DE3673219D1 - Photolithographisches verfahren und organopolysiloxanzusammensetzung zur verwendung dafuer. - Google Patents

Photolithographisches verfahren und organopolysiloxanzusammensetzung zur verwendung dafuer.

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DE3673219D1 DE8686103213T DE3673219T DE3673219D1 DE 3673219 D1 DE3673219 D1 DE 3673219D1 DE 8686103213 T DE8686103213 T DE 8686103213T DE 3673219 T DE3673219 T DE 3673219T DE 3673219 D1 DE3673219 D1 DE 3673219D1
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photolithographic
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Edward Darko Babich
Michael Hatzakis
John Joseph Liutkis
Juri Rostyslav Parasczcak
Jane Margaret Shaw
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/075—Silicon-containing compounds
    • G03F7/0757—Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
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