DE3213571C1 - Solid X-ray tube anode and process for producing it - Google Patents

Solid X-ray tube anode and process for producing it

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DE3213571C1
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Willibald Dipl-Phys Knott
Alfred Dipl-Chem Dr Re Mueller
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    • H01J35/00X-ray tubes
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    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/08Anodes; Anti cathodes
    • H01J35/12Cooling non-rotary anodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/08Targets (anodes) and X-ray converters
    • H01J2235/083Bonding or fixing with the support or substrate
    • H01J2235/084Target-substrate interlayers or structures, e.g. to control or prevent diffusion or improve adhesion

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  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

In a solid X-ray tube anode, the electron impact surface is integrally cast in copper to achieve good heat dissipation. Because of the different coefficients of thermal expansion and the severe variations in temperature occurring during tube operation, the bond between the target (5) which is generally composed of tungsten or tungsten alloys and the copper part (6) is limited. To improve the bond, the invention provides for coating at least those parts of the target (5) which come into contact with the copper part (6) with a coating (7) of tungsten carbides (W2C and/or WC). Solid-anode X-ray tubes equipped in accordance with the invention are suitable, in particular, for use in medical radiology. <IMAGE>

Description

Argon, dem 10% kohlenstoffhaltiges Gas, wie etwa Methan (CH4), zugesetzt wurden, bei einem Druck von 0,2 bar etwa 75 min lang einer Temperatur von 1200"C ausgesetzt werden.Argon, the 10% carbon containing gas, such as methane (CH4) was added at a pressure of 0.2 bar for about 75 minutes at a temperature of 1200 "C.

Eine Röntgenröhren-Festanode, die mit einem derartigen Target ausgerüstet ist, hat im Dauerversuch gegenüber einer Röhre mit einer Anode, deren Target unvorbehandelt ist, eine Verbesserung der Haltbarkeit um das Zweifache gezeigt. An X-ray tube fixed anode equipped with such a target is, has in the endurance test compared to a tube with an anode, the target of which has not been pretreated is shown to improve durability two-fold.

In der Figur ist der Querschnitt durch eine an sich bekannte Festanoden-Röntgenröhre gezeichnet, die eine Anode 1 und eine Kathode 2 umfaßt. Die Anode besitzt einen Kühlkörper 3 aus Kupfer, der über ein Glasteil 4 mit der Kathode 2 vakuumdicht verbunden ist. The figure shows the cross section through a known fixed anode x-ray tube drawn, which comprises an anode 1 and a cathode 2. The anode has one Cooling body 3 made of copper, which is connected to the cathode 2 in a vacuum-tight manner via a glass part 4 is.

In die Anode 1 ist ein aus Wolfram (oder Wolframlegie- rung) bestehendes Target 5 eingesetzt, indem es in ein Teil 6 aus Kupfer eingegossen ist Dabei ist das Target 5 eine 2 mm dicke Platte aus Wolfram, die bei rundem Querschnitt einen Durchmesser von 15 mm aufweist Es wurde vor dem Eingießen in das Teil 6 nach obengenanntem Rezept mit einer ca. I um starken Schicht 7 aus Wolframcarbid versehen.In the anode 1 is made of tungsten (or tungsten alloy tion) existing Target 5 inserted by being cast in a part 6 made of copper the target 5 is a 2 mm thick plate made of tungsten, which has a round cross-section Has a diameter of 15 mm It was before pouring into the part 6 according to the above Provide the recipe with an approx. 1 µm thick layer 7 of tungsten carbide.

Zur Erzeugung von Röntgenstrahlen wird in bekannter Weise an die Leitungen 8 und 9 eine Heizspannung für die eigentliche Glühkathode 10 angelegt. von der dann ein Elektronenstrahlenbündel 11 ausgeht, welches beim Auftreffen auf das Target 5 Röntgenstrahlen auslöst, die durch das Glasteil 4 der Röhre austreten können. To generate X-rays, in a known manner to the Lines 8 and 9 apply a heating voltage for the actual hot cathode 10. from which an electron beam 11 then emanates, which upon impingement the target 5 triggers X-rays which exit through the glass part 4 of the tube can.

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Claims (4)

Patentansprüche: 1. Röntgenröhren-Festanode a) mit einem Kupferkörper (3,5), b) in den ein Elektronenbremstarget (5) - aus Wolfram oder einer Wolframlegierung eingegossen ist c) bei dem das Elektronenbremstarget (5) wenigstens an seinen eingegossenen Flächen mit einer Schicht (7) aus einem anderen Material beschichtet ist dadurch gekennzeichnet, daß cl) die Schicht (7) aus Wolframcarbid (WC oder W2C) besteht c2 und die Schicht (7) eine Dicke von 0,5 bis 5 llm aufweist. Claims: 1. X-ray tube fixed anode a) with a copper body (3,5), b) in which an electron braking target (5) - made of tungsten or a tungsten alloy is cast in c) in which the electron braking target (5) at least on its cast Areas with a layer (7) of a different material is coated thereby characterized in that cl) the layer (7) consists of tungsten carbide (WC or W2C) c2 and the layer (7) has a thickness of 0.5 to 5 μm. 2. Röntgenröhren-Festanode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß c.3) die Schicht (7) eine Dicke von 1 um aufweist. 2. X-ray tube fixed anode according to claim 1, characterized in that that c.3) the layer (7) has a thickness of 1 µm. 3. Verfahren zur Beschichtung von Elektronenbremstargets nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß c.4) als Elektronenbremstarget (5) zu verwendende Platten bei erhöhter Temperatur mit Kohlenstoff oder Kohlenstoff enthaltenden organischen Verbindungen zur Reaktion gebracht werden. 3. A method for coating electron braking targets according to claim 1, characterized in that c.4) to be used as an electron braking target (5) Plates at elevated temperature with carbon or carbon-containing organic Compounds are made to react. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß c5) das Elektronenbremstarget (5) bei einem Druck von ca. 0,2 bar in einem Inertgas, wie Argon, c6) dem wenigstens ca. 10 Volumen-% eines Kohlenstoff enthaltenden Gases, wie Methan, zugesetzt sind, c.7) ca 75 min lang auf einer Temperatur von etwa 1200"C gehalten wird. 4. The method according to claim 3, characterized in that c5) the Electron brake target (5) at a pressure of approx. 0.2 bar in an inert gas such as Argon, c6) the at least approx. 10% by volume of a carbon-containing gas, such as methane, are added, c.7) for about 75 minutes at a temperature of about 1200 "C is held. Die Erfindung betrifft Röntgenröhren-Festanoden nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Derartige Anoden sind etwa beschrieben in der US-PS 41 85365. The invention relates to x-ray tube fixed anodes according to the preamble of claim 1. Such anodes are described, for example, in US Pat. No. 4,185,365. Bei Festanoden von Röntgenröhren besteht die Aufprallfläche der Elektronen, an welcher die Röntgenstrahlen erzeugt werden, das sogenannte Ahodentarget, aus Schwermetall, häufig aus Wolfram oder Wolframlegierungen. Außerdem ist das Target zur guten Wärmeableitung in Kupfer eingegossen. Da Wolfram und Kupfer keinerlei Legierung miteinander bilden, die gegenseitige Benetzung schlecht ist und die Wärmeausdehnungskoeffizienten sehr unterschiedlich sind, tritt im Röntgenbetrieb durch die Temperaturwechselbeanspruchung des Anodentargets eine Ablösung der Wolframplatte vom umgebenden Kupfer ein. Der dadurch gestörte Wärmeübergang vom Target zum Kupfer bewirkt ein rasches Aufheizen des Targets, das zum Aufschmelzen und damit zum Ausfall der Röntgenröhre führen kann. In the case of fixed anodes of X-ray tubes, the impact surface of the electrons is at which the X-rays are generated, the so-called Ahodentarget Heavy metal, often made of tungsten or tungsten alloys. In addition, the target is Cast in copper for good heat dissipation. Since tungsten and copper do not have any Alloy with each other, the mutual wetting is poor and the coefficient of thermal expansion are very different, occurs in X-ray operation due to the temperature change stress of the anode target a separation of the tungsten plate from the surrounding copper. Of the The resulting disturbed heat transfer from the target to the copper causes rapid heating of the target that can lead to melting and thus to failure of the X-ray tube. Man hat daher mehrere Wege versucht, die Verbindung zwischen dem Target und dem Kupfer etwa durch Ausbildung des Targets mit seitlich hinterschneidenden Flächen zu verbessern. Nach der DE-PS 930041 soll durch Umbiegen der seitlichen Ränder und Ausfüllen des so entstehenden Hohlraums mit Schwermetallwatte eine bessere Verbindung erreicht werden. Several ways have therefore been tried to establish the connection between the Target and the copper, for example, by forming the target with laterally undercutting Improve areas. According to DE-PS 930 041 should by bending the side Edges and filling of the resulting cavity with heavy metal wadding is better Connection can be achieved. Die Haltbarkeit von Festanoden für Röntgenröhren ist aber immer noch durch die im Laufe der Benutzung auftretende Ablösung des Targets begrenzt.The shelf life of solid anodes for X-ray tubes is still there limited by the detachment of the target occurring in the course of use. Auch durch Beschichtung des Targets wurde eine Verbesserung der Verbindung versucht. So wurde durch die US-PS 41 85365 eine Röntgenröhren-Festanode bekannt, die einen Kupferkörper aufweist, in den ein Elektronenbremstarget eingegossen ist, bei dem das Target vorzugsweise aus Wolfram besteht und an seiner eingegossenen Fläche mit einer dünnen Gold-Kupfer-oder Nickel-Legierungsfolie beschichtet ist. In der US-PS 19 78 516 ist eine Röntgenröhren-Festanode beschrieben, bei welcher an der Verbindungsstelle des Targets aus Wolfram mit dem Körper aus Kupfer eine Schicht aus Wolfram-Kupfer angebracht ist. Diese Beschichtungen haben aber nicht die erwünschte feste Bindung des Elektronenbremstargets ergeben. Coating the target also improved the connection tries. For example, an X-ray tube fixed anode was known from US-PS 41 85365, which has a copper body in which an electron brake target is cast, in which the target is preferably made of tungsten and cast on its Surface is coated with a thin gold-copper or nickel alloy foil. In US-PS 19 78 516 an X-ray tube fixed anode is described in which at the connection point between the tungsten target and the copper body Layer of tungsten-copper is attached. But these coatings don't have result in the desired firm bond of the electron braking target. Auch die in »BBC-Nachrichten« 46 (1964) Heft 9, Seiten 476 bis 478 beschriebenen Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen aus Wolframkarbid auf Wolfram und deren Eigenschaften sowie ihre Benutzung als Oberflächenschicht zur Erhöhung der Wärmeabfuhr aus vorzugsweise rotierenden Röntgenröhren-Anoden nach CH-PS 353091 haben nicht zu ihrer Einführung in der Stabilisierung der Befestigung von Elektronenbremstargets geführt. Also in "BBC-Nachrichten" 46 (1964) issue 9, pages 476 to 478 described method for the production of coatings from tungsten carbide Tungsten and its properties as well as its use as a surface layer for Increase the heat dissipation from preferably rotating X-ray tube anodes CH-PS 353091 did not have to introduce it in the stabilization of the fastening guided by electron braking targets. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, bei einer Anode nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 die Haltbarkeit der Verbindung des Elektronenbremstargets mit dem Kühlkörper zu verbessern. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Maßnahmen gelöst Bei Versuchen, die zur Erfindung führten, hat sich gezeigt, daß die Verbindung zwischen einem aus Wolfram oder Wolframlegierung bestehenden Target mit einem aus Kupfer bestehenden Kühlkörper wesentlich länger hält wenn die bisher benutzte blanke Fläche vor dem Eingießen mit einer Schicht aus Wolframcarbiden (W2C und/oder WC) versehen wird. The invention is therefore based on the object of an anode the preamble of claim 1 the durability of the connection of the electron braking target to improve with the heat sink. This object is achieved according to the invention by the im characterizing part of claim 1 specified measures resolved When trying which led to the invention, it has been shown that the connection between one from Tungsten or tungsten alloy target with one made of copper The heat sink lasts much longer if the previously used bare surface is in front of the Pouring is provided with a layer of tungsten carbides (W2C and / or WC). Als ausreichend hat sich bereits eine Schicht erwiesen, die 0,5 um dick ist. Die Schicht kann aber auch bis zu 5 um dick sein. Ein Optimum kann bei einer Dicke von 1 um liegen. Zu große Schichtdicken neigen zum Abplatzen und behindern die Wärmeleitung.A layer of 0.5 μm has already proven to be sufficient is thick. However, the layer can also be up to 5 μm thick. An optimum can be achieved with a thickness of 1 µm. Layer thicknesses that are too thick tend to flake off and become a hindrance the heat conduction. Die erfindungsgemäß anzuwendende Beschichtung eines Targets mit Wolframcarbid ist grundsätzlich erzielbar, indem Platten aus Wolfram oder Wolframlegierung mit organischen Substanzen (aromatischen oder aliphatischen), etwa in Gasphase oder mit festem Kohlenstoff (Graphit), in Kontakt und bei erhöhter Temperatur zur Reaktion gebracht werden. The coating of a target with tungsten carbide to be used according to the invention is basically achievable by using plates made of tungsten or tungsten alloy organic substances (aromatic or aliphatic), for example in gas phase or with solid carbon (graphite), in contact and at elevated temperature for reaction to be brought. In einer speziellen Ausbildung, die wegen ihrer einfachen Durchführbarkeit, d. h. der Behandlung der zu beschichtenden Flächen des Targets mit gasförmigen Medien, günstig ist, kann eine etwa 2 mm dicke Platte aus Wolfram, die den Abmessungen des Targets angepaßt ist (z. B. 6 x 12 mm), vor dem Eingießen in Kupfer, in einem Inertgas, etwa einem Edelgas, wie z. B. In a special training, which because of its ease of implementation, d. H. the treatment of the target surfaces to be coated with gaseous media, is favorable, an approximately 2 mm thick plate made of tungsten, which has the dimensions of the Target is adapted (e.g. 6 x 12 mm), before pouring into copper, in an inert gas, about a noble gas, such as. B.
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