DE3226451A1 - METHOD FOR PRODUCING STRAIN-FREE, BUBBLE-FREE AND HOMOGENEOUS QUARTZ GLASS PANELS AND DEVICE FOR IMPLEMENTING THE METHOD - Google Patents
METHOD FOR PRODUCING STRAIN-FREE, BUBBLE-FREE AND HOMOGENEOUS QUARTZ GLASS PANELS AND DEVICE FOR IMPLEMENTING THE METHODInfo
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Description
Hanau, den 8. Juli 1932 ZPL-Dr.Hn/WHanau, July 8, 1932 ZPL-Dr.Hn/W
Heraeus Quarzschmelze GmbH, Hanau (Main) PatentanmeldungHeraeus Quarzschmelze GmbH, Hanau (Main) patent application
"Verfahren zur Herstellung von schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten und"Process for the production of streak-free, bubble-free and homogeneous quartz glass plates and
Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens"Device for carrying out the procedure "
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung von praktisch schlierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasplatten beliebiger Konfiguration aus einem praktisch schiierenfreien, blasenfreien und homogenen Quarzglasvollzylinder sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.The invention relates to a method for the production of practically streak-free, bubble-free and homogeneous Quartz glass plates of any configuration made from a practically streak-free, bubble-free and homogeneous solid quartz glass cylinder as well as a device for carrying out the method.
Unter praktisch schlierenfreiem, blasenfreiem und homogenem Quarzglas wird ein solches verstanden, das bei Prüfung der Durchsichtsflächen mit einem Testgerät keine oder nur sehr schwache Schlieren zeigt, das einen durchschnittlichen Gesamtblasenquerschnitt kleiner 0,1 mmVlOO cm3 (Blasenklasse 1 und/oder 0) aufweist und das bei interferometrischer Prüfung bei einer Testöffnung von 70 mm ein Delta-η kleiner 2 χ 10 besitzt.Practically streak-free, bubble-free and homogeneous quartz glass is understood to mean one that shows no or only very weak streaks when the transparent surfaces are checked with a test device, that has an average total bubble cross-section of less than 0.1 mmV100 cm 3 (bubble class 1 and / or 0) and which has a delta-η less than 2 χ 10 in an interferometric test with a test opening of 70 mm.
Aus der DE-PS 445 763 ist ein Verfahren zur Herstellung von flächenhaften Gegenständen aus geschmolzenem Quarz mit Hilfe von elektrischen Widerstandsöfen bekannt. Bei diesem Verfahren wird ein stabförmiger, elektrischer Heizwiderstand ringsumFrom DE-PS 445 763 a method for the production of flat objects from fused quartz with the help known from electric resistance furnaces. In this procedure becomes a rod-shaped, electrical heating resistor all around
έ - 6 - έ - 6 -
mit dem zu schmelzen Ausgangsmaterial umgeben, und durch die Wirkung des Heizstroms ein röhrenförmiger Schmelzung erzeugt, sodann der Heizwiderstand rasch aus ihm herausgezogen, und der Schmelzung durch Druck zu einem plattenförmigen Körper zusammengepreßt.surrounded by the starting material to be melted, and by the effect of the heating current a tubular melting generated, then the heating resistor quickly pulled out of it, and the melting by pressure to a plate-shaped Body compressed.
Aus der DE-PS 697 699 ist die Herstellung von blasenfreien Formkörpern aus Quarzglas bekannt. Als Ausgangsmaterial hat man meist klare Quarzstücke aus Bergkristall verwendet, die umgeschmolzen und danach in üblicher Weise verformt wurden. Bekannt ist hieraus ferner die Herstellung von Quarzglasformkörpern in der Weise, daß man aus Kieselsäurepulver auf kaltem Wege zunächst Formkörper der gewünschten Gestalt hergestellt hat, und diese dann in einem elektrischen Ofen im Vakuum bis zum Glasigwerden erhitzt hat. Auch die Herstellung von Quarzblöcken im Vakuum aus körnigem Ausgangsmaterial war bekannt. Die Blöcke wurden anschließend unter erneutem Erhitzen in eine endgültige Form gepreßt.From DE-PS 697 699 the production of bubble-free molded bodies made of quartz glass is known. As a starting material, clear pieces of quartz made of rock crystal were usually used, which were remelted and then deformed in the usual way. The production of quartz glass moldings is also known from this in such a way that moldings of the desired shape are first produced coldly from silica powder and then heated in an electric furnace in a vacuum until they become glassy. The manufacture of quartz blocks in a vacuum from granular starting material was also known. The blocks were then pressed into a final shape with reheating.
In Anbetracht dessen, daß vorstehend erwähnte Herstellungsverfahren noch stark blasenhaltige Produkte liefern, selbst wenn, wie in der DE-PS 697 699 erwähnt, von blasenfreien Körpern gesprochen wird, wurde gemäß der US-PS 2 726 487 die Herstellung von im wesentlichen blasenfreien, also blasenarmen, klaren Quarzglasprodukten dadurch erreicht, daß das körnige Ausgangsmaterial, wie reiner Quarzsand, mit einer Silikatlösung imprägniert und nach dem Trocknen der Flüssigkeitskomponente, wobei sich SiO2 in den Poren des Ausgangsmaterials niederschlägt, unter Vakuum in einen Graphittiegel eingeschmolzen wird. Man gewinnt auf diese Weise transparente, blasenarme Flachkörper aus Quarzglas.In view of the fact that the above-mentioned manufacturing processes still produce products with a high concentration of bubbles, even if, as mentioned in DE-PS 697 699, bubble-free bodies are mentioned, US Pat Bubble-free, clear quartz glass products are achieved by impregnating the granular starting material, such as pure quartz sand, with a silicate solution and, after drying the liquid component, whereby SiO 2 is deposited in the pores of the starting material, is melted under vacuum in a graphite crucible. In this way, transparent, low-bubble flat bodies made of quartz glass are obtained.
Aus der DE-PS 549 083 ist ein Verfahren zum Erzeugen plattenförmiger Körper aus Quarz bekan,nt. Das aus feuchtem, feinem Quarzsand bestehende Schmelzgut wird in eine flache, zylindrische Vertiefung eingebracht, die aus Silizium-KarbidsteinenFrom DE-PS 549 083 a method for producing plate-shaped Quartz body known, nt. The melting material, consisting of fine, moist quartz sand, is converted into a flat, cylindrical A recess made of silicon carbide stones
gebildet ist. Mittels der Flammen eines Heizgasstroms, cer aus einer über dem Schmelzgut angeordneten Haube austritt, wird das Schmelzgut von oben her erhitzt. Der in die zylindrische Vertiefung eingefüllte Quarzsand (Füllhöhe 8 cm) wird nur zum Teil' durchgeschmolzen, so daß die auf diese Weise gewonnene Quarzplatte, deren Dicke in der Mitte 3 cm und am Rand 2,5 cm beträgt, noch auf feinem Quarzsand gelagert ist. Die von oben auf das Schmelzgut gerichtete Wärme verteilt sich diffus nach allen Richtungen hin, weil die verwendeten Silizium-Karbidsteine gute Wärmeleiter sind, d.h. die Wärme fließt seitlich durch die Silizium-Karbidsteine ab.is formed. By means of the flames of a heating gas stream, cer exits from a hood arranged above the material to be melted, the material to be melted is heated from above. The one in the cylindrical Quartz sand filled into the recess (filling height 8 cm) is only partially 'melted through, so that the in this way Obtained quartz plate, the thickness of which is 3 cm in the middle and 2.5 cm at the edge, still stored on fine quartz sand is. The heat directed from above onto the melting material is distributed diffusely in all directions because the heat used Silicon carbide bricks are good heat conductors, i.e. the heat flows away laterally through the silicon carbide bricks.
Ferner ist es bekannt, schlierenfreie, blasenfreie und homogene Quarzglasplatten beliebig vorgegebener Konfiguration da lurch herzustellen, daß man von einem praktisch schlierenfreim, blasenfreien und homogenen Quarzglasvollzylinder kreisförmigen Querschnitts eine Platte absägte und diese kreisförmige Platte dann auf die gewünschte Konfiguration, wie eine Rechteckplatte, zurechtschnitt. Hierbei ist man selbstverständlich auf die Herstellung von Quarzglasplatten eingeschränkt, deren Fläche kleiner ist als die kreisförmige Querschnittsfläche des Vollzylinders. Furthermore, it is known to produce streak-free, bubble-free and homogeneous quartz glass plates as desired predetermined configuration because lurch that m virtually streak free from a bubble-free and homogeneous quartz glass solid cylinder of circular cross section absägte a plate and this circular plate then to the desired configuration such as a rectangular plate, carved out . In this case, one is of course restricted to the production of quartz glass plates, the area of which is smaller than the circular cross-sectional area of the solid cylinder.
Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt, ein Verfahren zur Herstellung von Quarzglasgroßplatten unter Verwendung eines Quarzglasvollzylinders zu schaffen, wobei die Fläche der Quarzglasgroßplatte beliebige Konfiguration aufweict und wesentlich die Querschnitts fläche des Vollzylinder;, übersteigt .The invention has therefore set itself the task of using a method for producing large quartz glass plates to create a quartz glass full cylinder, the surface of the large quartz glass plate having any configuration and substantially the cross-sectional area of the full cylinder;, exceeds .
Gelöst wird diese Aufgabe für ein Vorfahren der eingangs charakterisierten Art orfindunrjsgfjmnß dadurch, daß zur Herstellung von Quarzqlascjroßplntten, deren Flache die Fl.ichoThis task is solved for an ancestor of the at the beginning characterized type orfindunrjsgfjmnß in that for the production of quartz glass plinths, the surface of which is the Fl.icho
des Vollzylinders quer zur Zylinderachse wesentlich übersteigt, das freie Ende des an seinem anderen Ende aufgehängten Quarzglasvollzylinders vertikal in den Innenraum eines mit Zirkonoxid ausgekleideten, in einem mit Inertgas gefluteten Kessel angeordneten Graphittiegels vorgegebener Konfiguration abgesenkt, dort, auf eine Fließtemperatur im Bereich von 1700 bis 1900° C erhitzt und nach Erreichen dieser Temperatur zum Ausfließen des Quarzglases bis zur Berührung mit dem Tiegelboden abgesenkt, unter Fortsetzung der Erhitzung der Quarzglasvollzylinder kontinuierlich so lange nachgeführt Wird, bis die Höhe des im Graphittiegel ausgeflossenen Quarzglases die gewünschte Plattenstärke erreicht hat, und daß nach dem Abkühlen des ausgeflossenen Quarzglases der Restteil des Vollzylinders vom ausgeflossenen Quarzglas abgetrennt und das ausgeflossene Quarzglas als Platte dem Tiegel entnommen wird.of the solid cylinder transversely to the cylinder axis substantially exceeds the free end of the quartz glass solid cylinder suspended at its other end vertically into the interior of a boiler lined with zirconium oxide and flooded with inert gas arranged graphite crucible of given configuration lowered, there, heated to a flow temperature in the range of 1700 to 1900 ° C and after reaching this temperature lowered to allow the quartz glass to flow out until it touches the bottom of the crucible, with continued heating of the Full quartz glass cylinder is continuously tracked until the height of the quartz glass that has flowed out in the graphite crucible has reached the desired plate thickness, and that after the cooled quartz glass has cooled, the remaining part of the full cylinder is separated from the quartz glass that has flowed out and the quartz glass that has flowed out is removed from the crucible as a plate will.
Weitere vorteilhafte Merkmale des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 7.Further advantageous features of the method according to the invention result from subclaims 2 to 7.
Durch das erfindungsgmäße Verfahren ist es erstmals möglich, Quarzglasplatten von besonders hochwertiger optischer Qualität in beliebigen Konfigurationen und mit Abmessungen herzustellen, die die Abmessungen des als Ausgangsmaterial verwendeten Quarzglasvollzylinders erheblich übertreffen. Außerdem ist noch hervorzuheben, daß durch das erfindungsgemäße Verfahren die Homogenität des Ausgangsmaterials durch den Ausfließvorgang verbessert wird, während die übrigen Materialeigenschaften, nämlich Schlieren- und Blasenfreiheit, denen des Ausgangi,materialo entsprechen und erhalten bleiben. Auch findet eine bessere Verteilung, eventuell im Ausgangsmaterial vorhandener Schlieren, sowie eine Verminderung des Blasengphaltes durch Ausdiffundieren statt. Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Quarzglasplatten waren nicht nur praktischWith the method according to the invention, it is possible for the first time Manufacture quartz glass plates of particularly high optical quality in any configuration and with dimensions, which considerably exceed the dimensions of the full quartz glass cylinder used as the starting material. Also is It should also be emphasized that the homogeneity of the starting material through the outflow process is achieved by the process according to the invention is improved, while the other material properties, namely freedom from streaks and bubbles, those of the output, materialo correspond and be preserved. There is also a better distribution, possibly more present in the starting material Schlieren, as well as a reduction in the bubble content due to outward diffusion instead. According to the method according to the invention manufactured quartz glass plates were not only practical
schlierenfrei, sondern auch blasenfrei und wiesen eine Homogeni-free of streaks, but also free of bubbles and exhibited a homogeneity
tat von besser als /\ η = 8 χ 10~ (bei einer Testöffnung von 700 mm) auf bei einem ^n des Ausgangsmaterials von 1 χ 10 (bei einer Testöffnung von 230 mm).did from better than / \ η = 8 χ 10 ~ (with a test opening of 700 mm) to with a ^ n of the starting material of 1 χ 10 (with a test opening of 230 mm).
Anhand der Figur wird das erfindungsgemäße Verfahren erläutert sowie eine bevorzugte Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens beschrieben. Dabei ist in der linken Hälfte der schematischen Figur die Position des Quarzglasvollzylinders während der Anheizphase dargestellt und in der rechten Hälfte die Position dieses Zylinders gegen Ende -des Ausfließvorganges.The method according to the invention and a preferred device for carrying out the method are explained with the aid of the figure described. The left half of the schematic figure shows the position of the full quartz glass cylinder during the The heating phase is shown and the position of this cylinder towards the end of the outflow process is shown in the right half.
Die Bezugsziffer 1 ist einem wassergekühlten Kessel zugeordnet, der aus dem Kesselunterteil 2 und dem Kesseloberteil 3 besteht, die vakuumdicht miteinander verbunden sind. Das Kesseloberteil 3 weist einen Flanschstutzen 4 auf, der mittels eines Deckels 5 vakuumdicht verschließbar ist. Am Kesselunterteil 2 ist ein Stutzen 6 angeordnet, der mit einer Vakuumpumpe oder mit einem Inertgas- Vorratsbehälter, wie Stickstoff-Flasche, verbindbar ist. Innerhalb des Kessels ist der ChargiertischThe reference number 1 is assigned to a water-cooled boiler, which consists of the boiler lower part 2 and the boiler upper part 3, which are connected to one another in a vacuum-tight manner. The upper part of the boiler 3 has a flange connector 4, which by means of a cover 5 can be closed in a vacuum-tight manner. On the lower part of the boiler 2, a nozzle 6 is arranged, which with a vacuum pump or can be connected to an inert gas storage container, such as a nitrogen bottle. The charging table is inside the boiler
7 angeordnet, der vorzugsweise gekühlt ist. Auf der Tischplatte7 arranged, which is preferably cooled. On the tabletop
8 des Chargiertisches 7 ist die tragende Graphitplatte 9 angeordnet, die mit einer Schicht 10 aus Schaumkohlenstüff oder Kohlenfilz bedeckt ist. Auf dieser Schicht 10 ist tier Graphittiegel aufgebaut, der aus einer Bodenplatte 12 und den Seitenwandplatten 13 gebildet wird. Die Bodenplatte ist mit der Zirkonoxidschicht 26 bedeckt, die aus einer Granulatschicht und einer das Granulat bedeckenden Filzschicht besteht. Die Seitenwandplatten 13 sind mit Faserplatten 27 aus Zirkonoxid abgedeckt. Auf der Oberkante des Graphittiegels ist eine Graphitheizplatte 14 angeordnet, die eine Durchtrittsöffnung 15 aufweist. Von der Durchtrittsöffnung 15 erstreckt sich eine Graphitmanschette 16 nach oben. Die Tiegelseitenwände, die Graphitheizplatte sowie die Graphitmanachotte sind nach außen mittels Iuolationskörpor 17 aus 5chaurnkühlc:n:3to f f oder Kohlenfilz abgedeckt. Die Graphi thcizplutto 14 ist über die:8 of the charging table 7, the supporting graphite plate 9 is arranged, which is covered with a layer 10 of foamed carbon fabric or carbon felt. A graphite crucible, which is formed from a base plate 12 and the side wall plates 13, is built up on this layer 10. The base plate is covered with the zirconium oxide layer 26, which consists of a granulate layer and a felt layer covering the granulate. The side wall panels 13 are covered with fiber panels 27 made of zirconium oxide. A graphite heating plate 14, which has a passage opening 15, is arranged on the upper edge of the graphite crucible. A graphite sleeve 16 extends upward from the passage opening 15. The side walls of the crucible, the graphite heating plate and the graphite manachotte are covered on the outside by means of Iuolationskörpor 17 made of 5chaurnkühlc: n: 3to ff or carbon felt. The graphi thcizplutto 14 is about the:
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- ίο -- ίο -
Stromzufuhrleistungen 18a, 18b, die durch den Stutzen 6 geführt sind, mit einer nicht dargestellten Wechselstromquelle verbunden.Power supply services 18a, 18b, which are passed through the connecting piece 6 are connected to an alternating current source, not shown.
Die Herstellung von Quarzplatten mittels der beschriebenen Vorrichtung erfolgt nun wie nachfolgend erläutert:The production of quartz plates by means of the device described now takes place as explained below:
Nach Verschluß der Flanschöffnung 19 im Kesseloberteil 3 wird der Kessel 1 über den Stutzen 6 evakuiert, vorzugsweise auf einen Druck von größenordnungsmäßig 1 mbar, und die Graphitheizplatte 14 mit Strom versorgt, so daß der Kessel auf eine Temperatur im Bereich von 1500 bis 1700° C aufgeheizt wird. Nach Erreichen des Druckes von etvj/a 1 mbar wird die Vakuumpumpe abgestellt und der Kessel mit Stickstoff von Normalatmosphärendruck geflutet. Nach Entfernen des Deckels 5 vom Flanschstutzen 4 wird der Quarzglasvollzylinder 20 so weit in den Kessel abgelassen, wie im linken Teil der Figur dargestellt. In dieser Position v/ird das freie Ende des Quarzglasvollzylinders 20 atf eine Fließtemperatur im Bereich von 1700 bis 1900° C erhitzt und nach Erreichen dieser Temperatur wird der Quarzglasvollzylinder 20 bis zur Berührung mit dem Boden des Graphittiegels abgesenkt, so daß das Quarzglas ausfließt. Unter Fortsetzung der Erhitzung des Quarzglasvollzylinders 20 wird dieser kontinuierlich so lange nachgeführt, bis die Höhe des im Graphittiegel ausgeflossenen Quarzglases 21 die gewünschte Plattenstärke erreicht hat. Die Graphitmanschette 16 dient zur Vorheizunq des Quarzglasvollzylinders, so daß dessen Temperatur von oben nach unten zunimmt. Die Nachführung des Quarzglasvollzylinders erfolgt mit einer solchen Geschwindigkeit und unter Aufrechterhaltung einer solchen Fließtemperatur, daß etwa 40 bis 60 kg Quarzglas pro Stunde ausflie&en. Der Quarzglasvollzylinder 20 ist mit einem Pfeifenteil 22 verschmolzen, das seinerseits an einer Aufhängevorrichtung 23, die vorzugsweise gekühlt ist, befestigt ist. Die Aufhänge-After the flange opening 19 has been closed in the upper part of the boiler 3 the boiler 1 is evacuated via the nozzle 6, preferably to a pressure of the order of 1 mbar, and the graphite heating plate 14 is supplied with electricity so that the boiler is heated to a temperature in the range from 1500 to 1700 ° C. After the pressure of about 1 mbar has been reached, the vacuum pump is activated turned off and the boiler flooded with nitrogen at normal atmospheric pressure. After removing the cover 5 from the flange socket 4 the quartz glass full cylinder 20 is so far into the boiler drained as shown in the left part of the figure. The free end of the full quartz glass cylinder is in this position 20 atf a flow temperature in the range from 1700 to 1900 ° C is heated and after reaching this temperature the quartz glass full cylinder 20 lowered to touch the bottom of the graphite crucible, so that the quartz glass flows out. Under Continuation of the heating of the full quartz glass cylinder 20, this is continuously tracked until the height of the quartz glass 21 which has flowed out in the graphite crucible, the desired Plate thickness has reached. The graphite sleeve 16 serves to preheat the full quartz glass cylinder so that its Temperature increases from top to bottom. The tracking of the full quartz glass cylinder takes place at such a speed and while maintaining a flow temperature such that about 40 to 60 kg of quartz glass flow out per hour. Of the Quartz glass full cylinder 20 is fused with a pipe part 22, which in turn is attached to a suspension device 23, which is preferably cooled. The hanging
$ vorrichtung 23 ist mit einem Stahlseil 24 verbunden, dasThe device 23 is connected to a steel cable 24 which
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über eine Umlenkrolle 25 auf eine nicht dargestellte Winde aufgerollt ist. Sobald die Höhe des im Graphittiegel ausgeflossenen Quarzglases die gewünschte Plattenstärke eneicht hat, was dann der Fall ist, wenn der Quarzglasvollzylincer bis in die Position, wie sie auf der rechten Seite der Figur dargestellt ist, abgesenkt ist, wird die weitere Nachführung des Quarzglasvollzylinder unterbrochen und das ausgeflossene Quarzglas noch während mindestens 0,5 Stunden auf Fließtemperatur gehalten. Danach läßt man das ausgeflossene Quarzglas abkühlen, der Restteil des Quarzglasvollzylinders wird vom ausgeflossenen Quarzglas 21 abgetrennt und danach wird das ausgeflossene Quarzglas als Platte dem Tiegel entnommen.Is rolled up on a pulley 25 on a winch, not shown. As soon as the amount of the flowed out in the graphite crucible Quartz glass has eeicht the desired plate thickness, which is the case when the quartz glass Vollzylincer until it is lowered into the position as shown on the right-hand side of the figure, further tracking is carried out of the quartz glass full cylinder interrupted and the flown out Quartz glass kept at flow temperature for at least 0.5 hours. Then let the fused quartz glass cool down, the remaining part of the full quartz glass cylinder is separated from the quartz glass 21 which has flowed out and then the flowed out Quartz glass as a plate removed from the crucible.
Die Nachführung des Quarzglasvollzylinders 20 in den Graphittiegel erfolgt über die nicht dargestellte Winde, die so geregelt ist, daß eine konstante Gewichtsverminderung an einer Zugmeßdose 11 feststellbar ist.The tracking of the full quartz glass cylinder 20 in the graphite crucible takes place via the winch, not shown, which is regulated in such a way that a constant weight reduction occurs a tensile load cell 11 can be determined.
Es hat sich bewährt, den Abkühlvorgang des ausgeflossenen Quarzglases nach Erreichen einer Temperatur von etwa 1130° C zu unterbrechen, um unter Verwendung der Graphitheizplatte 14 das ausgeflossene Quarzglas noch einem Temperprozeß zu unterwerfen, ehe es danach dann vollständig abkühlt.It has been tried and tested to cool down the drained Interrupt quartz glass after reaching a temperature of about 1130 ° C in order to use the graphite heating plate 14 to subject the fused quartz glass to a tempering process before it then cools down completely.
Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es gelungen, Quarzglasplatten von 1000 mm χ 1000 mm mit einer Dicke von 80 mm herzustellen unter Verwendung eines Quarzglasvollzylinders mit einem Durchmesser von 200 mm und einer Höhe von 3000 mm.By means of the method according to the invention it has been possible to Manufacture quartz glass plates of 1000 mm χ 1000 mm with a thickness of 80 mm using a full quartz glass cylinder with a diameter of 200 mm and a height of 3000 mm.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht beschränkt auf die Verwendung von Quarzglasvollzylindern, die aus natürlichen Quarzkristallen hergestellt sind, sondern eignet sich in gleicher Weise für die Verwendung von Vollzylindern au;, " synthetisch hergestelltemOf course, the invention is not limited to the use of full quartz glass cylinders made from natural Quartz crystals are made, but is useful in same way for the use of full cylinders au ;, "synthetically produced
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Claims (13)
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