DE2827274A1

DE2827274A1 - Pressure measuring device with temp. compensation - has sealing diaphragm which is more flexible than measuring diaphragm

Info

Publication number: DE2827274A1
Application number: DE19782827274
Authority: DE
Inventors: Mitsuru Tamai; Takeshi Yasuhara; Tadanori Yuhara
Original assignee: Fuji Electric Co Ltd
Current assignee: Fuji Electric Co Ltd
Priority date: 1978-06-21
Filing date: 1978-06-21
Publication date: 1980-01-10
Also published as: DE2827274C2

Abstract

A flexible diaphragm type fluid-filled sensing device is made immune to thermal expansion and contraction errors by providing a constant volume first fluid chamber formed between the insulating block and a metal plate. There is a second chamber between the metal plate and a sealing diaphragm and a third chamber between the other surface of the block and measuring diaphragm. The three chambers are connected by fluid passages and the sealing diaphragm is much more flexible than the measuring diaphragm so that any volumetric change in the fluid is followed by the sealing diaphragm without changing the volumes of the first or third chambers to which the electrical displacement sensing devices are attached.

Description

Druckmeßvorrichtung Pressure measuring device

Die Erfindung betrifft eine Druckmeßvorrichtung, bei welcher ein von außen auf eine biegsame Membran einer Meßzelle einwirkender Druck anhand der Bewegung einer in der Meßzelle enthaltenen, nicht kompressiblen Füllflüssigkeit elektrisch gemessen wird. The invention relates to a pressure measuring device in which a Pressure acting from the outside on a flexible membrane of a measuring cell based on the Movement of a non-compressible filling liquid contained in the measuring cell is measured electrically.

Bei einer bisherigen Druckmeßvorrichtung sind zwei Membranen an gegenüberliegenden Zylinderöffnungen so befestigt, daß eine Meßzelle zur Aufnahme einer nicht kompressiblen Füllflüssigkeit gebildet wird. Die eine Membran wird dabei vom Atmosphärendruck oder einem Unterdruck als Bezugsdruck beaufschlagt, während die wander( Membran mlt einem ein(m zu messonflen Druck beaufschlagt wird. Der Druckunterschied wird dabei als Größe des Membranausschlages gemessen. In a previous pressure measuring device, two membranes are on opposite sides Cylinder openings attached so that a measuring cell for receiving a non-compressible Filling liquid is formed. One membrane is affected by atmospheric pressure or a negative pressure is applied as a reference pressure, while the wander (membrane A (m to be measured pressure is applied. The pressure difference becomes measured as the size of the membrane deflection.

Die in Fig. 1 dargestellte, bisherige Druckmeßzelle besteht, genauer gesagt, aus einem Hohlzylinderelement 2 aus Metall, dessen beide Enden durch je eine Membran 10 und 10A verschlossen sind. Im Zylinderelement 2 ist ein isolierender Füllkörper 3 angeordnet, dessen Stirnflächen 4 und 4A sphärisch konkav ausgebildet und mit Metallfolien 5 bzw. 5A belegt sind. The previous pressure measuring cell shown in FIG. 1 exists, more precisely said, from a hollow cylinder element 2 made of metal, both ends of which each a membrane 10 and 10A are closed. In the cylinder element 2 is an insulating Filler body 3 arranged, the end faces 4 and 4A of which are spherically concave and are covered with metal foils 5 and 5A, respectively.

Die Umfangsränder der Membranen 10 und 10A sind unter Erhaltung ihres flachen Zustands an den betreffenden planen Stirnflächen des Zylinderelements 2 angeschweißt. Kleine Flüssigkeitskammern, die jeweils durch die Membran 10 und die Gegenfläche 4 bzw.The peripheral edges of the membranes 10 and 10A are maintaining their flat state on the relevant flat end faces of the cylinder element 2 welded on. Small liquid chambers, each through the Membrane 10 and the mating surface 4 or

die Membran 10A und die Gegenfläche 4A gebildet werden, sind durch eine den Isolier- oder Füllkörper 3 durchsetzende Leitung 6 miteinander verbunden. Die Membranen 10, 10A und die Metallfolien 5, 5A wirken dabei als variable bzw.the membrane 10A and the opposing surface 4A are formed by a line 6 penetrating the insulating or filling body 3 is connected to one another. The membranes 10, 10A and the metal foils 5, 5A act as variable or

Regelkondensatoren. Die Metallfolien sind mit Zuleitungen 8 verbunden, die über eine Bohrung 9 im Zylinderelement 2 nach außen geführt sind.Regulating capacitors. The metal foils are connected to leads 8, which are guided to the outside via a bore 9 in the cylinder element 2.

Die bisherige Vorrichtung mit dem beschriebenen Aufbau ist mit gewissen Nachteilen behaftet. Insbesondere ist bei ihr ein thermischer Meßfehler zu beobachten. The previous device with the structure described is with certain Disadvantages. In particular, a thermal measurement error can be observed in it.

Wenn sich nämlich die Füllflüssigkeit bei einem Temperaturanstieg ausdehnt, werden die Meßmembranen nach außen ausgelenkt, so daß sich die Kapazitäten der durch Folie 5 und Membran 10 bzw. Folie 5A und Membran 10A gebildeten Kondensatoren verändern. Wenn sich dagegen die Füllflüssigkeit bei einem Tampcraturabfall zusammenzieht, kann In n den F1üsslqkcEi.tsk.xtlmlern 12 und 12A ein gewisser Unterdruck - als Torricellisches Vakuum bekannt - entstehen, wenn die Einwärtsauslenkung der Membranen dieser Kontraktion nicht zu folgen vermag; hierdurch wird aber die Meßgenauigkeit der Vorrichtung verschlechtert. Namely, if the filling liquid changes with a rise in temperature expands, the diaphragms are deflected outwards, so that the capacities the capacitors formed by film 5 and membrane 10 or film 5A and membrane 10A change. If, on the other hand, the filling liquid contracts in the event of a tamping waste, In n the F1üsslqkcEi.tsk.xtlmlern 12 and 12A a certain negative pressure - as Torricellian vacuum known - arise when the diaphragms deflect inward unable to follow this contraction; this, however, increases the accuracy of the measurement the device deteriorates.

Aufgabe der Erfindung ist. damit die Ausschaltung der vorstehend geschilderten, der bisherigen Vorrichtung anhaftenden Nachteile durch Schaffung einer verbesserten Druckmeßzelle, die von einem durch Kontraktion oder Expansion des Füllmaterials herrührenden thermischen Meßfehler frei ist. The object of the invention is. thus eliminating the above described, the previous device adhering disadvantages by creation an improved pressure measuring cell produced by one by contraction or expansion thermal measurement errors resulting from the filler material are free.

Diese Aufgabe wird durch die in den beigefügten Patentansprüchen gekennzeichneten Merkmale gelöst. This object is achieved by what is stated in the appended claims marked features solved.

Mit der Erfindung wird eine Druckmeßzelle geschaffen, die einen Isolierblock, dessen beide Isolierflächen jeweils mit Ausschlagmeßelementen besetzt sind, eine Metall-Spannplatte, die zusammen mit der ersten Isolierblockwand eine erste Flüssigkeitskammer bildet, eine an der gegenüberliegenden Fläche der Spannplatte befestigte und diese bedeckende, vergleichsweise stark flexible Dichtmembran zur Bildung einer zweiten Flüssigkeitskammer zwischen beiden Teilen und eine metallene Meßmembran umfaßt, die an der zweiten Isolierblockfläche befestigt ist, diese bedeckt und dine dritte Flüssigkeitskammer bildet. With the invention, a pressure measuring cell is created which has an insulating block, whose two insulating surfaces are each occupied with deflection measuring elements, one Metal clamping plate which, together with the first insulating block wall, forms a first liquid chamber forms, one attached to the opposite surface of the clamping plate and this covering, comparatively highly flexible sealing membrane to form a second Comprises a liquid chamber between the two parts and a metal measuring membrane, which is attached to the second insulating block surface, this covers and the third Forms liquid chamber.

Diese drei Flüssigkeitskammern, die mit einer inkompressiblen Füllflüssigkeit gefüllt sind, stehen über zwei Bohrungen miteinander in Verbindung, welche einmal den Isolierblock zur Verbindung von erster und dritter Kammer und zum anderen die feste bzw. Spannplatte zur Verbindung von erster und zweiter Ksammer durchsetzen. Die Steifheit der metallenen Meßmembran ist größer als diejenige der Dichtmembran, d.h. ihre elastische Steifheit beLrtEgt das 10- bis 100-fache derjenigen dLir Itcht:m'nibrnn. Der Bezugsdruck wird dabei an die Meßmembran angelegt, während die Dicht membran mit dem Eingangsdruck beaufschlagt wird und diesen auf die Innenfläche der Meßmembran überträgt, um den Eingangsdruck zu messen.These three fluid chambers that contain an incompressible filling fluid are filled, are connected to each other via two bores, which once the insulating block for connecting the first and third chamber and the other Put through the fixed or clamping plate to connect the first and second chamber. The stiffness of the metal measuring membrane is greater than that of the sealing membrane, i.e. their elastic stiffness is 10 to 100 times that of dLir Itcht: m'nibrnn. The reference pressure is applied to the measuring membrane, while the sealing membrane the inlet pressure is applied and this on the inner surface of the measuring membrane transmits to measure the inlet pressure.

Wenn bei dieser Vorrichtung ein Unterdruck an die Meßmembran angelegt wird, wird der Eingangsdruck als Absolutdruck gemessen; bei Beaufschlagung der Meßmembran mit Atmosphärendruck wird der Eingangs druck dagegen als normaler Druckwert gemessen. Wenn weiterhin ein zweiter Eingangsdruck an die Meßmembran angelegt wird, kann die Vorrichtung als Differenz- bzw. When in this device a negative pressure is applied to the measuring membrane the inlet pressure is measured as absolute pressure; when the measuring membrane is acted upon with atmospheric pressure, on the other hand, the inlet pressure is measured as a normal pressure value. If a second input pressure is still applied to the measuring membrane, the Device as differential resp.

Wirkdruckmeßgerät arbeiten.Working differential pressure meter.

Im folgenden ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technik anhand der beigefügten Zeichnung näher crlutcrt. Es zeigen: Fig. 1 eine Schnittansicht einer bisherigen Druckmeßvorrichtung und Fig. 2 einen Schnitt durch eine Druckmeßvorrichtung gemäß der Erfindung. The following is a preferred embodiment of the invention in Comparison with the prior art based on attached drawing closer crlutcrt. 1 shows a sectional view of a previous pressure measuring device and FIG. 2 shows a section through a pressure measuring device according to the invention.

In Fig. 2 ist ein Druckmeßteil 13 dargestellt, der ein metallenes, hohles Zylinderelement 16, eine feste oder Spannplatte 17, eine Aufnahme- oder Gegenplatte 18 und eine Dichtmembran 19 aufweist. Diese drei Bauteile sind sämtlich am einen Ende des Zylinderelements 16 angeordnet, an dessen anderem Ende sich eine Meßmembran 20 befindet. Im Zylinderelement 16 ist ein Isolierkörper 21 mit zwei End- oder Stirnflächen 22 und 22A angeordnet, die sphärisch konkav ausgebildet sind und an denen aus Metallfolie bestehende Elektroden 23 bzw. 23A befestigt sind. Die aus Metall bestehende Spannplatte 17 ist luftdicht an der planen Fläche des einen Endos des Zylinderelements 16 angeschweißt. Wahlweise können ein Isoliermaterial bzw. -körper mit flachen Stirnflächen und eine Meßmembran mit einer sphärisch konkav gekrümmten Innenfläche vorgesehen werden. Eine erste Flüssigkeits-Kammer 24 wird durch die eine Fläche 22 des Isolierkörpers 21 und die Spannplatte 17 festgelegt. Die Kammer 24 besitzt einen größten Abstand d zwischen dem Isolierkörper und der Spannplatte. Die Innenfläche der Aufnahme- bzw. Gegenplatte 18 ist um den Umfang herum luftdicht mit einer Außenfläche der Spannplatte 17 verschweißt, während die Dichtmembran 19 unter Bildung einer zweiten Flüssigkeits-Kammer 25 um den Umfang herum luftdicht mit dem Rand der Außenfläche der Aufnahmeplatte 18 verschweißt ist. In Fig. 2, a pressure measuring part 13 is shown, which is a metallic, hollow cylinder element 16, a fixed or clamping plate 17, a receiving or counter plate 18 and a sealing membrane 19. These three components are all on one Arranged at the end of the cylinder element 16, at the other end of which there is a measuring membrane 20 is located. In the cylinder element 16 is an insulating body 21 with two end or end faces 22 and 22A arranged, which are spherically concave and on which made of metal foil existing electrodes 23 and 23A are attached. The metal clamping plate 17 is airtightly welded to the flat surface of one end of the cylinder element 16. Optionally, an insulating material or body with flat end faces and a Measuring membrane can be provided with a spherically concavely curved inner surface. A first liquid chamber 24 is through the one surface 22 of the insulating body 21 and the clamping plate 17 set. The chamber 24 has a greatest distance d between the insulator and the clamping plate. The inner surface of the receiving or counterplate 18 is airtight around the periphery with an outer surface of the Clamping plate 17 welded, while the sealing membrane 19 forming a second Liquid chamber 25 around the periphery airtight with the edge of the outer surface the receiving plate 18 is welded.

Die Aufnahmeplatte 18 dient als Dämpfer zur Verhinderung einer übermäßig großen Verformung der Membran 19 unter dem Einfluß eines zu hohen Drucks.The receiving plate 18 serves as a damper to prevent excessive large deformation of the membrane 19 under the influence of too high a pressure.

Am Außenumfang der Meßmembran 20 ist ein ringförmiger Fortsatz 40 ausgebildet, dessen Innenfläche luftdicht am Zylinderelement 16 angeschweißt ist. Der zwischen der Meßmembran 20 und dem Isolierkörper gebildete Zwischenraum stellt eine dritte Flüssigkeits-Kammer 26 mit einem größten Abstand d zwischen diesen Teilen dar. In der Aufnahmeplatte 18, der Spannplatte 17 und dem Isolierkörper 21 sind Durchgänge 27, 28 bzw. 29 ausgebildet, die eine Flüssigkeits-Verbindung zwischen den Kammern 24, 25 und 26 herstellen, welche ihrerseits mit einer inkompressiblen Füllflüssigkeit, wie Silikonöl, gefüllt sind. An die Elektroden 23 und 23A angeschlossene Zuleitungen 30 sind über im Zylinderelement 16 ausgebildete Bohrungen 31 nach außen geführt. Der auf diese Weise gebildete Druckmeßteil ist in Deckel- bzw. Gehäuseteile 14 und 15 eingesetzt, die durch Schraubbolzen 32 miteinander verbunden sind. An annular extension 40 is located on the outer circumference of the measuring membrane 20 formed, the inner surface of which is welded to the cylinder element 16 in an airtight manner. The space formed between the measuring membrane 20 and the insulating body represents a third liquid chamber 26 with a greatest distance d between these parts represent. In the receiving plate 18, the clamping plate 17 and the insulating body 21 are Passages 27, 28 and 29 formed, which a fluid connection between the chambers 24, 25 and 26 produce, which in turn with an incompressible Filling liquid, such as silicone oil, are filled. Connected to electrodes 23 and 23A Supply lines 30 are to the outside via bores 31 formed in the cylinder element 16 guided. The pressure measuring part formed in this way is in cover or housing parts 14 and 15 are used, which are connected to one another by screw bolts 32.

Der Deckel 14 ist mit einer Bohrung 33 versehen, die eine Verbindung zwischen dem Umgebungsraum und einer Druckmeßkammer 34 herstellt, welche durch die Innenumfangsfläche des Deckels 14 und die Membran 19 festgelegt ist, um einen zu messenden äußeren Druck P1 an die Dichtmembran 19 anlegen zu können.The cover 14 is provided with a bore 33 which provides a connection between the surrounding space and a pressure measuring chamber 34, which through the Inner peripheral surface of the lid 14 and the membrane 19 is set to one to be able to apply the measuring external pressure P1 to the sealing membrane 19.

Durch die Meßmembran 20 und die an ihrem Fortsatz 40 befestigte Deckelplatte 15 wird eine Bezugsdruckkammer 35 gebildet. Diese Bezugsdruckkammer 35 ist bei Verwendung der Vorrichtung als normale Druckmeßvorrichtung zur Außenluft hin offen, während sie bei Verwendung der Vorrichtung als Absolutdruck-Meßvorrichtung evakuiert ist. Die Vorrichtung ist durch je einen zwischen dem Druckmeßteil 13 und die Deckel 14 und 15 eingefügten O-Ring 36 luftdicht abgedichtet. Through the measuring membrane 20 and the cover plate attached to its extension 40 15, a reference pressure chamber 35 is formed. This reference pressure chamber 35 is in use the device as a normal pressure measuring device open to the outside air while it is evacuated when using the device as an absolute pressure measuring device. The device is through one between the pressure measuring part 13 and the cover 14 and 15 inserted O-ring 36 sealed airtight.

Wenn im Betrieb der Eingangsdruck P1 an die Druckkammer 34 angelegt wird, verformt sich die Dichtmembran unter Übertragung des Drucks über die Füllflüssigkeit auf die Meßmembran 20. Gleichzeitig besteht in der Bezugsdruckkammer 35 ein Bezugsdruck P2, so daß ein Differential- bzw. Wirkdruck (P1 - P2) die Meßmembran 20 beaufschlagt und verformt. Infolge dieser Verformung bzw. Auslenkung verändert sich der Abstand zwischen der Meßmembran 20 und dem Isolierkörper, wodurch sich wiederum die elektrostatische Kapazität C2 zwischen der Elektrode 23A und der Meßmembran 20 verändert. When the input pressure P1 is applied to the pressure chamber 34 during operation the sealing membrane is deformed transferring the pressure Via the filling liquid on the measuring membrane 20. At the same time there is in the reference pressure chamber 35 a reference pressure P2, so that a differential or effective pressure (P1 - P2) the measuring membrane 20 applied and deformed. As a result of this deformation or deflection changed the distance between the measuring membrane 20 and the insulating body, whereby again the electrostatic capacitance C2 between the electrode 23A and the measuring membrane 20 changed.

Da andererseits die Strecke bzw. der Abstand d 0 zwischen der Spannplatte 17 und der Elektrode 23 konstant bleibt, bleibt auch die dazwischen gebildete elektrostatische Kapazität C1 konstant. Infolgedessen gelten die folgenden Bedingungen: worin bedeuten: e = dielektrische Konstante der Füllflüssigkeit, A = Effektivfläche der Elektrode, d = Abstand zwischen der Elektrode 23A und Meßmembran 20, jd =Größe des Ausschlags der Meßmembran unter dem Einfluß des Wirkdrucks (P1 - P2).On the other hand, since the distance or the distance d 0 between the clamping plate 17 and the electrode 23 remains constant, the electrostatic capacitance C1 formed between them also remains constant. As a result, the following conditions apply: where: e = dielectric constant of the filling liquid, A = effective area of the electrode, d = distance between electrode 23A and measuring membrane 20, jd = size of the deflection of the measuring membrane under the influence of the effective pressure (P1-P2).

Aus den obigen Formeln (1) und (2) läßt sich folgende Gleichung ableiten Wenn der Bezugsdruck P2 gemäß Gleichung (3) ein Unterdruck ist, gibt der Eingangsdruck P1 den Absolutdruck an, während er einen Normaldruck (ordinary pressure) angibt, wenn P2 der Atmosphärendruck ist. Wahlweise kann der Bezugsdruck durch einen anderen, zu messenden Druck ersetzt werden, so daß die Vorrichtung als Differenzdruck- bzw. Wirkdruck-Meßvorrichtung benutzt werden kann.The following equation can be derived from the above formulas (1) and (2) If the reference pressure P2 is a negative pressure according to equation (3), the input pressure P1 indicates the absolute pressure, while it indicates a normal pressure (ordinary pressure) when P2 is the atmospheric pressure. Optionally, the reference pressure can be replaced by another pressure to be measured, so that the device can be used as a differential pressure or effective pressure measuring device.

Erfindungsgemäß besitzt die Dichtmembran 19 nur eine so große mechanische Festigkeit, daß sie die Druckübertragung auf die Meßmembran 20 auszuhalten und gleichzeitig ein Ausfließen von Füllflüssigkeit zu verhindern vermag. Dagegen sollte die Meßmembran 20 eine so große mechanische Festigkeit besitzen, daß sie einen größeren Bereich von Meßdrücken auszuhalten vermag; aus diesem Grund ist die Meßmembran 20 um das 10- bis 100-fache fester als die Meßmembran 19. Da sich außerdem der Fortsatz 40 am Umfang der Membran 20 nicht verformt, bleibt die einer Verformung unterworfene Fläche der Membran eine bekannte Konstante. Bei der vorstehend beschriebenen Konstruktion kann eine auf Temperaturänderungen zurückzuführende Expansion oder Kontraktion der Füllflüssigkeit kompensiert oder durch die stark flexible Dichtmembran ausgeglichen werden, so daß in dieser keine Verformung auftritt und daher der Abstand do zwischen der Meßmembran und dem Isolierkörper unabhängig von thermisch bedingter volumetrischer Änderung der Füllflüssigkeit stets konstant bleibt. Hierdurch wird auch die elektrostatische Kapazität C2 zwischen der Meßmembran 20 und der Elektrode 23 konstant gehalten, so daß eine außerordentlich hohe Meßgenauigkeit des Eingangsdrucks gewährleistet wird. Bei der Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung für Normaldruckmessung durch Anlegung von Atmosphärendruck an die Bezugsdruckkammer kann ein Meßbereich von 20 bis 1.000 kg/cm2 realisiert werden. According to the invention, the sealing membrane 19 has only such a large mechanical one Strength that they can withstand the pressure transmission to the measuring membrane 20 and at the same time able to prevent an outflow of filling liquid. In contrast, the measuring membrane should 20 have so great mechanical strength that they have a larger area able to withstand measuring pressures; for this reason, the measuring membrane 20 is around that 10 to 100 times stronger than the measuring membrane 19. Since the extension 40 not deformed on the circumference of the membrane 20, the one that is subject to deformation remains Area of the membrane is a known constant. With the construction described above expansion or contraction of the Filling fluid compensated or balanced by the highly flexible sealing membrane so that no deformation occurs in this and therefore the distance do between the measuring membrane and the insulating body independently of thermal conditional volumetric change of the filling liquid always remains constant. Through this the electrostatic capacitance C2 between the measuring membrane 20 and the electrode is also determined 23 kept constant, so that an extremely high measurement accuracy of the inlet pressure is guaranteed. When using the device according to the invention for normal pressure measurement by applying atmospheric pressure to the reference pressure chamber, a measuring range from 20 to 1,000 kg / cm2 can be achieved.

Obgleich die Elektroden 23 und 23A bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform zur Messung der Änderungen der elektrostatischen Kapazität vorgesehen sind, können stattdessen auch Induktionsspulen an den betreffenden Stirnflächen 22 und 22A des Isolierkörpers 21 verwendet werden. Jede dieser Induktionsspulen kann dabei den einen Arm oder Zweig einer Meßbrücke zur Messung von Wechselstrom bilden. In diesem Fall wird für die Meßmembran 20 und die Spannplatte 17 ein Material hoher bzw. niedriger magnetischer Durchlssiqkeit verwendet. Wenn eine Meßmembran mit hoher magnetischer Permeabilität bzw. Durchlässigkeit verwendet wird, wird durch einen Ausschlag der Meßmembran die effektive Impedanz des Magnetkreises verändert, während bei Verwendung einer Meßmembran mit niedriger magnetischer Permeabilität die Meßmembran einen Kurzschlußkreis bildet, durch den Streuströme erzeugt werden. Although the electrodes 23 and 23A are used in the above Embodiment provided for measuring the changes in the electrostatic capacitance are, induction coils on the relevant end faces can instead 22 and 22A of the insulating body 21 can be used. Any of these induction coils can use one arm or branch of a measuring bridge for measuring alternating current form. In this case, a material is used for the measuring membrane 20 and the clamping plate 17 high or low magnetic permeability is used. If a measuring membrane with high magnetic permeability is used by a deflection of the measuring membrane changes the effective impedance of the magnetic circuit, while when using a measuring membrane with low magnetic permeability the measuring membrane forms a short circuit through which stray currents are generated.

Die Streuströme bewirken eine Dämpfung des Induktionsspulenstroms und somit eine Impedanzänderung der Induktionsspule.The stray currents dampen the induction coil current and thus a change in the impedance of the induction coil.

Eine derartige Anordnung ist beispielsweise in der USA-Patentanmeldung 708.251 beschrieben.Such an arrangement is for example in the USA patent application 708.251.

Das Zylinderelement 16 und der Isolierkörper 21 brauchen nicht unbedingt die Form gemäß Fig. 2 zu besitzen, vielmehr kann der Isolierkörper auch eine Blockform mit zwei isolierenden Wänden besitzen, an denen die betreffenden Ausschlagmeßelemente angebracht werden können. The cylinder element 16 and the insulating body 21 do not necessarily need to have the shape according to FIG. 2, rather the insulating body can also have a block shape with two have insulating walls on which the relevant Rash measuring elements can be attached.

Zusammenfassend wird mit der Erfindung also eine Druckmeßvorrichtung geschaffen, bei welcher eine eine flexible Membran enthaltene, mit einer Flüssigkeit gefüllte Meßzelle dadurch gegenüber Meßfehlern aufgrund thermischer Expansion und Kontraktion unempfindlich gemacht wird, daß eine erste, ein konstantes Volumen besitzende Flüssigkeitskammer zwischen dem Isolierblock und einer Metallplatte vorgesehen ist, eine zweite Kammer zwischen der Metallplatte und einer Dichtmembran sowie eine dritte Kammer zwischen der anderen Fläche des Isolierblocks und einer Meßmembran vorgesehen sind. Die drei Kammern sind dabei durch Flüssigkeits-Durchgänge miteinander verbunden, und die Dichtmembran ist wesentlich flexibler als die Meßmembran, so daß die Dichtmembran jede Volumenänderung der Flüssigkeit mitzumachen vermag, ohne daß sich die Volumina von erster oder dritter Kammern ändern, an welche elektrische Ausschlagmeßelemente angeschlossen sind. In summary, the invention thus provides a pressure measuring device created in which a flexible membrane contained with a liquid filled measuring cell as a result of measurement errors due to thermal expansion and Contraction is made insensitive to a first, constant volume Liquid chamber is provided between the insulating block and a metal plate, a second chamber between the metal plate and a sealing membrane and a third Chamber provided between the other surface of the insulating block and a measuring membrane are. The three chambers are connected to each other by fluid passages, and the sealing membrane is much more flexible than the measuring membrane, so that the sealing membrane every change in volume of the liquid is able to go along without changing the volumes of the first or third chambers change to which electrical deflection measuring elements are connected.

Claims

Claims pressure measuring device, characterized by an insulating or block body (16) with two insulating surfaces (22, 22A), on each of which a deflection measuring element (23 resp.

23A) is attached by a metal clamping plate (17), which the covers the first insulating surface and with this a first liquid chamber (24) bt1dti , tlurcll a spanning the clamping plate and with this a second liquid chamber (25) forming sealing membrane (19) to which an inlet pressure can be applied, by a second insulating surface spanning and with it a third liquid chamber (26) forming a metal measuring membrane (20) to which a reference pressure can be applied is, the sealing membrane (19) being extraordinarily strong compared to the measuring membrane is flexible, through a first bore (29) formed in the block body (16) Establishing a connection between the first and third chamber, through one in the fixed or clamping plate provided second bore (28) for establishing a connection between the first and second chamber and through a sealing the three chambers filling, incompressible fluid.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the elastic The rigidity or strength of the measuring membrane (20) is 10 to 100 times greater is than that of the sealing membrane (19).

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the reference pressure is a negative pressure.

4. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the reference pressure is atmospheric pressure.

5. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the reference pressure is a second inlet pressure, so that the device creates a differential or differential pressure is measurable.