DE3520685A1 - Arrangement for increasing the stiffness of probes - Google Patents

Arrangement for increasing the stiffness of probes

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DE3520685A1
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Konrad Dipl.-Ing. DDR 6902 Jena-Lobeda Friedrich
Bernt Dipl.-Ing. DDR 6903 Camburg Söllner
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Jenoptik AG
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Jenoptik Jena GmbH
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Abstract

The invention relates to an arrangement for increasing the stiffness of probes. Provided in the probes is a probe receptacle which supports one or more feelers and which is mounted deflectively in a system of leaf or cantilever and elliptical springs. Provided kinematically relative to the leaf or cantilever and elliptical springs of the spring system are mechanical or electrical means which have a substantially higher spring constant or stiffness than the spring systems and which connect operationally with the probe receptacle only starting from a specific, preferably settable path of displacement of the spring-mounted probe receptacle. <IMAGE>

Description

Anordnung zur Erhöhung der Steifigkeit von TastköpfenArrangement to increase the rigidity of probes

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Erhöhung der Steifigkeit von Tastköpfen, insbesondere zur Erzielung eines bestimmten Kraft-Weg-Verhaltens der Tastköpfe $für Koordinateneßgeräte.The invention relates to an arrangement for increasing rigidity of probes, especially to achieve a certain force-displacement behavior the probes $ for coordinate measuring machines.

Fürdie Wegmessung an Koordinatenmeßgeräten eind verschiedene technische Lsungen bekannt. So ist in der DE-AS 2 242 355 ein elektronischer Xehrkoordinatentaster beschrieben, der in einem Gehäuse ein torsionssteifes, spielt und reibungsfreies Blattfeder-Geradführungssystem besitzt, welches ein räumliches Koordinatensystem bildet und an welchem ein das Meßobjekt antastender Taststift angeordnet tst. Dieser Taster umfaßt ferner Weg- und Kraftgeber und ein motorisch feinverstellbares Präzisionsgesperre.For the distance measurement on coordinate measuring machines and various technical Solutions known. In DE-AS 2 242 355, for example, there is an electronic Xehrkoordinatentaster described, the torsionally stiff, plays and frictionless in a housing Leaf spring straight line system, which has a spatial coordinate system forms and on which a stylus probing the test object is arranged. This The button also includes travel and force transducers and a precision locking mechanism that can be finely adjusted by a motor.

Ein Nachteil dieses Tasters besteht darin, daß durch die Vorzugarichtungen des Blattfedersystems aieh in Abhängigkeit von der Antastrichtung am Meßobjekt unterschiedliche Durchbiegungen der Blttfedern ergeben und damit auch unterschiedliche Meßkräfte. Ein bestimmtes, evtl. einstellbares Weg-Kraft-Verhalten des Tasters, um Auswirkungen von Schwingungen am Meßgerät auszuschließen, ist nicht realisierbare Auch die in det DD-Ps 150 111 beschriebene Einrichtung zur Weg-Kraft-Koordinierung an Antastsystemen beseitigt diesen Nachteil nicht. In dieser Einrichtung sind Mittel für eine programmierbare Vorauslenkung und Dämpfung der Führungesysteme des Taststiftes vorgesehen.A disadvantage of this button is that the preferred directions of the leaf spring system also differ depending on the direction of contact on the test object Deflections of the leaf springs result in and thus also different Measuring forces. A certain, possibly adjustable path-force behavior of the button, to exclude the effects of vibrations on the measuring device is not feasible Also the device for distance-force coordination described in det DD-Ps 150 111 on probing systems does not eliminate this disadvantage. There are funds in this facility for a programmable pre-deflection and damping of the guide systems of the stylus intended.

Richtungsunabhängig in einer Ebene arbeitet der in der DD"PX 141 197 beschriebene Koordinatentastkopf, bei welchem ein torsionssteifes Biegestabfedersystem mit Tasteraufnahme und Taststift vorgesehen ist. Nachteilig ist auch hierbei die Störanfälligkeit des Tastkopfes gegenüber Schwingungen, welche sich insbesondere dann auf die Antastgenauigkeit schädlich auswirken, wenn mitgeringen Federsteifen des Biegestabfedersystems und kleinen Antastkräften gearbeitet werden muß. Durch die geringe Federsteife wird der tastkopf sehr schwingungsempfindlich, und es müssen an das mit diesem Tastkopf bestückte Meßgerät im Bezug auf die Steuerung des Anfahrens und Bremsens der Schlitten hohe Anforderungen gestellt werden.The one in the DD "PX 141 197" works independently of the direction in one plane described coordinate probe, in which a torsionally rigid bending rod spring system is provided with a button holder and stylus. The disadvantage here is also the Susceptibility of the probe head to vibrations, which in particular then have a detrimental effect on the probing accuracy if the spring stiffness is low the bending rod spring system and small contact forces must be worked. By The low spring stiffness makes the probe very sensitive to vibrations, and it must to the measuring device equipped with this probe head in relation to the control of the start-up and braking of the slide, high demands are made.

Es ist daß Ziel der Erfindung, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen und die Meßgenauigkeit der mit Tastköpfen ausgerüsteten Koordinatenmeßgeräte zu erhöhen.It is the aim of the invention to overcome the disadvantages of the prior art to eliminate and the measuring accuracy of the coordinate measuring machines equipped with probes to increase.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu grunde, eine Anordnung zur Erhöhung der Steifigkeit an Tastköpfen zu schaffen, die es gestattet, ab einem bestimmten Verschiebe- oder Auslenkungsweg einer federgelagerten Tasteraufnahme die Federsteife eines Federführungssystems wesentlich zu erhöhen.The invention is based on the object of an arrangement for increasing to create the stiffness of probes, which allows a certain Displacement or deflection path of a spring-loaded button holder the spring stiffness of a lead management system to increase significantly.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Anordnung zur Erhöhung der Steifigkeit von Tastköpfen, bei denen eine, einen oder mehrere Tasterstifte tragende asteraufnahme in Blatt- oder Biegestabfedersystemen in einer oder mehreren Koordinaten auslenkbar gelagert ist, wo bei fur die Bewegung in einer jeden Koordinate ein Pedersystem vorgesehen iat, dadurch gelöst, daß, kinematisch in Reihe zu den Blatt- oder Biegestabfedern eines oder eines jeden Federsystems geschaltet, mechanische oder elektrische Mittel vorgesehen ind, die eine wesentlich höhere Federkonstante oder -steife als die Blatt- oder Biegestabfedern besitzen und die erst ab einem bestimten, vorzugsweise einstellbaren Verschiebeweg der federgelagerten Tasteraufnahme mit dieser in Wirkverbindung stehen.According to the invention, this object is achieved in an arrangement for elevation the stiffness of probes with one, one or more styli Load-bearing aster mount in leaf or flexible rod spring systems in one or more Coordinates is mounted deflectable, where with for the movement in each coordinate a Pedersystem provided iat, solved in that, kinematically in series with the Leaf or bending bar springs of one or each spring system switched, mechanical or electrical means are provided which have a much higher spring constant or have stiffness than the leaf or bending bar springs and only from one certain, preferably adjustable displacement of the spring-loaded button holder are in operative connection with this.

Dabei ist es vorteilhaft, wenn mechaniche federnde Mittel in Porin von Blattfedern oder Federstäbe vorgesehen sind, die mit einer, die einen Enden der Blattfedern oder Pederstäbe aufnehmenden Platte verbunden sind.It is advantageous if mechanical resilient means in Porin of leaf springs or spring bars are provided with one that has one ends of the leaf springs or pedestal receiving plate are connected.

Be Anwendung von Biegestäben ist es vorteilhaft, daß mechanische, federnde, rohrförmige Mittel koaxial zu mindestens einer der Biegestabfedern an der Tasteraufnahme fest angeordnet sind, und daß an der, die einen Enden der Beigestabfedern aufnehmenden Platte ein die betreffende Biegestabfeder umfassender, in das offene rohrförmige Mittol mit Spiel hineinragender Zapfen angeordnet ist.When using bending bars, it is advantageous that mechanical, resilient, tubular means coaxially to at least one of the flexural bar springs the button holder are fixed, and that on the one end up the plate receiving the additional bar springs encompasses the bending bar spring in question, is arranged in the open tubular Mittol with game protruding pegs.

Es ist ferner vorteilhaft, daß ein Tauchspulensystem vorgesehen ist, dessen Spule an der Tasteraufnahme und dessen Anker an der, die Blattfedern aufnehmenden Platte oder umgekehrt angeordnet sind.It is also advantageous that a moving coil system is provided, its coil on the button holder and its armature on the one that receives the leaf springs Plate or vice versa are arranged.

Es ist ein Vorteil, daß durch diese Anordnung die Federsteife der Blatt- oder Biegestabfedersysteme in Tastköpfen ab einer bestimmten Auslenkung einer Tasteraufnahme bzw. des taststiftes erhöht werden kann, wodurch die Schwingungsempfindlichkeit des Tastkopfes und auch die Anforderungen an die Bewegungssteuerung fUr den Tastkopf verringert werden können.It is an advantage that the spring stiffness of the Leaf or bending rod spring systems in probes from a certain deflection of a Probe holder or the stylus can be increased, whereby the vibration sensitivity of the probe head and also the requirements for motion control for the probe head can be reduced.

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausftilirungsbeispiel näher erläutert werden. In der Zeichnung zeigen Pig, 1 ein Blattfedersystem, Fig. 2 ein Biegestabfedersystem, Pig. 3 ein 3lattfedersystem mit Tauchspulensystem und Fig. 4 den Federkennlinienverlauf einer Anordnung.The invention is to be described in more detail below using an exemplary embodiment explained. In the drawing, Pig, 1 show a leaf spring system, FIG. 2 a Flexural bar spring system, Pig. 3 a 3 leaf spring system with moving coil system and Fig. 4 shows the spring characteristic curve of an arrangement.

Bei der Anordnung zur Erhöhung der Steifigkeit von Tastköpfen nach Fig 1 ist eine Tasteraufnahme 1 in Blattfedern 2; 3 eines Blattfedersystems, in der ein oder mehrere Tasterstifte 4 angeordnet sind, gelagert.When arranging to increase the rigidity of probes according to 1 is a button holder 1 in leaf springs 2; 3 of a leaf spring system, in the one or more stylus pins 4 are arranged, stored.

Dabei sind die Blattfedern 2; 3 mit ihrem einen Ende in einer am Tastkopfgehäuse 5 befestigten Platte 6 und mit ihrem anderen Ende an der Tasteraufnahme 1 befestigt.The leaf springs 2; 3 with one end in one on the probe head housing 5 attached plate 6 and attached at its other end to the button holder 1.

Kinematisch zu den Blattfedern 2: 3 in Reihe geschaltet sind mechanische Mittel 7; 8 in Form von Blattfedern oder Federstäben an der Platte 6 angeordnet. Das freie federnde Ende 9; 10 dieser Mittel 7; 8 ist durch einen Luftspalt 11; 12 von der nicht ausgelenkten Tasteraufnahme 1 getrennt, welcher vorzugsweise einstellbar ist.Kinematically connected in series with the leaf springs 2: 3 are mechanical ones Means 7; 8 arranged on the plate 6 in the form of leaf springs or spring bars. The free resilient end 9; 10 of these means 7; 8 is through an air gap 11; 12th separated from the non-deflected button holder 1, which is preferably adjustable is.

Bei der in Fig.2 dargestellten Anordnung sind in der Platte 6 die einen Enden MOn Biegestabfedern 14; 15 befestigt. An den anderen, in der ebene auelenkbaren B den der 3tegestabfedern t41 15 ist die Tasteraufnahme 1 befestigt, an der koaxial zu mindestens einer Biegestabfeder 14 ein rohrförmiges federndes Mittel 16 befestit ist, in dessen offenes Ende ein an der Platte 6 angeordneter Zapfen 17 tni..t Spiel hineinragt.In the arrangement shown in Figure 2 are in the plate 6 one end MOn flexural bar springs 14; 15 attached. At the other, steerable in the plane B the 3tegestabfedern t41 15, the button holder 1 is attached to the coaxially A tubular resilient means 16 is attached to at least one flexible rod spring 14 is, in the open end of a pin arranged on the plate 6 17 tni..t game protrudes.

dig. 3 zeigt ein Blattfedersystem, bei welchem an der Tasteraufnahme 1 eine Spule 18 und an der Platte 6 ein Anker 19 angeordnet sind. Eine gleichwertige Lösung ergibt sich auch, wenn die Spule 18 an der Platte 6 und.dig. 3 shows a leaf spring system in which the button holder 1 a coil 18 and an armature 19 on the plate 6 are arranged. An equivalent Solution also arises when the coil 18 to the plate 6 and.

der Anker 19 an der Tasteraufnahme 1 angeordnet sind.the armature 19 are arranged on the button holder 1.

Sind bei der Anordnung Biegestabfedern vorhanden, so kann auch ein flächenmäßig wirkendes elektromagnetischer System (nicht dargestellt) aus einer Spule und einer Platte vorgesehen sein.If there are bending bar springs in the arrangement, a Area-wise acting electromagnetic system (not shown) from one Coil and a plate may be provided.

Zur Vermeidung von harten Sidßan bei Berührung der Tasteraufnahme 1 mit den mechanischen Mitteln 7; 8 bzw. des rohrförmigen Mittels 16 mit dem Zapfen 17 ist an mindestens einem der sich berührenden Teile eine elastische, dämpfende Schicht 20 vorgesehen.To avoid hard sidssan when touching the button holder 1 with the mechanical means 7; 8 or the tubular means 16 with the pin 17 is on at least one of the touching parts an elastic, damping Layer 20 is provided.

Bei Mehrkoordinatentasköpfen ist meistens für jede Koordinate ein Federsystem vorhanden. In diesem Falle ist f Jedes dieser Federsysteme ein mechanisches elektrisches oder auch pneumatisches Mittel höherer Federkonstante oder -steife vorzusehen.In the case of multi-coordinate task heads, there is usually one for each coordinate Spring system available. In this case is f each of these spring systems a mechanical, electrical or pneumatic means of higher spring constant or stiffness to be provided.

Aus dem in Pig. 4 dargestellten Kennlinienverlauf ist die prinzipielle Punkt ion der erfindungsgemäßen Anordnung zu erkennen. lanerhalb des flach verlaufenden Bereiche I, der dem Blatt- oder Biegestabfedersystem zuzuordnen ist, liegt bei der Taststtftauslenkung si der Ort für die Meßwertübernahme. Der Bereich II der Kennlinie wird durch die mechanischen oder elektrischen Mittel realisiert, welche nach einem bestimmten Weg s2 (Auslenkung) der Tasteraufnahme 1 in Wirkung treten.From the one in Pig. 4 is the basic one Point ion to recognize the arrangement according to the invention. across the flat Areas I, which is to be assigned to the leaf or bending rod spring system, is located at the Probe deflection is the place for the measured value transfer. Area II of the characteristic is realized by the mechanical or electrical means, which after a certain path s2 (deflection) of the probe holder 1 come into effect.

Eine Auslenkung 53 der Tasteraufnahme mit dem Tasterstift 4 wird bei Anfahr- und Bremsvorgängen am Meßgerät nicht erreicht, sondern nur beim Antastvorgang am Meßobjekt. Bei Erreichen des Bereiches II wird der Tastkopf vom Meßobjekt zurückgeführt.A deflection 53 of the button receptacle with the stylus pin 4 is at Start-up and braking processes are not achieved on the measuring device, but only during the probing process on the test object. When the area II is reached, the probe is returned from the object to be measured.

Bei der Anordnung nach Fig. 3 wird bei Erreichen einer Auslenkung 5 die Spule 18 des Tauchspulensystems abgeschaltet, so daß bei der Antastung des Meßobjektes das Blatt- oder Biegestabfedersystem im Bereich I der Kennlinie nach Fig. 4 wirkt und dann die Meßwertübernahme erfolgt.In the arrangement according to FIG. 3, when a deflection is reached 5 switched off the coil 18 of the moving coil system, so that when the The object to be measured follows the leaf or bending bar spring system in area I of the characteristic curve 4 takes effect and the measured value is then taken over.

Claims (4)

P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Anordnung zur Erhöhung der Steifigkeit von Tastköpfen, bei denen eine, einen oder mehrere Tasterstifte tragende Tasteraufnahme in Blatt- oder Biegestabfedersstemen in einer oder mehreren Koordinaten auslenkbar gelagert ist, wobei für die Bewegung in einer jeden Koordinate ein Federsystem vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß, kinematisch in Reihe zu den Blatt- oder Biegestabfedern eines oder eines jeden Federsystems geschaltet, mechanische oder elektrische Mittel vorgesehen sind, die eine wesentlich höhere Federkonstante oder -steife als die Blatt-oder Biegestabfedern besitzen und die erst ab einem bestimmten, vorzugsweise einstellbaren Verschieseweg der federgelagerten Tasteraufnahme mit dieser in Wirkverbindung stehen.P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Arrangement to increase the rigidity of probe heads, in which one, one or more probe pins carrying probe holder can be deflected in one or more coordinates in leaf or bending bar spring systems is mounted, a spring system being provided for the movement in each coordinate is, characterized in that, kinematically in series with the leaf or bending bar springs one or each spring system switched, mechanical or electrical means are provided that have a much higher spring constant or stiffness than that Have leaf or bending bar springs and only after a certain, preferably adjustable displacement of the spring-loaded button holder with this in operative connection stand. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mechanische federnde Mittel in Form von Blattfedern oder Federstäbe vorgesehen sind, die mit einer, die einen sonden der Blattfedern oder Federstäbe aufnehmenden ratte verbunden sind.2. Arrangement according to claim 1, characterized in that mechanical resilient means in the form of leaf springs or spring bars are provided with one connected to a rat receiving a probe of the leaf springs or spring rods are. 3. Anordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß mechanische, federnde, rohrförmige Mittel koaxial zu mindestens einer der Biegeotabfedern an der Tasteraufnahme fest angeordnet sind, und daß an der, die einen sonden der Biegestabfedern aufnehmenden Platte ein die betreffende Biegestabfeder umfassender, in das offene rohrförmige Mittel mit Spiel hineinragender Zapfen angeordnet ist.3. Arrangement according to claim 1 and 2, characterized in that mechanical, resilient, tubular means coaxially to at least one of the Biegeotabfedern the button holder are fixed, and that on the one probe of the flexible rod springs receiving plate one of the bending bar spring in question comprehensive, in the open tubular means is arranged with game protruding pegs. 4. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Tauchspulensystem vorgesehen ist, dessen Spule an der Tasteraufnahme und dessen Anker an der, die Blattfedern aufnehmenden Platte oder umgekehrt angeordnet sind.4. Arrangement according to claim 1, characterized in that a moving coil system is provided, its coil on the button holder and its armature on the, the Leaf spring receiving plate or vice versa are arranged.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994019146A1 (en) * 1993-02-24 1994-09-01 H. Pronk Beheer B.V. Supporting element and measuring device provided with such a supporting element
EP0693669A3 (en) * 1994-07-09 1997-05-07 Zeiss Carl Measuring head for coördinate measuring machines
EP1672310A1 (en) * 2004-12-15 2006-06-21 Hexagon Metrology GmbH Measuring head of the measuring type with vibration damping for coordinate measuring machine

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110095050B (en) * 2019-04-19 2021-03-26 安徽理工大学 Triangular beam flexible constraint variable-rigidity micro-nano measuring head

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994019146A1 (en) * 1993-02-24 1994-09-01 H. Pronk Beheer B.V. Supporting element and measuring device provided with such a supporting element
EP0693669A3 (en) * 1994-07-09 1997-05-07 Zeiss Carl Measuring head for coördinate measuring machines
EP1672310A1 (en) * 2004-12-15 2006-06-21 Hexagon Metrology GmbH Measuring head of the measuring type with vibration damping for coordinate measuring machine
US7207120B2 (en) 2004-12-15 2007-04-24 Hexagon Metrology Gmbh Scanning head for a measuring device

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