DE3515679C1 - Gas laser, which is energised coaxially at radio frequency, especially a CO2 laser, having a multipass resonator - Google Patents

Gas laser, which is energised coaxially at radio frequency, especially a CO2 laser, having a multipass resonator

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Abstract

Gas lasers which are energised coaxially at radio frequency and are operated in the continuous-wave mode or at a high pulse frequency, are known, having a cylindrical outer electrode and having a circular-cylindrical inner conductor which is arranged on the cylinder axis of the outer electrode, a radial intermediate space which forms the energising space remaining between the inner conductor and the outer electrode, which intermediate space is bounded in the axial direction by in each case two multipass and resonator mirrors. In order to create a laser which is energised coaxially by radio frequency, has a multipass resonator and is insensitive to adjustment, spherical mirrors are used as the multipass mirrors, which are arranged at a distance between co-focally and concentrically with respect to one another. <IMAGE>

Description

Gelöst wird diese Aufgabe bei einem solchen Gaslaser, wie er aus der DE-PS 30 03 167 bekannt ist, durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale. Es wurde festgestellt, daß es gerade in dem Bereich zwischen konfokal und konzentrisch extrem j ustierunempfindliche Multipaß.Konfigurationen gibt. Durch die Verwendung von sphärischen Spiegeln, im Gegensatz zu beispielweise Facettenspiegel, entfällt das Problem der Einzeljustierung einzelner Spiegelelemente. Bei dem erfindungsgemäßen Laser handelt es sich um einen hochfrequent angeregten Gaslaser mit einem metallischen oder dielektrischen Hohlleiter mit axialer Innenelektrode und koaxialer Außenelektrode dergestalt, daß der Laser selbst als dissipativer Abschluß des Hochfrequenzsenders ausgeführt ist, d. h. der Laser bzw. das verstärkende Medium im Laser übernimmt die Aufgabe eines Abschlußwiderstandes für einen Hochfrequenzsender. Von den beiden sphärischen Multipaß-Spiegeln, die im Bereich zwischen konfokal und konzentrisch angeordnet sind, ist der Spiegel auf der der Hochfrequenz-Einspeisung zugekehrten Seite in der Mitte durchbohrt, um hierdurch die Innenelektrode in den zylindrischen Laserverstärker einbringen zu können. Die Innenelektrode wird typischerweise durch den ganzen Resonator bis zum zweiten sphärischen Multipaß-Spiegel geführt, der an geeigneter Stelle wiederum eine Bohrung enthält. In einer solchen Anordnung bestehen die beiden Multipaß-Spiegel bevorzugt aus Metall. This task is solved with such a gas laser as he is from DE-PS 30 03 167 is known by the in the characterizing part of the claim 1 specified features. It was found that it was just in the area between Confocal and concentric extremely adjustment-insensitive multi-pass configurations gives. By using spherical mirrors, as opposed to for example Facet mirror, the problem of individual adjustment of individual mirror elements is eliminated. The laser according to the invention is a high-frequency excited one Gas laser with a metallic or dielectric waveguide with an axial inner electrode and coaxial outer electrode in such a way that the laser itself is used as a dissipative termination of the radio frequency transmitter is carried out, d. H. the laser or the amplifying medium in the laser takes on the task of a terminating resistor for a high frequency transmitter. Of the two spherical multipass mirrors that are in the area between confocal and are arranged concentrically, the mirror is on that of the high-frequency feed facing side in pierced through the middle to thereby create the inner electrode to be able to bring into the cylindrical laser amplifier. The inner electrode will typically through the entire resonator to the second spherical multipass mirror out, which in turn contains a hole at a suitable point. In such a Arrangement, the two multi-pass mirrors are preferably made of metal.

Der Multipaß folgt den Einhüllenden eines zweischaligen Hyperboloids. Der Multipaßfaktor selbst kann durch geeignete Wahl der Krümmungsradien der Spiegel sowie der Spiegelabstände eingestellt werden. Um den Laser nur im transversalen Grundmode schwingen zu lassen, werden bevorzugt Lochblendenscheiben vor den Spiegeln derart angebracht, daß sich ein Multipaß nur für eine ganz bestimmte Auskoppelrichtung ausbilden kann. The multipass follows the envelope of a double-shell hyperboloid. The multipass factor itself can be achieved by a suitable choice of the radii of curvature of the mirrors as well as the mirror spacing can be set. To the laser only in the transversal To let the basic mode vibrate, perforated diaphragm disks are preferred in front of the mirrors mounted in such a way that a multi-pass is only available for a very specific decoupling direction can train.

In einer besonderen Ausgestaltung des Lasers können die Multipaß-Spiegel auch aus plankonvex bearbeitetem transparentem Material bestehen, das auf der konvexen Seite von außen verspiegelt ist. Hierdurch wird eine Schonung der verspiegelten Schichten gegenüber dem Laserplasma erreicht, was eine Steigerung der Lebensdauer des Gesamtsystems mit sich bringt. Solche Laser mit Multipaßresonator zeichnen sich durch ihre extrem kompakte Bauweise aus. In a special embodiment of the laser, the multipass mirrors also consist of planoconvex processed transparent material, which on the convex Side is mirrored on the outside. This will protect the mirrored Layers compared to the laser plasma achieved, which increases the service life of the overall system. Such lasers with a multi-pass resonator are notable due to their extremely compact design.

Weiterhin kann vorteilhaft die Vorderseite der angesprochenen plankonvexen Multipaß-Spiegel konisch auspoliert sein, um somit bei geeignetem Multipaßfaktor eine polarisierte Ausgangsstrahlung zu unterstützen. Furthermore, the front of the mentioned plano-convex can be advantageous Multipass mirror be polished conically, so with a suitable multipass factor to support a polarized output radiation.

Die Angaben »konfokal« und »konzentrisch« der erfindungsgemäßen Dimensionierungsvorschrift des Lasers beziehen sich auf die den Anregungsraum begrenzenden Multipaß-Spiegel 1 und 2, nicht aber auf die den eigentlichen Resonator begrenzenden Resonatorendspiegel 3 und 4. Die eigentliche Resonatorlänge ergibt sich erst nach mehrmaligem Durchqueren des durch die Spiegel 1 und 2 gebildeten Multipaß-Systems. Die vorgeschlagene monolithische Anordnung derartiger Multipaß-Spiegel zeichnet sich durch die einfache Herstellung der Einzelteile und die einfache Montage bzw. Justierung des Gesamtsystems aus. The information "confocal" and "concentric" of the dimensioning rule according to the invention of the laser relate to the multipass mirrors delimiting the excitation space 1 and 2, but not to the resonator end mirror delimiting the actual resonator 3 and 4. The actual length of the resonator is only obtained after it has been traversed several times of the multipass system formed by the mirrors 1 and 2. The proposed monolithic Arrangement of such multi-pass mirrors is characterized by the simple production the individual parts and the simple assembly or adjustment of the overall system.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung weist nur einer der Multipaß-Spiegel eine Durchbohrung auf. In a further advantageous embodiment, only one of the Multipass mirror on a through hole.

durch die sowohl die in den Multipaß eintretende als auch die aus dem Multipaß austretende Strahlung verläuft.by both the entering and the out of the multi-pass The radiation emerging from the multipass passes.

Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnung. In der Zeichnung zeigt F i g. 1 eine schematische Darstellung eines Gaslasers mit Multipaß-Spiegeln und Resonatorendspiegeln und Fig. 2 eine Darstellung des räumlichen Verlaufes der Strahlung zwischen den Multipaß-Spiegeln. Further details of the invention emerge from the following Description of an embodiment based on the drawing. In the drawing shows F i g. 1 is a schematic representation of a gas laser with multi-pass mirrors and Resonator end mirrors and FIG. 2 shows a representation of the spatial course of the radiation between the multipass mirrors.

Der Laser nach Fig. 1 weist zwei Multipaß-Spiegel (Faltungsspiegel) 1,2 und zwei Resonatorendspiegel 3,4 auf. Die beiden Multipaß-Spiegel weisen den gleichen Krümmungsradius auf. Der Abstand 5 der Multipaß-Spiegel, der zwischen konfokal und konzentrisch liegen soll, und deren Krümmungsradius bestimmen die Winkelverschiebung zwischen den Reflexionspunkten auf der Oberfläche der Multipaß-Spiegel. The laser according to Fig. 1 has two multipass mirrors (folding mirrors) 1.2 and two resonator end mirrors 3.4. The two multi-pass mirrors show the same radius of curvature. The distance 5 of the multipass mirror, the confocal between and should be concentric, and their radius of curvature determine the angular displacement between the reflection points on the surface of the multipass mirror.

Deren radialer Abstand von der optischen Achse ergibt sich aus dem Strahldurchmesser. Entsprechend sind die dargestellten Öffnungen 6, 7 zum Einstrahlen bzw. Their radial distance from the optical axis results from the Beam diameter. The openings 6, 7 shown are correspondingly for radiation respectively.

Auskoppeln des Strahles 8 an vorbestimmten Stellen ausgebildet.Outcoupling of the beam 8 formed at predetermined locations.

Der Modendurchmesser wird nicht nur durch die Re- sonatorendspiegel, 3 und 4 sondern auch durch die Multipaß-Spiegel 1 und 2 beeinflußt. Die Resonatorendspiegel 3 und 4 legen unter Berücksichtigung der Wirkung der Multipaß-Spiegel 1 und 2 den Strahlendurchmesser fest. Die Multipaß-Spiegel 1 und 2 sind zur Hindurchführung einer Innenelektrode 9 in der Mitte durchbohrt. The mode diameter is not only determined by the re- sonator end mirror, 3 and 4 but also influenced by the multipass mirrors 1 and 2. The resonator end mirrors 3 and 4, taking into account the effect of the multi-pass mirrors 1 and 2, place the Fixed beam diameter. The multipass mirrors 1 and 2 are to be passed through an inner electrode 9 pierced in the middle.

In radialer Richtung wird der Resonator durch eine Außenelektrode 10 begrenzt.The resonator is formed by an external electrode in the radial direction 10 limited.

In F i g. 2 ist - schematisch - der räumliche Verlauf der Strahlung zwischen den Multipaß-Spiegeln 1 und 2 dargestellt. Im Gegensatz zu der Darstellung nach F i g. 1 wird in diesem Beispiel der Strahl 8 durch eine einzige Durchbohrung 11 in den Multipaß ein- bzw. ausgekoppelt, wodurch die zur Reflexion ausnutzbare Spiegelfläche, da nur eine Öffnung vorhanden ist, vergrößert wird. In Fig. 2 is - schematically - the spatial course of the radiation shown between the multipass mirrors 1 and 2. In contrast to the representation according to FIG. 1, in this example, the beam 8 passes through a single through-hole 11 coupled into or uncoupled from the multi-pass, whereby the can be used for reflection Mirror surface, since there is only one opening, is enlarged.

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Claims (4)

Patentansprüche: 1. Koaxial hochfrequent angeregter, im Dauerstrich oder mit hoher Pulsfrequenz betriebener Gaslaser, inbesondere CO2-Laser, mit einer zylindrischen Außenelektrode (10) und einer in der Zylinderachse der Außenelektrode (10) angeordneten kreiszylindrischen Innenelektrode (9), wobei zwischen der Innenelektrode (9) und der Außenelektrode (10) ein radialer, den Anregungsraum bildender Zwischenraum verbleibt, der in axialer Richtung durch zwei Multipaß-Spiegel 2) und zwei Resonatorendspiegel (3, 4) begrenzt ist und wobei die Laserstrahlung erst nach mehrmaligem Durchlaufen der durch die Multipaß-Spiegel (1, 2) gebildeten Multipaß-Anordnung von einem Resonatorendspiegel zum anderen Resonatorendspiegel gelangt, d a -durch gekennzeichnet, daß die Multipaß-Spiegel (1, 2) sphärische Spiegel sind, die in einem Abstand zwischen konfokal und konzentrisch zueinander angeordnet sind. Claims: 1. Coaxially high-frequency excited, in continuous wave or gas lasers operated with a high pulse frequency, in particular CO2 lasers, with a cylindrical outer electrode (10) and one in the cylinder axis of the outer electrode (10) arranged circular cylindrical inner electrode (9), with between the inner electrode (9) and the outer electrode (10) a radial space forming the excitation space that remains in the axial direction by two multipass mirrors 2) and two resonator end mirrors (3, 4) is limited and where the laser radiation only passes through it several times the multipass arrangement formed by the multipass mirror (1, 2) from a resonator end mirror reaches the other resonator end mirror, d a -characterized in that the multipass mirror (1, 2) are spherical mirrors that are at a distance between confocal and concentric are arranged to each other. 2. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Multipaß-Spiegel (1) eine Durchbohrung (11) aufweist, durch die sowohl die in den Multipaß eintretende als auch die aus dem Multipaß austretende Strahlung verläuft. 2. Gas laser according to claim 1, characterized in that one of the Multipass mirror (1) has a through hole (11) through which both the in the Multipass entering as well as exiting from the multipass radiation runs. Die Erfindung betrifft einen Gaslaser nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. The invention relates to a gas laser according to the preamble of the claim 1. Ein derartiger Laser ist aus der DE-PS 30 03 167, die ein Zusatzpatent zu der DE-PS 29 19 708 ist, bekannt. Such a laser is from DE-PS 30 03 167, which is an additional patent to DE-PS 29 19 708 is known. Diesem aus der DE-PS 30 03 167 bekannten Laser-Konzept liegt der Gedanke zugrunde, einen Laser zu schaffen, der auch bei geringer Baulänge des kreiszylindrischen Anregungsraumes eine hohe Leistungsdichte erreicht. Bei diesem Laser besteht der optische Resonator aus Spiegeln an den Enden des hohlzylindrischen Anregungsraumes, wobei jeder Spiegel in mehrere getrennte Spiegelelemente aufgeteilt ist, die gleichmäßig verteilt über den kreisringförmigen Querschnitt untergebracht sind und hierbei unterschiedliche Neigungen zu der Resonatorachse derart aufweisen, daß sie zusammen einen geschlossenen, optischen Resonator bilden. Bei dieser Anordnung wird der ganze hohlzylindrische Entladungsraum vom Strahlenbündel nacheinander durchlaufen. In weiteren Ausgestaltungsvarianten haben die Spiegelelemente Sektor- oder Kreisscheibenform. Zur Auskopplung der Laserstrahlung ist der an der Austrittsstelle angeordnete Spiegel nur teilverspiegelt. Solche Laser haben sich im Einsatz gut bewährt. Aufwendig ist jedoch die Justierung der einzelnen Spiegelelemente.This laser concept known from DE-PS 30 03 167 is the idea based on creating a laser that works even with the short length of the circular cylindrical Excitation space reaches a high power density. With this laser, the optical resonator made of mirrors at the ends of the hollow cylindrical excitation space, each mirror being divided into several separate mirror elements that are uniform are housed distributed over the circular cross-section and here different Have inclinations to the resonator axis such that they together form a closed, form optical resonator. With this arrangement, the whole is hollow cylindrical Pass through the discharge space of the beam one after the other. In further design variants the mirror elements have a sector or circular disk shape. For decoupling the laser radiation the mirror arranged at the exit point is only partially mirrored. Such lasers have proven themselves well in use. However, the adjustment of the individual is complex Mirror elements. Bei solchen Lasern mit einem Multipaßresonator entsteht eine optische Verzögerungsleitung, die außer zur Variation der Länge von Laser-Resonatoren, wie in der Dissertation »Optische Verzögerungsleitungen in Nd-YAG-Kavitäten zur Simulation langer Resonatoren« von W. Lobsiger, beschrieben, auch zur Bestimmung der Reflexionswerte dielektrischer Spiegel, zur Messung von Streu- und Absorptionsverlusten in Gasen und zur zeitlichen Verzögerung von Impulsen verwendet werden kann; außerdem machen Michelson-Interferometer hoher spektraler Auflösung hiervon Gebrauch. In der Dissertation von Lobsiger werden darüber hinaus Stabilitätsüberlegungen zu konventionellen Resonatoren angestellt. Such lasers with a multipass resonator produce an optical one Delay line that except for varying the length of laser resonators, such as in the dissertation »Optical delay lines in Nd-YAG cavities for simulation long resonators «by W. Lobsiger, also for determining the reflection values dielectric mirror, for measuring scattering and absorption losses in gases and can be used to delay pulses; also do Michelson interferometer with high spectral resolution makes use of this. In the dissertation In addition, von Lobsiger turns stability considerations into conventional resonators employed. Sphärische Faltungsspiegel sind an sich allgemein bekannt; vgl. beispielsweise die US-PS 37 31 224. Bei dem dort beschriebenen gefalteten Resonator werden aber nur drei Spiegel verwendet, während nach der Erfindung zwei Multipaß-Spiegel und zwei Resonatorendspiegel, also vier Spiegel vorgesehen sind. Spherical folding mirrors are generally known per se; see for example the US-PS 37 31 224. In the folded resonator described there but are only three mirrors used, while according to the invention two multi-pass mirrors and two resonator end mirrors, that is to say four mirrors, are provided. Weiterhin ist in dem Aufsatz »Off-Axis Paths in Spherical Mirror Interferometers« von D. Herriot, H. Kogelnik und R. Kompfner, Applied Optics, April 1964, Vol. Furthermore, the article “Off-Axis Paths in Spherical Mirror Interferometers ”by D. Herriot, H. Kogelnik and R. Kompfner, Applied Optics, April 1964, vol. 3, Nr.3, no. 4, Seiten 523 bis 526 ein Multipaßresonator genannt, der auch für Laser-Resonatoren eingesetzt werden kann, wie der einführenden Zusammenfassung sowie dem ersten Absatz des Aufsatzes zu entnehmen ist. Es wird weiterhin eine Anordnung sphärischer Spiegel entweder in einem Abstand, der der zweifachen Brennweite oder einem Abstand, der der einfachen Brennweite entspricht, also konfokal oder konzentrisch, beschrieben. Ein derart aufgebautes Interferometer läßt bei außeraxialer Einstrahlung einen Multipaß entstehen, wobei diese Anordnung allerdings wegen ihrer sehr hohen Justierempfindlichkeit praktisch nicht mehr für interferometrische Zwecke benutzt werden kann.4, pages 523 to 526 called a multipass resonator, which is also for Laser resonators can be used as the introductory summary as well can be found in the first paragraph of the article. It will continue to be an arrangement spherical mirror either at a distance that is twice the focal length or a distance that corresponds to the single focal length, i.e. confocal or concentric, described. An interferometer constructed in this way allows for off-axis radiation a multi-pass arise, although this arrangement because of its very high Adjustment sensitivity is practically no longer used for interferometric purposes can be. In allgemeinerer Form befaßt sich das Buch von W. In a more general form, the book by W. Brunner und K. Junge: »Lasertechnik - Eine Einführung«, 1982, ab Seite 124 mit stabilen Resonatoren mit kreisförmigen Spiegeln; es werden in diesem Buch auch die Begriffe »konfokal« und »konzentrisch« erläutert. In diesem Buch wird die Lehre vermittelt, daß Resonatoren mit der Bedingung gt xg2=0 (stabiler konfokaler Resonator) und gl x g2 x 1 (stabiler Resonator) vermieden werden sollen, da eine Dejustierung leicht in den instabilen Bereich führt. Bei gl und g2 handelt es sich um die Kenngrößen des Resonators. Gute Stabilität gegen Dejustierung zeigen Resonatoren mit gi x g2 = 1/2.Brunner and K. Junge: »Laser Technology - An Introduction«, 1982, from page 124 with stable resonators with circular mirrors; it will be in this book also explains the terms "confocal" and "concentric". In this book, the Teaching teaches that resonators with the condition gt xg2 = 0 (more stable confocal Resonator) and gl x g2 x 1 (stable resonator) should be avoided because a Misalignment easily leads to the unstable area. Gl and g2 are the parameters of the resonator. Resonators show good stability against misalignment with gi x g2 = 1/2. Die vorstehend aufgezeigten Literaturstellen sprechen entweder interferometrische Probleme an oder beschäftigen sich mit Resonatorkonfigurationen, bei denen jeweils auch die optische Achse mit Strahlung erfüllt ist oder zumindest von Strahlung durchkreuzt wird. The references identified above speak either interferometric Problems at or dealing with resonator configurations, each of which the optical axis is also filled with radiation or at least crossed by radiation will. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Gaslaser nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. so weiterzubilden, daß sich eine größere Justierunempfindlichkeit ergibt, wobei aber die bei geringer Baulänge hohe Leistungsdichte erhalten bleiben soll. The present invention is based on the object of a gas laser according to the preamble of claim 1 so that a greater adjustment insensitivity results, but the high power density is retained with a short overall length target.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3716873A1 (en) * 1987-05-20 1988-12-01 Fraunhofer Ges Forschung GAS LASER
US4872179A (en) * 1988-04-26 1989-10-03 W. C. Heraeus Gmbh Laser apparatus with a multipass resonator
DE4123024A1 (en) * 1990-07-11 1992-01-23 Fraunhofer Ges Forschung Gas or chemical laser - produces offset beam(s) using annular deviation from spherical mirror surface
WO1992004751A1 (en) * 1990-09-05 1992-03-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Laser resonator for laser media with annular cross-section
EP0485888A1 (en) * 1990-11-14 1992-05-20 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Laser apparatus
DE4311305A1 (en) * 1993-04-06 1994-10-13 Fraunhofer Ges Forschung Laser having unstable resonator for annular active media
AT404199B (en) * 1991-06-11 1998-09-25 Schroeder Kurt Dipl Ing Optical resonator for a coaxial high-power laser
WO2007144645A1 (en) * 2006-06-14 2007-12-21 Paul Mason Light amplification device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3731224A (en) * 1971-06-17 1973-05-01 Bell Telephone Labor Inc Compensated folded resonator
DE3003167C2 (en) * 1980-01-30 1982-08-12 Hans Dipl.-Phys. Dr. 8033 Krailling Opower Pulsed CO 2 laser

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3731224A (en) * 1971-06-17 1973-05-01 Bell Telephone Labor Inc Compensated folded resonator
DE3003167C2 (en) * 1980-01-30 1982-08-12 Hans Dipl.-Phys. Dr. 8033 Krailling Opower Pulsed CO 2 laser

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
W. Brunner und K. Junge: Lasertechnik-Eine Einführung, 1982, S. 124 - 131 *

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3716873A1 (en) * 1987-05-20 1988-12-01 Fraunhofer Ges Forschung GAS LASER
US4872179A (en) * 1988-04-26 1989-10-03 W. C. Heraeus Gmbh Laser apparatus with a multipass resonator
DE3813951A1 (en) * 1988-04-26 1989-11-09 Heraeus Gmbh W C LASER WITH A MULTIPASS RESONATOR
DE4123024A1 (en) * 1990-07-11 1992-01-23 Fraunhofer Ges Forschung Gas or chemical laser - produces offset beam(s) using annular deviation from spherical mirror surface
WO1992004751A1 (en) * 1990-09-05 1992-03-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Laser resonator for laser media with annular cross-section
DE4129530A1 (en) * 1990-09-05 1992-04-16 Fraunhofer Ges Forschung Laser-resonator
EP0485888A1 (en) * 1990-11-14 1992-05-20 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Laser apparatus
AT404199B (en) * 1991-06-11 1998-09-25 Schroeder Kurt Dipl Ing Optical resonator for a coaxial high-power laser
DE4311305A1 (en) * 1993-04-06 1994-10-13 Fraunhofer Ges Forschung Laser having unstable resonator for annular active media
WO2007144645A1 (en) * 2006-06-14 2007-12-21 Paul Mason Light amplification device
GB2441486A (en) * 2006-06-14 2008-03-05 Paul Mason Light amplification device

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