DE3611847A1 - METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING LIGHTWAVE CONDUCTORS WITH GLASS TUBE INTERNAL COATING - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING LIGHTWAVE CONDUCTORS WITH GLASS TUBE INTERNAL COATING

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DE3611847A1
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pipe
auxiliary gas
tube
contact zone
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DE19863611847
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Kamran Drive Karbassiyoon
Robert Circle Peckman
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Description

Besch rei bungDescription

Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Lichtwellenleiter-Vorformen mit G las rohr-InnenbeschichtungMethod and device for the production of optical waveguide preforms with glass tube inner coating

Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit dem Problem, daß in dem Verfahrensschritt der Lichtwe I lenLeiter-VorformhersteI lung, bei dem auf der Innenfläche eines Glasrohres Glas aus einer chemischen Dampfphasenreaktion abgeschieden wird, auch in dem mit dem Substratrohr verbundenen Abgasrohr Glaspartikel vorhanden sind, die dazu neigen, sich im Innern des Abgasrohres anzusammeln und die daher aus diesem Abgasrohr entfernt werden müssen.The present invention is concerned with Problem that in the process step of Lightwave conductor preform manufacture where the Inner surface of a glass tube glass is deposited from a chemical vapor phase reaction, also in the one with the Substrate pipe connected exhaust pipe glass particles are present, which tend to be inside the exhaust pipe to accumulate and must therefore be removed from this exhaust pipe.

Bei diesem Verfahrensschritt derIn this process step the

G lasrohr-Innenbeschichtung, wird ein gasförmiges Medium, das bestimmte glasbildende Ausgangsstoffe, insbesondere Halogenide oder andere Verbindungen von glasbi Idenden oder glasdotierenden Elementen enthält, z. B. Silizium, Bor, Germanium, Phosphor oder ähnliches, zusammen mit einem Oxidationsmittel, beispielsweise Sauerstoff, durch den Innenraum eines Substrat roh res hindurchgeleitet, wobei das Substratrohr üblicherweise um seine Längsachse gedreht undInner glass tube coating, is a gaseous medium the certain glass-forming starting materials, in particular Halides or other compounds of glasbi idends or contains glass doping elements, e.g. B. silicon, boron, Germanium, phosphorus or the like, together with an oxidizing agent, for example oxygen, through the Interior of a substrate roh res passed through, wherein the Substrate tube usually rotated around its longitudinal axis and

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von außen erhitzt wird. Die Erhitzung geschieht z. B. durch eine Sauerstöff-Wasserstoff-FLamme, die auf die AußenoberfLäche des Substratrohres gerichtet ist, so daß im erhitzten Bereich und/oder stromabwärts von diesem Bereich chemische Reaktionen stattfinden, bei denen die gLasbi Idenden Ausgangsstoffe in G Lasmateria Lien umgewandeLt und in form von mindestens einer Schicht auf der inneren OberfLäche des Substrat roh res abgeschieden we rden.is heated from the outside. The heating is done z. B. by means of an oxygen-hydrogen flame directed at the Outer surface of the substrate tube is directed so that in the heated area and / or downstream thereof Area chemical reactions take place in which the gLasbi Idenden starting materials in G Lasmateria Lien converted and deposited in the form of at least one layer on the inner surface of the substrate raw will.

Während dieser Phase wird ein "GLasruß", bestehend aus sehr kLeinen G Lasten Lehen, im erhitzten Bereich oder stromabwärts von diesem gebiLdet und dann von dem durch das Substratrohr hindurchströmenden gasförmige Medium aus dem stromabwärts geLegenen Ende des Substrat roh res (10) hinaus und in ein sogenanntes Abgasrohr hineingebLasen. Dieses Abgasrohr ist ein GLasrohr mit einem gegenüber dem Substratrohr vergrößerten Durchmesser und ist an einem Übergangsbereich an das Stromabwärts-Ende des Substrat roh res angeschmolzen, so daß es an der Rotationsbewegung des Substrat roh res teiLnimmt.During this phase, a "glass soot", consisting of very small G loads fiefs, in the heated area or formed downstream of this and then by the through the gaseous medium flowing through the substrate tube the downstream end of the substrate tube (10) and blown into a so-called exhaust pipe. This exhaust pipe is a glass pipe with an enlarged diameter compared to the substrate pipe and is on a Transition area to the downstream end of the Substrate raw res melted so that it is attached to the Rotational movement of the substrate takes part.

Die Erfahrung hat gezeigt, daß die GLaspartikeL, die das Innere des Abgasrohres erreichen, zur Abscheidung in diesem Abgasrohr neigen und dort PartikeLansammLungen biLden, die den DurchfLußquerschnitt des Abgasrohres verringern. SoLche Ansammlungen könnten dann auch die QuaLität des Prozesses der Abscheidung der chemischen Dampfphasenreaktion beeinfLussen und damit LetztLich auch die Eigenschaften der im Substratrohr abgeschiedenen Schicht oder Schichten, indem die Abscheidungsparameter, z. B. der Druck, die DurcHfLußgeschwindigkeit des gasförmigen Mediums oder ähnLiches gegenüber den ursprünglich eingesteLLten Werten geändert werden.Experience has shown that the GLaspartikeL that Reach the inside of the exhaust pipe, tend to separate out in this exhaust pipe and collect particles there images that show the flow cross-section of the exhaust pipe to decrease. Such collections could then also be the Influence the quality of the process of deposition of the chemical vapor phase reaction and ultimately also the properties of those deposited in the substrate tube Layer or layers by changing the deposition parameters, z. B. the pressure, the flow rate of the gaseous medium or the like can be changed compared to the originally set values.

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Um dieses Problem durch Entfernen der GLaspartike I aus dem Abgasrohr, bevor die PartikelansammLungen irgendwelche bedeutsamen Änderungen der Abscheideparameter verursachen können, zu vermeiden, wird gegenwärtig sehr häufig das folgende Verfahren angewendet: Die Bedienungsperson der Drehbank, auf der die Vorform hergestellt wird, kratzt in regelmäßigen Zeitabständen das Innere des Abgasrohres aus und verwendet dazu, um ganz in das Abgasrohr hineinzukommen, einen etwa 1 Meter langen Quarzstab. Wenn die Partikel einmal abgelöst sind, werden sie mit demselben Quarzstab aus dem Abgasrohr entfernt, wozu der Quarzstab mehrmals hin- und her bewegt wird. Es wurde fetgestellt, daß diese Technik der Entfernung von Glaspartikeln unter mehreren Nachteilen leidet. Einer dieser Nachteile besteht darin, daß häufige Eingriffe der Bedienungsperson in einem ansonsten automatisch ablaufenden Prozess erforderlich sind. Darüberhinaus entsteht der Nachteil, daß erhebliche Verunreinigungen der gerade hergestellten Vorform entstehen können, da ein Teil der abgelösten Glaspartikel in den Innenraum des Substratrohres zurück und die dort erzeugte Schicht hinein gelangenkönnen.To solve this problem by removing the GLaspartike I from the Exhaust pipe before the particulate build-up has any cause significant changes in the separation parameters being able to avoid is becoming very common these days The following procedures are used: The operator of the lathe on which the preform is made scratches in the inside of the exhaust pipe at regular intervals and uses a quartz rod about 1 meter long to get all the way into the exhaust pipe. if Once the particles have been detached, they are removed from the exhaust pipe with the same quartz rod, for which purpose the Quartz rod is moved back and forth several times. It has been found that this technique of removing Glass particles suffer from several disadvantages. One These disadvantages are that frequent operator interventions in an otherwise automatic ongoing process are required. Furthermore there is the disadvantage that considerable contamination of the just made preform can arise as a part the detached glass particles into the interior of the Substrate tube back and the layer created there into it can achieve.

Ein Verfahren und eine dazugehörige Vorrichtung, zur Innenbeschichtung eines Glasrohres im Zusammenhang mit der Herstellung einer Lichtwellenleiter-Vorform, bei dem ein Abgasrohr vorhanden ist, ist bekannt aus der DE-OS 29 07 731. In dieses Abgasrohr ragt dort ein Rohr hinein, durch das in Gegenrichtung zur Strömungsrichtung der Gase für die chemische Dampfphasenreaktion ein Hilfsgas zur Erhöhung des bei der chemischen Dampfphasenreaktion herrschenden Drucks in das Abgasrohr eingeleitet wird.A method and an associated device for the internal coating of a glass tube in connection with the Production of an optical waveguide preform in which a Exhaust pipe is present, is known from DE-OS 29 07 731. In this exhaust pipe there protrudes a pipe into it, through the one in the opposite direction to the direction of flow of the gases for the chemical vapor phase reaction Auxiliary gas to increase the pressure prevailing in the chemical vapor phase reaction in the exhaust pipe is initiated.

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Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, das die vorstehend geschilderten Nachteile nicht aufweist und das sich vollständig automatisch durchführen läßt. Es soll auch eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens angegeben werden, die in der Konstruktion einfach, relativ billig herzustellen, leicht zu installieren und zu gebrauchen ist und trotzdem zuverlässig arbeitet.It is the object of the invention to provide a method of Specify the type mentioned at the beginning, which the above does not have the disadvantages described and that itself can be carried out completely automatically. It is also intended to provide an arrangement for carrying out the method that is simple in construction, relatively inexpensive to manufacture, easy to install and use and still works reliably.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist Gegenstand der Patentansprüche 1 bis 6, die Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist Gegenstand der Ansprüche 7 bis 13.The inventive method is the subject of Claims 1 to 6, the device for implementation of the method is the subject of claims 7 to 13.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin, daß sie sich vortrefflich für eine vollständig automatisierte Entfernung der Glaspartikel aus dem Abgasrohr eignet, wobei keinerlei manuelle Eingriffe durch die Bedienungsperson notwendig sind. Da außerdem die Ansammlung von Partikeln im Abgasrohr, wenn überhaupt, stromabwärts (in Richtung der für die chemische Dampfphasenreaktion eingeleiteten Gase) von dem Bereich, an dem sich die beiden gasförmigen Medien miteinander mischen, stattfindet, gibt es offensichtlich keine Möglichkeit, daß solche Partikel wieder zurück in das Innere des Substratrohres gelangen und die dort gebildete Schicht verunreinigen könnten. Ein zusätzlicher Vorteil der Erfindung liegt darin, daß es möglich ist, den Druck im Substratrohr nicht nur während der Innenbeschichtung aus der chemischen Dampfphasenreaktion, sondern auch ebenso im geforderten Umfang während anderer Schritte der Herstellung von LichtweIlenLei tervorformen zu regeln.A particular advantage of the device according to the invention is that they are excellent for a fully automated removal of the glass particles the exhaust pipe, with no manual intervention by the operator is necessary. Since the Accumulation of particles in the exhaust pipe, if any, downstream (in the direction of the chemical Vapor phase reaction introduced gases) from the area, at which the two gaseous media meet with each other mixing takes place, there is obviously none Possibility of such particles getting back into the interior of the substrate tube and the particles formed there Could contaminate the layer. An additional advantage of the invention is that it is possible to print in the substrate tube not only during the internal coating from the chemical vapor phase reaction, but also also to regulate to the required extent during other steps of the production of lightwave conductor preforms.

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Die Erfindung wird nun anhand der einzigen Zeichnung beispielsweise naher erläutert. Die Zeichnung zeigt: Den zur Entfernung der Glaspartikel aus dem Abgasrohr vorgesehenen Teil der Vorrichtung zur Herstellung von Lichtwellenleiter-Vorformen. Nach dem GLasrohr-Innenbeschiehtungsverfahren.The invention will now be based on the single drawing for example explained in more detail. The drawing shows: The part of the device for the production of Optical fiber preforms. After this Internal glass tube coating process.

Das Bezugszeichen 10 bezeichnet ein Substratrohr, dessen nähere Oberfläche mindestens einer Schicht aus mindestens einem optischen Glasmaterial beschichtet und/oder im Verlaufe der Herstellung einer Lichtwellenleiter-Vorform weiterverarbeitet werden soll. Bei einer solchen, Herstellung ist das Substratrohr 10 bekanntlich in einer Drehbank gelagert, und wird durch die Drehbank um seine Längsachse gedreht, zumindest während die Schicht auf seiner inneren Oberfläche erzeugt wird. Diese Schicht wird erzeugt im Verlaufe einer Abscheidung aus einer chemischen Dampfphasenreaktion, bei der sich das abzuscheidende optische Material aus einem gas- oder dampfförmigen Ausgangsmateria L, das in einem Strom eines primären gasförmigen Mediums durch das Innere des Substrat roh res enthalten ist, in ein festes Material umgewandelt, in dem das Ausgangsmaterial erhitzt wird, insbesondere durch eine auf die Außenwand des Substrat roh res gerichtete Flamme, deren Hitze durch das Substratrohr hindurchdringt und das primäre Gasmedium erhitzt. Dieser Prozeß ist wohl bekannt und bedarf daher keiner näheren Erläuterung. Während dieser Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion wird sogenannter "Glasruß" gebildet, der aus sehr kleinen Teilen des festen Glasmaterials, z. B. Oxide von Silizium, Germanium, Phosphor oder Bor, gebildet. Diese Partikel werden in dem Strom des primären Gasmediums mitgeführtThe reference numeral 10 denotes a substrate tube, whose closer surface of at least one layer of at least one optical glass material coated and / or im History of the manufacture of an optical fiber preform should be further processed. With such a Production, the substrate tube 10 is known to be stored in a lathe, and is by the lathe around his Rotated longitudinal axis, at least while the layer is generated on its inner surface. This layer will generated in the course of a deposition from a chemical vapor phase reaction in which the to be deposited Optical material from a gaseous or vaporous starting material L, which is in a stream of a primary gaseous medium contained by the interior of the substrate roh res, converted into a solid material in which the starting material is heated, in particular by a on the outer wall of the substrate roh res directed flame, the heat penetrates through the substrate tube and the primary gas medium heated. This process is well known and therefore needs no further explanation. While this deposition from the chemical vapor phase reaction so-called "glass soot" is formed, which consists of very small Parts of the solid glass material, e.g. B. Oxides of silicon, Germanium, phosphorus or boron. These particles are entrained in the flow of the primary gas medium

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durch das innere des Substratrohres 10 hindurch und gelangen zürnstromabwärts gelegenen Ende, von wo sie in ein Auspuffrohr 11 übertreten. Dieses ist mit dem stromabwärts gelegenen Ende des Substratrohres 10 verbunden und bildet eine Verlängerung dieses Substrat roh res 10 mit vergrößertem Durchmesser, die sich in Stromabwärtsrichtung über das stromabwärts gelegene Ende des Substratrohrs 10 hinaus erstreckt. Die Glaspartikel würden, wenn man sie sich nach und nach im inneren des Abgasrohres 11 ansammeln ließe, evtl. den Strom des primären Gasmediums durch den Innenraum des Substratrohrs 10 beeinflußen. Deshalb ist es gewünscht, solche Partikel aus dem Innenraum des Abgasrohres 11 zu entfernen, bevor jegliche bedeutsame Anhäufung der Glaspartikel im Innenraum des Abgasrohres stattf i ndet.through the interior of the substrate tube 10 and arrive at the downstream end, from where they enter a Exceed exhaust pipe 11. This is connected to the downstream end of the substrate tube 10 and forms an extension of this substrate roh res 10 of enlarged diameter, extending in the downstream direction via the downstream end of the substrate tube 10 extends beyond. The glass particles would, if they were gradually collected in the interior of the exhaust pipe 11 could possibly influence the flow of the primary gas medium through the interior of the substrate tube 10. That's why it is desired to remove such particles from the interior of the exhaust pipe 11 before any significant Accumulation of the glass particles in the interior of the exhaust pipe takes place.

Gemäß der vorliegenden Erfindung geschieht diese Entfernung der Glaspartikel mt Hilfe einr insgesamt mit dem Bezugszeichen 12 bezeichneten Vorrichtung. Diese Vorrichtung 12 enthält, als einen ihrer Hauptbestandteile, ein Röhr 13, durch das ein zusätzliches das Medium, insbesondere ein Inertes GAs wie z. B. Stickstoff, in den Innenraum des Abgasrohres 11 und bis zu einem Bereich 14 eingeleitet wird, an dem das Abgasrohr in das Substratrohr übergeht und der im wesentlichen chronisch sich in St romabwärtsrichtung (des primären Gasmediums) öffnet. Somit strömt in diesem Übergangsbereich 14 das zusätzliche Gasmedium, auch Hilfsgas genannt, in Gegenrichtung zum primären Gasmedium, das aus dem Innenraum des Substratrohrs 10 in den Übergangsbereich 14 austritt. Dadurch ergibt sich ein ausgesprochen turbulentes oder unregelmäßiges Strömungsbild an dem Übergangsbereich 14 und stromabwärts (in Strömungsrichtung des primärenAccording to the present invention, this removal of the glass particles takes place with the aid of a total of the device denoted by reference numeral 12. These Device 12 contains, as one of its main components, a tube 13 through which an additional medium, in particular an inert GA such. B. nitrogen, in the Interior of the exhaust pipe 11 and is introduced up to an area 14 at which the exhaust pipe into the substrate pipe and which essentially chronically opens in the downstream direction (of the primary gas medium). Thus, the additional flows in this transition area 14 Gas medium, also called auxiliary gas, in the opposite direction to primary gas medium that emerges from the interior of the substrate tube 10 into the transition region 14. This results in an extremely turbulent or irregular flow pattern at the transition region 14 and downstream (in the direction of flow of the primary

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Gassmediums) von diesem Übergangsbereich. Dadurch werden jedwede GLaspartikeI, die sich bereits abgeschieden haben, oder die zur Abscheidung neigen, im Übergangsbereich 14 oder stromabwärts von diesem verwirbelt. Diese Wirkung beruht ganz entschieden auf der Tatsache, daß, wie in der Zeichnung dargestellt, die Längsachse des zur Anleitung des Hilfsgases verwendeten Rohres 13, im folgenden Hilfsgas-Rohr genannt, transversal gegenüber der Längsachse des Abgasrohres 11 versetzt ist, so daß der Strom des Hilfsgases beim Austritt aus dem Hilfsgas-RohrGas medium) from this transition area. This will be any glass particles that have already separated or which tend to deposit, in the transition area 14 or swirled downstream of this. This effect is decidedly based on the fact that, as in the Drawing shown, the longitudinal axis of the pipe 13 used to guide the auxiliary gas, in the following Called auxiliary gas pipe, transverse to the The longitudinal axis of the exhaust pipe 11 is offset so that the Flow of the auxiliary gas as it emerges from the auxiliary gas pipe

13 auf die im wesentlichen chronische innere Oberflache des Übergangsbereichs 14 gerichtet ist, die den aus dem Hilfsgas-Rohr 13 ausgetretenen Hilfsgas-Strom ablenkt, bevor er sich mit dem Strom des primären Gasmediums mischt, der im wesentlichen koaxial zum Übergangsbereich13 on the essentially chronic inner surface of the transition region 14 is directed to the from the Auxiliary gas pipe 13 deflects escaped auxiliary gas flow, before mixing with the flow of the primary gas medium which is substantially coaxial with the transition region

14 aus dem Innenraum des Substrat rohres 10 in den Übergangsbereich 14 übertritt. Trotz des transversalen Versatzes der Längsachse des Hilfsgas-Rohres 13 gegenüber der Längsachse des Abgasrohres 11 ist die Längsachse des Hilfsgas-Rohres 13 im wesentlichen parallelzu der des Abgasrohres 11, die wiederum im wesent L i che-rv oder exakt mit der Längsachse des Substrat roh res 10 zusammenfällt.14 from the interior of the substrate tube 10 into the Transition area 14 crosses. Despite the transversal Offset of the longitudinal axis of the auxiliary gas pipe 13 opposite of the longitudinal axis of the exhaust pipe 11, the longitudinal axis of the auxiliary gas pipe 13 is essentially parallel to that of the Exhaust pipe 11, which in turn essentially coincides with the longitudinal axis of the substrate roh res 10.

Der Effekt der Verwirbelung oder Partikelentfernung wird noch weiter vergrößert durch die Tatsache, daß das Hilfsgas-Rohr 13 auf der momentanen Boden-Teilfläche InnenoberfLache des Abgasrohres 11 gelagert oder in Kontakt mit dieser ist oder mit irgendwelchen Glaspartikeln, die sich dort befinden können, in Kontakt ist.The effect of swirling or particle removal will be enlarged still further by the fact that the auxiliary gas pipe 13 is on the current ground sub-area Inner surface of the exhaust pipe 11 is supported or in contact with this or with any Glass particles that may be there in contact is.

Dies bedeutet, daß die Glaspartikel, die an dieser Zone vorhanden sind, soweit sie lose sind oder infolge desThis means that the glass particles that are at this zone are present, insofar as they are loose or as a result of the

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**/ 5 Γ, β ΐ: β ö O »ι **- C P IV** / 5 Γ, β ΐ: β ö O »ι ** - C P IV

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Kontakts mit der äußeren Oberfläche des Hi Lfsgas-Rohrs 13 Lose werden können, in den Mischstrom aus dem primären und dem zusätzlichen Gas, der durch das Innere des Abgasrohres 11 und an der Außenoberfläche des Hilfsgas-Rohres 13 vorbei strömt, geLangen und mit diesem Hilfsstrom mitgeführt werden.Contact with the outer surface of the auxiliary gas pipe 13 Can be loosened in the mixed flow of the primary and the additional gas passing through the inside of the exhaust pipe 11 and on the outer surface of the auxiliary gas pipe 13 flows past, reach and be carried along with this auxiliary current.

Die Erfahrung hat gezeigt, daß wegen des ziemlich heftigen Charakters der Strömung im Übergangsbereich 14 und stromabwärts von diesem Übergangsbereich sich die Glaspartikel normalerweise nicht im Innenraum des Abgasrohres 11 absetzen, bevor sie einen Bereich erreicht haben, der in einem beträchtlichen Abstand stromabwärts (in Richtung des primären Gasstroms) von dem Übergangsbereich 14 und gewöhnlich in dem Zwischenraum zwischen der Innenwand des Abgasrohres 11 und der Außenwand des Hilfsgas-Rohres 13 liegt. In diesem Bereich haben die Glasteilchen jedoch eine Tendenz, aneinander und/oder an die innere Oberfläche des Abgasrohrs 11 und/oder an die äußere Oberfläche des Hi Lfsgas-Rohres 13 anzuhaften. Um dieser Tendenz entgegenzuwirken, und um die Glaspartikel loszulösen, damit sie von dem Mischstrom der gasförmigen Medien, der durch den Zwischenraum zwischen dem Abgasrohr 11 und dem Hilfsgas-Rohr 13 strömt, mitgeführt werden und so aus dem Innenraum des Abgasrohres 11 entfernt werden, wirkt das Hilfsgas-Rohr 13 wie ein Kratzer für die innere Oberfläche des Abgasrohres 11. Zu diesem Zweck ist es vorgesehen, daß die äußere Oberfläche des Hilfsgas-Rohres 13 eine Relativbewegung in Umfangsrichtung bezogen auf die innere Oberfläche des Abgasrohres ausführt.Experience has shown that because of the rather violent nature of the flow in the transition area 14 and downstream of this transition area, the glass particles are normally not located in the interior of the Exhaust pipe 11 settle before they have reached an area that is a considerable distance downstream (in the direction of the primary gas flow) from the transition region 14 and usually in the gap lies between the inner wall of the exhaust pipe 11 and the outer wall of the auxiliary gas pipe 13. In this area however, the glass particles have a tendency to stick to one another and / or to the inner surface of the exhaust pipe 11 and / or to the outer surface of the auxiliary gas pipe 13 to cling to. To counteract this tendency, and for the Dissolve glass particles so that they are removed from the mixed flow of gaseous media that passes through the space between the exhaust pipe 11 and the auxiliary gas pipe 13 flows, are carried along and so from the interior of the exhaust pipe 11 are removed, the auxiliary gas pipe 13 acts as a Scratches for the inner surface of the exhaust pipe 11. For this purpose it is provided that the outer surface of the auxiliary gas pipe 13 a relative movement in the circumferential direction based on the inner surface of the Exhaust pipe executes.

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Wie in der Zeichnung dargestellt, wird dies vorzugsweise dadurch erreicht, daß das Hilfsgas-Rohr 13 so montiert ist, daß es um seine Längsachse drehbar ist und daß man dieses Rohr mindestens während des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion rotieren läßt. Vorzugsweise läßt man dieses Hilfsgas-Rohr 13 in einem Drehsinn rotieren, der entgegengesetzt zu dem Drehsinn ist, in dem Substrat-Rohr 10 und das damit verbundene Abgasrohr 11 rotieren, so daß die beiden aneinanderIiegenden Flächen sich an der augenblicklichen Bodenfläche in zueinander entgegengesetzten Richtungen vorbei bewegen. Dies hat den Vorteil, daß eine verhältnismäßig hohe Relativgeschwindigkeit zwischen diesen zusammenwirkenden UmfangsfIächen und infolgedessen ein hoher Wirkungsgrad der Partikelablösung durch Kratzen erreicht wird, auch wenn das Abgasrohr 11 und das Hilfsgas-Rohr 13 mit verhältnismäßig geringen oder mäßigen Rotationsgeschwindigkeiten rotieren. Ein weiterer dadurch erzielter Vorteil besteht darin, daß die innere Oberfläche des Abgasrohres 11 eine kratzende Wirkung auf die äußere Oberfläche des Hilfsgas-Rohres 13 ausübt, und dies zur selben Zeit, wie die äußere Oberfläche des Hilfsgas-Rohres 13 ihre kratzende Wirkung auf die innere Oberfläche des Abgasrohres 11 ausübt, so daß angesammelte Glaspartikel nicht nur von der inneren Oberfläche des Abgasrohres 11, sondern auch von der äußeren Oberfläche des Hi Ifsgas-Rohres 13 entfernt werden.As shown in the drawing, this is preferred achieved in that the auxiliary gas pipe 13 is mounted is that it is rotatable about its longitudinal axis and that this tube at least during the Preform manufacturing step of the deposition from the chemical vapor phase reaction rotates. Preferably one lets this auxiliary gas pipe 13 in one direction of rotation rotate, which is opposite to the direction of rotation in which Substrate pipe 10 and the exhaust pipe 11 connected to it rotate, so that the two surfaces lying against one another at the current floor area in relation to one another move past opposite directions. This has the advantage that a relatively high Relative speed between these cooperating Circumferential surfaces and, as a result, high efficiency Particle detachment is achieved by scratching, too when the exhaust pipe 11 and the auxiliary gas pipe 13 with relatively low or moderate Rotate rotation speeds. Another by it The advantage achieved is that the inner surface of the exhaust pipe 11 has a scratchy effect on the outer Surface of the auxiliary gas pipe 13 exerts, and this for same time as the outer surface of the auxiliary gas pipe 13 exerts its scratchy effect on the inner surface of the exhaust pipe 11, so that accumulated glass particles not only from the inner surface of the exhaust pipe 11, but also from the outer surface of the Hi Ifsgas pipe 13 must be removed.

Diese Rotationsbewegung des Hi Ifsgas-Rohres 13 bewirkt ein Motor 15, der vorzugsweise ein Motor mit variabler Drehzahl mit einer Nennleistung von nicht über 746 W beiThis rotational movement of the Hi Ifsgas pipe 13 causes a Motor 15, which is preferably a variable speed motor with a rated power not exceeding 746 watts

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einer Drehzahl von 1000 pro Minute ist. Der Motor 15 hat eine Ausgangswel Le 16, auf der eine erste Riemenscheibe befestigt ist. Ein endloses übertragungselement 18, das als Zahnriemen dargestellt ist, verbindet die erste Riemenscheibe mit einer zweiten Riemenscheibe 19, die auf einem Verbindungsrohr 20 so befestigt ist, daß sie gemeinsam mit diesem rotiert. Das Verbindungsrohr 20 hat einen Halterungsteil 21, der in einem internen Kanal 22 einer stationären Gas- und Anschlußstück Gasverbindung drehbar gelagert ist und in dem internen Kanal 22 durch eine Anordnung von Dichtringen 24 abgedichtet ist. Ein anderer Teil 25 des Verbindungsrohres 20 ist über eine dichtende Verbindung in Form eines flexiblen Kunst stoff-Kupplungsstücks 26 bekannter Bauart mit dem Ende des Hilfsgas-Rohres 13 verbunden, das von dem Übergangsbereich 14 abgewandt ist. Auf diese Weise wird eine Rotation der Ausgangswelle 16 des Motors 15 in die Rotation des Verbindungsroh rs 20 und über Kunststoff-Kupplungsstück 26 in eine Rotation des Hilfsgas-Rohrs 13 umgesetzt.a speed of 1000 per minute. The engine 15 has an output shaft Le 16 on which a first pulley is attached. An endless transmission element 18, the is shown as a toothed belt, connects the first pulley with a second pulley 19, which on a connecting pipe 20 is attached so that it rotates together with this. The connecting pipe 20 has a support part 21 which is in an internal channel 22 a stationary gas and connection piece gas connection is rotatably mounted and is sealed in the internal channel 22 by an arrangement of sealing rings 24. A other part 25 of the connecting pipe 20 is via a sealing connection in the form of a flexible plastic coupling piece 26 of known design with the End of the auxiliary gas pipe 13 connected by the Transition area 14 is turned away. That way will a rotation of the output shaft 16 of the motor 15 into the rotation of the connecting tube 20 and over Plastic coupling piece 26 in a rotation of the Auxiliary gas pipe 13 implemented.

Der interne Kanal 22 des Gas-Anschlußstücks 23 endet, mit seinem von dem Halterungsteil 21 abgewandten Ende, in einer ersten öffnung 27. Ein Pfropfen 28 schließt diese öffnung 27 dicht ab und läßt nur eine Leitung 29 zum Messen des Abscheidungsdrucks hindurch. Diese Leitung führt von einem Meßbereich, der am stromabwärts (bezogen auf den Strom des primären Gasmediums) gelegenen Ende des Hilfsgas-Rohres 13 sich befindet, wie gezeigt, durch Hilfsgas-Rohr 13 hindurch, zu einem Manometer 30, das den im Meßbereich herrschenden Druck mißt. Dieser Druck zeigt die Betriebsbedingungen an, die zumindest während des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus derThe internal channel 22 of the gas connector 23 ends with its end facing away from the holder part 21, in a first opening 27. A plug 28 tightly seals this opening 27 and allows only one line 29 to pass through Measure the deposition pressure through it. This line leads from a measuring range at the downstream (based on the flow of the primary gas medium) located end of the Auxiliary gas pipe 13 is located as shown through Auxiliary gas pipe 13 therethrough to a manometer 30, which the measures the pressure prevailing in the measuring range. This pressure indicates the operating conditions that will exist at least during the Preform manufacturing step of the deposition from the

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chemischen Dampfphasenreaktion herrschen. Eine weitere öffnung 31 erstreckt sich in den internen KanaL 22 hinein im wesentlichen transversal zu diesem Kanal und zwischen dem Halterungsteil 21 und der ersten öffnung 27. Die öffnung 31 ist wiederum durch einen zweiten Pfropfen 32 dicht verschlossen, wobei ein Rohr 33 durch den Pforpfen 32 hindurchführt. Dieses Rohr 33 dient zur Einleitung des Hilfsgases in den internen Kanal 22, von wo es dann weiterströmt durch den Innen raum des Verbindungsrohres 20, den Innenraum des Verbindungsstücks 26 und den Innenraum des Hilfsgas-Rohrs 13 in Richtung zum Übergangsbereich 14.chemical vapor phase reaction prevail. Another Opening 31 extends into the internal channel 22 essentially transversely to this channel and between the mounting part 21 and the first opening 27. The Opening 31 is again tightly closed by a second plug 32, with a tube 33 passing through the plug 32 passes through. This pipe 33 is used to initiate the Auxiliary gas into the internal channel 22, from where it is then continues to flow through the interior of the connecting pipe 20, the interior of the connector 26 and the interior of the auxiliary gas pipe 13 in the direction of the transition region 14.

Es hat sich als vortei lhaft herausgesteI It, daß das Hilfsgas-Rohr 13 ein Rohr aus Quarzglas ist und einen Außendurchmesser von etwa 25 mm hat und daß das Hilfsgas-Rohr 13 soweit in das Innere des Abgasrohres 11 eingeführt ist, daß sein freies Ende ungefähr 5 cm stromabwärts (in Strömungsrichtung des primären Gasmediums) von der Stelle bleibt, an der das Substratrohr 10 in das Abgasrohr 11 übergeht. Das Rohr 29 zur Messung des Abscheidungsdrucks besteht vorzugsweise aus rostfreiem S t ah I und hat einen Außendurchmesser von ungefähr 1/8 Zoll. Aufgrund der Tatsache, daß das Rohr 29 zum Messen des Abscheidungsdrucks im Innern des Hilfsgas-Rohres 13, d. h. kurz vor dessen freiem Ende, endet, ist dafür gesorgt, daß der in dem Meßbereich festgestellte oder gemessene Druck grundsätzlich in einem stationären Zustand ist ohne übermäßige Fluktuationen, die vorhanden wären, wenn das Ende des Rohres 29 über das freie Ende des Hilfsgas-Rohres 13 hinaus und in die turbulente Mischzone hineinragen würde, die bei dem Übergangsbereich und stromabwärts (in Strömungsrichtung des primären Gasmediums) von diesem Übergangsbereich besteht.It has proven to be advantageous that the Auxiliary gas tube 13 is a tube made of quartz glass and one Has an outside diameter of about 25 mm and that the auxiliary gas pipe 13 extends so far into the interior of the exhaust pipe 11 is introduced that its free end approximately 5 cm downstream (in the direction of flow of the primary Gas medium) remains from the point at which the substrate pipe 10 merges into the exhaust pipe 11. The tube 29 for measurement of the deposition pressure is preferably made of stainless steel S t ah I and has an outside diameter of approximately 1/8 Customs. Due to the fact that the pipe 29 for measuring the deposition pressure inside the auxiliary gas pipe 13, d. H. shortly before its free end ends, it is ensured that the or measured pressure basically in a steady state is without excessive fluctuations that would be present, when the end of the tube 29 beyond the free end of the auxiliary gas tube 13 and into the turbulent mixing zone would protrude at the transition area and downstream (in the direction of flow of the primary Gas medium) from this transition area.

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Nachdem der Aufbau des zum Entfernen der GLaspartikel aus dem Abgasrohr vorgesehenen Vorrichtungstei Ls 12 und seine Anordnung in bezug auf das Abgasrohr 11 und Substratrohr 10 beschrieben ist, wird nun die Arbeitsweise des Vorrichtungstei Ls 12 während desAfter the build up of the removal of the glass particles out the exhaust pipe provided device parts Ls 12 and his Arrangement in relation to the exhaust pipe 11 and substrate pipe 10 is described, the operation of the Device part Ls 12 during the

Vorform-HersteLLungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion kurz erläutert, zusammen mit den Vorteilen, die sich aus der vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Konstruktion des Vorrichtungstei Is 12 ergeben.Preform manufacturing step of the deposition from the chemical vapor phase reaction briefly explained together with the advantages resulting from the above-described construction of the invention Device part Is 12 result.

Kurz vor Beginn des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion wird der Druck des in die öffnung 31 eingeleiteten Hilfsgases auf den gewünschten Wert eingestellt, der erfahrungsgemäß bei der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion die besteen Ergebnisse hinsichtlich der Qualität der abgeschiedenen Schicht oder Schichten und der pro Zeiteinheit abgeschiedenen Materialmenge ergibt. Dann wird mit der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion begonnen, indem man das primäre gasförmige Medium in den Innenraum des Substratrohrs 10 einströmen und durch diesen hindurchströmen läßt und von dort in den Innenraum des Abgasrohres 11, damit es anschließend gemeinsam oder gemischt mit dem Hilfsgas durch den Raum zwischen der Außenfläche des Hi Ifsgas-Rohrs 13 und der Innenfläche des Abgasrohres 11 hindurchströmt. Gleichzeitig wird die Kombination des Substrat roh rs 10 mit dem Abgasrohr 11 in Rotation versetzt, während eine Wärmequelle, vorzugsweise ein Brenner, entlang der Längsachse des Substratrohres an dessen Außenseite entlang bewegt wird.Just before the preform manufacturing step of the Deposition from the chemical vapor phase reaction becomes the pressure of the auxiliary gas introduced into the opening 31 set to the desired value, which experience has shown during the deposition from the chemical vapor phase reaction the best results in terms of the quality of the deposited layer or layers and the per Time unit of deposited amount of material results. Then it will be with the deposition from the chemical vapor phase reaction started by the primary gaseous medium flowing into the interior of the substrate tube 10 and through it can flow through and from there into the interior of the Exhaust pipe 11 so that it is then jointly or mixed with the auxiliary gas through the space between the Outer surface of the Hi Ifsgas pipe 13 and the inner surface of the Exhaust pipe 11 flows through it. At the same time, the Combination of the substrate roh rs 10 with the exhaust pipe 11 in rotation, while a heat source, preferably a burner, along the longitudinal axis of the substrate tube the outside of which is moved along.

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Wenn es gewünscht ist, mit dem Abkratzen von G LaspartikeLn zu beginnen, was gleichzeitig mit oder anschließend oder sogar vor dem Beginn des Vo rform-HersteLLungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion sein kann, wird der Motor 15 in Betrieb gesetzt, so daß das Verbindungsrohr 20 im oben erwähnten Drehsinn rotiert, der entgegengesetzt zum Drehsinn ist, in dem das SubstratrohrIf desired, with scraping off G LaspartikeLn to begin what at the same time with or afterwards or even before the start of the preform manufacturing step Deposition from the chemical vapor phase reaction can, the motor 15 is put into operation so that the Connecting pipe 20 rotates in the above-mentioned direction of rotation, the is opposite to the direction of rotation in which the substrate tube

10 und das Abgasrohr 11 während der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion rotieren. Da das Verbindungsstück 26 es z.uläßt, daß das Hilfsgas-Rohr 13 aufgrund seines Eigengewichts auf der oben erwähnten Bodenfläche ruht, wird das Hilfsgas-Rohr 13 ständig entweder direkt mit der inneren Oberfläche des Hilfsgas-Rohrs 11 oder mit irgendwelchen auf einer solchen inneren Oberfläche an der Bodenfläche angesammelten Glaspartikeln in Kontakt sein.10 and the exhaust pipe 11 during the deposition from the rotating chemical vapor phase reaction. Since that Connector 26 allows the auxiliary gas pipe 13 due to its own weight on the above mentioned Floor surface rests, the auxiliary gas pipe 13 is constantly either directly with the inner surface of the Auxiliary gas pipe 11 or with any on such inner surface to be in contact with glass particles accumulated on the bottom surface.

Dies bedeutet, daß durch die Bewegung der zusammenwirkenden äußeren UmfangsfLache des Hilfsgas-Rohres 13 und der inneren Fläche des AbgasrohresThis means that by the movement of the cooperating outer peripheral surface of the Auxiliary gas pipe 13 and the inner surface of the exhaust pipe

11 an der Bodenfläche in zueinander entgegengesetzten Umfangsrichtungen die an der jeweils betroffenen Oberfläche angesammelten Glaspartikel losgelöst oder von dort abgekratzt werden. Darauf werden die losgelösten oder abgekratzten Glaspartikel von dem Strom der beiden gemischten gasförmigen Medien mitgenommen und strömen in diesem Strom durch den Zwischenraum zwischen dem Hilfsgas-Rohr 13 und dem Abgasrohr 11 und aus dessen offenem Ende hinaus. Wegen der Verringerung des Durchflußquerschnitts des Abgasrohres aufgrund des darin befindlichen Hilfsgas-Rohres und wegen der Addition des Stroms des Hilfsgases zum Strom des primären Gasmediums11 on the bottom surface in opposite directions Circumferential directions are those of the respective affected Glass particles accumulated on the surface can be detached or scraped off from there. Thereupon the detached or Scraped glass particles are entrained by the flow of the two mixed gaseous media and flow in this flow through the space between the auxiliary gas pipe 13 and the exhaust pipe 11 and out of it open end. Because of the reduction in the flow area of the exhaust pipe due to the therein located auxiliary gas pipe and because of the addition of the Flow of the auxiliary gas to the flow of the primary gas medium

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durch den Innenraum des Abgasrohres 11 wird die Strömungsgeschwindigkeit der Mischung der beiden Gasmedien durch den Raum zwischen der inneren Oberfläche des Abgasrohres 11 und der äußeren Oberfläche des Hilfsgas-Rohres 13 erheblich größer als bei üblichen Anordnungen zur Durchführung desthrough the interior of the exhaust pipe 11 is the Flow rate of the mixture of the two gas media through the space between the inner surface of the exhaust pipe 11 and the outer surface of the Auxiliary gas pipe 13 is considerably larger than usual Arrangements for the implementation of the

Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus einer chemischen Dampfphasenreaktion, bei denen nur das primäre Gasmedium durch den Innenraum des Abgasrohres 11 strömt. Diese erhöhte Strömungsgeschwindigkeit wirkt der Tendenz der Glaspartikel, sich im Innenraum des Abgasrohres abzusetzen, entgegen, weil die Verweilzeit der Glaspart\kel im Innenraum des Abgasrohres 11 verkürzt ist und diese Partikel in der Luft bleiben.Preform manufacturing step of the deposition from a chemical vapor phase reaction, in which only the primary gas medium flows through the interior of the exhaust pipe 11. This increased flow rate affects the tendency of the glass particles to settle in the interior of the exhaust pipe, contrary, because the residence time of the glass Part \ angle in the interior of the exhaust pipe 11 is shortened and these particles remain in the air.

Während des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion wird der Druck am freien Ende des Hilfsgas-Rohres 13 kontinuierlich oder in regelmäßigen Zeitabständen überwacht, entweder durch eine Bedienungsperson, die die am Abscheidungsdruck-Manometer 30 erscheinenden Anzeigen beobachtet, oder automatisch durch einen Steuerungs rechner oder eine ähnliche Dat enve ra rbeitungsei nn chtung bekannter Art. Dabei wird jede wesentliche Änderung des Druckes ausgewertet und, falls erforderlich, dazu verwendet, die Betriebsbedingungen des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion einzustellen, wie zum Beispiel den Druck oder das Volumen des primären Gasmediums, das in den Innenraum des Substrat roh rs 10 eingeleitet wird, oder den Druck oder das Volumen des in die öffung 31 eingeleiteten Hilfsgases. Diese Einstellung kann durch die Bedienungsperson auf der Grundlage der durch Beobachtung des Manometers 30During the preform making step of the deposition the chemical vapor phase reaction becomes the pressure am free end of the auxiliary gas tube 13 continuously or in monitored at regular intervals, either by a Operator working on the deposition pressure gauge 30 appearing displays are observed, or automatically by a control computer or the like Data processing of a known type every significant change in pressure is evaluated and, if necessary, used to determine the Operating conditions of the preform manufacturing step of FIG Deposition from the chemical vapor phase reaction such as pressure or volume the primary gas medium, which is introduced into the interior of the substrate raw rs 10, or the pressure or the Volume of the auxiliary gas introduced into opening 31. This setting can be made by the operator on the Basis of the observation of the pressure gauge 30

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erhaltenen Information vorgenommen werden oder von dem Steuerungsrechner oder einer ähnlichen Einrichtung in direkter Abhängigkeit eines die Größe des gemessenen Drucks angegebenden Signals. Die letztere Möglichkeit wird gegenwärtig bevorzugt, insbesondere weil eine informationsverarbeitende Einrichtung und/oder steuernde Einrichtung ohnehin vorhanden ist und dazu verwendet wird, die verschiedenen Parameter desinformation received or from the Control computer or a similar device in direct dependence of a signal indicating the size of the measured pressure. The latter option will currently preferred, especially because an information processing device and / or controlling The facility is in place anyway and is used to set the various parameters of the

Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion, wie z. B. den Druck, die Gasvolumina, das Verhältnis der Brenngase zu Sauerstoff des Brenners und ähnliches zu steuern. Tatsächlich stellt das Vorhandensein des erfindungsgemäßen Vorrichtungsteils 12 zur Entfernung von Glaspartikeln und seine Verbindung mit einer solchen Informationsverarbeitungs- und Steuereinrichtung einen weiteren Schritt in Richtung einer vollständigen Automatisierung desPreform manufacturing step of the deposition from the chemical vapor phase reaction, e.g. B. the pressure that To control gas volumes, the ratio of fuel gases to oxygen of the burner and the like. Actually represents the presence of the device part according to the invention 12 for the removal of glass particles and its connection with such information processing and Control device a further step towards a complete automation of the

Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion dar.Preform manufacturing step of the deposition from the chemical vapor phase reaction.

Durch das Einleiten des Hi Ifsgases in den Übergangsbereich 14 werden grundsätzlich zwei Vorteile erzielt. Einer dieser Vorteile besteht darin, daß eine Gas-Mischzone entsteht, in der sich die beiden gasförmigen Medien miteinander mischen und daß diese Mischzone sich zwischen dem stromabwärts (in Strömungsrichtung des primären Gasmediums) gelegenen Ende des Substratrohres 10 und dem freien Ende des Hilfsgas-Rohres 13 befindet und somit effektiv den Innenraum des Substrat roh res 10 von dem Bereich trennt, an dem sich die Glaspartikel im Innenraum des Abgasrohres 11 ansammeln. Dies bedeutet, daß die im Innenraum des Abgasrohres 11 lose vorliegenden Glaspartikel daran gehindert werden, wieder zurück in das Innere des Substrat roh res 10 hineinzugelangen und dort möglicherweise das Material der auf der inneren OberflächeBy introducing the Hi Ifs gas into the Transition area 14 will basically have two advantages achieved. One of these advantages is that a gas mixing zone is created in which the two gaseous Media mix with each other and that this mixing zone is between the downstream (in the direction of flow of the primary gas medium) located end of the substrate tube 10 and the free end of the auxiliary gas pipe 13 is located and thus effectively the interior of the substrate roh res 10 of the Separates area where the glass particles in the interior of the exhaust pipe 11 accumulate. This means that those in the interior of the exhaust pipe 11 are loosely present Glass particles are prevented from getting back into the interior of the substrate roh res 10 and there possibly the material on the inner surface

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des Substratrohres 10 abgeschiedenen Schicht zu ve runrei ni gen.of the substrate tube 10 deposited layer defective.

Der zweite wichtige Vorteil besteht darin, daß durch die Einleitung de*s' Hitfsgase's der am stromabwärts (in Strömungsrichtung des primären Gasmediums) gelegenen Ende des Substratrohres 10 herrschende Druck kontrollierbar erhöht wird, so daß der Vorform-Herstellungsschritt der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion bei höheren und steuerbaren Drücken und damit mit erhöhtem Wirkungsgrad der Abscheidung durchgeführt werden kann. Dies führt zu dem Zustand, daß weniger Glaspartikel produziert werden, so daß nur eine geringere Menge von solchen Glaspartikeln überhaupt das Abgasrohr 11 erreicht und dadurch die Gefahr der Abscheidung von solchen Glaspartikeln im inneren des Abgasrohres 11 weiter herabgesetzt ist.The second important advantage is that the Introduction of the 'Hitfsgase's' on the downstream (in Direction of flow of the primary gas medium) located end of the substrate tube 10 prevailing pressure controllable is increased so that the preform manufacturing step of Deposition from the chemical vapor phase reaction higher and controllable pressures and thus with increased efficiency of the separation can be carried out. This leads to the condition that fewer glass particles are produced, so that only a smaller amount of such glass particles even reaches the exhaust pipe 11 and thereby the risk of such glass particles being deposited in the interior of the exhaust pipe 11 is reduced.

Es ist zwar besonders vorteilhaft, den VorridhtungsteiI zur Entfernung von Glaspartikeln aus dem Innenraum des Abgasrohres 11 wahrend des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion wie vorstehend beschrieben anzuwenden, jedoch kann der Teil auch für andere Zwecke und während anderer Schritte der Vorform-Herstellung ebenso verwendet werden, insbesondere zum Steuern des im Innenraum des Abgasrohres 11 vorhandenen Drucks und damit indirekt des im Innenraum des Drucks Substrat roh rs 11 an dessen stromabwärtsgelegenen Ende oder in dessen gesamtem Innenraum. So kann die Vorrichtung beispielsweise auch während des Verfahrensschrittes des Kollabierens des nach der Abscheidung vorhandenen mit einer oder mehreren Schichten innenbeschichteten Substrat roh res 10 nach Beendigung des Vorform-Herstellungsschritts der Abscheidung aus der chemischen Dampfphasenreaktion verwendet werden.It is particularly advantageous to use the VorridhtungsteiI to remove glass particles from the interior of the Exhaust pipe 11 during the preform manufacturing step the deposition from the chemical vapor phase reaction such as described above, however, the part can also be used for other purposes and during other steps of preform production as well, in particular to control the pressure present in the interior of the exhaust pipe 11 and thus indirectly the pressure in the interior of the Printed substrate raw rs 11 at its downstream End or in its entire interior. For example, the device can also be used during the Process step of collapsing what is present after the deposition with one or more layers inner coated substrate roh res 10 after completion of the Preform manufacturing step of the deposition from the chemical vapor phase reaction can be used.

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Claims (13)

Patentansp rüchePatent claims 1. Verfahren zur Herstellung einer Lichtwellenleiter-Vorform, bei dem in ein Glasrohr (10) von der einen Seite Reaktionsgase eingeleitet und das Glasrohr durch Abscheidung aus einer chemischen Dampfphasenreaktion innenbeschichtet wird, bei dem die Abgase der chemischen Dampfphasenreaktion das zu beschichtende Glasrohr (10) auf der anderen Seite durch ein mit diesem Glasrohr verbundenes Abgasrohr (11) verlassen und bei dem in das Abgasrohr ein Hilfsgas in zur Strömungsrichtung der Reaktionsgase und Abgase entgegengesetzter Strömungsrichtung mittels eines in das Auslaßende des Abgasrohres (11) eingeführten Rohres (13) eingeleitet wird,1. A method for producing an optical waveguide preform, in which a glass tube (10) from one side reaction gases introduced and that Glass tube is internally coated by deposition from a chemical vapor phase reaction, in which the Exhaust gases from the chemical vapor phase reaction that too coating glass tube (10) on the other side leave an exhaust pipe (11) connected to this glass tube and in the case of an auxiliary gas in the exhaust pipe Direction of flow of reaction gases and exhaust gases opposite direction of flow by means of a The outlet end of the exhaust pipe (11) is introduced into the pipe (13), dadurch gekennzeichnet, daß das zur Einleitung des Hilfsgases verwendete Rohr (13) derart gegen die Längsachse des Abgasrohres (11) versetzt angeordnet und vom Hilfsgas durchströmt wird, daß eine Abscheidung von Glaspartikeln auf der Innenwand des Abgasrohres (11) weitgehend verhindert wird und dort abgeschiedene Glaspartikel wieder losgelöst und entfernt we rden.characterized in that the pipe (13) used to introduce the auxiliary gas is of this type offset from the longitudinal axis of the exhaust pipe (11) and is flowed through by the auxiliary gas that a Deposition of glass particles on the inner wall of the exhaust pipe (11) is largely prevented and there separated glass particles are detached again and removed will. ZT/Pi-Kg/R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3ZT / Pi-Kg / R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3 08.04.1986 2421A04/08/1986 2421A 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Einleitung des Hilfsgases verwendete Rohr (13) innerhalb des Abgasrohres (11) so angeordnet . wird, daß ein Teil seiner äußeren Umfangsflache an einem Teil der Innenfläche des Abgasrohres (11) anliegt und dort eine Kontaktzone besteht, daß mindestens das Abgasrohr (TD um seine Längsachse gedreht wird, so daß sich die aneinander anliegenden Flächen beider Rohre relativ zueinander bewegen und dadurch an der Kontaktzone vorhandene Abscheidungen von Glaspartikeln abgelöst werden und daß die abgelösten Glaspartikel durch den Gasstrom, der im Zwischenraum zwischen beiden Rohren (11, 13) strömt, aus dem Abgasrohr (11) entfernt werden.2. The method according to claim 1, characterized in that the pipe (13) used to introduce the auxiliary gas so arranged within the exhaust pipe (11). will that a Part of its outer peripheral surface on part of the Inner surface of the exhaust pipe (11) rests and there is a contact zone that at least the exhaust pipe (TD around its longitudinal axis is rotated so that the one another adjacent surfaces of both tubes relative to each other move and thereby existing deposits of glass particles are detached at the contact zone and that the detached glass particles by the gas flow, which in the Gap between the two pipes (11, 13) flows, can be removed from the exhaust pipe (11). 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Einleitung des Hilfsgases verwendete Rohr (13) so innerhalb des Abgasrohres (11) angeordnet wird, daß die Kontaktzone während der Rotation des Abgasrohres (11) stationär im Raum immer an der momentanen Bodenfläche des Innenraums des rotierenden Abgasrohres (11) bleibt.3. The method according to claim 2, characterized in that the pipe (13) used to introduce the auxiliary gas as follows is arranged within the exhaust pipe (11) that the contact zone during the rotation of the exhaust pipe (11) always remains stationary in the room on the current floor area of the interior of the rotating exhaust pipe (11). 4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Einleitung des Hilfsgases verwendete Rohr (13) derart um seine Längsachse gedreht wird, daß sich seine äußere Umfangsf lache an der Kontakt zone vorbei bewegt.4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the initiation of the Auxiliary gas used tube (13) in such a way around its longitudinal axis is rotated that its outer peripheral surface moves past the contact zone. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden an der Kontaktzone aneinander anliegenden Rohre (11, 13) so um ihre Längsachsen gedreht werden, daß sich die innere Umfangsflache des Abgasrohres (11) und die äußere Umfangsflache des zur Einleitung des Hilfsgases verwendeten Rohres (13) in entgegengesetzten Richtungen an der Kontaktzone vorbeibewegen.5. The method according to claim 4, characterized in that the two tubes (11, 13) resting against one another at the contact zone are rotated about their longitudinal axes in such a way that the inner peripheral surface of the exhaust pipe (11) and the outer peripheral surface of the for the introduction of the auxiliary gas used tube (13) in opposite directions move past the contact zone. ZT/Pi-Kg/R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3ZT / Pi-Kg / R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3 08.04.1986 2421A04/08/1986 2421A 6. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorstehenden Ansprüche, bestehend aus dem mit der Innenbeschichtung zu versehenen Glasrohr (10), dem damit verbundenen Abgasrohr (11), Mitteln zur Durchführung der Innenbeschichtung, einem in das Abgasrohr (11) hineinragenden Rohr (135· zur Einleitung eines Hilfsgases, wobei zwischen der Innenwand des Abgasrohres (11) und dem darin befindlichen Rohr (13) zur Einleitung des Hilfsgases ein Zwischenraum zum Ausströmen der Abgase verbleibt, Mitteln (26, 20, 23) zur Anordnung des des zur Einleitung des Hilfsgases versehenen Rohres (13) und Mitteln zum Einleiten des Hilfsgases in dieses Rohr (13), dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (15, 16, 17, 18, 19) vorhanden sind, die das zur Einleitung des Hilfsgases verwendete Rohr (13) so innerhalb des Abgasrohres (11) halten, daß ein Teil seiner äußeren Umfangsflache an einem Teil der Innenflache des Abgasrohrs (11) anliegt und dprt eine Kpntaktzone besteht und gleichzeitig eine relative Bewegung der beiden aneinander Iiegenden Flächen an der Kontaktzone vorbei bewirken, derart, daß die an der Kontaktzone vorhandenen Glaspartikel-Abscheidungen von Glaspartikeln abgelöst und durch den im Zwischenraum zwischen beiden Rohren (11, 13) vorhandenen Gasstrom aus dem Abgasrohr (11) entfernt werden.6. Apparatus for performing the method according to any one of the preceding claims, consisting of the with the Inner coating to be provided glass tube (10), the so connected exhaust pipe (11), means for carrying out the inner coating, one in the exhaust pipe (11) protruding pipe (135 for the introduction of an auxiliary gas, wherein between the inner wall of the exhaust pipe (11) and the pipe (13) located therein for introducing the auxiliary gas an intermediate space remains for the outflow of the exhaust gases, means (26, 20, 23) for the arrangement of the for the introduction the pipe (13) provided with the auxiliary gas and means for introducing the auxiliary gas into this pipe (13), characterized in that means (15, 16, 17, 18, 19) are present which for the introduction of the auxiliary gas pipe (13) so hold inside the exhaust pipe (11) that part of its outer peripheral surface on part of the inner surface of the Exhaust pipe (11) and there is a contact zone and at the same time a relative movement of the two adjacent surfaces past the contact zone cause in such a way that the glass particle deposits present at the contact zone are detached from glass particles and removed from the exhaust pipe (11) by the gas flow present in the space between the two pipes (11, 13) will. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Halten des zur Einleitung des Hilfsgases verwendeten Rohres (13) dieses Rohr so innerhalb des Abgasrohres (11) halten, daß die Kontaktzone während der Relativbewegung der beiden Rohre stationär im Raum immer an der momentanen Bodenfläche des Innenraums des Abgasrohres (11) bleibt.7. Apparatus according to claim 6, characterized in that that the means for holding the pipe (13) used to introduce the auxiliary gas, this pipe so keep inside the exhaust pipe (11) that the contact zone is stationary during the relative movement of the two pipes Space always remains at the current floor area of the interior of the exhaust pipe (11). ORIGINAL INSPECTEDORIGINAL INSPECTED ZT/Pi-Kg/R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3ZT / Pi-Kg / R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3 08.04.1986 2A21A04/08/1986 2A21A 8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die die Relativbewegung bewirkenden Mittel, das Abgasrohr relativ zum darin befind Iichen Rohr zur Einleitung des Hilfsgases um seine Längsachse drehen.8. Apparatus according to claim 7, characterized in that that the means causing the relative movement, that Exhaust pipe relative to the pipe located in it Rotate the introduction of the auxiliary gas around its longitudinal axis. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die die Relativbewegung bewirkenden Mittel die beiden an der Kontaktzone aneinander anliegenden Rohre (11, 13) so um ihre Längsachse drehen, daß sich die innere Umfangsflache des Abgasrohres (11) und die äußere Umfangsflache des zur Einleitung des Hilfsgases vorgesehenen Rohres (13) in entgegengesetzten Richtungen an der Kontaktzone vorbeibewegen.9. The method according to any one of claims 6 to 8, characterized characterized in that the cause the relative movement Means rotate the two tubes (11, 13) resting against one another at the contact zone about their longitudinal axis, that the inner peripheral surface of the exhaust pipe (11) and the outer circumferential surface of the for the introduction of the auxiliary gas provided tube (13) in opposite directions to move past the contact zone. 10. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (31, 33, 20,23) zum Einleiten des Hilfsgases ein Gas-Anschlußstück (23) mit drehbarer und dichter Gasdurchführung enthalten, die ein stationäres Gehäuse mit einem inneren Kanal (22) hat, der mit mindestens einer Einlaßöffnung (31) in Verbindung steht, durch die das Hilfsgas in den Kanal (22) eingeleitet wird, daß das Gas-Anschlußstück (23) ein Verbindungsrohr (20) enthält, dessen eines Ende (21) abgedichtet in dem Kanal drehbar gegenüber dem Gehäuse gelagert ist und dessen anderes Ende (25) sich außerhalb des Gehäuses befindet und mit dem Einlaßende des zur Einleitung des Hilfsgases verwendeten Rohres (13) verbunden ist, daß die die Relativbewegung bewirkenden Mittel einen Motor (15) und Mittel enthalten, die die Drehung der Motorwelle (16) auf das Verbindungsrohr (20) übertragen und dadurch dieses um seine Längsachse drehen.10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the means (31, 33, 20, 23) a gas connector (23) for introducing the auxiliary gas with rotatable and sealed gas feedthrough that contain has a stationary housing with an inner channel (22) communicating with at least one inlet port (31) stands, through which the auxiliary gas is introduced into the channel (22) that the gas connector (23) a Contains connecting tube (20), one end of which (21) sealed in the channel is rotatably mounted relative to the housing and the other end (25) is outside of the housing is located and with the inlet end of the for Introduction of the auxiliary gas used pipe (13) is connected that the cause the relative movement Means contain a motor (15) and means which the rotation of the motor shaft (16) on the connecting pipe (20) transferred and thereby rotate this around its longitudinal axis. ZT/Pi-Kg/R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3ZT / Pi-Kg / R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3 08.04.1986 2421A04/08/1986 2421A 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Einlaßende des zur Einleitung des Hilfsgases vorgesehenen Rohres (13) mittels eines flexiblen Kupplungsstücks (26) dicht mit dem anderen Ende (25) des Verbindungsroh res (20) verbunden ist und die Rotation des Verbindungsroh res auf das zur Einleitung des Hilfsgases verwendete Rohr (13) überträgt.11. The device according to claim 10, characterized in that that the inlet end of the for the introduction of the auxiliary gas provided tube (13) by means of a flexible coupling piece (26) tightly to the other end (25) of the Connection tube res (20) is connected and the rotation of the Connection pipe res to the introduction of the auxiliary gas used tube (13) transfers. 12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (29, 30) vorhanden sind, die den am Auslaßende des zur Einleitung des Hilfsgases vorgesehenen Rohres (23) herrschenden Druck überwachen und die einen Druckmesser (30) und eine sich vom Druckmesser durch den in dem Gas-Anschlußstück (23) enthaltenen Kanal (22) und durch das zur Einleitung des Hilfsgases vorgesehenen Rohr (13) bis in den Bereich von dessen Auslaßende erstreckenden Leitung (29) enthält und den in diesem Bereich herrschenden Druck auf den Druckmesser überträgt.12. Device according to one of claims 6 to 11, characterized in that means (29, 30) are provided which at the outlet end of the to initiate the Auxiliary gas provided pipe (23) monitor the prevailing pressure and the one pressure gauge (30) and one itself from the pressure gauge through the one in the gas connector (23) contained channel (22) and through the tube (13) provided for introducing the auxiliary gas into the area of contains the outlet end extending line (29) and the pressure prevailing in this area on the Pressure gauge transmits. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die im Inneren des zur Einleitung des Hilfsgases vorgesehenen Rohres (13) befindliche Leitung (29) zur Druckmessung in einem vorbestimmten Abstand vom Aus laßende dieses Rohres (13) endet.13. The device according to claim 12, characterized in that that the line (29) located inside the tube (13) provided for introducing the auxiliary gas to the Pressure measurement at a predetermined distance from From letting this tube (13) ends. ZT/Pi-Kg/R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3ZT / Pi-Kg / R R.Peckman-K.Karbassiyoon 1-3 08.04.1986 2421A04/08/1986 2421A
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