DE3713057A1

DE3713057A1 - Method of starting and of carrying out a plasma treatment, and plasma-treatment apparatus

Info

Publication number: DE3713057A1
Application number: DE19873713057
Authority: DE
Inventors: Etsuo Nakano; Akira Furujo; Tetsuya Iizuka
Original assignee: Koike Sanso Kogyo Co Ltd; Koike Sanso Kogyo KK
Current assignee: Koike Sanso Kogyo Co Ltd; Koike Sanso Kogyo KK
Priority date: 1986-04-18
Filing date: 1987-04-16
Publication date: 1987-10-22

Abstract

The invention relates to a plasma-treatment apparatus with which a satisfactory arc can be obtained, and to a treatment method which is carried out by means of this plasma-treatment apparatus. The plasma-treatment apparatus is appropriately designed in order to change an electric current or a voltage at the starting moment with a definite period at a fixed moment so that a plasma-energy source, which can control an electric current or a voltage which is applied to a plasma-welding device, an electrode and a nozzle are connected by electrification in the plasma-welding device. In the method of carrying out a plasma treatment by means of a plasma-treatment apparatus, there is a ratio of hydrogen to argon of around 5 to 20% by volume, and furthermore a frequency of an electric plasma current is controlled in the range of 10 to 30 kHz so that a plasma gas is regarded as a mixed gas of hydrogen and argon.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Starten sowie zum Durchführen einer Plasmabehandlung und eine Plasmabe handlungseinrichtung mit welcher ein zufriedenstellender Plasmalichtbogen erhalten werden kann, damit der Start der Plasmabehandlung bezüglich des Plasmaschneidens oder -schwei ßens u.ä. glatt durchgegeführt wird.The invention relates to a method for starting and Perform a plasma treatment and a plasma treatment action facility with which a satisfactory Plasma arc can be obtained for the start of the Plasma treatment related to plasma cutting or welding ßens etc. is carried out smoothly.

Um den Start einer Plasmabehandlung zu stabilisieren, wird bisher eine größere Menge eines Gasstromes oder ein größerer Druck als ein festgelegter numerischer Wert, der mit Hilfe eines hohen elektrischen Stroms oder einer hohen Spannung für eine Elektrode eines Plasmaschweißgeräts geschaffen ist, beispielsweise am Startzeitpunkt verwendet oder die Plasmaverarbeitung wird gestartet, während ein Gas und eine Elektrisierung dadurch gesteuert werden, daß ein Wickel bzw. Pack einer negativen Elektrode zwischen einer Elektrode des Plasmaschweißbrenners und einer Düse angeordnet werden; in dem üblichen Schweißgerät ergeben sich jedoch Fehler, wel che die Lebensdauer der Elektrode und der Düse beträchtlich verkürzen, wenn ein hoher Strom oder eine hohe Spannung ver wendet werden, oder der Aufbau der Einrichtung wird kompli ziert, die Einrichtung brennt durch, und die Kosten werden hoch u.ä., wenn ein Wickel der elektrischen Elektrode vor gesehen wird.To stabilize the start of a plasma treatment, previously a larger amount of a gas stream or a larger one Pressure as a specified numerical value that is obtained using high electrical current or voltage created for an electrode of a plasma welding device is used, for example, at the start time or the Plasma processing is started during one gas and one Electrification can be controlled in that a winding or Pack a negative electrode between one of the electrodes Plasma welding torch and a nozzle can be arranged; in the usual welding machine, however, there are errors, wel che the life of the electrode and the nozzle considerably shorten when a high current or a high voltage ver be used, or the structure of the facility will be complicated adorns, the facility blows, and the cost high and the like if there is a winding of the electrical electrode is seen.

Wenn die Plasmabehandlung mittels der gebräuchlichen Plas mabehandlungseinrichtung durchgeführt wird, ändern sich mehrere Voraussetzungen, wie der elektrische Plasmastrom, des elektrischen Plasmagasstroms, das Mischverhältnis des Plasmagases, die Bohrung einer Ausstoßdüse für den Plasma lichtbogen, lediglich in einem gewissen Grad und dann be endet eine Frequenz des elektrischen Plasmastroms ein Än dern; folglich ergeben sich Fehler, da der Plasmalichtbo gen instationär wird, aufgrund der Tatsache, daß eine Länge des Plasmalichtbogens sich beim Ausrichten dehnt oder we niger zunimmt und somit einen schlechten Einfluß auf die Bearbeitung hat.If the plasma treatment using the usual Plas MA treatment facility is carried out change several prerequisites, such as the electrical plasma flow, of the electric plasma gas flow, the mixing ratio of the Plasma gas, the bore of an ejection nozzle for the plasma arc, only to a certain degree and then be a frequency of the electric plasma current ends an enn otherwise; consequently errors arise because the plasma light bo gene becomes transient due to the fact that a length of the plasma arc expands or aligns when aligned niger increases and thus a bad influence on the Editing.

Ziel der Erfindung es es daher, daß die vorerwähnten, übli chen Fehler grundsätzlich verbessert werden, und daß ins besondere eine Plasmabehandlungseinrichtung geschaffen wer den kann, mit welcher eine Plasmabehandlung hoher Güte er halten werden kann, indem ein langer Plasmalichtbogen be ständig erhalten wird und eine Frequenz des elektrischen Plasmastroms bei der anschließenden Plasmabehandlung in einem ganz bestimmten Bereich fest gesteuert wird, wobei gleichzeitig der Start der Plasmabehandlung und ein Bearbei tungsverfahren mit Hilfe der Plasmabehandlungseinrichtung stabilisiert sind. Gemäß der Erfindung ist dies bei einer Plasmabehandlungseinrichtung durch die Merkmale im kenn zeichnenden Teil des Anspruchs 2 erreicht, während die Ver fahrensschritte zum Starten sowie zum Durchführen einer Plasmabearbeitung oder -behandlung in den Ansprüchen 1 bzw. 3 im einzelnen angegeben sind.The aim of the invention it is therefore that the aforementioned, übli Chen errors are fundamentally improved, and that ins special who created a plasma treatment facility can with which a plasma treatment of high quality can be held by a long plasma arc is constantly maintained and a frequency of electrical Plasma current during the subsequent plasma treatment in a very specific area is firmly controlled, whereby at the same time the start of the plasma treatment and processing processing using the plasma treatment facility are stabilized. According to the invention, this is a Plasma treatment device by the features in the kenn drawing part of claim 2 achieved while the Ver steps to start and to carry out a Plasma processing or treatment in claims 1 and 3 are specified in detail.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von bevorzugten Aus führungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenen Zeich nungen im einzelnen erläutert. Es zeigen:The invention based on preferred from management forms with reference to the attached drawing explained in detail. Show it:

Fig. 1 eine Außenansicht einer Plasmabehandlungs einrichtung gemäß der Erfindung; Fig. 1 is an external view of a plasma treatment device according to the invention;

Fig. 2 eine Schnittansicht eines Hauptteils eines Plasmaschweißgeräts in der Plasmabehandlungs einrichtung; Fig. 2 is a sectional view of a main part of a plasma welding device in the plasma treatment device;

Fig. 3(A) bis (C) zur Erläuterung eine Folge, in welcher elek trisch leitendes Material behandelt wird; Fig. 3 (A) to (C) for explanation of a sequence in which elec trically conductive material is treated;

Fig. 4(A) und (B) zur Erläuterung eine Folge, in welcher nichtleitendes Material bearbeitet wird, und Fig. 4 (A) and (B) for explaining processing in which non-conductive material a sequence, and

Fig. 5 zur Erläuterung eine Steuerkurve des elektri schen Stroms zum Startzeitpunkt der Plasma bearbeitung bzw. -behandlung. Fig. 5 for explanation of a control curve of the electrical current rule at the start of the plasma processing or treatment.

Nachstehend wird eine bevorzugte Ausführungsform einer Plas mabehandlungeinrichtung gemäß der Erfindung beschrieben. Hierbei sind in Fig. 1 schematisch ein Plasmaschweißgerät A und eine Plasma-Energiequelle A dargestellt, wobei das Schweißberät A und die Energiequelle B miteinander mittels eines Schlauchs C verbunden sind.A preferred embodiment of a plasma treatment device according to the invention is described below. Here, 1 is a plasma welding unit A and a plasma power source A are shown in Fig. Diagrammatically shown, wherein the Schweißberät A and the power source B are connected to each other by means of a tube C.

Wie in Fig. 2 dargestellt, ist im mittleren Teil dieses Schweißgeräts A ein Rohr A, das aus einem elektrisch gut leitenden Material hergestellt ist, mit einer Elektrode 3 am vorderen Ende des Schweißgeräts verbunden. Außen ist das Rohr 1 mit einem elektrisch gut leitenden Rohr 2 versehen, welches von dem Rohr 1 durch einen Isolator isoliert ist; das Rohr 2 ist mit einer Düse 5 verbunden, welche um die vorstehend angeführte Elektrode 3 angeordnet ist.As shown in FIG. 2, in the middle part of this welding device A, a tube A , which is made of an electrically highly conductive material, is connected to an electrode 3 at the front end of the welding device. Outside the tube 1 is provided with an electrically highly conductive tube 2 , which is insulated from the tube 1 by an insulator; the tube 2 is connected to a nozzle 5 which is arranged around the above-mentioned electrode 3 .

Ein Gasdurchlaß 4 ist zwischen dem Rohr 1 und dem Rohr 2 angeordnet, und Plasmagas, welches diesem Gasdurchlaß 4 zu geführt wird, durchströmt eine Gasrektifiziereinrichtung 6, welche am vorderen Ende des Durchlasses 4 angeordnet ist. Ferner ist das Plasmagas B (aus Komponenten) zusammengesetzt und wird in die Atmosphäre abgegeben, nachdem es zwischen der Elektrode 3 und der Düse 5 hindurchgeströmt ist.A gas passage 4 is arranged between the pipe 1 and the pipe 2, and the plasma gas which this gas passage is guided to 4, flows through a Gasrektifiziereinrichtung 6, which is arranged at the front end of the passage. 4 Furthermore, the plasma gas B is composed of components and is released into the atmosphere after it has passed between the electrode 3 and the nozzle 5 .

Um die Düse 5 ist eine wassergekühlte Kammer 8 angeordnet; Kühlwasser, welches von einem Einlaß 7 aus zugeführt wird, kann dann aus einem Auslaß 9 für dieses Kühlwasser ausströ men, nachdem es die wassergekühlte Kammer 8 durchströmt hat. Die schräg schraffierten Wandungen zwischen dem Gasdurchlaß 4 und dem Auslaß 9 und zwischen dem Gasdurchlaß 4 und dem Einlaß 7 sind aus nichtleitendem Material, wie Kunststoff vorgesehen, so daß die Rohre 1 und 2 durch diese Wandungen voneinander isoliert sind.A water-cooled chamber 8 is arranged around the nozzle 5 ; Cooling water, which is supplied from an inlet 7 , can then flow out of an outlet 9 for this cooling water after it has flowed through the water-cooled chamber 8 . The obliquely hatched walls between the gas passage 4 and the outlet 9 and between the gas passage 4 and the inlet 7 are made of non-conductive material, such as plastic, so that the tubes 1 and 2 are insulated from each other by these walls.

Wenn in der vorstehend beschriebenen Einrichtung ein Plas malichtbogen zwischen der Elektrode 3 und der Düse 5 durch Einschalten der Energiequelle B erzeugt wird, wird das Plasmagas, welches durch die Düse 5 gekühlt wird und auf die Mitte konzentriert ist, durch die thermische "pinch"- Wirkung eines Schweißbogens auf das zu bearbeitende Material von der Düse 5 aus abgegeben. Während das Plasmagas für die Plasmabehandlung mit einer hohen Geschwindigkeit umgewandelt wird, ist es möglich, daß ein Schweißen oder Schneiden für das zu bearbeitende Material durchgeführt wird.In the device described above, when a plasma arc is generated between the electrode 3 and the nozzle 5 by turning on the power source B , the plasma gas, which is cooled by the nozzle 5 and concentrated in the center, is passed through the thermal "pinch". Effect of a welding arc on the material to be processed emitted from the nozzle 5 . While the plasma gas for plasma treatment is being converted at a high speed, it is possible that welding or cutting is carried out for the material to be processed.

Anhand von Fig. 3 bis 5 wird nunmehr ein Startverfahren der mittels des Plasma-Schweißgeräts A bewirkten Plasmabearbei tung erläutert. Anhand von Fig. 3(A) bis (C) wird der Start zustand im Falle der Bearbeitung von elektrisch leitendem Material D, wie Metall u.ä. erläutert. Im Falle des Schnei dens von elektrisch leitenden Materials D wird von der Ener giequelle B aus Strom bzw. Spannung an die Elektrode 3 des Plasma-Schweißgeräts A bzw. an das elektrisch leitende Ma terial D angelegt. Auch die Düse 5 des Schweißgeräts A ist so ausgelegt, daß von der Energiequelle B aus über einen Schalter 10 Strom zugeführt bzw. Spannung angelegt werden kann.A starting method of the plasma processing effected by means of the plasma welding device A will now be explained with reference to FIGS. 3 to 5. Referring to Fig. 3 (A) to (C) is the starting state in the case of using the electrically conductive material D such as metal, etc. explained. In the case of the cutting of electrically conductive material D , the energy source B applies current or voltage to the electrode 3 of the plasma welding device A or to the electrically conductive material D. The nozzle 5 of the welding device A is also designed such that current can be supplied from the energy source B via a switch 10 or voltage can be applied.

Folglich strömt bei dem Startverfahren gemäß der Erfindung zuerst, wie in Fig. 3(A) dargestellt ist, das Plasmagas durch den Gasdurchlaß 4; nachdem der Schalter 10 geschlossen ist, wird die Spannung zwischen der Elektrode 3 und der Düse 5 von der Energiequelle B aus angelegt, und der Start lichtbogen 11 wird erzeugt. Als nächstes kann dann, unmittel bar nachdem dieser Startlichtbogen erzeugt ist, der Pilot oder Steuerlichtbogen durch Zünden bei einem stabilisierten Zustand erhalten werden, wie in Fig. 3(B) dargestellt ist, indem ein elektrischer Strom oder eine Spannung zwischen der Elektrode 3 und der Düse 5 in einem gewünschten Zeitintervall für einen gewünschten Zeitpunkt geändert wird, wie in der Fig. 5 dargestellt ist, während die Energiequelle B entspre chend gesteuert wird.Accordingly, in the starting method according to the invention, first, as shown in Fig. 3 (A), the plasma gas flows through the gas passage 4 ; after the switch 10 is closed, the voltage between the electrode 3 and the nozzle 5 is applied from the energy source B , and the start arc 11 is generated. Next, immediately after this starting arc is generated, the pilot or pilot arc can be obtained by firing in a stabilized state, as shown in Fig. 3 (B), by an electric current or a voltage between the electrode 3 and the Nozzle 5 is changed at a desired time interval for a desired time, as shown in FIG. 5, while the energy source B is controlled accordingly.

Danach kann, wie in Fig. 3(C) dargestellt, nachdem der Schalter 10 geöffnet ist und die Düse 5 in einen elektrisch neutralen Zustand gebracht ist, das elektrisch leitende Ma terial D zu einem stabilisierten Zustand geschnitten wer den, indem der Plasma-Hauptlichtbogen 13 von der Düse 5 aus abgegeben wird.Thereafter, as shown in FIG. 3 (C), after the switch 10 is opened and the nozzle 5 is brought into an electrically neutral state, the electrically conductive material D can be cut to a stabilized state by the main plasma arc 13 is discharged from the nozzle 5 .

Als nächstes werden nunmehr anhand von Fig. 4(A) und (B) die Fälle beschrieben, bei welchen nichtleitende Materialien E, wie Kunststoff, Holz, Papier, Keramik u.ä. mittels des Plas mabehandlungsverfahrens bearbeiter werden. In dem Fall, daß nichtleitende Materialien E mittels des Plasmabehandlungs verfahrens in derselben Weise bearbeitet werden, wie die elektrisch leitenden Materialien D behandelt werden, strömt das Plasmagas durch den Gasdurchlaß 4, und die Spannung wird zwischen der Elektrode 3 und der Düse 5 von der Energ iequelle B aus angelegt; der Startlichtbogen 11 wird dann zwischen beiden erzeugt, und unmittelbar nach dessen Erzeu gung wird der Plasmastrahl 14, wie er in Fig. 4(B) darge stellt ist, in einem stabilisierten Zustand erhalten, indem ein elektrischer Strom oder eine Spannung in einem gewünsch ten Zeitintervall für eine gewünschte Zeit geändert werden, wie in der Fig. 5 dargestellt ist, während gleichzeitig die Energiequelle 5 gesteuert bzw. geregelt wird; so ist es mög lich, daß nichtleitfähige Materialien E mittels des Plasma strahls 14 in einem stabilisierten Zustand bearbeitet werden.Next, the cases in which non-conductive materials E , such as plastic, wood, paper, ceramics, and the like, will be described with reference to FIGS. 4 (A) and (B). be processed using the plasma treatment process. In the case that non-conductive materials E are processed by the plasma treatment method in the same way as the electrically conductive materials D are treated, the plasma gas flows through the gas passage 4 , and the voltage between the electrode 3 and the nozzle 5 of the energy ie source B created; The starting arc 11 is then generated between the two, and immediately after its generation, the plasma beam 14 as shown in FIG. 4 (B) is obtained in a stabilized state by an electric current or a voltage in a desired one Time interval can be changed for a desired time, as shown in FIG. 5, while at the same time the energy source 5 is being controlled; it is possible that non-conductive materials E are processed in a stabilized state by means of the plasma beam 14 .

Außerdem sind in Fig. 5 eine Änderung eines elektrischen Stroms zwischen der Elektrode 3 und der Düse 5 ein Steuern bzw. Regeln eines elektrischen Stroms bezüglich der Zeit beim Startzeitpunkt der Plasmabearbeitung dar gestellt.In addition, a change of an electric current between the electrode 3 and the nozzle 5, a control of an electric current with respect to the time at the start time of the plasma processing are shown in FIG. 5.

In Fig. 5 ist ein elektrischer Strom das erste Mal zum Startzeitpunkt in den Bereich von dem anzuwendenden elek trischen Einstellstrom C (17A) bis zu dem tieferen, begrenz ten, elektrischen Einstellstrom B (15A) mit einer niedrige ren Amplitude angestiegen und bei dem zweiten Mal ändert sich dann danach der elektrische Strom in dem Bereich von dem oberen, begrenzten, elektrischen Einstellstrom A (20A) bis zu dem unteren elektrischen Einstellstrom B mit einer Periode von N-mal und bis zu einer gewünschten Zeit T (von 0,5s); danach schließlich wird der Pilot- oder Steuerlicht bogen bei einem stabilisierten Zustand gezündet, wobei er auf den für den Gebrauch vorgesehenen, elektrischen Ein stellstrom C zurückgebracht wird; anschließend ist es dann möglich, daß der Plasma-Hauptlichtbogen 13 oder der Plasma strahl 14 sicher erhalten wird.In Fig. 5, an electric current has risen for the first time at the start in the range from the applied electric setting current C ( 17 A) to the lower, limited th, electric setting current B ( 15 A) with a lower amplitude and at the second time, the electrical current then changes in the range from the upper, limited, electrical setting current A (20A) to the lower electrical setting current B with a period of N times and up to a desired time T (from 0, 5s); then finally the pilot or control arc is ignited in a stabilized state, whereby it is returned to the intended electric use A setting current C ; then it is then possible that the main plasma arc 13 or the plasma beam 14 is safely obtained.

Nachdem der Start der Plasmaverarbeitung beendet ist, ist es bei der vorliegenden Erfindung, während das Plasmagas, der elektrische Plasmastrom und die Frequenz der Plasma- Energiequelle auf die Bedingungen festgelegt werden, die im folgenden noch aufgezeigt werden, möglich, daß ein sehr stabilisierter, zufriedenstellender und langgestreckter Plasma-Lichtbogen erhalten wird.After the start of the plasma processing is finished it in the present invention, while the plasma gas, the electric plasma current and the frequency of the plasma Energy source to be set on the conditions that are shown below, possible that a very stabilized, satisfactory and elongated Plasma arc is obtained.

Das heißt, es ist bei der Erfindung, solange das Plasmagas als ein Mischgas betrachtet wird, das Argon (Ar: Atomzahl 18) und Wasserstoff (H: Atomzahl 1) enthält, das Mischver hältnis, von Argon und Sauerstoff bei 87:13 liegt, die Frequenz (Hz) der Plasma-Energiequelle im Bereich von 10 bis 30 kHz angesiedelt ist, der elektrische Plasmastrom in dem Bereich von 0,1 A bis 40 A festgesetzt ist, ein Fluß des Plasmagases bei 60 l/h liegt, eine Bohrung der vorer wähnten Düse bei 0,5 mm liegt und dann durch Ändern der Frequenz (Hz) der Plasma-Energiequelle ein Versuch durchge führt wird, durchaus möglich, daß ein stabilisierter und langgedehnter Plasma-Lichtbogen in diesem Bereich erhalten wird. Insbesondere ist es möglich, daß der längste Licht bogen zu dem Zeitpunkt erhalten wird, wenn die Frequenz des elektrischen Plasma-Stroms 15 kHz beträgt.That is, in the present invention, as long as the plasma gas is regarded as a mixed gas containing argon (Ar: atomic number 18) and hydrogen (H: atomic number 1), the mixed ratio of argon and oxygen is 87:13, the frequency (Hz) of the plasma energy source is in the range from 10 to 30 kHz, the electrical plasma current is set in the range from 0.1 A to 40 A, a flow of the plasma gas is 60 l / h, a hole in the Vorer mentioned nozzle is 0.5 mm and then an experiment is carried out by changing the frequency (Hz) of the plasma energy source, quite possible that a stabilized and elongated plasma arc is obtained in this area. In particular, it is possible that the longest arc is obtained at the time when the frequency of the plasma electric current is 15 kHz.

Ferner ist, während die Versuche durchgeführt werden, bei welchen das Verhältnis von Wasserstoff zu Argon (aus wel chen das Plasmagas zusammengesetzt ist) verschiedentlich geändert wird, festgestellt worden, daß das Verhältnis für die Versuche in dem Fall sehr wirksam ist, in welchem das selbe Verhältnis bei 5 bis 20 Vol% liegt. In dem Fall näm lich, daß das Verhältnis von Wasserstoff und Argon bei 5 bis 20 Vol% liegt, brennt Wasserstoffgas, das von der Düse aus abgegeben wird, über viele Stunden in Luft, und folglich ist es möglich, daß ein langgestreckter Plasma-Lichtbogen mit einer hohen Temperatur erhalten wird.Furthermore, while the experiments are being carried out, which the ratio of hydrogen to argon (from wel Chen the plasma gas is composed) different is changed, it has been found that the ratio for the trials is very effective in the case where the same ratio is 5 to 20 vol%. In the case näm Lich that the ratio of hydrogen and argon at 5 to 20 vol% lies, hydrogen gas burns out from the nozzle is released in air for many hours, and consequently is it is possible that an elongated plasma arc with a high temperature is obtained.

In dem Fall, daß das Verhältnis von Wasserstoff größer ist als der vorstehend erwähnte Bereich, ergeben sich Fehler, da die Elektrode und die Düse in bemerkenswerter Weise ver braucht werden, da die Temperatur zu sehr erhöht worden ist; andererseits ist experimentell bestätigt, daß die Wirkung in dem Fall nachläßt, daß das Verhältnis an Wasserstoff klein ist.In the event that the ratio of hydrogen is larger than the range mentioned above, errors arise because the electrode and nozzle remarkably ver need because the temperature has been raised too much; on the other hand, it is experimentally confirmed that the effect in the event that the ratio of hydrogen decreases is.

Obwohl eine Kunststoffplatte mit einer Dicke von 20 mm unter den vorstehend beschriebenen Bedingungen geschnitten worden ist, ist ein Schneiden mit einer sehr hohen Güte möglich.Although a plastic sheet with a thickness of 20 mm under the conditions described above cutting with a very high quality is possible.

Da bei der Erfindung die Plasmabearbeitung gestartet wird, während ein elektrischer Strom oder eine Spannung wunsch gemäß bei dem Startzeitpunkt der Plasmabehandlung geändert wird, ist es möglich, daß ein stabilisierter Start der Plasmabehandlung durchgeführt wird. Since the plasma processing is started in the invention, while an electrical current or voltage is desired changed according to the start time of the plasma treatment is, it is possible that a stabilized start of the Plasma treatment is carried out.

Da außerdem nach dem Start der Plasmabehandlung das Plas magas, der elektrische Plasmastrom und die Frequenz der Plasma-Energiequelle auf den speziellen Zustand bzw. Bereich festgelegt sind, ist es möglich, daß ein sehr stabilisierter, ausreichender und langer Plasma-Lichtbogen erhalten wird, und folglich ist es möglich, daß die Plasmabearbeitung mit einer hohen Genauigkeit durchgeführt wird.Since, after the start of the plasma treatment, the plas magas, the electrical plasma current and the frequency of the Plasma energy source on the special condition or area it is possible that a very stabilized, sufficient and long plasma arc is obtained, and consequently it is possible that the plasma processing with high accuracy is performed.

Claims

1. A method for starting a plasma treatment, characterized in that a starting arc of a plasma welding device ( A ) between an electrode ( 3 ) and a nozzle ( 5 ) of the plasma welding device is generated, and that immediately after generation, the plasma treatment is started by an electric Current or an electrical voltage between an electrode ( 3 ) and a nozzle ( 5 ) can be changed with a fixed period for a fixed period of time.

2. Plasma treatment device, characterized in that it is designed to change an electric current or an electrical voltage at the start time with a fixed period for a fixed period of time, so that a plasma energy source ( B ), which is an electrical current or Can change voltage, which is applied to a plasma welding device ( A ), an electrode ( 3 ) and a nozzle ( 5 ) by means of an electrification in the plasma welding device ( 1 ) are connected, which consists of a plasma electrode, a nozzle, a gas passage ( 4 ) and the like consists.

3. method for performing a plasma treatment, characterized in that a relationship of hydrogen and argon is 5 to 20 vol% that a frequency of an electrical plasma current, in is controlled in the range of 10 to 30 kHz so that a Plasma gas as a mixed gas of hydrogen and argon in a method for performing a plasma treatment considered by means of a plasma treatment device becomes.