DE3321580C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Erfassung der Temperatur für die Kompensation temperaturabhängiger Fehler in einem kapazitiven Differenzdrucksensor, der zwei einen mit einer Flüssigkeit gefüllten Hohlraum abschließende, elektrisch leitfähige elastische Membranen enthält, auf die der zu erfassende Differenzdruck im Sinne von Kapazitätsänderungen einwirkt, mit wenigstens einer Meßschaltung, welche die reziproken Kapazitätswerte C1, C2 der von der Membran gebildeten Meßkondensatoren ermittelt, und mit einer Summierschaltung, welche die reziproken Kapazitätswerte summiert.The invention relates to a device for detecting the temperature for the compensation of temperature-dependent errors in a capacitive differential pressure sensor which contains two electrically conductive elastic membranes which close off a cavity filled with a liquid and on which the differential pressure to be detected acts in the sense of changes in capacity at least one measuring circuit which determines the reciprocal capacitance values C 1, C 2 of the measuring capacitors formed by the membrane, and with a summing circuit which sums the reciprocal capacitance values.
Aus der GB 20 48 488 ist ein solcher Differenzdrucksensor bekannt, der eine Meßschaltung aufweist, welche die reziproken Kapazitätswerte der von den durch die Membranen gebildeten Meßkondensatoren ermittelt. Diese reziproken Kapazitätswerte werden einer Rechenschaltung zugeführt, die den Druck berechnet. In der Rechenschaltung wird eine Druckformel verwendet, bei der die Differenz der reziproken Kapazitätswerte mit einer Konstanten multipliziert und das Multiplikationsergebnis durch einen Ausdruck dividiert wird, der gleich der Quadratwurzel auf der Summe der reziproken Kapazitätswerte ist. Der berechnete Druck soll unabhängig von Temperatureinflüssen auf die Dielektrizitätskonstante der im Differenzdrucksensor vorhandenen Flüssigkeit sein. Bei dieser Einrichtung wird also nicht die Temperatur bestimmt. Bei der Ableitung der Druckformel wird das Clausius-Mosotti-Gesetz angewendet, um die Temperatureinflüsse von der Dielektrizitätskonstanten zu kompensieren. Hiernach soll die Dielektrizitätskonstante der Flüssigkeit proportional der Dichte der Flüssigkeit sein. Aus dem Buch "Elektrodynamik" von Arnold Sommerfeld, 4. Auflage, Leipzig 1964, Akademische Verlags gesellschaft, Seite 67 (Gleichungen 8 und 8a) oder dem Buch "Physik" von Christian Gerthsen, 1. Auflage, 1956, Springer Verlag, S. 209 und 210 (Gleichung 11.36 C) geht hervor, daß zwar für stark verdünnte Gase eine Proportionalität zwischen der Dielektrizitätskonstanten und Dichte angenommen werden kann, aber die Proportionalität bei einer Ölflüssigkeit nicht mehr besteht. Aus diesem Grunde weist der berechnete Druck doch noch eine Abhängigkeit von der Temperatur auf.Such a differential pressure sensor is known from GB 20 48 488 known, which has a measuring circuit which the reciprocal capacitance values of those through the membranes formed measuring capacitors determined. This reciprocal Capacitance values are fed to an arithmetic circuit, which calculates the pressure. In the arithmetic circuit a Print formula used in which the difference of reciprocal capacitance values multiplied by a constant and the multiplication result by expression divided, which is equal to the square root of the sum is the reciprocal of the capacitance values. The calculated pressure should be independent of temperature influences on the Dielectric constant in the differential pressure sensor existing liquid. With this facility not the temperature. When deriving the Printing formula the Clausius-Mosotti law is applied, around the temperature influences from the dielectric constant to compensate. According to this, the dielectric constant of the liquid proportional to the density of the Be liquid. From the book "Electrodynamics" by Arnold Sommerfeld, 4th edition, Leipzig 1964, academic publishing house society, page 67 (Equations 8 and 8a) or the Book "Physics" by Christian Gerthsen, 1st edition, 1956, Springer Verlag, pp. 209 and 210 (equation 11.36 C) shows that for highly diluted gases Proportionality between the dielectric constants and density can be assumed, but proportionality with an oil liquid no longer exists. For this Basically, the calculated pressure still shows a dependency from the temperature up.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Erfassung der Temperatur für die Kompensation temperaturabhängiger Fehler in einem kapazitiven Differenzdrucksensor zu schaffen, die mit hoher Genauigkeit die Temperatur aus den Kapazitätswerten der von den Membranen gebildeten Meßkondensatoren ermittelt.The invention is therefore based on the object Device for recording the temperature for the compensation temperature dependent error in a capacitive Differential pressure sensor to create that with high accuracy the temperature from the capacitance values of the of the Membranes formed measuring capacitors determined.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine vom Ausgangssignal der Summierschaltung gespeiste Subtrahierschaltung vorgesehen ist, die von der Summe 1/C1 + 1/C2 eine erste Konstante e subtrahiert und daß der Subtrahierschaltung ein Dividierglied nachgeordnet ist, das zwecks Bildung der um eine Referenztemperatur verringerten Temperatur der Flüssigkeit das Ausgangssignal der Subtrahierschaltung durch eine zweite Konstante f dividiert, wobei die Konstante e anhand der BeziehungThis object is achieved in that a subtracting circuit fed by the output signal of the summing circuit is provided, which subtracts a first constant e from the sum 1 / C 1 + 1 / C 2 and that the subtracting circuit is followed by a dividing element which is used to form the a reference temperature reduced temperature of the liquid divides the output signal of the subtracting circuit by a second constant f , the constant e being based on the relationship
e = 1/C1 + 1/C2 e = 1 / C 1 + 1 / C 2
bei der Referenztemperatur der Flüssigkeit und die Konstante f anhand der Beziehungat the reference temperature of the liquid and the constant f based on the relationship
f = (1/C1 + 1/C2 - e)/Δ Tmax f = (1 / C 1 + 1 / C 2 - e ) / Δ Tmax
ermittelbar sind und Δ Tmax die Differenz zwischen einer maximal auftretenden Temperatur und der Referenztemperatur der Flüssigkeit bedeutet.can be determined and Δ Tmax means the difference between a maximum occurring temperature and the reference temperature of the liquid.
Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung wird nach Bildung der Summe der reziproken Kapazitätswerte eine Konstante e von der Summe subtrahiert, welche bei einer Referenztemperatur ermittelt worden ist. Das Subtraktionsergebnis wird durch eine Konstante f dividiert. Diese Konstante ist bei maximaler Temperaturdifferenz Δ Tmax der Flüssigkeit bestimmt worden. Die Temperaturdifferenz Δ Tmax ist die Differenz zwischen der maximal auftretenden Temperatur der Flüssigkeit und der konstanten Referenztemperatur. Mit dieser Berechnung wird die mittlere Temperatur der gesamten Flüssigkeit in dem Differenzdrucksensor erfaßt, wodurch eine fehlerfreie Kompensation der temperaturabhängigen Meßfehler möglich ist. Zusätzlich notwendige Temperaturmeßelemente werden eingespart.In the device according to the invention, after forming the sum of the reciprocal capacitance values, a constant e is subtracted from the sum, which was determined at a reference temperature. The subtraction result is divided by a constant f . This constant was determined at the maximum temperature difference Δ Tmax of the liquid. The temperature difference Δ Tmax is the difference between the maximum temperature of the liquid and the constant reference temperature. With this calculation, the average temperature of the entire liquid is detected in the differential pressure sensor, whereby an error-free compensation of the temperature-dependent measurement errors is possible. Additional temperature measuring elements are saved.
Ein Vorteil der Erfindung ergibt sich dadurch, daß der Differenzdrucksensor den Differenzdruck aus der Differenz der reziproken Kapazitätswerte der Meßkondensatoren ermittelt und diese Meßwerte unter Berücksichtigung der aus der Temperaturänderung sich ergebenden Änderung der Ausdehnung und der Dielektrizitätskonstanten der Flüssigkeit korrigiert. Eine elektronische Schaltung zur Ermittlung eines fehlerfreien Differenzdruckmeßwertes, die neben arithmetischen Grund operationen lediglich die Summe und die Diffferenz reziproker Kapazitätswerte berechnet, ist unter Verwendung einfacher Schaltungskomponenten realisierbar.An advantage of the invention arises in that the differential pressure sensor the differential pressure from the difference between the reciprocal capacitance values of the Measuring capacitors determined and these measured values under Taking into account the temperature change itself resulting change in expansion and dielectric constant corrected the liquid. A electronic circuit for determining an error-free Differential pressure reading, in addition to arithmetic reason operations only the sum and the difference reciprocal capacitance values is calculated using simple circuit components can be implemented.
Anhand der Zeichnung wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben und dessen Wirkungsweise erläutert.An embodiment of the Invention described and its operation explained.
Die Figur zeigt einen Differenzdrucksensor mit einer Einrichtung zur Erfassung der Flüssigkeitstemperatur und einer Schaltung zur Ermittlung des Differenzdruckes.The figure shows a differential pressure sensor with a Device for recording the liquid temperature and a circuit for determining the differential pressure.
Der in der Figur dargestellte Differenzdrucksensor 1 weist zwei mit Schichtelektroden 4 und 5 belegte Membranen 2 und 3 auf, die mit auf einem Grundkörper 6 angeordneten Schichtelektroden 7 und 8 Meßkondensatoren bilden. Der Meßkondensator mit den Schichtelektroden 5 und 8 hat die Kapazität C1, und der Meßkondensator mit den Schichtelektroden 4 und 7 hat die Kapazität C2.The differential pressure sensor 1 shown in the figure has two membranes 2 and 3 covered with layer electrodes 4 and 5 , which form measuring capacitors with layer electrodes 7 and 8 arranged on a base body 6 . The measuring capacitor with the layer electrodes 5 and 8 has the capacitance C 1, and the measuring capacitor with the layer electrodes 4 and 7 has the capacitance C 2.
Die Membranen 2 und 3 schließen einen mit einer inkompressiven Flüssigkeit, wie z. B. Siliconöl, gefüllten Hohlraum 9 flüssigkeitsdicht ab. Auf die Membranen 2 und 3 wirken Drücke in Richtung der Pfeile 10 und 11.The membranes 2 and 3 close one with an incompressive liquid, such as. B. silicone oil, filled cavity 9 from liquid-tight. Pressures in the direction of arrows 10 and 11 act on the membranes 2 and 3 .
Die Meßschaltungen 12 und 13 sind mit den Elektroden 4, 5, 7 und 8 elektrisch verbunden und ermitteln die reziproken Kapazitätswerte 1/C1 bzw. 1/C2 der Meßkondensatoren. In einer Summierschaltung 14 wird die Summe der reziproken Kapazitätswerte gebildet, die in einer Subtrahierschaltung 15 um eine Konstante e reduziert und zur Berechnung der Temperatur Δ T anhand der BeziehungThe measuring circuits 12 and 13 are electrically connected to the electrodes 4, 5, 7 and 8 and determine the reciprocal capacitance values 1 / C 1 and 1 / C 2 of the measuring capacitors. In a summing circuit 14 the sum of the reciprocals of the capacitance values is formed, which reduces in a subtracting circuit 15 by a constant e, and for calculating the temperature from the relationship Δ T
in einem Dividierglied 16 durch eine Konstante f dividiert wird. Δ T ist die Differenz zwischen der augenblicklichen Betriebstemperatur der Flüssigkeit und einer konstanten Referenztemperatur. Die Konstante e läßt sich anhand der Beziehungis divided in a divider 16 by a constant f . Δ T is the difference between the current operating temperature of the liquid and a constant reference temperature. The constant e can be determined from the relationship
und die Konstante f anhand der Beziehungand the constant f based on the relationship
bei maximalem Δ T ermitteln.determine at maximum Δ T.
Zur Ermittlung des temperaturunabhängigen Differenzdruckes wird zunächst in einer Differenzschaltung 17 die Differenz der in den Meßschaltungen 12 und 13 gebildeten reziproken Kapazitätswerte ermittelt. Diese Differenz wird in einer Reduzierschaltung 18 um den Wert einer Konstanten a und in einem Ausgangssubtrahierer 19 um den Wert b Δ T verringert, der in einem vom Dividierglied 16 abgesteuerten Multiplizierer 20 errechnet wird. In einem Ausgangs multiplizierer 21 wird der vom Dividierglied 16 ermittelte Temperaturwert mit einer Konstanten d multipliziert und anschließend in einem Ausgangssummierer 22 um den Wert c vergrößert. Der Ausgangsdividierer 23 erzeugt das Differenzdrucksignal Δ P anhand der BeziehungTo determine the temperature-independent differential pressure, the difference between the reciprocal capacitance values formed in the measuring circuits 12 and 13 is first determined in a differential circuit 17 . This difference is reduced in a reducing circuit 18 by the value of a constant a and in an output subtractor 19 by the value b Δ T , which is calculated in a multiplier 20 controlled by the divider 16 . In an output multiplier 21 , the temperature value determined by the divider 16 is multiplied by a constant d and then increased in an output summer 22 by the value c . The output divider 23 generates the differential pressure signal Δ P based on the relationship
Die Konstante a ergibt sich aus der BeziehungThe constant a results from the relationship
die Konstante b ergibt sich aus der Beziehungthe constant b results from the relationship
bei Δ P = 0 und maximalem Δ T,at Δ P = 0 and maximum Δ T ,
die Konstante c ergibt sich aus der Beziehungthe constant c results from the relationship
bei Δ T = 0 und maximalem Δ P,at Δ T = 0 and maximum Δ P ,
und die Konstante d ergibt sich aus der Beziehungand the constant d results from the relationship
bei maximalem Δ P und maximalem Δ T.at maximum Δ P and maximum Δ T.
Wirkt auf die Membranen 2 und 3 kein Differenzdruck, lenken die Membranen 2 und 3 nicht aus. Wegen Fertigungs toleranzen sind die Kapazitäten C1 und C2 der Meßkondensatoren jedoch nicht gleich groß, so daß die in der Differenzschaltung 17 ermittelte Differenz der reziproken Kapazitätswerte einen von Null abweichenden Wert annimmt. Von dieser Differenz wird in der Reduzierschaltung 18 die Konstante a und im Ausgangssubtrahierer 19 der im Multi plizierer 20 errechnete temperaturabhängige Wert b × Δ T subtrahiert. Dadurch wird der vom Ausgangssubtrahierer 23 erzeugte Differenzdruckmeßwert Δ P zu Null, falls auf den Differenzdrucksensor kein Differenzdruck einwirkt. Wirkt auf die Membrane 2 ein größerer Druck als auf die Membrane 3, lenken beide Membranen 2 und 3 in Richtung des Pfeiles 10 aus. Die Kapazität C2 wird größer, und die Kapazität C1 wird kleiner. Die in der Differenzschaltung 17 erzeugte Differenz der reziproken Kapazitätswerte nimmt zu.If there is no differential pressure on the membranes 2 and 3 , the membranes 2 and 3 do not deflect. Due to manufacturing tolerances, however, the capacitances C 1 and C 2 of the measuring capacitors are not the same size, so that the difference between the reciprocal capacitance values determined in the differential circuit 17 assumes a value deviating from zero. From this difference, the constant a is subtracted in the reducing circuit 18 and in the output subtractor 19 the temperature-dependent value b × Δ T calculated in the multiplier 20 . As a result, the differential pressure measured value Δ P generated by the output subtractor 23 becomes zero if no differential pressure acts on the differential pressure sensor. If a greater pressure acts on membrane 2 than on membrane 3 , both membranes 2 and 3 deflect in the direction of arrow 10 . The capacitance C 2 becomes larger and the capacitance C 1 becomes smaller. The difference between the reciprocal capacitance values generated in the differential circuit 17 increases.
Bei einer Änderung der Temperatur der Flüssigkeit im Hohlraum 9 verändert sich die Dielektrizitätskonstante der Flüssigkeit, so daß der in der Differenzschaltung 17 erzeugte Differenzwert fehlerhaft ist.When the temperature of the liquid in the cavity 9 changes, the dielectric constant of the liquid changes, so that the difference value generated in the differential circuit 17 is incorrect.
Durch eine Temperaturzunahme der Flüssigkeit ändert sich deren Volumen, die Abstände der Elektroden 5 und 8 bzw. 4 und 7 nehmen zu, die Kapazitäten C1 und C2 der Meßkondensatoren nehmen ab, so daß auch die in der Summierschaltung 14 errechnete Summe der reziproken Kapazitätswerte zunimmt und einen der Temperatur der Flüssigkeit entsprechenden Wert annimmt.Due to an increase in temperature of the liquid, its volume changes, the distances between the electrodes 5 and 8 or 4 and 7 increase, the capacitances C 1 and C 2 of the measuring capacitors decrease, so that the sum of the reciprocal capacitance values calculated in the summing circuit 14 also increases increases and assumes a value corresponding to the temperature of the liquid.
Die fehlerhafte, temperaturbedingte Änderung des vom Aus gangsdividierer 23 gelieferten Differenzdruckmeßwertes wird kompensiert, indem aus dem vom Dividierglied 16 errechneten Temperaturwert im Multiplizierer 20 die temperaturabhängige Nullpunktdrift des Differenzdrucksensors 1 errechnet und im Ausgangssubtrahierer 19 vom Differenzdruckmeßwert subtrahiert wird, und indem der im Ausgangssubtrahierer 19 teilweise korrigierte Differenzdruckmeßwert im Ausgangsdividierer 23 durch einen der temperaturabhängigen Empfindlichkeit des Differenzdrucksensors 1 entsprechenden und im Ausgangsmultiplizierer 21 und im Ausgangssummierer 22 errechneten Wert dividiert wird.The incorrect, temperature-related change in the differential pressure measured value supplied by the output divider 23 is compensated for by calculating the temperature-dependent zero-point drift of the differential pressure sensor 1 in the multiplier 20 from the temperature value calculated by the divider 16 and subtracting the differential pressure measured value in the output subtractor 19 , and by partially correcting the output subtractor 19 Differential pressure measured value in the output divider 23 is divided by a value corresponding to the temperature-dependent sensitivity of the differential pressure sensor 1 and calculated in the output multiplier 21 and in the output summer 22 .
Claims (1)
mit wenigstens einer Meßschaltung (12, 13), welche die reziproken Kapazitätswerte C1, C2 der von der Membran gebildeten Meßkondensatoren ermittelt, und
mit einer Summierschaltung (14), welche die reziproken Kapazitätswerte summiert,
dadurch gekennzeichnet, daß eine vom Ausgangssignal der Summierschaltung (14) gespeiste Subtrahierschaltung (15) vorgesehen ist, die von der Summe 1/C1 + 1/C2 eine erste Konstante e subtrahiert und daß der Subtrahierschaltung (15) ein Dividierglied (16) nachgeordnet ist, das zwecks Bildung der um eine Referenztemperatur verringerten Temperatur der Flüssigkeit das Ausgangssignal der Subtrahierschaltung (15) durch eine zweite Konstante f dividiert, wobei die Konstante e anhand der Beziehung e = 1/C1 + 1/C2bei der Referenztemperatur der Flüssigkeit und die Konstante f anhand der Beziehungf = (1/C1 + 1/C2 - e)/Δ Tmaxermittelbar sind und Δ Tmax die Differenz zwischen einer maximal auftretenden Temperatur und der Referenztemperatur der Flüssigkeit bedeutet.Device for detecting the temperature for the compensation of temperature-dependent errors in a capacitive differential pressure sensor ( 1 ) which contains two electrically conductive elastic membranes ( 2, 3 ) which close off a cavity filled with a liquid and on which the differential pressure to be recorded acts in the sense of changes in capacity ,
with at least one measuring circuit ( 12, 13 ) which determines the reciprocal capacitance values C 1, C 2 of the measuring capacitors formed by the membrane, and
with a summing circuit ( 14 ) which sums the reciprocal capacitance values,
characterized in that a subtracting circuit ( 15 ) fed by the output signal of the summing circuit ( 14 ) is provided, which subtracts a first constant e from the sum 1 / C 1 + 1 / C 2, and in that the subtracting circuit ( 15 ) has a dividing element ( 16 ) downstream, which divides the output signal of the subtracting circuit ( 15 ) by a second constant f , in order to form the temperature of the liquid reduced by a reference temperature, the constant e being based on the relationship e = 1 / C 1 + 1 / C 2 at the reference temperature of the liquid and the constant f can be determined on the basis of the relationship f = (1 / C 1 + 1 / C 2 - e ) / Δ Tmax and Δ Tmax means the difference between a maximum temperature occurring and the reference temperature of the liquid.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3932443C1 (en) * | 1989-09-28 | 1990-12-20 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7864 Maulburg, De | |
| DE3933512A1 (en) * | 1989-10-06 | 1991-04-18 | Endress Hauser Gmbh Co | DIFFERENTIAL PRESSURE MEASURING DEVICE |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3340834A1 (en) * | 1983-11-11 | 1985-05-23 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Circuit arrangement for keeping the temperature-dependent sensitivity of a differential-pressure measurement apparatus constant |
| DE3414896A1 (en) * | 1984-04-19 | 1985-10-24 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Device for reducing the temperature dependence of a capacitive single-chamber differential pressure sensor |
| FI69932C (en) * | 1984-05-31 | 1986-05-26 | Vaisala Oy | MAINTENANCE FOUNDATION CAPACITORS SPECIFIC FOR SMAR CAPACITORS VID VILKER MAN ANVAENDER TVAO REFERENSER |
| DE3504329A1 (en) * | 1985-02-08 | 1986-08-14 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Differential pressure measuring instrument |
| DE3523104A1 (en) * | 1985-06-28 | 1987-01-22 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Arrangement having a measuring electrode to which are assigned at fixed distances a first and a second field-generating electrode |
| DE4124662A1 (en) * | 1991-07-25 | 1993-01-28 | Fibronix Sensoren Gmbh | RELATIVE PRESSURE SENSOR |
| GB2258050B (en) * | 1991-07-26 | 1994-11-30 | Fuji Electric Co Ltd | Electrostatic capacity type differential pressure detector |
Family Cites Families (1)
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|---|---|---|---|---|
| GB2048488B (en) * | 1979-04-26 | 1983-04-27 | Rosemount Eng Co Ltd | Differential pressure sensing apparatus |
-
1983
- 1983-06-15 DE DE19833321580 patent/DE3321580A1/en active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3932443C1 (en) * | 1989-09-28 | 1990-12-20 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7864 Maulburg, De | |
| DE3933512A1 (en) * | 1989-10-06 | 1991-04-18 | Endress Hauser Gmbh Co | DIFFERENTIAL PRESSURE MEASURING DEVICE |
Also Published As
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