DE3719735A1

DE3719735A1 - Gas-tight furnace, in particular vacuum furnace

Info

Publication number: DE3719735A1
Application number: DE19873719735
Authority: DE
Inventors: Hans-Peter Winkelkoetter
Original assignee: PLASMATEC METALLBESCHICHTUNGS
Current assignee: PLASMATEC METALLBESCHICHTUNGS
Priority date: 1987-06-12
Filing date: 1987-06-12
Publication date: 1988-12-29

Abstract

A gas-tight furnace, in particular a vacuum furnace, has a hood-shaped upper section and a bottom that each possess an essentially elliptical or circular coupling flange. The coupling flanges face one another, and can be sealed together gas-tight due to a circumferential seal. Each coupling flange is formed by two essentially concentric tubes which are permanently connected, for example by welding.

Description

Die Erfindung betrifft einen gasdichten Ofen, insbesondere Vakuumofen, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.The invention relates to a gas-tight furnace, in particular Vacuum furnace, according to the preamble of claim 1.

Gasdichte Öfen oder Vakuumöfen gemäß dem Oberbegriff des Patent anspruchs 1 sind bekannt. Solche Öfen bestehen aus einem hauben förmigen Oberteil und einem Boden, wobei die einander zugewandten Enden von Oberteil und Boden Anschlußflansche bilden und durch eine zwischenliegende Dichtung gasdicht verschließbar sind. Bei derartigen gasdichten Öfen, die z.B. zu Härtungszwecken unter einem Vakuum bei sehr hohen Temperaturen von beispielsweise 600°C betrieben werden, hat das haubenförmige Oberteil wie auch der Boden die Form eines Kühlmantels, der zur Vermeidung einer zu hohen Temperaturabstrahlung von einer Kühlflüssigkeit durchströmt wird. Diese Art der Kühlung hat nachteiligerweise sehr geringen Einfluß auf die Wärme, die auf die Dichtung zwischen den beiden Anschlußflanschen einwirkt. Die Anschlußflansche bestehen hierbei aus kompakten Stahlringen. Dies führt dazu, daß die Dichtung schnell altert und/oder ihre Dichtfunktion aufgibt. Gibt die Dichtung ihre Dichtfunktion während des Betriebs des Ofens auf, so kann dies zur Zerstörung des Ofens führen.Gas-tight furnaces or vacuum furnaces according to the preamble of the patent claims 1 are known. Such ovens consist of a hood shaped top and a bottom, facing each other Form ends of upper part and bottom connecting flanges and through an intermediate seal can be closed gas-tight. At such gas-tight furnaces, e.g. for hardening purposes under a vacuum at very high temperatures of, for example, 600 ° C operated, the hood-shaped top has as well Bottom the shape of a cooling jacket, which is used to avoid one too high temperature radiation flows through a coolant becomes. This type of cooling disadvantageously has very little Influence on the heat affecting the seal between the two Connection flanges acts. The connection flanges exist here made of compact steel rings. This causes the seal ages quickly and / or gives up its sealing function. Give the Seal their sealing function during the operation of the furnace, this can lead to the destruction of the furnace.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen gasdichten Ofen der eingangs genannten Art derart auszubilden, daß die vom Ofeninneren ausgehende und die Dichtung zwischen den Anschluß flanschen beaufschlagende Wärmeeinwirkung steuerbar bzw. regelbar herabgesetzt wird.The invention has for its object a gas-tight furnace of the type mentioned in such a way that the from Outgoing furnace interior and the seal between the connection flanges can be controlled or regulated by the action of heat is reduced.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.This object is achieved by the characterizing Part of claim 1 specified features solved.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.Further refinements of the invention result from the Subclaims.

Die Erfindung schafft einen gasdichten Ofen, insbesondere Vakuumofen, bei dem jeder Anschlußflansch durch zwei konzentri sche Rohre gebildet wird, die vom Kühlmedium durchflossen werden. Somit wird die vom Ofeninneren auf die Anschlußflansche wirkende Hitze an einem Übergang zu der zwischen den Anschlußflanschen liegenden Dichtung weitgehend gehindert. Dadurch wird eine lange Lebensdauer der zwischen den Anschlußflanschen eingesetzten Dichtung erreicht, ferner können Dichtungen z.B. aus polymerem Kunststoff mit mehr oder weniger Elastizität Einsatz finden, die eine optimale Dichtheit gewährleisten und keine hohe Temperatur beständigkeit besitzen müssen.The invention provides a gas-tight furnace, in particular Vacuum furnace, in which each connection flange by two concentric cal pipes are formed, through which the cooling medium flows. Thus, the one acting from the inside of the furnace on the connecting flanges Heat at a transition to that between the connection flanges lying seal largely prevented. This will be a long one Lifetime of the used between the connecting flanges Seal reached, seals can e.g. made of polymer Plastic with more or less elasticity are used ensure optimal tightness and no high temperature have to be stable.

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen des gasdichten Ofens anhand der Zeichnung zur Erläuterung weiterer Merkmale beschrieben. Es zeigen:The following are preferred embodiments of the gas-tight Oven based on the drawing to explain other features described. Show it:

Fig. 1 eine Prinzipdarstellung eines gasdichten Ofens, Fig. 1 is a schematic representation of a gas-tight furnace,

Fig. 2 eine Teilschnittansicht der Anschlußflansche entspre chend dem strichpunktierten Ausschnitt in Fig. 1, und Fig. 2 is a partial sectional view of the connecting flanges accordingly the dash-dotted section in Fig. 1, and

Fig. 3 eine Schnittansicht entlang der Linie A-A′ in Fig. 2. Fig. 3 is a sectional view taken along line AA ' in Fig. 2nd

In Fig. 1 ist ein gasdichter Ofen, insbesondere Vakuumofen 1, in vertikaler Schnittansicht dargestellt. Der Ofen besteht aus einem haubenförmigen adaptierbaren Oberteil 2 und einem Boden 3 (Klöpperboden). Ein derartiger Vakuumofen findet beispielsweise Einsatz als Härteofen, zu welchem Zweck das Oberteil 2 gegenüber dem Unterteil 3 abhebbar ist, um auf einer nicht gezeigten Plattform, die auf dem Boden 3 angeordnet ist, die zu härtende Charge ein- und wieder auszubringen. Nach dem Einbringen der zu härtenden Charge wird das Oberteil 2 auf den Boden 3 aufgesetzt, wobei die einander zugewandten Enden oder Ränder des Oberteils 2 einerseits und des Bodens 3 andererseits jeweils einen Anschluß flansch 6, 7 bilden, zwischen welchen ein Dichtungsring 14 liegt, so daß nach Anlegen eines Vakuums über eine mit 5 bezeichnete Vakuumleitung eine gasdichte Verbindung zwischen dem Oberteil 2 und dem Boden 3 im Bereich der Anschlußflansche 6, 7 hervorgeru fen wird. Der Anschlußflansch 6 befindet sich am unteren Ende der Haube 2, der Anschlußflansch 7 am zum Oberteil 2 weisenden Ende des Bodens 3. Im Falle eines Härteofens bildet der Boden 3 eine Aufnahme für eine Kathode bzw. Anode, wie dies allgemein bekannt ist.In Fig. 1 is a gas-tight furnace, in particular vacuum oven 1, shown in vertical sectional view. The furnace consists of a hood-shaped adaptable upper part 2 and a bottom 3 (dished bottom). Such a vacuum furnace is used, for example, as a hardening furnace, for which purpose the upper part 2 can be lifted off from the lower part 3 in order to introduce and discharge the batch to be hardened on a platform (not shown ) which is arranged on the floor 3 . After introducing the batch to be hardened, the upper part 2 is placed on the bottom 3 , the mutually facing ends or edges of the upper part 2 on the one hand and the bottom 3 on the other hand each forming a connection flange 6 , 7 , between which a sealing ring 14 lies, so that after applying a vacuum via a vacuum line designated 5 , a gas-tight connection between the upper part 2 and the bottom 3 in the area of the connecting flanges 6 , 7 is produced. The connecting flange 6 is located at the lower end of the hood 2 , the connecting flange 7 at the end of the base 3 facing the upper part 2 . In the case of a hardening furnace, the base 3 forms a receptacle for a cathode or anode, as is generally known.

Das Oberteil 2 wie auch der Boden 3 sind als Kühlmäntel ausge bildet und werden mit einer Kühlflüssigkeit beschickt. Der Verlauf der in den Kühlmänteln angeordneten Kühlleitungen wird nachfolgend nicht weiter beschrieben.The upper part 2 and the bottom 3 are formed as cooling jackets and are charged with a cooling liquid. The course of the cooling lines arranged in the cooling jackets is not described further below.

Wie aus Fig. 1 hervorgeht, befindet sich an der beispielsweise mittigen unteren Stelle des Bodens 3 ein Anschlußstutzen 4 zur Vakuumleitung 5. Am Oberteil 2 können je nach Bedarf weitere Anschlüsse oder Verbindungsflansche vorgesehen sein, wie dies in Fig. 1 durch die Bezugszeichen 8 und 9 angedeutet ist. Der in Fig. 1 gezeigte Ofen hat im wesentlichen die Form eines Zylin ders, d.h. kreisförmigen Querschnitt, kann jedoch auch ellipti schen oder anderen im wesentlichen vier- oder sechseckigen Querschnitt mit abgerundeten Ecken aufweisen.As can be seen from FIG. 1, there is a connecting piece 4 to the vacuum line 5 at the bottom 3 of the bottom 3, for example in the middle. Depending on requirements, further connections or connecting flanges can be provided on the upper part 2 , as is indicated in FIG. 1 by the reference numerals 8 and 9 . The furnace shown in Fig. 1 has substantially the shape of a cylinder, ie circular cross section, but may also have elliptical or other substantially quadrangular or hexagonal cross section with rounded corners.

Im folgenden werden die in Fig. 1 mit 6 und 7 bezeichneten Anschlußflansche näher erläutert. Fig. 2 zeigt eine vertikale Schnittansicht des das untere Ende des Oberteils 2 bildenden Anschlußflansches 6 in Zuordnung zu dem Anschlußflansch 7, der an dem zum Oberteil 2 weisenden Ende oder Rand des Bodens 3 ausge bildet ist. Jeder Anschlußflansch 6 bzw. 7 besteht aus zwei zueinander konzentrischen Rohren 6 a, 6 b bzw. 7 a, 7 b, von denen die Rohre 6 a, 7 a das jeweils äußere Rohr und die Rohre 6 b, 7 b das jeweils innere Rohr darstellen. Das innere und äußere Rohr 6 b, 6 a bzw. 7 b, 7 a sind fest miteinander verbunden, z.B. durch Ver schweißen. An der nach oben weisenden Mantelfläche der Rohre 6 a, 6 b ist jeweils ein Mantelblech 8, 9 angeschweißt, welche die Mantelkammer des Oberteils 2 definieren. An den nach unten weisenden Mantelflächen der Rohre 7 a, 7 b sind in gleicher Weise Bleche 11, 12 angeschweißt, welche die Bodenkammer festlegen. Die Mantelkammer sowie die Bodenkammer dienen zur Führung von Kühlwasser, das vorzugsweise spiralförmig, z.B. mittels nicht dargestellter Leitungen, durch die jeweilige Kammer geführt wird. Die beiden Rohre 6 a, 6 b bilden damit ein konzentrisches Rohrpaar, ebenso wie die Rohre 7 a, 7 b. Die Rohrpaare 6 a, 6 b einerseits und 7 a, 7 b andererseits werden zum gasdichten Verschluß von Oberteil 2 und Boden 3 in der in Fig. 2 gezeigten Weise aufeinandergesetzt und schließen zwischen sich eine Dichtung 14 ein, vorzugsweise eine Runddichtung aus einem polymeren Kunststoff gewünschter Elastizität. Durch den über die Vakuumleitung 5 und den An schlußstutzen 4 erzeugten Unterdruck wird im Bereich der be schriebenen Anschlußflansche 6, 7 aufgrund der Dichtung 14 ein gasdichter Verschluß sichergestellt. Die Rohre 6 a, 6 b bzw. 7 a, 7 b legen zwischen sich jeweils eine kreissegmentförmige Aussparung fest, die zur Aufnahme der Dichtung 14 dient, wie aus Fig. 2 ersichtlich ist.In the following, the connecting flanges designated 6 and 7 in FIG. 1 are explained in more detail. Fig. 2 shows a vertical sectional view of the lower end of the upper part 2 forming the connecting flange 6 in association with the connecting flange 7 , which is formed on the end or edge of the bottom 3 facing the upper part 2 . Each connecting flange 6 and 7 consists of two mutually concentric tubes 6 a , 6 b and 7 a , 7 b , of which the tubes 6 a , 7 a the respective outer tube and the tubes 6 b , 7 b the respective inner tube represent. The inner and outer tube 6 b , 6 a and 7 b , 7 a are firmly connected, for example by welding. A jacket sheet 8 , 9 , which define the jacket chamber of the upper part 2 , is welded to the jacket surface 6 a , 6 b facing upwards. Sheets 11 , 12 , which define the bottom chamber, are welded in the same way to the jacket surfaces 7 a , 7 b facing downward. The jacket chamber and the bottom chamber serve to guide cooling water, which is preferably routed spirally through the respective chamber, for example by means of lines (not shown). The two tubes 6 a , 6 b thus form a concentric pair of tubes, just like the tubes 7 a , 7 b . The pipe pairs 6 a , 6 b on the one hand and 7 a, 7 b on the other hand are placed on top of one another for the gas-tight closure of the upper part 2 and the bottom 3 in the manner shown in FIG. 2 and include between them a seal 14 , preferably a round seal made of a polymeric plastic desired elasticity. Due to the vacuum line 5 and the connection piece 4 generated under pressure is ensured in the area of the described connection flanges 6 , 7 due to the seal 14, a gas-tight closure. The tubes 6 a , 6 b and 7 a , 7 b each define a circular segment-shaped recess between them, which serves to receive the seal 14 , as can be seen from FIG. 2.

Bei der in Fig. 2 dargestellten Ausführungsform definieren die beiden aneinander anliegenden Anschlußflansche 6, 7 mit Quer schnitt einen sternförmigen Hohlraum zur Aufnahme der Dichtung 14. Die Dichtung 14, vorzugsweise in Form Rundschnurdichtringes, hat eine gegenüber der Querschnittsfläche des Hohlraumes größere Querschnittsfläche.In the embodiment shown in FIG. 2, the two abutting connection flanges 6 , 7 define a star-shaped cavity with a cross section for receiving the seal 14 . The seal 14 , preferably in the form of a round cord sealing ring, has a larger cross-sectional area than the cross-sectional area of the cavity.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die beiden Rohre 6 a, 6 b bzw. 7 a, 7 b über einen Teil ihrer Außenwandung auf der zu den jeweiligen Blechen 8, 9 bzw. 11, 12 abgewandten Seite abgeflacht, so daß eine großflächigere Auflage der gegeneinander in Anlage bringbaren Rohre 6 a, 7 a bzw. 6 b, 7 b erhalten wird, wie dies in Fig. 2 dargestellt ist. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform dienen die inneren Rohre 6 b, 7 b als Vorlauf und die äußeren Rohre 6 a, 7 a als Rücklauf, wodurch die Kühlflüssigkeit mit der niedri gen Temperatur entlang der Innenseite des Ofens 1 zirkuliert, bevor es über einen Kanal 16 bzw. 17 in das äußere Rohr 6 a bzw. 7 a geführt wird, um dort nochmals um den Ofen herumgeführt zu werden. Auf diese Weise wird erreicht, daß die vom Ofen auf die Dichtung 14 wirkende Hitze zuerst durch die als Vorlauf fungie renden Rohre 6 b, 7 b abgekühlt bzw. abgeblockt wird und damit praktisch keinen Einfluß auf die Konsistenz der Dichtung 14 ausübt.According to a preferred embodiment, the two tubes 6 a , 6 b and 7 a , 7 b are flattened over part of their outer wall on the side facing away from the respective sheets 8 , 9 and 11 , 12 , so that a larger area of support against each other pipes 6 a , 7 a and 6 b , 7 b can be obtained, as shown in FIG. 2. According to a preferred embodiment, the inner tubes 6 b , 7 b serve as a flow and the outer tubes 6 a , 7 a as a return, whereby the cooling liquid with the low temperature circulates along the inside of the furnace 1 before it via a channel 16 or 17 is guided into the outer tube 6 a or 7 a , in order to be guided around the furnace there again. In this way it is achieved that the heat acting on the seal 14 from the furnace is first cooled or blocked by the pipes 6 b , 7 b acting as a flow and practically has no influence on the consistency of the seal 14 .

Einzelheiten einer bevorzugten Kühlungsanordnung in Verbindung mit den konzentrischen Rohren sind in Fig. 3 gezeigt. Eine entsprechende Anordnung ergibt sich für die in Fig. 3 nicht dargestellten Rohre 7 a, 7 b. Nach Fig. 3 ist ein Anschlußrohr 18, z.B. in Form eines Rohres, von der Seite her auf das Rohr 6 a aufgesetzt oder in eine entsprechende Öffnung eingesetzt. Konzentrisch zu der das Anschlußrohr 18 aufnehmenden Öffnung 19 befindet sich innerhalb des Rohres 6 a eine Trennwand 20, an die sich weitere Öffnungen 21, 22 in dem nach innen weisenden Wandab schnitt 23 des Rohres 6 a und dem nach außen weisenden Wandab schnitt 24 des Rohres 6 b anschließen, wodurch ein Durchströmungs kanal zwischen dem Anschlußrohr 18 durch das Rohr 6 a hindurch zum Rohr 6 b geschaffen wird, (Fig. 3). Eine Trennwand 25 im Rohr 6 b ermöglicht eine Trennung der Vorlaufströmung derart, daß die Kühlflüssigkeit aus der Öffnung 22 in das Rohr 6 b eintritt und entsprechend einem Pfeil 26 in Fig. 3 nach oben geführt wird, so daß es nach Zirkulation im Rohr 6 b nahe der Trennwand 25 entspre chend dem Pfeil 27 zurückkommt und durch eine Öffnung bzw. einen Kanal 29 in das Rohr 6 a umgeleitet wird und dort in Richtung eines Pfeiles 30 strömt. Die Kühlflüssigkeit gelangt schließlich an der mit 31 bezeichneten Stelle im Rohr 6 a zurück und wird dort über einen Rücklaufanschluß 33 aus dem Rohr 6 a herausgeführt und/oder wird in einen Zulauf 35 zur Mantelkammer des Oberteils 2 geleitet. Die Zulauföffnung 35 ist in Fig. 2 gestrichelt einge tragen und hat beispielsweise die Form einer Bohrung durch die Rohrwandung des Rohres 6 a, wobei diese Bohrung von dem Rohr 6 a gemäß Fig. 2 in den zwischen den beiden Mantelblechen 8, 9 festgelegten Raum gerichtet ist. Das bedeutet, daß die Bohrung 35 unter einem Winkel von beispielsweise 45° gegenüber der durch die beiden konzentrischen Rohre 6 a, 6 b festgelegten Ebene geneigt ist.Details of a preferred cooling arrangement in connection with the concentric tubes are shown in FIG. 3. A corresponding arrangement results for the tubes 7 a , 7 b not shown in FIG. 3. According to FIG. 3, a connecting pipe 18 , for example in the form of a pipe, is placed on the pipe 6 a from the side or inserted into a corresponding opening. Concentric to the connecting tube 18 receiving opening 19 is within the tube 6 a, a partition 20 to which there are further openings 21 , 22 in the inwardly facing wall section 23 of the tube 6 a and the outwardly facing wall section 24 of the tube 6 b connect, creating a flow channel between the connecting pipe 18 through the pipe 6 a to the pipe 6 b , ( Fig. 3). A partition 25 in the tube 6 b enables a separation of the feed flow in such a way that the cooling liquid enters the tube 6 b from the opening 22 and is guided upwards according to an arrow 26 in FIG. 3, so that it is circulated in the tube 6 b near the partition 25 accordingly the arrow 27 comes back and is diverted through an opening or a channel 29 into the tube 6 a and flows there in the direction of an arrow 30 . The cooling fluid finally reaches the designated position in the pipe 31 a back 6 and is guided out there via a return connection 33 from the pipe 6 a and / or is introduced into an inlet chamber 35 to the jacket of the upper part. 2 The inlet opening 35 is shown in dashed lines in FIG. 2 and has, for example, the shape of a bore through the tube wall of the tube 6 a , this bore being directed from the tube 6 a according to FIG. 2 into the space defined between the two jacket sheets 8 , 9 is. This means that the bore 35 is inclined at an angle of, for example, 45 ° to the plane defined by the two concentric tubes 6 a , 6 b .

Eine im wesentlichen mit der in Verbindung mit Fig. 3 beschriebe nen Ausbildung der Kühlleitungen einschließlich der Vorlauf- und Rücklaufanschlüsse übereinstimmende Anordnung wird bezüglich der unteren konzentrischen Rohre 7 a, 7 b vorgesehen. Die der Durch lauföffnung 35 entsprechende Durchlauföffnung im Rohr 7 a ist in Fig. 2 mit 35 a bezeichnet und führt in den durch den Klöpperboden bzw. die Bleche 11, 12 definierten Bodenraum. Die mit der Durchlauföffnung 35 a im Boden 3 verbundenen Kühlleitungen sind in Fig. 1 und 2 nicht weiter dargestellt.A substantially with the in connection with Fig. 3 NEN formation of the cooling lines including the flow and return connections matching arrangement is provided with respect to the lower concentric tubes 7 a , 7 b . The passage opening corresponding to the passage opening 35 in the tube 7 a is designated 35 a in FIG. 2 and leads into the floor space defined by the dished end or the plates 11 , 12 . The cooling lines connected to the through opening 35 a in the floor 3 are not shown in FIGS. 1 and 2.

Dadurch, daß bei der dargestellten Anordnung der Vorlaufanschluß 18 zum inneren Rohr 6 b führt und damit das innere Rohr 6 b mit einer Kühlflüssigkeit niedriger Temperatur beschickt wird, worauf die Kühlflüssigkeit durch das äußere Rohr 6 a zirkuliert, wird si chergestellt, daß die Dichtung 14 vor einem starken Aufheizen oder einer Überhitzung geschützt wird, da das Rohr 6 b zusammen mit dem darunter befindlichen Rohr 7 b eine Schutzwandung gegenüber den von dem Ofeninneren ausstrahlenden Temperaturen darstellt. Im Betriebszustand des Ofens 1 ist damit die Dichtung 14 durch die Rohrpaare 6 a, 6 b, 7 a, 7 b eingeschlossen und es wird eine direkte Wärmeeinstrahlung auf die Dichtung 14 durch diese Rohrpaare verhindert. Die Öffnungen 19, 21, 22 in den Rohrwandun gen werden vorzugsweise durch Bohren hergestellt. Die in Fig. 3 mit 20 bezeichnete Trennwand hat kreisringförmigen Querschnitt und steht dicht mit der Rohrwand des Rohres 6 a in Verbindung. Die Trennwand 25 hat dagegen kreisförmigen Querschnitt und dient dazu, die Kühlflüssigkeit in der durch den Pfeil 26 bezeichneten Richtung zu leiten, um schließlich einen Austritt aus dem Rohr 6 b durch die Öffnung 36 in das äußere Rohr 6 a zu ermöglichen. Eine zu der Bohrung 36 in Flucht liegende Ablaßmuffe 38 mit einem Verschlußorgan 39 dient dazu, die in dem Kühlflüssigkeitskreis enthaltene Kühlflüssigkeit im Bedarfsfall ablassen zu können. Außerdem wurde die Bohrung 36 mit Hilfe des Durchganges durch die Ablaßmuffe 36 gebohrt.Characterized in that in the arrangement shown the lead 18 leads to the inner tube 6 b and thus the inner tube 6 b is charged with a coolant of low temperature, whereupon the coolant circulates through the outer tube 6 a , si is ensured that the seal 14th is protected against excessive heating or overheating, since the tube 6 b together with the tube 7 b located underneath it constitutes a protective wall against the temperatures radiating from the interior of the furnace. In the operating state of the furnace 1 , the seal 14 is thus enclosed by the pipe pairs 6 a , 6 b , 7 a , 7 b and direct heat radiation on the seal 14 is prevented by these pipe pairs. The openings 19 , 21 , 22 in the Rohrwandun gene are preferably made by drilling. The partition 20 designated in FIG. 3 has an annular cross section and is tightly connected to the tube wall of the tube 6 a . The partition 25 , however, has a circular cross-section and serves to guide the cooling liquid in the direction indicated by the arrow 26 in order to finally allow an exit from the tube 6 b through the opening 36 into the outer tube 6 a . A drain sleeve 38 , which is in alignment with the bore 36 , with a closure member 39 serves to drain the cooling liquid contained in the cooling liquid circuit if necessary. In addition, the bore 36 was drilled with the passage through the drain sleeve 36 .

Wenngleich es zweckmäßig und vorteilhaft ist, den Vorlaufanschluß direkt mit dem inneren Rohr 6 b zu verbinden, kann auch ein anderer Kühlflüssigkeitsverlauf vorgesehen sein, falls dies erwünscht ist. Anstelle einer Kühlflüssigkeit können zur Kühlung auch Gase eingesetzt werden. Although it is expedient and advantageous to connect the flow connection directly to the inner tube 6 b , a different coolant flow can also be provided if this is desired. Instead of a cooling liquid, gases can also be used for cooling.

Der in den Zeichnungen dargestellte Ofen entspricht einer Ausführungsform mit einem Innendurchmesser von ca. 180 cm bei einer Höhe des Oberteils von 250 cm. Eine Härtung erfolgt unter Vakuum bei einer Temperatur von beispielsweise 600°C. Die durch das Oberteil 2 fließende Kühlflüssigkeit, vorzugsweise Wasser, steht unter einem Druck.The furnace shown in the drawings corresponds to an embodiment with an inner diameter of approximately 180 cm and a height of the upper part of 250 cm. Curing takes place under vacuum at a temperature of, for example, 600 ° C. The cooling liquid, preferably water, flowing through the upper part 2 is under pressure.

Normalerweise reicht der im Ofen vorliegende Unterdruck aus, um die beiden Flansche 6, 7 unter Einschluß der Dichtung 14 gemäß Fig. 2 in gasdichter Verbindung zu halten. Hierbei drücken die Rohre 6 a, 6 b und 7 a, 7 b auf die Dichtung 14, die entsprechend deformiert wird und den gasdichten Abschluß gewährleistet. Im Bedarfsfall kann es aber zweckmäßig sein, diese gasdichte Verbindung durch Spannpratzen zu sichern, welche zumindest die beiden äußeren Rohre 6 b, 7 b übergreift, wie dies in Fig. 2 gestrichelt angedeutet und durch das Bezugszeichen 40 dargestellt ist.Normally, the negative pressure present in the furnace is sufficient to hold the two flanges 6 , 7 in a gas-tight connection, including the seal 14 according to FIG. 2. Here, the tubes 6 a , 6 b and 7 a , 7 b press on the seal 14 , which is deformed accordingly and ensures the gas-tight seal. But if necessary, it may be desirable to secure these gas-tight connection by clamps which b at least the two outer tubes 6, 7 b overlaps, as indicated by dashed lines in Fig. 2 and represented by reference numeral 40.

Claims

1. Gas-tight furnace, in particular vacuum furnace, consisting of a hood-shaped upper part ( 2 ) and a bottom ( 3 ), each of which has an essentially elliptical or circular connecting flange ( 6 , 7 ), the two connecting flanges ( 6 , 7 ) facing each other directed and can be closed gas-tight with each other by a circumferential seal ( 14 ), characterized in that each connecting flange ( 6 , 7 ) is formed by two essentially concentric tubes ( 6 a , 6 b , 7 a , 7 b ) which, for example are firmly connected by welding.

2. Oven according to claim 1, characterized in that the two concentric tubes ( 6 a , 6 b , 7 a , 7 b ) define a recess for receiving the seal ( 14 ).

3. Furnace according to claim 1 or 2, characterized in that in each case the inner tube ( 6 b , 7 b ) of a concentric pair of tubes ( 6 a , 6 b or 7 a , 7 b ) as a feed line and the outer tube ( 6 a , 7 a ) is provided as a return line.

4. Oven according to one of claims 1 to 3, characterized in that the outer tube ( 6 a , 7 a ) has a passage ( 35 , 35 a ) to a jacket or bottom chamber ( 8 , 9 or 11 , 12th ) of the oven.

5. Oven according to one of the preceding claims, characterized in that the outer tube ( 6 a , 7 a ) has a flow and a return connection ( 18 , 33 ), and that between the flow connection ( 18 ) and the inner tube ( 6 b and 7 b) a through the outer tube ( 6 a and 7 a ) Durchge going channel ( 20 ) is provided.

6. Oven according to one of the preceding claims, characterized in that on the inner and outer tube ( 6 b , 6 a and 7 b , 7 a ) forming the shell of the upper part ( 2 ) or the bottom ( 3 ) of the furnace Walls ( 8 , 9 , 11 , 12 ) are attached.

7. Oven according to one of the preceding claims, characterized in that the two concentric tubes ( 6 a , 6 b and 7 a, 7 b) are flattened on their side facing the opposite connection flange.