • g) Bilden eines Abdruckkörpers durch Aufbringen einer optischen Schicht auf die Mikrostruktur des Abdruckrohlings.g) forming an impression body by applying a optical layer on the microstructure of the impression blank.

Mit diesem Verfahren können vorteilhaft von kopierfähigen mikrostrukturierten Oberflächen einzelne oder beliebig viele Abdrücke in reproduzierbarer Qualität hergestellt werden, ohne daß die Mikrostruktur der Oberfläche durch Lackrückstände verfälscht wird. Besondere Schwierigkeiten für die Bildung eines Abdruckkörpers mit einer Kopierschicht aus Folienwerkstoff bildet die vollständige homogene Auflösung des kompakten Folienwerkstoffs aus Cellulosetriacetat in einem Lösungsmittel wie Aceton, das keine chlorierten Kohlenwasserstoffe enthält. Es ist zwar bekannt, daß Cellulosetriacetat als Folienwerkstoff durch Aceton oberflächig angelöst wird und aufquillt. Aber auch nach den üblichen Kochschritten beim Siedepunkt des Lösungsmittels bleibt die Lösung inhomogen mit Schlieren durchsetzt und als Kopierschicht unbrauchbar.This method can be advantageous from copyable micro-structured surfaces single or any many prints made in reproducible quality without the microstructure of the surface Paint residue is falsified. Special difficulties for the formation of an impression body with a copy layer the complete homogeneous resolution is made of foil material of the compact film material made of cellulose triacetate in a solvent such as acetone that does not contains chlorinated hydrocarbons. While it is known that cellulose triacetate as a film material Acetone is dissolved on the surface and swells. But also after the usual cooking steps at the boiling point of the Solvent remains inhomogeneous with streaks interspersed and unusable as a copy layer.

Erst durch Abkühlen der Mischung aus in Aceton gequollenem Cellulosetriacetat ist es überraschend gelungen, eine homogene Lösung zu bilden. In Vorbereitung des Abkühlens unter den Gefrierpunkt von Aceton wird das Cellulosetriacetat im Lösungsmittel Aceton bei Temperaturen zwischen Raumtemperatur und dem Siedepunkt des Acetons zum Aufquellen gebracht. Bei Temperaturen zwischen 280 bis 325 K wird in 0,5 bis 3 Stunden das Cellulosetriacetat zum Aufquellen gebracht.Only by cooling the mixture of swollen in acetone Cellulose triacetate has surprisingly managed to be a homogeneous  Form solution. In preparation for cooling under The freezing point of acetone is the cellulose triacetate in the solvent acetone at temperatures between room temperature and the boiling point of the acetone to swell brought. At temperatures between 280 to 325 K in 0.5 the cellulose triacetate is swollen for up to 3 hours.

Dazu wird eine Mischung von 20 l bis 200 l Aceton auf 1 kg Cellulosetriacetat eingesetzt. Vorzugsweise können auch Konzentrate der Lösung mit 10 l Lösungsmittel auf 1 kg Folienwerkstoff hergestellt werden.For this, a mixture of 20 l to 200 l acetone per 1 kg Cellulose triacetate used. Preferably also Concentrate the solution with 10 l of solvent to 1 kg Foil material can be produced.

Nach dem Aufquellen wird die Mischung auf Temperaturen unterhalb des Gefrierpunktes des Lösungsmittels Aceton abgekühlt.After swelling, the mixture is brought to temperatures below the freezing point of the solvent acetone cooled down.

Für das Abkühlen haben sich Temperaturen zwischen 77 und 175 K bewährt. Anschließend wird das gefrorene Gut unter Rühren der flüssigen Phase zu einer Lösung aufgeheizt.For cooling, temperatures between 77 and Tried and tested at 175 K. Then the frozen good is under Stirring the liquid phase heated to a solution.

Wird ein Konzentrat der Lösung mit diesem Verfahren hergestellt, so wird dieses vor seiner Anwendung verdünnt.If a concentrate of the solution is made using this procedure, it is diluted before use.

Die Lösung kann auf die zu kopierenden Oberflächen mit Mikrostruktur blasenfrei aufgesprüht, aufgestrichen oder aufgeschleudert werden und zu einer Kopierschicht von 1 bis 15 µm Dicke trocknen.The solution can be applied to the surfaces to be copied Microstructure sprayed on without bubbles, spread on or spin-coated and to a copy layer Dry from 1 to 15 µm thick.

Das Trocknen der aufgetragenen Lösung wird bei Temperaturen zwischen 280 und 320 K durchgeführt und dauert je nach Kopierschichtdicke 1 bis 30 Sekunden.The drying of the applied solution is at temperatures performed between 280 and 320 K and lasts depending on the thickness of the copy layer 1 to 30 seconds.

Nach dem Trocknen und vor dem Abheben der Kopierschicht wird diese mit einem Stützkörper aus einem Verstärkungslack oder einem Duroplast oder einem faserverstärkten Duroplast zu einem Abdruckrohling verstärkt. After drying and before lifting off the copy layer is this with a support body made of a reinforcing paint or a thermoset or a fiber reinforced Duroplast reinforced to an impression blank.  

Die Form und die Werkstoffwahl des Stützkörpers richtet sich nach der zu kopierenden Oberfläche. Bei Oberflächen von Datenträgern mit Mikrostrukturen sind beispielsweise platten-, scheiben- oder walzenförmige Stützkörper möglich. Formstabilität und Steifigkeit werden hier durch Duroplaste oder faserverstärkte Duroplaste erreicht.The shape and the choice of material of the support body judges the surface to be copied. With surfaces of data carriers with microstructures are, for example plate, disc or roller-shaped support body possible. Dimensional stability and rigidity are achieved here Thermosets or fiber-reinforced thermosets achieved.

Bei einer Fehleranalyse von belasteten Bauteilen mit komplizierter, beispielsweise ebener, kegeliger oder zylindrischer Oberfläche ist ein elastischer, schichtförmiger Abdruckrohling erwünscht, der durch Aufsprühen, Aufspachteln oder Aufschleudern zusätzlicher Stützlacke auf die Kopierschicht gebildet wird und der nach dem Abheben von der Oberfläche mit einem doppelt-klebenden, doppelt-adhäsiven Kunststoffband auf eine plane Trägerplatte aufgezogen wird.With a fault analysis of loaded components with more complicated, for example level, conical or cylindrical surface is an elastic, layered Imprint blank desired by spraying, Filling or spinning on additional support varnishes is formed on the copy layer and that after lifting from the surface with a double-adhesive, double-adhesive plastic tape on a flat carrier plate is raised.

Der Stützkörper wird auf die Kopierschicht aufgestrichen, aufgesprüht, aufgespachtelt, auflaminiert, aufgegossen, aufgepreßt oder im Spritzgußverfahren aufgetragen.The support body is spread on the copy layer, sprayed on, filled up, laminated on, poured on, pressed on or applied by injection molding.

Der Abdruckrohling wird zum erfindungsgemäßen Abdruckkörper durch beispielsweise Aufsputtern, Vakuumaufdampfen oder chemisches Abscheiden einer kontraststeigernden optischen Schicht von 0,01 bis 0,3 µm Dicke. Schichtdicke und Werkstoff richten sich nach den optischen Anforderungen des optischen Abtastsystems für die mikrostrukturierte kopierte Oberfläche wie beispielsweise Laserscanner, Rasterelektronenmikroskop oder Lichtmikroskop. Beispielhaft sind einige geeignete Werkstoffe für die optische Schicht und ihr Auftragsverfahren in Tabelle 1 aufgelistet. The impression blank becomes the impression body according to the invention for example by sputtering, vacuum evaporation or chemical deposition of a contrast-enhancing optical Layer from 0.01 to 0.3 µm thick. Layer thickness and material are based on the optical requirements of the optical scanning system for the microstructured copied Surface such as laser scanners, scanning electron microscopes or light microscope. Some are exemplary suitable materials for the optical layer and its Application procedures listed in Table 1.  

Organische oder anorganische, transparente Schichten wie beispielsweise Siliciumdioxid, Indiumoxid, Tantaloxid oder Acrylglas können auf dem Abdruckkörper beispielsweise im Tauch-, Schleuder-, Aufdampf-, Aufsputter- oder Abscheideverfahren aufgebracht werden, um einen dauerhaften oder temporären Schutz zu bilden.Organic or inorganic, transparent layers such as silicon dioxide, indium oxide, tantalum oxide or acrylic glass can for example on the impression body in immersion, spin, evaporation, sputtering or Deposition processes are applied to make it permanent or to form temporary protection.

Auch ein beidseitiges Aufbringen von Kopierschichten mit Mikrostrukturen auf einem scheiben- oder plattenförmigen Stützkörper ist mit dem erfindungsgemäßen Verfahren durchführbar. Dazu werden zwei Oberflächen mit Mikrostrukturen mit der erfindungsgemäßen Kopierschicht versehen und mit einem gemeinsamen Stützkörper fest verbunden.Also a double-sided application of copy layers Microstructures on a disk or plate Support body can be carried out with the method according to the invention. To do this, two surfaces with microstructures provided with the copying layer according to the invention and with a common support body firmly connected.

Die anliegenden Zeichnungen erläutern die Erfindung beispielhaft. Die Zeichnungen zeigen im einzelnen:The accompanying drawings explain the invention by way of example. The drawings show in detail:

Fig. 1 einen Abdruckkörper mit Abbildungen von negativen Mikrostrukturen, Fig. 1 an impression body with images of negative microstructures,

Fig. 2 einen Abdruckkörper mit doppelseitiger Kopierschicht von Oberflächen mit positiven (erhabenen) Mikrostrukturen und Fig. 2 shows an impression body with double-sided copying layer of surfaces with positive (raised) microstructures and

Fig. 3 einen Abdruckkörper mit Abbildung komplexer Mikrostrukturen. Fig. 3 is an impression body with complex imaging microstructures.

Fig. 1 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Abdruckkörper mit einer optischen Schicht 1, einer Kopierschicht 2 und einem Stützkörper 3 aus beispielsweise Epoxydharz. Dazu wurde eine Lösung aus Aceton und Cellulosetriacetat auf eine Oberfläche mit negativen Mikrostrukturen, wie sie bei Mikrorißbildungen und Ätzvorgängen auftreten, aufgesprüht. Nach dem Trocknen der Lösung zu einer Kopierschicht 2 wird ein Epoxydharz als Stützkörper 3 aufgegossen. Nach dem Abheben des Abdruckrohlings 8, bestehend aus Kopierschicht 2 und Stützkörper 3, wird die Oberfläche des Abdruckrohlings 8 mit Gold bedampft. Fig. 1 shows a schematic cross section through a mold body having an optical film 1, a copying layer 2 and a supporting body 3 made of, for example, epoxy resin. For this purpose, a solution of acetone and cellulose triacetate was sprayed onto a surface with negative microstructures, such as those that occur during microcracking and etching processes. After the solution has dried to form a copying layer 2 , an epoxy resin is poured on as support body 3 . After the impression blank 8, consisting of copying layer 2 and support body 3, has been lifted off, the surface of the impression blank 8 is vapor-coated with gold.

Fig. 2 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Abdruckkörper mit doppelseitiger Kopierschicht 2, wie es für eine Massenfertigung von mikrostrukturierten Datenträgern von Vorteil ist. Dazu wurden zwei scheibenförmige Platten mit positiven (erhabenen) Mikrostrukturen auf ihren Oberflächen mit der Lösung beschichtet und nach dem Trocknen auf eine oberflächig nicht ausgehärtete faserverstärkte Kunststoffscheibe als Stützkörper 3 gepreßt. Nach Abheben der scheibenförmigen Platten mit Mikrostrukturen wurde der Abdruckrohling ausgehärtet und beidseitig mit einer kontraststeigernden optischen Schicht 1 aus Aluminium versehen und anschließend wurde der scheibenförmige Abdruckkörper mit einer Acrylglasschicht als transparente Schutzschicht 4 beidseitig in einem Tauchverfahren geschützt. Fig. 2 shows a schematic cross section through a mold body with double-sided copying layer 2, as for mass production of micro-structured data carriers beneficial. For this purpose, two disk-shaped plates with positive (raised) microstructures were coated on their surfaces with the solution and, after drying, pressed onto a surface-hardened fiber-reinforced plastic disk as a support body 3 . After lifting off the disc-shaped plates with microstructures, the impression blank was hardened and provided on both sides with a contrast-enhancing optical layer 1 made of aluminum and then the disc-shaped impression body was protected on both sides with an acrylic glass layer as a transparent protective layer 4 in an immersion process.

Fig. 3 zeigt einen schematischen Querschnitt durch einen Abdruckkörper mit Abbildung komplexer Mikrostrukturen, wie sie auf komplizierten Oberflächen bei hochbelasteten Bauteilen auftreten können. Die Kopierschicht 2 wurde hier mit einer elastischen Verstärkungslackschicht 5 verdickt und mittels eines doppelt klebenden Kunststoffbandes 6 von der Oberfläche mit komplexen Mikrostrukturen abgehoben und auf einer planen Trägerplatte 7 aufgeklebt. Verstärkungslack 5, doppelt klebendes Kunststoffband 6 und Trägerplatte 7 bilden hier einen mehrschichtigen Stützkörper 3. Auf den Abdruckrohling aus Kopierschicht 2 und Stützkörper 3 wird eine kontrasterhöhende optische Schicht 1 aus Nickel aufgesputtert. FIG. 3 shows a schematic cross section through an impression body with an image of complex microstructures such as can occur on complicated surfaces in the case of highly stressed components. The copying layer 2 was thickened here with an elastic reinforcing lacquer layer 5 and lifted off the surface with complex microstructures by means of a double-adhesive plastic tape 6 and glued to a flat carrier plate 7 . Reinforcing lacquer 5 , double-adhesive plastic tape 6 and carrier plate 7 form a multilayer support body 3 here . A contrast-increasing optical layer 1 made of nickel is sputtered onto the impression blank made of copying layer 2 and support body 3 .

Tabelle 1: Table 1:

Materialien und Auftragsverfahren für eine kontrasterhöhende optische Schicht von 0,01 bis 0,3 µm Dicke Materials and application methods for a contrast-enhancing optical layer with a thickness of 0.01 to 0.3 µm

Claims (16)

1. Abdruckkörper als Träger von Mikrostrukturen, der eine 1-15 µm dicke Kopierschicht und eine darüber liegende, kontraststeigernde, optische Schicht und einen unter der Kopierschicht liegenden und fest mit dieser verbundenen Stützkörper aufweist, wobei die Kopierschicht aus homogenisiertem Cellulosetriacetat besteht, das durch Abkühlen von in Aceton gequollenem Cellulosetriacetat unter den Gefrierpunkt von Aceton und Trocknen der nach Aufheizung gebildeten Lösung erhalten worden ist.1. Impression body as a carrier of microstructures, the one 1-15 µm thick copy layer and an overlying, contrast-enhancing, optical layer and an under the copy layer and firmly connected to it Has support body, the copying layer consists of homogenized cellulose triacetate, which by Cooling of cellulose triacetate swollen in acetone below the freezing point of acetone and drying the after Heating formed solution has been obtained. 2. Abdruckkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Schicht (1) eine Dicke von 0,01 bis 0,3 µm hat.2. impression body according to claim 1, characterized in that the optical layer ( 1 ) has a thickness of 0.01 to 0.3 microns. 3. Abdruckkörper nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (3) plattenförmig, scheibenförmig oder walzenförmig ist und aus einem Duroplast oder einem faserverstärkten Duroplast besteht.3. impression body according to one of claims 1 or 2, characterized in that the support body ( 3 ) is plate-shaped, disc-shaped or roller-shaped and consists of a thermosetting plastic or a fiber-reinforced thermosetting plastic. 4. Abdruckkörper nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (3) schichtförmig ist und aus einem Stützlack besteht. 4. impression body according to one of claims 1 or 2, characterized in that the support body ( 3 ) is layered and consists of a support varnish. 5. Abdruckkörper nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (3) eine Dicke von 0,02 bis 10 mm hat.5. impression body according to one of claims 1 to 4, characterized in that the support body ( 3 ) has a thickness of 0.02 to 10 mm. 6. Abdruckkörper nach einem der Ansprüche 1, 2, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (3) aus einer Stützschicht (5), einem doppelt klebenden oder doppelt adhäsiven Kunststoffband (6) und einer Trägerplatte (7) besteht.6. impression body according to one of claims 1, 2, 4 or 5, characterized in that the support body ( 3 ) consists of a support layer ( 5 ), a double-adhesive or double-adhesive plastic tape ( 6 ) and a carrier plate ( 7 ). 7. Verfahren zur Herstellung eines Abdruckkörpers als Träger von Mikrostrukturen, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte,
  • a) Aufquellen von Cellulosetriacetat in Aceton,
  • b) Abkühlen der erhaltenen Mischung unter den Gefrierpunkt von Aceton und Wiederaufheizen,
  • c) Auftragen der erhaltenen Lösung auf die zu kopierende Oberfläche mit Mikrostruktur,
  • d) Trocknen der Lösung zu einer Kopierschicht (2) auf der zu kopierenden Oberfläche mit Mikrostruktur,
  • e) Bildung eines Abdruckrohlings (8) durch Verstärken der Kopierschicht (2) auf der zu kopierenden Oberfläche mittels Aufbringen eines Stützkörpers (3),
  • f) Abnehmen des Abdruckrohlings (8) von der Oberfläche mit Mikrostruktur,
  • g) Bilden eines Abdruckkörpers durch Aufbringen einer optischen Schicht (1) auf die Mikrostruktur des Abdruckrohlings (8).
7. A process for producing an impression body as a support for microstructures, characterized by the following process steps,
  • a) swelling of cellulose triacetate in acetone,
  • b) cooling the mixture obtained below the freezing point of acetone and reheating it,
  • c) applying the solution obtained to the surface to be copied with a microstructure,
  • d) drying the solution to form a copying layer ( 2 ) on the surface to be copied with a microstructure,
  • e) formation of an impression blank ( 8 ) by strengthening the copying layer ( 2 ) on the surface to be copied by applying a support body ( 3 ),
  • f) removing the impression blank ( 8 ) from the surface with a microstructure,
  • g) forming an impression body by applying an optical layer ( 1 ) to the microstructure of the impression blank ( 8 ).
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischung bei 280 bis 325 K für 0,5 bis 3 Stunden unter Rühren zum Aufquellen gebracht wird.8. The method according to claim 7, characterized in that that the mixture at 280 to 325 K for 0.5 to 3 hours is swelled with stirring. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Mischung abgekühlt wird auf Temperaturen zwischen 77 und 175 K mit anschließendem Wiederaufheizen unter Rühren der flüssigen Phase.9. The method according to any one of claims 7 or 8, characterized characterized in that the mixture is cooled down Temperatures between 77 and 175 K followed by Reheat while stirring the liquid phase. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Abkühlen mit einem verdampfenden Kühlmittel, das einen Siedepunkt zwischen 70 und 90 K hat, durchgeführt wird.10. The method according to any one of claims 7 to 9, characterized characterized in that the cooling with an evaporating Coolant that has a boiling point between 70 and 90 K, is carried out. 11. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß 1 kg Cellulosetriacetat mit 20 l bis 200 l Aceton gemischt wird.11. The method according to any one of claims 7 to 10, characterized characterized in that 1 kg of cellulose triacetate with 20 l to 200 l of acetone is mixed. 12. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst ein Konzentrat der Lösung mit 10 l Aceton und 1 kg Cellulosetriacetat durch Abkühlen der Mischung und Wiederaufheizen hergestellt wird und vor dem Einsatz der Lösung als Kopierschicht (2) dieses Konzentrat verdünnt wird.12. The method according to any one of claims 7 to 11, characterized in that first a concentrate of the solution with 10 l of acetone and 1 kg of cellulose triacetate is produced by cooling the mixture and reheating and diluting this concentrate before using the solution as a copying layer ( 2 ) becomes. 13. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung aufgestrichen, aufgesprüht oder aufgeschleudert wird.13. The method according to any one of claims 7 to 12, characterized characterized in that the solution was spread, sprayed on or spun on. 14. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung nach dem Auftrag bei Temperaturen zwischen 280 und 320 K für 1 bis 30 Sekunden getrocknet wird. 14. The method according to any one of claims 7 to 13, characterized characterized that the solution after the order at Temperatures between 280 and 320 K for 1 to 30 Seconds is dried.   15. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (3) aufgestrichen, aufgesprüht, aufgespachtelt, auflaminiert, aufgegossen, aufgepreßt oder im Spritzgußverfahren aufgetragen wird.15. The method according to any one of claims 7 to 14, characterized in that the support body ( 3 ) is spread, sprayed, filled, laminated, poured on, pressed on or applied by injection molding. 16. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine kontraststeigernde optische Schicht (1) einer Dicke von 0,01 µm bis 0,3 µm aufgesputtert, aufgedampft oder chemisch abgeschieden wird.16. The method according to any one of claims 7 to 15, characterized in that a contrast-increasing optical layer ( 1 ) with a thickness of 0.01 µm to 0.3 µm is sputtered, evaporated or chemically deposited.
DE3823905A 1988-07-14 1988-07-14 Expired DE3823905C1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3823905A DE3823905C1 (en) 1988-07-14 1988-07-14
IT8921083A IT1230045B (en) 1988-07-14 1989-07-04 ELEMENT FOR CALCS AND CALCOGRAPHIC PROCEDURE FOR THE REPRODUCTION OF MICROSTRUCTURES.
GB8915596A GB2221421B (en) 1988-07-14 1989-07-07 Impression substance and method of taking impressions to depict microstructure
FR8909296A FR2635725B1 (en) 1988-07-14 1989-07-11 PRINTING ELEMENT AND PRINTING METHOD FOR COPYING MICROSTRUCTURES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3823905A DE3823905C1 (en) 1988-07-14 1988-07-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3823905C1 true DE3823905C1 (en) 1989-06-29

Family

ID=6358680

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3823905A Expired DE3823905C1 (en) 1988-07-14 1988-07-14

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE3823905C1 (en)
FR (1) FR2635725B1 (en)
GB (1) GB2221421B (en)
IT (1) IT1230045B (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19613383C1 (en) * 1996-04-03 1997-08-28 Flohr Schmitt Evelyn Security hologram die made of plastic hardening while retaining flexibility
WO2018184940A1 (en) * 2017-04-04 2018-10-11 Constantia Hueck Folien Gmbh & Co. Kg Packaging film comprising a partial application of heat-sealing lacquer

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0723986B1 (en) * 1995-01-19 2002-04-24 Fuji Photo Film Co., Ltd. Process for the preparation of cellulose acetate film
EP0723993B1 (en) * 1995-01-19 2002-09-11 Fuji Photo Film Co., Ltd. Cellulose acetate solution and process for the preparation of the same
EP0779321B1 (en) * 1995-12-05 2003-08-06 Fuji Photo Film Co., Ltd. Process for the preparation of a cellulose ester solution
RU2082993C1 (en) * 1996-05-14 1997-06-27 Коммерческий Банк "Альба Альянс" Process for manufacturing microrelief on surface of metals (versions)
US20030185925A1 (en) * 2002-03-29 2003-10-02 Fuji Photo Film Co., Ltd. Cool-dissolving apparatus and heat-dissolving apparatus for producing polymer solution and products thereof

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1226042A (en) * 1968-11-05 1971-03-24

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Metallographische und fraktographische Untersuchungen an Bauteilen, VGB Kraft- werkstechnik, H. 6, 1982, S. 519-524 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19613383C1 (en) * 1996-04-03 1997-08-28 Flohr Schmitt Evelyn Security hologram die made of plastic hardening while retaining flexibility
WO2018184940A1 (en) * 2017-04-04 2018-10-11 Constantia Hueck Folien Gmbh & Co. Kg Packaging film comprising a partial application of heat-sealing lacquer

Also Published As

Publication number Publication date
GB8915596D0 (en) 1989-08-23
FR2635725A1 (en) 1990-03-02
GB2221421B (en) 1992-10-07
IT1230045B (en) 1991-09-27
GB2221421A (en) 1990-02-07
IT8921083A0 (en) 1989-07-04
FR2635725B1 (en) 1995-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69432824T2 (en) Process for producing a color filter and a liquid crystal screen
EP0242655B1 (en) Colour-proofing sheet and production process
DE3131570C2 (en)
EP0008038B1 (en) Process for the preparation of a light-sensitive copying material based on condensation products of diazonium salts
DE2725126A1 (en) MASK CONSTRUCTION FOR X-RAY RADIATION LITHOGRAPHY AND MANUFACTURING PROCESS FOR IT
DE3823905C1 (en)
DE2943379C2 (en)
DE3539201A1 (en) MASK STRUCTURE FOR LITHOGRAPHY, METHOD FOR THEIR PRODUCTION AND LITHOGRAPHY METHOD
DE2855080A1 (en) PROCESS FOR THE MANUFACTURING OF NOZZLE PLATES FOR INKJET PRINTERS
DE19741492A1 (en) Process for the production of microstructure bodies
EP0174588A2 (en) Light-sensitive registration material and process for its production
DE3739801C2 (en) Photosensitive dry flat printing plate
DE3842354A1 (en) METHOD FOR THE LITHOGRAPHIC PRODUCTION OF GALVANIC MOLDABLE MICROSTRUCTURES WITH TRIANGULAR OR KEYSTONE SECTION
DE3019851A1 (en) METHOD FOR PRODUCING A LITHOGRAPHY MASK AND MASK PRODUCED BY SUCH A METHOD
DE3421160A1 (en) Positive-working radiation-sensitive coating solution
DE3433384A1 (en) IMAGE REPLACEMENT MATERIAL AND IMAGE REPRODUCTION MATERIAL
DE3751650T2 (en) Process for the production of a relief structure hardened plastic on a transparent, colored layer
DE3019453A1 (en) A COVER MATERIAL FOR OPTICAL GLASS TO REDUCE THE INTERIOR REFLECTION
DE2626851C3 (en) Process for the production of masks for X-ray lithography
DE4110057A1 (en) METHOD FOR PRODUCING A MULTICOLOR TEST IMAGE AND RADIO-SENSITIVE RECORDING MATERIAL FOR THIS
DE3335171A1 (en) DOUBLE DEFORMING METHOD FOR PRODUCING SEPARATING NOZZLE STRUCTURES
DE60101744T2 (en) A method of manufacturing a substrate suitable for a matrix manufacturing method and a substrate obtained by the method
DE69123658T2 (en) Resin composition for imaging
EP0926480A2 (en) Device for handling samples for the membrane supported microdissection
DE2061287B2 (en) Process for the production of depth-variable intaglio printing forms

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee