DE3543618A1 - Appliance for discharging or charging or neutralising electrostatic charges - Google Patents

Appliance for discharging or charging or neutralising electrostatic charges

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    • F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
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    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Abstract

The invention describes an appliance, consisting of a pipe into which clean air is passed by means of a fan and an air filter, an emission electrode being fastened in the pipe in an axial position on insulators, which electrode upon application of high voltage generates ions which flow out through the orifices in the pipe together with the air and outside the pipe give rise to discharging or charging or neutralisation of electrostatic charges.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung bestehend aus einem Rohr, in das durch Luftfilter gereinigte Luft einströmt, in dem axial in der Rohrmitte eine Sprühelektrode befestigt ist, die durch Anlegung von Hochspannung Ionen erzeugt, die mit der gefilterten Luft aus den Öffnungen am Rohr ausströmen und im Bereich der Luftströmung außerhalb des Rohres eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen erzeugt.The invention relates to a device from a pipe into which cleaned by air filter Air flows in the axially in the middle of the tube Spray electrode is attached by applying generated by high voltage ions with the filtered Blow air out of the openings on the pipe and in the area of air flow outside the Tube a discharge or charging or neutralization generated by electrostatic charges.

Der momentane Stand der Technik geht davon aus, daß elektrostatische Ladungen durch geeignete Maßnahmen wie z. B. der Erdung von elektronischen Geräten oder Arbeitsvorrichtungen bei der Verarbeitung von mikroelektronischen Bauelementen verhindert werden. Nicht nur bei der Handhabung elektronischer Geräte sondern besonders bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen muß durch besondere Maßnahmen das Entladen von elektrostatischem Potential verhindert und beseitigt werden.The current state of the art assumes that electrostatic charges through suitable measures such as B. the grounding of electronic devices or Working devices in the processing of microelectronic components can be prevented. Not only when handling electronic devices but especially in the production of microelectronic Components must be special Measures to discharge electrostatic potential be prevented and eliminated.

Bei hochempfindlichen Bauelementen der Mikroelektronik kann durch Spannungsüberschläge die Funktion des Bauteils zerstört werden. Bei elektronischen Geräten im Bereich der Bürotechnik oder Medizintechnik können Fehlanzeigen oder sogar Programmablaufänderungen auftreten. Nur durch besondere Maßnahmen, hierzu gehört z. B. das Tragen von besonders leitfähiger Kleidung des Bedienungspersonals und die besondere Ausstattung der Arbeitsräume, ebenfalls aus leitfähigen Materialien kann dieses Problem nur teilweise beseitigt werden. For highly sensitive components in microelectronics can be caused by flashovers Function of the component can be destroyed. For electronic devices in the field of office technology or medical technology can false reports or even program flow changes occur. Only through special measures, this includes e.g. B. wearing particularly conductive clothing Operating personnel and the special equipment of the work rooms, also made of conductive Materials can only partially solve this problem be eliminated.  

Derartige Lösungen sind jedoch derart kostenintensiv, so daß sie in der Praxis im Bereich der Bürotechnik, Datenspeicherung und der Medizintechnik kaum angewendet werden.However, such solutions are so expensive that so that in practice in the field of office technology, Data storage and medical technology can hardly be applied.

Ein bekannter Verursacher von elektrostatischen Aufladungen sind die Klimaanlagen, die aber gerade für die angesprochenen Bereiche unabkömmlich sind. Die gefilterte Luft, die durch diverse Luftkanäle und Filterelemente strömt, erhält ein elektrisches Potential bevor sie in einen Raum einströmt. Bei positivem Potential bewirkt dieses Phänomen einen andauernden Energiezuwachs. Unzureichende Luftfeuchtigkeit, die elektrostatische Entladungen positiv beeinflußt und mangelnde leitfähige Verbindungen mit dem Erdpotential sind weitere Ursachen für plötzliche elektrostatische Entladungen, die meist zwischen Bedienungspersonal und Geräten aber auch von Person zu Person stattfinden können.A well-known cause of electrostatic Charges are the air conditioners, but they are are indispensable for the areas mentioned. The filtered air through various air channels and filter elements flows, receives an electrical one Potential before it flows into a room. If the potential is positive, this phenomenon an ongoing increase in energy. Insufficient humidity, the electrostatic Discharges positively affected and lack of conductive Are connections with the earth potential other causes of sudden electrostatic Discharges, mostly between operating personnel and devices but also from person to person can take place.

Ein Überblick zum Stand der Technik hat gezeigt, daß alle bisherigen Vorrichtungen und Maßnahmen auf dem Gebiet der Neutralisation von elektrostatischen Ladungen selbst bei kostenintensiven Problemlösungen keine sichere elektrostatische Neutralisation von elektrostatischem Potential möglich ist.An overview of the state of the art has shown that all previous devices and measures in the field of neutralization of electrostatic Loads even with expensive ones Problem solving not a safe electrostatic Neutralization of electrostatic potential possible is.

Die Erfindung hat sich die Aufgabe zum Ziel gesetzt, mittels einer Vorrichtung, bestehend aus einem Rohr, in das durch Luftfilter gereinigte Luft einströmt, in dem axial in der Rohrmitte eine Sprühelektrode befestigt ist, die durch Anlegung einer Hochspannung Ionen erzeugt, die mit der gefilterten Luft aus den Öffnungen am Rohr ausströmen und im Bereich der Luftströmung eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen erzeugen. Hierzu wird z. B. in ein leitfähiges Rohr durch Luftfilter gereinigte Luft mittels Ventilator eingeblasen. Axial in der Rohrmitte ist eine Sprühelektrode an Isolatoren befestigt. Am Rohr sind radial über die gesamte Länge Öffnungen eingebracht, durch die die eingeströmte Luft ausströmen kann.The object of the invention is to: by means of a device consisting of a tube, into which air cleaned by air filters flows, in the axially in the middle of the tube a spray electrode is attached by applying a high voltage Generates ions with the filtered air from the Flow out openings on the pipe and in the area of the air flow a discharge or charging or neutralization of electrostatic charges.  For this, z. B. in a conductive tube Air filter clean air blown in by fan. Axial in the middle of the pipe is a spray electrode attached to insulators. Are on the pipe openings are made radially over the entire length, through which the incoming air flows out can.

Das elektrisch leitfähige Rohr wird an das Erdpotential angeschlossen. Die Hochspannung wird an die Sprühelektrode angelegt. Durch Anlegung der Hochspannung an der Sprühelektrode werden zwischen Rohr und Sprühelektrode Ionen erzeugt, die mit der ausströmenden, gefilterten Luft über die Öffnungen am Rohr nach Außen befördert werden und dort eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation elektrostatischer Ladungen erzeugen. Erfindungsgemäß werden in der Regel zwei vertikal, parallel zueinanderstehende Rohre zum Einsatz kommen. Sie bilden einen Rahmen, bei dem die aus den Rohren ausströmende Luft eine Luftschleuse bildet, die im Eingangsbereich von Räumen der Mikroelektronikfertigung im Bereich von Büros der Datenverarbeitung und der Krankenhaustechnik installiert werden kann. Der Trittbereich zwischen den Rohren am Eingang besteht zusätzlich aus elektrisch leitfähigem Material und ist wie die Rohre mit dem Erdpotential verbunden.The electrically conductive pipe is connected to the earth potential connected. The high voltage is on the spray electrode applied. By applying the High voltage on the spray electrode will be between Tube and spray electrode generates ions with the outflowing, filtered air over the Openings on the pipe are conveyed outside and there a discharge or charging or neutralization generate electrostatic charges. According to the invention, two are usually vertical, parallel pipes are used. They form a frame in which the tubes escaping air forms an airlock, which in the Entrance area of microelectronics manufacturing rooms in the field of data processing offices and the hospital technology can be installed. The step between the tubes at the entrance also consists of electrically conductive material and is connected to the earth potential like the pipes.

Eine weitere Ausführung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß nicht das ganze Rohr elektrisch leitfähig sein muß, sondern nur bestimmte Zonen entweder innerhalb oder außerhalb oder beidseitig am Rohr. Diese elektrisch leitfähigen Zonen werden miteinander und mit dem Erdpotential verbunden. Another embodiment of the invention is thereby characterized that not the whole pipe is electric must be conductive, but only certain zones either inside or outside or on both sides on Pipe. These will be electrically conductive zones connected to each other and to the earth potential.  

Eine derartige Ausführung der Erfindung hat den Vorteil, daß elektrische Energie eingespart und eine billigere Hochspannungsquelle eingesetzt werden kann und zusätzlich eine gezielte Erzeugung von Ionen im Bereich der Öffnungen zu einer effizienten Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen führt.Such an embodiment of the invention has the advantage that electrical energy saved and a cheaper high voltage source can be used can and in addition a targeted generation of Ions in the area of the openings to an efficient Discharge or charging or neutralization of leads to electrostatic charges.

Eine weitere Ausführung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühelektrode partiell durch isolierende Hülsen oder Beschichtungen oder Isolierungen umgeben wird, so daß eine gezielte Entladung der Ionen nur im Bereich der elektrisch leitfähigen Zonen am Rohr erzeugt werden kann. Durch diese Maßnahme kann auch elektrische Energie eingespart werden und eine billigere Hochspannungsquelle eingesetzt werden.Another embodiment of the invention is thereby characterized in that the spray electrode partially by insulating sleeves or coatings or Insulations are surrounded so that a targeted Discharge of the ions only in the electrical area conductive zones on the pipe can be generated. This measure can also be used to generate electrical energy be saved and a cheaper high voltage source be used.

Der herausragende Vorteil liegt jedoch darin, daß eine gezielte Ionenerzeugung im Bereich der Öffnungen erreicht wird.The outstanding advantage is that targeted ion generation in the area of the openings is achieved.

Die Ionen können direkt aus dem Bereich zwischen Sprühelektrode und leitfähigem Rohr oder elektrisch leitfähigen Zonen am Rohr in dem sie durch Anlegung der Hochspannung erzeugt werden mit der gefilterten Luft ausströmen und eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen außerhalb des Rohres erzeugen. The ions can go straight from the area between Spray electrode and conductive tube or electrical conductive zones on the pipe in which they are created the high voltage generated with the filtered Air leak and discharge or charge or neutralization of electrostatic charges generate outside the pipe.  

Die Ausführungsbeispiele der Erfindung sind im folgenden näher beschrieben.The embodiments of the invention are in following described in more detail.

Fig. 1 zeigt ein elektrisch leitfähiges Rohr mit Öffnungen am Rohr in Form von Düsen, Schlitzen oder Bohrungen, aus denen die durch einen Ventilator eingeleitete und vom Luftfilter gereinigte Luft ausströmen kann. Axial in der Rohrmitte ist eine Sprühelektrode an Isolatoren befestigt, die unter Anlegung einer Hochspannung Ionen erzeugt. Fig. 1 shows an electrically conductive tube with openings on the tube in the form of nozzles, slots or bores from which the air introduced by a fan and cleaned by the air filter can flow out. A spray electrode is attached axially in the middle of the tube to insulators, which generates ions when a high voltage is applied.

Fig. 2 zeigt ein nicht elektrisch leitfähiges Rohr mit leitfähigen Zonen innerhalb und/oder außerhalb des Rohres im Bereich der Öffnungen. Fig. 2 shows a non-electrically conductive tube having conductive areas inside and / or outside of the tube in the region of the openings.

Fig. 3 zeigt ein elektrisch leitfähiges oder teilweise leitfähiges Rohr mit leitfähigen Zonen, bei dem die Sprühelektrode partiell zwischen dem Bereich der Öffnungen durch isolierende Hülsen oder isolierende Beschichtungen abgeschirmt worden ist. Fig. 3 shows an electrically conductive or partially conductive tube with conductive zones, in which the spray electrode has been partially shielded between the area of the openings by insulating sleeves or insulating coatings.

Fig. 4 zeigt eine parallele, vertikale Anordnung von zwei erfindungsgemäßen Vorrichtungen im z. B. Eingangsbereich für mikroelektronische Bauteile, bei dem der Trittbereich zusätzlich mit dem Erdpotential verbunden ist und bei dem der Ausströmbereich der Luft zur Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen verdeutlicht wird. Fig. 4 shows a parallel, vertical arrangement of two devices according to the invention in z. B. Entrance area for microelectronic components, in which the step area is additionally connected to the earth potential and in which the outflow area of the air for discharging or charging or neutralizing electrostatic charges is illustrated.

Fig. 5 zeigt ein elektrisch leitfähiges oder teilweise leitfähiges Rohr mit leitfähigen Zonen mit einer axial im Rohr angebrachten Zwischenelektrode. Fig. 5 shows an electrically conductive or partially conductive tube with conductive zones with an intermediate electrode axially mounted in the tube.

Fig. 1 verdeutlicht den Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Rohluft wird mittels Ventilator 1 angesaugt und einem Luftfilter 2 zugeführt. Die Rohluft wird gereinigt und ins Rohr 4 weitergeleitet. Fig. 1 illustrates the structure of the device according to the invention. The raw air is drawn in by means of fan 1 and fed to an air filter 2 . The raw air is cleaned and passed on to tube 4 .

Das Rohr 4 besteht in diesem Fall aus elektrisch leitfähigem Material mit verschiedenen Arten von Öffnungen 6, Düsen, Schlitzen und Bohrungen. Axial in der Rohrmitte ist an Isolatoren 3 eine Sprühelektrode 5 befestigt.The tube 4 consists in this case of electrically conductive material with different types of openings 6 , nozzles, slots and bores. A spray electrode 5 is fastened axially in the middle of the tube to insulators 3 .

Das Rohr 4 ist mittels einer Erdleitung 7 mit dem Erdpotential verbunden.The tube 4 is connected to the earth potential by means of an earth line 7 .

Wird die Sprühelektrode 5 an Hochspannung 10 angeschlossen, so werden zwischen Rohr 4 und Sprühelektrode 5 Ionen erzeugt, die aus den Öffnungen 6 am Rohr 4 mittels ausströmender Luft nach Außen transportiert werden und dort eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation elektrostatischer Ladungen erzeugen.If the spray electrode 5 is connected to high voltage 10 , ions are generated between the tube 4 and the spray electrode 5 , which ions are transported out of the openings 6 on the tube 4 by means of escaping air and generate a discharge or charge or neutralization of electrostatic charges there.

Fig. 2 zeigt ebenfalls den Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Die Rohluft wird mittels eines Ventilators 1 angesaugt und einem Luftfilter 2 zugeführt. Die Rohluft wird gereinigt und ins Rohr 4 eingeleitet. Fig. 2 also shows the structure of the device according to the invention. The raw air is sucked in by means of a fan 1 and fed to an air filter 2 . The raw air is cleaned and introduced into tube 4 .

Das Rohr 4 besteht in diesem Fall aus einem nicht elektrisch leitfähigen Material und ist mit verschiedenen Arten von Öffnungen 6, Düsen, Schlitzen und Bohrungen ausgerüstet.The tube 4 consists in this case of a non-electrically conductive material and is equipped with various types of openings 6 , nozzles, slots and bores.

Axial in der Rohrmitte 4 ist an Isolatoren 3 eine Sprühelektrode 5 befestigt.A spray electrode 5 is fastened axially in the middle of the tube 4 to insulators 3 .

Die leitfähigen Zonen 12 sind miteinander verbunden und mittels Erdleitung 7 ans Erdpotential angeschlossen. Der Vorteil dieser erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der, daß kleinere, leistungsschwächere und damit kostengünstigere Hochspannungsquellen eingesetzt werden können als bei der Lösung in Fig. 1. The conductive zones 12 are connected to one another and connected to earth potential by means of earth line 7 . The advantage of this device according to the invention is that smaller, less powerful and therefore less expensive high-voltage sources can be used than in the solution in FIG. 1.

Wird die Sprühelektrode 5 an Hochspannung 10 angeschlossen, so werden zwischen den leitfähigen Zonen 12, innerhalb und/oder außerhalb am Rohr 4 Ionen erzeugt, die aus den Öffnungen 6 am Rohr 4 mittels ausströmender Luft nach Außen transportiert werden und dort eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation elektrostatischer Ladungen erzeugen.If the spray electrode 5 is connected to high voltage 10 , ions are generated between the conductive zones 12 , inside and / or outside on the tube 4 , which ions are transported out of the openings 6 on the tube 4 by means of escaping air and there discharge or charging or Generate neutralization of electrostatic charges.

Fig. 3 zeigt den Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung. Fig. 3 shows the structure of the device according to the invention.

Die Rohluft wird mittels eines Ventilators 1 angesaugt und einem Luftfilter 2 zugeführt. Die Rohluft wird gereinigt und in Rohr 4 eingeleitet. Das Rohr 4 kann in diesem Fall wie in Fig. 1 aus elektrisch leitfähigem Material oder wie in Fig. 2 beschrieben aus nicht elektrisch leitfähigem Material mit leitfähigen Zonen 12 innerhalb und/oder außerhalb des Rohres 4 ausgerüstet sein.
Axial in der Rohrmitte ist an Isolatoren 3 eine Sprühelektrode 5 befestigt, die wahlweise mit isolierenden Hülsen 8 oder mit Beschichtungen 9 ausgestattet ist.The raw air is sucked in by means of a fan 1 and fed to an air filter 2 . The raw air is cleaned and introduced into tube 4 . In this case, the tube 4 can, as in FIG. 1, be made of an electrically conductive material or, as described in FIG. 2, of a non-electrically conductive material with conductive zones 12 inside and / or outside the tube 4 .
A spray electrode 5 is fastened axially in the middle of the tube to insulators 3 and is optionally equipped with insulating sleeves 8 or with coatings 9 .

Das Rohr 4 oder die leitfähigen Zonen 12 sind mittels Erdleitung 7 mit dem Erdpotential verbunden. Wird die Sprühelektrode 5 an die Hochspannung 10 angeschlossen, so werden in diesem Fall gezielt im Bereich der Öffnungen 6 Ionen erzeugt, die aus den Öffnungen 6 am Rohr 4 mittels ausströmender Luft nach Außen transportiert werden und dort eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation elektrostatischer Ladungen erzeugen. The tube 4 or the conductive zones 12 are connected to the earth potential by means of earth line 7 . If the spray electrode 5 is connected to the high voltage 10 , in this case ions are specifically generated in the area of the openings 6 , which ions are transported out of the openings 6 on the tube 4 by means of escaping air and generate a discharge or charge or neutralization of electrostatic charges there .

Fig. 4 zeigt den Aufbau von zwei parallel zueinander, vertikal angeordneter Vorrichtungen in z. B. einem Eingangsbereich einer Fertigung für mikroelektronische Bauteile.
Man sieht deutlich, daß der Bereich der ausströmenden, gefilterten Luft den ganzen Eingangsbereich erfaßt. Als Schwelle wird zusätzlich eine leitfähige Platte 11 installiert, die mittels Erdleitung 7 an das Erdpotential angeschlossen ist. Alle beschriebenen Möglichkeiten in den Fig. 1 bis Fig. 3 und Fig. 5 sind für diesen Fall einsetzbar. Wird die Sprühelektrode 5 an Hochspannung 10 angeschlossen, so werden zwischen Rohr 4 und Sprühelektrode 5 Ionen erzeugt, die mit der Luft aus den Öffnungen 6 am Rohr 4 ausströmen.
Betritt eine Person den Bereich zwischen den beiden erfindungsgemäßen Vorrichtungen, so wird sein elektrostatisches Potential z. B. neutralisiert. Die mit der Luft ausströmenden Ionen erzeugen im Eingangsbereich eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen. Fig. 4 shows the structure of two parallel, vertically arranged devices in z. B. an entrance area of a manufacturing facility for microelectronic components.
It can clearly be seen that the area of the outflowing, filtered air covers the entire entrance area. A conductive plate 11 is additionally installed as a threshold, which is connected to earth potential by means of earth wire 7 . All operations described in FIGS. 1 to FIG. 3 and FIG. 5 are used for this case. If the spray electrode 5 is connected to high voltage 10 , ions are generated between the tube 4 and the spray electrode 5 , which ions flow out of the openings 6 on the tube 4 with the air.
If a person enters the area between the two devices according to the invention, his electrostatic potential z. B. neutralized. The ions flowing out in the air create a discharge or charge or neutralization of electrostatic charges in the entrance area.

Fig. 5 zeigt den Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer installierten Zwischenelektrode 13.
Die Rohluft wird mittels eines Ventilators 1 angesaugt und einem Luftfilter 2 zugeführt. Die Rohluft wird gereinigt und in das Rohr 4 eingeleitet. Das Rohr 4 kann wahlweise aus elektrisch leitfähigem Material oder aus nichtelektrisch leitfähigem Material mit leitfähigen Zonen 12 bestehen. Im Rohr 4 ist eine zylindrische, luftdurchlässige Zwischenelektrode 13 angebracht, die zur Aufgabe hat, die Ionenbewegung zwischen Sprühelektrode 5 und Rohr 4 oder den elektrischen Zonen 12 am Rohr 4 zu unterbinden, so daß die Ionen mit der ausströmenden Luft durch die Öffnungen 6 am Rohr 4 transportiert werden können. Fig. 5 shows the construction of the inventive device with an installed intermediate electrode 13.
The raw air is sucked in by means of a fan 1 and fed to an air filter 2 . The raw air is cleaned and introduced into the tube 4 . The tube 4 can optionally consist of electrically conductive material or of non-electrically conductive material with conductive zones 12 . In the tube 4 , a cylindrical, air-permeable intermediate electrode 13 is attached, which has the task of preventing the ion movement between the spray electrode 5 and tube 4 or the electrical zones 12 on the tube 4 , so that the ions with the outflowing air through the openings 6 on the tube 4 can be transported.

Um diesen Vorgang zu erreichen wird die Zwischenelektrode 13 mit einer niedrigeren Hochspannung 10 betrieben als die Sprühelektrode 5.
Die Ionen bewegen sich von der Sprühelektrode 5 in Richtung elektrisch leitfähigem Rohr 4 oder den leitfähigen Zonen 12.In order to achieve this process, the intermediate electrode 13 is operated with a lower high voltage 10 than the spray electrode 5 .
The ions move from the spray electrode 5 in the direction of the electrically conductive tube 4 or the conductive zones 12 .

Sie müssen die luftdurchlässige Zwischenelektrode 13 passieren, werden jedoch, da positive Ladung in Richtung Sprühelektrode 5 zurückgestoßen und verlieren an Geschwindigkeit. Die Luft kann jetzt den Transport der Ionen übernehmen und außerhalb des Rohres 4 eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation elektrostatischer Ladungen erzeugen.You have to pass through the air-permeable intermediate electrode 13 , however, as positive charge is pushed back towards the spray electrode 5 and lose speed. The air can now take over the transport of the ions and generate a discharge or charge or neutralization of electrostatic charges outside the tube 4 .

  •  1 Ventilator
     2 Luftfilter
     3 Isolator
     4 Rohr
     5 Sprühelektrode
     6 Öffnungen
     7 Erdleitung
     8 Hülsen
     9 Beschichtung
    10 Hochspannung
    11 Leitfähige Platte
    12 Zonen
    13 Zwischenelektrode     1 fan
    2 air filters
    3 isolator
    4 pipe
    5 spray electrode
    6 openings
    7 earth line
    8 sleeves
    9 coating
    10 high voltage
    11 Conductive plate
    12 zones
    13 intermediate electrode

Claims (4)

1. Vorrichtung zur Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen für Objekte in einem Raum, hergestellt aus einem Rohr (4), mit verschiedenen Öffnungen (6) in Form von Düsen, Schlitzen oder Bohrungen ausgerüstet ist dadurch gekennzeichnet, daß axial in der Mitte des Rohres (4) eine Sprühelektrode (5) an Isolatoren (3) befestigt wird, der an Hochspannung (10) angelegt zwischen Sprühelektrode (5) und Rohr (4) Ionen erzeugt, die durch die ins Rohr (4) einströmende, gefilterte Luft, die über die Öffnungen (6) am Rohr (4) ausströmt, mit nach Außen befördert werden und dort eine Entladung oder Aufladung oder Neutralisation von elektrostatischen Ladungen erzeugen. 1. Device for discharging or charging or neutralizing electrostatic charges for objects in a room, made of a tube ( 4 ), with various openings ( 6 ) in the form of nozzles, slots or bores is characterized in that axially in the middle of the tube ( 4 ), a spray electrode ( 5 ) is attached to insulators ( 3 ), which is applied to high voltage ( 10 ) between the spray electrode ( 5 ) and tube ( 4 ) and generates ions through the filtered air flowing into the tube ( 4 ) , which flows out through the openings ( 6 ) on the tube ( 4 ), are transported to the outside and generate a discharge or charge or neutralization of electrostatic charges there. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß nicht das ganze Rohr (4) elektrisch leitfähig, sondern nur bestimmte Zonen (12) innerhalb oder außerhalb des Rohres (4) mit elektrisch leitfähigen Zonen (12) ausgerüstet ist, die miteinander verbunden an die Erdleitung (7) angeschlossen sind.2. Device according to claim 1, characterized in that not the whole tube ( 4 ) is electrically conductive, but only certain zones ( 12 ) inside or outside the tube ( 4 ) with electrically conductive zones ( 12 ) which are connected to each other Earth line ( 7 ) are connected. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 2 dadurch gekennzeichnet, daß die Sprühelektrode (5) partiell durch isolierende Hülsen (8) oder Beschichtungen (9) umgeben werden kann, so daß eine gezielte Entladung der Ionen nur im Bereich der elektrisch leitfähigen Zonen (12) am Rohr (4) erzeugt wird.3. Device according to claim 1 to 2, characterized in that the spray electrode ( 5 ) can be partially surrounded by insulating sleeves ( 8 ) or coatings ( 9 ), so that a targeted discharge of the ions only in the region of the electrically conductive zones ( 12 ) is generated on the tube ( 4 ). 4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Sprühelektrode (5) und Rohr (4) axial eine luftdurchlässige Zwischenelektrode (13) angeordnet werden kann, die mit gleicher Polarität wie die Sprühelektrode (5), jedoch mit niedrigerer Hochspannung (10) betrieben wird, die partiell mit isolierten Schichten oder Unterbrechungen ausgerüstet ist, die die Ionengeschwindigkeit zwischen Sprühelektrode (5) und Zwischenelektrode (13) reduziert, so daß der Ionentransport außerhalb des Rohres (4) durch die ausströmende Luft erleichtert wird.4. Apparatus according to claim 1 to 3, characterized in that between the spray electrode ( 5 ) and tube ( 4 ) axially an air-permeable intermediate electrode ( 13 ) can be arranged, which has the same polarity as the spray electrode ( 5 ), but with lower high voltage ( 10 ) is operated, which is partially equipped with insulated layers or interruptions, which reduces the ion velocity between the spray electrode ( 5 ) and the intermediate electrode ( 13 ), so that the ion transport outside the tube ( 4 ) is facilitated by the escaping air.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19916735A1 (en) * 1999-04-13 2000-10-19 Henk Dekker Ionization apparatus for stable is arranged in ventilation system, being installed in air preparation chamber connected to stable, promoting air exchange between stable and air preparation chamber
DE19745316C2 (en) * 1997-10-14 2000-11-16 Thomas Sebald Device for generating high voltage for the ionization of gases

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19745316C2 (en) * 1997-10-14 2000-11-16 Thomas Sebald Device for generating high voltage for the ionization of gases
DE19916735A1 (en) * 1999-04-13 2000-10-19 Henk Dekker Ionization apparatus for stable is arranged in ventilation system, being installed in air preparation chamber connected to stable, promoting air exchange between stable and air preparation chamber

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