DE3604142A1 - Microscope - Google Patents

Microscope

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DE3604142A1
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Otto Dr Stemme
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

The present invention relates to a microscope, consisting of objective and eyepiece, or beam splitter and two eyepieces, which are permanently joined to one another via a tube system, and of a specimen stage. The position of the image produced by the objective lens is determined with the aid of a focally sensitive photoelectric sensor, and the focal plane of this image is automatically brought into the viewing plane of the eyepiece in conjunction with evaluation of the measurement of sharpness/position of the sensor by varying the distance between the objective/tube system and the microscope specimen/specimen stage.

Description

Mikroskope bestehen vom grundsätzlichen Aufbau her aus einem Objektiv, das von einem zwischen einfacher und doppelter Brennweite gelegenen Objekt ein Luftbild erzeugt, welches mit einem Okular als Lupe betrachtet wird. Objektiv und Okular sind über eine Tubuskonstruktion fest miteinander verbunden, so daß für jede Objektiv/Okularkombination - Objektiv und Okular sind im allgemeinen jeweils auswechselbar - eine bestimmte Ebene vor dem Objektiv existiert, in die das Objekt gebracht werden muß, um ein scharfes Bild desselben durch das Okular hindurch zu sehen. Diese Ebene befindet sich im allgemeinen sehr dicht vor der Frontlinse des Objektives, so daß die Gefahr besteht, daß beim Scharfstellen, welches durch Verschieben des Mikroskoptubus oder des Objekttisches erfolgt, Frontlinse und mikroskopisches Präparat (Objekt) in Berührung kommen und beschädigt werden. Dies gilt naturgemäß vor allem für ungeübte Benutzer und den Fall häufig durchgeführter Routineuntersuchungen. Darüber hinaus bedingt der Scharfstellvorgang einen ebenfalls personenabhängigen, erheblichen Zeitaufwand.Microscopes consist of the basic structure a lens ranging from a simple to a double focal object creates an aerial view which is viewed as a magnifying glass with an eyepiece. The lens and eyepiece are fixed via a tube construction interconnected so that for each lens / eyepiece combination - The lens and eyepiece are generally each interchangeable - a certain level in front of the lens exists in which the object must be brought to a sharp image of it through the eyepiece see. This level is generally very close to the front lens of the lens, so the danger there is that when focusing, which by moving the microscope tube or the stage, Front lens and microscopic specimen (object) in contact come and get damaged. This naturally applies especially for inexperienced users and the case of frequently performed Routine examinations. Beyond conditional the focusing process is also a person-dependent, considerable expenditure of time.

Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, diese Nachteile zu vermeiden, indem der Benutzer lediglich eine grobe Voreinstellung vornimmt und die zur Schärfe führende Feineinstellung automatisch erfolgt.The aim of the present invention is to overcome these disadvantages to be avoided by simply giving the user a rough preset and the fine adjustment leading to sharpness done automatically.

Dies wird erfindungsgemäß entsprechend der schematischen Darstellung von Fig. 1 dadurch erreicht, daß sich in einem Mikroskop mit dem Tubus T ein Umlenkspiegel Sp (z. B. als reflektierende Fläche eines beweglichen/drehbaren Prismas oder vorzugsweise als Klappspiegel, der als Ausführungsbeispiel gewählt wird) befindet. This is according to the invention corresponding to the schematic illustration of FIG. 1 achieved in that in a microscope with the tube T, a deflecting mirror Sp (z. B. as a reflecting surface of a movable / rotatable prism or preferably is chosen as an exemplary embodiment as a folding mirror) located.

Der Spiegel SP ist im Ausgangszustand aus dem Strahlengang zwischen Objektiv O und Okular OK herausgeklappt. Der Benutzer nimmt durch Verschieben des Tubussystems T gegen den Objekttisch OT bzw. das darauf befindliche Objekt O oder umgekehrt zunächst eine grobe Scharfvoreinstellung vor und betätigt dann einen Auslöser AL (z. B. eine Taste), wodurch über die Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE oder direkt (in Fig. 1 punktiert dargestellt) durch einen Antrieb T 2 der Spiegel SP in den Strahlengang geklappt wird. Über den Spiegel SP wird nunmehr das Bild des Objektes OJ im Bereich eines fotoelektrischen Sensors SE erzeugt. Dieser schärfeempfindliche, den Bildkontrast auswertende Sensor ermittelt in Verbindung mit der angeschlossenen Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE die Lage der Schärfenebene des Bildes in bezug auf eine Sollschärfenebene S′.In the initial state, the mirror SP is folded out of the beam path between the objective O and the eyepiece OK . By moving the tube system T against the object table OT or the object O located thereon or vice versa, the user first makes a rough focusing and then actuates a trigger AL (e.g. a button), which means via the evaluation electronics / signal processing AE or directly (shown in dotted lines in FIG. 1), the mirror SP is folded into the beam path by a drive T 2 . The image of the object OJ is now generated in the area of a photoelectric sensor SE via the mirror SP . This sharpness-sensitive sensor evaluating the image contrast, in conjunction with the connected evaluation electronics / signal processing AE, determines the position of the plane of focus of the image with respect to a target plane of focus S ' .

Die Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE steuert über ein Antriebselement T 1 die Verschiebung des Tubussystems T mit Objektiv O/Frontlinse FL und Okular OK/Augenlinse AL und des Objekttisches/Objektes gegeneinander so, daß bei später weggeklapptem Spiegel SP die Schärfenebene (innerhalb zulässiger Toleranzen) in die Sollschärfenebene S (Betrachtungsebene) des Okulars OK fällt. Dazu wird durch Justage sichergestellt, daß die Sollschärfenebenen S′ und S miteinander korrespondieren.The evaluation electronics / signal processing AE controls the displacement of the tube system T with objective O / front lens FL and eyepiece OK / eye lens AL and the object table / object against each other via a drive element T 1 such that when the mirror SP is later folded away, the focus plane (within permissible tolerances) in the nominal focus plane S (viewing plane) of the OK eyepiece falls. This is ensured by adjustment that the target sharpness levels S ' and S correspond to each other.

Sobald der beschriebene automatische Scharfstellvorgang abgeschlossen ist, steuert die Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE einen Antrieb T 2 so an, daß der Spiegel SP weggeklappt wird. Da die Zeit zwischen Ein- und Wegklappen des Spiegels SP sehr kurz sein kann (z. B. eine Sekunde), tritt praktisch keine Beeinträchtigung des Beobachtungsvorganges ein. As soon as the automatic focusing process described is completed, the evaluation electronics / signal processing AE controls a drive T 2 in such a way that the mirror SP is folded away. Since the time between folding in and out of the mirror SP can be very short (e.g. one second), the observation process is practically unaffected.

In Fortführung des Erfindungsgedankens kann auf den Klappspiegel und dessen Betätigung mittels Auslöser verzichtet werden, wenn als Spiegel SP ein teildurchlässiger feststehender Spiegel oder ein sich periodisch in den Strahlengang hinein und heraus bewegender Spiegel verwandt wird.In continuation of the idea of the invention, the folding mirror and its actuation by means of a trigger can be dispensed with if a partially transparent fixed mirror or a mirror which periodically moves in and out of the beam path is used as the mirror SP .

Fig. 1 zeigt ein Mikroskop, bei dem im Tubussystem T in den Strahlengang zwischen Objektiv O und Okular OK ein Umlenkspiegel SP, vorzugsweise ein Klappspiegel, gebracht werden kann. Dies erfolgt durch den Benutzer, sobald dieser eine grobe Scharfvoreinstellung vorgenommen hat, indem ein Auslöser AL betätigt wird. Nach automatischer Scharfstellung (Feineinstellung) mittels fotoelektrischem Sensor SE, Auswertelektronik/ Signalverarbeitung AE und Antrieb T 1 wird der Spiegel SP über den Antrieb T 2 wieder weggeklappt, so daß das Bild des Beobachtungsgegenstandes in der Sollschärfenebene S des Okulars OK liegt und scharf gesehen wird. Fig. 1 shows a microscope in which the tube system T in the beam path between objective and eyepiece O OK, a deflecting mirror SP preferably, a folding mirror can be accommodated. This is done by the user as soon as he has made a rough focus by actuating a trigger AL . After automatic focusing (fine adjustment) by means of photoelectric sensor SE , evaluation electronics / signal processing AE and drive T 1 , the mirror SP is folded away again via the drive T 2 , so that the image of the object to be observed lies in the target focus plane S of the eyepiece OK and is seen sharply.

Claims (12)

1. Mikroskop mit über ein Tubussystem fest miteinander verbundenem Objektiv und Okular oder Strahlenteiler und zwei Okularen sowie einer Vorrichtung zur Aufnahme/ Befestigung des mikroskopischen Objektes (Objekttisch), dadurch gekennzeichnet, daß die Lage des vom Objektiv erzeugten Bildes mit Hilfe eines schärfeempfindlichen fotoelektrischen Sensors bestimmt wird und die Schärfenebene dieses Bildes durch Verändern des Abstandes zwischen Objektiv/Tubussystem und mikroskopischem Objekt/Objekttisch automatisch in die Betrachtungsebene des Okulars gebracht wird.1. microscope with a lens system and eyepiece or beam splitter and two eyepieces, and a device for holding / attaching the microscopic object (object table), characterized in that the position of the image generated by the lens is determined with the aid of a sharpness-sensitive photoelectric sensor and the focal plane of this image is automatically brought into the viewing plane of the eyepiece by changing the distance between the objective / tube system and the microscopic object / stage. 2. Mikroskop nach Anspruch 1., dadurch gekennzeichnet, daß das vom Objektiv erzeugte Bild über einen beweglichen Spiegel SP einem schärfeempfindlichen fotoelektrischen Sensor SE zugeführt wird.2. Microscope according to claim 1, characterized in that the image generated by the lens is supplied via a movable mirror SP to a sharpness-sensitive photoelectric sensor SE . 3. Mikroskop nach Anspruch 1. und 2., dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Spiegel SP als reflektierende Fläche eines beweglichen/drehbaren Prismas ausgeführt ist.3. Microscope according to claim 1 and 2, characterized in that the movable mirror SP is designed as a reflecting surface of a movable / rotatable prism. 4. Mikroskop nach Anspruch 1. und 2., dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Spiegel SP aus Klappspiegel ausgeführt ist.4. Microscope according to claim 1 and 2, characterized in that the movable mirror SP is made of a folding mirror. 5. Mikroskop nach Anspruch 1., 2., 3., 4., dadurch gekennzeichnet, daß das Hineinbewegen des Spiegels SP in den Strahlengang mit einem manuellen Auslöser AL ausgelöst wird. 5. Microscope according to claim 1, 2, 3, 4, characterized in that the movement of the mirror SP into the beam path is triggered with a manual trigger AL . 6. Mikroskop nach Anspruch 1. bis 5., dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop auch eine Auswertelektronik/ Signalverarbeitung AE und Antrieb T 1 zum Verschieben des Objektives/Tubussystems und der Vorrichtung zur Aufnahme/Befestigung des Objektes bzw. des Objektes gegeneinander sowie einen Antrieb T 2 zum Bewegen des Spiegels SP umfaßt.6. Microscope according to claim 1 to 5, characterized in that the microscope also evaluation electronics / signal processing AE and drive T 1 for moving the lens / tube system and the device for receiving / fastening the object or the object against each other and a drive T 2 includes for moving the mirror SP . 7. Mikroskop nach Anspruch 6., dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor SE seine Schärfe/Lageinformation an die Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE liefert, die ihrerseits den Antrieb T 1 bzw. T 2 steuert.7. Microscope according to claim 6, characterized in that the sensor SE supplies its sharpness / position information to the evaluation electronics / signal processing AE , which in turn controls the drive T 1 or T 2 . 8. Mikroskop nach Anspruch 1. bis 7., dadurch gekennzeichnet, daß ein Auslöser AL über die Auswertelektronik/ Signalverarbeitung AE den Antrieb T 2 steuert.8. Microscope according to claim 1 to 7, characterized in that a trigger AL controls the drive T 2 via the evaluation electronics / signal processing AE . 9. Mikroskop nach Anspruch 7., dadurch gekennzeichnet, daß die Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE den Spiegelantrieb T 2 so steuert, daß der Spiegel SP nach Beendigung des automatischen Scharfstellvorganges aus dem Strahlengang hinausbewegt wird, so daß das vom Objektiv O erzeugte Luftbild des mikroskopischen Objektes OJ vor dem Okular OK innerhalb zulässiger Toleranzen in dessen Sollschärfenebene S (Betrachtungsebene) entsteht.9. Microscope according to claim 7, characterized in that the evaluation electronics / signal processing AE controls the mirror drive T 2 so that the mirror SP is moved out of the beam path after completion of the automatic focusing process, so that the aerial image generated by the lens O of the microscopic object OJ is created in front of the OK eyepiece within permissible tolerances in its target focus level S (viewing level) 10. Mikroskop nach Anspruch 1., dadurch gekennzeichnet, daß das vom Objektiv O erzeugte Bild über einen ortsfesten teildurchlässigen Spiegel SP einem schärfeempfindlichen Sensor SE zugeführt wird. 10. Microscope according to claim 1, characterized in that the image generated by the lens O is supplied to a sharpness-sensitive sensor SE via a stationary, partially transparent mirror SP . 11. Mikroskop nach Anspruch 10., dadurch gekennzeichnet, daß das Mikroskop auch eine Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE und einen Antrieb T 1 zum Verschieben des Objektives/Tubussystems und der Vorrichtung zur Aufnahme/Befestigung des Objektes bzw. des Objektes gegeneinander umfaßt.11. Microscope according to claim 10, characterized in that the microscope also includes evaluation electronics / signal processing AE and a drive T 1 for moving the lens / tube system and the device for receiving / fastening the object or the object against each other. 12. Mikroskop nach Anspruch 10. und 11., dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor SE seine Schärfe/Lageinformation an die Auswertelektronik/Signalverarbeitung AE liefert, die ihrerseits den Antrieb T 1 steuert.12. Microscope according to claim 10 and 11, characterized in that the sensor SE supplies its sharpness / position information to the evaluation electronics / signal processing AE , which in turn controls the drive T 1 .
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003100403A1 (en) * 2002-05-24 2003-12-04 Honeywell International Inc. Method and apparatus for determining a surface quality of a substrate sample using a differential interference contrast microscope

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