DE29724195U1

DE29724195U1 - Positionsmeßeinrichtung

Info

Publication number: DE29724195U1
Application number: DE29724195U
Authority: DE
Original assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Current assignee: Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date: 1997-01-16
Filing date: 1997-01-16
Publication date: 2000-05-11
Anticipated expiration: 2007-01-17

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmeßeinrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Eine gattungsgemäße Positionsmeßeinrichtung ist beispielsweise aus der EP 0 289 033 B1 bekannt. Es handelt sich hierbei um ein Meßsystem, bei dem ein oder mehrere Teilungsspuren mit alternierend angeordneten, elektrisch leitfähigen und nicht-leitfähigen Bereichen induktiv abgetastet werden. Das hierzu eingesetzte Abtastelement bzw. die Abtasteinheit umfaßt zu diesem Zweck ein oder mehrere Erregerspulen, die im Bereich der abgetasteten Teilungsspur ein homogenes elektromagnetisches Feld erzeugen. Abtastseitig sind ferner Sensorwicklungen als Detektorelemente vorgesehen, die ebenfalls im homogenen Feld der Erregerspulen angeordnet sind und zur Erfassung der in den leitfähigen Teilbereichen induzierten elektromagnetischen Felder dienen. Auf diese Art und Weise wird ein verschiebungsabhängig moduliertes, hochfrequentes Signal erzeugt, das wiederum zur Erfassung der Relativbewegung zwischen der Teilungsspur einerseits und

der Abtasteinheit andererseits dient. Hierzu ist eine Signalweiterverarbeitung erforderlich, u.a. eine Demodulation dieses Signales. Bezüglich des Funktionsprinzips einer derart aufgebauten Positionsmeßeinrichtung sei zudem auf die EP 0 182 085 B1 verwiesen.
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Als vorteilhaft erweist sich bei einem solchermaßen aufgebauten Meßsystem, daß es deutlich weniger empfindlich gegenüber bestimmten Umgebungseinflüssen ist als beispielsweise optische Meßsysteme. Eine derartige Positionsmeßeinrichtung eignet sich demzufolge etwa zur Erfassung der Drehbewegung einer Antriebswelle.

Als problematisch erweist sich jedoch, daß sie relativ empfindlich gegenüber externen Störeinflüssen ist, die beispielsweise auf die verwendeten Signalleitungen einwirken. So können bei großen Kabellängen zwischen der Positionsmeßeinrichtung und einer nachgeordneten Versorgungs- und/oder Auswerteeinheit die Positionsmeßwerte verfälscht werden.

Aus der EP 0 490 685 B1 ist desweiteren ein rotatorisches Meßsystem bekannt, das nach dem Resolver-Prinzip arbeitet und hierzu entsprechende Erreger- und Detektorwicklungen aufweist. Eine Einrichtung zur Verarbeitung der detektierten Signale ist dabei am statorseitigen Teil des Meßsystems angeordnet. Die Signalverarbeitung innerhalb dieses Meßsystems erfordert jedoch andere Komponenten als bei der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung, da die Signalerzeugung auf einem anderen Prinzip beruht.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine gattungsgemäße Positionsmeßeinrichtung dahingehend weiterzubilden, daß sie möglichst unempfindlich gegenüber externen Störeinflüssen ist, die insbesondere auf die eingesetzten Verbindungsleitungen zwischen der Positionsmeßeinrichtung und einer nachgeordneten Versorgungs- und/oder Auswerteeinheit einwirken. Darüberhinaus ist auch ein möglichst kompakter Aufbau der gesamten Po-

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sitionsmeßeinrichtung gefordert, um auch bei ggf. beengten Einbauverhältnissen den entsprechenden Meßeinsatz zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Positionsmeßeinrichtung mit den Merkmalen im kennzeichnenden Teil des Anspruches 1.

Vorteilhafte Möglichkeiten zur Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung ergeben sich aus den in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Maßnahmen ist nunmehr gewährleistet, daß sowohl die Oszillatorsignale, welche die Erreger-Elemente beaufschlagen als auch die hochfrequent modulierten, über die Sensorwicklungen erfaßten Signale nicht mehr aufgrund von einwirkenden Störeinflüssen verfälscht werden. Dies wird zum einen dadurch erreicht, daß die Erzeugung der Oszillatorsignale unmittelbar auf Seiten der Positionsmeßeinrichtung erfolgt, d.h. die Oszillatorsignale müsssen nicht über Zuleitungen zur Positionsmeßeinrichtung übertragen werden. Zum anderen wird mindestens ein Demodulations-Element unmittelbar in der Positionsmeßeinrichtung angeordnet, so daß ebenfalls keine Übertragung des von den Sensorwicklungen erfaßten, hochfrequent modulierten Signales über Kabel erforderlich ist. Sowohl das Erregersignal als auch das hochfrequent modulierte Signal der Sensorwicklungen werden demzufolge nicht mehr über Kabelverbindungen der Positionsmeßeinrichtung zugeführt bzw. entnommen sondern unmittelbar in dieser erzeugt bzw. verarbeitet.

Insbesondere vorteilhaft erweist sich ferner, wenn mindestens ein Oszillator-Element sowie mindestens ein Demodulations-Element unmittelbar benachbart in einem Gehäuse der Positionsmeßeinrichtung angeordnet werden. Bezüglich der Anordnung dieser Elemente innerhalb der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung existieren dabei eine Reihe von Möglichkeiten. Beispielsweise können diese in integrierter Form unmittelbar benachbart auf einem Trägerelement der Abtasteinheit angeordnet werden, als diskrete

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Bauelemente im Gehäuse der Positionsmeßeinrichtung angeordnet werden usw..

Selbstverständlich kann die erfindungsgemäße Positionsmeßeinrichtung sowohl als rotatorisches wie auch als lineares Meßsystem ausgelegt werden. Zudem ergeben sich vielfältige Varianten, wie innerhalb der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung nicht nur eine einzige Inkrementalspur auf diese Art und Weise abgetastet werden kann, sondern in einem entsprechend modifizierten Meßsystem mehrere benachbarte Teilungsspuren auf diese Art und Weise abgetastet werden können etc..

Darüber hinaus ergeben sich Möglichkeiten, zusätzliche Bauelemente zur Signalweiterverarbeitung unmittelbar in der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung anzuordnen, wie beispielsweise Interpolations-Elemente etc..

Vorteilhaft erweist sich desweiteren, wenn derartige Bauelemente als Abgleichelemente ausgebildet sind, die zur Eliminierung verschiedener abtastbedingter Fehler ebenfalls unmittelbar in der Positionsmeßeinrichtung angeordnet werden können.

Als weiterer Vorteil ist aufzuführen, daß aufgrund der erfindungsgemäßen Maßnahmen in der der Positionsmeßeinrichtung nachgeordneten Auswerteeinheit die gleichen Auswerteschaltungen genutzt bzw. verwendet werden können, wie sie auch für optische Positionsmeßeinrichtungen eingesetzt werden.

Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der beiliegenden Figuren.

Dabei zeigt

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Figur 1

ein schematisiertes Blockschaltbild einer ersten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung;

Figur 2 einen Teil des Verarbeitungskanals einer weiteren, zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung in einer schematisierten Blockschaltbild-Darstellung.
Anhand des schematisierten Blockschaltbildes in Figur 1 sei nachfolgend eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung 1 beschrieben.

In einem angedeuteten Gehäuse 17 der Positionsmeßeinrichtung 1 ist dabei eine stationäre Abtasteinheit 4 angeordnet, mit der ein relativ dazu beweglicher Teilungsträger 2 zur Erzeugung positionsabhängiger, periodischer Ausgangssignale abgetastet wird. Der Teilungsträger 2 weist in der dargestellten Ausführungsform zwei Teilungsspuren 2.1, 2.2 auf, die aus alternierend angeordneten, elektrisch-leitfähigen Bereichen 18 sowie nicht-leitfähigen Bereichen 19 bestehen. Die aus der Abtastung der beiden Teilungsspuren 2.1, 2.2 resultierenden Signale werden in dieser Ausführungsform in zwei separaten Verarbeitungskanalen weiterverarbeitet und einer Auswerteeinheit 16 zugeführt, die z.B. als Steuerung einer Werkzeugmaschine ausgebildet ist. Eine der beiden Teilungsspuren 2.1 dient dabei zur Erzeugung eines Inkrementalsignales, die andere Teilungsspur 2.2 liefert ein Absolutsignal bezüglich der Position der beiden beweglichen Elemente.

Die erfindungsgemäße Positionsmeßeinrichtung kann alternativ zur dargestellten Ausführungsform auch lediglich mit einem einzigen Verarbeitungskanal ausgestattet sein, d.h. es könnte grundsätzlich lediglich die Abtastung einer einzigen Inkrementalspur vorgesehen sein; analog können natürlich auch mehr als zwei Verarbeitungskanäle vorgesehen werden.

Selbstverständlich ist die dargestellte Form der abgetasteten Teilungsstrukturen inclusive Abtasteinheit lediglich beispielhaft zu verstehen, d.h. es sind sowohl rotatorische Ausführungsformen der erfindungsgemäßen

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Positionsmeßeinrichtung 1 realisierbar wie auch lineare Meßanordnungen; über die gewählte Form der Darstellung soll lediglich angedeutet werden, daß eine Relativbewegung zwischen der Abtasteinheit 4 und dem Teilungsträger 2 mit ein oder mehreren Teilungsspuren 2.1, 2.2 vorgesehen ist. Hinsichtlich rotatorischer Ausführungsformen sei in diesem Zusammenhang etwa auf die deutsche Patentanmeldung Nr. 196 49 504.0 der Anmelderin verwiesen. In dieser Patentanmeldung ist desweiteren auch die konkrete Ausgestaltung eines Ausführungsbeispieles der Abtasteinheit 4 beschrieben. Bei der Ausführungsform der Positionsmeßeinrichtung 1 gemäß Figur 1 umfaßt die Abtasteinheit 4 ein Erreger-Element 7, das beispielsweise in Form einer geeignet angeordneten Leiterbahn ausgebildet ist und von einem Oszillator-Element 9 mit einem Oszillatorsignal gespeist wird. Das Oszillatorelement kann etwa als geeignet dimensionierter RC-Oszillator ausgebildet sein und liefert ein beispielsweise rechteckförmiges, hochfrequente Oszillatorsignal, das dem Erreger-Element 7 dabei über eine Treiberstufe 8 zugeführt wird. Geeignete Frequenzen des Oszillatorsignales liegen im Bereich 300 - 800 kHz.

In der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung 1 ist nunmehr vorgesehen, das Oszillator-Element 9 direkt in der Positionsmeßeinrichtung 1 anzuordnen, anstelle ein Oszillatorsignal beispielsweise über die Auswerteeinheit 16 von außen zuzuführen, wie dies bei gattungsgemäßen Positionsmeßeinrichtungen bislang der Fall war. Auf diese Art und Weise können Störeinflüsse auf das Oszillatorsignal, das über Kabel der Positionsmeßeinrichtung zugeführt werden müßte, vermieden werden. Die erforderlichen Verbindungen zwischen dem Oszillator-Element 9 und den Erreger-Elementen 7 können relativ kurz ausgebildet werden, sind im Gehäuse der Positionsmeßeinrichtung angeordnet und demzufolge deutlich weniger anfällig für eventuelle externe Störeinflüsse.
Vorzugsweise ist das Oszillator-Element 9 sowie die entsprechende Treiberstufe 8 unmittelbar im Gehäuse 17 der Positionsmeßeinrichtung 1 angeordnet. Hierbei existieren verschiedene Möglichkeiten, wie ein derartiges Oszillator-Element 9 im Gehäuse 17 angeordnet werden kann. Beispiels-

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weise ist neben der Anordnung eines als diskretes Bauteil ausgebildeten Oszillator-Elementes 9 auch die Integration des Oszillator-Elementes 9 auf einem Trägerelement 3 der Abtasteinheit 4 möglich, was in Figur 1 schematisch angedeutet ist. Die Abtasteinheit 4 kann in einer derartigen Ausführungsform demzufolge in Form einer Leiterplatte ausgebildet werden, die neben den zur Signalerzeugung unmittelbar erforderlichen Elementen u.a. auch das Oszillator-Element 9 und ggf. weitere Bauelemente 14 enthält.

Desweiteren sind auf Seiten der Abtasteinheit 4 eine Reihe von Sensorwicklungen 5.1, 6.1, 5.2, 6.2 angeordnet, die zur Detektion der in den leitfähigen Teilungsbereichen 18 erzeugten elektromagnetischen Felder dienen. Hierbei ist vorgesehen durch eine entsprechende Relativanordnung der verschiedenen Sensorwicklungen 5.1, 6.1, 5.2, 6.2 pro abgetasteter Teilungsspur 2.1, 2.2 ausgangsseitig jeweils zwei hochfrequent modulierte Signale zu erzeugen, die um 90° phasenversetzt zueinander sind. Die -Einhüllende dieser Signale stellt dabei das Abtastsignal dar, welches zur Positionsbestimmung herangezogen wird. Bezüglich der Ausgestaltungsmöglichkeiten der Sensorwicklungen 5.1, 6.1, 5.2, 6.2 sei ebenfalls auf die bereits erwähnte deutsche Patentanmeldung Nr. 196 49 504.0 verwiesen.

Die bei einer Relativbewegung von Teilungsträger 2 und Abtasteinheit 4 erzeugten, hochfrequent modulierten Signale werden in den beiden Verarbeitungskanälen jeweils über zwischengeschaltete Verstärker-Elemente 10.1, 10.2 den Demodulations-Elementen 11.1, 11.2 zugeführt, über die eine Demodulation dieser Signale erfolgt. An Referenzeingängen 12.1, 12.2 der Demodulations-Elemente 11.1, 11.2 liegt zudem das Oszillatorsignal als Referenzsignal an. Hinsichtlich der resultierenden Signalformen, die über die Sensorwicklungen erzeugt werden und nach der Demodulation vorliegen, sei an dieser Stelle auf die bereits erwähnte EP 0 182 085 B1 verwiesen.

Erfindungsgemäß ist in diesem Zusammenhang vorgesehen, die Demodulations -Elemente 11.1, 11.2 ebenfalls auf Seiten der Positionsmeßeinrichtung 1 bzw. in der Positionsmeßeinrichtung 1 vorzusehen, anstelle diese

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Signale über Kabel zur Auswerteeinheit 16 zu übertragen und diese erst dort zu demodulieren. So ist es möglich, die Demodulations-Elemente 11.1, 11.2 beispielsweise ebenfalls im Gehäuse 1 der Positionsmeßeinrichtung 1 anzuordnen. Daneben existieren hinsichtlich der Anordnungsmöglichkeiten für die Demodulations-Elemente 11.1, 11.2 die gleichen Möglichkeiten wie im Fall des Oszillator-Elementes 9. So können die Demodulations-Elemente 11.1, 11.2 als diskrete Bauelemente im Gehäuse 17 angeordnet werden, auf dem Trägerelement 3 der Abtasteinheit 4 integriert ausgeführt werden usw.. Vorzugsweise sind die Demodulations-Elemente 11.1, 11.2 unmittelbar benachbart in der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung 1 angeordnet, beispielsweise benachbart auf dem Trägerelement 3 der Abtasteinheit 4 oder aber als benachbart angeordnete Bauelemente im Gehäuse 17 usw..

Den Demodulations-Elementen 11.1, 11.2 sind in den beiden Verarbeitungskanälen jeweils weitere Verstärker-Elemente 13.1, 13.2 nachgeordnet, die die demodulierten Signale nochmals verstärken, bevor diese über die Verbindungsleitungen 15.1, 15.2 zur Auswerteeinheit 16 übertragen werden.

Auch die Verstärker-Elemente 13.1, 13.1 sind in der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung 1 angeordnet, beispielsweise ebenfalls in integrierter Form auf dem Trägerelement 3 der Abtasteinheit 4.

In Figur 1 ist desweiteren schematisch angedeutet, daß auf Seiten der Positionsmeßeinrichtung 1 desweiteren Bauelemente 14 zur Signal-Weiterverarbeitung angeordnet werden können, mit denen die demodulierten und verstärkten Signale verarbeitbar sind. Hierbei kann es sich etwa um Interpolations-Elemente handeln, die eine weitere, elektronische Unterteilung der Signalperiode zur Erhöhung der Meßauflösung ermöglichen. Ferner ist es möglich Bauelemente 14 auf Seiten der Positionsmeßeinrichtung anzuordnen, die die üblicherweise sinusförmigen Ausgangssignale bereits in digitalisierte Ausgangssignale umwandeln, die dann an die Auswerteeinheit übertragen werden. Desweiteren können prinzipiell Abgleich-Elemente als Bauelemente 14 eingesetzt werden, die zur Korrektur abtastbedingter Fehler

dienen etc.. Auch diese Bauelemente 14 können z.B. in integrierter Form auf dem Trägerelement 3 der Abtasteinheit 4 angeordnet werden.

Ein Teil einer zweiten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung, in der in einem Verarbeitungskanal derartige Abgleichelemente angeordnet sind, ist in Figur 2 schematisiert dargestellt.
Bei der in Figur 2 dargestellten Ausführungsform liegen im Verarbeitungskanal insgesamt vier Teilsignale +0°, -0°, +90°, -90° eingangsseitig an, die über geeignet ausgebildete Sensorwicklungen bei der Abtastung der Teilungsstruktur erzeugt werden. Es liegen demzufolge zwei Gegentakt-Teilsignalpaare vor, die einen Phasenversatz von 90° zueinander aufweisen. Die beiden Gegentakt-Teilsignale eines Paares haben einen Phasenversatz von 180°. Bezüglich der Ausgestaltung der Abtasteinheit bzw. der Sensorwicklungen sei auf die deutsche Patentanmeldung Nr. 196 49 504.0 vewiesen.

Über ein Verstärker-Element 20.1 gelangen die Teilsignale +0°, -0°, +90°, 90° auf das Demodulations-Element 21.1, an dessen Referenzeingängen 22.1, 22.2 wiederum jeweils das Oszillatorsignal des Oszillator-Elementes 29 als Referenzsignal anliegt. Selbstverständlich ist die Darstellung in Figur 2 lediglich beispielhaft zu verstehen, d.h. es können etwa für jedes der Teilsignale +0°, -0°, +90°, -90° auch separate Demodulations-Elemente vorgesehen werden. Dem Demodulations-Element 21.1 ist erneut ein weiteres Verstärker-Element 23.1 nachgeordnet, das die demodulierten Signale geeignet verstärkt, bevor diese an die nachgeordnete, nicht dargestellte, Auswerteeinheit übertragen werden.

In diesem Verarbeitungskanal der erfindungsgemäßen Positionsmeßeinrichtung sind desweiteren wie bereits angedeutet Abgleich-Elemente 01, 02, P und A angeordnet, die zur Korrektur verschiedener abtastbedingter Signalfehler dienen. Derartige Signalfehler können sich beispielsweise aufgrund von nicht-idealen Teilungsstrukturen, Sensorwicklungen etc. ergeben.

So ist es möglich, über die beiden Abgleich-Elemente 01, 02 den Gleichspannungsanteil bzw. Offset in den Teilsignalen zu verändern, falls dies erforderlich ist. Über das Abgleich-Element P können die oben erwähnten,

idealen Phasenbeziehungen zwischen den Teilsignalen bzw. den Teilsignalpaaren definiert eingestellt werden. Das Abgleich-Element A wiederum ermöglicht die definierte Veränderung der Signalamplituden in den Teilsignalen, so daß gewährleistet ist, daß die um 90° phase &eegr; versetzten Ausgangssignale möglichst die gleiche Amplitude aufweisen. In einer möglichen Ausführungsform sind die verschiedenen Abgleichelemente 01, 02, P und A als verstellbare Potentiometer ausgebildet.

Der Abgleich der verschiedenen Fehler über die angedeuteten Abgleichelemente kann hierbei nach der Montage der Positionsmeßeinrichtung erfolgen. Desweiteren ist es aber auch möglich einen entsprechenden Abgleich während der Positionsmessung automatisiert vorzunehmen etc..
Wie bereits oben angedeutet können auch diese Ableich-Elemente 01, 02, A und P ebenso wie andere Bauelemente zur Signal-Weiterverarbeitung beispielsweise in integrierter Form unmittelbar auf einem Trägerelement der Abtasteinheit auf Seiten der Positionsmeßeinrichtung angeordnet-werden.

Insgesamt resultiert aufgrund der erfindungsgemäßen Maßnahmen eine Positionsmeßeinrichtung, die eine geringe Anfälligkeit gegenüber Störeinflüssen aufweist, welche das Erreger- bzw. Oszillatorsignal als auch die zur Auswerteeinheit übertragenen Ausgangssignale verfälschen könnten. Dies wird ermöglicht, indem sowohl das Erregersignal in der Positionsmeßeinrichtung erzeugt wird als auch die Verarbeitung der erfaßten Signale, insbesondere deren Demodulation in der Positionsmeßeinrichtung erfolgt.

Claims

1. Positionsmeßeinrichtung mit einem Teilungsträger (2) mit mindestens einer Teilungsspur (2.1, 2.2) mit alternierend angeordneten elektrischleitfähigen und nicht-leitfähigen Teilungsbereichen (18, 19) sowie einer Abtasteinheit (4) zur induktiven Abtastung der Teilungsspur (2.1, 2.2), wobei die Abtasteinheit (4) ein oder mehrere Erreger-Elemente (7) und Sensorwicklungen (5.1, 5.2, 6.1, 6.2) umfaßt, die Erreger-Elemente (7) von mindestens einem Oszillator-Element (9) gespeist werden und die von den Sensorwicklungen (5.1, 5.2, 6.1, 6.2) erfaßten Signale über ein oder mehrere Demodulations-Elemente (11.1, 11.2; 21.1) in positionsabhängige, periodische Ausgangssignale umgewandelt werden und mindestens ein Oszillator-Element (9; 29) in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet ist und die Erzeugung positionsabhängiger Ausgangssignale aus den über die Sensorwicklungen (5.1, 5.2, 6.1, 6.2) erfaßten Signalen in der Positionsmeßeinrichtung (1) erfolgt, wozu mindestens ein Demodulations-Element (11.1, 11.2, 21.1) in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß dem mindestens einem Demodulations-Element (11.1, 11.2, 21.1) nachgeordnete Bauelemente (14) zur Signal-Weiterverarbeitung in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet sind, worunter mindestens ein Bauelement (14) ist, welches die sinusförmigen, positionsabhängigen Signale in digitalisierte Signale umwandelt.

2. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Oszillator-Element (9; 29) sowie mindestens ein Demodulations-Element (11.1, 11.2, 21.1) unmittelbar benachbart in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet sind.

3. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Oszillator-Element (9; 29) sowie mindestens ein Demodulations-Element (11.1, 11.2, 21.1) unmittelbar benachbart zueinander in einem Gehäuse (17) der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet sind.

4. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Oszillator-Element (9; 29) sowie mindestens ein Demodulations-Element (11.1, 11.2, 21.1) unmittelbar benachbart zueinander auf einem Trägerelement (3) der Abtasteinheit (4) angeordnet sind.

5. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen die Sensorwicklungen (5.1, 5.2, 6.1, 6.2) und die nachgeordneten Demodulations-Elemente (11.1, 11.2, 21.1) jeweils Verstärker- Elemente (10.1, 10.2, 20.1) geschaltet sind.

6. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß über das Oszillator-Element (9; 29) ein Oszillatorsignal als Referenzsignal erzeugbar ist, welches auch an einem Referenzeingang (12.1, 12.2, 22.1, 22.2) mindestens eines Demodulations-Elementes (11.1, 11.2, 21.1) anliegt.

7. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß über das Oszillator-Element (9; 29) ein Oszillatorsignal mit einer Frequenz im Bereich zwischen 300 kHz und 800 kHz erzeugbar ist.

8. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstärker-Elemente (10.1, 10.2, 20.1) in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet sind.

9. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Interpolations-Element in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet ist.

10. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionsmeßeinrichtung (1) ferner Abgleich-Elemente (O1, O2, A, P) umfaßt, die zur Eliminierung abtastbedingter Fehler dienen.

11. Positionsmeßeinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß Abgleich-Elemente (O1, O2, A, P) zur definierten Einstellung eines Signal-Offsets, zur Einstellung der Phasenbeziehung mindestens zweier periodischer Teilsignale sowie zur Einstellung der Amplitude mindestens eines Teilsignales in der Positionsmeßeinrichtung (1) angeordnet sind.

12. Positionsmeßeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Verarbeitungskanäle gemäß Anspruch 1 in der Positionsmeßeinrichtung angeordnet sind, worunter mindestens ein erster Verarbeitungskanal ist, der eine inkrementale Positionsinformation liefert sowie mindestens ein zweiter Verarbeitungskanal, der eine absolute Positionsinformation liefert.