DE3111223A1 - Vacuum-drying process - Google Patents
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Abstract
Description
ARTHUR PFEIFFER VAKUUMTECHNIK WETZLAR GMBH 6334 ASSLAR Vakuum-Trockenverfahren ARTHUR PFEIFFER VAKUUMTECHNIK WETZLAR GMBH 6334 ASSLAR vacuum drying process
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trocknen von Teilen und Güternfdie aus Materialien bestehen, die empfindlich gegen überhöhte Temperaturen und gegen Verunreinigungen sind, bei vermindertem Druck unter Zuführung von Inertgas.The invention relates to a method for drying parts and goods f which consist of materials which are sensitive to excessive temperatures and to contamination, at reduced pressure with the supply of inert gas.
Teile und Güter, die während der Herstellung und Bearbeitung mit Feuchtigkeit beaufschlagt werden, müssen oft zusätzlich einem Trocknungsprozeß unterworfen werden. Für die Trocknung dieser Teile gibt es eine Reihe von Verfahren, die zum Stand der Technik gehören. Diese Verfahren sind jedoch besonders kritisch, wenn es sich um Teile handelt, die aus Materialien bestehen, die empfindlich gegen überhöhte Temperatur und Verunreinigungen sind.Parts and goods that are exposed to moisture during manufacture and processing must often also be subjected to a drying process. There are a number of ways to dry these parts Processes that belong to the state of the art. However, these procedures are especially critical when it comes to Parts are made of materials that are sensitive to excessive temperature and contamination are.
Zum Beispiel nutzt man die Zentrifugalkraft aus, indem man die Teile in Zentrifugen schleudert. Der Nachteil dieser Verfahren besteht in der hohen mechanischen Belastung der Teile, der unsauberen Arbeitsweise von Zentrifugen und in der Unhandlichkeit beim automatischen Be- und Entladen.For example, one takes advantage of centrifugal force by hurling the parts in centrifuges. The disadvantage of this Process consists in the high mechanical stress on the parts, the unclean operation of centrifuges and in the unwieldiness of automatic loading and unloading.
Wesentlich schonender für die zu trocknenden Teile sind Trocknungsverfahren unter vermindertem Druck. Hierbei wird im einfachsten Falle die zur Verdampfung der Flüssigkeit benötigte Verdampfungswärme den zu trocknenden Teilen entzogen. Dies ist jedoch ohne zusätzliche Wärmezufuhr nur begrenzt möglich, besonders dann, wenn es sich um Stoffe mit geringer Wärmekapazität handelt. Um diesen Nachteil zu beheben und um den Dampfdruck der abzuführenden Flüssigkeits-Substanz zu erhöhen und somit den gesamten Trocknungsprozeß zu beschleunigen, wird das Trockengut aufgeheizt, indem Wärme von außen zugeführt wird.Drying processes under reduced pressure are much more gentle on the parts to be dried. Here is in the simplest case, the heat of evaporation required to evaporate the liquid from the parts to be dried withdrawn. However, this is only possible to a limited extent without additional heat supply, especially when it comes to substances acts with low heat capacity. To remedy this disadvantage and to reduce the vapor pressure of the liquid substance to be discharged to increase and thus to accelerate the entire drying process, the dry goods are heated by adding heat is supplied from the outside.
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Dies kann jedoch nicht bedenkenlos geschehen, wenn es sich um temperaturempfindliche Stoffe oder Teile handelt. Zudem kommt es nicht darauf an, den zu trocknenden Teilen Wärme zuzuführen, sondern vielmehr, der zu verdampfenden Flüssigkeit, die sich in einer großen Zahl von Anwendungsfällen vorwiegend oder ausschließlich auf der Oberfläche der Teile befindet.However, this cannot be done without hesitation when it comes to temperature-sensitive materials or parts. In addition it is not important to add heat to the parts to be dried, but rather to the liquid to be evaporated, which in a large number of applications are predominantly or exclusively on the surface of the Parts is located.
Mangels Wärmeleitung im Vakuum erwärmt man die Teile zum Beispiel durch Strahlung. Hier tritt jedoch der Nachteil auf, daß infolge des Strahlungsschattens,'in dem sich die der Strahlung abgewandten Seiten der Teile befinden, eine ungleichmäßige und unvollständige Erwärmung und somit eine unvollständige Trocknung erfolgt. Zudem besteht hier die Gefahr einer überhitzung des Trockengutes, besonders wenn dieses temperaturempfindlich ist und eine geringe Wärmeleitfähigkeit aufweist.In the absence of heat conduction in a vacuum, the parts are heated, for example by radiation. However, this is where the disadvantage occurs on that as a result of the radiation shadow, 'in which the sides of the parts facing away from the radiation are located, a uneven and incomplete heating and thus incomplete drying takes place. There is also the Danger of overheating of the dry goods, especially if they are temperature sensitive and have a low thermal conductivity having.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Einrichtung und Verfahren anzugeben, womit das Trocknen von Teilen und Gütern, die gegen überhöhte Temperatur und gegen Verunreinigungen empfindlich sind, in angemessen kurzer Zeit unter schonenden Bedingungen und unter Vermeidung eines unangemessen hohen apparativen Aufwandes möglich wird.The object of the invention is to provide a device and method with which the drying of parts and goods, which are sensitive to excessive temperature and contamination, in a reasonably short time under gentle Conditions and while avoiding an inappropriately high expenditure on equipment is possible.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß in eine Vakuum-Trockenkammer von außen ein erhitzter Gasstrom so eingeleitet wird, daß die zu trocknenden Teile von dem Gasstrom umspült worden. Somit wird der Dampfdruck der abzuführenden Flüssigkeit erhöht und die Verdampfungswärme von außen zugeführt, ohne daß die zu trocknenden Teile einer überhöhten Temperatur ausgesetzt sind. Dieses Umspülen der Teile erfolgt grundsätzlich kontinuierlich Hierbei ist es wesentlich, daß die Menge des zugeführten Gases richtig dosiert ist. Ist die Menge zu gering, so wird keine merkliche Wärmemenge übertragen. Bei zu großer Menge des zugeführtenThe object is achieved in that a heated gas stream is introduced from the outside into a vacuum drying chamber is that the parts to be dried have been washed around by the gas stream. Thus, the vapor pressure is the one to be discharged Increased liquid and the heat of evaporation supplied from the outside, without the parts to be dried being excessive Temperature. This rinsing around the parts is always carried out continuously. that the amount of gas supplied is correctly dosed. If the amount is too small, it will not be noticeable Transferring the amount of heat. If there is too much of the fed
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Inertgases wirkt dieses als Diffusionssperre und behindert somit gleichzeitig den Trocknungsvorgang. Die zugeführte Gasmenge ist dann optimal, wenn ihr Partialdruck innerhalb der Trocknungskammer in der Größenordnung des Dampfdruckes des abzuführenden flüssigen Mediums bei der Endtemperatur des Trockengutes gehalten wird.Inert gas, this acts as a diffusion barrier and hinders it thus the drying process at the same time. The amount of gas supplied is optimal when its partial pressure is within of the drying chamber in the order of magnitude of the vapor pressure of the liquid medium to be discharged at the final temperature of the dry material is held.
Ein weiteres Kriterium für die Größe des zugeführten Gasstromes bildet die Dampfverträglichkeit der benutzten Vakuumpumpe. Bei den seither bekannten Verfahren wird mit Rücksicht auf die begrenzte Dampfverträglichkeit der Vakuumpumpe dieser ein Dampfkondensator vorgeschaltet. Um einen solchen apparativen Aufwand zu umgehen, wird bei dem hier vorgestellten Verfahren erfindungsgemäß die Größe des zugeführten Gasstromes an die DampfVerträglichkeit der benutzten Vakuumpumpe angepaßt. Dies geschieht durch eine Optimierung der Strömungsstärke in Bezug auf das Zeitmittel von Dampfanfall und auf die mittlere Selbstreinigungszeit der Vakuumpumpe, relativ zum gesamten Trocknungszyklus. Damit kann auf den Einsatz eines Dampfkondensators vor der Vakuumpumpe verzichtet werden, wodurch sich eine wesentliche Vereinfachung der Anlage ergibt.Another criterion for the size of the supplied gas flow is the vapor tolerance of the used Vacuum pump. With the methods known since then, the A vacuum pump is connected upstream of this with a steam condenser. In order to avoid such an outlay on equipment, the Here presented method according to the invention the size of the supplied gas flow to the vapor tolerance of the used vacuum pump adapted. This is done by optimizing the flow strength in relation to the time average the amount of steam and the mean self-cleaning time of the vacuum pump, relative to the entire drying cycle. This means that a steam condenser can be used can be dispensed with in front of the vacuum pump, which results in a significant simplification of the system.
Ein weiterer störender Faktor beim Trocknen unter vermindertem Druck sind Verunreinigungen, die entweder durch Rückdiffusion aus der Vakuumleitung in die Trockenkammer gelangen können oder durch Desorption von den Wänden der Trockenkammer selbst oder deren Bauteile stammen. Dieser Nachteil wird erfindungsgemäß durch die Anwendung der in geeigneter Richtung geführten Inertgasströmung beseitigt. Mit dieser .Gasströmung werden Verunreinigungen aus der Trockenkammer in Richtung Vakuumpumpe gespült und können somit beschleunigt abgepumpt werden. Ebenso wird eine Rückdiffusion eines eventuell vorhandenen Pumpmediums verhindert.Another disturbing factor when drying under reduced pressure are impurities that either come through Back diffusion from the vacuum line can get into the drying chamber or by desorption from the walls of the The drying chamber itself or its components come from. According to the invention, this disadvantage is eliminated by the use of the in Eliminated suitable direction guided inert gas flow. With this .Gasströmung impurities are removed from the The drying chamber is flushed in the direction of the vacuum pump and can thus be pumped out more quickly. Likewise, a Prevents back diffusion of any pump medium that may be present.
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Durch eine zusätzliche Einrichtung kann der optimale Gasstrom unter Ausnutzung der maximalen vertretbaren Strömungsgeschwindigkeit von außen gezielt auf die zu trocknenden Teile gerichtet werden. Auf diese Weise können Flüssigkeitströpfchen, die sich an den Teilen befinden, weggeblasen werden. Damit wird eine zusätzliche Möglichkeit der Feuchtigkeitsabfuhr gegeben. Ebenfalls können mit diesem Verfahren Verunreinigungen, die an den Teilen haften, zum Teil beseitigt werden.With an additional device, the optimal gas flow can be achieved using the maximum acceptable gas flow Flow velocity can be directed from the outside specifically to the parts to be dried. That way you can Liquid droplets on the parts are blown away. This becomes an additional option given the moisture removal. This process can also be used to prevent contamination of the parts adhere, to be eliminated in part.
Anhand der Abbildung sollen die Einrichtung und das Verfahren näher erläutert werden.The device and the procedure are to be explained in more detail using the illustration.
In der Trockenkammer 1, die durch die Vakuumpumpe 3 evakuiert wird, befinden sich die zu trocknenden Teile Durch ein Vakuummeßgerät 4 kann der Druck in der Kammer, überwacht werden. Über die Gasleitung 5 und das Regelventil 6 wird das zuzuführende Gas zu dem Erhitzer 7 geleitet. Das erhitzte Gas gelangt über die Leitungen 8, 9, die Ventile 10, 11 und die Einlaßdüsen 12, 13 in die Trockenkammer. Statt mit dem Erhitzer 7 kann das Gas auch durch Heizeinrichtungen 14 innerhalb der Trockenkammer aufgeheizt werden. Durch das Ventil 6 kann die Dosierung des einzulassenden Gases geregelt werden, und durch die Einstellung der Ventile 10 und 11 wird die Richtung der Gasströmung in der Trockenkammer festgelegt.The parts to be dried are located in the drying chamber 1, which is evacuated by the vacuum pump 3 The pressure in the chamber can be monitored by a vacuum measuring device 4. Via the gas line 5 and the control valve 6, the gas to be supplied is sent to the heater 7. The heated gas passes through the lines 8, 9, the valves 10, 11 and the inlet nozzles 12, 13 in the Drying chamber. Instead of using the heater 7, the gas can also be fed through heating devices 14 within the drying chamber be heated. Through the valve 6, the dosage of the gas to be admitted can be regulated, and through the Adjustment of the valves 10 and 11 determines the direction of the gas flow in the drying chamber.
Claims (9)
Priority Applications (1)
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DE3111223A1 true DE3111223A1 (en) | 1982-10-07 |
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---|---|
DE (1) | DE3111223A1 (en) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3311525A1 (en) * | 1983-03-30 | 1984-10-04 | Arzneimittel Gmbh Apotheker Vetter & Co Ravensburg, 7980 Ravensburg | Process and apparatus for freeze-drying a product in a vessel with a narrow opening |
EP0137067A1 (en) * | 1983-10-08 | 1985-04-17 | MTM Obermaier GmbH & Co. KG | Process and apparatus for drying yarn or fibre packages |
EP0326818A1 (en) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Maschinenfabrik Gustav Eirich | Process to extract liquid from moist material |
EP0423377A1 (en) * | 1989-09-15 | 1991-04-24 | International Business Machines Corporation | Method of and apparatus for drying articles |
DE4212444A1 (en) * | 1991-04-16 | 1992-10-29 | Kraemer Hans Joachim Dipl Chem | Vacuum drying process with pure gas supply - to avoid stationary evapn. equilibrium conditions |
EP0595029A1 (en) * | 1992-09-29 | 1994-05-04 | United States Surgical Corporation | Vacuum drying method for metallic workpieces |
EP0681907A2 (en) * | 1994-05-13 | 1995-11-15 | Dr.Ing.h.c. F. Porsche Aktiengesellschaft | Method for reducing the emission of volatile substances |
EP1029210A1 (en) * | 1997-10-06 | 2000-08-23 | Pharmacopeia, Inc. | Rapid drying oven and methods for providing rapid drying of multiple samples |
WO2000053983A1 (en) * | 1999-03-11 | 2000-09-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Device and method for vacuum-drying |
FR2920046A1 (en) * | 2007-08-13 | 2009-02-20 | Alcatel Lucent Sas | METHOD FOR POST-PROCESSING A TRANSPORT MEDIUM FOR THE CONVEYAGE AND ATMOSPHERIC STORAGE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES, AND POST-PROCESSING STATION FOR IMPLEMENTING SUCH A METHOD |
CN101561218B (en) * | 2008-04-16 | 2010-12-08 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | Vacuum nitrogen oven |
EP2437015A1 (en) * | 2009-05-25 | 2012-04-04 | Zakpytoe Akcionernoe Obschestvo "Twin Trading Company" | Method and device for drying materials |
-
1981
- 1981-03-21 DE DE19813111223 patent/DE3111223A1/en not_active Withdrawn
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3311525A1 (en) * | 1983-03-30 | 1984-10-04 | Arzneimittel Gmbh Apotheker Vetter & Co Ravensburg, 7980 Ravensburg | Process and apparatus for freeze-drying a product in a vessel with a narrow opening |
EP0137067A1 (en) * | 1983-10-08 | 1985-04-17 | MTM Obermaier GmbH & Co. KG | Process and apparatus for drying yarn or fibre packages |
EP0326818A1 (en) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 | Maschinenfabrik Gustav Eirich | Process to extract liquid from moist material |
EP0423377A1 (en) * | 1989-09-15 | 1991-04-24 | International Business Machines Corporation | Method of and apparatus for drying articles |
US5133136A (en) * | 1989-09-15 | 1992-07-28 | International Business Machines Corporation | Method of and apparatus for drying articles |
DE4212444A1 (en) * | 1991-04-16 | 1992-10-29 | Kraemer Hans Joachim Dipl Chem | Vacuum drying process with pure gas supply - to avoid stationary evapn. equilibrium conditions |
EP0595029A1 (en) * | 1992-09-29 | 1994-05-04 | United States Surgical Corporation | Vacuum drying method for metallic workpieces |
EP0681907A3 (en) * | 1994-05-13 | 1997-08-20 | Porsche Ag | Method for reducing the emission of volatile substances. |
EP0681907A2 (en) * | 1994-05-13 | 1995-11-15 | Dr.Ing.h.c. F. Porsche Aktiengesellschaft | Method for reducing the emission of volatile substances |
EP1029210A1 (en) * | 1997-10-06 | 2000-08-23 | Pharmacopeia, Inc. | Rapid drying oven and methods for providing rapid drying of multiple samples |
EP1029210A4 (en) * | 1997-10-06 | 2001-09-12 | Pharmacopeia Inc | Rapid drying oven and methods for providing rapid drying of multiple samples |
WO2000053983A1 (en) * | 1999-03-11 | 2000-09-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Device and method for vacuum-drying |
FR2920046A1 (en) * | 2007-08-13 | 2009-02-20 | Alcatel Lucent Sas | METHOD FOR POST-PROCESSING A TRANSPORT MEDIUM FOR THE CONVEYAGE AND ATMOSPHERIC STORAGE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES, AND POST-PROCESSING STATION FOR IMPLEMENTING SUCH A METHOD |
US8898930B2 (en) | 2007-08-13 | 2014-12-02 | Alcatel Lucent | Method for treating a transport support for the conveyance and atmospheric storage of semiconductor substrates, and treatment station for the implementation of such a method |
CN101561218B (en) * | 2008-04-16 | 2010-12-08 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | Vacuum nitrogen oven |
EP2437015A1 (en) * | 2009-05-25 | 2012-04-04 | Zakpytoe Akcionernoe Obschestvo "Twin Trading Company" | Method and device for drying materials |
CN102460050A (en) * | 2009-05-25 | 2012-05-16 | 双子贸易开放式股份公司 | Method and device for drying materials |
EP2437015A4 (en) * | 2009-05-25 | 2013-08-14 | Twin Trading Co | Method and device for drying materials |
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