DE3446727C2 - Auto focus device for microscopes - Google Patents
Auto focus device for microscopesInfo
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Abstract
Die Autofokuseinrichtung besitzt einen Hilfsbeleuchtungsstrahlengang (12), der in den Strahlengang des Mikroskops ein- bzw. ausgespiegelt wird. Die Hilfsbeleuchtung wird von zwei nebeneinander in einer zur Pupille des Mikroskopobjektivs konjugierten Ebene angeordneten Lichtquellen (13a, 13b) erzeugt, die alternierend geschaltet sind. Zum Nachweis des Meßlichtbündels dient ein Detektor (29) in einer von einer Blende (24) einseitig begrenzten Luke des Hilfsbeleuchtungsstrahlenganges.The autofocus device has an auxiliary illumination beam path (12) which is reflected in or out of the beam path of the microscope. The auxiliary lighting is generated by two light sources (13a, 13b) which are arranged next to one another in a plane conjugate to the pupil of the microscope objective and which are switched alternately. A detector (29) in a hatch of the auxiliary lighting beam path bounded on one side by a diaphragm (24) serves to detect the measuring light beam.
Description
In der Autofokuseinrichtung gemäß der Erfindung ist eine elektronische Anordnung vorgesehen, in der die Signale des bzw. der Empfänger im Takte der alternierend geschalteten Lichtquellen verarbeitcx werden. Dabei ist es zweckmäßig, eine weitere elektronische Schaltung vorzusehen, in der dem verarbeiteten Signal Offsetsparmungen einstellbarer Größe überlagert werden. Damit kann erreicht werden, daß die Autofokuseinrichtung entweder um einen vorbestimmten Betrag über oder unter 4er Schärfenebene einstellt, ohne daß optische Elemente verschoben werden müssen, was beispielsweise bei Objekten von Vorteil ist, die größere Höhendifferenzen aufweisen.In the autofocus device according to the invention is an electronic arrangement is provided in which the signals from the receiver or receivers are processed in time with the alternating light sources. It is expedient to provide a further electronic circuit in which offset savings of adjustable magnitude are superimposed on the processed signal. It can thus be achieved that the autofocus device either by a predetermined amount over or sets the focal plane below 4 without the need to move optical elements, which is advantageous for objects that are larger, for example Have height differences.
Außerdem können auf diese Weise Unterschiede in der Fokusdifferenz zwischen dem Licht der Hilfsbeleuchtung und der normalen mikroskopischen Beleuchtung korrigiert werden, die auf Unterschiede in der chromatischen Korrektion der verwendeten Objekte verschiedener Maßstabszahl zurückzuführen sind. In diesem Fall ist es besonders zweckmäßig, daß die Einstellung der Offsetspannungen mit der Umschaltung des Objektivrevolvers gekoppelt ist, da dies den Benutzer der Mühe enthebt, bei jedem Objektiv visuell erst einmal die Ebene zu bestimmen, auf die die Autofokuseinrichtung einstellen solLIn addition, differences in the focus difference between the light of the auxiliary lighting and the normal microscopic lighting can be corrected in this way, based on differences in the chromatic correction of the objects used in different scales. In In this case, it is particularly useful that the setting of the offset voltages with the switching of the Objective nosepiece is coupled, since this removes the trouble for the user to visually determine the plane to which the autofocus device should adjust for each objective
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung anhand der Zeichnungen.Further advantages of the invention emerge from the following description of exemplary embodiments of the invention with reference to the drawings.
F i g. 1 a ist eine Prinzipskizze eines ersten Ausführungsbeispiels, das die wesentlichen optischen Komponenten der Autofokuseinrichtung zeigt;F i g. Fig. 1 a is a schematic diagram of a first embodiment showing the essential optical components of the autofocus device;
Fig. Ib-Ie sind detailliertere Skizzen, die die optischen Verhältnisse in der Nähe des Detektors der Autofokuseinrichtung und die von ihm und der nachgeschalteten Elektronik abgegebenen Signale für verschiedene Fokussierzustände darstellt;Fig. Ib-Ie are more detailed sketches showing the optical conditions in the vicinity of the detector of the autofocus device and the signals emitted by it and the downstream electronics for various Represents focus states;
F i g. 2a ist die Prinzipskizze eines gegenüber den in F i g. 1 a dargestellten Ausführungsbeispiel leicht geänderten zweiten Ausführungsbeispiels;F i g. 2a is the schematic diagram of one compared to that in FIG. 1 a illustrated embodiment, slightly modified second embodiment;
Fig. 2b ist eine vergrößerte Darstellung des Sehfelds in der Ebene, in der der Detektor der Autofokuseinrichtung nach F i g. la oder F i g. 2a angeordnet ist;Fig. 2b is an enlarged view of the field of view in the plane in which the detector of the autofocus device according to FIG. la or F i g. 2a is arranged;
F i g. 2c ist eine vergrößerte Ansicht der Sekundärlichtquelle 112 aus Fi g. 2a.F i g. 2c is an enlarged view of the secondary light source 112 of FIG. 2a.
In F i g. 1 a sind die für das Verständnis der Erfindung nötigen Teile eines Auflichtmikroskops dargestellt Vom Beobachtungsstrahlengang sind lediglich das Objektiv 1 und die Fubuslinse 2 zu sehen, die das Objekt 3 in die Zwischenbildebene 4 abbilden. Der oberhalb der Zwischenbildebene befindliche Teil des Mikroskops, also z. B. Okulare etc. sind hier nicht dargestelltIn Fig. 1 a shows the parts of a reflected light microscope necessary for understanding the invention From the observation beam path, only the objective 1 and the foot lens 2 can be seen, which the object 3 map in the intermediate image plane 4. The part of the microscope located above the intermediate image plane, ie z. B. eyepieces etc. are not shown here
Zwischen Objektiv 1 und Tubuslinse 2 befindet sich ein halbdurchlässiger Teilerspiegel 5, über den der von einer Mikroskop-Lichtquelle 6 ausgehende Beleuchtungsstrahlengang in den Beobachtungsstrahlengang eingespiegelt wird. Dieser Teilerspiegel S kann so beschaffen sein, daß sein Reflexionsvermögen für die Wellenlänge des Lichts der noch zu beschreibenden Hilfsbeleuchtung für die Autofokuseinrichtung größer ist als für das Licht der »normalen« Mikroskopbeleuchtung, das von der Glühlampe 6 ausgeht.Between the objective 1 and the tube lens 2 there is a semitransparent splitter mirror 5, via which the from an illumination beam path emanating from a microscope light source 6 into the observation beam path is reflected. This splitter mirror S can be designed so that its reflectivity for the wavelength of the light of the auxiliary lighting to be described for the autofocus device is greater than for the light of the "normal" microscope illumination emanating from the incandescent lamp 6.
Der Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskops ist hier vereinfacht dargestellt. Er umfaßt einen Kollektor 7. ein IR-Sperrfilter 8, eine Leuchtfeldblende 9 sowie eine Hilfslinse 10.The illumination beam path of the microscope is shown here in a simplified manner. It includes a collector 7. an IR cut filter 8, a field diaphragm 9 and an auxiliary lens 10.
Zwischen der Leuchtfeldblende 9 und der Hilfslinse 10 ist ein halbdurchlässiger Strahlteiler 15 angeordnet, über den der Hilfsbeleuchtungsstrahlengang der zu einer Baueinheit 12 zusammengefaßten Autofokuseinrichtung in den Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskops eingespiegelt wird.A semitransparent beam splitter 15 is arranged between the luminous field diaphragm 9 and the auxiliary lens 10, Via which the auxiliary illumination beam path of the autofocus device combined to form a structural unit 12 is reflected into the illumination beam path of the microscope.
Der HiUsbeleuchtungsstrahlcngang geht aus von zwei <n einer zur Pupille 11 des Objektivs 1 konjugierten Ebene nebeneinander angeordneten Lichtquellen 13a und 136, bei denen es sich z. B. um Leucht- oder Laserdioden handelt Ober eine Kollektorlinse 16 beleuchten die LichtquelThe secondary illumination beam path is based on two <n one conjugated to the pupil 11 of the objective 1 Level light sources 13a and 136 arranged side by side, which are, for. B. is light or laser diodes The light source is illuminated via a collector lens 16 len 13 eine rechteckige Blende 14 in einer zur Objekt ebene konjugierten Ebene (Luke). Die Blende 14 ist jedoch kein unverzichtbares Bauteil, sie kann entfallen, wenn z. B. als Lichtquellen Laserdioden eingesetzt werden. Es ist dann lediglich dafür zu sorgen, daß die Strahls lung beider Laserdioden an dieser Stelle auf den gleichen Punkt fokussiert wird.len 13 a rectangular aperture 14 in one to the object plane conjugate plane (Luke). However, the cover 14 is not an indispensable component, it can be omitted, if z. B. laser diodes are used as light sources. It is then only necessary to ensure that the radiation of both laser diodes is focused on the same point at this point.
Ein hinter der Blende 14 angeordneter Strahlteiler 15 läßt etwa 50% der Strahlung der Lichtquellen 13 passieren. Dieser hindurchtretende Teil wird von der linse 17A beam splitter 15 arranged behind the diaphragm 14 allows about 50% of the radiation from the light sources 13 to pass. This penetrating part is held by the lens 17 auf einen Detektor 19 fokussiert Vor diesem Detektor 19 ist ein Filter 18 vorgeschaltet, das auf die Wellenlänge der Hilfsbeleuchtung abgestimmt ist und das von der Lichtquelle 6 der Mikroskopbeleuchtung ausgehende und durch das IR-Sperrfilter 8 hindurchtretende Lichtfocused on a detector 19 Upstream of this detector 19 is a filter 18 which is matched to the wavelength of the auxiliary lighting and that of the Light source 6 emanating from the microscope illumination and passing through the IR blocking filter 8 vom Detektor 19 fernhältfrom the detector 19 keeps away
Der Detektor 19 ist mit einer elektronischen Schaltung 20 verbunden. Diese Schaltung 20 enthält einen Oszillator und eine Treiberschaltung, durch die die beiden Lichtquellen 13a und 136 alternierend eingeschaltetThe detector 19 is connected to an electronic circuit 20. This circuit 20 includes one Oscillator and a driver circuit through which the two light sources 13a and 136 are switched on alternately und ihre Intensität geregelt werden. Die Intensität beider Lichtquellen 13a und 136 wird mit Hilfe des vom Detektor 19 gewonnenen Signals, unabhängig von Alterungserscheinungen der Lichtquellen jeweils auf den gleichen Wert eingeregeltand their intensity can be regulated. The intensity of both light sources 13a and 136 is measured with the help of the from Detector 19 obtained signal, regardless of aging of the light sources in each case on the adjusted to the same value
Der vom Strahlteiler 15 reflektierte Teil des Hilfslichts gelangt über die Hilfslinse 10, den Auflichtreflektor 5 und das Objektiv 1 auf das Objekt 3 und wird dort, abhängig von den Oberflächeneigenschaften des Objekts 3, zum Teil in Autokollimation reflektiert Der re-The part of the auxiliary light reflected by the beam splitter 15 reaches the object 3 via the auxiliary lens 10, the incident light reflector 5 and the objective 1 and is there depending on the surface properties of the object 3, partly reflected in autocollimation The re- flektierte Teil des Hilfslichtbündels, d. h. also das Meßlichtbündel trifft dann wieder auf den Strahlteiler 15 auf, geht zum Teil durch ihn hindurch und wird über einen dichroitischen Teilerspiegel 25 aus dem Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskops ausgespiegeltflexed part of the auxiliary light beam, d. H. so the measuring light bundle then hits the beam splitter 15 again, partially passes through it and is reflected out of the illumination beam path of the microscope via a dichroic splitter mirror 25
Das Meßlichtbündel wird von einer Linse 26 nach Durchtritt durch eine Falschlichtblende 31, die sich in einer zur Objektpupilie konjugierten Ebene befindet und ein weiteres Filter 28, das die gleiche Transmissionscharakteristik wie das Filter 18 besitzt in der EbeneThe measuring light beam is from a lens 26 after passing through a false light diaphragm 31, which is in a plane conjugate to the object pupil is located and a further filter 28 which has the same transmission characteristic as the filter 18 in the plane einer das Sehfeld an dieser Stelle einseitig begrenzenden Blende 24 fokussiert (siehe F i g. 2b). Direkt hinter der Blende 24 befindet sich ein Detektor 29 zur Erzeugung des eigentlichen Autofokussignals, das zur Höhenverstellung des Objekts 3 oder des Objektivs 1 weiter-a diaphragm 24 delimiting the field of view on one side at this point is focused (see FIG. 2b). Directly behind the aperture 24 is a detector 29 for generating the actual autofocus signal, which is used to adjust the height of the object 3 or the lens 1 verarbeitet wird. Dazu ist der Detektor 29 mit dem Eingang eines phasenempfindlichen Gleichrichters 22 verbunden, dem außerdem ein Referenzsignal auf der Frequenz des die Lichtquellen 13a und 136 schaltenden Oszillators in der elektronischen Schaltung 20 zugeführtis processed. For this purpose, the detector 29 is connected to the input of a phase-sensitive rectifier 22, which also receives a reference signal at the frequency of the light sources 13a and 136 that switches Oscillator in the electronic circuit 20 is supplied
eo wird.eo will.
22 verbundenen Leitungen Udiode, UnI und Upsd sind in der Fig. lb—Ie für vier verschiedene Fälle dargestellt: F i g. Ib zeigt die Signalverläufe für den Fall, daß sich es das Objekt 3 außer Fokus unterhalb der Schärfenebene des Objektivs 1 befindet In diesem Falle gelangt, abhängig vom Maß der Defokussierung, nur Licht aus dem von der Lichtquelle 13a ausgehenden MeßlichtbUndel a22 connected lines Udiode, U n I and U ps d are shown in Fig. Lb-Ie for four different cases: F i g. Ib shows the signal curves for the case that the object 3 is out of focus below the focal plane of the objective 1. In this case, depending on the degree of defocusing, only light from the measuring light bundle a emanating from the light source 13a arrives
5 65 6
auf den Detektoren 29 und der Gleichrichter 22 gibt identische Bauteile sind in F i g. 2a mit gleichen Bezugseine positive Regelspannung Upsd ab. zeichen versehen und werden an dieser Stelle nichtIdentical components on the detectors 29 and the rectifier 22 are shown in FIG. 2a a positive control voltage Upsd with the same reference. characters and are not used at this point
F i g. Ic zeigt die Signalverläufe für den Fall, daß sich nochmals erläutert Die nachfolgende Beschreibung der
das Objekt 3 im Fokus des Objektivs 1 befindet In Fig. 2a beschränkt sich also darauf die Unterschiede zu
diesem Falle liegen die von den Meßlichtbündeln a und 5 dem in F i g. 1 a dargestellten Beispiel herauszustellen.
6 erzeugten Bilder der Blende 14 aufeinander und wer- Der in F i g. 2a dargestellte Autofokusbaustein 112 istF i g. Ic shows the signal curves for the case that the following description of the object 3 in the focus of the objective 1 is explained again G. 1 a to highlight the example shown.
6 generated images of the diaphragm 14 on top of one another and are shown in FIG. 2a is the autofocus module 112 shown
den beide durch die Blende 24 vom Detektor 29 fernge- an einen Kameraausgang des Mikroskops angesetzt, als halten. Die Ausgangsspannung des Gleichrichters 22 ist Zwischentubus ausgeführt oder in einen Beobachtungsdeshalb 0 bzw. sehr klein. Geringe Offsetspannungen tubus integriert. Dementsprechend wird die Hilfsbekönnen dann auftreten, wenn z. B. die von beiden Licht- io leuchtung für die Autofokuseinrichtung über einen zwiquellen 13a und 13/» erzeugten Meßspots nicht völlig sehen der Tubuslinse 2 und der Zwischenbildebene 4 des identisch sind. Mikroskops eingeschalteten Strahlteiler 115 in den Be-both of which are remotely attached to a camera output of the microscope through the diaphragm 24 from the detector 29, as keep. The output voltage of the rectifier 22 is implemented in an intermediate tube or in an observation therefore 0 or very small. Low offset voltages integrated into the tube. Accordingly, the assistance will be able to occur when z. B. the lighting of both lights for the autofocus device via a twin source 13a and 13 / »generated measurement spots do not fully see the tube lens 2 and the intermediate image plane 4 of the are identical. Microscope switched on beam splitter 115 in the loading
F i g. Id zeigt die Signalverläufe für den Fall, daß sich obachtungsstrahlengang des Mikroskops eingekoppelt das Objekt 3 außer Fokus oberhalb der Schärfenebene bzw. das vom Objekt reflektierte Meßlicht an dieser des Objektivs 1 befindet Es gelangt dann nur das vom is Stelle aus dem Mikroskop ausgekoppelt Als Primär-Mcßlichtbündel b erzeugte Bild der Blende 14 auf den lichtquelle für die Hilfsbeleuchtung dient eine Laserdi-Detektor 29 und der Gleichrichter 22 gibt eine negative ode 109, hinter der ein Kondensor 110 angeordnet ist. In Regelspannung Upsd mit negativen Vorzeichen ab. einer zur Pupille 11 des Objektivs 1 konjugierten EbeneF i g. Id shows the signal curves for the case that the observation beam path of the microscope is coupled in the object 3 out of focus above the focal plane or the measuring light reflected by the object is on this of the objective 1. Mcßlichtbündel b generated image of the diaphragm 14 on the light source for the auxiliary lighting is a Laserdi detector 29 and the rectifier 22 gives a negative ode 109, behind which a condenser 110 is arranged. In control voltage Upsd with a negative sign. a plane conjugated to the pupil 11 of the objective 1
F i g. Ie zeigt die Signalverläufe für den Fall, daß sich berindet sich eine Blende 121, die zwei nebeneinander zwar das Objekt im Fokus des Objektivs 3 beflndet, daß 20 angeordnete Blendenöffnungen 113a und 1136. aufaber Dejustierungen z. B. der Teilerspiegel oder ande- weist Vor jede Blendenöffnung ist eines von zwei separer optischer Komponenten im Meßlichtstrahlengang rat ansteuerbaren optischen Schaltern 112a und 1126 in das von beiden Bündeln a und 6 erzeugte, gemeinsame Form von elektrisch ansteuerbaren Flüssigkeitskristall-Bild der Blende 14 in Richtung auf den Detektor 29 schichten gesetzt Die Schichten 112a und 1126 werden verschieben. Infolge der phasenempfindlichen Gleich- 25 von einer elektrischen Schaltung 108 angesteuert und richtung ergibt sich, wie im Fall nach F i g. Ic, ein Regel- decken die ihnen zugeordnete Blendenöffnung zyklisch signal Upsd vom Betrage 0, & h. die Autofokuseinrich- ab bzw. geben diese frei.F i g. Ie shows the signal curves for the case that there is a diaphragm 121, which two side by side are the object in the focus of the lens 3, that 20 arranged diaphragm openings 113a and 1136. but misalignments z. B. the splitter mirror or other points in front of each aperture is one of two separate optical components in the measuring light beam rat controllable optical switches 112a and 1126 in the common form of electrically controllable liquid crystal image of the aperture 14 generated by the two bundles a and 6 in the direction Layers placed on detector 29 Layers 112a and 1126 will shift. As a result of the phase-sensitive direct 25 controlled by an electrical circuit 108 and direction results, as in the case according to FIG. Ic, a rule cover the diaphragm opening assigned to them cyclically signal Upsd of the amount 0, & h. the autofocus device or enable it.
tung reagiert relativ unempfindlich auf Dejustierungen Die Blendenöffnungen 113a und 1136 wirken daherThe device reacts relatively insensitively to misalignments. The diaphragm openings 113a and 1136 therefore act
oder Verkippungen der optischen Komponenten. Durch wie zwei alternierend geschaltete Sekundärlichtquellen die Differenzbildung bei der phasenempfindlichen 30 und entsprechen in dieser Form den beiden Lichtquellen Gleichrichtung wird auch unmoduiiertes Streulicht un- 13a und 136 im Ausführungsbeispiel nach Fig. la. Aus terdrückt, das auf irgendeine Weise von der Lichtquelle der detaillierten Ansicht nach F i g. 2c geht die Form der 6 auf den Detektor 29 gelangt Blende 121 klar hervor.or tilting of the optical components. With two alternating secondary light sources the difference formation in the phase-sensitive 30 and correspond in this form to the two light sources Rectification is also unmodulated scattered light 13a and 136 in the embodiment according to FIG. the end that is suppressed in any way from the light source of the detailed view of FIG. 2c goes the form of the 6 on the detector 29 diaphragm 121 comes out clearly.
Das Regelsignal Upsd, das der Gleichrichter 22 abgibt Die eigentliche Meßblende 14, die die Form des Meßwird zusätzlich einer weiteren Schaltung 23 zugeführt 35 lichtbündels in der Objektebene und in der dazu konjuin der dem Signal Upsd eine einstellbare Offsetspannung gierten Ebene bestimmt in der der Detektor 29 und die aufgesetzt wird. Je nach Höhe dieses Offsets bewegt die Halbblende 24 angeordnet sind, besitzt eine rechteckige von der Autofokuseinrichtung angesteuerte Mechanik Gestalt(vgLFig.2b).The control signal Upsd, which the rectifier 22 emits.The actual measuring diaphragm 14, which determines the shape of the measurement, is additionally fed to a further circuit 23 35 light bundles in the object plane and in the plane associated with the signal Upsd an adjustable offset voltage is determined in which the detector 29 and which is put on. Depending on the height of this offset, the half-diaphragm 24 is arranged to be moved, has a rectangular mechanism controlled by the autofocus device (see FIG. 2b).
das Objekt auf Ebenen, die etwas vor oder hinter der Die Gewinnung des Regelsignals aus der Ausgangs-the object on levels that are slightly in front of or behind the The extraction of the control signal from the output
Schärfenebene des Objektivs 1 liegen. Die Einstellung 40 spannung des Detektors 29 erfolgt in diesem Beispiel in dieser Offsetspannungen wird von einer Einrichtung 32 gleicher Weise wie schon anhand von F i g. la beschriegesteuert die einen Code-Leser für die Maßstabszahl ben.The focal plane of the lens 1 lie. The setting 40 voltage of the detector 29 takes place in this example in These offset voltages are generated by a device 32 in the same way as already on the basis of FIG. la described who have a code reader for the yardstick.
des gerade in Arbeitsstellung befindlichen Objektivs of the lens currently in working position
umfaßt Ein solcher Code-Leser ist z. B. in der DE-PS Hierzu 3 Blatt ZeichnungenSuch a code reader is e.g. B. in DE-PS 3 sheets of drawings
32 02 461 dargestellt Es läßt sich auf diese Weise sicher- 45 32 02 461 shown It can be safely 45
stellen, daß die infolge unterschiedlicher chromatischer
Korrektion der Objektive verschieden großen Ablagen
der Foki des Meß- und Beleuchtungsstrahlenganges automatisch berücksichtigt werden in dem Sinne, daß die
Autofokuseinrichtung stets das Objekt in die für den 50
Spektralbereich des Beleuchtungs- und Beobachtungsstrahlenganges geltende Schärfenebene einfährtmake that the result of different chromatic
Correction of the lenses of different sized shelves
the foci of the measuring and illuminating beam path are automatically taken into account in the sense that the
Autofocus device always the object in the for the 50
Spectral range of the illumination and observation beam path enters the applicable focal plane
Die im Ausführungsbeispiel getrennt dargestellten
Schaltungen 20, 22 und 23 können selbstverständlich
zusammengefaßt und mit der hier nicht dargestellten 55
Steuerelektronik für die Ansteuerung des die Refokussierbewegung durchführenden Motors auf eine Platine
aufgebaut werden.Those shown separately in the exemplary embodiment
Circuits 20, 22 and 23 can of course
summarized and with the 55 not shown here
Control electronics for the control of the motor performing the refocusing movement on a circuit board
being constructed.
In F i g. 2a ist ein weiteres Ausführungsbeispiel dargestellt,
das sich von dem in F i g. 1 a gezeichneten dadurch 60
unterscheidet daß die Antofokuseinrichtung nicht in
den Beleuchtungs- sondern in den Beobachtungsstrahlcngang
des Mikroskops eingespiegelt wird. Dies hat
wie schon gesagt den Vorteil, daß die Autofokuseinrichlung
ohne weiteres auch dann arbeitet wenn der Be- 65
leuchtungsstrahlengang für Dunkelfeldbeleuchtung
ausgelegt istIn Fig. 2a shows a further exemplary embodiment which differs from that shown in FIG. 1 a drawn thereby 60
distinguishes that the Antofocus device is not in
the illumination is reflected into the observation beam path of the microscope. this has
As already said, the advantage that the autofocus device works without any problems even when the loading 65
lighting beam path for dark field lighting
is designed
Im Vergleich zu der Ausführungsform nach Fig. laIn comparison to the embodiment according to FIG
Claims (7)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19833328821 DE3328821C2 (en) | 1983-08-10 | 1983-08-10 | Auto focus for microscopes |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3446727A1 DE3446727A1 (en) | 1986-07-03 |
DE3446727C2 true DE3446727C2 (en) | 1986-12-04 |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3446727C2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3728257A1 (en) * | 1986-11-06 | 1988-05-11 | Jenoptik Jena Gmbh | Optical arrangement and method for photoelectric distance setting (focusing), in particular for surgical microscopes |
WO2012025220A1 (en) | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag | Method and device for focusing substrates in an automated manner in fluorescence microscopy |
TWI571341B (en) * | 2014-12-04 | 2017-02-21 | Metal Ind Res And Dev Centre | An auto focus system and method that can focus on beam sensitivity |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3527322A1 (en) * | 1985-07-31 | 1987-02-12 | Zeiss Carl Fa | AUTOFOCUS DEVICE FOR LIGHTING MICROSCOPE |
US4734570A (en) * | 1985-11-20 | 1988-03-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Active focus detecting device with infrared source |
JP2614843B2 (en) * | 1985-12-02 | 1997-05-28 | オリンパス光学工業株式会社 | Autofocus microscope |
CH672376A5 (en) * | 1986-07-12 | 1989-11-15 | Wild Heerbrugg Ag | |
DE3828381C2 (en) * | 1988-08-20 | 1997-09-11 | Zeiss Carl Fa | Method and device for automatically focusing an optical system |
DE4308714A1 (en) * | 1993-03-18 | 1994-09-22 | Linhof Praezisions Kamera Werk | Coupled rangefinder for photographic cameras |
GB9525867D0 (en) * | 1995-12-19 | 1996-02-21 | Bio Rad Micromeasurements Ltd | Dual beam automatic focus system |
US6974938B1 (en) * | 2000-03-08 | 2005-12-13 | Tibotec Bvba | Microscope having a stable autofocusing apparatus |
DE10024687A1 (en) * | 2000-05-18 | 2001-11-22 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Autofocus unit for e.g. semiconductor wafer inspection microscope, includes e.g. diaphragms with complementary structures straddling conjugate point of illuminant |
GB0200844D0 (en) * | 2002-01-15 | 2002-03-06 | Solexa Ltd | Linear response auto focussing device and method |
DE10204367B4 (en) * | 2002-02-02 | 2006-05-11 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Autofocus module for microscope-based systems and autofocus method for a microscope-based system |
DE102004016253B4 (en) * | 2004-04-02 | 2006-02-23 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanning microscope and method for scanning microscopic examination of a sample |
EP1840623B1 (en) * | 2006-03-31 | 2013-05-08 | Yokogawa Electric Corporation | Microscope comprising a focus error detecting optical system |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3328821C2 (en) * | 1983-08-10 | 1986-10-02 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Auto focus for microscopes |
-
1984
- 1984-12-21 DE DE19843446727 patent/DE3446727C2/en not_active Expired
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3728257A1 (en) * | 1986-11-06 | 1988-05-11 | Jenoptik Jena Gmbh | Optical arrangement and method for photoelectric distance setting (focusing), in particular for surgical microscopes |
WO2012025220A1 (en) | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag | Method and device for focusing substrates in an automated manner in fluorescence microscopy |
TWI571341B (en) * | 2014-12-04 | 2017-02-21 | Metal Ind Res And Dev Centre | An auto focus system and method that can focus on beam sensitivity |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3446727A1 (en) | 1986-07-03 |
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